JPH07281097A - 液浸系顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 倍率が１００倍程度、ＮＡが１．６５という
高ＮＡで、特に軸上の光学性能が極めて良好な液浸系顕
微鏡対物レンズ。 【構成】 第１群Ｇ₁ は、平凸レンズと物体側に凹面を
向けたメニスカスレンズの接合レンズと、物体側に凹面
を向けた正メニスカスレンズの３枚からなり、第２群Ｇ
₂ は、両凸レンズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合
レンズからなり、第３群Ｇ₃ は、両凸レンズと両凹レン
ズの２枚接合レンズからなり、第４群Ｇ₄は、両凸レン
ズと物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの２枚接
合レンズからなり、第５群Ｇ₅ は、両凸レンズと両凹レ
ンズの２枚接合レンズからなり、第６群Ｇ₆ は、両凹レ
ンズと両凸レンズの２枚接合レンズからなる。最も物体
側のレンズの屈折率は１．６以上である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液浸系顕微鏡対物レン
ズに関し、特に、開口数（ＮＡ）が１．４を越えるアポ
クロマート級液浸系顕微鏡対物レンズに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】顕微鏡対物レンズにおいて、高開口数
（ＮＡ）化による解像力の向上は必要不可欠な仕様であ
り、従来から多くの提案がなされてきている。例えば、
特開昭６１−２７５８１３号や特願平４−３１１７０３
号は、ＮＡ１．４であり、かつ色収差が良く補正されて
おり、像面平坦性も良い。しかし、油浸液の屈折率が
１．５２程度であるため、さらに高ＮＡにしようとする
と、軸上物点からの光束が拡がりすぎてレンズ設計自体
が困難を極めてしまうため、ＮＡ１．４を越える従来技
術はなかった。

【０００３】ＮＡ１．４を越える対物レンズは、事実
上、未知の技術であるが、顕微鏡の使い方にも近年は変
化が見られ、先端の研究分野では、微分干渉を行えるよ
うに構成して、ビデオカメラで拡大観察する手法も用い
られるようになっている。後記する本発明の対物レンズ
は、そうした未知の分野を開拓するものである。

【０００４】なお、本発明の顕微鏡対物レンズの仕様と
は異なるが、構成が似ている従来技術を以下に列挙す
る。まず、実公昭４１−１２３７８号は、ＮＡ０．８で
倍率６５倍と液浸系の対物レンズではないが、本発明の
特徴の１つである第３レンズ群の形状が似ている。ただ
し、第１レンズ群に、接合面が物体側に凹形状の接合レ
ンズを含まない点、第２レンズ群に３枚接合レンズを含
まない点で本発明とは異なる。

【０００５】次に、米国特許第３，７００，３１１号と
米国特許第４，３７３，７８５号は、ＮＡ１．３で、倍
率が１００倍の液浸系対物レンズである。本発明の対物
レンズとは、第１、第５、第６レンズ群が同じで、第
３、第４レンズ群も形状は似ている。しかし、第２レン
ズ群に３枚接合レンズを含まない点、第３レンズ群が正
屈折力である点で本発明とは異なる。ちなみに、本発明
の第３レンズ群は負屈折力であることが特徴である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、その目
的は、従来の開口数（ＮＡ）１．４の対物レンズよりも
高ＮＡで、特に軸上の光学性能が極めて良好な液浸系顕
微鏡対物レンズを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、全体
として正の屈折力を有し、接合面が物体側に凹形状の接
合レンズを含む第１レンズ群と、正レンズと負レンズと
正レンズとの３枚接合レンズを有し、全体として正の屈
折力の第２レンズ群と、最も物体側に凸面を有すると共
に、最も像側の面が像側に強い凹形状を有し、全体とし
て負の屈折力の第３レンズ群と、最も物体側が強い凸面
で、全体として正の屈折力を有する第４レンズ群と、最
も物体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側に
凹形状を有する第５レンズ群と、最も物体側に凹面を有
すると共に、最も像側の面が像側に凸形状を有する第６
レンズ群と、を備えたものである。

【０００８】もう１つの本発明の液浸系顕微鏡対物レン
ズは、物体側から順に、全体として正の屈折力を有し、
接合面が物体側に凹形状の接合レンズを含む第１レンズ
群と、正レンズと負レンズと正レンズとの３枚接合レン
ズを有し、全体として正の屈折力の第２レンズ群と、最
も物体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側に
強い凹形状を有し、全体として負の屈折力の第３レンズ
群と、最も物体側が強い凸面で、全体として正の屈折力
を有する第４レンズ群と、最も物体側に凸面を有すると
共に、最も像側の面が像側に凹形状を有する第５レンズ
群と、最も物体側に凹面を有すると共に、最も像側の面
が像側に凸形状を有する第６レンズ群と、を備え、以下
の条件を満足するものである。 （１） ０．７＜Ｒ₃ ／Ｒ₄ ＜１．３ ただし、Ｒ₃ 、Ｒ₄ はそれぞれ第３レンズ群の最も像側
の面の曲率半径と第４レンズ群の最も物体側の面の曲率
半径である。

【０００９】さらにもう１つの本発明の液浸系顕微鏡対
物レンズは、複数のレンズ群を有し、最も物体側のレン
ズ面の物体側に油浸液を付して観察する液浸系顕微鏡対
物レンズにおいて、最も物体側のレンズの屈折率が１．
６以上であることを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】以下、上記の構成を採用した理由と作用につい
て説明する。まず、顕微鏡対物レンズを高ＮＡ化するた
めに、屈折率が１．６以上の油浸液を用い、球面収差の
発生を少なくするため、最も物体側のレンズの屈折率を
１．６以上にする。

【００１１】そして、本発明においては、第１レンズ群
の先玉レンズを接合レンズとし、物体側のレンズの屈折
率は上記のようにできるだけ大きいものを用い、接合面
は物体側に凹形状にする。これらは何れも、球面収差の
発生量をできるだけ小さくするためのものである。

【００１２】第２レンズ群には、正レンズ、負レンズ、
正レンズの３枚接合レンズを配置する。これは、軸上色
収差の補正に効果的である。第３レンズ群では、最も物
体側の凸面によって光束を絞り、最も像側の面の像側に
強い凹面によって負の屈折力を働かせる。この負屈折力
によって光束は拡がってしまうが、第４レンズ群の最も
物体側の強い凸面によって再度光束を絞り込む。この種
の高倍率、高ＮＡの対物レンズでは、対物レンズ全系で
強い正屈折力を持つため、負の球面収差が大きく発生す
る。球面収差補正をするためにいかに負屈折力を確保す
るかが、対物レンズ設計のポイントであるが、本発明に
おいては、第３レンズ群の最も像側の面と第４レンズ群
の最も物体側の面の間に空気間隙をはさみ、負屈折力の
いわゆる空気レンズのような効果を持たせている。

【００１３】さらに、正屈折力の第４レンズ群で光束を
絞り込み、第５レンズ群と第６レンズ群のいわゆるガウ
スタイプのレンズ群に入射させて、像面平坦性を確保す
るようにしている。

【００１４】さらに、収差補正を良好に行うためには、
第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径と第４レンズ群
の最も物体側の面の曲率半径をそれぞれＲ₃ 、Ｒ₄ とし
た時、 （１） ０．７＜Ｒ₃ ／Ｒ₄ ＜１．３ の条件を満足することが必要である。

【００１５】球面収差補正のために負屈折力が必要なこ
とと、あまり負屈折力が強すぎても全体の収差バランス
がくずれてしまうことのために、Ｒ₃ とＲ₄ の比が条件
式（１）の範囲に入っている必要がある。条件式（１）
の上限の１．３を越えると、第４レンズ群の最も物体側
の面の正屈折力が強くなりすぎ、全体の収差バランスが
くずれてしまう。条件式（１）の下限の０．７を越える
と、第３レンズ群の最も像側の面の負屈折力が強くなり
すぎ、同様に全体の収差バランスがくずれてしまう。

【００１６】さらには、第３レンズ群の焦点距離を
ｆ₃ 、対物レンズ全系の焦点距離をｆとした時、 （２） ｆ／ｆ₃ ＜−０．０１ の条件を満たすと、球面収差補正に必要な負屈折力が確
保できて効果的である。ちなみに、従来技術の実公昭４
１−１２３７８号では、条件式（２）の対応する値は−
０．００３１と弱い負屈折力である。その他の従来技術
は全て正屈折力となっており、本発明の条件式（２）と
は異なっている。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズの実
施例１〜２について説明する。

【００１８】各実施例のレンズデータは後記するが、図
１は実施例１のレンズ構成を示す断面図であり、実施例
２の構成もほぼ同じであるので図示は省く。

【００１９】各群の構成については、両実施例共、第１
群Ｇ₁ は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカ
スレンズの接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズの３枚からなり、第２群Ｇ₂ は、両凸レン
ズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合レンズからな
り、第３群Ｇ₃ は、両凸レンズと両凹レンズの２枚接合
レンズからなり、第４群Ｇ₄ は、両凸レンズと物体側に
凹面を向けた負メニスカスレンズの２枚接合レンズから
なり、第５群Ｇ₅ は、両凸レンズと両凹レンズの２枚接
合レンズからなり、第６群Ｇ₆ は、両凹レンズと両凸レ
ンズの２枚接合レンズからなる。

【００２０】以下に各実施例の数値データを示すが、記
号は、上記の他、ｒ₁ 、ｒ₂ …は物体側から順に示した
各レンズ面の曲率半径、ｄ₁ 、ｄ₂ …は物体側から順に
示した各レンズ面間の間隔、ｎ_d1、ｎ_d2…は物体側から
順に示した各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1、ν_d2…は物
体側から順に示した各レンズのアッベ数である。

【００２１】なお、実施例１、２共に、焦点距離ｆ＝
１．８、倍率＝１００×、開口数ＮＡ＝１．６５、作動
距離は０．１２８９である。また、何れも油浸系であ
り、使用する油浸液（オイル）の屈折率は、ｎ_d ＝１．
７８０３５、ｎ_C ＝１．７６８８３、ｎ_F ＝１．８０９
７５、ｎ_g ＝１．８３５０３（添字ｄ、Ｃ、Ｆ、ｇは、
それぞれｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線での値を表す。）であ
る。さらに、カバーガラスのｄ線の屈折率、アッベ数、
厚みは、それぞれｎ_d ＝１．７８６５、ν_d ＝５０．
０、ｄ＝０．１７ｍｍとして設計してある。

【００２２】実施例１ ｒ₁ = ∞ ｄ₁ = 0.5100 ｎ_d1 =1.78650 ν_d1 =50.00 ｒ₂ = -3.4374 ｄ₂ = 2.1700 ｎ_d2 =1.88300 ν_d2 =40.78 ｒ₃ = -2.2093 ｄ₃ = 0.1325 ｒ₄ = -10.9949 ｄ₄ = 2.4500 ｎ_d3 =1.88300 ν_d3 =40.78 ｒ₅ = -5.8271 ｄ₅ = 0.1997 ｒ₆ = 12.6750 ｄ₆ = 5.3200 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.97 ｒ₇ = -22.9089 ｄ₇ = 1.2000 ｎ_d5 =1.71300 ν_d5 =53.84 ｒ₈ = 10.1935 ｄ₈ = 7.3000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.97 ｒ₉ = -9.0192 ｄ₉ = 0.2000 ｒ₁₀= 8.0162 ｄ₁₀= 4.8000 ｎ_d7 =1.61800 ν_d7 =63.38 ｒ₁₁= -20.6259 ｄ₁₁= 1.2500 ｎ_d8 =1.74000 ν_d8 =31.71 ｒ₁₂= 5.2036 ｄ₁₂= 1.0000 ｒ₁₃= 5.6171 ｄ₁₃= 5.4000 ｎ_d9 =1.43875 ν_d9 =94.97 ｒ₁₄= -6.1286 ｄ₁₄= 1.2000 ｎ_d10=1.64450 ν_d10=40.82 ｒ₁₅= -28.4328 ｄ₁₅= 0.2334 ｒ₁₆= 8.1214 ｄ₁₆= 4.9000 ｎ_d11=1.43875 ν_d11=94.97 ｒ₁₇= -13.9811 ｄ₁₇= 2.6848 ｎ_d12=1.61340 ν_d12=43.84 ｒ₁₈= 6.8433 ｄ₁₈= 1.3000 ｒ₁₉= -2.6403 ｄ₁₉= 3.0112 ｎ_d13=1.64450 ν_d13=40.82 ｒ₂₀= 14.3617 ｄ₂₀= 2.5400 ｎ_d14=1.80518 ν_d14=25.43 ｒ₂₁= -7.4872 Ｒ₃ ＝ 5.2036 Ｒ₄ ＝ 5.6171 ｆ₃ ＝-33.621 (1)R₃ ／Ｒ₄ ＝ 0.926 （２） ｆ／ｆ₃ ＝ -0.054
。

【００２３】実施例２ ｒ₁ = ∞ ｄ₁ = 0.5100 ｎ_d1 =1.78650 ν_d1 =50.00 ｒ₂ = -3.5000 ｄ₂ = 2.1700 ｎ_d2 =1.88300 ν_d2 =40.78 ｒ₃ = -2.2069 ｄ₃ = 0.1325 ｒ₄ = -7.6704 ｄ₄ = 2.4500 ｎ_d3 =1.88300 ν_d3 =40.78 ｒ₅ = -5.1439 ｄ₅ = 0.1997 ｒ₆ = 11.5611 ｄ₆ = 5.3200 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.97 ｒ₇ = -126.3986 ｄ₇ = 1.2000 ｎ_d5 =1.71300 ν_d5 =53.84 ｒ₈ = 10.0151 ｄ₈ = 7.3000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.97 ｒ₉ = -10.1436 ｄ₉ = 0.2000 ｒ₁₀= 8.8086 ｄ₁₀= 4.8000 ｎ_d7 =1.61800 ν_d7 =63.38 ｒ₁₁= -11.6721 ｄ₁₁= 1.2500 ｎ_d8 =1.74000 ν_d8 =31.71 ｒ₁₂= 6.2427 ｄ₁₂= 0.9000 ｒ₁₃= 5.4730 ｄ₁₃= 5.4000 ｎ_d9 =1.43875 ν_d9 =94.97 ｒ₁₄= -6.5046 ｄ₁₄= 1.2000 ｎ_d10=1.64450 ν_d10=40.82 ｒ₁₅= -26.5678 ｄ₁₅= 0.2334 ｒ₁₆= 9.2718 ｄ₁₆= 4.9000 ｎ_d11=1.43875 ν_d11=94.97 ｒ₁₇= -3.0588 ｄ₁₇= 1.0000 ｎ_d12=1.61340 ν_d12=43.84 ｒ₁₈= 7.4439 ｄ₁₈= 1.3000 ｒ₁₉= -2.5688 ｄ₁₉= 1.7556 ｎ_d13=1.74000 ν_d13=31.71 ｒ₂₀= 93.1630 ｄ₂₀= 2.5400 ｎ_d14=1.80518 ν_d14=25.43 ｒ₂₁= -5.1322 Ｒ₃ ＝ 6.2427 Ｒ₄ ＝ 5.473 ｆ₃ ＝-37.433 （１）Ｒ₃ ／Ｒ₄ ＝ 1.14 (2) f/f₃ ＝ -0.048
。

【００２４】上記各実施例の対物レンズは、例えば以下
に示すレンズデータを有し、図２にレンズ断面を示す結
像レンズと組み合わせて用いられる。ただし、データ
中、ｒ₁'、ｒ₂'…は物体側から順に示した各レンズ面の
曲率半径、ｄ₁'、ｄ₂'…は物体側から順に示した各レン
ズ面間の間隔、ｎ_d1' 、ｎ_d2' …は物体側から順に示し
た各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1' 、ν_d2' …は物体側
から順に示した各レンズのアッベ数である。

【００２５】 ｒ₁'= 68.7541 ｄ₁'= 7.7321 ｎ_d1'=1.48749 ν_d1'=70.20 ｒ₂'= -37.5679 ｄ₂'= 3.4742 ｎ_d2'=1.80610 ν_d2'=40.95 ｒ₃'= -102.8477 ｄ₃'= 0.6973 ｒ₄'= 84.3099 ｄ₄'= 6.0238 ｎ_d3'=1.83400 ν_d3'=37.16 ｒ₅'= -50.7100 ｄ₅'= 3.0298 ｎ_d4'=1.64450 ν_d4'=40.82 ｒ₆'= 40.6619 。

【００２６】この場合、実施例１、２の対物レンズと図
２の結像レンズの間の間隔は５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間
の何れの位置でもよいが、この間隔を１０５ｍｍとした
場合についての実施例１、２の球面収差、非点収差、歪
曲収差を表す収差図をそれぞれ図３、図４に示す。な
お、上記間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間で１０５ｍｍ
以外の位置においてもほぼ同様の収差状況を示す。

【００２７】なお、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズを
用いる顕微鏡の概略の構成と作用について簡単に説明し
ておく。図５（ａ）に液浸系顕微鏡の概略の構成図を、
同（ｂ）に対物レンズ先端部分の拡大図を示すが、顕微
鏡本体Ｍｓは、対物レンズＯｂ、接眼レンズＥｐ、試料
台Ｓｔ等からなり、スライドＳｇとカバーガラスＣｇの
間に挟持された試料Ｓを試料台Ｓｔ上に載置し、カバー
ガラスＣｇ上に油浸液Ｏｉを滴下して対物レンズＯｂを
カバーガラスＣｇに近付けると、対物レンズＯｂとカバ
ーガラスＣｇの間が油浸液Ｏｉで埋められる。このよう
に油浸液Ｏｉで対物レンズＯｂと試料Ｓの間を埋める
と、空気層を介する乾燥系に比べて、試料ＳからのＮＡ
の大きな光束も対物レンズＯｂに入射して結像に寄与で
きるため、より高倍率での観察が可能になると共に、収
差上もより良好に結像できるものとなる。

【００２８】以上に説明した本発明の液浸系顕微鏡対物
レンズをまとめると、次のようになる。 〔１〕物体側から順に、全体として正の屈折力を有し、
接合面が物体側に凹形状の接合レンズを含む第１レンズ
群と、正レンズと負レンズと正レンズとの３枚接合レン
ズを有し、全体として正の屈折力の第２レンズ群と、最
も物体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側に
強い凹形状を有し、全体として負の屈折力の第３レンズ
群と、最も物体側が強い凸面で、全体として正の屈折力
を有する第４レンズ群と、最も物体側に凸面を有すると
共に、最も像側の面が像側に凹形状を有する第５レンズ
群と、最も物体側に凹面を有すると共に、最も像側の面
が像側に凸形状を有する第６レンズ群と、を備えた液浸
系顕微鏡対物レンズ。

【００２９】〔２〕物体側から順に、全体として正の屈
折力を有し、接合面が物体側に凹形状の接合レンズを含
む第１レンズ群と、正レンズと負レンズと正レンズとの
３枚接合レンズを有し、全体として正の屈折力の第２レ
ンズ群と、最も物体側に凸面を有すると共に、最も像側
の面が像側に強い凹形状を有し、全体として負の屈折力
の第３レンズ群と、最も物体側が強い凸面で、全体とし
て正の屈折力を有する第４レンズ群と、最も物体側に凸
面を有すると共に、最も像側の面が像側に凹形状を有す
る第５レンズ群と、最も物体側に凹面を有すると共に、
最も像側の面が像側に凸形状を有する第６レンズ群と、
を備え、以下の条件を満足する液浸系顕微鏡対物レン
ズ。

【００３０】（１） ０．７＜Ｒ₃ ／Ｒ₄ ＜１．３ ただし、Ｒ₃ 、Ｒ₄ はそれぞれ第３レンズ群の最も像側
の面の曲率半径と第４レンズ群の最も物体側の面の曲率
半径である。

【００３１】〔３〕複数のレンズ群を有し、最も物体側
のレンズ面の物体側に油浸液を付して観察する液浸系顕
微鏡対物レンズにおいて、最も物体側のレンズの屈折率
が１．６以上であることを特徴とする液浸系顕微鏡対物
レンズ。

【００３２】〔４〕物体側から順に、全体として正の屈
折力の第１レンズ群と、全体として正の屈折力の第２レ
ンズ群と、全体として負の屈折力の第３レンズ群と、全
体として正の屈折力の第４レンズ群と、像側に凹面を向
けた第５レンズ群と、物体側に凹面を向けた第６レンズ
群とからなる上記〔３〕の液浸系顕微鏡対物レンズ。

【００３３】〔５〕前記第２レンズ群が、３枚接合レン
ズを有する上記〔４〕の液浸系顕微鏡対物レンズ。

【００３４】〔６〕前記第１レンズ群が、全体として正
の屈折力を有し、接合面が物体側に凹形状の接合レンズ
を含む上記〔３〕、〔４〕又は〔５〕の液浸系顕微鏡対
物レンズ。

【００３５】〔７〕前記第２レンズ群が、正レンズと負
レンズと正レンズの３枚接合レンズを有し、全体として
正の屈折力を有する上記〔３〕、〔４〕、〔５〕又は
〔６〕の液浸系顕微鏡対物レンズ。

【００３６】〔８〕前記第３レンズ群が、最も物体側に
凸面を有すると共に、最も像側の面が像側に強い凹形状
を有する全体として負の屈折力の上記〔３〕、〔４〕、
〔５〕、〔６〕又は〔７〕の液浸系顕微鏡対物レンズ。

【００３７】

〔９〕前記第４レンズ群が、最も物体側が
強い凸面で、全体として正の屈折力を有する上記
〔３〕、〔４〕、〔５〕、〔６〕、〔７〕又は〔８〕の
液浸系顕微鏡対物レンズ。

【００３８】〔１０〕前記第５レンズ群が、最も物体側
に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側に凹形状を
有する上記〔３〕、〔４〕、〔５〕、〔６〕、〔７〕、
〔８〕又は

〔９〕の液浸系顕微鏡対物レンズ。

【００３９】〔１１〕前記第６レンズ群が、最も物体側
に凹面を有すると共に、最も像側の面が像側に凸形状を
有する上記〔３〕、〔４〕、〔５〕、〔６〕、〔７〕、
〔８〕、

〔９〕又は〔１０〕の液浸系顕微鏡対物レン
ズ。

【００４０】〔１２〕以下の条件を満足する上記
〔３〕、〔４〕、〔５〕、〔６〕、〔７〕、〔８〕、

〔９〕、〔１０〕又は〔１１〕の液浸系顕微鏡対物レン
ズ。

【００４１】（１） ０．７＜Ｒ₃ ／Ｒ₄ ＜１．３ ただし、Ｒ₃ 、Ｒ₄ はそれぞれ第３レンズ群の最も像側
の面の曲率半径と第４レンズ群の最も物体側の面の曲率
半径である。

【００４２】〔１３〕以下の条件を満足する上記
〔３〕、〔４〕、〔５〕、〔６〕、〔７〕、〔８〕、

〔９〕、〔１０〕、〔１１〕又は〔１２〕の液浸系顕微
鏡対物レンズ。 （２） ｆ／ｆ₃ ＜−０．０１ ただし、ｆ₃ は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レン
ズ全系の焦点距離である。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
倍率が１００倍程度、ＮＡが１．６５という高ＮＡで、
特に軸上の光学性能が極めて良好な液浸系顕微鏡対物レ
ンズを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液浸系顕微鏡対物レンズの実施例１の
断面図である。

【図２】各実施例の対物レンズと組み合わせて用いる結
像レンズの断面図である。

【図３】実施例１の球面収差、非点収差、歪曲収差を表
す収差図である。

【図４】実施例２の球面収差、非点収差、歪曲収差を表
す収差図である。

【図５】本発明の対物レンズを用いる顕微鏡の概略の構
成図と対物レンズ先端部分の拡大図である。

【符号の説明】

Ｇ₁ …第１レンズ群 Ｇ₂ …第２レンズ群 Ｇ₃ …第３レンズ群 Ｇ₄ …第４レンズ群 Ｇ₅ …第５レンズ群 Ｇ₆ …第６レンズ群 Ｍｓ…顕微鏡本体 Ｏｂ…対物レンズ Ｅｐ…接眼レンズ Ｓｔ…試料台 Ｓｇ…スライド Ｃｇ…カバーガラス Ｓ …試料 Ｏｉ…油浸液

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体側から順に、全体として正の屈折力
   を有し、接合面が物体側に凹形状の接合レンズを含む第
   １レンズ群と、 正レンズと負レンズと正レンズとの３枚接合レンズを有
   し、全体として正の屈折力の第２レンズ群と、 最も物体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側
   に強い凹形状を有し、全体として負の屈折力の第３レン
   ズ群と、 最も物体側が強い凸面で、全体として正の屈折力を有す
   る第４レンズ群と、 最も物体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側
   に凹形状を有する第５レンズ群と、 最も物体側に凹面を有すると共に、最も像側の面が像側
   に凸形状を有する第６レンズ群と、を備えた液浸系顕微
   鏡対物レンズ。
2. 【請求項２】 物体側から順に、全体として正の屈折力
   を有し、接合面が物体側に凹形状の接合レンズを含む第
   １レンズ群と、 正レンズと負レンズと正レンズとの３枚接合レンズを有
   し、全体として正の屈折力の第２レンズ群と、 最も物体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側
   に強い凹形状を有し、全体として負の屈折力の第３レン
   ズ群と、 最も物体側が強い凸面で、全体として正の屈折力を有す
   る第４レンズ群と、 最も物体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側
   に凹形状を有する第５レンズ群と、 最も物体側に凹面を有すると共に、最も像側の面が像側
   に凸形状を有する第６レンズ群と、を備え、以下の条件
   を満足する液浸系顕微鏡対物レンズ。 （１） ０．７＜Ｒ₃ ／Ｒ₄ ＜１．３ ただし、Ｒ₃ 、Ｒ₄ はそれぞれ第３レンズ群の最も像側
   の面の曲率半径と第４レンズ群の最も物体側の面の曲率
   半径である。
3. 【請求項３】 複数のレンズ群を有し、最も物体側のレ
   ンズ面の物体側に油浸液を付して観察する液浸系顕微鏡
   対物レンズにおいて、 最も物体側のレンズの屈折率が１．６以上であることを
   特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。