JPH0989793A - 異物検査装置 - Google Patents
異物検査装置Info
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- JPH0989793A JPH0989793A JP24165395A JP24165395A JPH0989793A JP H0989793 A JPH0989793 A JP H0989793A JP 24165395 A JP24165395 A JP 24165395A JP 24165395 A JP24165395 A JP 24165395A JP H0989793 A JPH0989793 A JP H0989793A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査面が大きい場合であってもその全域に
わたる異物の存在を短時間で検査することのできる異物
検査装置を提供する。 【解決手段】 保持手段１１に被検査物１は保持されて
おり、該被検査物の検査面と該検査面と間隔Ｓａ，Ｓｂ
をおいて平行に近接して設置された板状部材１２Ａ，１
２Ｂの対向面とで形成される空間に、被検査物１の全幅
にわたってライン状ファイバ１３Ａ，Ｂから光が投射さ
れる。光は被検査面に存在する異物により散乱光を生
じ、該散乱光はＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂのような光
検出手段により被検査面全体について同時に受光され
る。
わたる異物の存在を短時間で検査することのできる異物
検査装置を提供する。 【解決手段】 保持手段１１に被検査物１は保持されて
おり、該被検査物の検査面と該検査面と間隔Ｓａ，Ｓｂ
をおいて平行に近接して設置された板状部材１２Ａ，１
２Ｂの対向面とで形成される空間に、被検査物１の全幅
にわたってライン状ファイバ１３Ａ，Ｂから光が投射さ
れる。光は被検査面に存在する異物により散乱光を生
じ、該散乱光はＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂのような光
検出手段により被検査面全体について同時に受光され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は異物検査装置に関
し、特に、半導体の製造や液晶表示板の製造の際に用い
られるレチクル、ウエハ、ガラス基板のような平板状の
部材の表面（又は裏面）上に存在する異物を検査するの
に有効に用いることのできる異物検査装置に関する。
し、特に、半導体の製造や液晶表示板の製造の際に用い
られるレチクル、ウエハ、ガラス基板のような平板状の
部材の表面（又は裏面）上に存在する異物を検査するの
に有効に用いることのできる異物検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造や液晶表示板製造に用いられ
るレチクル、ウエハ、ガラス基板等は厳格な表面検査が
行われ異物の有無がチェックされる。従来この異物検査
は図４に示すような装置で行われている（なお、図４ａ
は装置の概要を示す側面図であり、図４ｂは正面図であ
る）。すなわち、装置は、レチクル等の被検査物４０を
保持しかつ一定の方向に搬送可能な保持・搬送手段４１
と、該保持・搬送手段４１での被検査物４０の移送方向
（矢視ａ方向）に交差する方向に光束を発して被検査物
４０の被検査面４０ａを照射する光源４２と、該被検査
面４０ａ上で生じる散乱光を検出するためのセンサ４５
とから主として構成されている。
るレチクル、ウエハ、ガラス基板等は厳格な表面検査が
行われ異物の有無がチェックされる。従来この異物検査
は図４に示すような装置で行われている（なお、図４ａ
は装置の概要を示す側面図であり、図４ｂは正面図であ
る）。すなわち、装置は、レチクル等の被検査物４０を
保持しかつ一定の方向に搬送可能な保持・搬送手段４１
と、該保持・搬送手段４１での被検査物４０の移送方向
（矢視ａ方向）に交差する方向に光束を発して被検査物
４０の被検査面４０ａを照射する光源４２と、該被検査
面４０ａ上で生じる散乱光を検出するためのセンサ４５
とから主として構成されている。
【０００３】検査中に、光源４２から発せられた光４２
ａはレンズ４３にてコリメートされて被検査面４０ａ上
を帯状に照明し、一方、被検査物４０は保持・搬送手段
４１により矢視ａ方向に一定速度で移送され、それによ
り、被検査面４０ａの全面が検査光４２ａの照射を受け
る。この時、被検査面４０ａ上に異物が存在する場合に
は、該異物により散乱光が生じ、これがレンズ４４にて
集光されてセンサ４５で受光され、異物として検出され
る。
ａはレンズ４３にてコリメートされて被検査面４０ａ上
を帯状に照明し、一方、被検査物４０は保持・搬送手段
４１により矢視ａ方向に一定速度で移送され、それによ
り、被検査面４０ａの全面が検査光４２ａの照射を受け
る。この時、被検査面４０ａ上に異物が存在する場合に
は、該異物により散乱光が生じ、これがレンズ４４にて
集光されてセンサ４５で受光され、異物として検出され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記ような形態の従来
の異物検査装置においては、被検査物を移動させて異物
検査を行うために、被検査面の大きさと移動速度に応じ
た検査時間が必要とされる。近年、レチクル、ウエハ、
ガラス基板等の１枚当たりの大きさは拡大しつつあり、
異物の検出が必要とされる被検査面は拡大の傾向にある
一方において、被検査物の移動速度には異物の検出位置
の読込精度を確保する観点から自ずと限界があり、被検
査面の拡大に応じて移動速度をあげることは困難であ
る。そのために従来の異物検査装置ではその処理能力が
十分でない場合が生じてきている。
の異物検査装置においては、被検査物を移動させて異物
検査を行うために、被検査面の大きさと移動速度に応じ
た検査時間が必要とされる。近年、レチクル、ウエハ、
ガラス基板等の１枚当たりの大きさは拡大しつつあり、
異物の検出が必要とされる被検査面は拡大の傾向にある
一方において、被検査物の移動速度には異物の検出位置
の読込精度を確保する観点から自ずと限界があり、被検
査面の拡大に応じて移動速度をあげることは困難であ
る。そのために従来の異物検査装置ではその処理能力が
十分でない場合が生じてきている。
【０００５】そこで本発明は、被検査面が広い場合であ
ってもその表面（又は裏面）に存在する異物の検査を短
い時間で行うことができようにし、それにより、高い処
理能力を発揮するできるようにした異物検査装置を得る
ことを目的とする。
ってもその表面（又は裏面）に存在する異物の検査を短
い時間で行うことができようにし、それにより、高い処
理能力を発揮するできるようにした異物検査装置を得る
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題点の解決のため
に本発明では、異物検査装置を、基本的に、被検査物を
保持する手段と、前記被検査物の検査面に平行に近接し
て設置された板状部材と、前記被検査面と前記板状部材
に対してほぼ平行にかつ前記被検査面と前記板状部材と
の間の空間に光束を照射することのできる照明系と、前
記被検査面のほぼ全域からの散乱光を同時に検出する光
検出手段とを有することとした。
に本発明では、異物検査装置を、基本的に、被検査物を
保持する手段と、前記被検査物の検査面に平行に近接し
て設置された板状部材と、前記被検査面と前記板状部材
に対してほぼ平行にかつ前記被検査面と前記板状部材と
の間の空間に光束を照射することのできる照明系と、前
記被検査面のほぼ全域からの散乱光を同時に検出する光
検出手段とを有することとした。
【０００７】上記の構成においては、検査中、被検査物
は保持手段により固定状態に保持されており、該被検査
物の検査面とそこ平行に近接して設置された板状部材と
の間の空間に、照明系から被検査物の全幅方向にわたる
光束が照射される。浅い角度で前記空間に入った光は、
被検査面と板状部材との間で全反射を繰り返しながら進
み、光の強度はほとんど減衰することなく被検査面全域
を同時に照明する。
は保持手段により固定状態に保持されており、該被検査
物の検査面とそこ平行に近接して設置された板状部材と
の間の空間に、照明系から被検査物の全幅方向にわたる
光束が照射される。浅い角度で前記空間に入った光は、
被検査面と板状部材との間で全反射を繰り返しながら進
み、光の強度はほとんど減衰することなく被検査面全域
を同時に照明する。
【０００８】被検査面上に異物が存在する場合には、異
物の存在箇所のすべてにおいて散乱光が生じ、該散乱光
は被検査面のほぼ全域を検出範囲とする光検出手段によ
り同時に検出される。従って、本発明によれば、被検査
面の広狭に無関係に、被検査面全域での異物検査を瞬時
に行うことができる。好ましい態様においては、前記光
検出手段は前記被検査面の像を撮像するＣＣＤカメラを
含む撮像装置が用いられる。好ましくは、該撮像装置は
散乱光の強度に応じた電気信号を出力し、該電気信号は
適宜の信号処理装置に入力されて、異物の大きさが判定
される。
物の存在箇所のすべてにおいて散乱光が生じ、該散乱光
は被検査面のほぼ全域を検出範囲とする光検出手段によ
り同時に検出される。従って、本発明によれば、被検査
面の広狭に無関係に、被検査面全域での異物検査を瞬時
に行うことができる。好ましい態様においては、前記光
検出手段は前記被検査面の像を撮像するＣＣＤカメラを
含む撮像装置が用いられる。好ましくは、該撮像装置は
散乱光の強度に応じた電気信号を出力し、該電気信号は
適宜の信号処理装置に入力されて、異物の大きさが判定
される。
【０００９】好ましい態様においては、前記撮像装置の
焦点面は前記被検査面上とされるか又は前記被検査面に
対して前記板状部材と反対側に前記撮像装置の焦点深度
以下の距離だけ離れた位置に設定される。また、別の好
ましい態様では、前記撮像装置の焦点深度が前記被検査
面と前記板状部材との空間の間隔よりも小さくされる。
このようにすることにより、前記板状部材に付着した異
物はデフォーカスされ、被検査面上の異物と前記板状部
材に付着した異物とは明確に識別される。
焦点面は前記被検査面上とされるか又は前記被検査面に
対して前記板状部材と反対側に前記撮像装置の焦点深度
以下の距離だけ離れた位置に設定される。また、別の好
ましい態様では、前記撮像装置の焦点深度が前記被検査
面と前記板状部材との空間の間隔よりも小さくされる。
このようにすることにより、前記板状部材に付着した異
物はデフォーカスされ、被検査面上の異物と前記板状部
材に付着した異物とは明確に識別される。
【００１０】被検査面上の異物と板状部材に付着した異
物との識別を明確にするための他の手段として、散乱光
の検出中に、前記被検査物と前記板状部材のいずれか一
方を該被検査面と平行な方向に光検出手段に対して相対
的に移動させる手段を持つようにすることも可能であ
る。この移動手段による識別と前記したデフォーカスに
よる識別とを兼ね備えるようにしてもよく、より精緻な
識別が可能となる。
物との識別を明確にするための他の手段として、散乱光
の検出中に、前記被検査物と前記板状部材のいずれか一
方を該被検査面と平行な方向に光検出手段に対して相対
的に移動させる手段を持つようにすることも可能であ
る。この移動手段による識別と前記したデフォーカスに
よる識別とを兼ね備えるようにしてもよく、より精緻な
識別が可能となる。
【００１１】なお、本発明による異物検査装置は、高い
検査精度が求められる半導体製造や液晶表示板製造に用
いられるレチクル、ウエハ、ガラス基板の表面における
異物の検査に特に有効に用いられるが、用途がこれに限
られるものではない。
検査精度が求められる半導体製造や液晶表示板製造に用
いられるレチクル、ウエハ、ガラス基板の表面における
異物の検査に特に有効に用いられるが、用途がこれに限
られるものではない。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面を参照して説明する。図１は本発明による異物
検査装置の第１の実施例であって、図１ａはその要部の
概要を示す側面図、図１ｂはそれを上方から見た図であ
る。この実施例において、被検査物は上下にペリクル１
ａ，１ｂを持つレチクル１であり、以下、該上下のペリ
クル１ａ，１ｂ上の異物を検出するものとして説明す
る。
態を図面を参照して説明する。図１は本発明による異物
検査装置の第１の実施例であって、図１ａはその要部の
概要を示す側面図、図１ｂはそれを上方から見た図であ
る。この実施例において、被検査物は上下にペリクル１
ａ，１ｂを持つレチクル１であり、以下、該上下のペリ
クル１ａ，１ｂ上の異物を検出するものとして説明す
る。
【００１３】レチクル１は、従来知られた保持・搬送手
段１１によりその保管位置から異物検査装置の検査位置
（図示の位置）に搬送される。異物検査装置は、該検査
位置で停止したレチクル１の上側ペリクル１ａ及び下側
ペリクル１ｂの表面である被検査面から所定の距離（通
常、６００μｍ程度）だけ離れた位置に、該被検査面に
平行に透明な材質（好ましくは、ガラス、石英、プラス
チック、アクリル等）で作られた板状部材１２Ａ及び１
２Ｂを有する。なお、この被検査面と板状部材１２Ａ及
び１２Ｂとの間の間隔ＳａとＳｂは、光の減衰を小さく
するためには狭い方が望ましいが、後記するように撮像
装置としてＣＣＤカメラを用いる場合等には検出精度を
高めるために、焦点深度より大きな間隔であることが望
ましく、それらを考慮して決められる。
段１１によりその保管位置から異物検査装置の検査位置
（図示の位置）に搬送される。異物検査装置は、該検査
位置で停止したレチクル１の上側ペリクル１ａ及び下側
ペリクル１ｂの表面である被検査面から所定の距離（通
常、６００μｍ程度）だけ離れた位置に、該被検査面に
平行に透明な材質（好ましくは、ガラス、石英、プラス
チック、アクリル等）で作られた板状部材１２Ａ及び１
２Ｂを有する。なお、この被検査面と板状部材１２Ａ及
び１２Ｂとの間の間隔ＳａとＳｂは、光の減衰を小さく
するためには狭い方が望ましいが、後記するように撮像
装置としてＣＣＤカメラを用いる場合等には検出精度を
高めるために、焦点深度より大きな間隔であることが望
ましく、それらを考慮して決められる。
【００１４】前記被検査面と板状部材１２Ａ及び１２Ｂ
との間の間隔Ｓａ及びＳｂの中央部の延長上には、ライ
ン状の光ファイバ１３Ａ，１３Ｂが前記被検査面の少な
くとも全幅方向に亘って配置されており、さらに、前記
ライン状の光ファイバ１３Ａ，１３Ｂと前記間隔Ｓａ及
びＳｂの先端側との間には、ライン状の光ファイバ１３
Ａ，１３Ｂから発せられた帯状の光を屈折により平行光
に近い光となすためのシリンドリカルレンズ１４Ａ，１
４Ｂが配置されている。それにより、ライン状の光ファ
イバ１３Ａ，１３Ｂから発せられた帯状の光は平行光に
近い光となって、前記間隔Ｓａ及びＳｂの間に、その幅
方向の全域にわたり同時に進入する。
との間の間隔Ｓａ及びＳｂの中央部の延長上には、ライ
ン状の光ファイバ１３Ａ，１３Ｂが前記被検査面の少な
くとも全幅方向に亘って配置されており、さらに、前記
ライン状の光ファイバ１３Ａ，１３Ｂと前記間隔Ｓａ及
びＳｂの先端側との間には、ライン状の光ファイバ１３
Ａ，１３Ｂから発せられた帯状の光を屈折により平行光
に近い光となすためのシリンドリカルレンズ１４Ａ，１
４Ｂが配置されている。それにより、ライン状の光ファ
イバ１３Ａ，１３Ｂから発せられた帯状の光は平行光に
近い光となって、前記間隔Ｓａ及びＳｂの間に、その幅
方向の全域にわたり同時に進入する。
【００１５】該進入した光はペリクル面と板状部材面と
で全反射を繰り返しながら前記間隔Ｓａ及びＳｂ内を進
み、これにより上側ペリクル１ａと板状部材１２Ａの対
向する部分、及び、下側ペリクル１ｂと板状部材１２Ｂ
の対向する部分とは、同時に均一に照明される。さら
に、この装置において、板状部材１２Ａ，１２Ｂから所
定距離離間した位置には、ペリクル１ａ，１ｂの全域
（すなわち、被検査面の全域）を視野に入れることので
きる状態で、撮像装置としてのＣＣＤカメラ１５Ａ，１
５Ｂが設置されており、該ＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂ
により、ペリクル１ａ又は１ｂの表面である被検査面に
異物が存在する場合に発生する散乱光が受光され、モニ
タ上での異物の有無の判断に供される。
で全反射を繰り返しながら前記間隔Ｓａ及びＳｂ内を進
み、これにより上側ペリクル１ａと板状部材１２Ａの対
向する部分、及び、下側ペリクル１ｂと板状部材１２Ｂ
の対向する部分とは、同時に均一に照明される。さら
に、この装置において、板状部材１２Ａ，１２Ｂから所
定距離離間した位置には、ペリクル１ａ，１ｂの全域
（すなわち、被検査面の全域）を視野に入れることので
きる状態で、撮像装置としてのＣＣＤカメラ１５Ａ，１
５Ｂが設置されており、該ＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂ
により、ペリクル１ａ又は１ｂの表面である被検査面に
異物が存在する場合に発生する散乱光が受光され、モニ
タ上での異物の有無の判断に供される。
【００１６】上記の装置においては、その構成上、ＣＣ
Ｄカメラ１５Ａ，１５Ｂは被検査面上の異物による散乱
光のみならず、前記板状部材１２Ａ，１２Ｂの対向面上
に存在する異物により生じる散乱光をも受光する。両者
の異物を明確に識別することは必要であり、そのために
幾つかの方策が取られる。一つの方策は、デフォーカス
による手法であり、ＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂの焦点
位置を、ペリクル１ａ，１ｂの表面上（すなわち、被検
査面上）となるように厳格にセットするか、被検査面に
対して板状部材１２Ａ，１２Ｂとは反対側に前記ＣＣＤ
カメラの焦点深度以下の距離だけ離れた位置に設定す
る。さらに好ましくは、ＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂの
焦点深度を被検査面と板状部材との間の間隔Ｓａ及びＳ
ｂも小さいものとする。それにより、対向する面である
板状部材１２Ａ，１２Ｂの面上に存在する異物はデフォ
ーカスにより信号レベルが低くなり、被検査面上の異物
とは区別され、誤検出する可能性を低くすることができ
る。
Ｄカメラ１５Ａ，１５Ｂは被検査面上の異物による散乱
光のみならず、前記板状部材１２Ａ，１２Ｂの対向面上
に存在する異物により生じる散乱光をも受光する。両者
の異物を明確に識別することは必要であり、そのために
幾つかの方策が取られる。一つの方策は、デフォーカス
による手法であり、ＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂの焦点
位置を、ペリクル１ａ，１ｂの表面上（すなわち、被検
査面上）となるように厳格にセットするか、被検査面に
対して板状部材１２Ａ，１２Ｂとは反対側に前記ＣＣＤ
カメラの焦点深度以下の距離だけ離れた位置に設定す
る。さらに好ましくは、ＣＣＤカメラ１５Ａ，１５Ｂの
焦点深度を被検査面と板状部材との間の間隔Ｓａ及びＳ
ｂも小さいものとする。それにより、対向する面である
板状部材１２Ａ，１２Ｂの面上に存在する異物はデフォ
ーカスにより信号レベルが低くなり、被検査面上の異物
とは区別され、誤検出する可能性を低くすることができ
る。
【００１７】識別のための他の方策として、散乱光の検
出中に、被検査物と板状部材のいずれか一方を該被検査
物の面と平行な方向にＣＣＤカメラに対して相対的に移
動させる。具体的には、図示しない駆動手段により、前
記保持・搬送手段１１の搬送軸又は板状部材１２Ａ，１
２Ｂのいずれか一方を、検出中に微小量反復移動させる
ようにする。それにより、被検査面上の異物と板状部材
１２Ａ，１２Ｂ上の異物はいずれかが停止し、いずれか
が移動することになり、モニタ上で容易に識別すること
が可能となる。
出中に、被検査物と板状部材のいずれか一方を該被検査
物の面と平行な方向にＣＣＤカメラに対して相対的に移
動させる。具体的には、図示しない駆動手段により、前
記保持・搬送手段１１の搬送軸又は板状部材１２Ａ，１
２Ｂのいずれか一方を、検出中に微小量反復移動させる
ようにする。それにより、被検査面上の異物と板状部材
１２Ａ，１２Ｂ上の異物はいずれかが停止し、いずれか
が移動することになり、モニタ上で容易に識別すること
が可能となる。
【００１８】図２は本発明による異物検査装置の第２の
実施例であって、ウエハまたはガラス基板のようなプレ
ート１ｃの一面のみを被検査面１ｄとして異物を検出し
ようとするものである。この実施例では、図１に示した
実施例におけると同じ異物検出系が１組（ライン状光フ
ァイバ１３Ｂ、円筒レンズ１４Ｂ、ＣＣＤカメラ１５
Ｂ）のみ配置されており、プレート１ｃの裏面１ｄ側の
異物が同様にして検出される。但し、この実施例におい
ては、プレートの大きさに対応して適切な視野を得るた
めにズーム機能を持ったリレーレンズ２１が付加されて
いる。必要な場合には、このようなリレーレンズ２１を
図１に示した異物検査装置に配置することも当然可能で
ある。
実施例であって、ウエハまたはガラス基板のようなプレ
ート１ｃの一面のみを被検査面１ｄとして異物を検出し
ようとするものである。この実施例では、図１に示した
実施例におけると同じ異物検出系が１組（ライン状光フ
ァイバ１３Ｂ、円筒レンズ１４Ｂ、ＣＣＤカメラ１５
Ｂ）のみ配置されており、プレート１ｃの裏面１ｄ側の
異物が同様にして検出される。但し、この実施例におい
ては、プレートの大きさに対応して適切な視野を得るた
めにズーム機能を持ったリレーレンズ２１が付加されて
いる。必要な場合には、このようなリレーレンズ２１を
図１に示した異物検査装置に配置することも当然可能で
ある。
【００１９】本発明による異物検査装置の実施例におい
ては、撮像装置としてＣＣＤカメラが用いられる。この
ため、あらかじめ大きさの判っている異物（真球ビーズ
等）によるＣＣＤカメラの信号強度の較正と被検査面の
パターン情報（異物に基づく信号）とにより異物の自動
検査を行うことができ、また、その検査情報に基づい
て、異物検査装置と他の関連処理装置を関連して操作す
るようにすることもできる。図３ａは被検査面の一例で
あるレチクル表面をＣＣＤカメラで取り込んだ画像をＣ
ＣＤカメラの画素を利用して横軸Ａ〜Ｊ、縦軸１〜１０
に分割した例を示している、この例では、点Ｂ５，Ｆ
５，Ｊ５に異物が検出されており、かつ、該検出信号は
適宜の信号処理装置に入力され、事前の較正により図３
ｂのように異物の大きさが判定されている。検査したレ
チクル面での有害となる異物サイズがそれぞれＢ５で８
μｍ以上、Ｆ５で５μｍ以上、Ｊ５で２０μｍ以上であ
るとされている場合には、この例ではすべての異物は無
害として判定されることとなり、露光実行のための処理
に移される。また、ＣＣＤカメラによる情報が有害と判
定された場合には、適宜の警報を出して、露光の実行を
不可として洗浄の工程に送る等の手段が講じられる。
ては、撮像装置としてＣＣＤカメラが用いられる。この
ため、あらかじめ大きさの判っている異物（真球ビーズ
等）によるＣＣＤカメラの信号強度の較正と被検査面の
パターン情報（異物に基づく信号）とにより異物の自動
検査を行うことができ、また、その検査情報に基づい
て、異物検査装置と他の関連処理装置を関連して操作す
るようにすることもできる。図３ａは被検査面の一例で
あるレチクル表面をＣＣＤカメラで取り込んだ画像をＣ
ＣＤカメラの画素を利用して横軸Ａ〜Ｊ、縦軸１〜１０
に分割した例を示している、この例では、点Ｂ５，Ｆ
５，Ｊ５に異物が検出されており、かつ、該検出信号は
適宜の信号処理装置に入力され、事前の較正により図３
ｂのように異物の大きさが判定されている。検査したレ
チクル面での有害となる異物サイズがそれぞれＢ５で８
μｍ以上、Ｆ５で５μｍ以上、Ｊ５で２０μｍ以上であ
るとされている場合には、この例ではすべての異物は無
害として判定されることとなり、露光実行のための処理
に移される。また、ＣＣＤカメラによる情報が有害と判
定された場合には、適宜の警報を出して、露光の実行を
不可として洗浄の工程に送る等の手段が講じられる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被検査面
全体を瞬時に照明し、被検査面に存在する異物からの散
乱光を、被検査面の広狭にかかわらず、光検出手段を用
いて一括して取り込めることから、異物検査処理能力は
大きく向上する。また、光検出手段としてＣＣＤカメラ
を用いて処理の自動化を実施する場合には、他の装置、
例えば、半導体、液晶表示板製造用の露光装置等に組合
わせて使用することが可能となる利点もある。
全体を瞬時に照明し、被検査面に存在する異物からの散
乱光を、被検査面の広狭にかかわらず、光検出手段を用
いて一括して取り込めることから、異物検査処理能力は
大きく向上する。また、光検出手段としてＣＣＤカメラ
を用いて処理の自動化を実施する場合には、他の装置、
例えば、半導体、液晶表示板製造用の露光装置等に組合
わせて使用することが可能となる利点もある。
【図１】本発明による異物検査装置の第１の実施例を説
明する図。
明する図。
【図２】本発明による異物検査装置の第２の実施例を説
明する図。
明する図。
【図３】（ａ）は光検出手段としてＣＣＤカメラを用い
る場合での撮像画像を縦横の座標で分割した例であり、
（ｂ）は座標毎の信号により異物のサイズを判定してい
る例である。
る場合での撮像画像を縦横の座標で分割した例であり、
（ｂ）は座標毎の信号により異物のサイズを判定してい
る例である。
【図４】従来の異物検査装置を説明する図。
１…被検査物の一例としてのレチクル、１１…保持・搬
送手段、１２Ａ，１２Ｂ…板状部材、１３Ａ，１３Ｂ…
ライン状ファイバ、１４Ａ，１４Ｂ…リレーレンズ、１
５Ａ，１５Ｂ…ＣＣＤカメラ、２１…ズーム機能付リレ
ーレンズ、Ｓａ，Ｓｂ…被検査面と板状部材との間の空
間
送手段、１２Ａ，１２Ｂ…板状部材、１３Ａ，１３Ｂ…
ライン状ファイバ、１４Ａ，１４Ｂ…リレーレンズ、１
５Ａ，１５Ｂ…ＣＣＤカメラ、２１…ズーム機能付リレ
ーレンズ、Ｓａ，Ｓｂ…被検査面と板状部材との間の空
間
Claims (5)
- 【請求項１】 被検査物を保持する手段と、前記被検査
物の被検査面に平行に近接して設置された板状部材と、
前記被検査面と前記板状部材に対してほぼ平行にかつ前
記被検査面と前記板状部材との間の空間に光束を照射す
ることのできる照明系と、前記被検査面のほぼ全域から
の散乱光を同時に検出する光検出手段とを有することを
特徴とする異物検査装置。 - 【請求項２】 前記光検出手段が、前記被検査面の像を
撮像する撮像装置である請求項１記載の異物検査装置。 - 【請求項３】 前記撮像装置の焦点面が前記被検査面上
又は前記被検査面に対して前記板状部材と反対側に前記
撮像装置の焦点深度以下の距離だけ離れた位置に設定さ
れることを特徴とする請求項２記載の異物検査装置。 - 【請求項４】 前記撮像装置の焦点深度が前記被検査面
と前記板状部材との空間の間隔よりも小さくされている
ことを特徴とする請求項２記載の異物検査装置。 - 【請求項５】 前記散乱光の検出中に、前記被検査物と
前記板状部材のいずれか一方を該被検査物の面と平行に
前記光検出手段に対して相対的に移動させる手段を有す
ることを特徴とする請求項１〜４いずれか記載の異物検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24165395A JPH0989793A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24165395A JPH0989793A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989793A true JPH0989793A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17077524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24165395A Pending JPH0989793A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0989793A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11352070A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 表面検査方式 |
| JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
| JP2010197367A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-09 | Samsung Corning Precision Glass Co Ltd | ガラス表面の異物検査装置及びその方法｛ｄｅｔｅｃｔｉｏｎａｐｐａｒａｔｕｓｆｏｒｐａｒｔｉｃｌｅｏｎｔｈｅｇｌａｓｓａｎｄｄｅｔｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｕｓｉｎｇｔｈｅｓａｍｅ｝ |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP24165395A patent/JPH0989793A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11352070A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Masami Nishiko | 表面検査方式 |
| JP2000028340A (ja) * | 1998-07-11 | 2000-01-28 | Masami Nishiko | 配向膜検査方式 |
| JP2010197367A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-09 | Samsung Corning Precision Glass Co Ltd | ガラス表面の異物検査装置及びその方法｛ｄｅｔｅｃｔｉｏｎａｐｐａｒａｔｕｓｆｏｒｐａｒｔｉｃｌｅｏｎｔｈｅｇｌａｓｓａｎｄｄｅｔｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｕｓｉｎｇｔｈｅｓａｍｅ｝ |
| US8027036B2 (en) | 2009-02-20 | 2011-09-27 | Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd. | Apparatus for detecting particles on a glass surface and a method thereof |
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