JPH0961118A - 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 - Google Patents
液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系Info
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- JPH0961118A JPH0961118A JP24244895A JP24244895A JPH0961118A JP H0961118 A JPH0961118 A JP H0961118A JP 24244895 A JP24244895 A JP 24244895A JP 24244895 A JP24244895 A JP 24244895A JP H0961118 A JPH0961118 A JP H0961118A
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- Japan
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- marks
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- ring
- tft substrate
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶セルのＴＦＴ基板と、これに接続するド
ライバチップ（ＣＯＧ）の両者の位置合せマークを、鮮
明に撮像する。 【解決手段】 ＣＯＧ４の位置合せ用マークＭC1，ＭC2
に対して、斜め方向にリング光束を照射するリング投光
部61と、両マークＭC1，ＭC2に接近した状態の、ＴＦＴ
基板11のマークＭT1，ＭT2に対して平行光束を垂直に照
射する垂直投光部62、リング投光部61と垂直投光部62と
を交互に切り換える光シャッタ612,622 、および各マー
ク（ＭC1，ＭC2）と（ＭT1，ＭT2）とに対する共通のＴ
Ｖカメラ63とにより構成される。 【効果】 位置合せが正確になされる。
ライバチップ（ＣＯＧ）の両者の位置合せマークを、鮮
明に撮像する。 【解決手段】 ＣＯＧ４の位置合せ用マークＭC1，ＭC2
に対して、斜め方向にリング光束を照射するリング投光
部61と、両マークＭC1，ＭC2に接近した状態の、ＴＦＴ
基板11のマークＭT1，ＭT2に対して平行光束を垂直に照
射する垂直投光部62、リング投光部61と垂直投光部62と
を交互に切り換える光シャッタ612,622 、および各マー
ク（ＭC1，ＭC2）と（ＭT1，ＭT2）とに対する共通のＴ
Ｖカメラ63とにより構成される。 【効果】 位置合せが正確になされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶セルとドラ
イバチップの両者に設けた位置合せ用マークを、互いに
位置合せするための位置合せ光学系に関する。
イバチップの両者に設けた位置合せ用マークを、互いに
位置合せするための位置合せ光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】各方面で多用されているカラー液晶パネ
ルは、液晶セルとカラーフィルタを主要要素とし構成さ
れ、複雑かつ精密な多段階の加工や組立て工程により製
作される。図３は液晶セル１の一例の外観を示す。液晶
セル１は、ＴＦＴ素子よりなる多数の画素電極がマトリ
ックス状に配列されたＴＦＴ基板11と、これに対して適
当なギャップをなすガラス板12とを有し、このギャップ
内に液晶材料が封入されている。ＴＦＴ基板11の対向す
る２辺の表面には、各ＴＦＴ素子に対する入力リード線
群111 が複数組配列されており、各入力リード線群111
は、適当な接続方式、例えばＴＡＢ（テープオートメイ
テッドボンディング）方式により、外部回路に接続され
る。ＴＡＢ方式においては、ポリイミドなどの透明テー
プ21に所要のパタン配線22，23をプリントしたＴＡＢ２
を使用し、その中心付近にＩＣチップ３を搭載してその
出力リード線群31と入力リード線群32とが、パタン配線
22,23にそれぞれ接続されている。パタン配線22の両側
には、位置合せ用マークＭ1,Ｍ2 が同時にプリントさ
れ、これに対応してＴＦＴ基板11の各入力リード線群11
1の両側にもマークＭT1，ＭT2が設けられ、各マークの
対応するものを、後述する位置合せ装置５（図５）によ
り互いに位置合せした後、ＴＡＢ２と入力リード線群11
1 の間にＡＣＦ（異方性導電シート）を挿入し、ＴＡＢ
２を押圧すると両者が接続される。
ルは、液晶セルとカラーフィルタを主要要素とし構成さ
れ、複雑かつ精密な多段階の加工や組立て工程により製
作される。図３は液晶セル１の一例の外観を示す。液晶
セル１は、ＴＦＴ素子よりなる多数の画素電極がマトリ
ックス状に配列されたＴＦＴ基板11と、これに対して適
当なギャップをなすガラス板12とを有し、このギャップ
内に液晶材料が封入されている。ＴＦＴ基板11の対向す
る２辺の表面には、各ＴＦＴ素子に対する入力リード線
群111 が複数組配列されており、各入力リード線群111
は、適当な接続方式、例えばＴＡＢ（テープオートメイ
テッドボンディング）方式により、外部回路に接続され
る。ＴＡＢ方式においては、ポリイミドなどの透明テー
プ21に所要のパタン配線22，23をプリントしたＴＡＢ２
を使用し、その中心付近にＩＣチップ３を搭載してその
出力リード線群31と入力リード線群32とが、パタン配線
22,23にそれぞれ接続されている。パタン配線22の両側
には、位置合せ用マークＭ1,Ｍ2 が同時にプリントさ
れ、これに対応してＴＦＴ基板11の各入力リード線群11
1の両側にもマークＭT1，ＭT2が設けられ、各マークの
対応するものを、後述する位置合せ装置５（図５）によ
り互いに位置合せした後、ＴＡＢ２と入力リード線群11
1 の間にＡＣＦ（異方性導電シート）を挿入し、ＴＡＢ
２を押圧すると両者が接続される。
【０００３】上記においては、複数組のリード線群111
はＴＦＴ基板11の対向する２辺に配列されているが、こ
れを片側の１辺にまとめれば、その分ＴＦＴ基板11の周
辺のいわゆる額縁部分が縮小されるので、液晶パネルの
画像面のサイズがその分拡大され、またＴＦＴ基板11の
製作の際の複数枚取りに対して有利である。一方、ＴＡ
Ｂ２は配線のピッチ間隔に限界があって、ますます進展
する液晶パネルの高精細化に対応できないため、ＴＡＢ
２の代わりに、リード線のピッチ間隔が狭いＩＣチップ
を使用し、これを各リード線群111 に直接接続する方式
が開発されている。この場合、ＩＣチップはＴＦＴ基板
11のガラス面に接触させるので、ＣＯＧ（チップオング
ラス）方式とよばれており、このＩＣチップをＣＯＧと
よぶこととする。
はＴＦＴ基板11の対向する２辺に配列されているが、こ
れを片側の１辺にまとめれば、その分ＴＦＴ基板11の周
辺のいわゆる額縁部分が縮小されるので、液晶パネルの
画像面のサイズがその分拡大され、またＴＦＴ基板11の
製作の際の複数枚取りに対して有利である。一方、ＴＡ
Ｂ２は配線のピッチ間隔に限界があって、ますます進展
する液晶パネルの高精細化に対応できないため、ＴＡＢ
２の代わりに、リード線のピッチ間隔が狭いＩＣチップ
を使用し、これを各リード線群111 に直接接続する方式
が開発されている。この場合、ＩＣチップはＴＦＴ基板
11のガラス面に接触させるので、ＣＯＧ（チップオング
ラス）方式とよばれており、このＩＣチップをＣＯＧと
よぶこととする。
【０００４】図４により上記のＣＯＧ方式による接続方
法を説明する。(a) において、ＴＦＴ基板11には、その
片側の１辺に複数組の入力リード線群111 が設けられ、
これらに対してＣＯＧ４がそれぞれ接続され、さらに各
ＣＯＧ４はＴＡＢ２により外部回路に接続される。(b)
は具体的な接続方法を示し、平面図に示すように、ＣＯ
Ｇ４の２箇所の角には、ＴＦＴ基板11のマークＭT1，Ｍ
T2に対応するマークＭC1，ＭC2が設けてある。ＣＯＧ４
を定位置とし、その下方に置いたＴＦＴ基板11を移動し
て、両者のマークを位置合せさせた後、両者の間にＡＣ
Ｆを挿入してＣＯＧ４を押圧すると、ＣＯＧ４の出力リ
ード線群41が、ＴＦＴ基板11の入力リード線群111 に接
続される。なお各ＣＯＧ４の入力リード線群42は、ＩＣ
チップの無いＴＡＢ２を接続して外部回路に接続され
る。
法を説明する。(a) において、ＴＦＴ基板11には、その
片側の１辺に複数組の入力リード線群111 が設けられ、
これらに対してＣＯＧ４がそれぞれ接続され、さらに各
ＣＯＧ４はＴＡＢ２により外部回路に接続される。(b)
は具体的な接続方法を示し、平面図に示すように、ＣＯ
Ｇ４の２箇所の角には、ＴＦＴ基板11のマークＭT1，Ｍ
T2に対応するマークＭC1，ＭC2が設けてある。ＣＯＧ４
を定位置とし、その下方に置いたＴＦＴ基板11を移動し
て、両者のマークを位置合せさせた後、両者の間にＡＣ
Ｆを挿入してＣＯＧ４を押圧すると、ＣＯＧ４の出力リ
ード線群41が、ＴＦＴ基板11の入力リード線群111 に接
続される。なお各ＣＯＧ４の入力リード線群42は、ＩＣ
チップの無いＴＡＢ２を接続して外部回路に接続され
る。
【０００５】図５は、図３のＴＡＢ接続方式に適用する
位置合せ装置５の概略の構成を示し、これを先行技術と
してその動作を説明する。位置合せ装置５においては、
ＴＡＢ２はロボットハンド51にチャックし、ＴＦＴ基板
11はＸＹθステージ52に載置し、それぞれの位置合せ用
のマーク（Ｍ1,Ｍ2)とマーク（ＭT1，ＭT2）とを、位置
合せ光学系53の視野内に停止する。ランプ光源531 より
の照明光は、ハーフミラー532 を経て対物レンズ533 に
より平行とされて、両者の各マークに対して垂直に照射
される。照射された各マークはＴＶカメラ534 により撮
像され、それぞれの画像信号は制御信号作成回路54に入
力し、各マークの座標位置が検出されてＸＹ制御信号と
θ制御信号が作成される。両制御信号はＸＹθステージ
52に入力して、載置されたＴＦＴ基板11のマークＭT1，
ＭT2を、ＸまたはＹ移動し、またはθ回転して、ＴＡＢ
２のマークＭ1,Ｍ2 に一致させて両者が位置合せされ
る。
位置合せ装置５の概略の構成を示し、これを先行技術と
してその動作を説明する。位置合せ装置５においては、
ＴＡＢ２はロボットハンド51にチャックし、ＴＦＴ基板
11はＸＹθステージ52に載置し、それぞれの位置合せ用
のマーク（Ｍ1,Ｍ2)とマーク（ＭT1，ＭT2）とを、位置
合せ光学系53の視野内に停止する。ランプ光源531 より
の照明光は、ハーフミラー532 を経て対物レンズ533 に
より平行とされて、両者の各マークに対して垂直に照射
される。照射された各マークはＴＶカメラ534 により撮
像され、それぞれの画像信号は制御信号作成回路54に入
力し、各マークの座標位置が検出されてＸＹ制御信号と
θ制御信号が作成される。両制御信号はＸＹθステージ
52に入力して、載置されたＴＦＴ基板11のマークＭT1，
ＭT2を、ＸまたはＹ移動し、またはθ回転して、ＴＡＢ
２のマークＭ1,Ｍ2 に一致させて両者が位置合せされ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】さて、図４のＣＯＧ接
続方式に対して、上記の位置合せ装置５を適用すること
は原理上は可能である。ただし、その位置合せ光学系53
には難点がある。すなわちＣＯＧ４には、図６に示すよ
うに、パタン配線43が全域に亘って稠密に形成されてお
り、これがマークＭC1，ＭC2に接近しいるため、これら
に対して照明光が垂直に照射されると、両者はともにＴ
Ｖカメラ534 に明瞭に撮像されて、その区別が困難なこ
とが難点である。このような難点を解決するには、ＣＯ
Ｇ４に対する照明方法を改善して、ＴＶカメラ534 には
パタン配線43は不鮮明に、位置合せ用のマークＭC1，Ｍ
C2は鮮明に撮像することが必要である。この発明は以上
に鑑みてなされたもので、ＣＯＧ４のパタン配線を不鮮
明とし、ＴＦＴ基板11とＣＯＧ（ドライバチップ）４の
各マークを鮮明に撮像する、ＣＯＧ接続方式に適切な位
置合せ光学系を提供することを目的とする。
続方式に対して、上記の位置合せ装置５を適用すること
は原理上は可能である。ただし、その位置合せ光学系53
には難点がある。すなわちＣＯＧ４には、図６に示すよ
うに、パタン配線43が全域に亘って稠密に形成されてお
り、これがマークＭC1，ＭC2に接近しいるため、これら
に対して照明光が垂直に照射されると、両者はともにＴ
Ｖカメラ534 に明瞭に撮像されて、その区別が困難なこ
とが難点である。このような難点を解決するには、ＣＯ
Ｇ４に対する照明方法を改善して、ＴＶカメラ534 には
パタン配線43は不鮮明に、位置合せ用のマークＭC1，Ｍ
C2は鮮明に撮像することが必要である。この発明は以上
に鑑みてなされたもので、ＣＯＧ４のパタン配線を不鮮
明とし、ＴＦＴ基板11とＣＯＧ（ドライバチップ）４の
各マークを鮮明に撮像する、ＣＯＧ接続方式に適切な位
置合せ光学系を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成する位置合せ光学系であって、ドライバチップの
マークＭC1，ＭC2に対して、斜め方向にリング光束を照
射するリング投光部と、両マークＭC1，ＭC2に接近した
状態の、ＴＦＴ基板の１組の入力リード線群のマークＭ
T1，ＭT2に対して平行光束を垂直に照射する垂直投光
部、リング投光部と垂直投光部とを交互に切り換える切
り換え手段、および光束がそれぞれ照射されたマークＭ
C1，ＭC2と、マークＭT1，ＭT2とに対する共通のＴＶカ
メラとにより構成される。
を達成する位置合せ光学系であって、ドライバチップの
マークＭC1，ＭC2に対して、斜め方向にリング光束を照
射するリング投光部と、両マークＭC1，ＭC2に接近した
状態の、ＴＦＴ基板の１組の入力リード線群のマークＭ
T1，ＭT2に対して平行光束を垂直に照射する垂直投光
部、リング投光部と垂直投光部とを交互に切り換える切
り換え手段、および光束がそれぞれ照射されたマークＭ
C1，ＭC2と、マークＭT1，ＭT2とに対する共通のＴＶカ
メラとにより構成される。
【０００８】
【発明の実施の形態】上記の位置合せ光学系において
は、切り換え手段（後述する実施例においては、光シャ
ッタ612,622 の挿入と抜去）により、例えばまずリング
投光部を動作させて、ドライバチップのマークＭC1，Ｍ
C2に対してリング光束を斜め方向に照射し、これをＴＶ
カメラにより撮像する。このように、リング光束を斜め
方向に照射することにより、ドライバチップのパタン配
線は不鮮明に、マークＭC1，ＭC2は鮮明にＴＶカメラに
撮像されることが、実験により確認されており、これに
より両者は容易に区別されてマークＭC1，ＭC2の座標値
を正確に求めることができる。次に、切り換え手段より
垂直投光部を動作させ、ＴＦＴ基板の１組の入力リード
線群のマークＭT1，ＭT2に対して平行光束を垂直に照射
する。この照射方法は従来と同様であり、ＴＶカメラに
はマークＭT1，ＭT2が鮮明に撮像されて、その座標値が
正確に求められる。以上によりえられた各座標値によ
り、位置合せが正確になされるものである。
は、切り換え手段（後述する実施例においては、光シャ
ッタ612,622 の挿入と抜去）により、例えばまずリング
投光部を動作させて、ドライバチップのマークＭC1，Ｍ
C2に対してリング光束を斜め方向に照射し、これをＴＶ
カメラにより撮像する。このように、リング光束を斜め
方向に照射することにより、ドライバチップのパタン配
線は不鮮明に、マークＭC1，ＭC2は鮮明にＴＶカメラに
撮像されることが、実験により確認されており、これに
より両者は容易に区別されてマークＭC1，ＭC2の座標値
を正確に求めることができる。次に、切り換え手段より
垂直投光部を動作させ、ＴＦＴ基板の１組の入力リード
線群のマークＭT1，ＭT2に対して平行光束を垂直に照射
する。この照射方法は従来と同様であり、ＴＶカメラに
はマークＭT1，ＭT2が鮮明に撮像されて、その座標値が
正確に求められる。以上によりえられた各座標値によ
り、位置合せが正確になされるものである。
【０００９】
【実施例】図１はこの発明の一実施例における位置合せ
光学系６の構成を示す。位置合せ光学系６は、図５にお
ける位置合せ装置５の光学系53の代わりに設け、その他
の各部、すなわちロボットハンド51、ＸＹθステージ5
2、制御信号作成回路54などは、そのまま使用する。位
置合せ光学系６は、リング投光部61と、垂直投光部62、
およびＴＶカメラ63よりなる。ただしＴＶカメラ63は従
来のＴＶカメラ534 によってもよい。リング投光部61
は、ランプ光源611 と、切り換え手段の光シャッタ612
、およびリング投光器613 よりなり、垂直投光部62
は、ランプ光源621 と、光シャッタ622 、投光レンズ62
3 、およびハーフミラー624 よりなる。
光学系６の構成を示す。位置合せ光学系６は、図５にお
ける位置合せ装置５の光学系53の代わりに設け、その他
の各部、すなわちロボットハンド51、ＸＹθステージ5
2、制御信号作成回路54などは、そのまま使用する。位
置合せ光学系６は、リング投光部61と、垂直投光部62、
およびＴＶカメラ63よりなる。ただしＴＶカメラ63は従
来のＴＶカメラ534 によってもよい。リング投光部61
は、ランプ光源611 と、切り換え手段の光シャッタ612
、およびリング投光器613 よりなり、垂直投光部62
は、ランプ光源621 と、光シャッタ622 、投光レンズ62
3 、およびハーフミラー624 よりなる。
【００１０】図２はリング投光器613 の説明図で、(a)
は構造を示し、リング投光器613 は、複数本のオプチカ
ルファイバ（ＯＰＦ）を適当な直径の円形に周廻し、各
ＯＰＦの先端を一定の角度間隔に配列して、それぞれを
内方に対して斜め方向に放射状に指向させ、後端は一括
して光入力端とし、これをモールド成形したもので、種
々のサイズのものが市販されている。(b) において、光
入力端に対してランプ光源611 よりの光束を入射する
と、全ＯＰＦの先端からリング状の光束が射出されて、
ＣＯＧ４の全周を斜め方向に照射する。
は構造を示し、リング投光器613 は、複数本のオプチカ
ルファイバ（ＯＰＦ）を適当な直径の円形に周廻し、各
ＯＰＦの先端を一定の角度間隔に配列して、それぞれを
内方に対して斜め方向に放射状に指向させ、後端は一括
して光入力端とし、これをモールド成形したもので、種
々のサイズのものが市販されている。(b) において、光
入力端に対してランプ光源611 よりの光束を入射する
と、全ＯＰＦの先端からリング状の光束が射出されて、
ＣＯＧ４の全周を斜め方向に照射する。
【００１１】以下、上記の位置合せ光学系６による位置
合せ方法を説明する。ＣＯＧ４はロボットハンド51にチ
ャックされ、ハンドリングによりＴＶカメラ63の視野内
の所定の位置に停止する。一方、ＴＦＴ基板11はＸＹθ
ステージ52に載置して、適当に移動して視野外に待避す
るとともに、光シャッタ622 を挿入して垂直投光部62の
動作を停止する。ついで光シャッタ612 を引き抜くとリ
ング投光部61が動作して、ランプ光源611 の光束がリン
グ投光器613 に入射し、ＣＯＧ４は全周が斜め方向にリ
ング照射されて、そのマーク（ＭC1，ＭC2) の鮮明な映
像がＴＶカメラ63により撮像され、パタン配線43は不鮮
明に撮像される。
合せ方法を説明する。ＣＯＧ４はロボットハンド51にチ
ャックされ、ハンドリングによりＴＶカメラ63の視野内
の所定の位置に停止する。一方、ＴＦＴ基板11はＸＹθ
ステージ52に載置して、適当に移動して視野外に待避す
るとともに、光シャッタ622 を挿入して垂直投光部62の
動作を停止する。ついで光シャッタ612 を引き抜くとリ
ング投光部61が動作して、ランプ光源611 の光束がリン
グ投光器613 に入射し、ＣＯＧ４は全周が斜め方向にリ
ング照射されて、そのマーク（ＭC1，ＭC2) の鮮明な映
像がＴＶカメラ63により撮像され、パタン配線43は不鮮
明に撮像される。
【００１２】次に、待避中のＴＦＴ基板11を移動して、
そのマーク（ＭT1，ＭT2) をＣＯＧ４のマーク（ＭC1，
ＭC2) に接近させて停止し、光シャッタ612 を挿入して
リング投光部61の動作を停止する。ついで、光シャッタ
622 を引き抜いてランプ光源621 の光束を投光レンズ62
3 入射して平行とし、ハーフミラー624 を経て、ＴＦＴ
基板11を垂直照射すると、そのマーク（ＭT1，ＭT2）が
ＴＶカメラ63に鮮明に撮像される。以上により、鮮明に
撮像されたＴＶカメラ63の画像信号は、従来と同様に制
御信号作成回路54に入力し、各マークの座標値が検出さ
れてＸＹ制御信号とθ制御信号が作成され、両制御信号
によりＸＹθステージを移動または回転して、両者の各
マークを互いに一致させると、ＴＦＴ基板11の入力リー
ド線群111 と、ＣＯＧ４の出力リード線群43とが位置合
せされ、これらの間に挿入したＡＣＦと押圧により両者
が相互に接続される。
そのマーク（ＭT1，ＭT2) をＣＯＧ４のマーク（ＭC1，
ＭC2) に接近させて停止し、光シャッタ612 を挿入して
リング投光部61の動作を停止する。ついで、光シャッタ
622 を引き抜いてランプ光源621 の光束を投光レンズ62
3 入射して平行とし、ハーフミラー624 を経て、ＴＦＴ
基板11を垂直照射すると、そのマーク（ＭT1，ＭT2）が
ＴＶカメラ63に鮮明に撮像される。以上により、鮮明に
撮像されたＴＶカメラ63の画像信号は、従来と同様に制
御信号作成回路54に入力し、各マークの座標値が検出さ
れてＸＹ制御信号とθ制御信号が作成され、両制御信号
によりＸＹθステージを移動または回転して、両者の各
マークを互いに一致させると、ＴＦＴ基板11の入力リー
ド線群111 と、ＣＯＧ４の出力リード線群43とが位置合
せされ、これらの間に挿入したＡＣＦと押圧により両者
が相互に接続される。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の位置合
せ光学系においては、ドライバチップに対して設けたリ
ング投光部により、リング照明光を斜め方向に照射して
ドライバチップのパタン配線を不鮮明に、その位置合せ
用マークを鮮明にＴＶカメラにより撮像し、ＴＦＴ基板
に対しては垂直投光部により平行光を垂直に照射して、
その位置合せ用マークをＴＶカメラにより鮮明に撮像し
て、両者のマークを互いに正確に位置合せできるもの
で、ＣＯＧ接続方式における位置合せ技術に寄与する効
果には、大きいものがある。
せ光学系においては、ドライバチップに対して設けたリ
ング投光部により、リング照明光を斜め方向に照射して
ドライバチップのパタン配線を不鮮明に、その位置合せ
用マークを鮮明にＴＶカメラにより撮像し、ＴＦＴ基板
に対しては垂直投光部により平行光を垂直に照射して、
その位置合せ用マークをＴＶカメラにより鮮明に撮像し
て、両者のマークを互いに正確に位置合せできるもの
で、ＣＯＧ接続方式における位置合せ技術に寄与する効
果には、大きいものがある。
【図１】 図１は、この発明の一実施例における位置合
せ光学系の構成図である。
せ光学系の構成図である。
【図２】 図２は、リング投光器の説明図で、(a) は構
造図、(b) は作用の説明図である。
造図、(b) は作用の説明図である。
【図３】 図３は、ＴＡＢ接続方式の液晶セルの外観図
である。
である。
【図４】 図４は、ＣＯＧ接続方式の液晶セルの説明図
で、(a) は構造図、(b) は接続方法の説明図である。
で、(a) は構造図、(b) は接続方法の説明図である。
【図５】 図５は、ＴＡＢ接続方式に適用され、この発
明の先行技術とする位置合せ装置の構成図である。
明の先行技術とする位置合せ装置の構成図である。
【図６】 図６は、ドライバチップ（ＣＯＧ）のパタン
配線と位置合せ用マークの配列図である。
配線と位置合せ用マークの配列図である。
１…液晶セル、11…ＴＦＴ基板、111 …入力リード線
群、12…ガラス板、２…ＴＡＢ、21…透明テープ、22,2
3 …パタン配線、３…ＩＣチップ、31…出力リード線
群、32…入力リード線群、４…ドライバチップ（ＣＯ
Ｇ）、41…出力リード線群、42…入力リード線群、43…
パタン配線、５…位置合せ装置、51…ロボットハンド、
52…ＸＹθステージ、53…先行技術の位置合せ光学系、
531 …ランプ光源、 532 …ハーフミラー、533 …対物
レンズ、534 …ＴＶカメラ、54…制御信号作成回路、６
…この発明の位置合せ光学系、61…リング投光部、611
…ランプ光源、612 …光シャッタ、613 …リング投光
器、62…垂直投光部、621 …ランプ光源 622 …光シャッタ、623 …投光レンズ、624 …ハーフミ
ラー、63…ＴＶカメラ Ｍ1,Ｍ2 …ＴＡＢ２の位置合せ用マーク、ＭT1，ＭT2…
ＴＦＴ基板11の位置合せ用マーク、ＭC1，ＭC2…ＣＯＧ
４の位置合せ用マーク。
群、12…ガラス板、２…ＴＡＢ、21…透明テープ、22,2
3 …パタン配線、３…ＩＣチップ、31…出力リード線
群、32…入力リード線群、４…ドライバチップ（ＣＯ
Ｇ）、41…出力リード線群、42…入力リード線群、43…
パタン配線、５…位置合せ装置、51…ロボットハンド、
52…ＸＹθステージ、53…先行技術の位置合せ光学系、
531 …ランプ光源、 532 …ハーフミラー、533 …対物
レンズ、534 …ＴＶカメラ、54…制御信号作成回路、６
…この発明の位置合せ光学系、61…リング投光部、611
…ランプ光源、612 …光シャッタ、613 …リング投光
器、62…垂直投光部、621 …ランプ光源 622 …光シャッタ、623 …投光レンズ、624 …ハーフミ
ラー、63…ＴＶカメラ Ｍ1,Ｍ2 …ＴＡＢ２の位置合せ用マーク、ＭT1，ＭT2…
ＴＦＴ基板11の位置合せ用マーク、ＭC1，ＭC2…ＣＯＧ
４の位置合せ用マーク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/336
Claims (1)
- 【請求項１】液晶セルの構成要素のＴＦＴ基板の１辺に
形成された複数組の入力リード線群の、それぞれの両側
に設けた位置合せ用マークＭT1，ＭT2と、１組の該入力
リード線群に接続される出力リード線群を有するドライ
バチップの位置合せ用マークＭC1，ＭC2との位置合せに
おいて、前記ドライバチップのマークＭC1，ＭC2に対し
て、斜め方向にリング光束を照射するリング投光部と、
該両マークＭC1，ＭC2に接近した状態の前記ＴＦＴ基板
の１組の入力リード線群のマークＭT1，ＭT2に対して、
平行光束を垂直に照射する垂直投光部、該リング投光部
と垂直投光部とを交互に切り換える切り換え手段、およ
び該光束がそれぞれ照射されたマークＭC1，ＭC2と、マ
ークＭT1，ＭT2とに対する共通のＴＶカメラとにより構
成されたことを特徴とする、液晶セル用ドライバチップ
の位置合せ光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24244895A JPH0961118A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24244895A JPH0961118A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961118A true JPH0961118A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17089253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24244895A Pending JPH0961118A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961118A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100548683B1 (ko) * | 1997-07-30 | 2006-04-21 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 회로 기판 유닛의 제조 방법 및 액정 장치의 제조 방법 |
| WO2019145994A1 (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 回路フィルム素材、回路フィルムの製造方法および表示装置 |
-
1995
- 1995-08-28 JP JP24244895A patent/JPH0961118A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100548683B1 (ko) * | 1997-07-30 | 2006-04-21 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 회로 기판 유닛의 제조 방법 및 액정 장치의 제조 방법 |
| WO2019145994A1 (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 回路フィルム素材、回路フィルムの製造方法および表示装置 |
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