JPH0990230A - 長作動距離顕微鏡対物レンズ - Google Patents

長作動距離顕微鏡対物レンズ

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JPH0990230A
JPH0990230A JP7245998A JP24599895A JPH0990230A JP H0990230 A JPH0990230 A JP H0990230A JP 7245998 A JP7245998 A JP 7245998A JP 24599895 A JP24599895 A JP 24599895A JP H0990230 A JPH0990230 A JP H0990230A
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JP
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lens
lens group
working distance
group
microscope objective
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JP7245998A
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Osamu Konuma
修 小沼
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】従来以上の長い作動距離を有しつつ優れた結像
性能を有する長作動距離顕微鏡対物レンズ。 【解決手段】物体側から順に、単体正レンズと接合正レ
ンズとを含み正屈折力を有する第1レンズ群1G、負屈
折力を有する第2レンズ群2G、負屈折力を有する第3
レンズ群3G、負屈折力を有する第4レンズ群4Gから
なり、第1レンズ群1G中の最も物体側の単体正レンズ
の物体側のレンズ面の曲率半径をr1 ,第1レンズ群1
G中の最も物体側の単体正レンズの屈折率をn1 ,対物
レンズの焦点距離をfとしたとき、以下の条件(1)を
満足する。 (1) 6<|r1 /(n1 −1)|/f

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、作動距離の長い顕
微鏡対物レンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、生物顕微鏡,表面検査装置など顕
微鏡対物レンズを搭載した機器を用いて、標本を単に観
察するだけではなく、観察しながら標本に対して様々な
操作をおこなうことが多くなってきている。たとえば、
標本を加熱冷却ステージの中に入れ標本の温度変化の測
定,観察をおこなったり、標本に測定端子をあて標本の
電気的特性の測定をおこなったり、生物標本の細胞に直
接針を刺し様々な操作,測定をおこなったりする。
【0003】このとき対物レンズの作動距離が短いと、
周囲に配置した装置や針などと対物レンズとが機械的に
干渉してしまい所望の操作をおこなえないということが
起こる。したがって操作性をよくするためには、対物レ
ンズの作動距離は長いことが必要である。また、微細な
標本を操作するためには、対物レンズの倍率は中倍(4
0〜60倍程度)から高倍(100倍程度)であること
が必要である。
【0004】上記の要求に対し、作動距離の長い顕微鏡
対物レンズが提案されている。中倍対物レンズとしては
特公平5−42645号公報に記載されているものが、
高倍対物レンズとしては特公平3−58493号公報に
記載されているものがそれぞれ知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来例の
作動距離は焦点距離の3倍程度までであり、この程度の
作動距離の長さでは操作性は十分によいとはいえない。
本発明は、上記問題点に鑑み、従来以上に長い作動距離
を有しつつ優れた結像性能を有する長作動距離顕微鏡対
物レンズを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の長作動距離顕微
鏡対物レンズは、物体側から順に、単体正レンズと接合
正レンズとを含み正屈折力を有する第1レンズ群1G
と、負屈折力を有する第2レンズ群2Gと、負屈折力を
有する第3レンズ群3Gと、負屈折力を有する第4レン
ズ群4Gとからなり、以下の条件を満足することを特徴
とするものである。
【0007】(1) 6<|r1 /(n1 −1)|/f ただし、r1 は第1レンズ群1G中の最も物体側の単体
正レンズの物体側のレンズ面の曲率半径、n1 は第1レ
ンズ群1G中の最も物体側の単体正レンズの屈折率、f
は対物レンズの焦点距離である。また、第2レンズ群2
Gは、負レンズと正レンズと負レンズの3枚接合レンズ
であることが望ましい。
【0008】さらに、第2レンズ群2Gの3枚接合レン
ズは、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズであるこ
とが望ましい。また、第3レンズ群3Gは、正レンズと
負レンズの接合レンズであることが望ましい。さらに、
第3レンズ群3Gの接合レンズは、物体側に凸面を向け
たメニスカスレンズであることが望ましい。
【0009】また、第4レンズ群4Gは、接合レンズを
有することが望ましい。また、以下の条件を満足するこ
とが望ましい。 (2) 2.5<|f2 /f234 |<8.5 ただし、f2 は第2レンズ群2Gの焦点距離、f234
第2レンズ群2G乃至第4レンズ群4Gの合成焦点距離
である。
【0010】また、以下の条件を満足することが望まし
い。 (3) 0.6<|R3 /D3 |<2 ただし、R3 は第3レンズ群3Gの最も物体側のレンズ
面の曲率半径、D3 は第3レンズ群3Gの総肉厚であ
る。以下に、本発明が上記構成を採用する理由とその作
用について説明する。
【0011】中倍から高倍の顕微鏡対物レンズでは倍率
が大きいほど焦点距離は短くなるが、同焦距離を一定に
保つために対物レンズの主点位置は物体により近い側に
なる。主点位置を物体に近付けるためには物体側に正屈
折力を配置し像側に負屈折力を配置する。このタイプの
顕微鏡対物レンズにおいて作動距離を長くするためにま
ず考えられることは物体側の正屈折力のレンズ群の焦点
距離を長くすることである。しかし、これは正屈折力を
弱くすることになり開口数が小さくなることにつながる
ので、この方法は好ましくない。
【0012】結局、作動距離を長くしながら所望の焦点
距離を得るには強い正屈折力に続いて強い負屈折力を配
置することになるが、このとき強い屈折力を有する面で
の各収差の発生が大きくなる傾向がある。そこで、本発
明の顕微鏡対物レンズは、強い正屈折力を有するレンズ
群を物体側の第1レンズ群1Gとし、負屈折力を有する
レンズ群を像側の3群すなわち第2レンズ群2G乃至第
4レンズ群4Gとした。つまり、強い負屈折力を第2レ
ンズ群2G乃至第4レンズ群4Gの3群に分散し各群が
負担する負屈折力を弱めることで、全体として強い負屈
折力を有しながら各収差の発生をできるだけ小さく抑え
た。これによって、従来にはなかった、焦点距離の略4
倍以上という長い作動距離を有する顕微鏡対物レンズを
実現した。とくに、強い正屈折力の第1レンズ群1Gで
発生する正のペッツバールは、それに続いて負屈折力を
有する群を3群設けることによってのみこれを補正する
ことができる。
【0013】本発明の構成では、物体から発した発散光
を正屈折力を有する第1レンズ群1Gによって収斂光束
にし、それを負屈折力を有する第2レンズ群2G乃至第
4レンズ群4Gによって徐々に収斂度を弱めていき、第
4レンズ群4Gを射出する光束すなわち対物レンズを射
出する光束が平行光束になるようにする。正屈折力を有
する第1レンズ群1Gの最も物体側の単体正レンズにア
プラナティックに近い面を2面設けることによって、球
面収差,コマ収差を良好に補正しながら物体からの発散
光の光線高を下げ、以降のレンズ群での収差補正を容易
にすることができる。
【0014】さらに、続いて第1レンズ群1G中に正屈
折力の接合レンズを配置することによって、長い作動距
離を有しつつ軸上の色収差と倍率の色収差の発生を小さ
く抑えることができる。条件(1)の右辺は、第1レン
ズ群1G中の単体正レンズの最も物体側のレンズ面の屈
折力を対物レンズの焦点距離で規格化したものである。
条件(1)を満足することによって、収差発生を小さく
抑えることができる。条件(1)の範囲を越えるとアプ
ラナティックな面から外れ、この面で発生する球面収
差,コマ収差が悪化する。とくに短波長側の球面収差が
悪化し、他の面で補正できなくなる。
【0015】また、第2レンズ群2Gを負レンズと正レ
ンズと負レンズの3枚接合レンズとすることによって、
第1レンズ群1Gで補正した色収差をさらに効果的に補
正することができる。さらに、第1レンズ群1Gを射出
した光束は収斂光束になっているので、第2レンズ群2
Gを物体側に凸面を向けたメニスカスレンズとすること
によって、コマ収差の発生を小さく抑えることができ
る。
【0016】また、第3レンズ群3Gを正レンズと負レ
ンズの接合レンズとすることによって、第1レンズ群1
Gと第2レンズ群2Gで補正した色収差をさらに効果的
に補正することができる。さらに、第2レンズ群2Gを
射出した光束は収斂光束になっているので、第3レンズ
群3Gを物体側に凸面を向けたメニスカスレンズとする
ことによって、コマ収差の発生を小さく抑えることがで
きる。
【0017】また、第4レンズ群4Gが接合レンズを有
することによって、第1レンズ群1Gおよび第2レンズ
群2Gで補正した倍率の色収差をさらに十分に補正する
ことができる。条件(2)は、第2レンズ群2G乃至第
4レンズ群4Gの全体の負屈折力に対する第2レンズ群
2Gの負屈折力を規定したものである。条件(2)の上
限を越えると第2レンズ群2Gが負担する屈折力が弱ま
る一方で第3レンズ群3Gと第4レンズ群4Gの負屈折
力が大きくなり負屈折力配分のバランスが崩れ、とくに
ペッツバール和を十分に補正できなくなる。これを改善
しようと各レンズ面の屈折力を変化させると短波長側の
球面収差とコマ収差が悪化してしまい、結局、十分な収
差の補正ができない。また条件(2)の下限を越える
と、第2レンズ群2Gが負担する負屈折力が強くなりす
ぎ、ペッツバール和,短波長側の球面収差,コマ収差を
十分に補正できなくなる。
【0018】条件(3)は、第3レンズ群3Gの収差の
補正に適切な形状を規定したものである。条件(3)の
範囲を越えると、第3レンズ群3Gの最も物体側の面で
発生するコマ収差が他の面で十分に補正できなくなる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の長作動距離顕微
鏡対物レンズの実施例1〜4について説明する。実施例
1の構成は、第1レンズ群1Gは、物体側に凹面を向け
た単体正メニスカスレンズと、両凸レンズと物体側に凹
面を向けた負メニスカスレンズの接合レンズと、単体両
凸レンズとからなり、第2レンズ群2Gは、物体側に凸
面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レン
ズの3枚接合レンズからなり、第3レンズ群3Gは、両
凸レンズと両凹レンズの接合レンズからなり、第4レン
ズ群4Gは、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
と両凹レンズの接合レンズからなる。
【0020】実施例2の構成は、第1レンズ群1Gは、
物体側に凹面を向けた単体正メニスカスレンズと、物体
側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズの接
合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
とからなり、第2レンズ群2Gは、物体側に凸面を向け
た負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズの3枚
接合レンズからなり、第3レンズ群3Gは、両凸レンズ
と両凹レンズの接合レンズからなり、第4レンズ群4G
は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レ
ンズと両凹レンズの3枚接合レンズからなる。
【0021】実施例3の構成は、第1レンズ群1Gは、
物体側に平面を向けた単体平凸レンズと、両凸レンズと
物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの接合レンズ
と、単体両凸レンズとからなり、第2レンズ群2Gは、
物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズ
と両凹レンズの3枚接合レンズからなり、第3レンズ群
3Gは、両凸レンズと両凹レンズの接合レンズからな
り、第4レンズ群4Gは、両凹レンズと両凸レンズと両
凹レンズの3枚接合レンズからなる。
【0022】実施例4の構成は、第1レンズ群1Gは、
物体側に凹面を向けた単体正メニスカスレンズと、両凸
レンズと物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの接
合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
とからなり、第2レンズ群2Gは、物体側に凸面を向け
た負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズの3枚
接合レンズからなり、第3レンズ群3Gは、両凸レンズ
と両凹レンズの接合レンズからなり、第4レンズ群4G
は、両凹レンズと両凸レンズと両凹レンズの3枚接合レ
ンズからなる。
【0023】以下に、各実施例のレンズデータを示す。
記号は、NAは開口数、WDは作動距離、βは倍率であ
る。また、r1 ,r2 ,…は物体側から順示した各レン
ズ面の曲率半径、d1 ,d2 ,…は物体側から順に示し
た各レンズ面間の間隔、n1,n2 ,…は物体側から順
に示した各レンズの屈折率、ν1 ,ν2 ,…は物体側か
ら順に示した各レンズのアッベ数である。 〔実施例1〕 NA=0.45,WD=16,β=−50,f=3.6 r1 = -35.520 d1 =2.40 n1 =1.883 ν1 =40.7 r2 = -13.440 d2 =0.20 r3 = 19.940 d3 =6.10 n3 =1.497 ν3 =81.6 r4 = -12.165 d4 =1.70 n4 =1.718 ν4 =33.5 r5 = -86.809 d5 =0.30 r6 = 18.452 d6 =3.76 n6 =1.569 ν6 =71.3 r7 = -32.732 d7 =0.20 r8 = 12.226 d8 =1.40 n8 =1.772 ν8 =49.6 r9 = 5.653 d9 =6.30 n9 =1.438 ν9 =94.9 r10= -8.539 d10=1.00 n10=1.644 ν10=40.8 r11= 16.512 d11=0.20 r12= 4.398 d12=4.45 n12=1.497 ν12=81.6 r13= -7.570 d13=0.70 n13=1.644 ν13=40.8 r14= 2.650 d14=1.79 r15= -17.747 d15=1.90 n15=1.846 ν15=23.7 r16= -2.555 d16=0.60 n16=1.729 ν16=54.6 r17= 9.491 (1) |r1 /(n1 −1)|/f=11.2 (2) |f2 /f234 |=4.6 (3) |R3 /D3 |=0.8 実施例1の作動距離は焦点距離の4.4倍である。 〔実施例2〕 NA=0.45,WD=16,β=−50,f=3.6 r1 = -24.094 d1 =2.63 n1 =1.883 ν1 =40.7 r2 = -13.063 d2 =0.20 r3 = 24.962 d3 =1.50 n3 =1.676 ν3 =37.5 r4 = 12.397 d4 =5.69 n4 =1.497 ν4 =81.6 r5 = -38.239 d5 =0.20 r6 = 11.123 d6 =4.56 n6 =1.569 ν6 =71.3 r7 = 143.814 d7 =0.20 r8 = 13.382 d8 =1.00 n8 =1.834 ν8 =42.7 r9 = 5.817 d9 =5.45 n9 =1.438 ν9 =94.9 r10= -10.391 d10=1.00 n10=1.676 ν10=37.5 r11= 31.329 d11=0.20 r12= 4.473 d12=3.45 n12=1.497 ν12=81.6 r13= -40.970 d13=1.00 n13=1.846 ν13=23.7 r14= 3.443 d14=1.98 r15= 87.416 d15=0.60 n15=1.726 ν15=53.5 r16= 2.968 d16=2.71 n16=1.846 ν16=23.7 r17= -3.053 d17=0.60 n17=1.883 ν17=40.7 r18= 6.645 (1) |r1 /(n1 −1)|/f=7.6 (2) |f2 /f234 |=5.9 (3) |R3 /D3 |=1.0 実施例2の作動距離は焦点距離の4.4倍である。 〔実施例3〕 NA=0.4,WD=18,β=−50,f=3.6 r1 = ∞ d1 =2.50 n1 =1.883 ν1 =40.7 r2 = -19.797 d2 =0.20 r3 = 18.463 d3 =5.87 n3 =1.497 ν3 =81.6 r4 = -13.046 d4 =1.50 n4 =1.676 ν4 =37.5 r5 =-161.527 d5 =0.20 r6 = 12.791 d6 =3.87 n6 =1.569 ν6 =71.3 r7 = -76.684 d7 =0.32 r8 = 12.217 d8 =1.04 n8 =1.834 ν8 =42.7 r9 = 4.857 d9 =5.41 n9 =1.438 ν9 =94.9 r10= -8.459 d10=1.00 n10=1.676 ν10=37.5 r11= 39.441 d11=0.20 r12= 3.586 d12=3.09 n12=1.497 ν12=81.6 r13= -19.183 d13=0.80 n13=1.755 ν13=27.5 r14= 2.396 d14=1.16 r15= -17.309 d15=0.70 n15=1.726 ν15=53.5 r16= 2.612 d16=2.40 n16=1.846 ν16=23.7 r17= -2.817 d17=0.70 n17=1.883 ν17=40.7 r18= 10.572 (1) |r1 /(n1 −1)|/f=∞ (2) |f2 /f234 |=5.5 (3) |R3 /D3 |=0.9 実施例3の作動距離は焦点距離の5倍である。 〔実施例4〕 NA=0.42,WD=17,β=−40,f=4.5 r1 = -36.149 d1 =2.50 n1 =1.883 ν1 =40.7 r2 = -14.428 d2 =0.20 r3 = 15.137 d3 =5.41 n3 =1.497 ν3 =81.6 r4 = -18.775 d4 =1.50 n4 =1.676 ν4 =37.5 r5 =-253.201 d5 =0.20 r6 = 13.861 d6 =3.33 n6 =1.569 ν6 =71.3 r7 = 198.012 d7 =0.54 r8 = 13.773 d8 =1.00 n8 =1.834 ν8 =42.7 r9 = 5.461 d9 =5.47 n9 =1.438 ν9 =94.9 r10= -9.985 d10=1.00 n10=1.676 ν10=37.5 r11= 105.861 d11=0.20 r12= 4.451 d12=3.36 n12=1.497 ν12=81.6 r13= -25.924 d13=1.00 n13=1.755 ν13=27.5 r14= 3.277 d14=2.22 r15= -63.517 d15=0.70 n15=1.720 ν15=50.2 r16= 3.381 d16=2.63 n16=1.846 ν16=23.7 r17= -4.834 d17=0.70 n17=1.762 ν17=40.1 r18= 7.552 (1) |r1 /(n1 −1)|/f=9.1 (2) |f2 /f234 |=5.1 (3) |R3 /D3 |=1.0 実施例4の作動距離は焦点距離の3.8倍である。
【0024】上記実施例1〜4のレンズ断面図を順に図
1〜4に示す。上記実施例1〜4はいずれも対物レンズ
からの射出光が平行光束となる無限遠設計の対物レンズ
であり、これら単体では結像しない。そこで、たとえば
以下の数値データを有し図9に断面図を示す結像レンズ
と組み合わせて用いる。 r1 = 68.754 d1 =7.732 n1 =1.487 ν1 =70.2 r2 = -37.567 d2 =3.474 n2 =1.806 ν2 =40.9 r3 =-102.847 d3 =0.697 r4 = 84.309 d4 =6.023 n4 =1.834 ν4 =37.1 r5 = -50.710 d5 =3.029 n5 =1.644 ν5 =40.8 r6 = 40.661 実施例1〜4の対物レンズと図9の結像レンズとの間隔
を120mmとした場合の実施例1〜4の収差図を順に
図5〜8に示す。ただし、図5〜8において、(a)は
球面収差,(b)はOSC′,(c)は非点収差,
(d)は歪曲収差を示す。なお、上記間隔を50〜17
0mmの間で120mm以外の値とした場合も、それぞ
れ、ほぼ同様の収差状況を示す。
【0025】なお、本発明の構成を有限設計の対物レン
ズに採用してもよい。
【0026】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、従来にはなかった、焦点距離の略4倍以上と
いう長い作動距離を有しつつ優れた結像性能を有する長
作動距離顕微鏡対物レンズを実現でき、操作性が一層、
向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の長作動距離顕微鏡対物レンズの実施例
1のレンズ断面図である。
【図2】本発明の長作動距離顕微鏡対物レンズの実施例
2のレンズ断面図である。
【図3】本発明の長作動距離顕微鏡対物レンズの実施例
3のレンズ断面図である。
【図4】本発明の長作動距離顕微鏡対物レンズの実施例
4のレンズ断面図である。
【図5】実施例1の収差図である。
【図6】実施例2の収差図である。
【図7】実施例3の収差図である。
【図8】実施例4の収差図である。
【図9】各実施例の長作動距離顕微鏡対物レンズと組み
合わせて用いる結像レンズの一例のレンズ断面図であ
る。
【符号の説明】
1G 第1レンズ群 2G 第2レンズ群 3G 第3レンズ群 4G 第4レンズ群

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】物体側から順に、単体正レンズと接合正レ
    ンズとを含み正屈折力を有する第1レンズ群1Gと、負
    屈折力を有する第2レンズ群2Gと、負屈折力を有する
    第3レンズ群3Gと、負屈折力を有する第4レンズ群4
    Gとからなり、以下の条件を満足することを特徴とする
    長作動距離顕微鏡対物レンズ。 (1) 6<|r1 /(n1 −1)|/f ただし、r1 は第1レンズ群1G中の最も物体側の単体
    正レンズの物体側のレンズ面の曲率半径、n1 は第1レ
    ンズ群1G中の最も物体側の単体正レンズの屈折率、f
    は対物レンズの焦点距離である。
  2. 【請求項2】第2レンズ群2Gは、負レンズと正レンズ
    と負レンズの3枚接合レンズであることを特徴とする、
    請求項1記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。
  3. 【請求項3】第2レンズ群2Gの3枚接合レンズは、物
    体側に凸面を向けたメニスカスレンズであることを特徴
    とする、請求項2記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。
  4. 【請求項4】第3レンズ群3Gは、正レンズと負レンズ
    の接合レンズであることを特徴とする、請求項1記載の
    長作動距離顕微鏡対物レンズ。
  5. 【請求項5】第3レンズ群3Gの接合レンズは、物体側
    に凸面を向けたメニスカスレンズであることを特徴とす
    る、請求項4記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。
  6. 【請求項6】第4レンズ群4Gは、接合レンズを有する
    ことを特徴とする、請求項1記載の長作動距離顕微鏡対
    物レンズ。
  7. 【請求項7】以下の条件を満足することを特徴とする、
    請求項1記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。 (2) 2.5<|f2 /f234 |<8.5 ただし、f2 は第2レンズ群2Gの焦点距離、f234
    第2レンズ群2G乃至第4レンズ群4Gの合成焦点距離
    である。
  8. 【請求項8】以下の条件を満足することを特徴とする、
    請求項1記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。 (3) 0.6<|R3 /D3 |<2 ただし、R3 は第3レンズ群3Gの最も物体側のレンズ
    面の曲率半径、D3 は第3レンズ群3Gの総肉厚であ
    る。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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