JPH0951114A

JPH0951114A - 真空ラミネート装置および真空ラミネート方法

Info

Publication number: JPH0951114A
Application number: JP7204196A
Authority: JP
Inventors: Seiki Itoyama; 誠紀糸山; Yuji Inoue; 裕二井上; Kimitoshi Fukae; 公俊深江
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-08-10
Filing date: 1995-08-10
Publication date: 1997-02-18
Anticipated expiration: 2015-08-10
Also published as: JP2948508B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡易な構造で、大面積化および処理時間の短
縮化の可能な真空ラミネート装置および真空ラミネート
方法を得る。【解決手段】筒管１０２が環状体とされこの環状体の
内周側の壁に複数の脱気孔１０５が形成される。この環
状体は板状の基材１０１上へ据付け固定され、基材１０
１と環状体とでラミネート処理のための空間部を構成す
る。空間部へは蓋部材１０７が覆いかぶされ、形成され
た空間部は真空引きされる。この真空引きを維持しつつ
ラミネート処理空間を加熱処理する。この簡潔・単純な
処理によりラミネート処理空間に配置された材料へラミ
ネート処理を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空ラミネート装置お
よび真空ラミネート方法に係わり、例えば、太陽電池モ
ジュールの製造装置に適用される真空ラミネート装置お
よび真空ラミネート方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空ラミネート装置は、半導体関
連、特に太陽電池等の外気に晒して用いられる素子を被
覆する目的で最終的な製造装置として適用される。これ
は、素子を温湿度・外圧等に対し耐久性を向上させるた
めである。

【０００３】真空ラミネート装置を製造装置として最も
好適に適用される太陽電池は、近年需要が急速に拡大し
ている。これは、ポータブル機器における電源用と、ク
リーンエネルギー源としての需要の拡大に伴う。例え
ば、地球環境汚染の拡大につれ、環境問題に対する意識
の高まりが世界的な広がりを見せている。中でも、ＣＯ
₂排出に伴う地球の温暖化現象に対する危惧感は深刻で
あり、クリーンなエネルギーへの希求は益々強まってい
る。この様な状況において、太陽電池は、現在のところ
その安全性と扱い易さから、安全なエネルギー源として
期待される主要なものである。これらの要求に対し信頼
性および経済性の高い太陽電池を供給するために、上記
の真空ラミネート装置は重要な役割を果たすこととな
る。

【０００４】なお、太陽電池には様々な型式および形態
の物がある。代表的なものを以下に列挙する。

【０００５】（１）結晶シリコン太陽電池、（２）多結
晶シリコン太陽電池、（３）アモルファスシリコン太陽
電池、（４）銅インジウムセレナイド太陽電池、（５）
化合物半導体太陽電池、この中で、薄膜結晶シリコン太
陽電池、化合物半導体太陽電池及びアモルファスシリコ
ン太陽電池は、比較的低コストであり、しかも大面積化
が可能なため最近では各方面で活発に研究開発が進めら
れている。

【０００６】図８および図９は太陽電池モジュールの材
料構成を示しており、図８は材料積層時の構成、図９は
太陽電池モジュールとして完成した状態での材料構成を
表わしている。これらの図において、５０１は表面被覆
材、５０２は充填材、５０３は太陽電池素子、５０４は
裏面被覆材である。

【０００７】太陽電池モジュールの一作製手順として、
先ず真空装置内に太陽電池モジュールを構成する材料を
配置し積層し、真空引きを行い各材料間の空気を取り除
く。いわゆる、脱気する。次にこの真空引きした状態で
加熱する。加熱により昇温し、充填材が架橋あるいは硬
化するための温度に達し、充填材が十分硬化するまでこ
の温度を所定の時間保持する。その後冷却し、真空引き
を停止し大気圧に戻す。この手順により図９に示した構
成の太陽電池が完成する。

【０００８】図１０〜図１２は、従来の太陽電池モジュ
ールの製造装置に適用される真空ラミネート装置の構成
を説明するための図である。図１０は全体図、図１１は
図１０の断面構造図、図１２は太陽電池モジュール作製
時の断面構造図を示す。これらの図において、７０１は
本体蓋部、７０２は本体、７０３は本体蓋部用真空ポン
プ、７０４は本体用真空ポンプ、７０５はシリコンラバ
ー、７０６は台座、７０７はヒーター、７０８は太陽電
池モジュール構成材料である。

【０００９】上記の太陽電池モジュールの真空ラミネー
ト装置における太陽電池モジュールの作成手順は以下に
よる。先ず、図１０の様に、本体部７０１が開いている
状態で、本体内の台座７０６上に太陽電池モジュール構
成材料７０８を配置する。次に本体蓋部用の真空ポンプ
７０３を起動し、本体蓋部内を真空引きする。そして本
体蓋部７０１を閉じて蓋をした後、本体用真空ポンプ７
０４を起動して本体内を真空にする。本体蓋部７０１と
本体７０２のそれぞれの真空度（真空計は不図示）が安
定したところで、本体蓋部用の真空ポンプ７０３を止
め、本体蓋部内を大気圧に戻す。そしてヒーター７０７
を作動して昇温し、所定の温度を一定時間保持した後、
ヒーター７０７を止めて冷却する。十分に冷却できたと
ころで、本体用真空ポンプ７０４を止めて、本体内を大
気圧に戻して太陽電池モジュールを作成する。ここで、
ヒーター７０７による所定の温度条件とは、太陽電池モ
ジュール構成材料の中の充填材が硬化あるいは架橋する
温度である。また、高温保持する設定時間は、充填材料
が完全硬化あるいは架橋が終了するまでである。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の太陽電池モジュールの真空ラミネート装置は、本体
７０２、および本体蓋部７０１が金属でできているため
重量が重く、作業性が悪い。また、本体内の台座７０６
の熱容量が大きいために、ヒーター７０７を作動させて
も、太陽電池モジュール構成材料７０８の昇温・降温が
遅く、加熱処理時間が長い。更に、太陽電池の中でも特
にアモルファスシリコン太陽電池は大面積化に適してい
るが、この従来の太陽電池モジュールの真空ラミネート
装置では上記の構造を有しているために、太陽電池モジ
ュールの大面積化を図るための装置の大型化が容易に行
い難い問題を伴う。

【００１１】本発明は、簡易な構造で、大面積化および
処理時間の短縮化の可能な真空ラミネート装置および真
空ラミネート方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の真空ラミネート装置は、筒管が環状体とさ
れこの環状体の内周側の壁に複数の脱気孔を有する環状
体と、環状体が据付け固定された基材とを有する真空ラ
ミネート装置であり、環状体の全面を覆う蓋部材をさら
に有し、蓋部材と環状体と基材とでラミネート処理のた
めの空間部を形成し、空間部を真空引きすることを特徴
としている。

【００１３】本発明の真空ラミネート方法は、内周側の
壁に脱気孔を有する筒管により形成された環状体とこの
環状体が固定された板状の基材とでラミネート処理空間
を構成するラミネート処理空間を形成した真空ラミネー
ト装置において、ラミネート処理空間へモジュール材料
を配置するモジュール材料配置工程と、環状体により構
成されるラミネート処理空間の全面を蓋部材により覆う
ラミネート処理空間形成工程と、蓋部材により覆われた
ラミネート処理空間を真空引きする真空引き工程とを有
し、真空引きを維持しつつラミネート処理空間を加熱処
理することによりモジュール材料へラミネート処理を行
うことを特徴としている。

【００１４】また、上記のモジュール材料は太陽電池モ
ジュール材料であるとよい。

【００１５】

【作用】したがって、本発明の真空ラミネート装置およ
び真空ラミネート方法によれば、内周側の壁に脱気孔を
有する筒管により形成された環状体とこの環状体が固定
された板状の基材とでラミネート処理空間を構成する。
このラミネート処理空間へモジュール材料を配置し、環
状体により構成されるラミネート処理空間の全面を蓋部
材により覆う。蓋部材により覆われたラミネート処理空
間を真空引きし、この真空引きを維持しつつラミネート
処理空間を加熱処理する。この装置を使用してラミネー
トすれば、装置が簡単な構造で軽量であるので、ラミネ
ート作業が簡単になり、また、装置の熱容量が小さいた
め、熱処理時の昇温、降温が早く、処理時間の短縮化が
図れる。

【００１６】

【実施例】次に、添付図面を参照して本発明による真空
ラミネート装置および真空ラミネート方法の実施例を詳
細に説明する。図１〜図３を参照すると、本発明の真空
ラミネート装置および真空ラミネート方法の実施例が示
されている。これらの図の図１は実施例の真空ラミネー
ト装置の上斜視図である。また、図２は図１のＡ―Ａ断
面図である。さらに、図３は図１の真空ラミネート装置
を用いたラミネート処理手順を説明するための部材配置
例を示す図１のＡ−Ａ断面図である。

【００１７】図１〜図３において、１０１は板状の基
材、１０２は筒管、１０３はバルブ、１０４は真空ポン
プ、１０５は脱気孔、１０６は固定部材、１０７は蓋部
材、１０８は太陽電池モジュール構成材料、１０９は
網、１１０は開口部である。

【００１８】これらの構成部品の板状の基材１０１は、
真空ラミネート装置の底部を構成する部材である。本適
用例の太陽電池モジュールの製造装置に使用される板状
の基材１０１には、耐熱性、剛性、軽量性、表面接着性
等の特性が要求される。本部材に用いられる材料は、主
に鉄やアルミニウム等の金属である。軽量化を図るため
には薄くしなければならないが、過度に薄くすると剛性
がとれなくなる。好適には略１．５〜２．０ｍｍ厚さの
鉄板を使用する。また、場合によっては筒管１０２をシ
ーラント材等により接着することがある。故に、接着性
を向上するために好ましくは表面をリン酸塩等により化
学処理する。

【００１９】筒管１０２は、真空引きを行う管であり、
環状に構成された環状体である。また、網１０９と蓋部
材１０７とにより真空引きをするための空間部を構成す
る。この筒管１０２に要求される特性は、耐熱性、剛
性、軽量性等が挙げられる。材料としては主にステンレ
スが使用される。筒管１０２の内周側の側面部に設けら
れる真空引きのための脱気孔１０５は、真空ラミネート
装置を組み上げる前に開けられていることが望ましい。
また、場合によっては筒管１０２を板状の基材１０１の
上に接着することがある。この場合筒管１０２は、接着
前に脱脂処理されていることが好ましい。大きさは、環
状体の外枠が板状の基材１０１内に収まるものを使用す
る。真空引きを行う真空ポンプ１０４を接続するための
開口部１１０とバルブ１０３が設けられる。

【００２０】脱気孔１０５は、真空引き時の脱気用の孔
として使用され、筒管１０２の真空引きする空間側、つ
まり環状体の内側に設けられる。筒管１０２の真空引き
する空間側全域、即ち、略四辺形に構成された環状体の
４辺に、好ましくは等間隔に、板状の基材１０１上に固
定される前に設けられる。

【００２１】固定部材１０６は、筒管１０２の固定に際
し、筒管１０２と板状の基材１０１間に隙間が生じない
ように固定するための部材である。本装置は、太陽電池
モジュールの製造工程において真空状態を維持しつつ高
温に晒されるため、固定部材１０６にそれなりの耐熱性
が要求される。固定方法としては、溶接による固定の
他、筒管１０２と板状の基材１０１の隙間を埋めるよう
にしてシーラントにより固定する方法もある。例えば、
ＲＴＶ硬化型シリコンシーラントが使用できる。

【００２２】蓋部材１０７は、筒管と板状の基材とによ
り真空引きするための空間部を造る目的で使用される。
また真空引きした状態で、太陽電池モジュールの構成材
料１０８を押さえつけて、構成材料間の脱気を促す目的
で使用される。蓋部材１０７は、環状体の外枠よりも十
分に大きいものを使用する。蓋部材１０７に要求される
特性は、耐熱性、柔軟性、軽量および真空引きした時の
気密性等である。使用材料は主にシリコン樹脂であり、
形状はシート状である。

【００２３】網１０９は、製造時に真空引きして太陽電
池モジュールの構成材料１０８間の脱気を行う際の、空
気の流れを確保するために使用される。即ち、真空引き
する空間部の板状の基材１０１と蓋部材１０７の間に位
置し、板状の基材１０１と蓋部材１０７が接触して空気
の流れを遮断するのを防ぐために使用する。サイズは、
筒管１０２より形成される環状体の内寸法と同じ形状お
よび大きさのものを使用する。要求される特性は、耐熱
性、柔軟性、軽量性等である。材料は、ステンレスやア
ルミニウム等の金網、ポリエステル等の耐熱性樹脂繊維
を網状にしたものを使用する。

【００２４】上記の部材で構成される真空ラミネート装
置の作製方法は、まず筒管１０２を、板状の基材１０１
上に、環状体（環状体の外枠）がはみ出さないように置
く。次に、筒管１０２と板状基材１０１の隙間を埋める
ように外側（真空引きする空間とは反対側）より固定部
材１０６を流し込む。ここで板状の基材１０１は９００
×１５００ｍｍのサイズの耐候性鋼板（例えば、商標
「ボンデ鋼板」；新日本製鉄社製、表面リン酸塩処理
済、板厚１．６ｔ）、筒管１０２は環状体の外寸が８０
０×１４００ｍｍのサイズのステンレス管（ステンレス
３１６ＢＡ、管径は１／２インチ）、脱気孔１０５は孔
径は３ｍｍで間隔は５０ｍｍピッチで４辺に設けてある
もの、そして固定部材はＲＴＶシリコン系シーラント
（商標「ＫＥ３４７」；信越シリコーン社製）を使用し
た。さらに室内雰囲気に２４時間放置して、ＲＴＶシリ
コン系シーラントを硬化させて、筒管１０２を板状の基
材１０１上に固定した。

【００２５】上記の構成による真空ラミネート装置は、
構造が簡単であり、大面積太陽電池モジュールの作成に
伴う装置の大型化が容易に行える。また、装置の熱容量
が小さく昇降温が速く処理時間の短縮化、軽量化、装置
の低廉化、複数装置による処理の高効率化等が可能とな
る。

【００２６】（適用例１）図４は、上記実施例の真空ラ
ミネート装置を太陽電池モジュールの製造装置へ適用し
た場合の構成例を示す図である。この図４は、太陽電池
モジュールをラミネート処理空間へ配置した場合の断面
図である。図４は、上述の図２および図３と同様に、図
１の真空ラミネート装置におけるＡ−Ａ方向の断面図に
相当する。

【００２７】本適用例の太陽電池モジュール製造装置に
おいて、板状の基材１０１、筒管１０２、バルブ１０
３、真空ポンプ１０４、脱気孔１０５、固定部材１０
６、蓋部材１０７、網１０９、開口部１１０の各部は、
上記の真空ラミネート装置と同様であり、重複する説明
を回避する。その他の部材の２０８は太陽電池モジュー
ルを形成する太陽電池モジュール構成材料であり、２１
０は太陽電池モジュール構成材２０８の周囲へ充填され
る充填材の漏れ出しを防止するための充填材流れ防止材
である。本適用例では、これらの部品をラミネート処理
する。

【００２８】実施例のラミネート装置を用いて太陽電池
モジュールを作成する手順を以下に説明する。ラミネー
ト装置の真空引きする空間部に充填材流れ防止材２１０
を置き、その上に太陽電池モジュール構成材料２０８を
配置し、さらにその上に充填材流れ防止材２１０を置
く。これらの配置後、筒管１０２の環状体全体を覆うよ
うに蓋部材１０７をかぶせる。

【００２９】ここにおいて、充填材流れ防止材２１０と
してＰＴＦＥフィルム（旭ガラス社製）を使用した。ま
た蓋部材１０７として１０００×１６００ｍｍサイズの
シリコンラバー（厚さ；２ｔ，硬度；５０、シリコン樹
脂汎用タイプ、タイガースポリマー製）を使用した。

【００３０】上記の各部材の配置完了後、真空ポンプ１
０４を起動し空間部を真空引きして、太陽電池モジュー
ル構成材料２０８の間にある空気を排出・脱気する。真
空ポンプ１０４で脱気している状態で、真空ラミネート
装置を不図示の高温のオーブンへ投入し、太陽電池モジ
ュールを構成している材料中の充填材が硬化する温度
（略１５０℃）にまで昇温し、硬化が終了するまで３０
分間保持した。その後オーブンから装置を取り出して冷
却させ、真空ポンプ１０４を止めて空間部を大気圧に戻
す。この手順により太陽電池モジュールを作製した。

【００３１】次に太陽電池モジュールの構成材料につい
て説明する。図５は本適用例で使用した太陽電池モジュ
ールの構成材料を示す図である。図５において３０１は
表面被覆材、３０２は充填材、３０３は太陽電池素子、
３０４は裏面被覆材である。表面被覆材３０１は５００
×１４００ｍｍの大きさのフッ素樹脂フィルム（商標
「無延伸テフゼル」；デュポン社製、厚さ；５０μ
ｍ）、充填材３０２は５００×１４００ｍｍの大きさの
ＥＶＡ（商標「耐候性グレード」；ハイシート工業社
製、厚さ；４６０μｍ）裏面被覆材３０４は５００×１
４００ｍｍの大きさの耐候性塗装鋼板（商標「タイマカ
ラーＧＬ」；大同鋼板社製、０．４ｔ）を使用した。以
下に太陽電池素子３０３の作製方法を説明する。

【００３２】図６は太陽電池素子の概略構成図である。
図６において４０１はステンレス基板、４０２は裏面反
射層、４０３は半導体光活性層、４０４は透明導電層、
４０５は集電電極である。洗浄したステンレス基板４０
１上に、スパッタ法で裏面反射層４０２としてＡｌ層
（膜厚５００ｎｍ）とＺｎＯ層（膜厚５００ｎｍ）を順
次形成する。ついで、プラズマＣＶＤ法により、ＳｉＨ
₄とＰＨ₃とＨ₂の混合ガスからｎ型ａ−Ｓｉ層を、Ｓｉ
Ｈ₄とＨ₂の混合ガスからｉ型ａ−Ｓｉ層を、ＳｉＨ₄と
ＢＦ₃とＨ₂の混合ガスからｐ型微結晶μｃ−Ｓｉ層を形
成し、ｎ層膜厚１５ｎｍ／ｉ層膜厚４００ｎｍ／ｐ層膜
厚１０ｎｍ／ｎ層膜厚１０ｎｍ／ｉ層膜厚８０ｎｍ／ｐ
層膜厚１０ｎｍの層構成のタンデム型ａ−Ｓｉ系半導体
光活性層４０３を形成した。

【００３３】次に、透明導電層４０４として、Ｉｎ₂Ｏ₃
薄膜（膜厚７０ｎｍ）を、Ｏ₂雰囲気下でＩｎを抵抗加
熱法で蒸着する事によって形成した。この上に、集電電
極４０５を、銀ペーストをスクリーン印刷機によりパタ
ーン印刷し、乾燥を行うことにより形成した。

【００３４】以上の手順により、本実施例の真空ラミネ
ート装置および上記の太陽電池素子を用いて、５００×
１４００ｍｍの大きさの太陽電池モジュールを作製し
た。

【００３５】（変化例１）本変化例は、上記の適用例に
おいて板状の基材１０１、筒管１０２、蓋部材１０７の
サイズを大きくしたものである。板状の基材１０１は１
２００×５７００ｍｍ、筒管１０２は環状体の外寸が１
１５０×５６５０ｍｍ、蓋部材１０７としてのシリコン
ラバーは１３００×５８００ｍｍのものを使用し、環状
体の筒管１０２は管径を３／４インチとした。また太陽
電池構成材料の大きさは、表面被覆材、充填材、裏面被
覆材は８００×５４００ｍｍのものを使用した。以上の
変更点以外は、上記の適用例と同様にして行い、８００
×５４００ｍｍの大面積太陽電池モジュールを作製し
た。

【００３６】（変化例２）本変化例は、上記の適用例に
おいて使用した真空ラミネート装置を３台作成し、３台
の装置を重ねるようにして配置し、そのまま同時にオー
ブンに投入して、一度の熱処理で３枚の太陽電池モジュ
ールを作成した。図７は本変化例で使用する装置の構成
を示す概略図である。図７によれば、所定の台車上に３
枚の真空ラミネート装置を設置した形態を表している。
この形態において、３枚の太陽電池モジュールを一度に
作成した。台車上に３枚の真空ラミネート装置を配置し
た以外は上記の適用例と同様である。

【００３７】上記の各構成による太陽電池モジュール製
造装置は、構造が簡単、装置の大型化が容易、短処理時
間、軽量、低廉、高効率等の特性を有している。

【００３８】尚、上述の実施例は本発明の好適な実施の
一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。例えば、本実施例では真空ラミネート装置を太陽電
池モジュールの製造に適用して説明したが、ラミネート
処理の対象物は太陽電池モジュールに限らない。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明より明かなように、本発明の
真空ラミネート装置および真空ラミネート方法は、環状
体と板状の基材とで構成されたラミネート処理空間へモ
ジュール材料を配置し、環状体により構成されるラミネ
ート処理空間の全面を蓋部材により覆う。蓋部材により
覆われたラミネート処理空間を真空引きしつつ加熱処理
する。この加熱処理によりラミネート処理空間へ配置さ
れたモジュール材料が真空引きの状態でラミネート処理
される。これらの手順または構成は、簡潔・単純であ
り、大型の処理対象物の処理、高速処理等への対応およ
び処理時間の短縮化、低廉化、軽量化等への対応が容易
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空ラミネート装置および真空ラミネ
ート方法の実施例を示す外観斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】図１を使用し、ラミネートを行うときのＡ−Ａ
断面図である。

【図４】図１の真空ラミネート装置および真空ラミネー
ト方法を太陽電池モジュール製造装置に適用した場合の
部材の配置図であり、図１のＡ−Ａ方向に相当する断面
図である。

【図５】適用例で使用した太陽電池モジュールの構成材
料を説明するための図であり、太陽電池モジュールの断
面図である。

【図６】図４で用いた太陽電池モジュールの太陽電池素
子の構成を示す断面図である。

【図７】変化例２を説明するための図であり、３枚の真
空ラミネート装置を台車に設置した状態を表している。

【図８】従来例の太陽電池モジュール製造装置の外観斜
視図である。

【図９】図８により構成された太陽電池モジュールの完
成状態での材料構成を表わした断面図である。

【図１０】従来の太陽電池モジュールの真空ラミネート
装置の構成を説明するための外観斜視図である。

【図１１】図１０を用いたラミネート処理を説明するた
めの断面概念図である。

【図１２】図１０を用いたラミネート処理を説明するた
めの断面概念図である。

【符号の説明】

１０１板状の基材、１０２筒管、１０３バルブ、１０４真空ポンプ、１０５脱気孔、１０６固定部材、１０７蓋部材、１０８、２０８太陽電池モジュール構成材料、１０９網、１１０開口部、２１０充填材流れ防止材、３０１、５０１表面被覆材、３０２、５０２充填材、３０３、５０３太陽電池素子、３０４、５０４裏面被覆材、４０１ステンレス基板、４０２表面反射層、４０３半導体光活性層、４０４透明導電層、４０５集電電極、７０１本体蓋部、７０２本体、７０３本体蓋部用真空ポンプ、７０４本体用真空ポンプ、７０５シリコンラバー、７０６台座、７０７ヒーター、７０８太陽電池モジュール構成材料。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】筒管が環状体とされ該環状体の内周側の
壁に複数の脱気孔を有する環状体と、該環状体が据付け
固定された基材とを有する真空ラミネート装置におい
て、前記環状体の全面を覆う蓋部材をさらに有し、該蓋
部材と前記環状体と基材とでラミネート処理のための空
間部を形成し、該空間部を真空引きすることを特徴とす
る真空ラミネート装置。
【請求項２】内周側の壁に脱気孔を有する筒管により
形成された環状体と該環状体が固定された板状の基材と
でラミネート処理空間を構成した前記真空ラミネート装
置を使用して、前記ラミネート処理空間へモジュール材料を配置するモ
ジュール材料配置工程と、前記環状体により構成される前記ラミネート処理空間の
全面を蓋部材により覆うラミネート処理空間形成工程
と、前記蓋部材により覆われたラミネート処理空間を真空引
きする真空引き工程とを有し、前記真空引きを維持しつつ前記ラミネート処理空間を加
熱処理することにより前記モジュール材料へラミネート
処理を行うことを特徴とする真空ラミネート方法。
【請求項３】前記モジュール材料は太陽電池モジュー
ル材料であることを特徴とする請求項２記載の真空ラミ
ネート方法。