JPH0754638Y2 - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0754638Y2 JPH0754638Y2 JP1990042995U JP4299590U JPH0754638Y2 JP H0754638 Y2 JPH0754638 Y2 JP H0754638Y2 JP 1990042995 U JP1990042995 U JP 1990042995U JP 4299590 U JP4299590 U JP 4299590U JP H0754638 Y2 JPH0754638 Y2 JP H0754638Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- vacuum pump
- moving blade
- stationary blade
- stationary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、一台で大気圧から高真空まで排気できる真空
ポンプに関するものである。
ポンプに関するものである。
第３図は、従来の一台で大気圧から高真空まで排気でき
る真空ポンプを示すもので、回転軸（ａ）に装着された
動翼（ｂ）が、ケーシング（ｃ）に装着された静翼
（ｄ）の間で高速回転することにより、吸気口（C1）か
ら大気圧の排気口（C2）へ向って排気され、吸気口
（C1）が高真空になる。
る真空ポンプを示すもので、回転軸（ａ）に装着された
動翼（ｂ）が、ケーシング（ｃ）に装着された静翼
（ｄ）の間で高速回転することにより、吸気口（C1）か
ら大気圧の排気口（C2）へ向って排気され、吸気口
（C1）が高真空になる。
前記第３図に示す従来の真空ポンプでは、冷却水室
（ｅ）に通水してポンプ内部を冷却しても、静翼（ｄ）
が中心に冷却されてしまい、動翼（ｂ）及び回転軸
（ａ）に対する冷却効果は小さく、特に吸気口（C1）の
圧力が高くなると、動翼及び静翼間に微小寸法のギヤツ
プ（ｆ）を確保するのは困難である。
（ｅ）に通水してポンプ内部を冷却しても、静翼（ｄ）
が中心に冷却されてしまい、動翼（ｂ）及び回転軸
（ａ）に対する冷却効果は小さく、特に吸気口（C1）の
圧力が高くなると、動翼及び静翼間に微小寸法のギヤツ
プ（ｆ）を確保するのは困難である。
即ち静翼（ｄ）は冷却水室（ｅ）によって熱伝導冷却さ
れているのに対し、動翼（ｂ）及び回転軸（ａ）は、熱
伝導冷却される部分は僅かに軸受（ｇ）の部分のみであ
って、これらの冷却は動翼（ｂ）から静翼（ｄ）への熱
放射によるところが大きく、軸受（ｇ）近傍を基準にし
た軸方向の熱膨張は、動翼（ｂ）及び回転軸（ａ）の方
が静翼（ｄ）よりも遥かに大きい。
れているのに対し、動翼（ｂ）及び回転軸（ａ）は、熱
伝導冷却される部分は僅かに軸受（ｇ）の部分のみであ
って、これらの冷却は動翼（ｂ）から静翼（ｄ）への熱
放射によるところが大きく、軸受（ｇ）近傍を基準にし
た軸方向の熱膨張は、動翼（ｂ）及び回転軸（ａ）の方
が静翼（ｄ）よりも遥かに大きい。
そのため、特に吸気口（C1）の圧力が高くなった時に
は、この熱膨張差のために動翼（ｂ）と静翼（ｄ）との
間のギヤツプ（ｆ）が無くなって両翼が接触するという
致命的なトラブルに至ることがあった。
は、この熱膨張差のために動翼（ｂ）と静翼（ｄ）との
間のギヤツプ（ｆ）が無くなって両翼が接触するという
致命的なトラブルに至ることがあった。
この原因は、動翼（ｂ）及び回転軸（ａ）の冷却が不十
分というこであり、本考案はこのような問題点を解決す
ることを目的として提案されたものである。
分というこであり、本考案はこのような問題点を解決す
ることを目的として提案されたものである。
前記の目的を達成するため、本考案によれば、真空ポン
プの動翼と静翼の対向面に夫々黒体化処理が施されたも
のである。
プの動翼と静翼の対向面に夫々黒体化処理が施されたも
のである。
本考案に係る真空ポンプにおいては前記したように、動
翼及び静翼の対向面を夫々黒体化処理することにより、
双方の熱放射率が大きくなって熱放射伝熱量が大幅に増
大する。これにより、高温側の動翼から低温側の静翼に
熱が流れ、黒体化処理がされていない場合にくらべて相
対的に動翼温度が低下するため、静翼との熱膨張差が小
さくなり、同静翼と前記動翼との間のギヤツプが適正に
保持される。
翼及び静翼の対向面を夫々黒体化処理することにより、
双方の熱放射率が大きくなって熱放射伝熱量が大幅に増
大する。これにより、高温側の動翼から低温側の静翼に
熱が流れ、黒体化処理がされていない場合にくらべて相
対的に動翼温度が低下するため、静翼との熱膨張差が小
さくなり、同静翼と前記動翼との間のギヤツプが適正に
保持される。
以下本考案を図示の実施例について説明する。
動翼（１）は回転軸（２）に取り付けられ、同回転軸
（２）は軸受（３）によって支承され、モータ（４）に
より高速で駆動回転される。
（２）は軸受（３）によって支承され、モータ（４）に
より高速で駆動回転される。
一方、静翼（５）はケーシング（６）に固定され、同静
翼（６）の側面には冷却水室（７）が設けられている。
翼（６）の側面には冷却水室（７）が設けられている。
前記動翼（１）及び静翼（５）は双方とも円板状であっ
てそれらの対向面の双方に黒体化処理が施工され、かつ
それらの対向面の少なくとも一方にスパイラル溝（８）
（第２図参照）が設けられ、微小寸法のギヤツプ（５）
を介して対向している。図中××××で示された部分
（９）は黒体化処理面である。
てそれらの対向面の双方に黒体化処理が施工され、かつ
それらの対向面の少なくとも一方にスパイラル溝（８）
（第２図参照）が設けられ、微小寸法のギヤツプ（５）
を介して対向している。図中××××で示された部分
（９）は黒体化処理面である。
なお前記黒体化処理方法は、（ｉ）陽極酸化被覆処理、
（ii）セラミツクス被覆処理、（iii）放射率の大きい
樹脂等の塗布、（iv）シヨツトブラスト等による表面粗
さの増大の各方法、あるいはこれらの方法の組合せ等に
よるものである。
（ii）セラミツクス被覆処理、（iii）放射率の大きい
樹脂等の塗布、（iv）シヨツトブラスト等による表面粗
さの増大の各方法、あるいはこれらの方法の組合せ等に
よるものである。
また静翼（５）の材質は、熱伝導率が大きく、比較的線
膨張率の大きいものがよく、例えばアルミニウム合金を
用いるとよい。
膨張率の大きいものがよく、例えばアルミニウム合金を
用いるとよい。
而して前記動翼（１）を高速回転すると、動翼（１）及
び静翼（５）の排気作用によって、排気口（6B）が大気
圧近傍であっても、吸気口（6A）では10-5Torr以下とい
うような高真空が得られる。
び静翼（５）の排気作用によって、排気口（6B）が大気
圧近傍であっても、吸気口（6A）では10-5Torr以下とい
うような高真空が得られる。
前記実施例においては、動翼（１）及び静翼（５）を黒
体化処理したので、黒体化処理をしない場合に比して放
射伝導量が著しく増大する。
体化処理したので、黒体化処理をしない場合に比して放
射伝導量が著しく増大する。
一般に総合放射率εは、動翼（１）の放射率をε1、静
翼（５）の放射率をε2とすると次式で表わされる。
翼（５）の放射率をε2とすると次式で表わされる。
ε＝（1/ε1＋1/ε2−１）-1 従って前記動翼（１）及び静翼（５）をアルミニウム合
金で製作した場合、放射伝熱量は、前記実施例のように
黒体化処理した場合は、黒体化処理をしない場合に比し
て10倍にも達する。
金で製作した場合、放射伝熱量は、前記実施例のように
黒体化処理した場合は、黒体化処理をしない場合に比し
て10倍にも達する。
このため前記実施例によれば動翼温度が数十度低下し
て、静翼（５）との熱膨張差が小さくなり、吸気口（6
A）と圧力が従来のポンプよりも約10倍以上高くなって
も、動翼（１）と静翼（５）とのギヤツプ（10）が保持
され、動翼（１）と静翼（５）とが接触することなく真
空ポンプの運転が可能となった。
て、静翼（５）との熱膨張差が小さくなり、吸気口（6
A）と圧力が従来のポンプよりも約10倍以上高くなって
も、動翼（１）と静翼（５）とのギヤツプ（10）が保持
され、動翼（１）と静翼（５）とが接触することなく真
空ポンプの運転が可能となった。
更に前記動翼（１）を熱伝導率のよいアルミニウム合金
で製作すると、クリープ強度を考慮した場合、前記した
ように動翼温度が低下するため、より安全で寿命の長い
真空ポンプの製作が可能となる。
で製作すると、クリープ強度を考慮した場合、前記した
ように動翼温度が低下するため、より安全で寿命の長い
真空ポンプの製作が可能となる。
また静翼（５）をアルミニウム合金で製作した場合、同
アルミニウム合金の熱伝導率がよいため、動翼（１）か
ら流れてきた熱を効率よく冷却水室（７）に流すことが
でき、動翼（１）の温度を低下させることができ、更に
アルミニウム合金は線膨張率が大きいため、動翼（１）
近傍から熱を得てほどよく軸方向に伸び、ギヤツプ（1
0）を適正に保持でき、吸気口（6A）の圧力が高くなっ
ても、動翼（１）と静翼（５）との接触が、より確実に
防止される。
アルミニウム合金の熱伝導率がよいため、動翼（１）か
ら流れてきた熱を効率よく冷却水室（７）に流すことが
でき、動翼（１）の温度を低下させることができ、更に
アルミニウム合金は線膨張率が大きいため、動翼（１）
近傍から熱を得てほどよく軸方向に伸び、ギヤツプ（1
0）を適正に保持でき、吸気口（6A）の圧力が高くなっ
ても、動翼（１）と静翼（５）との接触が、より確実に
防止される。
本考案によれば前記したように、大気圧近傍から高真空
まで排気する真空ポンプにおいて、動翼と静翼の対向面
に夫々黒体化処理が施されたことによって、動翼温度が
低下せしめられ、動翼と静翼との間のギヤツプが適正に
確保され、運転圧力領域が広く、且つ寿命の長い真空ポ
ンプが提供されるものである。
まで排気する真空ポンプにおいて、動翼と静翼の対向面
に夫々黒体化処理が施されたことによって、動翼温度が
低下せしめられ、動翼と静翼との間のギヤツプが適正に
確保され、運転圧力領域が広く、且つ寿命の長い真空ポ
ンプが提供されるものである。
第１図は本考案に係る真空ポンプの一実施例を示す縦断
面図、第２図はスパイラル溝を具えた翼片の平面図、第
３図は従来の真空ポンプの縦断面図である。 （１）……動翼、（５）……静翼、（９）……黒体化処
理面。
面図、第２図はスパイラル溝を具えた翼片の平面図、第
３図は従来の真空ポンプの縦断面図である。 （１）……動翼、（５）……静翼、（９）……黒体化処
理面。
Claims (1)
- 【請求項１】大気圧近傍から高真空まで排気する真空ポ
ンプにおいて、動翼と静翼の対向面に夫々黒体化処理が
施されてなることを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990042995U JPH0754638Y2 (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990042995U JPH0754638Y2 (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH046591U JPH046591U (ja) | 1992-01-21 |
| JPH0754638Y2 true JPH0754638Y2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=31555029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990042995U Expired - Lifetime JPH0754638Y2 (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754638Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6228839B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-11-08 | エドワーズ株式会社 | 真空排気機構、複合型真空ポンプ、および回転体部品 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63128287U (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-22 |
-
1990
- 1990-04-24 JP JP1990042995U patent/JPH0754638Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH046591U (ja) | 1992-01-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |