JPH0969549A - ロ−デイング装置 - Google Patents
ロ−デイング装置Info
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- JPH0969549A JPH0969549A JP22385795A JP22385795A JPH0969549A JP H0969549 A JPH0969549 A JP H0969549A JP 22385795 A JP22385795 A JP 22385795A JP 22385795 A JP22385795 A JP 22385795A JP H0969549 A JPH0969549 A JP H0969549A
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- Japan
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- setter
- work
- moving body
- cassette
- horizontal moving
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- Liquid Crystal (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明はカセットと処理部との間でのワ−
クの受け渡しを効率よく行えるようにしたロ−デング装
置を提供することにある。 【解決手段】 ロ−ダ11あるいはアンロ−ダ12の少
なくともいずれか一方のセッタ71を、処理装置1にお
けるガラス基板Pの移動方向と同方向である前後方向、
この前後方向と交差する左右方向およびこれらの前後方
向と左右方向がなす平面に対して交差する上下方向に駆
動できるようにするとともに、上記セッタと一体的に、
このセッタに受け渡されたガラス基板Pを整列する整列
部材76を設け、さらには上記セッタ上で整列されたガ
ラス基板あるいは処理装置で処理されたガラス基板が受
け渡される搬送機構91を上記セッタの左右方向の動き
と一体的に連動するように設けたことを特徴とする。
クの受け渡しを効率よく行えるようにしたロ−デング装
置を提供することにある。 【解決手段】 ロ−ダ11あるいはアンロ−ダ12の少
なくともいずれか一方のセッタ71を、処理装置1にお
けるガラス基板Pの移動方向と同方向である前後方向、
この前後方向と交差する左右方向およびこれらの前後方
向と左右方向がなす平面に対して交差する上下方向に駆
動できるようにするとともに、上記セッタと一体的に、
このセッタに受け渡されたガラス基板Pを整列する整列
部材76を設け、さらには上記セッタ上で整列されたガ
ラス基板あるいは処理装置で処理されたガラス基板が受
け渡される搬送機構91を上記セッタの左右方向の動き
と一体的に連動するように設けたことを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はカセットに積層さ
れたワ−クを処理部へ供給するロ−ダおよび処理部で処
理されたワ−クをカセットに積層収容するアンロ−ダと
を有するロ−デング装置に関する。
れたワ−クを処理部へ供給するロ−ダおよび処理部で処
理されたワ−クをカセットに積層収容するアンロ−ダと
を有するロ−デング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造工程にお
いては、ガラス基板にリソグラフィ−技術によって回路
パタ−ンを形成する工程がある。この回路パタ−ンの形
成工程においては、レジストの塗布、露光、現像処理が
行われたガラス基板を前洗浄してからエッチング処理
し、ついでさらにエッチング処理されたガラス基板を後
洗浄するという工程がある。
いては、ガラス基板にリソグラフィ−技術によって回路
パタ−ンを形成する工程がある。この回路パタ−ンの形
成工程においては、レジストの塗布、露光、現像処理が
行われたガラス基板を前洗浄してからエッチング処理
し、ついでさらにエッチング処理されたガラス基板を後
洗浄するという工程がある。
【0003】上記前洗浄、エッチングおよび後洗浄を連
続して行うことができるようにした処理装置が開発され
ている。その場合、上記処理装置の入口側には上記ガラ
ス基板を上記処理装置に供給するロ−ダが設けられ、出
口側には上記処理装置で処理されたガラス基板を取り込
むアンロ−ダが設けられている。上記ロ−ダとアンロ−
ダとでロ−デイング装置を構成している。
続して行うことができるようにした処理装置が開発され
ている。その場合、上記処理装置の入口側には上記ガラ
ス基板を上記処理装置に供給するロ−ダが設けられ、出
口側には上記処理装置で処理されたガラス基板を取り込
むアンロ−ダが設けられている。上記ロ−ダとアンロ−
ダとでロ−デイング装置を構成している。
【0004】上記ガラス基板はカセットに積層収容され
る。上記ロ−ダおよびアンロ−ダはセッタを有し、上記
ロ−ダのセッタは上記カセットからガラス基板を取り出
す。取り出されたガラス基板は搬送機構に受け渡され、
この搬送機構によって上記処理装置に搬入される。上記
処理装置で処理されたガラス基板は搬送機構によって搬
出される。搬出されたガラス基板は上記アンロ−ダのセ
ッタで受け取られ、カセットに積層収容されるようにな
っている。
る。上記ロ−ダおよびアンロ−ダはセッタを有し、上記
ロ−ダのセッタは上記カセットからガラス基板を取り出
す。取り出されたガラス基板は搬送機構に受け渡され、
この搬送機構によって上記処理装置に搬入される。上記
処理装置で処理されたガラス基板は搬送機構によって搬
出される。搬出されたガラス基板は上記アンロ−ダのセ
ッタで受け取られ、カセットに積層収容されるようにな
っている。
【0005】このような構成において、上記ロ−ダから
処理装置へ供給されるガラス基板は整列して供給され
る。従来、上記ガラス基板の整列は上記カセットを上記
ロ−ダあるいはアンロ−ダのベ−スに固定して設置する
ことで、一括して行われていた。
処理装置へ供給されるガラス基板は整列して供給され
る。従来、上記ガラス基板の整列は上記カセットを上記
ロ−ダあるいはアンロ−ダのベ−スに固定して設置する
ことで、一括して行われていた。
【0006】しかしながら、カセットを所定の位置に固
定して設置するためには固定作業が必要となるから、生
産性を低下させる原因になる。また、整列されたガラス
基板をセッタで搬送機構へ受け渡す際、上記セッタが移
動すると、セッタ上のガラス基板がずれ動いてしまうと
いうことがあるから、そのガラス基板の整列状態が損な
われるということがある。このことは、ロ−ダだけでな
く、アンロ−ダにおいても同じである。
定して設置するためには固定作業が必要となるから、生
産性を低下させる原因になる。また、整列されたガラス
基板をセッタで搬送機構へ受け渡す際、上記セッタが移
動すると、セッタ上のガラス基板がずれ動いてしまうと
いうことがあるから、そのガラス基板の整列状態が損な
われるということがある。このことは、ロ−ダだけでな
く、アンロ−ダにおいても同じである。
【0007】また、上記ガラス基板は生産する液晶表示
装置の大きさに応じてサイズが異なる。その場合、サイ
ズの異なるガラス基板が必要となる度毎に、そのサイズ
用のカセットを設置しなければならない。しかしなが
ら、ガラス基板のサイズが異なる度毎にカセットを交換
していたのでは、そのカセットを固定設置しなければな
らないことと相俟って生産性の低下を招く原因となる。
装置の大きさに応じてサイズが異なる。その場合、サイ
ズの異なるガラス基板が必要となる度毎に、そのサイズ
用のカセットを設置しなければならない。しかしなが
ら、ガラス基板のサイズが異なる度毎にカセットを交換
していたのでは、そのカセットを固定設置しなければな
らないことと相俟って生産性の低下を招く原因となる。
【0008】さらに、同じサイズのガラス基板を連続し
て処理する場合であっても、複数のカセットを予めセッ
トしておき、1つのカセットのガラス基板を処理し終え
たならば、ほかのカセットのガラス基板を処理するよう
にすれば、処理作業を中断しなくてすむから、生産性の
向上を計ることが可能となる。
て処理する場合であっても、複数のカセットを予めセッ
トしておき、1つのカセットのガラス基板を処理し終え
たならば、ほかのカセットのガラス基板を処理するよう
にすれば、処理作業を中断しなくてすむから、生産性の
向上を計ることが可能となる。
【0009】しかしながら、従来はカセットを処理装置
のセンタに一致させて設置し、その間に設けられたロ−
ダあるいはアンロ−ダのセッタを前後方向および上下方
向に駆動してガラス基板の受け渡しを行うようにしてい
るから、複数のカセットを配置した場合、上記セッタに
よってそれぞれのカセットに対しガラス基板を受け渡す
ことができないということがあった。
のセンタに一致させて設置し、その間に設けられたロ−
ダあるいはアンロ−ダのセッタを前後方向および上下方
向に駆動してガラス基板の受け渡しを行うようにしてい
るから、複数のカセットを配置した場合、上記セッタに
よってそれぞれのカセットに対しガラス基板を受け渡す
ことができないということがあった。
【0010】上記セッタを前後方向だけでなく、左右方
向にも駆動できる構成とすれば、複数のカセットに対し
てガラス基板を受け渡すことが可能となる。しかしなが
ら、上記セッタを単に左右方向に駆動できるようにした
だけでは、セッタを左右方向に移動させたときにガラス
基板がその移動方向に大きくずれ動いてしまうから、そ
の基板の整列状態が損なわれることになる。
向にも駆動できる構成とすれば、複数のカセットに対し
てガラス基板を受け渡すことが可能となる。しかしなが
ら、上記セッタを単に左右方向に駆動できるようにした
だけでは、セッタを左右方向に移動させたときにガラス
基板がその移動方向に大きくずれ動いてしまうから、そ
の基板の整列状態が損なわれることになる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のロ
−デイング装置のロ−ダでは、カセット内のワ−クの整
列を、カセットを固定設置することで行うようにしてい
たので、その固定作業に手間が掛かるということがあ
り、またカセットと処理部との間でロ−ダあるいはアン
ロ−ダのセッタによってワ−クを受け渡す際、そのセッ
タ上でワ−クがずれ動き、ワ−クの整列状態が損なわれ
るということもある。
−デイング装置のロ−ダでは、カセット内のワ−クの整
列を、カセットを固定設置することで行うようにしてい
たので、その固定作業に手間が掛かるということがあ
り、またカセットと処理部との間でロ−ダあるいはアン
ロ−ダのセッタによってワ−クを受け渡す際、そのセッ
タ上でワ−クがずれ動き、ワ−クの整列状態が損なわれ
るということもある。
【0012】さらに、サイズの異なるガラス基板に対応
するためなどに複数のカセットを設置する場合、上記セ
ッタを左右方向に移動させなければならないから、その
際にワ−クがセッタ上で左右方向に大きくずれ動き易い
ということがあるばかりか、タクトタイムが長くなると
いうことがあった。
するためなどに複数のカセットを設置する場合、上記セ
ッタを左右方向に移動させなければならないから、その
際にワ−クがセッタ上で左右方向に大きくずれ動き易い
ということがあるばかりか、タクトタイムが長くなると
いうことがあった。
【0013】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、複数のカセットを設置す
ることで、上記セッタを左右方向に移動させた場合で
も、ワ−クが左右方向にずれ動くことがないようにする
とともに、タクトタイムを短縮させることができるよう
にしたロ−デイング装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、複数のカセットを設置す
ることで、上記セッタを左右方向に移動させた場合で
も、ワ−クが左右方向にずれ動くことがないようにする
とともに、タクトタイムを短縮させることができるよう
にしたロ−デイング装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1に記載されたこの発明は、処理部に対して未
処理のワ−クを供給するためのロ−ダあるいは上記処理
部で処理されたワ−クを回収するアンロ−ダを有するロ
−デイング装置において、上記ロ−ダあるいはアンロ−
ダの少なくとも一方は、上記ワ−クを積層収容する複数
のカセットが上記処理部における上記ワ−クの移動方向
に対して交差する方向に沿って設置されるベ−スと、こ
のベ−スの上記処理部と上記カセットとの間に上記ワ−
クの移動方向と交差する水平方向に沿って駆動可能に設
けられた第1の水平移動体と、この第1の水平移動体に
上記ワ−クの移動方向に沿って駆動可能に設けられた第
2の水平移動体と、この第2の水平移動体に上下方向に
沿って駆動可能に設けられた上下移動体と、この上下移
動体に設けられ上記第1の水平移動体が駆動されること
で上記複数のカセットのうちの所定のカセットに対向し
たときに上記第2の水平移動体と連動することでそのカ
セット内へ進入するセッタと、上記上下移動体に設けら
れ上記セッタの両側に位置するとともに接離する方向に
駆動され上記セッタが上記ロ−ダ部あるいは上記処理部
からワ−クを受けると接近する方向に駆動されて上記ワ
−クの両側に当接しこのワ−クを上記セッタ上で位置決
めする一対の整列部材と、上記第1の水平移動体に設け
られ上記セッタ上で上記一対の整列部材によって位置決
めされたワ−クあるいは上記処理部で処理されたワ−ク
が受け渡される搬送手段とを具備したことを特徴とす
る。
に請求項1に記載されたこの発明は、処理部に対して未
処理のワ−クを供給するためのロ−ダあるいは上記処理
部で処理されたワ−クを回収するアンロ−ダを有するロ
−デイング装置において、上記ロ−ダあるいはアンロ−
ダの少なくとも一方は、上記ワ−クを積層収容する複数
のカセットが上記処理部における上記ワ−クの移動方向
に対して交差する方向に沿って設置されるベ−スと、こ
のベ−スの上記処理部と上記カセットとの間に上記ワ−
クの移動方向と交差する水平方向に沿って駆動可能に設
けられた第1の水平移動体と、この第1の水平移動体に
上記ワ−クの移動方向に沿って駆動可能に設けられた第
2の水平移動体と、この第2の水平移動体に上下方向に
沿って駆動可能に設けられた上下移動体と、この上下移
動体に設けられ上記第1の水平移動体が駆動されること
で上記複数のカセットのうちの所定のカセットに対向し
たときに上記第2の水平移動体と連動することでそのカ
セット内へ進入するセッタと、上記上下移動体に設けら
れ上記セッタの両側に位置するとともに接離する方向に
駆動され上記セッタが上記ロ−ダ部あるいは上記処理部
からワ−クを受けると接近する方向に駆動されて上記ワ
−クの両側に当接しこのワ−クを上記セッタ上で位置決
めする一対の整列部材と、上記第1の水平移動体に設け
られ上記セッタ上で上記一対の整列部材によって位置決
めされたワ−クあるいは上記処理部で処理されたワ−ク
が受け渡される搬送手段とを具備したことを特徴とす
る。
【0015】請求項1の構成によれば、セッタは前後、
左右および上下方向に駆動されるとともに、上記セッタ
上のワ−クは一対の整列部材によってずれ動くのが阻止
される。そのため、上記セッタが前後、左右方向に駆動
されても、ワ−クの整列状態が損なわれるのことがなく
なる。しかも、搬送手段がセッタと一体的に設けられて
いるから、第1の水平移動体が移動中に上記セッタから
搬送手段あるいは搬送手段からセッタへワ−クを受け渡
すことで、タクトタイムを短縮できる。
左右および上下方向に駆動されるとともに、上記セッタ
上のワ−クは一対の整列部材によってずれ動くのが阻止
される。そのため、上記セッタが前後、左右方向に駆動
されても、ワ−クの整列状態が損なわれるのことがなく
なる。しかも、搬送手段がセッタと一体的に設けられて
いるから、第1の水平移動体が移動中に上記セッタから
搬送手段あるいは搬送手段からセッタへワ−クを受け渡
すことで、タクトタイムを短縮できる。
【0016】
【発明の実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。図7において1は処理装置を示
す。この処理装置1はワ−クである液晶基板Pを洗浄す
る前洗浄部2、洗浄されたガラス基板Pをエッチング処
理するエッチング処理部3、エッチング処理されたガラ
ス基板Pを再度洗浄する後洗浄部4および後洗浄部4で
洗浄されたガラス基板Pを乾燥処理する乾燥処理部5が
順次配置されてなる。
を参照して説明する。図7において1は処理装置を示
す。この処理装置1はワ−クである液晶基板Pを洗浄す
る前洗浄部2、洗浄されたガラス基板Pをエッチング処
理するエッチング処理部3、エッチング処理されたガラ
ス基板Pを再度洗浄する後洗浄部4および後洗浄部4で
洗浄されたガラス基板Pを乾燥処理する乾燥処理部5が
順次配置されてなる。
【0017】上記処理装置1の前洗浄部2側にはロ−ダ
11が配置され、乾燥処理部5側にはアンロ−ダ12が
配置されている。上記ロ−ダ11とアンロ−ダ12とは
この発明のロ−デイング装置を構成しており、これらは
同じ構成であるので、以下、一方についてのみ説明す
る。
11が配置され、乾燥処理部5側にはアンロ−ダ12が
配置されている。上記ロ−ダ11とアンロ−ダ12とは
この発明のロ−デイング装置を構成しており、これらは
同じ構成であるので、以下、一方についてのみ説明す
る。
【0018】すなわち、上記ロ−デイング装置は図1に
示すように架台からなるベ−ス15を有する。このベ−
ス15の上面の前後方向一端側には、図4と図7に示す
ようにその前後方向と交差する左右方向に所定間隔で離
間して一対の載置板16が支柱17に支持されて所定の
高さで設けられている。各載置板16上にはカセット1
8が位置決め載置されるようになっている。
示すように架台からなるベ−ス15を有する。このベ−
ス15の上面の前後方向一端側には、図4と図7に示す
ようにその前後方向と交差する左右方向に所定間隔で離
間して一対の載置板16が支柱17に支持されて所定の
高さで設けられている。各載置板16上にはカセット1
8が位置決め載置されるようになっている。
【0019】上記ロ−ダ11の載置板16上に載置され
るカセット18には未処理のガラス基板Pが上下方向に
所定間隔で積層収容されている。上記アンロ−ダ12の
載置板16上に載置されるカセット18には上記処理装
置1で処理されたガラス基板Pが回収されて積層収容さ
れるようになっている。
るカセット18には未処理のガラス基板Pが上下方向に
所定間隔で積層収容されている。上記アンロ−ダ12の
載置板16上に載置されるカセット18には上記処理装
置1で処理されたガラス基板Pが回収されて積層収容さ
れるようになっている。
【0020】上記ロ−ダ11は上記処理装置1の前洗浄
部2と上記載置板16との間に設置され、上記アンロ−
ダ12は上記乾燥処理部5と上記載置板16との間に設
置されている。つまり、上記ベ−ス15の前端側と後端
側の上面には左右方向に沿って一対の左右ガイドレ−ル
21が設けられている。この左右ガイドレ−ル21には
第1の水平移動体22の下面の前端側と後端側とに設け
られたガイド23がそれぞれスライド自在に係合してい
る。
部2と上記載置板16との間に設置され、上記アンロ−
ダ12は上記乾燥処理部5と上記載置板16との間に設
置されている。つまり、上記ベ−ス15の前端側と後端
側の上面には左右方向に沿って一対の左右ガイドレ−ル
21が設けられている。この左右ガイドレ−ル21には
第1の水平移動体22の下面の前端側と後端側とに設け
られたガイド23がそれぞれスライド自在に係合してい
る。
【0021】つまり、第1の水平移動体22は上記処理
装置1のセンタラインに直交する左右方向に沿って移動
自在となっている。なお、上記第1の移動体22は、図
1に示すように中心部が開口した矩形枠状に形成されて
いる。
装置1のセンタラインに直交する左右方向に沿って移動
自在となっている。なお、上記第1の移動体22は、図
1に示すように中心部が開口した矩形枠状に形成されて
いる。
【0022】上記ベ−ス15の後端上面には左右送りね
じ24が支持体25によって回転自在に支持されてい
る。この送りねじ24にはナット体26が螺合されてい
る。このナット体26は上記第1の水平移動体22の後
端部に連結部材27によって取り付けられている。
じ24が支持体25によって回転自在に支持されてい
る。この送りねじ24にはナット体26が螺合されてい
る。このナット体26は上記第1の水平移動体22の後
端部に連結部材27によって取り付けられている。
【0023】上記左右送りねじ24の一端には従動プ−
リ28が嵌着されている。上記ベ−ス15上には上記左
右送りねじ24の一端部の近傍に左右駆動モ−タ29が
設置されている。この左右駆動モ−タ29回転軸には駆
動プ−リ31が嵌着されている。この駆動プ−リ31と
上記従動プ−リ28とにはタイミングベルト32が張設
されている。
リ28が嵌着されている。上記ベ−ス15上には上記左
右送りねじ24の一端部の近傍に左右駆動モ−タ29が
設置されている。この左右駆動モ−タ29回転軸には駆
動プ−リ31が嵌着されている。この駆動プ−リ31と
上記従動プ−リ28とにはタイミングベルト32が張設
されている。
【0024】したがって、上記左右駆動モ−タ29が作
動すれば、一対のプ−リ31、28およびタイミングベ
ルト32を介して左右送りねじ24が回転駆動されるか
ら、この送りねじ24に螺合されたナット体26が上記
送りねじ24の軸線方向に移動する。それによって、上
記第1の水平移動体22が左右方向に駆動されるように
なっている。
動すれば、一対のプ−リ31、28およびタイミングベ
ルト32を介して左右送りねじ24が回転駆動されるか
ら、この送りねじ24に螺合されたナット体26が上記
送りねじ24の軸線方向に移動する。それによって、上
記第1の水平移動体22が左右方向に駆動されるように
なっている。
【0025】上記第1の水平移動体22の上面には左右
方向の両端にそれぞれ前後ガイドレ−ル35が上記左右
方向と直交する前後方向に沿って設けられている。この
前後ガイドレ−ル35には図2と図3に示すように第2
の水平移動体36の下面の上記左右方向に沿う両端部の
下面に設けられたスライダ37がスライド自在に係合し
ている。それによって、上記第2の水平移動体36は上
記前後ガイドレ−ル35に沿って前後方向に移動自在と
なっている。
方向の両端にそれぞれ前後ガイドレ−ル35が上記左右
方向と直交する前後方向に沿って設けられている。この
前後ガイドレ−ル35には図2と図3に示すように第2
の水平移動体36の下面の上記左右方向に沿う両端部の
下面に設けられたスライダ37がスライド自在に係合し
ている。それによって、上記第2の水平移動体36は上
記前後ガイドレ−ル35に沿って前後方向に移動自在と
なっている。
【0026】上記第1の水平移動体36の左右方向一端
部の上面には前後送りねじ38が支持体39によって回
転自在に支持されて設けられている。この前後送りねじ
38にはナット体41が螺合されている。このナット体
41は連結部材42によって上記第2の水平移動体36
に取り付けられている。
部の上面には前後送りねじ38が支持体39によって回
転自在に支持されて設けられている。この前後送りねじ
38にはナット体41が螺合されている。このナット体
41は連結部材42によって上記第2の水平移動体36
に取り付けられている。
【0027】上記前後送りねじ38の一端部には従動プ
−リ43が嵌着されている。上記第1の水平移動体36
の上記従動プ−リ43の近傍には前後駆動モ−タ44が
配設されている。この前後駆動モ−タ44の回転軸には
駆動プ−リ45が嵌着されている。この駆動プ−リ45
と上記従動プ−リ43とにはタイミングベルト46が張
設されている。したがって、上記前後駆動モ−タ44が
作動して上記前後送りねじ38が回転駆動されれば、上
記第2の水平移動体36が前後方向に駆動されるように
なっている。
−リ43が嵌着されている。上記第1の水平移動体36
の上記従動プ−リ43の近傍には前後駆動モ−タ44が
配設されている。この前後駆動モ−タ44の回転軸には
駆動プ−リ45が嵌着されている。この駆動プ−リ45
と上記従動プ−リ43とにはタイミングベルト46が張
設されている。したがって、上記前後駆動モ−タ44が
作動して上記前後送りねじ38が回転駆動されれば、上
記第2の水平移動体36が前後方向に駆動されるように
なっている。
【0028】上記第2の水平移動体36の前端側(処理
装置1側)には図1乃至図3に示すように垂直板51が
後面の高さ方向中途部を連結して設けられている。この
垂直板51の前面の幅方向両端部には一対の上下ガイド
52が上下方向に沿って平行に設けられている。この上
下ガイド52には同じく板状の上下移動体53の幅方向
の両端部に設けられたスライダ54がスライド自在に係
合している。
装置1側)には図1乃至図3に示すように垂直板51が
後面の高さ方向中途部を連結して設けられている。この
垂直板51の前面の幅方向両端部には一対の上下ガイド
52が上下方向に沿って平行に設けられている。この上
下ガイド52には同じく板状の上下移動体53の幅方向
の両端部に設けられたスライダ54がスライド自在に係
合している。
【0029】上記上下移動体53の下端部後面には連結
部材55が取り付けられている。この連結部材55は上
記垂直板51に上下方向に沿って形成された長孔51a
に挿通され、この長孔51aから突出した端部にはナッ
ト体56が固着されている。このナット体56は上記垂
直板51の後面側に配置された上下送りねじ57に螺合
されている。この上下送りねじ57は上端部と下端部と
がそれぞれ軸受58によって回転自在に支持されてい
る。
部材55が取り付けられている。この連結部材55は上
記垂直板51に上下方向に沿って形成された長孔51a
に挿通され、この長孔51aから突出した端部にはナッ
ト体56が固着されている。このナット体56は上記垂
直板51の後面側に配置された上下送りねじ57に螺合
されている。この上下送りねじ57は上端部と下端部と
がそれぞれ軸受58によって回転自在に支持されてい
る。
【0030】上記垂直板51の後面の下端部には図3に
示すように上下駆動モ−タ61が設けられている。この
上下駆動モ−タ61の回転軸に嵌着された駆動プ−リ6
2と、上記上下送りねじ57の下端に嵌着された従動プ
−リ63とにはタイミングベルト64が張設されてい
る。
示すように上下駆動モ−タ61が設けられている。この
上下駆動モ−タ61の回転軸に嵌着された駆動プ−リ6
2と、上記上下送りねじ57の下端に嵌着された従動プ
−リ63とにはタイミングベルト64が張設されてい
る。
【0031】したがって、上記上下駆動モ−タ61が作
動して上記上下送りねじ57が回転駆動されれば、この
ねじ57に沿ってナット体56が上下動するから、その
上下動に上記上下移動体53が連動するようになってい
る。つまり、上記上下移動体53が上下駆動されるよう
になっている。
動して上記上下送りねじ57が回転駆動されれば、この
ねじ57に沿ってナット体56が上下動するから、その
上下動に上記上下移動体53が連動するようになってい
る。つまり、上記上下移動体53が上下駆動されるよう
になっている。
【0032】上記上下駆動体53の上端には図2に示す
ようにセッタ71の前後方向一端が固着されている。こ
のセッタ71は図5に示すように平面形状がほぼコ字状
をなしていて、その幅寸法は上記カセット18に入り込
む大きさに設定されている。さらに、セッタ71の上面
には上記ガラス基板Pの下面を点接触によって支持する
ための複数の錐状の突起72aおよびセッタ71上のガ
ラス基板Pの前端と後端とに係合してそのガラス基板P
が前後方向にずれ動くのを規制する規制部材72bとが
設けられている。
ようにセッタ71の前後方向一端が固着されている。こ
のセッタ71は図5に示すように平面形状がほぼコ字状
をなしていて、その幅寸法は上記カセット18に入り込
む大きさに設定されている。さらに、セッタ71の上面
には上記ガラス基板Pの下面を点接触によって支持する
ための複数の錐状の突起72aおよびセッタ71上のガ
ラス基板Pの前端と後端とに係合してそのガラス基板P
が前後方向にずれ動くのを規制する規制部材72bとが
設けられている。
【0033】上記上下駆動体53の前面上部には一対の
整列用レ−ル75が上下方向に所定間隔で離間して水平
に設けられている。この整列用レ−ル75には図2と図
6に示すように一対の整列部材76がスライド自在に設
けられている。この整列部材76は帯板状の可動板77
と、この可動板77の上端に基端側が固着された同じく
帯板状の整列ガイド78とからなり、上記可動板77に
は上記整列用レ−ル75にスライド自在に係合するスラ
イダ79が設けられている。一対の整列ガイド78は上
記セッタ71の両側に沿って平行に離間対向して設けら
れるとともに、上記セッタ71の上面よりもわずかに上
方に位置している。
整列用レ−ル75が上下方向に所定間隔で離間して水平
に設けられている。この整列用レ−ル75には図2と図
6に示すように一対の整列部材76がスライド自在に設
けられている。この整列部材76は帯板状の可動板77
と、この可動板77の上端に基端側が固着された同じく
帯板状の整列ガイド78とからなり、上記可動板77に
は上記整列用レ−ル75にスライド自在に係合するスラ
イダ79が設けられている。一対の整列ガイド78は上
記セッタ71の両側に沿って平行に離間対向して設けら
れるとともに、上記セッタ71の上面よりもわずかに上
方に位置している。
【0034】上記上下移動体53の前面の幅方向両端部
には図6に示すようにそれぞれ整列用シリンダ81が設
けられている。この整列用シリンダ81のロッドは上記
整列部材76の可動板77に連結されている。したがっ
て、上記整列用シリンダ81が作動することで、上記一
対の整列部材76は上記整列用レ−ル75に沿って接離
する方向にスライド駆動されるようになっている。つま
り、一対の鮮烈ガイド78は、上下移動体53の幅方向
中心に対して対称に左右方向に開閉駆動されるようにな
っている。
には図6に示すようにそれぞれ整列用シリンダ81が設
けられている。この整列用シリンダ81のロッドは上記
整列部材76の可動板77に連結されている。したがっ
て、上記整列用シリンダ81が作動することで、上記一
対の整列部材76は上記整列用レ−ル75に沿って接離
する方向にスライド駆動されるようになっている。つま
り、一対の鮮烈ガイド78は、上下移動体53の幅方向
中心に対して対称に左右方向に開閉駆動されるようにな
っている。
【0035】上記一対の整列部材76の整列ガイド78
には、それぞれ複数の位置決めロ−ラ82が軸線を垂直
にして回転自在かつ上記整列ガイド78の幅方向内方に
突出して設けられている。
には、それぞれ複数の位置決めロ−ラ82が軸線を垂直
にして回転自在かつ上記整列ガイド78の幅方向内方に
突出して設けられている。
【0036】上記一対の整列ガイド78は、上記ガラス
基板Pの幅寸法よりも大きな間隔で離間しており、上記
接近用シリンダ81によって接近方向に駆動されること
で、上記位置決めロ−ラ82が上記セッタ71上に載置
されたガラス基板Pの幅方向両側に当接してこの基板P
を上記セッタ71上で位置決めする。つまり、ガラス基
板Pは幅方向中心が上記セッタ71(上下移動体53)
の幅方向中心に一致させられる。
基板Pの幅寸法よりも大きな間隔で離間しており、上記
接近用シリンダ81によって接近方向に駆動されること
で、上記位置決めロ−ラ82が上記セッタ71上に載置
されたガラス基板Pの幅方向両側に当接してこの基板P
を上記セッタ71上で位置決めする。つまり、ガラス基
板Pは幅方向中心が上記セッタ71(上下移動体53)
の幅方向中心に一致させられる。
【0037】上記第1の水平移動体22上には図4と図
5に示すように上記セッタ71と対向する部位に搬送機
構91が設けられている。この搬送機構91は上記第1
の水平移動体22の移動方向(左右方向)両側にそれぞ
れ一対ずつ立設された4本の支柱92を有する。支柱9
2の上端にはカセット18側の前後方向一端が開放した
コ字状の上端板93が取り付けられている。
5に示すように上記セッタ71と対向する部位に搬送機
構91が設けられている。この搬送機構91は上記第1
の水平移動体22の移動方向(左右方向)両側にそれぞ
れ一対ずつ立設された4本の支柱92を有する。支柱9
2の上端にはカセット18側の前後方向一端が開放した
コ字状の上端板93が取り付けられている。
【0038】上記上端板93の両側上面の幅方向内方に
は、この上端板93の長手方向全長に沿う取付板94が
板面を垂直にして立設されている。各取付板94の互い
に対向する内面側には長手方向に沿って所定間隔で複数
の搬送ロ−ラ95が軸線を水平にして回転自在に設けら
れ、外面側には従動プ−リ96が同軸に設けられてい
る。左右の搬送ロ−ラ95は、上記セッタ71の幅寸法
よりも大きな間隔に設定されている。
は、この上端板93の長手方向全長に沿う取付板94が
板面を垂直にして立設されている。各取付板94の互い
に対向する内面側には長手方向に沿って所定間隔で複数
の搬送ロ−ラ95が軸線を水平にして回転自在に設けら
れ、外面側には従動プ−リ96が同軸に設けられてい
る。左右の搬送ロ−ラ95は、上記セッタ71の幅寸法
よりも大きな間隔に設定されている。
【0039】一対の取付板94の前後方向一端側におけ
る対向する一対の搬送ロ−ラ95は1本の駆動軸97に
設けられている。この駆動軸97の一端側は一方の上端
板93上に設けられた搬送モ−タ98の回転軸に連結さ
れている。上記駆動軸97の上記取付板94の外面側に
位置する部分にはそれぞれ駆動プ−リ99が設けられて
いる。
る対向する一対の搬送ロ−ラ95は1本の駆動軸97に
設けられている。この駆動軸97の一端側は一方の上端
板93上に設けられた搬送モ−タ98の回転軸に連結さ
れている。上記駆動軸97の上記取付板94の外面側に
位置する部分にはそれぞれ駆動プ−リ99が設けられて
いる。
【0040】各取付板94の外面において、上記駆動プ
−リ99と従動プ−リ96とにはテンションロ−ラ10
1を介してベルト102が張設されている。したがっ
て、上記搬送モ−タ98が作動することで、上記搬送ロ
−ラ95が回転駆動されるから、この搬送ロ−ラ95上
に後述するごとく載置されたガラス基板Pは、搬送ロ−
ラ95が回転駆動されることにより、その回転に応じて
所定方向へ搬送されるようになっている。
−リ99と従動プ−リ96とにはテンションロ−ラ10
1を介してベルト102が張設されている。したがっ
て、上記搬送モ−タ98が作動することで、上記搬送ロ
−ラ95が回転駆動されるから、この搬送ロ−ラ95上
に後述するごとく載置されたガラス基板Pは、搬送ロ−
ラ95が回転駆動されることにより、その回転に応じて
所定方向へ搬送されるようになっている。
【0041】上記搬送ロ−ラ95によって搬送されるガ
ラス基板Pの高さ位置は、図4に示すように上下駆動モ
−タ61によって上下移動体53とともに上下駆動され
る上記セッタ71の最も下降した位置よりもわずかに高
く設定されている。それによって、上記セッタ71が下
降駆動されることで、、このセッタ71に保持されたガ
ラス基板Pが上記搬送ロ−ラ95に受け渡されるように
なっている。
ラス基板Pの高さ位置は、図4に示すように上下駆動モ
−タ61によって上下移動体53とともに上下駆動され
る上記セッタ71の最も下降した位置よりもわずかに高
く設定されている。それによって、上記セッタ71が下
降駆動されることで、、このセッタ71に保持されたガ
ラス基板Pが上記搬送ロ−ラ95に受け渡されるように
なっている。
【0042】上記上端板93の上面の幅方向外方には、
図5に示すように軸線を垂直した複数のガイドロ−ラ1
03が長手方向に対して所定間隔で設けられている。こ
のガイドロ−ラ103は上記搬送ロ−ラ95によって搬
送されるガラス基板Pの幅方向両側に当接し、このガラ
ス基板Pの搬送をガイドする。つまり、搬送されるガラ
ス基板Pは幅方向にずれ動くのが阻止されている。
図5に示すように軸線を垂直した複数のガイドロ−ラ1
03が長手方向に対して所定間隔で設けられている。こ
のガイドロ−ラ103は上記搬送ロ−ラ95によって搬
送されるガラス基板Pの幅方向両側に当接し、このガラ
ス基板Pの搬送をガイドする。つまり、搬送されるガラ
ス基板Pは幅方向にずれ動くのが阻止されている。
【0043】つぎに、上記構成のロ−デイング装置の動
作について説明する。ロ−ダ1から未処理のガラス基板
Pを処理装置1に供給する場合には、まず、左右駆動モ
−タ29によって第1の水平移動体22を左右方向に駆
動し、セッタ71を一対のカセット18のどちらか一方
に対向位置決めする。ついで、上記セッタ71の高さ
を、上下駆動モ−タ61によってカセット18に収容さ
れた最下段のガラス基板Pよりもわずかに低い位置に位
置決めする。
作について説明する。ロ−ダ1から未処理のガラス基板
Pを処理装置1に供給する場合には、まず、左右駆動モ
−タ29によって第1の水平移動体22を左右方向に駆
動し、セッタ71を一対のカセット18のどちらか一方
に対向位置決めする。ついで、上記セッタ71の高さ
を、上下駆動モ−タ61によってカセット18に収容さ
れた最下段のガラス基板Pよりもわずかに低い位置に位
置決めする。
【0044】セッタ71の位置決めが終了したならば、
前後駆動モ−タ44を作動させて第2の水平移動体36
を前後方向のうち、上記カセット18の方向へ前進駆動
する。それによって、上記セッタ71はカセット18の
最下段のガラス基板Pの下方へ入り込む。ついで、上記
セッタ71は上下駆動モ−タ61によってわずかに上昇
させられ、上記カセット18に保持されたガラス基板P
をセッタ71の上面に移載する。
前後駆動モ−タ44を作動させて第2の水平移動体36
を前後方向のうち、上記カセット18の方向へ前進駆動
する。それによって、上記セッタ71はカセット18の
最下段のガラス基板Pの下方へ入り込む。ついで、上記
セッタ71は上下駆動モ−タ61によってわずかに上昇
させられ、上記カセット18に保持されたガラス基板P
をセッタ71の上面に移載する。
【0045】ガラス基板Pが移載されたセッタ71は後
退方向へ駆動されたのち下降方向へ駆動される。それに
よって、上記セッタ71上に保持されたガラス基板Pは
搬送機構91の搬送ロ−ラ95上に受け渡される。
退方向へ駆動されたのち下降方向へ駆動される。それに
よって、上記セッタ71上に保持されたガラス基板Pは
搬送機構91の搬送ロ−ラ95上に受け渡される。
【0046】上記セッタ71の後退時には、一対の整列
用シリンダ81が作動して一対の整列部材76を接近方
向へ駆動し、その一対の整列ガイド78によってセッタ
71上のガラス基板Pのセンタをセッタ71のセンタに
一致させる。つまりガラス基板Pをセッタ71上で位置
決め整列する。
用シリンダ81が作動して一対の整列部材76を接近方
向へ駆動し、その一対の整列ガイド78によってセッタ
71上のガラス基板Pのセンタをセッタ71のセンタに
一致させる。つまりガラス基板Pをセッタ71上で位置
決め整列する。
【0047】さらに、上記セッタ71が後退し終わる
と、左右駆動モ−タ29が作動して第1の水平移動体2
2が左右方向に駆動され、上記セッタ71のセンタを上
記処理装置1のセンタに一致させる。このとき同時に、
上記セッタ71は上下駆動モ−タ61によって下降方向
へ駆動され、セッタ71上のガラス基板Pが搬送機構9
1の搬送ロ−ラ95に受け渡される。
と、左右駆動モ−タ29が作動して第1の水平移動体2
2が左右方向に駆動され、上記セッタ71のセンタを上
記処理装置1のセンタに一致させる。このとき同時に、
上記セッタ71は上下駆動モ−タ61によって下降方向
へ駆動され、セッタ71上のガラス基板Pが搬送機構9
1の搬送ロ−ラ95に受け渡される。
【0048】つまり、第1の水平移動体22に搬送機構
91を一体的に設けたので、上記第1の水平移動体22
を左右方向に駆動しながらセッタ71を下降させ、この
セッタ71に保持されたガラス基板Pを搬送ロ−ラ95
に受け渡すことができるから、これらの動作を別々に行
う場合に比べてタクトタイムを短縮することができる。
91を一体的に設けたので、上記第1の水平移動体22
を左右方向に駆動しながらセッタ71を下降させ、この
セッタ71に保持されたガラス基板Pを搬送ロ−ラ95
に受け渡すことができるから、これらの動作を別々に行
う場合に比べてタクトタイムを短縮することができる。
【0049】上記セッタ71のセンタ、つまり搬送ロ−
ラ95に受け渡されたガラス基板Pの幅方向のセンタが
処理装置1のセンタに一致するよう位置決めされ終わる
と、上記搬送機構91の搬送モ−タ98が作動して搬送
ロ−ラ95が回転させられる。それによって、ガラス基
板Pは上記搬送機構91から処理装置1へ供給されるこ
とになる。
ラ95に受け渡されたガラス基板Pの幅方向のセンタが
処理装置1のセンタに一致するよう位置決めされ終わる
と、上記搬送機構91の搬送モ−タ98が作動して搬送
ロ−ラ95が回転させられる。それによって、ガラス基
板Pは上記搬送機構91から処理装置1へ供給されるこ
とになる。
【0050】上記ロ−ダ11には複数のカセット18を
設置する一方、セッタ7を前後方向だけでなく、左右方
向に駆動できるようにした。それによって、上記カセッ
ト18のセンタが処理装置11のセンタと一致していな
くとも、第1の水平移動体22を左右方向に駆動してセ
ッタ71のセンタをカセット18のセンタに一致させた
り、処理装置1のセンタに一致させることができるか
ら、それぞれのカセット18のガラス基板Pを処理装置
1へ供給することができる。
設置する一方、セッタ7を前後方向だけでなく、左右方
向に駆動できるようにした。それによって、上記カセッ
ト18のセンタが処理装置11のセンタと一致していな
くとも、第1の水平移動体22を左右方向に駆動してセ
ッタ71のセンタをカセット18のセンタに一致させた
り、処理装置1のセンタに一致させることができるか
ら、それぞれのカセット18のガラス基板Pを処理装置
1へ供給することができる。
【0051】このように、複数のカセット18のガラス
基板Pを供給できることで、一方のカセット18が空と
なっても、他方のカセット18のガラス基板Pを供給で
き、その間に空となったカセット18を交換すればよい
から、カセット18を交換するために装置全体を休止さ
せずにすみ、生産性を向上させることができる。
基板Pを供給できることで、一方のカセット18が空と
なっても、他方のカセット18のガラス基板Pを供給で
き、その間に空となったカセット18を交換すればよい
から、カセット18を交換するために装置全体を休止さ
せずにすみ、生産性を向上させることができる。
【0052】上記セッタ71のセンタを搬送機構91の
センタに一致させるために第1の水平移動体22を左右
方向に移動させている間、セッタ71に受け渡されたガ
ラス基板Pは整列部材76の整列ガイド78によって幅
方向両側が保持されている。そのため、セッタ71が左
右方向に駆動されても、このセッタ71上でガラス基板
Pがずれ動くのが阻止される。つまり、セッタ71と、
このセッタ71によってカセット18から取り出したガ
ラス基板Pとの相対位置がずれることがない。
センタに一致させるために第1の水平移動体22を左右
方向に移動させている間、セッタ71に受け渡されたガ
ラス基板Pは整列部材76の整列ガイド78によって幅
方向両側が保持されている。そのため、セッタ71が左
右方向に駆動されても、このセッタ71上でガラス基板
Pがずれ動くのが阻止される。つまり、セッタ71と、
このセッタ71によってカセット18から取り出したガ
ラス基板Pとの相対位置がずれることがない。
【0053】また、ガラス基板Pはカセット18から取
り出された後で整列部材76によって整列される。その
ため、ロ−ダ11に設置されるカセット18内の基板P
を一括で整列させる必要がないから、上記カセット18
をロ−ダ11に位置決め固定せずにすむ。つまり、上記
カセット18のセットが容易となるから、生産性を向上
させることができる。
り出された後で整列部材76によって整列される。その
ため、ロ−ダ11に設置されるカセット18内の基板P
を一括で整列させる必要がないから、上記カセット18
をロ−ダ11に位置決め固定せずにすむ。つまり、上記
カセット18のセットが容易となるから、生産性を向上
させることができる。
【0054】上述したごとく、上記ロ−ダ11から処理
装置1に供給されたガラス基板Pはこの処理装置1で所
定の処理が行われたのち、その出口側に待機したアンロ
−ダ12の搬送機構91の搬送ロ−ラ95上に受け渡さ
れる。
装置1に供給されたガラス基板Pはこの処理装置1で所
定の処理が行われたのち、その出口側に待機したアンロ
−ダ12の搬送機構91の搬送ロ−ラ95上に受け渡さ
れる。
【0055】搬送ロ−ラ95に受け渡されたガラス基板
Pは、セッタ71がロ−ダ11側での動作と逆に動作す
ることで、カセット18に積層収容されることになる。
つまり、アンロ−ダ12においては、ガラス基板Pが搬
送ロ−ラ95に受け渡されると、セッタ71が上昇方向
に駆動されて上記搬送ロ−ラ95からガラス基板Pを受
けて一対の整列ガイド78によってセッタ71上で整列
されると同時に、第1の水平移動体22が左右駆動モ−
タ29によって左右方向に駆動されてそのセンタがカセ
ット18のセンタと一致するよう位置決めされる。
Pは、セッタ71がロ−ダ11側での動作と逆に動作す
ることで、カセット18に積層収容されることになる。
つまり、アンロ−ダ12においては、ガラス基板Pが搬
送ロ−ラ95に受け渡されると、セッタ71が上昇方向
に駆動されて上記搬送ロ−ラ95からガラス基板Pを受
けて一対の整列ガイド78によってセッタ71上で整列
されると同時に、第1の水平移動体22が左右駆動モ−
タ29によって左右方向に駆動されてそのセンタがカセ
ット18のセンタと一致するよう位置決めされる。
【0056】ついで、セッタ71は前後駆動モ−タ44
によってカセット18内に進入する方向へ駆動されたの
ち、上下駆動モ−タ61によって所定寸法下降させられ
る。それによって、セッタ71に保持されたガラス基板
Pは上記カセット18に受け渡されることになる。
によってカセット18内に進入する方向へ駆動されたの
ち、上下駆動モ−タ61によって所定寸法下降させられ
る。それによって、セッタ71に保持されたガラス基板
Pは上記カセット18に受け渡されることになる。
【0057】ガラス基板Pをカセット18に受け渡した
セッタ71は、そのセンタが処理装置1のセンタに一致
するよう左右方向に駆動されるとともに、搬送ロ−ラ9
5よりもわずかに低い位置となるよう下降方向に駆動さ
れて待機することになる。
セッタ71は、そのセンタが処理装置1のセンタに一致
するよう左右方向に駆動されるとともに、搬送ロ−ラ9
5よりもわずかに低い位置となるよう下降方向に駆動さ
れて待機することになる。
【0058】したがって、アンロ−ダ12においても、
上記ロ−ダ11と同様、左右方向に駆動されるガラス基
板Pは整列ガイド78によって左右方向にずれ動くのが
阻止されるばかりか、処理装置1からセッタ71に受け
渡されたガラス基板Pは左右方向に駆動されて位置決め
されるから、アンロ−ダ12にセットされた2つのカセ
ット18に順次収容することができる。
上記ロ−ダ11と同様、左右方向に駆動されるガラス基
板Pは整列ガイド78によって左右方向にずれ動くのが
阻止されるばかりか、処理装置1からセッタ71に受け
渡されたガラス基板Pは左右方向に駆動されて位置決め
されるから、アンロ−ダ12にセットされた2つのカセ
ット18に順次収容することができる。
【0059】さらに、上記セッタ71の高さ方向の位置
決めと、左右方向の位置決めとを同時に行うことができ
るから、別々に行う場合に比べてタクトタイムを短縮す
ることができる。
決めと、左右方向の位置決めとを同時に行うことができ
るから、別々に行う場合に比べてタクトタイムを短縮す
ることができる。
【0060】なお、この発明は上記一実施形態に限定さ
れず、種々変形可能である。例えば、ロ−ダあるいはア
ンロ−ダに設置されるカセットの数は2つに限定され
ず、3つ以上であってもよく、要は複数であればよい。
さらに、ワ−クとしては液晶用のガラス基板以外のもの
であってもよく、その点も限定されるものでない。
れず、種々変形可能である。例えば、ロ−ダあるいはア
ンロ−ダに設置されるカセットの数は2つに限定され
ず、3つ以上であってもよく、要は複数であればよい。
さらに、ワ−クとしては液晶用のガラス基板以外のもの
であってもよく、その点も限定されるものでない。
【0061】
【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明によれ
ば、ロ−ダあるいはアンロ−ダの少なくともいずれか一
方のセッタを、処理部のセンタに対して同方向である前
後方向、この前後方向と交差する左右方向およびこれら
の前後方向と左右方向がなす平面に対して交差する上下
方向に駆動できるようにするとともに、上記セッタと一
体的に、このセッタに受け渡されたワ−クを整列する整
列部材を設け、さらには上記セッタ上で整列されたワ−
クあるいは処理部で処理されたワ−クが受け渡される搬
送手段を上記セッタの左右方向の動きと一体的に連動す
るように設けた。
ば、ロ−ダあるいはアンロ−ダの少なくともいずれか一
方のセッタを、処理部のセンタに対して同方向である前
後方向、この前後方向と交差する左右方向およびこれら
の前後方向と左右方向がなす平面に対して交差する上下
方向に駆動できるようにするとともに、上記セッタと一
体的に、このセッタに受け渡されたワ−クを整列する整
列部材を設け、さらには上記セッタ上で整列されたワ−
クあるいは処理部で処理されたワ−クが受け渡される搬
送手段を上記セッタの左右方向の動きと一体的に連動す
るように設けた。
【0062】そのため、セッタ上でワ−クを整列させる
ことができるから、カセットを固定的にセットしてその
カセット内のワ−クを一括して整列させるということを
せずにすむから、上記カセットのセットや交換作業が容
易となる。
ことができるから、カセットを固定的にセットしてその
カセット内のワ−クを一括して整列させるということを
せずにすむから、上記カセットのセットや交換作業が容
易となる。
【0063】また、搬送手段に対してワ−クを受け渡し
ながら上記セッタを左右方向に駆動させることができる
から、それらの動作を順次行う場合に比べてタクトタイ
ムを短縮させることができる。
ながら上記セッタを左右方向に駆動させることができる
から、それらの動作を順次行う場合に比べてタクトタイ
ムを短縮させることができる。
【0064】さらに、セッタが左右方向に駆動されるこ
とで、ロ−ダやアンロ−ダに複数のカセットを設置でき
る。そのため、1つのカセットに対するワ−クの出し入
れが終了したならば、他のカセットに対してワ−クの出
し入れを行い、その間に空あるいは満杯になったカセッ
トを交換することができるため、カセットを交換するた
めに装置を休止させなくてすむということもある。
とで、ロ−ダやアンロ−ダに複数のカセットを設置でき
る。そのため、1つのカセットに対するワ−クの出し入
れが終了したならば、他のカセットに対してワ−クの出
し入れを行い、その間に空あるいは満杯になったカセッ
トを交換することができるため、カセットを交換するた
めに装置を休止させなくてすむということもある。
【図1】この発明の一実施形態を示すセッタおよび搬送
機構を除去した装置全体の平面図。
機構を除去した装置全体の平面図。
【図2】同じくセッタおよび整列部材の取付け構造を示
す断面図。
す断面図。
【図3】同じく図2のA−A線に沿う側面図。
【図4】同じく搬送機構を示す側面図。
【図5】同じく搬送機構を示す平面図。
【図6】同じく図4のB−B線に沿う上下移動体の正面
図。
図。
【図7】同じくロ−ダとアンロ−ダが設けられた処理装
置の概略的構成図。
置の概略的構成図。
1…処理装置、11…ロ−ダ、12…アンロ−ダ、15
…ベ−ス、18…カセット、23…第1の水平移動体、
36…第2の水平移動体、53…上下移動体、71…セ
ッタ、76…整列部材、91…搬送機構(搬送手段)。
…ベ−ス、18…カセット、23…第1の水平移動体、
36…第2の水平移動体、53…上下移動体、71…セ
ッタ、76…整列部材、91…搬送機構(搬送手段)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/027 H01L 21/30 502J
Claims (1)
- 【請求項1】 処理部に対して未処理のワ−クを供給す
るためのロ−ダあるいは上記処理部で処理されたワ−ク
を回収するアンロ−ダを有するロ−デイング装置におい
て、 上記ロ−ダあるいはアンロ−ダの少なくとも一方は、 上記ワ−クを積層収容する複数のカセットが上記処理部
における上記ワ−クの移動方向に対して交差する方向に
沿って設置されるベ−スと、 このベ−スの上記処理部と上記カセットとの間に上記ワ
−クの移動方向と交差する水平方向に沿って駆動可能に
設けられた第1の水平移動体と、 この第1の水平移動体に上記ワ−クの移動方向に沿って
駆動可能に設けられた第2の水平移動体と、 この第2の水平移動体に上下方向に沿って駆動可能に設
けられた上下移動体と、 この上下移動体に設けられ上記第1の水平移動体が駆動
されることで上記複数のカセットのうちの所定のカセッ
トに対向したときに上記第2の水平移動体と連動するこ
とでそのカセット内へ進入するセッタと、 上記上下移動体に設けられ上記セッタの両側に位置する
とともに接離する方向に駆動され上記セッタが上記ロ−
ダ部あるいは上記処理部からワ−クを受けると接近する
方向に駆動されて上記ワ−クの両側に当接しこのワ−ク
を上記セッタ上で位置決めする一対の整列部材と、 上記第1の水平移動体に設けられ上記セッタ上で上記一
対の整列部材によって位置決めされたワ−クあるいは上
記処理部で処理されたワ−クが受け渡される搬送手段と
を具備したことを特徴とするロ−デイング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7223857A JP2859173B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ロ−デイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7223857A JP2859173B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ロ−デイング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0969549A true JPH0969549A (ja) | 1997-03-11 |
JP2859173B2 JP2859173B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=16804804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7223857A Expired - Lifetime JP2859173B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ロ−デイング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2859173B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005090211A1 (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Daiichi Institution Industry Co. Ltd. | アライメント機能付き移載装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61278149A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-09 | Canon Inc | ウエハ位置決め装置 |
JPS6293112A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-28 | Kazuo Kimata | 搬送装置 |
JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
JPS6452240U (ja) * | 1987-09-26 | 1989-03-31 | ||
JPH0458184A (ja) * | 1990-06-28 | 1992-02-25 | Toshiba Corp | ウラン計量管理システムおよびウラン計量管理方法 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP7223857A patent/JP2859173B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61278149A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-09 | Canon Inc | ウエハ位置決め装置 |
JPS6293112A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-28 | Kazuo Kimata | 搬送装置 |
JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
JPS6452240U (ja) * | 1987-09-26 | 1989-03-31 | ||
JPH0458184A (ja) * | 1990-06-28 | 1992-02-25 | Toshiba Corp | ウラン計量管理システムおよびウラン計量管理方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005090211A1 (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Daiichi Institution Industry Co. Ltd. | アライメント機能付き移載装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2859173B2 (ja) | 1999-02-17 |
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