JPH0957937A - スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法 - Google Patents
スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法Info
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- JPH0957937A JPH0957937A JP7234764A JP23476495A JPH0957937A JP H0957937 A JPH0957937 A JP H0957937A JP 7234764 A JP7234764 A JP 7234764A JP 23476495 A JP23476495 A JP 23476495A JP H0957937 A JPH0957937 A JP H0957937A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 面粗度が小さく、また微細溶融物の付着のな
い壁面を持った細孔が形成でき、これにより高い印刷品
質と印刷精度を実現する。 【解決手段】 金属板１にレーザー光を照射して金属板
１に微細な細孔３からなるからパターンを形成した後、
金属板１の板面に対して斜めから同金属板１を粒状研磨
材を吹き付けてサンドブラスト研磨する。具体的には金
属板１を傾斜させて保持し状態で粒状研磨材をこの金属
板１の表面側、つまり金属板１の印刷ペーストが付与さ
れる側から吹き付ける。粒状研磨材は、＃１００〜＃１
５００のアルミナ系もしくはカーボン系研磨材が一般的
であり、その吹付速度は４００〜１０００ｍ／ｓｅｃが
一般的である。
い壁面を持った細孔が形成でき、これにより高い印刷品
質と印刷精度を実現する。 【解決手段】 金属板１にレーザー光を照射して金属板
１に微細な細孔３からなるからパターンを形成した後、
金属板１の板面に対して斜めから同金属板１を粒状研磨
材を吹き付けてサンドブラスト研磨する。具体的には金
属板１を傾斜させて保持し状態で粒状研磨材をこの金属
板１の表面側、つまり金属板１の印刷ペーストが付与さ
れる側から吹き付ける。粒状研磨材は、＃１００〜＃１
５００のアルミナ系もしくはカーボン系研磨材が一般的
であり、その吹付速度は４００〜１０００ｍ／ｓｅｃが
一般的である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子機器に
回路部品を実装し、半田付けするときに回路基板上等に
クリーム半田などの印刷ペーストをスクリーン印刷する
ときに使用されるスクリーン印刷用メタルマスクの製造
方法に関する。
回路部品を実装し、半田付けするときに回路基板上等に
クリーム半田などの印刷ペーストをスクリーン印刷する
ときに使用されるスクリーン印刷用メタルマスクの製造
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】スクリーン印刷用メタルマスクは、クリ
ーム半田ペーストや導電性インキ等を印刷するための細
孔によるパターンを有するが、このようなスクリーン印
刷用メタルマスクの従来における最も一般的な製造方法
は、エッチング法である。このエッチング法では、ステ
ンレス等の金属板上にエッチングフォトレジストによる
画像を形成した後、エッチング液により両面エッチング
を行い、細孔によるパターンを形成するという方法であ
る。
ーム半田ペーストや導電性インキ等を印刷するための細
孔によるパターンを有するが、このようなスクリーン印
刷用メタルマスクの従来における最も一般的な製造方法
は、エッチング法である。このエッチング法では、ステ
ンレス等の金属板上にエッチングフォトレジストによる
画像を形成した後、エッチング液により両面エッチング
を行い、細孔によるパターンを形成するという方法であ
る。
【０００３】また、近年のＣＡＤ・ＣＡＭ技術の普及と
レーザー加工機の普及に伴い、これらの特徴を生かした
金属の微細加工技術が向上し、レーザー加工法によるス
クリーン印刷用メタルマスクの製造の検討及び、導入が
図られている。このレーザー加工法によるスクリーン印
刷用メタルマスクの製造では、レーザー装置と自動ＸＹ
テーブルをＮＣ制御することで、ＣＡＤデータから直接
的に細孔を加工形成する方法である。これは、ＣＡＤに
より得られるデータから直接レーザー加工することによ
り、加工精度の向上と工期の短縮化を図ることができ、
有効な製造方法として期待されている。
レーザー加工機の普及に伴い、これらの特徴を生かした
金属の微細加工技術が向上し、レーザー加工法によるス
クリーン印刷用メタルマスクの製造の検討及び、導入が
図られている。このレーザー加工法によるスクリーン印
刷用メタルマスクの製造では、レーザー装置と自動ＸＹ
テーブルをＮＣ制御することで、ＣＡＤデータから直接
的に細孔を加工形成する方法である。これは、ＣＡＤに
より得られるデータから直接レーザー加工することによ
り、加工精度の向上と工期の短縮化を図ることができ、
有効な製造方法として期待されている。
【０００４】前記レーザー加工法により製造されたスク
リーン印刷用メタルマスクにおいて、金属板１に穿孔さ
れた細孔３の断面形状の例を図５（ａ）に示す。ここ
で、金属板１のレーザー光の入射面側１ａと反対側、つ
まりレーザー光出射側１ｂの細孔３の開口部周辺に突出
物ができる。これは、レーザー加工により生じる金属屑
が細孔３の開口部周辺に溶着してできたドロスと呼ばれ
る溶融付着物である。このドロス２は、印刷時に印刷性
を損なうので、金属板１の表面１ｂを研磨し、図５
（ｂ）に示すように、そのドロス２を除去することがな
されている。こうして得られたスクリーン印刷用メタル
マスクは、一般的には金属板１のレーザー光入射側１ａ
の面が印刷時にプリント基板の印刷面に接し、他方の面
がスキージに接するよう使用される。
リーン印刷用メタルマスクにおいて、金属板１に穿孔さ
れた細孔３の断面形状の例を図５（ａ）に示す。ここ
で、金属板１のレーザー光の入射面側１ａと反対側、つ
まりレーザー光出射側１ｂの細孔３の開口部周辺に突出
物ができる。これは、レーザー加工により生じる金属屑
が細孔３の開口部周辺に溶着してできたドロスと呼ばれ
る溶融付着物である。このドロス２は、印刷時に印刷性
を損なうので、金属板１の表面１ｂを研磨し、図５
（ｂ）に示すように、そのドロス２を除去することがな
されている。こうして得られたスクリーン印刷用メタル
マスクは、一般的には金属板１のレーザー光入射側１ａ
の面が印刷時にプリント基板の印刷面に接し、他方の面
がスキージに接するよう使用される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これま
でのレーザー加工法によるスクリーン印刷用メタルマス
クにおいては、レーザー光の照射により形成される金属
板１の細孔３の壁面の面粗度（平均粗さ：高さ）が大き
い。また、レーザー光の照射に形成された細孔３の壁面
にレーザー加工時に生じる微細な溶融物が付着する。こ
の結果、印刷時におけるクリーム半田等の印刷ペースト
の細孔３の通過性が悪く、これが印刷品質、印刷精度を
低下させる原因となっていた。本発明は、このような従
来のレーザー加工法によるスクリーン印刷用メタルマス
クの製造方法の課題に鑑み、面粗度が小さく、また微細
溶融物の付着のない壁面を持った細孔が形成でき、これ
により高い印刷品質と印刷精度が実現できるスクリーン
印刷用メタルマスクを製造することが可能な印刷方法を
提供する。
でのレーザー加工法によるスクリーン印刷用メタルマス
クにおいては、レーザー光の照射により形成される金属
板１の細孔３の壁面の面粗度（平均粗さ：高さ）が大き
い。また、レーザー光の照射に形成された細孔３の壁面
にレーザー加工時に生じる微細な溶融物が付着する。こ
の結果、印刷時におけるクリーム半田等の印刷ペースト
の細孔３の通過性が悪く、これが印刷品質、印刷精度を
低下させる原因となっていた。本発明は、このような従
来のレーザー加工法によるスクリーン印刷用メタルマス
クの製造方法の課題に鑑み、面粗度が小さく、また微細
溶融物の付着のない壁面を持った細孔が形成でき、これ
により高い印刷品質と印刷精度が実現できるスクリーン
印刷用メタルマスクを製造することが可能な印刷方法を
提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、このような
目的を達成するため、金属板１にレーザー光７を照射し
て形成した微細な細孔３に粒状研磨材を吹き付け、研磨
することとし、そのときに金属板１の板面に対する粒状
研磨材の吹き付け方向を同金属板１の板面に対して斜め
にした。これにより、ドロスの除去だけでなく、細孔３
の壁面の面粗度を小さくすると共に、細孔３の壁面に付
着した微細な溶融物を除去するようにした。
目的を達成するため、金属板１にレーザー光７を照射し
て形成した微細な細孔３に粒状研磨材を吹き付け、研磨
することとし、そのときに金属板１の板面に対する粒状
研磨材の吹き付け方向を同金属板１の板面に対して斜め
にした。これにより、ドロスの除去だけでなく、細孔３
の壁面の面粗度を小さくすると共に、細孔３の壁面に付
着した微細な溶融物を除去するようにした。
【０００７】すなわち、本発明によるスクリーン印刷用
メタルマスクの製造方法では、金属板１にレーザー光７
を照射して金属板１に微細な細孔３からなるからパター
ンを形成した後、金属板１の板面に対して斜めから同金
属板１を粒状研磨材を吹き付けてサンドブラスト研磨す
る。ここで、粒状研磨材は金属板１の表面側、つまり金
属板１の印刷ペーストが付与される側から吹き付けられ
るのがよい。また、金属板１に粒状研磨材を吹き付ける
ときは、金属板１が傾斜して保持された状態で行うとよ
い。この場合に使用される粒状研磨材は、＃１００〜＃
１５００のアルミナ系もしくはカーボン系研磨材が一般
的である。
メタルマスクの製造方法では、金属板１にレーザー光７
を照射して金属板１に微細な細孔３からなるからパター
ンを形成した後、金属板１の板面に対して斜めから同金
属板１を粒状研磨材を吹き付けてサンドブラスト研磨す
る。ここで、粒状研磨材は金属板１の表面側、つまり金
属板１の印刷ペーストが付与される側から吹き付けられ
るのがよい。また、金属板１に粒状研磨材を吹き付ける
ときは、金属板１が傾斜して保持された状態で行うとよ
い。この場合に使用される粒状研磨材は、＃１００〜＃
１５００のアルミナ系もしくはカーボン系研磨材が一般
的である。
【０００８】このような本発明によるスクリーン印刷用
メタルマスクの製造方法では、金属板１の板面に対して
斜めから粒状研磨材を吹き付けて研磨するので、金属板
１にレーザー光７を照射して形成した微細な細孔３の周
壁に粒状研磨材が直接衝突し、細孔３の壁面が研磨され
る。このため、その細孔３の開口部周辺に付着したドロ
スが除去されるだけでなく、細孔３の壁面が研磨され、
その面粗度が小さくなると共に、細孔３の壁面に付着し
た微細な溶融物も同時に除去される。このため、細孔３
の壁面が平滑化し、印刷ペーストの通過性が良くなり、
印刷品質、印刷精度の向上が図れる。
メタルマスクの製造方法では、金属板１の板面に対して
斜めから粒状研磨材を吹き付けて研磨するので、金属板
１にレーザー光７を照射して形成した微細な細孔３の周
壁に粒状研磨材が直接衝突し、細孔３の壁面が研磨され
る。このため、その細孔３の開口部周辺に付着したドロ
スが除去されるだけでなく、細孔３の壁面が研磨され、
その面粗度が小さくなると共に、細孔３の壁面に付着し
た微細な溶融物も同時に除去される。このため、細孔３
の壁面が平滑化し、印刷ペーストの通過性が良くなり、
印刷品質、印刷精度の向上が図れる。
【０００９】このスクリーン印刷用メタルマスクの製造
方法において、粒状研磨材の吹付速度は４００〜１００
０ｍ／ｓｅｃとするのが好ましい。これは、粒状研磨材
の吹付速度が４００より低いと、十分な研磨効果が得ら
れないからであり、また、粒状研磨材の吹付速度が１０
００ｍ／ｓｅｃより高いと、メタルマスクの変形や開口
部のエッジの欠落等が生じ、所望のパターンの印刷が困
難となるからである。
方法において、粒状研磨材の吹付速度は４００〜１００
０ｍ／ｓｅｃとするのが好ましい。これは、粒状研磨材
の吹付速度が４００より低いと、十分な研磨効果が得ら
れないからであり、また、粒状研磨材の吹付速度が１０
００ｍ／ｓｅｃより高いと、メタルマスクの変形や開口
部のエッジの欠落等が生じ、所望のパターンの印刷が困
難となるからである。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
４にスクリーン印刷用メタルマスクの外観を示す。この
メタルマスクは、メッシュ状のスクリーン紗５に張力を
与えながら、これを正方形の額縁状のスクリーン枠４に
沙張りし、さらに周縁部にエポキシ樹脂系接着剤を塗布
した薄い正方形のステンレス板（ＳＵＳ３０４板）等の
金属板１を前記スクリーン沙４の中央部に重ねて接着
し、接着剤を硬化させた後、前記金属板１の周辺部を除
く部分に重なっているスクリーン沙５を切除したもので
ある。
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
４にスクリーン印刷用メタルマスクの外観を示す。この
メタルマスクは、メッシュ状のスクリーン紗５に張力を
与えながら、これを正方形の額縁状のスクリーン枠４に
沙張りし、さらに周縁部にエポキシ樹脂系接着剤を塗布
した薄い正方形のステンレス板（ＳＵＳ３０４板）等の
金属板１を前記スクリーン沙４の中央部に重ねて接着
し、接着剤を硬化させた後、前記金属板１の周辺部を除
く部分に重なっているスクリーン沙５を切除したもので
ある。
【００１１】このスクリーン印刷用メタルマスクを図１
（ａ）で示すように保持治具８に保持し、これをレーザ
ー加工機にセットする。すなわち、スクリーン枠４を保
持治具８で両側から挟持し、この保持治具８を図示して
ない自動ＸＹテーブル上に載せ、スクリーン沙５に貼ら
れた金属板１を水平に保持する。この自動ＸＹテーブル
の上にはＹＡＧレーザー等を用いたレーザーヘッド６が
配置されており、ＮＣ制御により前記自動ＸＹテーブル
上の金属板１をＸ方向及びＹ方向移動しながら、レーザ
ーヘッド６からレーザー光７を金属板１に照射し、金属
板１の所定の位置に多数の細孔３を穿孔し、所要のパタ
ーンを形成する。このレーザー加工機のレーザー発振器
としては、例えばパルス発振形式のもの等が使用され
る。
（ａ）で示すように保持治具８に保持し、これをレーザ
ー加工機にセットする。すなわち、スクリーン枠４を保
持治具８で両側から挟持し、この保持治具８を図示して
ない自動ＸＹテーブル上に載せ、スクリーン沙５に貼ら
れた金属板１を水平に保持する。この自動ＸＹテーブル
の上にはＹＡＧレーザー等を用いたレーザーヘッド６が
配置されており、ＮＣ制御により前記自動ＸＹテーブル
上の金属板１をＸ方向及びＹ方向移動しながら、レーザ
ーヘッド６からレーザー光７を金属板１に照射し、金属
板１の所定の位置に多数の細孔３を穿孔し、所要のパタ
ーンを形成する。このレーザー加工機のレーザー発振器
としては、例えばパルス発振形式のもの等が使用され
る。
【００１２】次に、このようにして細孔３によるパター
ンが形成された金属板１のレーザー光出射側１ｂの面
を、＃１５００程度の研磨材にて平面研磨し、細孔３の
開口部周囲にあるドロス２を除去する。次に、このよう
にして研磨したスクリーン印刷用メタルマスクを、図１
（ｂ）で示すように保持治具１１に保持し、これをサン
ドブラスト研磨機にセットする。すなわち、スクリーン
枠４を保持治具１１で両側から挟持し、この保持治具１
１を図示してないサンドブラスト研磨機のテーブル上に
載せ、前記レーザー加工時とは上下面を反対にして、す
なわちレーザー光出射側１ｂを上にしてスクリーン沙５
に貼られた金属板１を傾斜させて保持する。この時の金
属板１の傾斜角度θ1 は１０°以上、望ましくは３０°
以上とする。例えば、図１（ｂ）の例では４５°の傾斜
角度で保持されている。
ンが形成された金属板１のレーザー光出射側１ｂの面
を、＃１５００程度の研磨材にて平面研磨し、細孔３の
開口部周囲にあるドロス２を除去する。次に、このよう
にして研磨したスクリーン印刷用メタルマスクを、図１
（ｂ）で示すように保持治具１１に保持し、これをサン
ドブラスト研磨機にセットする。すなわち、スクリーン
枠４を保持治具１１で両側から挟持し、この保持治具１
１を図示してないサンドブラスト研磨機のテーブル上に
載せ、前記レーザー加工時とは上下面を反対にして、す
なわちレーザー光出射側１ｂを上にしてスクリーン沙５
に貼られた金属板１を傾斜させて保持する。この時の金
属板１の傾斜角度θ1 は１０°以上、望ましくは３０°
以上とする。例えば、図１（ｂ）の例では４５°の傾斜
角度で保持されている。
【００１３】このように保持され金属板１の上にはブラ
ストノズル９が配置され、ここから水などの流体である
媒体と共に、粒状研磨材１０が４００ｍ／ｓｅｃ〜１０
００ｍ／ｓｅｃ、さらに好ましくは６００ｍ／ｓｅｃ〜
９００ｍ／ｓｅｃの速度で金属板１に吹き付けられる。
このブラストノズル９は、金属板１の板面に対する角度
θ2 を３０°以上、望ましくは４５°以上の斜め方向に
向けて設置するのがよい。例えば、図１（ｂ）の例では
θ2 ＝６０°の角度で設置されている。
ストノズル９が配置され、ここから水などの流体である
媒体と共に、粒状研磨材１０が４００ｍ／ｓｅｃ〜１０
００ｍ／ｓｅｃ、さらに好ましくは６００ｍ／ｓｅｃ〜
９００ｍ／ｓｅｃの速度で金属板１に吹き付けられる。
このブラストノズル９は、金属板１の板面に対する角度
θ2 を３０°以上、望ましくは４５°以上の斜め方向に
向けて設置するのがよい。例えば、図１（ｂ）の例では
θ2 ＝６０°の角度で設置されている。
【００１４】粒状研磨材としては、＃１００〜＃１５０
０、より好ましくは＃４００〜＃８００のアルミナ系も
しくはカーボン系研磨材が使用される。例えば、金属板
１がステンレスからなる場合、＃１００以下の粒状研磨
材では、研磨力が強すぎるため、細孔３の形状変化が起
こりやすく、また、＃１５００以上の粒状研磨材では、
研磨力が弱すぎるため、細孔３の壁面の面粗度の低減、
微細溶融物の除去等がされにくい。
０、より好ましくは＃４００〜＃８００のアルミナ系も
しくはカーボン系研磨材が使用される。例えば、金属板
１がステンレスからなる場合、＃１００以下の粒状研磨
材では、研磨力が強すぎるため、細孔３の形状変化が起
こりやすく、また、＃１５００以上の粒状研磨材では、
研磨力が弱すぎるため、細孔３の壁面の面粗度の低減、
微細溶融物の除去等がされにくい。
【００１５】このようにして、金属板１の板面に対して
傾斜した角度で粒状研磨材を金属板１の表面に吹き付
け、サンドブラスト研磨したときの細孔３の部分の模式
図を図２に示す。θ1 は金属板１の傾斜角であり、θ2
は金属板１に対するブラストノズル９の傾斜角である。
このようにして、細孔３を有する金属板１をサンドブラ
スト研磨することにより、粒状研磨材１０が金属板１の
細孔３の壁面に直接衝突する。その結果、図３に示すよ
うに、金属板１のパターンを構成する細孔３の壁面が平
滑化させ、その面粗度が小さくなる。また、細孔３の壁
面に付着した溶融物も除去される。
傾斜した角度で粒状研磨材を金属板１の表面に吹き付
け、サンドブラスト研磨したときの細孔３の部分の模式
図を図２に示す。θ1 は金属板１の傾斜角であり、θ2
は金属板１に対するブラストノズル９の傾斜角である。
このようにして、細孔３を有する金属板１をサンドブラ
スト研磨することにより、粒状研磨材１０が金属板１の
細孔３の壁面に直接衝突する。その結果、図３に示すよ
うに、金属板１のパターンを構成する細孔３の壁面が平
滑化させ、その面粗度が小さくなる。また、細孔３の壁
面に付着した溶融物も除去される。
【００１６】
【実施例】次に、本発明の具体例について、具体的数値
をあげながら説明する。 （実施例１）図４に示すように、メッシュ状のスクリー
ン紗５に一定の張力を与えながら、これを縦横各３２０
ｍｍの正方形の額縁状のスクリーン枠４に沙張りした。
さらに金属板として縦横各２４０ｍｍ、厚さ１５０μｍ
の正方形のステンレス板（ＳＵＳ３０４板）を用い、こ
の金属板１の周縁部にエポキシ樹脂系接着剤を塗布した
後、この金属板１を前記スクリーン沙４の中央部に重
ね、この状態で約６時間程放置して接着剤を乾燥、硬化
させ、接着した。その後、前記金属板１の外形から１０
ｍｍ内側の部分に重なるスクリーン沙５を部分的に切り
除いた。
をあげながら説明する。 （実施例１）図４に示すように、メッシュ状のスクリー
ン紗５に一定の張力を与えながら、これを縦横各３２０
ｍｍの正方形の額縁状のスクリーン枠４に沙張りした。
さらに金属板として縦横各２４０ｍｍ、厚さ１５０μｍ
の正方形のステンレス板（ＳＵＳ３０４板）を用い、こ
の金属板１の周縁部にエポキシ樹脂系接着剤を塗布した
後、この金属板１を前記スクリーン沙４の中央部に重
ね、この状態で約６時間程放置して接着剤を乾燥、硬化
させ、接着した。その後、前記金属板１の外形から１０
ｍｍ内側の部分に重なるスクリーン沙５を部分的に切り
除いた。
【００１７】次に、このスクリーン印刷用メタルマスク
を図１（ａ）で示すように保持治具８に保持し、これを
レーザー加工機にセットした。そして、ＮＣ制御により
前記自動ＸＹテーブル上の金属板１をＸ方向及びＹ方向
移動しながら、レーザーヘッド６から、出力１０Ｗ、レ
ーザー光７のスポット径４０μｍ、焦点距離３０ｍｍ、
焦点位置と金属板１のレーザー入射側１ａの板面のとの
距離±０ｍｍでレーザー光７を金属板１に照射し、金属
板１の所定の位置に細孔３を穿孔し、所要のパターンを
形成した。このレーザー加工機のレーザー発振器として
パルス発振形式のものを使用した。
を図１（ａ）で示すように保持治具８に保持し、これを
レーザー加工機にセットした。そして、ＮＣ制御により
前記自動ＸＹテーブル上の金属板１をＸ方向及びＹ方向
移動しながら、レーザーヘッド６から、出力１０Ｗ、レ
ーザー光７のスポット径４０μｍ、焦点距離３０ｍｍ、
焦点位置と金属板１のレーザー入射側１ａの板面のとの
距離±０ｍｍでレーザー光７を金属板１に照射し、金属
板１の所定の位置に細孔３を穿孔し、所要のパターンを
形成した。このレーザー加工機のレーザー発振器として
パルス発振形式のものを使用した。
【００１８】次に、このようにして細孔３によるパター
ンが形成された金属板１のレーザー光出射側１ｂの面を
＃１５００の研磨材にて平面研磨し、細孔３の開口部周
囲にあるドロス２を除去した。次に、このようにして研
磨したスクリーン印刷用メタルマスクを、図１（ｂ）で
示すように保持治具１１に保持し、これをサンドブラス
ト研磨機にセットした。金属板１はそのレーザー光出射
側１ｂを上向きとし、傾斜角度θ1 ＝４５°で保持し
た。このように保持された金属板１の上に、同金属板１
の板面に対する傾斜角θ2 ＝６０°でノズル口径４．４
ｍｍのブラストノズル９を配置し、このブラストノズル
９から水に分散した＃６００のアルミナ系研磨材を８０
０ｍ／ｓｅｃの速度で金属板１に吹き付け、サンドブラ
スト研磨をした。なお、ブラストノズル９は、金属板１
の板面と平行に１ｓｅｃ／ｃｍ2 の速度で移動すると共
に、金属板１の板面に対する傾斜角θ2 ＝６０°を維持
しながら金属板１への粒状研磨の噴射方向を変え、同金
属板１の上下左右方向から粒状研磨材を吹き付けた。
ンが形成された金属板１のレーザー光出射側１ｂの面を
＃１５００の研磨材にて平面研磨し、細孔３の開口部周
囲にあるドロス２を除去した。次に、このようにして研
磨したスクリーン印刷用メタルマスクを、図１（ｂ）で
示すように保持治具１１に保持し、これをサンドブラス
ト研磨機にセットした。金属板１はそのレーザー光出射
側１ｂを上向きとし、傾斜角度θ1 ＝４５°で保持し
た。このように保持された金属板１の上に、同金属板１
の板面に対する傾斜角θ2 ＝６０°でノズル口径４．４
ｍｍのブラストノズル９を配置し、このブラストノズル
９から水に分散した＃６００のアルミナ系研磨材を８０
０ｍ／ｓｅｃの速度で金属板１に吹き付け、サンドブラ
スト研磨をした。なお、ブラストノズル９は、金属板１
の板面と平行に１ｓｅｃ／ｃｍ2 の速度で移動すると共
に、金属板１の板面に対する傾斜角θ2 ＝６０°を維持
しながら金属板１への粒状研磨の噴射方向を変え、同金
属板１の上下左右方向から粒状研磨材を吹き付けた。
【００１８】このようにして得られたスクリーン印刷用
メタルマスクの金属板１のパターンを構成している細孔
３の壁面の面粗度を三次元形状解析装置により測定、分
析した結果、面粗度は、前記レーザー加工直後でサンド
ブラスト研磨前にＲｚにて３．５μｍだったのが、Ｒｚ
にて１．０μｍとなったことが確認された。また、前記
レーザー加工直後でサンドブラスト研磨前に細孔３の壁
面に付着した溶融物も同時に除去されていることが確認
された。さらに、このスクリーン印刷用メタルマスクに
ついて、印刷機により印刷性を確認したところ、金属板
１の厚みと同じ直径の１５０μｍの細孔３にて良好な印
刷ペーストの通過性が確認された。
メタルマスクの金属板１のパターンを構成している細孔
３の壁面の面粗度を三次元形状解析装置により測定、分
析した結果、面粗度は、前記レーザー加工直後でサンド
ブラスト研磨前にＲｚにて３．５μｍだったのが、Ｒｚ
にて１．０μｍとなったことが確認された。また、前記
レーザー加工直後でサンドブラスト研磨前に細孔３の壁
面に付着した溶融物も同時に除去されていることが確認
された。さらに、このスクリーン印刷用メタルマスクに
ついて、印刷機により印刷性を確認したところ、金属板
１の厚みと同じ直径の１５０μｍの細孔３にて良好な印
刷ペーストの通過性が確認された。
【００１９】（実施例２）前記実施例１において、粒状
研磨材１０として、＃６００のカーボン系サンドブラス
トを使用し、同様にしてスクリーン印刷用メタルマスク
を製作したところ、同様の結果が得られた。
研磨材１０として、＃６００のカーボン系サンドブラス
トを使用し、同様にしてスクリーン印刷用メタルマスク
を製作したところ、同様の結果が得られた。
【００２０】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、レ
ーザー加工法により製造されるスクリーン印刷用メタル
マスクにおいて、面粗度が小さく、また微細溶融物の付
着のない壁面を持った細孔３が形成できる。これによ
り、印刷ペーストの印刷性が良好となり、印刷品質、印
刷精度の向上を図ることができる。
ーザー加工法により製造されるスクリーン印刷用メタル
マスクにおいて、面粗度が小さく、また微細溶融物の付
着のない壁面を持った細孔３が形成できる。これによ
り、印刷ペーストの印刷性が良好となり、印刷品質、印
刷精度の向上を図ることができる。
【図１】本発明の実施例によるスクリーン印刷用メタル
マスクの製造方法におけるレーザー加工工程とサンドブ
ラスト研磨工程とを示す要部縦断側面図である。
マスクの製造方法におけるレーザー加工工程とサンドブ
ラスト研磨工程とを示す要部縦断側面図である。
【図２】同実施例によるスクリーン印刷用メタルマスク
の製造方法におけるサンドブラスト研磨工程を示す金属
板の細孔付近の要部拡大縦断側面図である。
の製造方法におけるサンドブラスト研磨工程を示す金属
板の細孔付近の要部拡大縦断側面図である。
【図３】本発明実施例により製造されたスクリーン印刷
用メタルマスクの細孔断図を示す要部拡大断面図であ
る。
用メタルマスクの細孔断図を示す要部拡大断面図であ
る。
【図４】同実施例に使用されたスクリーン印刷用メタル
マスクの平面図とそのＡ−Ａ線断面図である。
マスクの平面図とそのＡ−Ａ線断面図である。
【図５】レーザー加工法により得られたスクリーン印刷
用メタルマスクのレーザー加工直後の金属板の細孔断面
形状と、そのレーザー光出射側を平面研磨し、ドロスを
除去した状態の細孔断面形状を示す要部拡大断面図であ
る。
用メタルマスクのレーザー加工直後の金属板の細孔断面
形状と、そのレーザー光出射側を平面研磨し、ドロスを
除去した状態の細孔断面形状を示す要部拡大断面図であ
る。
１ 金属板 １ａ 金属板のレーザー光入射側 １ｂ 金属板のレーザー光出射側 ２ ドロス ３ 金属板の細孔 ４ スクリーン枠 ５ スクリーン紗 ６ レーザーヘッド ７ レーザー光 ８ 保持治具 ９ ブラストノズル １０ 粒状研磨材
Claims (5)
- 【請求項１】 金属板（１）にレーザー光（７）を照射
して金属板（１）に微細な細孔（３）からなるからパタ
ーンを形成してなるスクリーン印刷用メタルマスクを製
造する方法において、金属板（１）にレーザー光（７）
を照射して金属板（１）に微細な細孔（３）からなるか
らパターンを形成した後、金属板（１）の板面に対して
斜めから同金属板（１）に粒状研磨材を吹き付けてサン
ドブラスト研磨することを特徴とするスクリーン印刷用
メタルマスクの製造方法。 - 【請求項２】 粒状研磨材が金属板（１）のレーザー光
（７）が照射されたのと反対側の面から吹き付けられる
ことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷用メ
タルマスクの製造方法。 - 【請求項３】 金属板（１）が傾斜して保持された状態
でそれに粒状研磨材が吹き付けられることを特徴とする
請求項１または２に記載のスクリーン印刷用メタルマス
クの製造方法。 - 【請求項４】 金属板（１）に吹き付けられる粒状研磨
材が＃１００〜＃１５００のアルミナ系もしくはカーボ
ン系研磨材であることを特徴とする請求項１〜３の何れ
かに記載のスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。 - 【請求項５】 粒状研磨材の吹付速度が４００〜１００
０ｍ／ｓｅｃであることを特徴とする請求項１〜４の何
れかに記載のスクリーン印刷用メタルマスクの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7234764A JPH0957937A (ja) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7234764A JPH0957937A (ja) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0957937A true JPH0957937A (ja) | 1997-03-04 |
Family
ID=16975998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7234764A Pending JPH0957937A (ja) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0957937A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1131848C (zh) * | 1997-05-24 | 2003-12-24 | 肖特玻璃制造厂 | 用于平面显示装置的铝硅酸盐玻璃 |
| JP2006103223A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Asahitec Co Ltd | メタルマスクの製造方法 |
| JP2007152374A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | フェライト板のスルーホール形成方法 |
| JP2007278401A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Hitachi Metals Ltd | オイルリング用線材の製造方法 |
| JP2007278403A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Hitachi Metals Ltd | オイルリング用線材の製造方法 |
| JP2009034962A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Fuji Seisakusho:Kk | スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法 |
| US8568963B2 (en) | 2010-01-28 | 2013-10-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing mask for depositing thin film |
| KR101324157B1 (ko) * | 2013-05-14 | 2013-11-01 | 조영임 | 금속 의장판 제조방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 금속 의장판 |
-
1995
- 1995-08-21 JP JP7234764A patent/JPH0957937A/ja active Pending
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| TWI426840B (zh) * | 2007-08-03 | 2014-02-11 | Fuji Mfg Co Ltd | 網版印刷之金屬遮罩的製法 |
| US8568963B2 (en) | 2010-01-28 | 2013-10-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing mask for depositing thin film |
| KR101324157B1 (ko) * | 2013-05-14 | 2013-11-01 | 조영임 | 금속 의장판 제조방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 금속 의장판 |
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