JPH0989793A - 異物検査装置 - Google Patents
異物検査装置Info
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- JPH0989793A JPH0989793A JP24165395A JP24165395A JPH0989793A JP H0989793 A JPH0989793 A JP H0989793A JP 24165395 A JP24165395 A JP 24165395A JP 24165395 A JP24165395 A JP 24165395A JP H0989793 A JPH0989793 A JP H0989793A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査面が大きい場合であってもその全域に
わたる異物の存在を短時間で検査することのできる異物
検査装置を提供する。 【解決手段】 保持手段11に被検査物1は保持されて
おり、該被検査物の検査面と該検査面と間隔Sa,Sb
をおいて平行に近接して設置された板状部材12A,1
2Bの対向面とで形成される空間に、被検査物1の全幅
にわたってライン状ファイバ13A,Bから光が投射さ
れる。光は被検査面に存在する異物により散乱光を生
じ、該散乱光はCCDカメラ15A,15Bのような光
検出手段により被検査面全体について同時に受光され
る。
わたる異物の存在を短時間で検査することのできる異物
検査装置を提供する。 【解決手段】 保持手段11に被検査物1は保持されて
おり、該被検査物の検査面と該検査面と間隔Sa,Sb
をおいて平行に近接して設置された板状部材12A,1
2Bの対向面とで形成される空間に、被検査物1の全幅
にわたってライン状ファイバ13A,Bから光が投射さ
れる。光は被検査面に存在する異物により散乱光を生
じ、該散乱光はCCDカメラ15A,15Bのような光
検出手段により被検査面全体について同時に受光され
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は異物検査装置に関
し、特に、半導体の製造や液晶表示板の製造の際に用い
られるレチクル、ウエハ、ガラス基板のような平板状の
部材の表面(又は裏面)上に存在する異物を検査するの
に有効に用いることのできる異物検査装置に関する。
し、特に、半導体の製造や液晶表示板の製造の際に用い
られるレチクル、ウエハ、ガラス基板のような平板状の
部材の表面(又は裏面)上に存在する異物を検査するの
に有効に用いることのできる異物検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造や液晶表示板製造に用いられ
るレチクル、ウエハ、ガラス基板等は厳格な表面検査が
行われ異物の有無がチェックされる。従来この異物検査
は図4に示すような装置で行われている(なお、図4a
は装置の概要を示す側面図であり、図4bは正面図であ
る)。すなわち、装置は、レチクル等の被検査物40を
保持しかつ一定の方向に搬送可能な保持・搬送手段41
と、該保持・搬送手段41での被検査物40の移送方向
(矢視a方向)に交差する方向に光束を発して被検査物
40の被検査面40aを照射する光源42と、該被検査
面40a上で生じる散乱光を検出するためのセンサ45
とから主として構成されている。
るレチクル、ウエハ、ガラス基板等は厳格な表面検査が
行われ異物の有無がチェックされる。従来この異物検査
は図4に示すような装置で行われている(なお、図4a
は装置の概要を示す側面図であり、図4bは正面図であ
る)。すなわち、装置は、レチクル等の被検査物40を
保持しかつ一定の方向に搬送可能な保持・搬送手段41
と、該保持・搬送手段41での被検査物40の移送方向
(矢視a方向)に交差する方向に光束を発して被検査物
40の被検査面40aを照射する光源42と、該被検査
面40a上で生じる散乱光を検出するためのセンサ45
とから主として構成されている。
【0003】検査中に、光源42から発せられた光42
aはレンズ43にてコリメートされて被検査面40a上
を帯状に照明し、一方、被検査物40は保持・搬送手段
41により矢視a方向に一定速度で移送され、それによ
り、被検査面40aの全面が検査光42aの照射を受け
る。この時、被検査面40a上に異物が存在する場合に
は、該異物により散乱光が生じ、これがレンズ44にて
集光されてセンサ45で受光され、異物として検出され
る。
aはレンズ43にてコリメートされて被検査面40a上
を帯状に照明し、一方、被検査物40は保持・搬送手段
41により矢視a方向に一定速度で移送され、それによ
り、被検査面40aの全面が検査光42aの照射を受け
る。この時、被検査面40a上に異物が存在する場合に
は、該異物により散乱光が生じ、これがレンズ44にて
集光されてセンサ45で受光され、異物として検出され
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記ような形態の従来
の異物検査装置においては、被検査物を移動させて異物
検査を行うために、被検査面の大きさと移動速度に応じ
た検査時間が必要とされる。近年、レチクル、ウエハ、
ガラス基板等の1枚当たりの大きさは拡大しつつあり、
異物の検出が必要とされる被検査面は拡大の傾向にある
一方において、被検査物の移動速度には異物の検出位置
の読込精度を確保する観点から自ずと限界があり、被検
査面の拡大に応じて移動速度をあげることは困難であ
る。そのために従来の異物検査装置ではその処理能力が
十分でない場合が生じてきている。
の異物検査装置においては、被検査物を移動させて異物
検査を行うために、被検査面の大きさと移動速度に応じ
た検査時間が必要とされる。近年、レチクル、ウエハ、
ガラス基板等の1枚当たりの大きさは拡大しつつあり、
異物の検出が必要とされる被検査面は拡大の傾向にある
一方において、被検査物の移動速度には異物の検出位置
の読込精度を確保する観点から自ずと限界があり、被検
査面の拡大に応じて移動速度をあげることは困難であ
る。そのために従来の異物検査装置ではその処理能力が
十分でない場合が生じてきている。
【0005】そこで本発明は、被検査面が広い場合であ
ってもその表面(又は裏面)に存在する異物の検査を短
い時間で行うことができようにし、それにより、高い処
理能力を発揮するできるようにした異物検査装置を得る
ことを目的とする。
ってもその表面(又は裏面)に存在する異物の検査を短
い時間で行うことができようにし、それにより、高い処
理能力を発揮するできるようにした異物検査装置を得る
ことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記問題点の解決のため
に本発明では、異物検査装置を、基本的に、被検査物を
保持する手段と、前記被検査物の検査面に平行に近接し
て設置された板状部材と、前記被検査面と前記板状部材
に対してほぼ平行にかつ前記被検査面と前記板状部材と
の間の空間に光束を照射することのできる照明系と、前
記被検査面のほぼ全域からの散乱光を同時に検出する光
検出手段とを有することとした。
に本発明では、異物検査装置を、基本的に、被検査物を
保持する手段と、前記被検査物の検査面に平行に近接し
て設置された板状部材と、前記被検査面と前記板状部材
に対してほぼ平行にかつ前記被検査面と前記板状部材と
の間の空間に光束を照射することのできる照明系と、前
記被検査面のほぼ全域からの散乱光を同時に検出する光
検出手段とを有することとした。
【0007】上記の構成においては、検査中、被検査物
は保持手段により固定状態に保持されており、該被検査
物の検査面とそこ平行に近接して設置された板状部材と
の間の空間に、照明系から被検査物の全幅方向にわたる
光束が照射される。浅い角度で前記空間に入った光は、
被検査面と板状部材との間で全反射を繰り返しながら進
み、光の強度はほとんど減衰することなく被検査面全域
を同時に照明する。
は保持手段により固定状態に保持されており、該被検査
物の検査面とそこ平行に近接して設置された板状部材と
の間の空間に、照明系から被検査物の全幅方向にわたる
光束が照射される。浅い角度で前記空間に入った光は、
被検査面と板状部材との間で全反射を繰り返しながら進
み、光の強度はほとんど減衰することなく被検査面全域
を同時に照明する。
【0008】被検査面上に異物が存在する場合には、異
物の存在箇所のすべてにおいて散乱光が生じ、該散乱光
は被検査面のほぼ全域を検出範囲とする光検出手段によ
り同時に検出される。従って、本発明によれば、被検査
面の広狭に無関係に、被検査面全域での異物検査を瞬時
に行うことができる。好ましい態様においては、前記光
検出手段は前記被検査面の像を撮像するCCDカメラを
含む撮像装置が用いられる。好ましくは、該撮像装置は
散乱光の強度に応じた電気信号を出力し、該電気信号は
適宜の信号処理装置に入力されて、異物の大きさが判定
される。
物の存在箇所のすべてにおいて散乱光が生じ、該散乱光
は被検査面のほぼ全域を検出範囲とする光検出手段によ
り同時に検出される。従って、本発明によれば、被検査
面の広狭に無関係に、被検査面全域での異物検査を瞬時
に行うことができる。好ましい態様においては、前記光
検出手段は前記被検査面の像を撮像するCCDカメラを
含む撮像装置が用いられる。好ましくは、該撮像装置は
散乱光の強度に応じた電気信号を出力し、該電気信号は
適宜の信号処理装置に入力されて、異物の大きさが判定
される。
【0009】好ましい態様においては、前記撮像装置の
焦点面は前記被検査面上とされるか又は前記被検査面に
対して前記板状部材と反対側に前記撮像装置の焦点深度
以下の距離だけ離れた位置に設定される。また、別の好
ましい態様では、前記撮像装置の焦点深度が前記被検査
面と前記板状部材との空間の間隔よりも小さくされる。
このようにすることにより、前記板状部材に付着した異
物はデフォーカスされ、被検査面上の異物と前記板状部
材に付着した異物とは明確に識別される。
焦点面は前記被検査面上とされるか又は前記被検査面に
対して前記板状部材と反対側に前記撮像装置の焦点深度
以下の距離だけ離れた位置に設定される。また、別の好
ましい態様では、前記撮像装置の焦点深度が前記被検査
面と前記板状部材との空間の間隔よりも小さくされる。
このようにすることにより、前記板状部材に付着した異
物はデフォーカスされ、被検査面上の異物と前記板状部
材に付着した異物とは明確に識別される。
【0010】被検査面上の異物と板状部材に付着した異
物との識別を明確にするための他の手段として、散乱光
の検出中に、前記被検査物と前記板状部材のいずれか一
方を該被検査面と平行な方向に光検出手段に対して相対
的に移動させる手段を持つようにすることも可能であ
る。この移動手段による識別と前記したデフォーカスに
よる識別とを兼ね備えるようにしてもよく、より精緻な
識別が可能となる。
物との識別を明確にするための他の手段として、散乱光
の検出中に、前記被検査物と前記板状部材のいずれか一
方を該被検査面と平行な方向に光検出手段に対して相対
的に移動させる手段を持つようにすることも可能であ
る。この移動手段による識別と前記したデフォーカスに
よる識別とを兼ね備えるようにしてもよく、より精緻な
識別が可能となる。
【0011】なお、本発明による異物検査装置は、高い
検査精度が求められる半導体製造や液晶表示板製造に用
いられるレチクル、ウエハ、ガラス基板の表面における
異物の検査に特に有効に用いられるが、用途がこれに限
られるものではない。
検査精度が求められる半導体製造や液晶表示板製造に用
いられるレチクル、ウエハ、ガラス基板の表面における
異物の検査に特に有効に用いられるが、用途がこれに限
られるものではない。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面を参照して説明する。図1は本発明による異物
検査装置の第1の実施例であって、図1aはその要部の
概要を示す側面図、図1bはそれを上方から見た図であ
る。この実施例において、被検査物は上下にペリクル1
a,1bを持つレチクル1であり、以下、該上下のペリ
クル1a,1b上の異物を検出するものとして説明す
る。
態を図面を参照して説明する。図1は本発明による異物
検査装置の第1の実施例であって、図1aはその要部の
概要を示す側面図、図1bはそれを上方から見た図であ
る。この実施例において、被検査物は上下にペリクル1
a,1bを持つレチクル1であり、以下、該上下のペリ
クル1a,1b上の異物を検出するものとして説明す
る。
【0013】レチクル1は、従来知られた保持・搬送手
段11によりその保管位置から異物検査装置の検査位置
(図示の位置)に搬送される。異物検査装置は、該検査
位置で停止したレチクル1の上側ペリクル1a及び下側
ペリクル1bの表面である被検査面から所定の距離(通
常、600μm程度)だけ離れた位置に、該被検査面に
平行に透明な材質(好ましくは、ガラス、石英、プラス
チック、アクリル等)で作られた板状部材12A及び1
2Bを有する。なお、この被検査面と板状部材12A及
び12Bとの間の間隔SaとSbは、光の減衰を小さく
するためには狭い方が望ましいが、後記するように撮像
装置としてCCDカメラを用いる場合等には検出精度を
高めるために、焦点深度より大きな間隔であることが望
ましく、それらを考慮して決められる。
段11によりその保管位置から異物検査装置の検査位置
(図示の位置)に搬送される。異物検査装置は、該検査
位置で停止したレチクル1の上側ペリクル1a及び下側
ペリクル1bの表面である被検査面から所定の距離(通
常、600μm程度)だけ離れた位置に、該被検査面に
平行に透明な材質(好ましくは、ガラス、石英、プラス
チック、アクリル等)で作られた板状部材12A及び1
2Bを有する。なお、この被検査面と板状部材12A及
び12Bとの間の間隔SaとSbは、光の減衰を小さく
するためには狭い方が望ましいが、後記するように撮像
装置としてCCDカメラを用いる場合等には検出精度を
高めるために、焦点深度より大きな間隔であることが望
ましく、それらを考慮して決められる。
【0014】前記被検査面と板状部材12A及び12B
との間の間隔Sa及びSbの中央部の延長上には、ライ
ン状の光ファイバ13A,13Bが前記被検査面の少な
くとも全幅方向に亘って配置されており、さらに、前記
ライン状の光ファイバ13A,13Bと前記間隔Sa及
びSbの先端側との間には、ライン状の光ファイバ13
A,13Bから発せられた帯状の光を屈折により平行光
に近い光となすためのシリンドリカルレンズ14A,1
4Bが配置されている。それにより、ライン状の光ファ
イバ13A,13Bから発せられた帯状の光は平行光に
近い光となって、前記間隔Sa及びSbの間に、その幅
方向の全域にわたり同時に進入する。
との間の間隔Sa及びSbの中央部の延長上には、ライ
ン状の光ファイバ13A,13Bが前記被検査面の少な
くとも全幅方向に亘って配置されており、さらに、前記
ライン状の光ファイバ13A,13Bと前記間隔Sa及
びSbの先端側との間には、ライン状の光ファイバ13
A,13Bから発せられた帯状の光を屈折により平行光
に近い光となすためのシリンドリカルレンズ14A,1
4Bが配置されている。それにより、ライン状の光ファ
イバ13A,13Bから発せられた帯状の光は平行光に
近い光となって、前記間隔Sa及びSbの間に、その幅
方向の全域にわたり同時に進入する。
【0015】該進入した光はペリクル面と板状部材面と
で全反射を繰り返しながら前記間隔Sa及びSb内を進
み、これにより上側ペリクル1aと板状部材12Aの対
向する部分、及び、下側ペリクル1bと板状部材12B
の対向する部分とは、同時に均一に照明される。さら
に、この装置において、板状部材12A,12Bから所
定距離離間した位置には、ペリクル1a,1bの全域
(すなわち、被検査面の全域)を視野に入れることので
きる状態で、撮像装置としてのCCDカメラ15A,1
5Bが設置されており、該CCDカメラ15A,15B
により、ペリクル1a又は1bの表面である被検査面に
異物が存在する場合に発生する散乱光が受光され、モニ
タ上での異物の有無の判断に供される。
で全反射を繰り返しながら前記間隔Sa及びSb内を進
み、これにより上側ペリクル1aと板状部材12Aの対
向する部分、及び、下側ペリクル1bと板状部材12B
の対向する部分とは、同時に均一に照明される。さら
に、この装置において、板状部材12A,12Bから所
定距離離間した位置には、ペリクル1a,1bの全域
(すなわち、被検査面の全域)を視野に入れることので
きる状態で、撮像装置としてのCCDカメラ15A,1
5Bが設置されており、該CCDカメラ15A,15B
により、ペリクル1a又は1bの表面である被検査面に
異物が存在する場合に発生する散乱光が受光され、モニ
タ上での異物の有無の判断に供される。
【0016】上記の装置においては、その構成上、CC
Dカメラ15A,15Bは被検査面上の異物による散乱
光のみならず、前記板状部材12A,12Bの対向面上
に存在する異物により生じる散乱光をも受光する。両者
の異物を明確に識別することは必要であり、そのために
幾つかの方策が取られる。一つの方策は、デフォーカス
による手法であり、CCDカメラ15A,15Bの焦点
位置を、ペリクル1a,1bの表面上(すなわち、被検
査面上)となるように厳格にセットするか、被検査面に
対して板状部材12A,12Bとは反対側に前記CCD
カメラの焦点深度以下の距離だけ離れた位置に設定す
る。さらに好ましくは、CCDカメラ15A,15Bの
焦点深度を被検査面と板状部材との間の間隔Sa及びS
bも小さいものとする。それにより、対向する面である
板状部材12A,12Bの面上に存在する異物はデフォ
ーカスにより信号レベルが低くなり、被検査面上の異物
とは区別され、誤検出する可能性を低くすることができ
る。
Dカメラ15A,15Bは被検査面上の異物による散乱
光のみならず、前記板状部材12A,12Bの対向面上
に存在する異物により生じる散乱光をも受光する。両者
の異物を明確に識別することは必要であり、そのために
幾つかの方策が取られる。一つの方策は、デフォーカス
による手法であり、CCDカメラ15A,15Bの焦点
位置を、ペリクル1a,1bの表面上(すなわち、被検
査面上)となるように厳格にセットするか、被検査面に
対して板状部材12A,12Bとは反対側に前記CCD
カメラの焦点深度以下の距離だけ離れた位置に設定す
る。さらに好ましくは、CCDカメラ15A,15Bの
焦点深度を被検査面と板状部材との間の間隔Sa及びS
bも小さいものとする。それにより、対向する面である
板状部材12A,12Bの面上に存在する異物はデフォ
ーカスにより信号レベルが低くなり、被検査面上の異物
とは区別され、誤検出する可能性を低くすることができ
る。
【0017】識別のための他の方策として、散乱光の検
出中に、被検査物と板状部材のいずれか一方を該被検査
物の面と平行な方向にCCDカメラに対して相対的に移
動させる。具体的には、図示しない駆動手段により、前
記保持・搬送手段11の搬送軸又は板状部材12A,1
2Bのいずれか一方を、検出中に微小量反復移動させる
ようにする。それにより、被検査面上の異物と板状部材
12A,12B上の異物はいずれかが停止し、いずれか
が移動することになり、モニタ上で容易に識別すること
が可能となる。
出中に、被検査物と板状部材のいずれか一方を該被検査
物の面と平行な方向にCCDカメラに対して相対的に移
動させる。具体的には、図示しない駆動手段により、前
記保持・搬送手段11の搬送軸又は板状部材12A,1
2Bのいずれか一方を、検出中に微小量反復移動させる
ようにする。それにより、被検査面上の異物と板状部材
12A,12B上の異物はいずれかが停止し、いずれか
が移動することになり、モニタ上で容易に識別すること
が可能となる。
【0018】図2は本発明による異物検査装置の第2の
実施例であって、ウエハまたはガラス基板のようなプレ
ート1cの一面のみを被検査面1dとして異物を検出し
ようとするものである。この実施例では、図1に示した
実施例におけると同じ異物検出系が1組(ライン状光フ
ァイバ13B、円筒レンズ14B、CCDカメラ15
B)のみ配置されており、プレート1cの裏面1d側の
異物が同様にして検出される。但し、この実施例におい
ては、プレートの大きさに対応して適切な視野を得るた
めにズーム機能を持ったリレーレンズ21が付加されて
いる。必要な場合には、このようなリレーレンズ21を
図1に示した異物検査装置に配置することも当然可能で
ある。
実施例であって、ウエハまたはガラス基板のようなプレ
ート1cの一面のみを被検査面1dとして異物を検出し
ようとするものである。この実施例では、図1に示した
実施例におけると同じ異物検出系が1組(ライン状光フ
ァイバ13B、円筒レンズ14B、CCDカメラ15
B)のみ配置されており、プレート1cの裏面1d側の
異物が同様にして検出される。但し、この実施例におい
ては、プレートの大きさに対応して適切な視野を得るた
めにズーム機能を持ったリレーレンズ21が付加されて
いる。必要な場合には、このようなリレーレンズ21を
図1に示した異物検査装置に配置することも当然可能で
ある。
【0019】本発明による異物検査装置の実施例におい
ては、撮像装置としてCCDカメラが用いられる。この
ため、あらかじめ大きさの判っている異物(真球ビーズ
等)によるCCDカメラの信号強度の較正と被検査面の
パターン情報(異物に基づく信号)とにより異物の自動
検査を行うことができ、また、その検査情報に基づい
て、異物検査装置と他の関連処理装置を関連して操作す
るようにすることもできる。図3aは被検査面の一例で
あるレチクル表面をCCDカメラで取り込んだ画像をC
CDカメラの画素を利用して横軸A〜J、縦軸1〜10
に分割した例を示している、この例では、点B5,F
5,J5に異物が検出されており、かつ、該検出信号は
適宜の信号処理装置に入力され、事前の較正により図3
bのように異物の大きさが判定されている。検査したレ
チクル面での有害となる異物サイズがそれぞれB5で8
μm以上、F5で5μm以上、J5で20μm以上であ
るとされている場合には、この例ではすべての異物は無
害として判定されることとなり、露光実行のための処理
に移される。また、CCDカメラによる情報が有害と判
定された場合には、適宜の警報を出して、露光の実行を
不可として洗浄の工程に送る等の手段が講じられる。
ては、撮像装置としてCCDカメラが用いられる。この
ため、あらかじめ大きさの判っている異物(真球ビーズ
等)によるCCDカメラの信号強度の較正と被検査面の
パターン情報(異物に基づく信号)とにより異物の自動
検査を行うことができ、また、その検査情報に基づい
て、異物検査装置と他の関連処理装置を関連して操作す
るようにすることもできる。図3aは被検査面の一例で
あるレチクル表面をCCDカメラで取り込んだ画像をC
CDカメラの画素を利用して横軸A〜J、縦軸1〜10
に分割した例を示している、この例では、点B5,F
5,J5に異物が検出されており、かつ、該検出信号は
適宜の信号処理装置に入力され、事前の較正により図3
bのように異物の大きさが判定されている。検査したレ
チクル面での有害となる異物サイズがそれぞれB5で8
μm以上、F5で5μm以上、J5で20μm以上であ
るとされている場合には、この例ではすべての異物は無
害として判定されることとなり、露光実行のための処理
に移される。また、CCDカメラによる情報が有害と判
定された場合には、適宜の警報を出して、露光の実行を
不可として洗浄の工程に送る等の手段が講じられる。
【0020】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被検査面
全体を瞬時に照明し、被検査面に存在する異物からの散
乱光を、被検査面の広狭にかかわらず、光検出手段を用
いて一括して取り込めることから、異物検査処理能力は
大きく向上する。また、光検出手段としてCCDカメラ
を用いて処理の自動化を実施する場合には、他の装置、
例えば、半導体、液晶表示板製造用の露光装置等に組合
わせて使用することが可能となる利点もある。
全体を瞬時に照明し、被検査面に存在する異物からの散
乱光を、被検査面の広狭にかかわらず、光検出手段を用
いて一括して取り込めることから、異物検査処理能力は
大きく向上する。また、光検出手段としてCCDカメラ
を用いて処理の自動化を実施する場合には、他の装置、
例えば、半導体、液晶表示板製造用の露光装置等に組合
わせて使用することが可能となる利点もある。
【図1】本発明による異物検査装置の第1の実施例を説
明する図。
明する図。
【図2】本発明による異物検査装置の第2の実施例を説
明する図。
明する図。
【図3】(a)は光検出手段としてCCDカメラを用い
る場合での撮像画像を縦横の座標で分割した例であり、
(b)は座標毎の信号により異物のサイズを判定してい
る例である。
る場合での撮像画像を縦横の座標で分割した例であり、
(b)は座標毎の信号により異物のサイズを判定してい
る例である。
【図4】従来の異物検査装置を説明する図。
1…被検査物の一例としてのレチクル、11…保持・搬
送手段、12A,12B…板状部材、13A,13B…
ライン状ファイバ、14A,14B…リレーレンズ、1
5A,15B…CCDカメラ、21…ズーム機能付リレ
ーレンズ、Sa,Sb…被検査面と板状部材との間の空
間
送手段、12A,12B…板状部材、13A,13B…
ライン状ファイバ、14A,14B…リレーレンズ、1
5A,15B…CCDカメラ、21…ズーム機能付リレ
ーレンズ、Sa,Sb…被検査面と板状部材との間の空
間
Claims (5)
- 【請求項1】 被検査物を保持する手段と、前記被検査
物の被検査面に平行に近接して設置された板状部材と、
前記被検査面と前記板状部材に対してほぼ平行にかつ前
記被検査面と前記板状部材との間の空間に光束を照射す
ることのできる照明系と、前記被検査面のほぼ全域から
の散乱光を同時に検出する光検出手段とを有することを
特徴とする異物検査装置。 - 【請求項2】 前記光検出手段が、前記被検査面の像を
撮像する撮像装置である請求項1記載の異物検査装置。 - 【請求項3】 前記撮像装置の焦点面が前記被検査面上
又は前記被検査面に対して前記板状部材と反対側に前記
撮像装置の焦点深度以下の距離だけ離れた位置に設定さ
れることを特徴とする請求項2記載の異物検査装置。 - 【請求項4】 前記撮像装置の焦点深度が前記被検査面
と前記板状部材との空間の間隔よりも小さくされている
ことを特徴とする請求項2記載の異物検査装置。 - 【請求項5】 前記散乱光の検出中に、前記被検査物と
前記板状部材のいずれか一方を該被検査物の面と平行に
前記光検出手段に対して相対的に移動させる手段を有す
ることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の異物検
査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24165395A JPH0989793A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24165395A JPH0989793A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 異物検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0989793A true JPH0989793A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17077524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24165395A Pending JPH0989793A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0989793A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11352070A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 表面検査方式 |
JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
JP2010197367A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-09 | Samsung Corning Precision Glass Co Ltd | ガラス表面の異物検査装置及びその方法{detectionapparatusforparticleontheglassanddetectionmethodusingthesame} |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP24165395A patent/JPH0989793A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11352070A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 表面検査方式 |
JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
JP2010197367A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-09 | Samsung Corning Precision Glass Co Ltd | ガラス表面の異物検査装置及びその方法{detectionapparatusforparticleontheglassanddetectionmethodusingthesame} |
US8027036B2 (en) | 2009-02-20 | 2011-09-27 | Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd. | Apparatus for detecting particles on a glass surface and a method thereof |
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