JPH0982766A - プロービング測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ペレットチェック工程時に発生するダストを
そのチェック工程時に同時に除去して測定の正確性を向
上させるとともに後の洗浄工程等を省略することができ
るプロービング測定装置を提供する。 【解決手段】 ステージ３に吸着されたウェハ４にプロ
ーブカード７の触手９を接触させてペレットチェックを
行うプロービング測定装置において、プローブカード７
の開口孔８上に吸引ノズル１３を配置し、その吸引ノズ
ル１３に吸引機を接続した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェハのペレットチェ
ックを行うプロービング測定装置に関する。より詳しく
は、ウェハにプローブカード（触手取付基板）に設けら
れた触手を接触させて電気的特性検査であるペレットチ
ェックを行うプロービング測定装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、液晶表示装置（ＬＣＤ）等の
半導体製品を作成する際に、ウェハ状態における電気的
特性検査として、ペレットチェック工程が行われる。こ
れは、例えば液晶装置における薄膜トランジスタ基板回
路が正常に作成されているかを判定する検査である。こ
の検査の対象となるウェハと電気的特性を検査する測定
器とは、何らかの電気的接続（あるいはこれに変わる手
段、例えば磁気的接続）を通して、電気回路を形成しな
ければならない。

【０００３】この場合に、一般的に測定器からウェハに
電気的接続を得るために、測定器側から物理的に触手を
ウェハに出して接触（コンタクト）を得る。この触手
は、タングステン等の金属で作られており、プローブ、
プローブピン、測定針、ペレットチェック針等と呼ばれ
ている。

【０００４】この触手は、ウェハが接触し始めると、ウ
ェハ上を滑るような動作をし、その動作を通じてウェハ
表面に自然に形成されている酸化膜等を削り取り、これ
により本来のウェハ上の電気回路と電気的接続（コンタ
クト）を取り、測定器が電気的検査を行う。

【０００５】そして、触手がウェハ表面の酸化膜等を削
り取ったもの（多くは金属）がダストとなる。量の多少
の差こそあれ、この測定の際のダストが発生するのは、
触手がウェハ表面を滑るような動作をする限り不可避な
ものである。

【０００６】従来技術においては、この発生したダスト
を除去するために、このペレットチェック工程後に水槽
等を使用した洗浄工程が施されていた。この洗浄工程を
通すことにより、ペレットチェック工程で発生したダス
トを除去し、ダストによって発生する電気的不良や液晶
装置であれば画質低下等を防止していた。

【０００７】従来のウェハ表面に付着したダスト除去手
段は、例えば特開平３−２４１７４２号公報や特開平７
−４５６８９号公報に記載されている。前者の公報記載
技術は、高圧水蒸気噴射ノズルを備えたスチーム槽と、
給水口及び水の噴射ノズルを備えた水洗槽との二槽構成
とすることにより、水洗時間を短縮し、水洗槽の攪拌に
よるダスト等の再付着防止を図るものである。また、後
者の公報記載技術は、イオンエアー吹出手段を有する携
帯型の真空ピンセットにより作業場所を選ばず任意の作
業環境下で半導体ウエハを搬送できるようにしたもので
ある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記公
報記載のダスト除去手段をウェハの検査工程で発生した
ダスト除去に用いようとすれば、前者の公報記載技術で
は高圧水蒸気設備や複雑な構造の水槽を必要とし、後者
の公報記載技術では携帯型のダスト除去用真空ピンセッ
トの他にイオン発生装置を必要とし、いずれの場合も全
体の構造が大掛かりで複雑な構造となり、スペース的な
問題が起こる。

【０００９】また、従来一般に行われているペレットチ
ェック後に水槽を使用し水でダストを除去する方法につ
いてみても、水槽を備えた大型の洗浄装置を必要とし、
装置のイニシャルコスト，維持費，水，電気代等の外に
装置設備スペース，洗浄に要する時間等が必要とされ、
生産性に問題があり、更には除去しようとするダストは
非常に微細なものであるため、この方法によるダスト除
去は確実なものとは言えず、製品の品質の向上，安定化
の上で障害となっている。

【００１０】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなさ
れたものであって、簡単な構造でペレットチェック工程
時に発生するダストをそのチェック工程時に同時に除去
して測定の正確性を向上させるとともに後の洗浄工程等
を省略することができるプロービング測定装置の提供を
目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の請求項１の発明は、ウェハを吸着したステージと、開
口孔に配設された触手を上記ウェハに接触させてペレッ
トチェックを行うプローブカードとを備えたプロービン
グ測定装置において、非接触のダスト除去手段を備えた
ことを特徴とする。

【００１２】請求項２の発明は、前記プローブカードの
開口孔上に吸引ノズルを配置し、該吸引ノズルに吸引機
を接続したことを特徴とする。

【００１３】請求項３の発明は、前記ウェハ上でかつ前
記プローブカードの開口孔下の側部に吸引ノズルを配置
し、該吸引ノズルに吸引機を接続したことを特徴とす
る。

【００１４】請求項４の発明は、前記プローブカードの
開口孔上に吹出ノズルを配置し、該吹出ノズルに吹出手
段を接続したことを特徴とする。

【００１５】請求項５の発明は、前記ウェハが吸着され
たステージを下側に向けて配置し、該ウェハの下にプロ
ーブカードの触手を上側に向けて配置したことを特徴と
する。

【００１６】請求項６の発明は、前記プローブカードの
開口孔下に吸引ノズルを配置し、該吸引ノズルに吸引機
を接続したことを特徴とする。

【００１７】請求項７の発明は、前記プローブカードの
開口孔下に吹出ノズルを配置し、該吹出ノズルに吹出手
段を接続したことを特徴とする。

【００１８】本発明によれば、プロービング測定装置に
おいて、非接触のダスト除去手段を講じたため、触手が
ウェハにコンタクトした測定状態のままダスト除去手段
によりウェハ等に存在するダストが除去される。非接触
とは例えば吸引あるいは気体の吹出しによるものであ
る。

【００１９】また、プローブカードの開口孔上に吸引ノ
ズルを配置し、該吸引ノズルに隔離して設けられた吸引
機を接続すれば、吸引機を作動させることにより吸引ノ
ズルでウェハおよびその周辺の空気が吸引されウェハ面
等に存在するダストが吸引されて除去される。

【００２０】さらに、ウェハ上でかつ前記プローブカー
ドの開口孔下の側部に吸引ノズルを配置し、その吸引ノ
ズルに隔離して設けられた吸引機を接続すれば、吸引機
を作動させて吸引ノズルによりウェハおよび周辺の空気
を吸引することによりウェハ面等に存在するダストが吸
引されて除去される。

【００２１】また、プローブカードの開口孔上に吹出ノ
ズルを配置し、該吹出ノズルに隔離して設けられた送風
機あるいは圧縮機等の吹出手段を接続すれば、吹出手段
を作動させて吹出ノズルから圧縮空気等を吹き出すこと
によりウェハ面等に存在するダストが吹き飛ばされて除
去される。

【００２２】さらに、ウェハが吸着されたステージを地
面側（下側）に向けて配置し、そのウェハの下に触手を
備えたプローブカードを上空（上側）に向けて配置すれ
ば、ウェハ面等に存在するダストが自重により落下して
除去される。

【００２３】加えて、前記プローブカードの開口孔下に
吸引ノズルを配置し、その吸引ノズルに隔離して設けら
れた吸引機を接続すれば、ウェハ面等に存在するダスト
が自重により落下し、合わせて吸引機を作動させること
により吸引ノズルでウェハおよびその周辺の空気が吸引
されウェハ面等に存在するダストが吸引されて確実に除
去される。

【００２４】また、前記プローブカードの開口孔下に吹
出ノズルを配置し、その吹出ノズルに隔離して設けられ
た吹出手段を接続すれば、ウェハ面等に存在するダスト
が自重により落下し、合わせて吹出手段を作動させるこ
とにより吹出ノズルから圧縮空気等が吹き出されてウェ
ハ面等に存在するダストが確実に除去される。

【００２５】

【実施例】図１は、本発明に係るプロービング測定装置
の第１の実施例の構成図である。このプロービング測定
装置は、プローバ（ウェハ搬送装置）によりウェハを所
定の位置に搬送し、プローブカードに備えた触手を接触
させてペレットチェックを行うものである。

【００２６】ウェハ搬送機１の筐体２内に設けたステー
ジ３上に、被測定物であるウェハ４が、例えば真空吸引
により吸着されて載置されている。

【００２７】ウェハ４が吸着されたステージ３の上方に
は、図に示すように検査装置（ペレットチェック部）５
が備わる。この検査装置５のスイッチングマトリックス
にプローブカード（触手取付基板）７が接続されてい
る。プローブカード７は、図３のように多数の端子３２
を有する円盤状の基板であり、中心部に開口孔８が穿設
されその開口孔８に複数本の測定ピン（プローブ）から
なる触手９が配設されている。

【００２８】この触手９は、前記ウェハ４側に突出して
配設され、ペレットチェック時には上昇移動されたウェ
ハ４の各パッド１０に図４のように接触してウェハ４の
測定が行われる。

【００２９】図２はプローブカード７の取付構造を示
す。上記プローブカード７は、アダプタ端子３０に装着
されケーブル１１を介してスイッチングマトリックス６
に設けた接続具１２に電気的に接続する。アダプタ端子
３０は図示しない連絡部材を介してスイッチングマトリ
ックス６側に機械的に支持されている。なお、図２で
は、後述の吸引ノズルを図示省略してある。このプロー
ブカードでの装着構造は以下の各実施例に共通である。

【００３０】プローブカード７の開口孔８の上には、ペ
レットチェック時に触手９がウェハ４表面に接触するこ
とにより生じたダスト（多くは金属）を除去するための
吸引ノズル１３が非接触状態で配置されいる。この吸引
ノズル１３は、ペレットチェック部５に設けられたノズ
ル固定兼遮光板１４，１５に支持され、また吸引ノズル
１３は、ダクト３１を介して離れた位置に設けられた真
空ポンプ等の吸引機（図示しない）に接続している。

【００３１】また、吸引ノズル１３のダクト３１への固
定部には、ダイアル摘み１７が設けられ、吸引力が調整
できるとともに吸引力が表示される。

【００３２】この吸引ノズル１３による吸引は、作動時
に一定値以上の吸引力を保持し、その吸引力は前記ダイ
アル摘み１７によって可変でき、勿論オン・オフもでき
る。この吸引ノズルによる吸引は、その動作機構によっ
て、測定中、測定の直前・直後に、ウェハ４の存在の有
無等あるいは動作を制御するソフト的な方法等により吸
引を作動制御させ、接触測定によって発生したダストを
吸引排除する。

【００３３】また、吸引ノズル１３の先端は、その形状
をプローブカード７の開口孔８の形状に応じて適切な形
状にし、触手９を設けたプローブカード７に傷を付けた
りしないように、またプローブカード７にできるだけ近
づけるような構造にすることが望ましい。

【００３４】そして、ウェハ４を吸着したステージ３を
上昇させてプローブカード７の触手９に接触させてペレ
ットチェックを行う際に、吸引機を作動させて吸引ノズ
ル１３により吸引すれば、ダストが発生する部分を集中
的に効果的に、真空吸引力によって排除することができ
る。

【００３５】この吸引除去による除去効果は、水洗方式
と比べ格段に管理し易く、ウェハ４へのダストの新たな
接触はないので、ウェハ４への傷付けの可能性がない。
しかも、適切な吸引力で除去すれば、完全なダスト除去
が可能であり、測定と同時並行して除去を行うことがで
きるので、測定後のウェハ４の洗浄の装置，時間，工程
等が全く不必要であり、これらに付随する費用等も不要
である。

【００３６】また、構造が簡単であり、特に特殊な装置
を必要とせず、装置自体も小型である。この除去方式に
よる実験結果から、ウェハ４への帯電はなく、測定値へ
の影響の問題もない。また、従来触手９に付着していた
ダストも吸引除去され、常に触手９はクリーンな状態に
保たれ、測定の正確性の向上が図られるとともにメンテ
ナンスの省略化、プローブカード７の長寿命化が図られ
る。

【００３７】図５は、本発明に係るプロービング測定装
置の第２の実施例の構成図である。被測定物であるウェ
ハ４の配置およびペレットチェックを行うプローブカー
ド７の配置は、前記実施例と同様である。

【００３８】この実施例は、上記ウェハ４の上方でかつ
前記プローブカード７の開口孔８の下側の側部に吸引ノ
ズル１８を配置し、該吸引ノズル１８にダクト３１を介
して離れた場所に設けられた吸引機を接続した構造のプ
ロービング測定装置である。この装置の吸引ノズル１８
の支持部には、第１実施例と同様にダイアル摘み１７が
設けられ、吸引力が調整できるとともに吸引力が表示で
きる。吸引ノズル１８の吸引口は触手にできるだけ近づ
けて複数箇所に設けることが望ましい。

【００３９】このようにダスト発生源である触手に近接
して吸引ノズルを設けることにより、ダストの確実な除
去および飛散防止が図られる。その他の構成および作用
効果は前記第１実施例と同様である。

【００４０】図６は、本発明に係るプロービング測定装
置の第３の実施例の構成図である。この実施例は、図１
において吸引ノズル１３を吹出ノズル２０に置き換えた
ものである。

【００４１】即ち、プローブカード７の開口孔８の上に
は、吹出ノズル２０が非接触状態で配置されている。こ
の吹出ノズル２０から圧縮空気等を吹出しペレットチェ
ック時に触手９がウェハ４面に接触することにより生じ
たダスト（多くは金属）を吹き払って除去する。この吹
出ノズル２０は、ペレットチェック部５に設けられたノ
ズル固定兼遮光板１４，１５に支持され、また吹出ノズ
ル２０は、ダクト３４を介して離れた位置の送風機又は
圧縮機等の吹出手段に接続している。

【００４２】また、吸引ノズル２０の他端（ノズル根元
側）には、ダイアル摘み２２が設けられ、吹出力が調整
できるとともに吹出力が表示できる。

【００４３】この吹出ノズル２０による吹出は、作動時
一定値以上の吹出力を保持し、その吹出力は前記ダイア
ル摘み２２によって可変でき、勿論オン・オフもでき
る。

【００４４】吹出ノズル２０の気体の圧力や温度，風
力，風量，風向，気流等は、ダスト除去に必要な条件を
満たし、またこれらの条件の時間的変化を可能とする。

【００４５】吹き出される気体は、清浄空気のみなら
ず、ウェハ４およびウェハ４に形成されている電気回路
を構成している物質および測定時の付近にその他の機
器，治具等に無害のものであれば、混合気体あるいは液
体を含めて何でもよい。また、測定に問題がなければ、
イオン化気体も可能である。液体を用いる場合にはダス
ト除去後連続して乾燥気体を吹きつけることが望まし
い。

【００４６】また、吹出ノズル２０の形状等を工夫する
ことにより、気体の吹き出し方法は、単純に吹き出す以
外に、例えば渦巻き状の吹き出し方も状況によっては有
効である。

【００４７】図７は、本発明に係るプロービング測定装
置の第４の実施例の構成図である。この実施例は、被測
定物であるウェハ４の配置およびペレットチェックを行
うプローブカード７の配置を、通常の例とは逆にしたも
のである。

【００４８】即ち、前記ウェハ４が吸着されたステージ
３のウェハ搭載面を地面側に向けて配置し、そのウェハ
４の下に上方に突出して配設された触手９を備えたプロ
ーブカード７を上側に向けて配置した構造のプロービン
グ測定装置である。

【００４９】この実施例のプロービング測定装置によれ
ば、ペレットチェック時に発生したダストは、自重によ
り下方に落下してウェハ４には付着しない。

【００５０】図８は、本発明に係るプロービング測定装
置の第５の実施例の構成図である。この実施例は、図４
で示したウェハ４とプローブカード７の配置を通常の逆
に配置し、加えて図１で示した吸引ノズル１３をプロー
ブカード７の開口孔８の下に配置した構造のプロービン
グ測定装置である。

【００５１】つまり、この実施例は、図１で示した構造
のプロービング測定装置の天地を逆にしたプロービング
測定装置になっている。

【００５２】このようなプロービング測定装置によれ
ば、ペレットチェック時に発生したダストは、自重によ
り下方に落下するとともに、吸引ノズル１３による吸引
によってプローブカード７の触手９等に付着するダスト
も吸引されて除去される。

【００５３】なお、この実施例において、吸引ノズル１
３に変えて吹出ノズルを設置することも可能であり、こ
の場合には、吹出ノズルの圧縮空気等の吹き付けにより
ウェハ４およびプローブカード７の触手９等の付着する
ダストが除去される。

【００５４】上記各実施例について本願出願人は実験を
行い、その結果を従来技術と比較して考察した。実験レ
ポートは以下の社内資料１〜４にまとめられている。

【００５５】ダストの発生状況関連（資料１） Ｎｏ．
ＫＥＮ ９４−Ａ２４６「２ＰＣ点欠陥不良解析−１Ｐ
Ｃと２ＰＣ測定時のダスト起因−」’９５／１発行 （資料２） Ｎｏ．ＫＥＮ ９５−Ｂ０３１「ＰＣゴミ
発生状況と洗浄効果状況」’９５／５発行 ダストと吹き付ける気体の風力関係 （資料３） Ｎｏ．ＫＥＮ ９４−Ａ２７２「１ＰＣ測
定時のゴミ付着対策−１ＰＣイオナイザーマージンテス
ト結果−」’９５／１発行 吸引除去法関連（簡易治具使用による基礎実験と効果
等） （資料４） Ｎｏ．ＫＥＮ ９５−Ｂ０３２「ＰＣゴミ
の吸引除去法検討」’９５／５発行 尚、上記資料１〜３は、基本的に図２で示した装置・測
定方法によって作成され、資料４は、図１の実施例の形
で実験され作成されている。

【００５６】資料１から、従来の測定によってダストが
発生していることが指摘されている。資料２によるとそ
れら測定によるダストは、ウェハ上に測定した地点付近
に集中して落下・付着している事が解る。よって、この
測定時に発生するダストを効率的に除去するには、触手
がウェハと接触する地点近傍に集中して実施すればよい
と言える。

【００５７】これに対し、従来の水槽を使っての水によ
る洗浄では、資料２より、ダストが発生した地点からウ
ェハ全面へダストが拡散している事が解る。これは別の
見方をすれば、ウェハ面上に存在するダストの総量が減
少しても、尚、ウェハ上から完全には除去されていない
事を示すほか、ダスト対策をウェハにおける局所的なも
のから、全面的なものにしなければならないという、対
策の範囲拡大化を意味する。

【００５８】また、ダストの除去の過程において、従来
の水槽を用いた水洗方法では、ダストがウェハ上を引き
づられる事によって、ダストが一部粉状化され、その跡
がウェハ上に残る事が資料２によって解る。この事は測
定時に発生したダストが小さくなってもウェハ面上に残
留する事を示し、ダストの除去方法として水洗方式は不
十分、つまり完全にダストを取り除く事は不可能である
事を物語る。

【００５９】この従来の水洗方式は、ダストの再付着が
有る事を、資料２は物語っている。資料２では、ウェハ
上のある特定の範囲内のダストをカウントしているが、
洗浄後の方がダスト数が増えている事が、カウント範囲
外からのダストの移動、即ち、ダストの再付着が有る事
を示している。

【００６０】次に、資料１及び資料３より、測定の際に
発生するダストは、風力即ち、気体の流れの力によって
移動する事が解る。これら資料によると、風力が強い程
ダストの移動量が大きくなる。故に、適切な風力をダス
トに向けて吹き付けてやれば、ダストがウェハ上から除
去されると言える。

【００６１】また、測定を行っている内に、触手（測定
針）には、測定時に発生したダストが付着する。触手に
ある程度多くのダストが付着すると、多くの場合重力に
より、ダストは下方に自然落下するが、触手の下方にウ
ェハが有った場合には当然その上に落下し、「大きなダ
スト」としてウェハに付着する。また、触手に付着した
ダストが触手から離れずに付着した状態が継続した場
合、ダストは化学変化によって触手と化学結合しうる。
こうした触手では精密な測定ができなくなり、触手を持
った治具（プローブカード）は、触手の交換等の修理を
受ける事になる。このプローブカードの日常における人
手を必要とする煩わしいメンテナンスの中には、プロー
ブカードの清掃時に誤って触手を傷める等のトラブルの
原因が常に存在する。

【００６２】以上の事と対比して本発明について述べ
る。

【００６３】図７で示した様に、ウェハを従来と逆にし
た場合、明らかに重力によってダストはウェハ面上から
自然に離れ、結果、除去される。

【００６４】図１に示す様な除去方法・装置・効果につ
いては、資料４が全てを明快に示している。このダスト
除去方式を「吸引除去法」と名付ける。

【００６５】つまり、吸引除去法では、ダストが発生す
る地点を集中的に効果的に、その吸引力によって、ダス
トの吸引除去作用を及ぼす。吸引するので、ウェハ面上
をダストが移動する事もなく、よって、ウェハ面上にダ
ストの移動跡が残らず、ダストの再付着もない。除去の
効果は水洗方式と比べ格段に定量化され管理し易く、従
来通りウェハに新たに接触するものは何も無いのでダス
ト除去に伴うウェハへの傷付けの可能性がない。しか
も、資料４が示す如く、適切な吸引力で除去すれば、完
全なダスト除去が可能である。測定と同時並行して除去
作用を及ぼすので、測定後のウェハ洗浄の装置・時間・
工程等が全く不要であり、これらに付随する費用等も不
要である。

【００６６】また、原理が単純な為、特に特殊な装置を
必要とせず、除去装置も小さい。

【００６７】更に、この吸引除去法の実験から、この方
法によるウェハへの帯電はなく、測定値への影響も相当
厳密・微少な測定レベルでも問題ない事を示している。

【００６８】更にまた、吸引除去のノズルの前に触手が
有る為、従来触手に付着していたダストも、触手に付着
する前に吸引除去され、常に触手はクリーンな状態に保
たれ、測定の正確性の向上と共にメンテナンスの省略
化、プローブカードの長寿命化が図られる。

【００６９】図５は、ノズルの位置が図１と異なるのみ
であるから、基本的に上述の吸引除去法と同等の効果が
得られる。違いは、吸引ノズルがよりダスト発生源に近
づくので、上述のノズルの場合の方法に比べ、より省エ
ネルギーで同等の効果を得る点である。

【００７０】図６は、先のダストが風力によって移動す
る点に注目したもの。移動後に移動の跡が残らないの
で、水洗方式よりもよりきれいに（徹底的に）ダスト除
去が可能である。その他、水洗洗浄装置・時間・工程が
不必要となる点、除去装置が小型化できる点、工程や効
果の管理がし易い点、測定とダスト除去が同時並行して
行える点等々は、吸引式ダスト除去法と同じである。

【００７１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果が得られる。

【００７２】１．ダスト除去手段によりダストをほぼ完
全に除去することができる。

【００７３】２．ダストをほぼ完全に除去するため、製
品の歩留まりが向上し、また品質が安定する。

【００７４】３．測定と同時にダストを除去するため、
作業の短縮になり、また洗浄工程を省略でき、工程削減
に寄与できる。

【００７５】４．大型洗浄装置を必要としないため、設
備費の低減に寄与し、省スペース化となる。

【００７６】５．大量の水が不要となるため、コストダ
ウンとなる。

【００７７】６．水に触れないため、ウェハを乾燥させ
る機器，作業，費用が必要なくなり、コストダウン，作
業の短縮になる（吹出式で液体を使用する場合を除
く）。

【００７８】７．吸引による除去方式の場合、ダストの
再付着が全くなくなる。

【００７９】８．ダスト除去（洗浄）の方法が極めて簡
単化され、設備および工程の管理の容易化が可能とな
る。

【００８０】９．水洗浄の場合、水中に異物が存在する
とウェハに傷が付く可能性があるが、本発明の場合はウ
ェハに非接触なため、ウェハを傷付ける可能性が無い。
１０．ウェハおよび触手にダストがないため、測定の正
確性が向上する。

【００８１】１１．プローブカードのメンテナンスフリ
ー化が図られる。

【００８２】１２．ダストの存在による擦れがないた
め、プローブカードの長寿命化が図られる。

【００８３】１３．従来のプロービング測定装置に容易
に取り付けることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るプロービング測定装置の第１の
実施例の構成図である。

【図２】 ウェハをプローブカードの触手に接触させて
ペレットチェックする状態を示すプロービング測定装置
の要部構成図である。

【図３】 プローブカードの平面図である。

【図４】 ウェハをプローブカードの触手に接触させた
状態の拡大平面図である。

【図５】 本発明に係るプロービング測定装置の第２の
実施例の構成図である。

【図６】 本発明に係るプロービング測定装置の第３の
実施例の構成図である。

【図７】 本発明に係るプロービング測定装置の第４の
実施例の構成図である。

【図８】 本発明に係るプロービング測定装置の第５の
実施例の構成図である。

【符号の説明】

３：ステージ、４：ウェハ、７：プローブカード、８：
開口孔、９：触手、１３：吸引ノズル、１８：吸引ノズ
ル、２０：吹出ノズル。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハを吸着したステージと、 開口孔に配設された触手を上記ウェハに接触させてペレ
   ットチェックを行うプローブカードとを、 備えたプロービング測定装置において、 非接触のダスト除去手段を備えたことを特徴とするプロ
   ービング測定装置。
2. 【請求項２】 前記プローブカードの開口孔上に吸引ノ
   ズルを配置し、該吸引ノズルに吸引機を接続したことを
   特徴とする請求項１に記載のプロービング測定装置。
3. 【請求項３】 前記ウェハ上でかつ前記プローブカード
   の開口孔下の側部に吸引ノズルを配置し、該吸引ノズル
   に吸引機を接続したことを特徴とする請求項１に記載の
   プロービング測定装置。
4. 【請求項４】 前記プローブカードの開口孔上に吹出ノ
   ズルを配置し、該吹出ノズルに吹出手段を接続したこと
   を特徴とする請求項１に記載のプロービング測定装置。
5. 【請求項５】 前記ウェハが吸着されたステージを下側
   に向けて配置し、該ウェハの下にプローブカードの触手
   を上側に向けて配置したことを特徴とする請求項１に記
   載のプロービング測定装置。
6. 【請求項６】 前記プローブカードの開口孔下に吸引ノ
   ズルを配置し、該吸引ノズルに吸引機を接続したことを
   特徴とする請求項５に記載のプロービング測定装置。
7. 【請求項７】 前記プローブカードの開口孔下に吹出ノ
   ズルを配置し、該吹出ノズルに吹出手段を接続したこと
   を特徴とする請求項５に記載のプロービング測定装置。