JP2004246171A - 透明板の欠陥検出方法及びその装置 - Google Patents
透明板の欠陥検出方法及びその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004246171A JP2004246171A JP2003036934A JP2003036934A JP2004246171A JP 2004246171 A JP2004246171 A JP 2004246171A JP 2003036934 A JP2003036934 A JP 2003036934A JP 2003036934 A JP2003036934 A JP 2003036934A JP 2004246171 A JP2004246171 A JP 2004246171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- transparent plate
- mirror
- camera
- defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【課題】裏面反射検出像を安定して検出でき、板厚方向の欠陥位置と欠陥の大きさを高精度に求めることができ、従来の反射光学系に比べ、より明るい撮像画像が得られ、明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも対応できる反射光学系で構成された透明板の欠陥検出方法及びその装置を提供する。
【構成】検査対象の液晶パネル用ガラス基板1の表面に対し、カメラ3と光源2とを斜め方向に対向配置する。液晶パネル用ガラス基板1の裏面に対し表面ミラー4を所定量離間して配置するとともに、表面ミラー4は、カメラ3が液晶パネル用ガラス基板1を通してミラーの反射により光源2または光源2の近傍を撮像することができる位置に配置される。
【選択図】 図3
【構成】検査対象の液晶パネル用ガラス基板1の表面に対し、カメラ3と光源2とを斜め方向に対向配置する。液晶パネル用ガラス基板1の裏面に対し表面ミラー4を所定量離間して配置するとともに、表面ミラー4は、カメラ3が液晶パネル用ガラス基板1を通してミラーの反射により光源2または光源2の近傍を撮像することができる位置に配置される。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は透明板の欠陥検出方法及びその装置に係り、特に透明ガラス基板の品質検査に用いる欠陥検出方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、液晶パネルに用いるガラス基板において、板厚方向の欠陥の位置を検出するために、図5に示すような欠陥検出装置を本願出願人は提案している(例えば、特許文献1)。
【0003】
この欠陥検出装置は、光源2と複数台の反射光検知用カメラ3とからなる検出器を有し、この検出器は、透明板1の搬送経路の上側に設置されている。
【0004】
カメラ3として、ラインセンサを有するカメラを用いた場合、光源2は、透明板1の上面に向かって斜め方向に、照明光を透明板1の幅方向(図5において紙面に直交する方向)に延びる帯状に照射するように構成される。またラインセンサは、透明板1で正反射する帯状の照明光を受光するように、その長手方向が透明板1の幅方向に沿うように配置される。
【0005】
透明板1の欠陥を検出する際には、光源2から透明板1の上面に向かって照明光を照射するとともに、カメラ3で透明板1における光源2の照明光の反射部分を撮像する。
【0006】
透明板1の上面あるいは下面に凹凸部が生じていたり、透明板1の内部に泡状の空隙が形成されていたり、透明板1の上面あるいは下面に付着物が存在していたり、透明板1に亀裂が生じたりしていると、これらの欠陥部分より光源2の照明光が屈折、散乱、反射あるいは遮光され、欠陥部分が正常部分と比較して暗部または明部として撮像される。
【0007】
この際、光源2からの照明光が透明板1の上面または内部の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光され、カメラ3で暗点または明点(今後、直接検出像の暗点または明点と呼ぶ)として検知される。この時の光線経路は、例えば、透明板1の上面での反射光を直接検出する場合には、光源2→A´→A→カメラ3である。またこの場合、同一の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光した光が、透明板1の裏面で反射して、カメラ3で暗点または明点(今後、裏面反射検出像の暗点または明点と呼ぶ)として検知される。この時の光線経路は、光源2→B´→B→D→A→カメラ3である。以上により、二つの暗点または明点の距離と透明板1の板厚、ガラス屈折角から、欠陥の板厚方向の位置を求めることができる。
【0008】
【特許文献1】
特開平11−316195号公報 (第5頁 図1)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の欠陥検出装置は、図6(A)に示すようにカメラ3で検知される欠陥Sの直接検出像の暗点または明点に比べ、図6(B)に示す裏面反射を通して検出される裏面反射検出像の暗点または明点は、コントラストが低く検出感度が低いため、裏面反射検出像を安定して検出することが難しかった。
【0010】
また、図7の如く透明板1の裏面近傍に内部欠陥Sが存在する場合は、直接検出像と裏面反射検出像のそれぞれの暗点または明点の距離が短く、2つの暗点または明点が重なってしまい1つの大きな点と誤認識される場合もあった。
【0011】
さらに、反射方式で欠陥を検知する光学系(反射光学系)の場合、ガラスのように光反射率が小さいもの(反射率4%程度)を検査対象にしている場合は、直接検出像の場合で表面反射と裏面反射を合わせても透明板1に入射した光量の8%程度しかカメラ3に到達せず、透過方式で欠陥を検知する光学系(透過光学系)の検査に比べて撮像した画像が暗くなる問題もあった。
【0012】
また、図8の如く明暗の境界を撮像する場合のように、光源2´とカメラ3の相対位置を精密に配置する必要のある光学系を構成する場合、前述した反射光学系では、カメラ3が明暗の境界である光源表面上のA´だけでなく、同時にB´の位置も撮像してしまうため、反射光学系で構成することが困難であった。
【0013】
本発明は、従来からある反射方式の検出器に見られた上記の問題に鑑み、裏面反射検出像を安定して検出でき、板厚方向の欠陥位置と欠陥の大きさを高精度に求めることができ、従来の反射光学系に比べ、より明るい撮像画像が得られ、明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも対応できる反射光学系で構成された透明板の欠陥検出方法及びその装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、透明板の一方面に対し、カメラと光源とが斜め方向に対向配置され、該透明板の他方面に対しミラーが所定量離間して配置され、該ミラーは、前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置に配置されていることを特徴とする。
【0015】
また、本発明は、前記目的を達成するために、透明板の一方面に対し、ブリュースター角にほぼ等しい角度をなすようにカメラと光源とが対向配置され、該透明板の他方面に対しミラーが所定量離間して配置され、該ミラーは、前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置に配置され、前記カメラと前記光源の光線経路の間には、偏光板が配置されていることを特徴とする。
【0016】
本発明によれば、カメラが透明板を通してミラーの反射で光源または光源の近傍を撮像できるようにミラーを配置することで、裏面反射検出像(ミラー反射検出像)を安定して検出することができ、裏面近傍の欠陥でも直接検出像の明点または暗点と裏面反射像の明点または暗点とが重なりにくくなるので、板厚方向の欠陥位置と欠陥の大きさを高精度に求めることができ、従来の反射光学系に比べ、より明るい撮像画像が得られ、明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも対応できる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る実施の形態の透明板の欠陥検出方法及びその装置を詳細に説明する。
【0018】
図1は実施の形態に係る液晶パネル用ガラス基板(透明板)の欠陥検出装置10が基板搬送装置12に設置された例を示す斜視図であり、図5〜図8に示した例と同一又は類似の部材については同一の符号を付して説明する。
【0019】
図1の基板搬送装置12は、図1上で矢印Aで示す基板搬送方向に対して直交方向に配置された多数本のローラコンベア14、14…が架台16に回転自在に支持されて構成されている。これらのローラコンベア14、14…はベルトやチェーン等の動力伝達系(不図示)を介して駆動モータ(不図示)に連結され、駆動モータからの動力によって回転駆動されることにより、ローラコンベア14、14…上に載置された液晶パネル用ガラス基板1が、板面と平行な矢印A方向に所定の速度で搬送される。前記駆動モータは、制御盤18によってON/OFF及び回転数等が制御されており、また、この制御盤18は、欠陥検出装置10を構成する光源2の光量やカメラ3の撮像タイミング等も制御しているので、多数枚の液晶パネル用ガラス基板1、1…を連続搬送しながら順次欠陥を検出できる。
【0020】
光源2は、照明部20と、この照明部20に複数本の光ファイバーケーブル22、22…を介して光を伝送するライト部24から構成されている。またカメラ3は、撮像手段としてCCDラインセンサを有し、CCDラインセンサからの画像信号が制御盤18に出力され、ここで画像処理されて欠陥の有無が検出される。なお、欠陥検出装置10の基板搬送方向上流側には、液晶パネル用ガラス基板1の上面及び下面に清浄度の高いエアーを噴射かつ吸入するエアークリーナ(不図示)が配置されている。これらのエアークリーナーから噴射されるエアーによって、液晶パネル用ガラス基板1の上面及び下面に付着した塵等が除去された後、欠陥検出装置10によって液晶パネル用ガラス基板1の欠陥の有無が検出される。
【0021】
欠陥検出装置10は、搬送装置12によって搬送される液晶パネル用ガラス基板1の上面(一方面)側に、光源2及び4台の反射光検知用のカメラ3、3…を設けるとともに、液晶パネル用ガラス基板1の下面(他方面)側に所定量(例えば、1〜2mm)離間させて表面ミラー(ミラー)4を設置することにより構成される。
【0022】
図1の要部拡大図である図2に示すように、表面ミラー4は、搬送される液晶パネル用ガラス基板1の板面と平行に設置される。また、表面ミラー4と液晶パネル用ガラス基板1との離間距離を1〜2mmの極至近に設定することにより、被写界深度を深くする必要がなくなるため、カメラ3の絞りを大きく開けることができ十分な光量が得られる。なお、表面ミラー4近傍での液晶パネル用ガラス基板1の搬送を、ローラコンベア14、14…の代わりに、エアフロート機構(不図示)とすれば、振動が抑制されるため、ガラス基板1と表面ミラー4とを、例えば、0.5〜1mm程度まで近づけて設置することもでき、感度がさらに向上するとともに、表面ミラー4と欠陥の間の距離が安定するために、板厚方向の欠陥位置測定精度がさらに向上する。
【0023】
カメラ3として、前述の如くCCDラインセンサを用いる場合、光源2は、液晶パネル用ガラス基板1の上面に向かって斜め方向に、照明光を液晶パネル用ガラス基板1の幅方向(図3において紙面に直交する方向)に延びる帯状に照射するように、シリンドリカルレンズ等の不図示の光学系を用いて構成される。また、カメラ3は、液晶パネル用ガラス基板1の上面で正反射する光源2の照明光がカメラ3に入射するように、液晶パネル用ガラス基板1の幅方向に沿って配置される。さらに、表面ミラー4は図3の如く、カメラ3が液晶パネル用ガラス基板1を通してミラーの反射で光源2または光源2付近を撮像できる位置に配置される。
【0024】
液晶パネル用ガラス基板1の欠陥を検出する際には、光源2から液晶パネル用ガラス基板1の上面に向かって照明光を照射するとともに、カメラ3で液晶パネル用ガラス基板1における光源2の照明光の反射部分を撮像する。
【0025】
液晶パネル用ガラス基板1の上面あるいは下面に凹凸が形成されていたり、液晶パネル用ガラス基板1の内部に泡状の空隙が形成されていたり、液晶パネル用ガラス基板1の上面あるいは下面に付着物が存在していたり、液晶パネル用ガラス基板1に亀裂が生じたりしていると、これらの欠陥部分より光源2の照明光が屈折、散乱、反射あるいは遮光され、欠陥部分が暗部または明点としてカメラ3で撮像されることになる。
【0026】
この際、光源2からの照明光が、液晶パネル用ガラス基板1の上面または内部の欠陥により屈折、散乱、反射あるいは遮光され、カメラ3で暗点または明点(直接検出像の暗点または明点)として検知され、また、同一の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光した光が、液晶パネル用ガラス基板1の裏面で反射して、カメラ3で暗点または明点(裏面反射検出像の暗点または明点)として検知され、さらに同一の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光した光が、表面ミラー4の表面で反射して、カメラ3で暗点または明点(今後、ミラー反射検出像の暗点または明点と呼ぶ)として検知され、同一の欠陥から合わせて3つの明点または暗点が検知される。
【0027】
すなわち、図3のA点で検出される直接検出像は、C´、C、F、E、D、A点付近を通った光線と、B´、B、D、A点付近を通った光線とA´、A点付近を通った光線が寄与する。この場合、B´、B、D、A点付近を通った光線はD点付近での反射率が4%程度のため、カメラ3に到達する光量は光源B´から出た光の4%程度に小さくなっている。またA´、A点付近を通った光線が反射する光も、A点付近での反射率が4%程度のため、カメラ3に到達する光量は、A´から出た光の4%程度と小さくなっている。しかしC´、C、F、E、D、A点付近を通った光は、各点でのガラス透過率が大きく(通常の透明なガラスでは透過率は約96%程度)、ミラー反射率も大きい(通常のミラーの反射率は約90%程度)ため、カメラ3に到達する光量はC´から出た光の76%程度(=C点の透過率96%×F点の透過率96%×E点の反射率90%×D点の透過率96%×A点の透過率96%)であり、A点で検出される直接検出像に寄与する光は、大部分がC´、C、F、E、D、A点付近を通った光になる。
【0028】
図3のD点での裏面反射を通して検出されるB点の裏面反射検出像は、B´、B点付近を通った光線が寄与する。しかしB´、B、D、A点付近を通ってカメラ3に到達する光はD点付近での反射率が4%程度のため、A点で検出される直接検出像に比べて少ない。
【0029】
図3のE点でのミラー反射を通して検出されるC点のミラー反射検出像は、C´、C点を通った光線だけが寄与する。C´、C、F、E、D、A点付近を通ってカメラ3に到達する光は、前述した通りC´から出た光の76%程度であり、直接検出像とほぼ同じ光量となる。このように、ミラー反射検出像は、A点で検出される直接検出像の暗点または明点とほぼ同じコントラストになり、裏面反射検出像の暗点または明点のコントラストに比べ、非常に強い。
【0030】
そのためカメラ3を適正な感度に設定すれば、A点で検出される直接検出像の暗点または明点及びミラー反射検出像の暗点または明点のみを安定的に検出し、この2点間(例えば、直接検出像の明点とミラー反射検出像の明点との間)の距離、液晶パネル用ガラス基板1の板厚、液晶パネル用ガラス基板1と表面ミラー4の間隔、ガラス屈折角から、欠陥の板厚方向の位置を求めることができる。
【0031】
また、カメラ視野入射角をブリュースター角(液晶パネル用ガラス基板1はガラスなので32°)に設定若しくは略等しくなるように設定し、カメラ3の前に偏光板5を設置してP偏光のみ検出することにより、裏面反射像の暗点または明点のコントラストをさらに低減させて、直接検出像、ミラー反射検出像のみをより安定的に検出することが可能である。
【0032】
また、図5に示す従来の方法では、前述のようにA点で検出される直接検出像でも液晶パネル用ガラス基板1に入射した光の8%程度しかカメラ3に到達しないが、本方法の場合は図3のC´、C、F、E、D、A点付近の光線は前述の通り液晶パネル用ガラス基板1に入射した光の76%程度がカメラ3に到達しており、従来の方法に比べて撮像した画像を明るくすることができる。
【0033】
また、図4の如く、液晶パネル用ガラス基板1の裏面近傍に欠陥Sがある場合、液晶パネル用ガラス基板1と表面ミラー4との間隔を離すように設定して、直接検出像の暗点または明点と、ミラー反射検出像の暗点または明点とが重なりにくくでき、板厚方向の欠陥位置及び欠陥の大きさをより高精度に求めることができる。また、液晶パネル用ガラス基板1と表面ミラー4とを離した方が、液晶パネル用ガラス基板1の搬送中に振動等によって表面ミラー4と接触するおそれが小さくなる。ただし、この場合、焦点深度が深くなることにより、感度が多少低下する。
【0034】
また、前述したようにこの光学系では、図3のB´、B点の光線、A´、A点の光線はカメラ3に到達する光量がC´、C点付近の光線に比べて少ないので、カメラ3は基本的には、C´点のみを撮像しているのと同等の状態である。このため、明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも対応できる。
【0035】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の透明板の欠陥検出方法及びその装置においては、下記のような種々の優れた効果を奏し得る。
(1)欠陥の直接検出像、ミラー反射検出像を安定的に検出することにより、安定的に板厚方向の欠陥位置を求めることができる。
(2)裏面近傍に欠陥がある場合でも、透明板と表面ミラーとの間隔を離すように設定して、直接検出像の暗点または明点と、ミラー反射検出像の暗点または明点とが重なりにくくでき、板厚方向の欠陥位置と欠陥の大きさを高精度に求めることができる。
(3)従来の反射光学系に比べ、より明るい撮像画像が得られる。
(4)明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも反射光学系で構成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態の透明板の欠陥検出装置が適用された基板搬送装置の斜視図
【図2】図1に示した基板搬送装置の要部拡大図
【図3】液晶パネル用ガラス基板の欠陥検出装置の実施の形態の例を示す概念図
【図4】液晶パネル用ガラス基板の裏面近傍に欠陥がある場合の検査例を示す概念図
【図5】従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【図6】従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【図7】従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【図8】明暗の境界を撮像する従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【符号の説明】
1…液晶パネル用ガラス基板(透明板)、2…光源、2´…明暗境界のある光源、3…カメラ、4…表面ミラー、5…偏光板、A…表面欠陥の直接検出像の検出位置、A´…表面欠陥の直接像検出位置で正反射してカメラが撮像している光源表面位置、B…表面欠陥の裏面反射検出像の検出位置、B´…表面欠陥の裏面反射検出像検出の際、カメラが撮像している光源表面位置、C…表面欠陥のミラー反射検出像の検出位置、C´…表面欠陥のミラー反射検出像検出の際、カメラが撮像している光源表面位置、D…裏面反射位置、E…表面ミラー反射位置、F…CE間を通る光線とガラス裏面との交点
【発明の属する技術分野】
本発明は透明板の欠陥検出方法及びその装置に係り、特に透明ガラス基板の品質検査に用いる欠陥検出方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、液晶パネルに用いるガラス基板において、板厚方向の欠陥の位置を検出するために、図5に示すような欠陥検出装置を本願出願人は提案している(例えば、特許文献1)。
【0003】
この欠陥検出装置は、光源2と複数台の反射光検知用カメラ3とからなる検出器を有し、この検出器は、透明板1の搬送経路の上側に設置されている。
【0004】
カメラ3として、ラインセンサを有するカメラを用いた場合、光源2は、透明板1の上面に向かって斜め方向に、照明光を透明板1の幅方向(図5において紙面に直交する方向)に延びる帯状に照射するように構成される。またラインセンサは、透明板1で正反射する帯状の照明光を受光するように、その長手方向が透明板1の幅方向に沿うように配置される。
【0005】
透明板1の欠陥を検出する際には、光源2から透明板1の上面に向かって照明光を照射するとともに、カメラ3で透明板1における光源2の照明光の反射部分を撮像する。
【0006】
透明板1の上面あるいは下面に凹凸部が生じていたり、透明板1の内部に泡状の空隙が形成されていたり、透明板1の上面あるいは下面に付着物が存在していたり、透明板1に亀裂が生じたりしていると、これらの欠陥部分より光源2の照明光が屈折、散乱、反射あるいは遮光され、欠陥部分が正常部分と比較して暗部または明部として撮像される。
【0007】
この際、光源2からの照明光が透明板1の上面または内部の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光され、カメラ3で暗点または明点(今後、直接検出像の暗点または明点と呼ぶ)として検知される。この時の光線経路は、例えば、透明板1の上面での反射光を直接検出する場合には、光源2→A´→A→カメラ3である。またこの場合、同一の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光した光が、透明板1の裏面で反射して、カメラ3で暗点または明点(今後、裏面反射検出像の暗点または明点と呼ぶ)として検知される。この時の光線経路は、光源2→B´→B→D→A→カメラ3である。以上により、二つの暗点または明点の距離と透明板1の板厚、ガラス屈折角から、欠陥の板厚方向の位置を求めることができる。
【0008】
【特許文献1】
特開平11−316195号公報 (第5頁 図1)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の欠陥検出装置は、図6(A)に示すようにカメラ3で検知される欠陥Sの直接検出像の暗点または明点に比べ、図6(B)に示す裏面反射を通して検出される裏面反射検出像の暗点または明点は、コントラストが低く検出感度が低いため、裏面反射検出像を安定して検出することが難しかった。
【0010】
また、図7の如く透明板1の裏面近傍に内部欠陥Sが存在する場合は、直接検出像と裏面反射検出像のそれぞれの暗点または明点の距離が短く、2つの暗点または明点が重なってしまい1つの大きな点と誤認識される場合もあった。
【0011】
さらに、反射方式で欠陥を検知する光学系(反射光学系)の場合、ガラスのように光反射率が小さいもの(反射率4%程度)を検査対象にしている場合は、直接検出像の場合で表面反射と裏面反射を合わせても透明板1に入射した光量の8%程度しかカメラ3に到達せず、透過方式で欠陥を検知する光学系(透過光学系)の検査に比べて撮像した画像が暗くなる問題もあった。
【0012】
また、図8の如く明暗の境界を撮像する場合のように、光源2´とカメラ3の相対位置を精密に配置する必要のある光学系を構成する場合、前述した反射光学系では、カメラ3が明暗の境界である光源表面上のA´だけでなく、同時にB´の位置も撮像してしまうため、反射光学系で構成することが困難であった。
【0013】
本発明は、従来からある反射方式の検出器に見られた上記の問題に鑑み、裏面反射検出像を安定して検出でき、板厚方向の欠陥位置と欠陥の大きさを高精度に求めることができ、従来の反射光学系に比べ、より明るい撮像画像が得られ、明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも対応できる反射光学系で構成された透明板の欠陥検出方法及びその装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、透明板の一方面に対し、カメラと光源とが斜め方向に対向配置され、該透明板の他方面に対しミラーが所定量離間して配置され、該ミラーは、前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置に配置されていることを特徴とする。
【0015】
また、本発明は、前記目的を達成するために、透明板の一方面に対し、ブリュースター角にほぼ等しい角度をなすようにカメラと光源とが対向配置され、該透明板の他方面に対しミラーが所定量離間して配置され、該ミラーは、前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置に配置され、前記カメラと前記光源の光線経路の間には、偏光板が配置されていることを特徴とする。
【0016】
本発明によれば、カメラが透明板を通してミラーの反射で光源または光源の近傍を撮像できるようにミラーを配置することで、裏面反射検出像(ミラー反射検出像)を安定して検出することができ、裏面近傍の欠陥でも直接検出像の明点または暗点と裏面反射像の明点または暗点とが重なりにくくなるので、板厚方向の欠陥位置と欠陥の大きさを高精度に求めることができ、従来の反射光学系に比べ、より明るい撮像画像が得られ、明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも対応できる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る実施の形態の透明板の欠陥検出方法及びその装置を詳細に説明する。
【0018】
図1は実施の形態に係る液晶パネル用ガラス基板(透明板)の欠陥検出装置10が基板搬送装置12に設置された例を示す斜視図であり、図5〜図8に示した例と同一又は類似の部材については同一の符号を付して説明する。
【0019】
図1の基板搬送装置12は、図1上で矢印Aで示す基板搬送方向に対して直交方向に配置された多数本のローラコンベア14、14…が架台16に回転自在に支持されて構成されている。これらのローラコンベア14、14…はベルトやチェーン等の動力伝達系(不図示)を介して駆動モータ(不図示)に連結され、駆動モータからの動力によって回転駆動されることにより、ローラコンベア14、14…上に載置された液晶パネル用ガラス基板1が、板面と平行な矢印A方向に所定の速度で搬送される。前記駆動モータは、制御盤18によってON/OFF及び回転数等が制御されており、また、この制御盤18は、欠陥検出装置10を構成する光源2の光量やカメラ3の撮像タイミング等も制御しているので、多数枚の液晶パネル用ガラス基板1、1…を連続搬送しながら順次欠陥を検出できる。
【0020】
光源2は、照明部20と、この照明部20に複数本の光ファイバーケーブル22、22…を介して光を伝送するライト部24から構成されている。またカメラ3は、撮像手段としてCCDラインセンサを有し、CCDラインセンサからの画像信号が制御盤18に出力され、ここで画像処理されて欠陥の有無が検出される。なお、欠陥検出装置10の基板搬送方向上流側には、液晶パネル用ガラス基板1の上面及び下面に清浄度の高いエアーを噴射かつ吸入するエアークリーナ(不図示)が配置されている。これらのエアークリーナーから噴射されるエアーによって、液晶パネル用ガラス基板1の上面及び下面に付着した塵等が除去された後、欠陥検出装置10によって液晶パネル用ガラス基板1の欠陥の有無が検出される。
【0021】
欠陥検出装置10は、搬送装置12によって搬送される液晶パネル用ガラス基板1の上面(一方面)側に、光源2及び4台の反射光検知用のカメラ3、3…を設けるとともに、液晶パネル用ガラス基板1の下面(他方面)側に所定量(例えば、1〜2mm)離間させて表面ミラー(ミラー)4を設置することにより構成される。
【0022】
図1の要部拡大図である図2に示すように、表面ミラー4は、搬送される液晶パネル用ガラス基板1の板面と平行に設置される。また、表面ミラー4と液晶パネル用ガラス基板1との離間距離を1〜2mmの極至近に設定することにより、被写界深度を深くする必要がなくなるため、カメラ3の絞りを大きく開けることができ十分な光量が得られる。なお、表面ミラー4近傍での液晶パネル用ガラス基板1の搬送を、ローラコンベア14、14…の代わりに、エアフロート機構(不図示)とすれば、振動が抑制されるため、ガラス基板1と表面ミラー4とを、例えば、0.5〜1mm程度まで近づけて設置することもでき、感度がさらに向上するとともに、表面ミラー4と欠陥の間の距離が安定するために、板厚方向の欠陥位置測定精度がさらに向上する。
【0023】
カメラ3として、前述の如くCCDラインセンサを用いる場合、光源2は、液晶パネル用ガラス基板1の上面に向かって斜め方向に、照明光を液晶パネル用ガラス基板1の幅方向(図3において紙面に直交する方向)に延びる帯状に照射するように、シリンドリカルレンズ等の不図示の光学系を用いて構成される。また、カメラ3は、液晶パネル用ガラス基板1の上面で正反射する光源2の照明光がカメラ3に入射するように、液晶パネル用ガラス基板1の幅方向に沿って配置される。さらに、表面ミラー4は図3の如く、カメラ3が液晶パネル用ガラス基板1を通してミラーの反射で光源2または光源2付近を撮像できる位置に配置される。
【0024】
液晶パネル用ガラス基板1の欠陥を検出する際には、光源2から液晶パネル用ガラス基板1の上面に向かって照明光を照射するとともに、カメラ3で液晶パネル用ガラス基板1における光源2の照明光の反射部分を撮像する。
【0025】
液晶パネル用ガラス基板1の上面あるいは下面に凹凸が形成されていたり、液晶パネル用ガラス基板1の内部に泡状の空隙が形成されていたり、液晶パネル用ガラス基板1の上面あるいは下面に付着物が存在していたり、液晶パネル用ガラス基板1に亀裂が生じたりしていると、これらの欠陥部分より光源2の照明光が屈折、散乱、反射あるいは遮光され、欠陥部分が暗部または明点としてカメラ3で撮像されることになる。
【0026】
この際、光源2からの照明光が、液晶パネル用ガラス基板1の上面または内部の欠陥により屈折、散乱、反射あるいは遮光され、カメラ3で暗点または明点(直接検出像の暗点または明点)として検知され、また、同一の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光した光が、液晶パネル用ガラス基板1の裏面で反射して、カメラ3で暗点または明点(裏面反射検出像の暗点または明点)として検知され、さらに同一の欠陥により屈折、散乱、反射または遮光した光が、表面ミラー4の表面で反射して、カメラ3で暗点または明点(今後、ミラー反射検出像の暗点または明点と呼ぶ)として検知され、同一の欠陥から合わせて3つの明点または暗点が検知される。
【0027】
すなわち、図3のA点で検出される直接検出像は、C´、C、F、E、D、A点付近を通った光線と、B´、B、D、A点付近を通った光線とA´、A点付近を通った光線が寄与する。この場合、B´、B、D、A点付近を通った光線はD点付近での反射率が4%程度のため、カメラ3に到達する光量は光源B´から出た光の4%程度に小さくなっている。またA´、A点付近を通った光線が反射する光も、A点付近での反射率が4%程度のため、カメラ3に到達する光量は、A´から出た光の4%程度と小さくなっている。しかしC´、C、F、E、D、A点付近を通った光は、各点でのガラス透過率が大きく(通常の透明なガラスでは透過率は約96%程度)、ミラー反射率も大きい(通常のミラーの反射率は約90%程度)ため、カメラ3に到達する光量はC´から出た光の76%程度(=C点の透過率96%×F点の透過率96%×E点の反射率90%×D点の透過率96%×A点の透過率96%)であり、A点で検出される直接検出像に寄与する光は、大部分がC´、C、F、E、D、A点付近を通った光になる。
【0028】
図3のD点での裏面反射を通して検出されるB点の裏面反射検出像は、B´、B点付近を通った光線が寄与する。しかしB´、B、D、A点付近を通ってカメラ3に到達する光はD点付近での反射率が4%程度のため、A点で検出される直接検出像に比べて少ない。
【0029】
図3のE点でのミラー反射を通して検出されるC点のミラー反射検出像は、C´、C点を通った光線だけが寄与する。C´、C、F、E、D、A点付近を通ってカメラ3に到達する光は、前述した通りC´から出た光の76%程度であり、直接検出像とほぼ同じ光量となる。このように、ミラー反射検出像は、A点で検出される直接検出像の暗点または明点とほぼ同じコントラストになり、裏面反射検出像の暗点または明点のコントラストに比べ、非常に強い。
【0030】
そのためカメラ3を適正な感度に設定すれば、A点で検出される直接検出像の暗点または明点及びミラー反射検出像の暗点または明点のみを安定的に検出し、この2点間(例えば、直接検出像の明点とミラー反射検出像の明点との間)の距離、液晶パネル用ガラス基板1の板厚、液晶パネル用ガラス基板1と表面ミラー4の間隔、ガラス屈折角から、欠陥の板厚方向の位置を求めることができる。
【0031】
また、カメラ視野入射角をブリュースター角(液晶パネル用ガラス基板1はガラスなので32°)に設定若しくは略等しくなるように設定し、カメラ3の前に偏光板5を設置してP偏光のみ検出することにより、裏面反射像の暗点または明点のコントラストをさらに低減させて、直接検出像、ミラー反射検出像のみをより安定的に検出することが可能である。
【0032】
また、図5に示す従来の方法では、前述のようにA点で検出される直接検出像でも液晶パネル用ガラス基板1に入射した光の8%程度しかカメラ3に到達しないが、本方法の場合は図3のC´、C、F、E、D、A点付近の光線は前述の通り液晶パネル用ガラス基板1に入射した光の76%程度がカメラ3に到達しており、従来の方法に比べて撮像した画像を明るくすることができる。
【0033】
また、図4の如く、液晶パネル用ガラス基板1の裏面近傍に欠陥Sがある場合、液晶パネル用ガラス基板1と表面ミラー4との間隔を離すように設定して、直接検出像の暗点または明点と、ミラー反射検出像の暗点または明点とが重なりにくくでき、板厚方向の欠陥位置及び欠陥の大きさをより高精度に求めることができる。また、液晶パネル用ガラス基板1と表面ミラー4とを離した方が、液晶パネル用ガラス基板1の搬送中に振動等によって表面ミラー4と接触するおそれが小さくなる。ただし、この場合、焦点深度が深くなることにより、感度が多少低下する。
【0034】
また、前述したようにこの光学系では、図3のB´、B点の光線、A´、A点の光線はカメラ3に到達する光量がC´、C点付近の光線に比べて少ないので、カメラ3は基本的には、C´点のみを撮像しているのと同等の状態である。このため、明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも対応できる。
【0035】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の透明板の欠陥検出方法及びその装置においては、下記のような種々の優れた効果を奏し得る。
(1)欠陥の直接検出像、ミラー反射検出像を安定的に検出することにより、安定的に板厚方向の欠陥位置を求めることができる。
(2)裏面近傍に欠陥がある場合でも、透明板と表面ミラーとの間隔を離すように設定して、直接検出像の暗点または明点と、ミラー反射検出像の暗点または明点とが重なりにくくでき、板厚方向の欠陥位置と欠陥の大きさを高精度に求めることができる。
(3)従来の反射光学系に比べ、より明るい撮像画像が得られる。
(4)明暗の境界を撮像する場合のように光源とカメラの相対位置を精密に配置する必要のある場合にも反射光学系で構成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態の透明板の欠陥検出装置が適用された基板搬送装置の斜視図
【図2】図1に示した基板搬送装置の要部拡大図
【図3】液晶パネル用ガラス基板の欠陥検出装置の実施の形態の例を示す概念図
【図4】液晶パネル用ガラス基板の裏面近傍に欠陥がある場合の検査例を示す概念図
【図5】従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【図6】従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【図7】従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【図8】明暗の境界を撮像する従来の反射方式の欠陥検出器の一例を示す概念図
【符号の説明】
1…液晶パネル用ガラス基板(透明板)、2…光源、2´…明暗境界のある光源、3…カメラ、4…表面ミラー、5…偏光板、A…表面欠陥の直接検出像の検出位置、A´…表面欠陥の直接像検出位置で正反射してカメラが撮像している光源表面位置、B…表面欠陥の裏面反射検出像の検出位置、B´…表面欠陥の裏面反射検出像検出の際、カメラが撮像している光源表面位置、C…表面欠陥のミラー反射検出像の検出位置、C´…表面欠陥のミラー反射検出像検出の際、カメラが撮像している光源表面位置、D…裏面反射位置、E…表面ミラー反射位置、F…CE間を通る光線とガラス裏面との交点
Claims (5)
- 透明板の一方面に対し斜め方向にカメラと光源とを対向配置し、該透明板の他方面に対しミラーを所定量離間して配置するとともに前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置にミラーを配置することにより透明板の欠陥検出装置を構成し、
前記光源によって透明板を照射し、前記カメラが前記ミラーで反射した光源または光源の近傍を撮像することにより、透明板の欠陥を検出することを特徴とする透明板の欠陥検出方法。 - 透明板の一方面に対しブリュースター角にほぼ等しい角度をなすようにカメラと光源とを対向配置し、該透明板の他方面に対しミラーを所定量離間して配置するとともに前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置にミラーを配置し、前記カメラと前記光源の光線経路の間に偏光板を配置することにより透明板の欠陥検出装置を構成し、
前記光源によって透明板を照射し、前記カメラが前記ミラーで反射した光源または光源の近傍を前記偏光板を介して撮像することにより、透明板の欠陥を検出することを特徴とする透明板の欠陥検出方法。 - 透明板の一方面に対し、カメラと光源とが斜め方向に対向配置され、
該透明板の他方面に対しミラーが所定量離間して配置され、
該ミラーは、前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置に配置されていることを特徴とする透明板の欠陥検出装置。 - 透明板の一方面に対し、ブリュースター角にほぼ等しい角度をなすようにカメラと光源とが対向配置され、
該透明板の他方面に対しミラーが所定量離間して配置され、
該ミラーは、前記カメラが前記透明板を通してミラーの反射により前記光源または光源の近傍を撮像することができる位置に配置され、
前記カメラと前記光源の光線経路の間には、偏光板が配置されていることを特徴とする透明板の欠陥検出装置。 - 前記透明板の欠陥検出装置は、透明板をその板面と平行方向に搬送する搬送路の所定位置に設けられたことを特徴とする請求項3又は4に記載の透明板の欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003036934A JP2004246171A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | 透明板の欠陥検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003036934A JP2004246171A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | 透明板の欠陥検出方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004246171A true JP2004246171A (ja) | 2004-09-02 |
Family
ID=33021884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003036934A Pending JP2004246171A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | 透明板の欠陥検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004246171A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011007497A (ja) * | 2008-06-17 | 2011-01-13 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板の輝度ムラ評価方法、及びディスプレイ用ガラス基板の製造方法、並びに輝度ムラが発生し難いディスプレイ用ガラス基板 |
CN107727661A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-02-23 | 中国科学院光电研究院 | 确定透明材料表面瑕疵/污渍所在位置的装置和方法 |
CN107764834A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-03-06 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种自动检测透明零件表面缺陷的装置及其检测方法 |
JP2021085658A (ja) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | 株式会社Ihi | 異物検出装置および異物検出方法 |
CN116539525A (zh) * | 2022-11-18 | 2023-08-04 | 苏州正齐半导体设备有限公司 | 检查电子元件内部缺陷的装置及方法 |
-
2003
- 2003-02-14 JP JP2003036934A patent/JP2004246171A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011007497A (ja) * | 2008-06-17 | 2011-01-13 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板の輝度ムラ評価方法、及びディスプレイ用ガラス基板の製造方法、並びに輝度ムラが発生し難いディスプレイ用ガラス基板 |
CN107727661A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-02-23 | 中国科学院光电研究院 | 确定透明材料表面瑕疵/污渍所在位置的装置和方法 |
CN107764834A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-03-06 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种自动检测透明零件表面缺陷的装置及其检测方法 |
CN107764834B (zh) * | 2017-12-07 | 2024-06-11 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种自动检测透明零件表面缺陷的装置及其检测方法 |
JP2021085658A (ja) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | 株式会社Ihi | 異物検出装置および異物検出方法 |
JP7358937B2 (ja) | 2019-11-25 | 2023-10-11 | 株式会社Ihi | 異物検出装置および異物検出方法 |
CN116539525A (zh) * | 2022-11-18 | 2023-08-04 | 苏州正齐半导体设备有限公司 | 检查电子元件内部缺陷的装置及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101300132B1 (ko) | 평판 유리 이물질 검사 장치 및 검사 방법 | |
JP5559163B2 (ja) | 多結晶ウエハの検査方法 | |
KR100996335B1 (ko) | 복합 구조의 불일치를 검사하기 위한 장치 및 방법 | |
TW201009324A (en) | Defect inspecting system, and defect inspecting method | |
TW201502498A (zh) | 檢查系統 | |
JP2015040835A (ja) | 透明板状体の欠点検査装置及び欠点検査方法 | |
JP2002062267A (ja) | 欠点検査装置 | |
JP4362335B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2009216628A (ja) | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
JP2008026060A (ja) | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 | |
JP2006071284A (ja) | ガラス基板欠陥の表裏識別方法 | |
JP2001201429A (ja) | 検査基体の欠陥検査方法および装置 | |
JP2004309287A (ja) | 欠陥検出装置、および欠陥検出方法 | |
JPH11316195A (ja) | 透明板の表面欠陥検出装置 | |
JP2004246171A (ja) | 透明板の欠陥検出方法及びその装置 | |
JP2010281772A (ja) | シート状透明体の凹凸を主とした欠陥検査方法 | |
JP2020085587A (ja) | ガラス板の製造方法、及びガラス板の製造装置 | |
JP2003202300A (ja) | 壜底異物検査装置 | |
JP3224083B2 (ja) | 板ガラスの欠点検出方法およびその装置 | |
KR101280569B1 (ko) | 기판검사장치 | |
JP2012168133A (ja) | 卵検査装置 | |
JP2002014058A (ja) | 検査方法及び装置 | |
JP2011043415A (ja) | ガラス板面の付着物の検出方法および装置 | |
KR101103347B1 (ko) | 평판 유리 표면 이물질 검사 장치 | |
JP2005156416A (ja) | ガラス基板の検査方法及びガラス基板の検査装置 |