JP4362335B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
一定の関係位置に配置されている投光部と受光部とで構成された光学系と、前記板状透明体と前記光学系とが一定の方向に相対的に移動可能なように前記板状透明体又は前記光学系のうちの何れか一方を移動可能にする移動機構と、判断部と、を有し、前記投光部は前記板状透明体にレーザー光を投光可能なように構成されていて、前記受光部は前記レーザー光のうち前記板状透明体の表面から正反射した表面正反射光と裏面から正反射した裏面正反射光とを受光して画像を形成可能なように構成されていて、前記判断部は、前記受光部が形成した前記画像を取り入れて該画像が異常画像として前記不良部を含んでいるときに前記異常画像が一ヶ所又は所定の短時間内に前記一定の方向に二カ所もしくは三ヶ所にあるとそれぞれ前記裏面又は前記表面と前記裏面との中間もしくは前記表面に前記不良部があったものと判断することを特徴とする。
検査装置は、板状透明体としてのプラズマディスプレイや液晶ディスプレイ用のガラス基板等からなるガラス板Wのきずや歪みや異物や気泡等の不良部である欠陥Dを検査するための装置であり、投光部としてのレーザーマーカー1と受光部としてのCCDカメラ2とで構成された光学系3、移動機構としてのライン搬送装置4、判断部としての画像処理装置5、等で構成されている。
図2(a)は、表面側のレーザー光のみを対象とし、ガラス板Wが縦Y方向に移動して来て図1に示すA位置にあった表面の欠陥Dfがレーザーマーカー1の表面照射位置Qに到達したときのレーザー光の状態を示していると共に、ガラス板Wの縦Y方向において欠陥Dfの前後で欠陥Dfのない位置A1 及びA2 が位置Qを通過してそこでレーザー光を照射されたときのレーザー光の状態を位置Qの前後に仮想的に示している。そして、CCDカメラ2で撮影した欠陥Df及びその前後の画像データを画像処理装置5の画像メモリ部51に取り込んだときのX−Y平面状態を同図(d)の上の図の画像f1 として示している。
図5(a)は、図2の(a)及び(b)のP2 及びP1 位置の画像である。図において黒地の中の白く厚みのある部分は正反射光の当たった部分を示し、その中の小さい黒い部分は正反射光が散乱して光が殆ど当たっていない表面欠陥Dfを示し、これを含む画像が二カ所の位置に現れている。なお、上下の映像はそれぞれP2 及びP1 位置のものである。白い部分は欠陥Dfを中心としてX方向に約10mmの長さになっている。従って、レーザー光を、スポット光でなく10mmの長さを持つライン状の光にしても、欠陥Dfが確実に撮像されることが確認された。図5(b)は、ガラス板Wを少し移動させた図2の(c)のP2 及びP1 位置の画像である。欠陥Dfは裏面正反射光側の一ヶ所だけに現れている。従って、表面欠陥Dfでは、同時に二カ所に二回撮像されると共に小時間遅れて一ヶ所に1回、合計三ヶ所に三回撮像されることも明らかになった。
本例の検査装置は、寸法Ws=1200mm角のガラス板Wを対象とした装置であり、34台のレーザーマーカー1及び24台のCCDカメラ2で光学系3を構成している。なお、図ではこれらの相当部分の数を省略している。又、レーザー光Lと表面及び裏面正反射光M及びNのガラス板Wへの入射角及び反射角を45°にしているが、図では平面状態を示している。光路長S1 及びS2 はそれぞれ1064mm及び152mm である。
2 CCDカメラ(受光部)
3 光学系
4 ライン搬送装置(移動機構)
5 画像処理装置(判断部)
D,Df,Dr,Di 欠陥,表面,裏面及び中間の欠陥(不良部)
F 表面
f1 ,f2 ,r1 ,r2 画像
H 表面
I 中間
L,L1 ,L2 レーザー光
M,Lm,M1 ,M2 表面正反射光
N,Ln,N1 ,N2 裏面正反射光
R 裏面
W ガラス板(板状透明体)
Y 縦方向(一定の方向)
t 所定の短時間
Claims (1)
- 板状透明体の不良部を検査するための検査装置において、
一定の関係位置に配置されている投光部と受光部とで構成された光学系と、前記板状透明体と前記光学系とが一定の方向に相対的に移動可能なように前記板状透明体又は前記光学系のうちの何れか一方を移動可能にする移動機構と、判断部と、を有し、前記投光部は前記板状透明体にレーザー光を投光可能なように構成されていて、前記受光部は前記レーザー光のうち前記板状透明体の表面から正反射した表面正反射光と裏面から正反射した裏面正反射光とを受光して画像を形成可能なように構成されていて、前記判断部は、前記受光部が形成した前記画像を取り入れて該画像が異常画像として前記不良部を含んでいるときに前記異常画像が一ヶ所又は所定の短時間内に前記一定の方向に二カ所もしくは三ヶ所にあるとそれぞれ前記裏面又は前記表面と前記裏面との中間もしくは前記表面に前記不良部があったものと判断することを特徴とする検査装置。
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