JPH0932793A - 分子ポンプ - Google Patents
分子ポンプInfo
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- JPH0932793A JPH0932793A JP20682495A JP20682495A JPH0932793A JP H0932793 A JPH0932793 A JP H0932793A JP 20682495 A JP20682495 A JP 20682495A JP 20682495 A JP20682495 A JP 20682495A JP H0932793 A JPH0932793 A JP H0932793A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空容器との接続部から洩れを生ずる恐れが
ないと共に、充分なベーキング処理を行って該真空容器
を容易に超高真空にすることができる分子ポンプを提供
する。 【解決手段】 ターボ分子ポンプのケーシング１をステ
ンレス製とし、該ケーシング１の外周部の上流側には電
熱ヒータ２を設置すると共に同外周部の下流側にはジャ
ケット３を設置して熱媒体を環流するようにし、ステー
タ４の下流側段の静翼４ｂ…及び静翼押さえリング４ｅ
…とロータ５の下流側段の動翼５ｂ…に高放射率コーテ
ィングを施し、更に電熱ヒータ２とジャケット３との境
界部に位置する静翼押さえリング４ｄを断熱性の高いセ
ラミックス製とした。
ないと共に、充分なベーキング処理を行って該真空容器
を容易に超高真空にすることができる分子ポンプを提供
する。 【解決手段】 ターボ分子ポンプのケーシング１をステ
ンレス製とし、該ケーシング１の外周部の上流側には電
熱ヒータ２を設置すると共に同外周部の下流側にはジャ
ケット３を設置して熱媒体を環流するようにし、ステー
タ４の下流側段の静翼４ｂ…及び静翼押さえリング４ｅ
…とロータ５の下流側段の動翼５ｂ…に高放射率コーテ
ィングを施し、更に電熱ヒータ２とジャケット３との境
界部に位置する静翼押さえリング４ｄを断熱性の高いセ
ラミックス製とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は極高真空を得るため
の排気に用いられる磁気軸受方式の分子ポンプに関し、
特にベーキング温度を高くして超高真空あるいは極高真
空まで排気できるようにしたターボ分子ポンプに関す
る。
の排気に用いられる磁気軸受方式の分子ポンプに関し、
特にベーキング温度を高くして超高真空あるいは極高真
空まで排気できるようにしたターボ分子ポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】高真空用ターボ分子ポンプにおいては、
ロータやステータ等の表面に吸着した気体分子を除去す
るために、排気の途中工程でベーキング処理を行ってい
る。
ロータやステータ等の表面に吸着した気体分子を除去す
るために、排気の途中工程でベーキング処理を行ってい
る。
【０００３】このベーキング処理とは、ケーシング、ス
テータ及びロータを、これ等の全部又は一部の素材であ
るアルミニウム合金の脱ガス効果が十分で、しかも強度
限界の１２０℃程度に迄加熱するものである。この温度
はステンレス製のケーシングに対してはベーキング温度
として不十分であるが、アルミニウム合金製ケーシング
の場合この処理によりターボ分子ポンプは高真空の排気
を行うことができる。
テータ及びロータを、これ等の全部又は一部の素材であ
るアルミニウム合金の脱ガス効果が十分で、しかも強度
限界の１２０℃程度に迄加熱するものである。この温度
はステンレス製のケーシングに対してはベーキング温度
として不十分であるが、アルミニウム合金製ケーシング
の場合この処理によりターボ分子ポンプは高真空の排気
を行うことができる。
【０００４】このベーキング処理は、ターボ分子ポンプ
のケーシングの外側から加熱を行うと共に、この熱をス
テータ側からロータ側へと熱伝達させるのが一般であ
り、このため静翼及び動翼にセラミックコーティングを
施して両者間の放射熱伝達を高める工夫が一部で行われ
ている。
のケーシングの外側から加熱を行うと共に、この熱をス
テータ側からロータ側へと熱伝達させるのが一般であ
り、このため静翼及び動翼にセラミックコーティングを
施して両者間の放射熱伝達を高める工夫が一部で行われ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】分子ポンプにより排気
される真空容器は一般にステンレス製であり、又、排気
を行う分子ポンプのケーシングは一般にステンレス製又
はアルミニウム合金製が使用されている。
される真空容器は一般にステンレス製であり、又、排気
を行う分子ポンプのケーシングは一般にステンレス製又
はアルミニウム合金製が使用されている。
【０００６】アルミニウム合金製ケーシングの分子ポン
プにおいてベーキング処理を行う場合に、ステンレスと
アルミニウム合金との熱膨張率の相違によって両者のフ
ランジ接続部に気密不良部を生じ、該気密不良部より洩
れを発生する恐れがあった。又、該分子ポンプのアルミ
ニウム合金製ケーシングの接続フランジ面は硬い皮膜で
覆ってあるが、この膜厚は一般に薄いので傷がつき易
く、該傷部より洩れを発生する恐れがあった。
プにおいてベーキング処理を行う場合に、ステンレスと
アルミニウム合金との熱膨張率の相違によって両者のフ
ランジ接続部に気密不良部を生じ、該気密不良部より洩
れを発生する恐れがあった。又、該分子ポンプのアルミ
ニウム合金製ケーシングの接続フランジ面は硬い皮膜で
覆ってあるが、この膜厚は一般に薄いので傷がつき易
く、該傷部より洩れを発生する恐れがあった。
【０００７】これに対し、ケーシングの材料をステンレ
ス製として前記の熱膨張率の問題や接続フランジ面の強
度の問題を解決しても、今度はステンレスのベーキング
処理には２００℃以上の温度が必要であり、もしケーシ
ングを２００℃程度に加熱すると内部のロータもそれと
同程度の温度にまで昇温することから、ロータの強度劣
化が著しくなるという不具合がある。
ス製として前記の熱膨張率の問題や接続フランジ面の強
度の問題を解決しても、今度はステンレスのベーキング
処理には２００℃以上の温度が必要であり、もしケーシ
ングを２００℃程度に加熱すると内部のロータもそれと
同程度の温度にまで昇温することから、ロータの強度劣
化が著しくなるという不具合がある。
【０００８】結局ステンレス製のケーシングを用いた場
合でもベーキング温度は１２０℃程度にしなければなら
ず、従ってケーシングの脱ガスが充分に行えないという
問題点があった。
合でもベーキング温度は１２０℃程度にしなければなら
ず、従ってケーシングの脱ガスが充分に行えないという
問題点があった。
【０００９】本発明はこれらの問題点を解消し、ロータ
劣化の恐れがなくベーキング処理を行うことができる分
子ポンプを提供することを目的とする。
劣化の恐れがなくベーキング処理を行うことができる分
子ポンプを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目標を達
成するべく、１端部に吸気口を有し他端部に排気口を有
するケーシングと、該ケーシング内に回転可能に支持さ
れ多数の動翼を多段に突設したロータと、前記ケーシン
グ内壁に固定され多数の静翼を多段に内方に突設したス
テータとからなるターボ分子ポンプにおいて、前記ケー
シングの外周部の上流側に加熱手段を設置すると共に同
外周部の下流側には加熱及び冷却手段を設置したことを
特徴とする。
成するべく、１端部に吸気口を有し他端部に排気口を有
するケーシングと、該ケーシング内に回転可能に支持さ
れ多数の動翼を多段に突設したロータと、前記ケーシン
グ内壁に固定され多数の静翼を多段に内方に突設したス
テータとからなるターボ分子ポンプにおいて、前記ケー
シングの外周部の上流側に加熱手段を設置すると共に同
外周部の下流側には加熱及び冷却手段を設置したことを
特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
により説明する。
により説明する。
【００１２】図１は本発明を適用した磁気軸受型ターボ
分子ポンプの縦断面図を示し、吸気口Ａ即ち上流側より
吸気して排気口Ｂ即ち下流側に排気をする。
分子ポンプの縦断面図を示し、吸気口Ａ即ち上流側より
吸気して排気口Ｂ即ち下流側に排気をする。
【００１３】ステンレス製のケーシング１の外周部の上
流側には加熱手段の電熱ヒータ２が設置されており、同
外周部の下流側には加熱及び冷却手段としてジャケット
３が設置されている。
流側には加熱手段の電熱ヒータ２が設置されており、同
外周部の下流側には加熱及び冷却手段としてジャケット
３が設置されている。
【００１４】尚、２ａは電熱ヒータ２へのリード線であ
り、又、Ｃ及びＤはそれぞれジャケット３を環流する高
温又は低温の熱媒体の流れの方向を示す。
り、又、Ｃ及びＤはそれぞれジャケット３を環流する高
温又は低温の熱媒体の流れの方向を示す。
【００１５】該ケーシング１の内側にはステータ４があ
り、該ステータ４は内方に突設した多数の静翼４ａ…及
び４ｂ…を多段に有すると共に各段の静翼は静翼押さえ
リング４ｃ…４ｄ及び４ｅ…によりケーシング１の内周
部に取付けられている。
り、該ステータ４は内方に突設した多数の静翼４ａ…及
び４ｂ…を多段に有すると共に各段の静翼は静翼押さえ
リング４ｃ…４ｄ及び４ｅ…によりケーシング１の内周
部に取付けられている。
【００１６】静翼４ａ…はアルミ合金製でステータ４の
上流側を形成しており、静翼４ｂ…もアルミ合金製で熱
放射率を高めるコーティング例えばＳｉＯ2 系又はＡｌ
2 Ｏ3 系のセラミックコーティングを外面に施してある
と共にステータ４の下流側を形成している。
上流側を形成しており、静翼４ｂ…もアルミ合金製で熱
放射率を高めるコーティング例えばＳｉＯ2 系又はＡｌ
2 Ｏ3 系のセラミックコーティングを外面に施してある
と共にステータ４の下流側を形成している。
【００１７】静翼押さえリング４ｅ…は前記静翼４ｂ…
をケーシング１へ固定する環状体で、又静翼押さえリン
グ４ｃ…は前記静翼４ａをケーシング１へ固定する環状
体である。
をケーシング１へ固定する環状体で、又静翼押さえリン
グ４ｃ…は前記静翼４ａをケーシング１へ固定する環状
体である。
【００１８】又、静翼押さえリング４ｄは断熱性の高い
セラミックス等の材料で作成された環状体で、該静翼押
さえリング４ｄは電熱ヒータ２とジャケット３の領域の
境界部に配置されている。
セラミックス等の材料で作成された環状体で、該静翼押
さえリング４ｄは電熱ヒータ２とジャケット３の領域の
境界部に配置されている。
【００１９】ロータ５は外周に突出した多数の動翼５ａ
…及び５ｂ…を多段に有すると共にシャフト５ｃに固定
されており、該シャフト５ｃはモータ５ｄによって駆動
されると共にジャーナル磁気軸受６ａ、６ｂ及びスラス
ト磁気軸受６ｃによって支承されている。
…及び５ｂ…を多段に有すると共にシャフト５ｃに固定
されており、該シャフト５ｃはモータ５ｄによって駆動
されると共にジャーナル磁気軸受６ａ、６ｂ及びスラス
ト磁気軸受６ｃによって支承されている。
【００２０】ロータ５及び動翼５ａ…５ｂ…はアルミ合
金製で、動翼５ｂ…は熱放射率を高めるコーティング例
えばＳｉＯ2 系又はＡｌ2 Ｏ3 系のセラミックコーティ
ングを外面に施されており、ロータ５の下流側に配置さ
れている。動翼５ａ…にはセラミックコーティングは施
されておらず、ロータ５の上流側に配置されている。
金製で、動翼５ｂ…は熱放射率を高めるコーティング例
えばＳｉＯ2 系又はＡｌ2 Ｏ3 系のセラミックコーティ
ングを外面に施されており、ロータ５の下流側に配置さ
れている。動翼５ａ…にはセラミックコーティングは施
されておらず、ロータ５の上流側に配置されている。
【００２１】尚、これら動翼及び静翼のセラミックコー
ティングを施したものの割合は、それぞれ全数の５０％
乃至７０％程度となっている。
ティングを施したものの割合は、それぞれ全数の５０％
乃至７０％程度となっている。
【００２２】又、前記ジャケット３は、これらセラミッ
クコーティングを施した動翼５ｂ…及び静翼４ｂ…の上
をカバーするように形成されている。
クコーティングを施した動翼５ｂ…及び静翼４ｂ…の上
をカバーするように形成されている。
【００２３】次に本第１の実施の形態のターボ分子ポン
プの作用について説明する。
プの作用について説明する。
【００２４】ターボ分子ポンプの吸気口Ａ側を超高真空
にしようとする真空容器（図示せず）へ接続し、ロータ
５を高速回転させて排気を行う。
にしようとする真空容器（図示せず）へ接続し、ロータ
５を高速回転させて排気を行う。
【００２５】この際、排気中の気体分子の一部がケーシ
ング１やステータ４やロータ５の表面に吸着され、流路
内が高真空となるにつれてこれらの気体分子が該表面か
ら遊離してくるので、なかなか超高真空が得られない。
ング１やステータ４やロータ５の表面に吸着され、流路
内が高真空となるにつれてこれらの気体分子が該表面か
ら遊離してくるので、なかなか超高真空が得られない。
【００２６】そこでベーキング処理を行なって、これら
吸着した気体分子を放出させる作業を行なう。
吸着した気体分子を放出させる作業を行なう。
【００２７】ベーキング処理は電熱ヒータ２及びジャケ
ット３によりケーシング１を外周から加熱することによ
る。
ット３によりケーシング１を外周から加熱することによ
る。
【００２８】該ケーシング１はステンレス製なので、２
００℃程度のベーキング温度が必要であるのに対し、ロ
ータ５や動翼５ａ…５ｂ…等はアルミ合金製であり、且
つ高速回転によって高い遠心力を受けているため、１２
０℃程度の温度でベーキングを行なう必要がある。
００℃程度のベーキング温度が必要であるのに対し、ロ
ータ５や動翼５ａ…５ｂ…等はアルミ合金製であり、且
つ高速回転によって高い遠心力を受けているため、１２
０℃程度の温度でベーキングを行なう必要がある。
【００２９】該ロータ５とステータ４との間は真空で且
つ非接触であるから、両者間の熱伝達は放射熱伝達によ
るもののみとなっている。
つ非接触であるから、両者間の熱伝達は放射熱伝達によ
るもののみとなっている。
【００３０】従って、ステータ４の下流側の静翼４ｂ…
とロータ５の下流側の動翼５ｂ…とは高放射率コーティ
ングを施され、相互に熱的に結合されているので、ステ
ータ４の下流側の温度を制御することによって動翼５ｂ
…及びこれに繋がる動翼５ａ…を含んだロータ５全体の
温度を制御することができる。
とロータ５の下流側の動翼５ｂ…とは高放射率コーティ
ングを施され、相互に熱的に結合されているので、ステ
ータ４の下流側の温度を制御することによって動翼５ｂ
…及びこれに繋がる動翼５ａ…を含んだロータ５全体の
温度を制御することができる。
【００３１】そこで、ケーシング１の上流側はヒータ２
によって２００℃以上に加熱すると共に、ケーシング１
の下流側ではステータ４の下流側を介してロータ５の温
度が１２０℃程度となるように、ジャケット３へ供給す
る熱媒体の温度及び流量を制御する。
によって２００℃以上に加熱すると共に、ケーシング１
の下流側ではステータ４の下流側を介してロータ５の温
度が１２０℃程度となるように、ジャケット３へ供給す
る熱媒体の温度及び流量を制御する。
【００３２】かくてロータ５の強度を劣化させることな
くケーシング１、ステータ４及びロータ５のベーキング
を行うことができる。
くケーシング１、ステータ４及びロータ５のベーキング
を行うことができる。
【００３３】ケーシング１からの放出ガスの内、到達圧
力に影響するものはケーシング１の上流部からの放出ガ
スであるから、該上流部のベーキングが充分行われるこ
とは超高真空を実現する上で重要なファクターとなる。
力に影響するものはケーシング１の上流部からの放出ガ
スであるから、該上流部のベーキングが充分行われるこ
とは超高真空を実現する上で重要なファクターとなる。
【００３４】更に、ベーキング終了後にはジャケット３
に冷却した熱媒体を環流させてロータ５の温度を常温以
下に冷却することによりロータ周辺からのガス放出が一
層抑えられるので、前記到達圧力が一層低下し、容易に
極高真空を得ることができる。
に冷却した熱媒体を環流させてロータ５の温度を常温以
下に冷却することによりロータ周辺からのガス放出が一
層抑えられるので、前記到達圧力が一層低下し、容易に
極高真空を得ることができる。
【００３５】更に、ケーシング１が前記真空容器と同材
質のステンレス製であることから、両者間に熱膨張の差
による洩れが発生しにくく、又、ケーシング１の吸入口
Ａ側のフランジ面も従来のアルミ合金製のものに比較し
てはるかに丈夫なので、洩れの元となるような傷がつく
恐れが少ない。
質のステンレス製であることから、両者間に熱膨張の差
による洩れが発生しにくく、又、ケーシング１の吸入口
Ａ側のフランジ面も従来のアルミ合金製のものに比較し
てはるかに丈夫なので、洩れの元となるような傷がつく
恐れが少ない。
【００３６】又、凝縮性気体を排気する時は、ジャケッ
ト３への熱媒体の温度を高くしてステータ４及びロータ
５の温度を昇温させ、該ステータ４及びロータ５への凝
着を防止するこもできる。
ト３への熱媒体の温度を高くしてステータ４及びロータ
５の温度を昇温させ、該ステータ４及びロータ５への凝
着を防止するこもできる。
【００３７】本発明の第２の実施の形態を図２により説
明する。
明する。
【００３８】図２は本発明を適用した磁気軸受型ターボ
分子ポンプの縦断面図を示し、第１の実施の形態の電熱
ヒータ２の代りにジャケット３ａを設けた点が第１の実
施の形態と異なっている。
分子ポンプの縦断面図を示し、第１の実施の形態の電熱
ヒータ２の代りにジャケット３ａを設けた点が第１の実
施の形態と異なっている。
【００３９】該ジャケット３ａにおいて、高温又は低温
の熱媒体がＥ矢印の方向より流入してジャケット３ａ内
を環流しＦ矢印の方向に流出する。
の熱媒体がＥ矢印の方向より流入してジャケット３ａ内
を環流しＦ矢印の方向に流出する。
【００４０】本第２の実施の形態の作用について説明す
る。
る。
【００４１】前記ベーキング処理時等にジャケット３ａ
に高温の熱媒体を環流させると、電熱ヒータを使用した
時よりも均一にケーシング１を加熱できる。
に高温の熱媒体を環流させると、電熱ヒータを使用した
時よりも均一にケーシング１を加熱できる。
【００４２】又、低温の熱媒体に切り換えることによっ
て、素早くケーシング１を冷却することができる。
て、素早くケーシング１を冷却することができる。
【００４３】ジャケット３及びジャケット３ａに冷却し
た熱媒体を循環させることによってケーシング１、ステ
ータ４及びロータ５の温度を下げ、放出ガスを抑えて、
より低い到達圧力の達成ができる。
た熱媒体を循環させることによってケーシング１、ステ
ータ４及びロータ５の温度を下げ、放出ガスを抑えて、
より低い到達圧力の達成ができる。
【００４４】この冷却温度は低い程良いが、−１０℃程
度でもかなりの効果が得られる。
度でもかなりの効果が得られる。
【００４５】本発明の第３の実施の形態を図３により説
明する。
明する。
【００４６】図３は本発明を適用した磁気軸受型複合分
子ポンプの縦断面図を示し、本実施の形態は第１の実施
の形態のターボ分子ポンプ部の後流側にねじ溝分子ポン
プ部７を設置してある。
子ポンプの縦断面図を示し、本実施の形態は第１の実施
の形態のターボ分子ポンプ部の後流側にねじ溝分子ポン
プ部７を設置してある。
【００４７】該ねじ溝分子ポンプ部７はロータ７ａの内
外周面を挟むステータ７ｂのロータ７ａに対向する面に
ねじ溝を有し、僅少の間隙をもってロータ７ａがステー
タ７ｂ内で回転する式のポンプであり、該ロータ７ａは
前記ロータ５に固定されて一緒に高速回転をするように
形成されている。
外周面を挟むステータ７ｂのロータ７ａに対向する面に
ねじ溝を有し、僅少の間隙をもってロータ７ａがステー
タ７ｂ内で回転する式のポンプであり、該ロータ７ａは
前記ロータ５に固定されて一緒に高速回転をするように
形成されている。
【００４８】本第３の実施の形態の効果は、ターボ分子
ポンプ単体の時よりも高い圧縮比を得ることができるの
で、より低い到達圧力の達成が可能となる。
ポンプ単体の時よりも高い圧縮比を得ることができるの
で、より低い到達圧力の達成が可能となる。
【００４９】ここで、請求項１の分子ポンプにおいて、
前記ケーシングの外周部の上流側に加熱手段を設置する
と共に同外周部の下流側には加熱及び冷却手段を設置し
たので、該ケーシングの上流側と下流側とを個別に温度
調節することができると共に、該ケーシングの下流側だ
けを冷却することができる。
前記ケーシングの外周部の上流側に加熱手段を設置する
と共に同外周部の下流側には加熱及び冷却手段を設置し
たので、該ケーシングの上流側と下流側とを個別に温度
調節することができると共に、該ケーシングの下流側だ
けを冷却することができる。
【００５０】請求項２の分子ポンプにおいて、前記ケー
シングをステンレス製として前記の真空容器と同材料と
したので、両者の熱膨張率の差がなくなり、両者の接続
部からの洩れの恐れがない。
シングをステンレス製として前記の真空容器と同材料と
したので、両者の熱膨張率の差がなくなり、両者の接続
部からの洩れの恐れがない。
【００５１】請求項３の分子ポンプにおいて、下流側の
複数段の各動翼及び静翼に高放射率コーティングを施し
たので、両者間の放射熱伝達が高まると共に熱的に結合
され、前記ケーシング外周部の下流側に設置した加熱及
び冷却手段によって前記ロータの温度を調節することが
できる。
複数段の各動翼及び静翼に高放射率コーティングを施し
たので、両者間の放射熱伝達が高まると共に熱的に結合
され、前記ケーシング外周部の下流側に設置した加熱及
び冷却手段によって前記ロータの温度を調節することが
できる。
【００５２】請求項４の分子ポンプにおいて、上流側の
加熱手段は電熱式のヒータとし、下流側の加熱及び冷却
手段には高温又は低温の熱媒体を環流させるジャケット
を設置したので、前記ケーシングの上流側と下流側とを
個別に温度調節することができると共に、該熱媒体の温
度を調節することによって容易に前記ロータの温度を調
節することができる。
加熱手段は電熱式のヒータとし、下流側の加熱及び冷却
手段には高温又は低温の熱媒体を環流させるジャケット
を設置したので、前記ケーシングの上流側と下流側とを
個別に温度調節することができると共に、該熱媒体の温
度を調節することによって容易に前記ロータの温度を調
節することができる。
【００５３】請求項５の分子ポンプにおいて、前記ケー
シングの上流側及び下流側にそれぞ高温又は低温の熱媒
体を環流させるジャケットを設置したので、該ケーシン
グの上流側と下流側の温度を容易に個別に調節すること
ができると共に、下流側のジャケットの熱媒体の温度を
調節することによって容易に前記ロータの温度を調節す
ることができる。
シングの上流側及び下流側にそれぞ高温又は低温の熱媒
体を環流させるジャケットを設置したので、該ケーシン
グの上流側と下流側の温度を容易に個別に調節すること
ができると共に、下流側のジャケットの熱媒体の温度を
調節することによって容易に前記ロータの温度を調節す
ることができる。
【００５４】請求項６の分子ポンプにおいて、前記上流
側の加熱手段と前記下流側の加熱及び冷却手段との境界
部に位置する静翼押さえリングを断熱性の高い材料で製
作したので、該静翼押さえリングを挟んで上流側のステ
ータ段と下流側のステータ段との間の熱伝達量を減少さ
せることができる。
側の加熱手段と前記下流側の加熱及び冷却手段との境界
部に位置する静翼押さえリングを断熱性の高い材料で製
作したので、該静翼押さえリングを挟んで上流側のステ
ータ段と下流側のステータ段との間の熱伝達量を減少さ
せることができる。
【００５５】請求項７の分子ポンプにおいて、ターボ分
子ポンプ部の後流側にねじ溝分子ポンプ部を設置して複
合分子ポンプとしたので、ターボ分子ポンプ単体よりも
高い圧縮比を得ることができる。
子ポンプ部の後流側にねじ溝分子ポンプ部を設置して複
合分子ポンプとしたので、ターボ分子ポンプ単体よりも
高い圧縮比を得ることができる。
【００５６】
【発明の効果】このように本発明によれば、ステンレス
製の真空容器との接続部から洩れを生ずる恐れがないと
共に、充分なベーキング処理を行って該真空容器を容易
に超高真空にする分子ポンプを提供できる効果を有す
る。
製の真空容器との接続部から洩れを生ずる恐れがないと
共に、充分なベーキング処理を行って該真空容器を容易
に超高真空にする分子ポンプを提供できる効果を有す
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態の磁気軸受型ターボ
分子ポンプの縦断面図である。
分子ポンプの縦断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態の磁気軸受型ターボ
分子ポンプの縦断面図である。
分子ポンプの縦断面図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態の磁気軸受型複合分
子ポンプの縦断面図である。
子ポンプの縦断面図である。
１ ケーシング ２ 電熱ヒータ ３、3a ジャケット ４、7b ステータ 4a、4b 静翼 4c、4d、4e 静翼押さえリング ５、7a ロータ 5a、5b 動翼 ７ ねじ溝ポンプ部 Ａ 吸気口 Ｂ 排気口
Claims (7)
- 【請求項１】 １端部に吸気口を有し他端部に排気口を
有するケーシングと、該ケーシング内に回転可能に支持
され多数の動翼を多段に突設したロータと、前記ケーシ
ング内壁に固定され多数の静翼を多段に内方に突設した
ステータとからなるターボ分子ポンプにおいて、前記ケ
ーシングの外周部の上流側に加熱手段を設置すると共に
同外周部の下流側には加熱及び冷却手段を設置したこと
を特徴とする分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記ケーシングをステンレス製としたこ
とを特徴とする請求項１に記載の分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記のロータ及びステータの下流側の複
数段の各動翼及び静翼に高放射率コーティングを施した
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の分子ポンプ。 - 【請求項４】 前記ケーシング外周部の上流側に設置し
た加熱手段は電熱ヒータ方式とし、又、同外周部の下流
側に設置した加熱及び冷却手段はジャケット方式とし、
該ジャケット部に高温又は低温の熱媒体を環流させて加
熱又は冷却を行うようにしたことを特徴とする請求項１
乃至３のいずれか１に記載の分子ポンプ。 - 【請求項５】 前記ケーシング外周部の上流側の加熱手
段、及び同外周部の下流側の加熱及び冷却手段は共にジ
ャケット方式とし、該ジャケット部に各々高温又は低温
の熱媒体を環流させて加熱又は冷却を行うようにしたこ
とを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載の分
子ポンプ。 - 【請求項６】 前記ステータは各段毎に静翼押さえリン
グを用いて前記静翼を前記ケーシングの内周部に取付け
ていると共に、前記上流側の加熱手段と前記下流側の加
熱及び冷却手段との境界部に位置する該静翼押さえリン
グは、断熱性の高い材料からなるようにしたことを特徴
とする請求項１又は４又は５に記載の分子ポンプ。 - 【請求項７】 前記ケーシングの外周部の上流側に加熱
手段を有し同下流側には加熱及び冷却手段を有するター
ボ分子ポンプ部の後流側にねじ溝分子ポンプ部を設置し
て複合分子ポンプとしたことを特徴とする請求項１又は
４又は５に記載の分子ポンプ。
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| JP20682495A JP3672630B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 分子ポンプ |
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| JP20682495A JP3672630B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 分子ポンプ |
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| JPH0932793A true JPH0932793A (ja) | 1997-02-04 |
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| JP20682495A Expired - Fee Related JP3672630B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 分子ポンプ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001329991A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-30 | Alps Electric Co Ltd | ターボ分子ポンプ |
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-
1995
- 1995-07-21 JP JP20682495A patent/JP3672630B2/ja not_active Expired - Fee Related
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