JPH0961118A - 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 - Google Patents
液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系Info
- Publication number
- JPH0961118A JPH0961118A JP24244895A JP24244895A JPH0961118A JP H0961118 A JPH0961118 A JP H0961118A JP 24244895 A JP24244895 A JP 24244895A JP 24244895 A JP24244895 A JP 24244895A JP H0961118 A JPH0961118 A JP H0961118A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- marks
- alignment
- ring
- tft substrate
- liquid crystal
- Prior art date
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- Pending
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- Thin Film Transistor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶セルのTFT基板と、これに接続するド
ライバチップ(COG)の両者の位置合せマークを、鮮
明に撮像する。 【解決手段】 COG4の位置合せ用マークMC1,MC2
に対して、斜め方向にリング光束を照射するリング投光
部61と、両マークMC1,MC2に接近した状態の、TFT
基板11のマークMT1,MT2に対して平行光束を垂直に照
射する垂直投光部62、リング投光部61と垂直投光部62と
を交互に切り換える光シャッタ612,622 、および各マー
ク(MC1,MC2)と(MT1,MT2)とに対する共通のT
Vカメラ63とにより構成される。 【効果】 位置合せが正確になされる。
ライバチップ(COG)の両者の位置合せマークを、鮮
明に撮像する。 【解決手段】 COG4の位置合せ用マークMC1,MC2
に対して、斜め方向にリング光束を照射するリング投光
部61と、両マークMC1,MC2に接近した状態の、TFT
基板11のマークMT1,MT2に対して平行光束を垂直に照
射する垂直投光部62、リング投光部61と垂直投光部62と
を交互に切り換える光シャッタ612,622 、および各マー
ク(MC1,MC2)と(MT1,MT2)とに対する共通のT
Vカメラ63とにより構成される。 【効果】 位置合せが正確になされる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶セルとドラ
イバチップの両者に設けた位置合せ用マークを、互いに
位置合せするための位置合せ光学系に関する。
イバチップの両者に設けた位置合せ用マークを、互いに
位置合せするための位置合せ光学系に関する。
【0002】
【従来の技術】各方面で多用されているカラー液晶パネ
ルは、液晶セルとカラーフィルタを主要要素とし構成さ
れ、複雑かつ精密な多段階の加工や組立て工程により製
作される。図3は液晶セル1の一例の外観を示す。液晶
セル1は、TFT素子よりなる多数の画素電極がマトリ
ックス状に配列されたTFT基板11と、これに対して適
当なギャップをなすガラス板12とを有し、このギャップ
内に液晶材料が封入されている。TFT基板11の対向す
る2辺の表面には、各TFT素子に対する入力リード線
群111 が複数組配列されており、各入力リード線群111
は、適当な接続方式、例えばTAB(テープオートメイ
テッドボンディング)方式により、外部回路に接続され
る。TAB方式においては、ポリイミドなどの透明テー
プ21に所要のパタン配線22,23をプリントしたTAB2
を使用し、その中心付近にICチップ3を搭載してその
出力リード線群31と入力リード線群32とが、パタン配線
22,23にそれぞれ接続されている。パタン配線22の両側
には、位置合せ用マークM1,M2 が同時にプリントさ
れ、これに対応してTFT基板11の各入力リード線群11
1の両側にもマークMT1,MT2が設けられ、各マークの
対応するものを、後述する位置合せ装置5(図5)によ
り互いに位置合せした後、TAB2と入力リード線群11
1 の間にACF(異方性導電シート)を挿入し、TAB
2を押圧すると両者が接続される。
ルは、液晶セルとカラーフィルタを主要要素とし構成さ
れ、複雑かつ精密な多段階の加工や組立て工程により製
作される。図3は液晶セル1の一例の外観を示す。液晶
セル1は、TFT素子よりなる多数の画素電極がマトリ
ックス状に配列されたTFT基板11と、これに対して適
当なギャップをなすガラス板12とを有し、このギャップ
内に液晶材料が封入されている。TFT基板11の対向す
る2辺の表面には、各TFT素子に対する入力リード線
群111 が複数組配列されており、各入力リード線群111
は、適当な接続方式、例えばTAB(テープオートメイ
テッドボンディング)方式により、外部回路に接続され
る。TAB方式においては、ポリイミドなどの透明テー
プ21に所要のパタン配線22,23をプリントしたTAB2
を使用し、その中心付近にICチップ3を搭載してその
出力リード線群31と入力リード線群32とが、パタン配線
22,23にそれぞれ接続されている。パタン配線22の両側
には、位置合せ用マークM1,M2 が同時にプリントさ
れ、これに対応してTFT基板11の各入力リード線群11
1の両側にもマークMT1,MT2が設けられ、各マークの
対応するものを、後述する位置合せ装置5(図5)によ
り互いに位置合せした後、TAB2と入力リード線群11
1 の間にACF(異方性導電シート)を挿入し、TAB
2を押圧すると両者が接続される。
【0003】上記においては、複数組のリード線群111
はTFT基板11の対向する2辺に配列されているが、こ
れを片側の1辺にまとめれば、その分TFT基板11の周
辺のいわゆる額縁部分が縮小されるので、液晶パネルの
画像面のサイズがその分拡大され、またTFT基板11の
製作の際の複数枚取りに対して有利である。一方、TA
B2は配線のピッチ間隔に限界があって、ますます進展
する液晶パネルの高精細化に対応できないため、TAB
2の代わりに、リード線のピッチ間隔が狭いICチップ
を使用し、これを各リード線群111 に直接接続する方式
が開発されている。この場合、ICチップはTFT基板
11のガラス面に接触させるので、COG(チップオング
ラス)方式とよばれており、このICチップをCOGと
よぶこととする。
はTFT基板11の対向する2辺に配列されているが、こ
れを片側の1辺にまとめれば、その分TFT基板11の周
辺のいわゆる額縁部分が縮小されるので、液晶パネルの
画像面のサイズがその分拡大され、またTFT基板11の
製作の際の複数枚取りに対して有利である。一方、TA
B2は配線のピッチ間隔に限界があって、ますます進展
する液晶パネルの高精細化に対応できないため、TAB
2の代わりに、リード線のピッチ間隔が狭いICチップ
を使用し、これを各リード線群111 に直接接続する方式
が開発されている。この場合、ICチップはTFT基板
11のガラス面に接触させるので、COG(チップオング
ラス)方式とよばれており、このICチップをCOGと
よぶこととする。
【0004】図4により上記のCOG方式による接続方
法を説明する。(a) において、TFT基板11には、その
片側の1辺に複数組の入力リード線群111 が設けられ、
これらに対してCOG4がそれぞれ接続され、さらに各
COG4はTAB2により外部回路に接続される。(b)
は具体的な接続方法を示し、平面図に示すように、CO
G4の2箇所の角には、TFT基板11のマークMT1,M
T2に対応するマークMC1,MC2が設けてある。COG4
を定位置とし、その下方に置いたTFT基板11を移動し
て、両者のマークを位置合せさせた後、両者の間にAC
Fを挿入してCOG4を押圧すると、COG4の出力リ
ード線群41が、TFT基板11の入力リード線群111 に接
続される。なお各COG4の入力リード線群42は、IC
チップの無いTAB2を接続して外部回路に接続され
る。
法を説明する。(a) において、TFT基板11には、その
片側の1辺に複数組の入力リード線群111 が設けられ、
これらに対してCOG4がそれぞれ接続され、さらに各
COG4はTAB2により外部回路に接続される。(b)
は具体的な接続方法を示し、平面図に示すように、CO
G4の2箇所の角には、TFT基板11のマークMT1,M
T2に対応するマークMC1,MC2が設けてある。COG4
を定位置とし、その下方に置いたTFT基板11を移動し
て、両者のマークを位置合せさせた後、両者の間にAC
Fを挿入してCOG4を押圧すると、COG4の出力リ
ード線群41が、TFT基板11の入力リード線群111 に接
続される。なお各COG4の入力リード線群42は、IC
チップの無いTAB2を接続して外部回路に接続され
る。
【0005】図5は、図3のTAB接続方式に適用する
位置合せ装置5の概略の構成を示し、これを先行技術と
してその動作を説明する。位置合せ装置5においては、
TAB2はロボットハンド51にチャックし、TFT基板
11はXYθステージ52に載置し、それぞれの位置合せ用
のマーク(M1,M2)とマーク(MT1,MT2)とを、位置
合せ光学系53の視野内に停止する。ランプ光源531 より
の照明光は、ハーフミラー532 を経て対物レンズ533 に
より平行とされて、両者の各マークに対して垂直に照射
される。照射された各マークはTVカメラ534 により撮
像され、それぞれの画像信号は制御信号作成回路54に入
力し、各マークの座標位置が検出されてXY制御信号と
θ制御信号が作成される。両制御信号はXYθステージ
52に入力して、載置されたTFT基板11のマークMT1,
MT2を、XまたはY移動し、またはθ回転して、TAB
2のマークM1,M2 に一致させて両者が位置合せされ
る。
位置合せ装置5の概略の構成を示し、これを先行技術と
してその動作を説明する。位置合せ装置5においては、
TAB2はロボットハンド51にチャックし、TFT基板
11はXYθステージ52に載置し、それぞれの位置合せ用
のマーク(M1,M2)とマーク(MT1,MT2)とを、位置
合せ光学系53の視野内に停止する。ランプ光源531 より
の照明光は、ハーフミラー532 を経て対物レンズ533 に
より平行とされて、両者の各マークに対して垂直に照射
される。照射された各マークはTVカメラ534 により撮
像され、それぞれの画像信号は制御信号作成回路54に入
力し、各マークの座標位置が検出されてXY制御信号と
θ制御信号が作成される。両制御信号はXYθステージ
52に入力して、載置されたTFT基板11のマークMT1,
MT2を、XまたはY移動し、またはθ回転して、TAB
2のマークM1,M2 に一致させて両者が位置合せされ
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】さて、図4のCOG接
続方式に対して、上記の位置合せ装置5を適用すること
は原理上は可能である。ただし、その位置合せ光学系53
には難点がある。すなわちCOG4には、図6に示すよ
うに、パタン配線43が全域に亘って稠密に形成されてお
り、これがマークMC1,MC2に接近しいるため、これら
に対して照明光が垂直に照射されると、両者はともにT
Vカメラ534 に明瞭に撮像されて、その区別が困難なこ
とが難点である。このような難点を解決するには、CO
G4に対する照明方法を改善して、TVカメラ534 には
パタン配線43は不鮮明に、位置合せ用のマークMC1,M
C2は鮮明に撮像することが必要である。この発明は以上
に鑑みてなされたもので、COG4のパタン配線を不鮮
明とし、TFT基板11とCOG(ドライバチップ)4の
各マークを鮮明に撮像する、COG接続方式に適切な位
置合せ光学系を提供することを目的とする。
続方式に対して、上記の位置合せ装置5を適用すること
は原理上は可能である。ただし、その位置合せ光学系53
には難点がある。すなわちCOG4には、図6に示すよ
うに、パタン配線43が全域に亘って稠密に形成されてお
り、これがマークMC1,MC2に接近しいるため、これら
に対して照明光が垂直に照射されると、両者はともにT
Vカメラ534 に明瞭に撮像されて、その区別が困難なこ
とが難点である。このような難点を解決するには、CO
G4に対する照明方法を改善して、TVカメラ534 には
パタン配線43は不鮮明に、位置合せ用のマークMC1,M
C2は鮮明に撮像することが必要である。この発明は以上
に鑑みてなされたもので、COG4のパタン配線を不鮮
明とし、TFT基板11とCOG(ドライバチップ)4の
各マークを鮮明に撮像する、COG接続方式に適切な位
置合せ光学系を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成する位置合せ光学系であって、ドライバチップの
マークMC1,MC2に対して、斜め方向にリング光束を照
射するリング投光部と、両マークMC1,MC2に接近した
状態の、TFT基板の1組の入力リード線群のマークM
T1,MT2に対して平行光束を垂直に照射する垂直投光
部、リング投光部と垂直投光部とを交互に切り換える切
り換え手段、および光束がそれぞれ照射されたマークM
C1,MC2と、マークMT1,MT2とに対する共通のTVカ
メラとにより構成される。
を達成する位置合せ光学系であって、ドライバチップの
マークMC1,MC2に対して、斜め方向にリング光束を照
射するリング投光部と、両マークMC1,MC2に接近した
状態の、TFT基板の1組の入力リード線群のマークM
T1,MT2に対して平行光束を垂直に照射する垂直投光
部、リング投光部と垂直投光部とを交互に切り換える切
り換え手段、および光束がそれぞれ照射されたマークM
C1,MC2と、マークMT1,MT2とに対する共通のTVカ
メラとにより構成される。
【0008】
【発明の実施の形態】上記の位置合せ光学系において
は、切り換え手段(後述する実施例においては、光シャ
ッタ612,622 の挿入と抜去)により、例えばまずリング
投光部を動作させて、ドライバチップのマークMC1,M
C2に対してリング光束を斜め方向に照射し、これをTV
カメラにより撮像する。このように、リング光束を斜め
方向に照射することにより、ドライバチップのパタン配
線は不鮮明に、マークMC1,MC2は鮮明にTVカメラに
撮像されることが、実験により確認されており、これに
より両者は容易に区別されてマークMC1,MC2の座標値
を正確に求めることができる。次に、切り換え手段より
垂直投光部を動作させ、TFT基板の1組の入力リード
線群のマークMT1,MT2に対して平行光束を垂直に照射
する。この照射方法は従来と同様であり、TVカメラに
はマークMT1,MT2が鮮明に撮像されて、その座標値が
正確に求められる。以上によりえられた各座標値によ
り、位置合せが正確になされるものである。
は、切り換え手段(後述する実施例においては、光シャ
ッタ612,622 の挿入と抜去)により、例えばまずリング
投光部を動作させて、ドライバチップのマークMC1,M
C2に対してリング光束を斜め方向に照射し、これをTV
カメラにより撮像する。このように、リング光束を斜め
方向に照射することにより、ドライバチップのパタン配
線は不鮮明に、マークMC1,MC2は鮮明にTVカメラに
撮像されることが、実験により確認されており、これに
より両者は容易に区別されてマークMC1,MC2の座標値
を正確に求めることができる。次に、切り換え手段より
垂直投光部を動作させ、TFT基板の1組の入力リード
線群のマークMT1,MT2に対して平行光束を垂直に照射
する。この照射方法は従来と同様であり、TVカメラに
はマークMT1,MT2が鮮明に撮像されて、その座標値が
正確に求められる。以上によりえられた各座標値によ
り、位置合せが正確になされるものである。
【0009】
【実施例】図1はこの発明の一実施例における位置合せ
光学系6の構成を示す。位置合せ光学系6は、図5にお
ける位置合せ装置5の光学系53の代わりに設け、その他
の各部、すなわちロボットハンド51、XYθステージ5
2、制御信号作成回路54などは、そのまま使用する。位
置合せ光学系6は、リング投光部61と、垂直投光部62、
およびTVカメラ63よりなる。ただしTVカメラ63は従
来のTVカメラ534 によってもよい。リング投光部61
は、ランプ光源611 と、切り換え手段の光シャッタ612
、およびリング投光器613 よりなり、垂直投光部62
は、ランプ光源621 と、光シャッタ622 、投光レンズ62
3 、およびハーフミラー624 よりなる。
光学系6の構成を示す。位置合せ光学系6は、図5にお
ける位置合せ装置5の光学系53の代わりに設け、その他
の各部、すなわちロボットハンド51、XYθステージ5
2、制御信号作成回路54などは、そのまま使用する。位
置合せ光学系6は、リング投光部61と、垂直投光部62、
およびTVカメラ63よりなる。ただしTVカメラ63は従
来のTVカメラ534 によってもよい。リング投光部61
は、ランプ光源611 と、切り換え手段の光シャッタ612
、およびリング投光器613 よりなり、垂直投光部62
は、ランプ光源621 と、光シャッタ622 、投光レンズ62
3 、およびハーフミラー624 よりなる。
【0010】図2はリング投光器613 の説明図で、(a)
は構造を示し、リング投光器613 は、複数本のオプチカ
ルファイバ(OPF)を適当な直径の円形に周廻し、各
OPFの先端を一定の角度間隔に配列して、それぞれを
内方に対して斜め方向に放射状に指向させ、後端は一括
して光入力端とし、これをモールド成形したもので、種
々のサイズのものが市販されている。(b) において、光
入力端に対してランプ光源611 よりの光束を入射する
と、全OPFの先端からリング状の光束が射出されて、
COG4の全周を斜め方向に照射する。
は構造を示し、リング投光器613 は、複数本のオプチカ
ルファイバ(OPF)を適当な直径の円形に周廻し、各
OPFの先端を一定の角度間隔に配列して、それぞれを
内方に対して斜め方向に放射状に指向させ、後端は一括
して光入力端とし、これをモールド成形したもので、種
々のサイズのものが市販されている。(b) において、光
入力端に対してランプ光源611 よりの光束を入射する
と、全OPFの先端からリング状の光束が射出されて、
COG4の全周を斜め方向に照射する。
【0011】以下、上記の位置合せ光学系6による位置
合せ方法を説明する。COG4はロボットハンド51にチ
ャックされ、ハンドリングによりTVカメラ63の視野内
の所定の位置に停止する。一方、TFT基板11はXYθ
ステージ52に載置して、適当に移動して視野外に待避す
るとともに、光シャッタ622 を挿入して垂直投光部62の
動作を停止する。ついで光シャッタ612 を引き抜くとリ
ング投光部61が動作して、ランプ光源611 の光束がリン
グ投光器613 に入射し、COG4は全周が斜め方向にリ
ング照射されて、そのマーク(MC1,MC2) の鮮明な映
像がTVカメラ63により撮像され、パタン配線43は不鮮
明に撮像される。
合せ方法を説明する。COG4はロボットハンド51にチ
ャックされ、ハンドリングによりTVカメラ63の視野内
の所定の位置に停止する。一方、TFT基板11はXYθ
ステージ52に載置して、適当に移動して視野外に待避す
るとともに、光シャッタ622 を挿入して垂直投光部62の
動作を停止する。ついで光シャッタ612 を引き抜くとリ
ング投光部61が動作して、ランプ光源611 の光束がリン
グ投光器613 に入射し、COG4は全周が斜め方向にリ
ング照射されて、そのマーク(MC1,MC2) の鮮明な映
像がTVカメラ63により撮像され、パタン配線43は不鮮
明に撮像される。
【0012】次に、待避中のTFT基板11を移動して、
そのマーク(MT1,MT2) をCOG4のマーク(MC1,
MC2) に接近させて停止し、光シャッタ612 を挿入して
リング投光部61の動作を停止する。ついで、光シャッタ
622 を引き抜いてランプ光源621 の光束を投光レンズ62
3 入射して平行とし、ハーフミラー624 を経て、TFT
基板11を垂直照射すると、そのマーク(MT1,MT2)が
TVカメラ63に鮮明に撮像される。以上により、鮮明に
撮像されたTVカメラ63の画像信号は、従来と同様に制
御信号作成回路54に入力し、各マークの座標値が検出さ
れてXY制御信号とθ制御信号が作成され、両制御信号
によりXYθステージを移動または回転して、両者の各
マークを互いに一致させると、TFT基板11の入力リー
ド線群111 と、COG4の出力リード線群43とが位置合
せされ、これらの間に挿入したACFと押圧により両者
が相互に接続される。
そのマーク(MT1,MT2) をCOG4のマーク(MC1,
MC2) に接近させて停止し、光シャッタ612 を挿入して
リング投光部61の動作を停止する。ついで、光シャッタ
622 を引き抜いてランプ光源621 の光束を投光レンズ62
3 入射して平行とし、ハーフミラー624 を経て、TFT
基板11を垂直照射すると、そのマーク(MT1,MT2)が
TVカメラ63に鮮明に撮像される。以上により、鮮明に
撮像されたTVカメラ63の画像信号は、従来と同様に制
御信号作成回路54に入力し、各マークの座標値が検出さ
れてXY制御信号とθ制御信号が作成され、両制御信号
によりXYθステージを移動または回転して、両者の各
マークを互いに一致させると、TFT基板11の入力リー
ド線群111 と、COG4の出力リード線群43とが位置合
せされ、これらの間に挿入したACFと押圧により両者
が相互に接続される。
【0013】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の位置合
せ光学系においては、ドライバチップに対して設けたリ
ング投光部により、リング照明光を斜め方向に照射して
ドライバチップのパタン配線を不鮮明に、その位置合せ
用マークを鮮明にTVカメラにより撮像し、TFT基板
に対しては垂直投光部により平行光を垂直に照射して、
その位置合せ用マークをTVカメラにより鮮明に撮像し
て、両者のマークを互いに正確に位置合せできるもの
で、COG接続方式における位置合せ技術に寄与する効
果には、大きいものがある。
せ光学系においては、ドライバチップに対して設けたリ
ング投光部により、リング照明光を斜め方向に照射して
ドライバチップのパタン配線を不鮮明に、その位置合せ
用マークを鮮明にTVカメラにより撮像し、TFT基板
に対しては垂直投光部により平行光を垂直に照射して、
その位置合せ用マークをTVカメラにより鮮明に撮像し
て、両者のマークを互いに正確に位置合せできるもの
で、COG接続方式における位置合せ技術に寄与する効
果には、大きいものがある。
【図1】 図1は、この発明の一実施例における位置合
せ光学系の構成図である。
せ光学系の構成図である。
【図2】 図2は、リング投光器の説明図で、(a) は構
造図、(b) は作用の説明図である。
造図、(b) は作用の説明図である。
【図3】 図3は、TAB接続方式の液晶セルの外観図
である。
である。
【図4】 図4は、COG接続方式の液晶セルの説明図
で、(a) は構造図、(b) は接続方法の説明図である。
で、(a) は構造図、(b) は接続方法の説明図である。
【図5】 図5は、TAB接続方式に適用され、この発
明の先行技術とする位置合せ装置の構成図である。
明の先行技術とする位置合せ装置の構成図である。
【図6】 図6は、ドライバチップ(COG)のパタン
配線と位置合せ用マークの配列図である。
配線と位置合せ用マークの配列図である。
1…液晶セル、11…TFT基板、111 …入力リード線
群、12…ガラス板、2…TAB、21…透明テープ、22,2
3 …パタン配線、3…ICチップ、31…出力リード線
群、32…入力リード線群、4…ドライバチップ(CO
G)、41…出力リード線群、42…入力リード線群、43…
パタン配線、5…位置合せ装置、51…ロボットハンド、
52…XYθステージ、53…先行技術の位置合せ光学系、
531 …ランプ光源、 532 …ハーフミラー、533 …対物
レンズ、534 …TVカメラ、54…制御信号作成回路、6
…この発明の位置合せ光学系、61…リング投光部、611
…ランプ光源、612 …光シャッタ、613 …リング投光
器、62…垂直投光部、621 …ランプ光源 622 …光シャッタ、623 …投光レンズ、624 …ハーフミ
ラー、63…TVカメラ M1,M2 …TAB2の位置合せ用マーク、MT1,MT2…
TFT基板11の位置合せ用マーク、MC1,MC2…COG
4の位置合せ用マーク。
群、12…ガラス板、2…TAB、21…透明テープ、22,2
3 …パタン配線、3…ICチップ、31…出力リード線
群、32…入力リード線群、4…ドライバチップ(CO
G)、41…出力リード線群、42…入力リード線群、43…
パタン配線、5…位置合せ装置、51…ロボットハンド、
52…XYθステージ、53…先行技術の位置合せ光学系、
531 …ランプ光源、 532 …ハーフミラー、533 …対物
レンズ、534 …TVカメラ、54…制御信号作成回路、6
…この発明の位置合せ光学系、61…リング投光部、611
…ランプ光源、612 …光シャッタ、613 …リング投光
器、62…垂直投光部、621 …ランプ光源 622 …光シャッタ、623 …投光レンズ、624 …ハーフミ
ラー、63…TVカメラ M1,M2 …TAB2の位置合せ用マーク、MT1,MT2…
TFT基板11の位置合せ用マーク、MC1,MC2…COG
4の位置合せ用マーク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/336
Claims (1)
- 【請求項1】液晶セルの構成要素のTFT基板の1辺に
形成された複数組の入力リード線群の、それぞれの両側
に設けた位置合せ用マークMT1,MT2と、1組の該入力
リード線群に接続される出力リード線群を有するドライ
バチップの位置合せ用マークMC1,MC2との位置合せに
おいて、前記ドライバチップのマークMC1,MC2に対し
て、斜め方向にリング光束を照射するリング投光部と、
該両マークMC1,MC2に接近した状態の前記TFT基板
の1組の入力リード線群のマークMT1,MT2に対して、
平行光束を垂直に照射する垂直投光部、該リング投光部
と垂直投光部とを交互に切り換える切り換え手段、およ
び該光束がそれぞれ照射されたマークMC1,MC2と、マ
ークMT1,MT2とに対する共通のTVカメラとにより構
成されたことを特徴とする、液晶セル用ドライバチップ
の位置合せ光学系。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24244895A JPH0961118A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24244895A JPH0961118A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0961118A true JPH0961118A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17089253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24244895A Pending JPH0961118A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0961118A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100548683B1 (ko) * | 1997-07-30 | 2006-04-21 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 회로 기판 유닛의 제조 방법 및 액정 장치의 제조 방법 |
WO2019145994A1 (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 回路フィルム素材、回路フィルムの製造方法および表示装置 |
-
1995
- 1995-08-28 JP JP24244895A patent/JPH0961118A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100548683B1 (ko) * | 1997-07-30 | 2006-04-21 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 회로 기판 유닛의 제조 방법 및 액정 장치의 제조 방법 |
WO2019145994A1 (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 回路フィルム素材、回路フィルムの製造方法および表示装置 |
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