JPH09312347A - Mis型半導体装置 - Google Patents

Mis型半導体装置

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JPH09312347A
JPH09312347A JP8129463A JP12946396A JPH09312347A JP H09312347 A JPH09312347 A JP H09312347A JP 8129463 A JP8129463 A JP 8129463A JP 12946396 A JP12946396 A JP 12946396A JP H09312347 A JPH09312347 A JP H09312347A
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JP
Japan
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semiconductor device
mis
current
gate
type semiconductor
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Application number
JP8129463A
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English (en)
Inventor
Eiji Yanokura
栄二 矢ノ倉
Atsushi Fujishiro
敦 藤城
Tetsuo Iijima
哲郎 飯島
Masatoshi Nakasu
正敏 中洲
Kazuaki Osawa
和明 大澤
Masayoshi Kobayashi
正義 小林
Yoshito Nakazawa
芳人 中沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd
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Publication date
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 瞬発電流が発生した際でも、素子の破壊防止
を図ることが可能な技術を提供する。 【解決手段】 MIS型半導体装置1は、本体のMOS
FET2に並列接続される例えば電流容量0.1Aの電
流検知用MOSFET4と、この電流検知用MOSFE
T4のゲート4g及び本体のMOSFET2のゲート2
gに共通に接続される例えば10kΩのゲート抵抗5
と、電流検知用MOSFET4のソース4sに接続され
る例えば1nHのインダクタ6と、ドレイン7dが本体
のMOSFET2のゲート2g及び電流検知用MOSF
ET4のゲート4gとゲート抵抗5間に接続されるとと
もに、ゲート7gが電流検知用MOSFET4のソース
4sとインダクタ6間に接続される例えば電流容量0.
01Aの電流遮断用MOSFET7と、から構成される
保護回路3を内蔵している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、MIS型半導体装
置に関し、特に、大電力用製品において瞬発電流が発生
した際の素子の破壊防止を図るMIS型半導体装置に適
用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】MIS型半導体装置の代表として知られ
るMOS(Metal OxideSemicondu
ctor)型電界効果トランジスタ(以下、単にMOS
FETと称する)において、特に大電力用のスイッチン
グ用途向けのパワーMOSFETが広範囲に普及してき
ている。
【0003】このようなパワーMOSFETでは、負荷
短絡時の短絡電流などによる過電流が流れて、電流集中
によって素子が破壊されるのを防止するために、負荷短
絡保護機能のような保護機能が備えられている。これ
は、負荷短絡電流などによってチップ温度が上昇するこ
とに着目して、この温度上昇を検知することにより保護
機能を動作させるようにしたものである。
【0004】例えば、International P
ower ElectronicsConferenc
e(1995)予稿集、P943〜P946の「Int
eligent Power Circuit App
licable to High−Side Swit
ch Circuits]には、そのような保護技術に
ついて示されている。
【0005】この文献では、過電流や瞬発電流の発生を
チップ温度の上昇で検知して、回路を遮断して素子を保
護する方式を採用している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ここで、前記したよう
な保護技術では、過電流が発生した場合にまずチップの
温度上昇を検知することが条件になっている。ところ
で、負荷短絡やノイズなどによってMOSFETのドレ
インとソース間に瞬発電流が流れた際には、電流が瞬時
に増加するので、温度上昇の検知が追随できなってしま
う。
【0007】このため、保護機能が動作する前に瞬発電
流によって素子が破壊されてしまうという問題が生ず
る。
【0008】本発明の目的は、瞬発電流が発生した際で
も、素子の破壊防止を図ることが可能な技術を提供する
ことにある。
【0009】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば下
記の通りである。
【0011】本発明のMIS型半導体装置は、ゲート電
位に応じてドレインとソース間に流れるドレイン電流を
制御するMIS型半導体装置であって、前記ドレインと
ソース間に瞬発電流が流れたときに、この瞬発電流を検
知することにより前記ゲート電位を低下させて前記瞬発
電流を低下させる保護回路を内蔵している。
【0012】上述した手段によれば、本発明のMIS型
半導体装置は、ドレインとソース間に瞬発電流が流れた
ときに、この瞬発電流を検知することによりゲート電位
を低下させて前記瞬発電流を低下させる保護回路を内蔵
しているので、瞬発電流が発生した際でも、素子の破壊
防止を図ることが可能となる。
【0013】以下、本発明について、図面を参照して実
施形態とともに詳細に説明する。
【0014】なお、実施形態を説明するための全図にお
いて、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰
り返しの説明は省略する。
【0015】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)図1は本実施形態1によるMIS型半導
体装置を示す回路図である。本実施形態1によるMIS
型半導体装置1は、同一の半導体チップに例えば電流容
量100AのパワーMOSFETからなる本体のMOS
FET2とともに、このMOSFET2を瞬発電流から
保護する保護回路3を内蔵している。
【0016】この保護回路3は、本体のMOSFET2
に並列接続される例えば電流容量0.1Aの電流検知用
MOSFET4と、この電流検知用MOSFET4のゲ
ート4g及び本体のMOSFET2のゲート2gに共通
に接続される例えば10kΩのゲート抵抗5と、電流検
知用MOSFET4のソース4sに接続される例えば1
nHのインダクタ6と、ドレイン7dが本体のMOSF
ET2のゲート2g及び電流検知用MOSFET4のゲ
ート4gとゲート抵抗5間に接続されるとともに、ゲー
ト7gが電流検知用MOSFET4のソース4sとイン
ダクタ6間に接続される例えば電流容量0.01Aの電
流遮断用MOSFET7とから構成されている。
【0017】ここで、電流遮断用MOSFET7の閾値
Vthは、瞬発電流が本体のMOSFET2に発生した
ときに、インダクタ6に誘起されて電流検知用MOSF
ET4のソース4sとインダクタ6間の接続点8から加
えられる誘起電圧よりも低くなるように設定されてい
る。すなわち、図2の特性図に示すように、瞬発電流に
よる誘起電圧Viが発生したとすると、この誘起電圧V
iがゲート電圧(ゲート電位)として電流遮断用MOS
FET7のゲート7gに加えられるが、その閾値Vth
を越えた時刻t1−t2の期間のみ、電流遮断用MOS
FET7がオンするように設定されている。1G、1
D、1Sは各々MIS型半導体装置1のゲート端子、ド
レイン端子、ソース端子である。
【0018】次に、本実施形態1によるMIS型半導体
装置1の動作を説明する。
【0019】今、負荷短絡やノイズなどによって、本体
のMOSFET2のドレイン2dとソース2s間に瞬発
電流が流れたとすると、保護回路3を構成している電流
検知用MOSFET4には、電流容量の比で決まるその
瞬発電流の1/1000のドレイン電流が流れることに
なる。
【0020】このドレイン電流が流れたことによって、
インダクタ6には電圧が誘起され、この誘起電圧は電流
遮断用MOSFET7のゲート電位として加えられる。
図2に示したように、この誘起電圧Viが電流遮断用M
OSFET7の閾値Vthを越えると、電流遮断用MO
SFET7はオンしてドレイン電流が流れるようにな
る。このドレイン電流は、前述したように誘起電圧Vi
が電流遮断用MOSFET7の閾値Vthを越えた期間
のみ流れる。
【0021】電流遮断用MOSFET7にドレイン電流
が流れることにより、ゲート抵抗5にゲート電流が流れ
るので、ゲート抵抗5に電圧降下が生ずる。従って、こ
のゲート抵抗5が接続されている本体のMOSFET2
のゲート2gに加えられるゲート電圧は、その電圧降下
分だけ低下するようになる。
【0022】この結果、本体のMOSFET2のドレイ
ン2dとソース2s間に流れている瞬発電流は瞬時に減
少するようになる。
【0023】以上のような本実施形態1によるMIS型
半導体装置1によれば、次のような効果が得られる。
【0024】本体のMOSFET2を瞬発電流から保護
する保護回路3を内蔵するようにしたので、本体のMO
SFET2のドレイン2dとソース2s間に瞬発電流が
流れたときに、この瞬発電流を電流検知用MOSFET
4によって検知して、電流遮断用MOSFET7によっ
てその瞬発電流を遮断することができるため、瞬発電流
が発生した際でも、素子の破壊防止を図ることが可能と
なる。
【0025】(実施形態2)図3は本実施形態2による
MIS型半導体装置を示す回路図である。本実施形態2
によるMIS型半導体装置1は、次のような構成の保護
回路3を内蔵している。
【0026】この保護回路3は、本体のMOSFET2
に並列接続される電流検知用MOSFET4と、この電
流検知用MOSFET4のゲート4g及び本体のMOS
FET2のゲート2gに共通に接続されるゲート抵抗5
と、電流検知用MOSFET4のソース4sに接続され
るインダクタ6と、ドレイン7dが本体のMOSFET
2のゲート2g及び電流検知用MOSFET4のゲート
4gとゲート抵抗5間に接続されるとともに、ゲート7
gが電流検知用MOSFET4のソース4sとインダク
タ6間に逆方向の第1のダイオード9を介して接続され
る電流遮断用MOSFET7と、第1のダイオード9に
順方向となるようにインダクタ6に並列接続される第2
のダイオード10と、電流遮断用MOSFET7のゲー
ト7gとソース7s間に接続される例えば容量0.1p
Fの平滑用のキャパシタ11とから構成されている。
【0027】ここで、第1のダイオード9及び第2のダ
イオード10がともに、電流遮断用MOSFET7のゲ
ート7gに対して順方向に接続されているので、電流遮
断用MOSFET7は正のゲート電位が加えられたとき
のみオンするように設定されている。
【0028】次に、本実施形態2によるMIS型半導体
装置1の動作を説明する。
【0029】今、負荷短絡やノイズなどによって、本体
のMOSFET2のドレイン2dとソース2s間に瞬発
電流が流れたとすると、保護回路3を構成している電流
検知用MOSFET4には、その瞬発電流によるドレイ
ン電流が流れることによって、インダクタ6には電圧が
誘起され、この誘起電圧は電流遮断用MOSFET7の
ゲート電位として加えられる。
【0030】このゲート電位が正のときで、かつ電流遮
断用MOSFET7の閾値Vthを越えると、電流遮断
用MOSFET7はオンしてドレイン電流が流れるよう
になる。このドレイン電流が流れることにより、ゲート
抵抗5にゲート電流が流れるので、ゲート抵抗5に電圧
降下が生ずる。従って、このゲート抵抗5が接続されて
いる本体のMOSFET2のゲート電圧は、その電圧降
下分だけ低下するようになる。
【0031】この結果、本体のMOSFET2のドレイ
ン2dとソース2s間に流れている瞬発電流は瞬時に減
少するようになる。
【0032】以上のような本実施形態2によるMIS型
半導体装置1によれば、次のような効果が得られる。
【0033】実施形態1と同様に本体のMOSFET2
を瞬発電流から保護する保護回路3を内蔵するようにし
たので、本体のMOSFET2のドレイン2dとソース
2s間に瞬発電流が流れたときに、この瞬発電流を電流
検知用MOSFET4によって検知して、電流遮断用M
OSFET7によってその瞬発電流を遮断することがで
きるため、実施形態1と同様な降下を得ることができ、
しかも正のゲート電位のときのみ電流遮断用MOSFE
T7がオンするので、回路の信頼度を向上することがで
きる。
【0034】(実施形態3)図4は本実施形態3による
MIS型半導体装置を示す回路図である。本実施形態3
によるMIS型半導体装置1は、次のような構成の保護
回路3を内蔵している。
【0035】この保護回路3は、本体のMOSFET2
のゲート2gに接続されるゲート抵抗5と、本体のMO
SFET2のソース2sに接続されるインダクタ6と、
ドレイン7dが本体のMOSFET2のゲート2gとゲ
ート抵抗5間に接続されるとともに、ゲート7gが本体
のMOSFET2のソース2sとインダクタ6間に逆方
向の第1のダイオード9を介して接続される電流遮断用
MOSFET7と、第1のダイオード9に順方向となる
ようにインダクタ6に並列接続される第2のダイオード
10とから構成されている。
【0036】ここで、本実施形態3では実施形態1、2
とは異なり、電流検知用MOSFETを省略して、イン
ダクタ6を直接に本体のMOSFET2のソース2sに
接続している。
【0037】また、実施形態2と同様に、第1のダイオ
ード9及び第2のダイオード10がともに、電流遮断用
MOSFET7のゲート7gに対して順方向に接続され
ているので、電流遮断用MOSFET7は正のゲート電
位が加えられたときのみオンするように設定されてい
る。
【0038】次に、本実施形態3によるMIS型半導体
装置1の動作を説明する。
【0039】今、負荷短絡やノイズなどによって、本体
のMOSFET2のドレイン2dとソース2s間に瞬発
電流が流れたとすると、保護回路3を構成しているイン
ダクタ6にその瞬発電流によるドレイン電流が流れるこ
とによって、インダクタ6には電圧が誘起され、この誘
起電圧は電流遮断用MOSFET7のゲート電位として
加えられる。
【0040】このゲート電位が正のときで、かつ電流遮
断用MOSFET7の閾値Vthを越えると、電流遮断
用MOSFET7はオンしてドレイン電流が流れるよう
になる。このドレイン電流が流れることにより、ゲート
抵抗5にゲート電流が流れるので、ゲート抵抗5に電圧
降下が生ずる。従って、このゲート抵抗5が接続されて
いる本体のMOSFET2のゲート電圧は、その電圧降
下分だけ低下するようになる。
【0041】この結果、本体のMOSFET2のドレイ
ン2dとソース2s間に流れている瞬発電流は瞬時に減
少するようになる。なお、実施形態1、2に比較して、
電流検知用MOSFETを省略したことにより、本体の
MOSFET2のスイッチングスピードが低下するが、
低速のスイッチング用途には十分適用できる。
【0042】以上のような本実施形態3によるMIS型
半導体装置1によれば、次のような効果が得られる。
【0043】実施形態1、2と同様に本体のMOSFE
T2を瞬発電流から保護する保護回路3を内蔵するよう
にしたので、本体のMOSFET2のドレイン2dとソ
ース2s間に瞬発電流が流れたときに、この瞬発電流を
インダクタ6によって検知して、電流遮断用MOSFE
T7によってその瞬発電流を遮断することができるた
め、実施形態1、2と同様な効果を得ることができ、し
かも電流検知用MOSFETを省略しているので、回路
構成を簡略化することができる。
【0044】(実施形態4)図5は本実施形態4による
MIS型半導体装置を示す回路図である。本実施形態4
によるMIS型半導体装置1は、次のような構成の保護
回路3を内蔵している。
【0045】この保護回路3は、図3の実施形態2によ
るMIS型半導体装置1と比較して、そのインダクタ6
に代えてインダクタ接続用端子12を設けた点が異なっ
ている。このインダクタ接続用端子12には、チップサ
イズに制限されることなしに、大きなインダクタスを有
するインダクタが外付けで接続可能になっている。
【0046】次に、本実施形態4によるMIS型半導体
装置1の動作を説明する。
【0047】今、負荷短絡やノイズなどによって、本体
のMOSFET2のドレイン2dとソース2s間に瞬発
電流が流れたとすると、保護回路3を構成している電流
検知用MOSFET4には、その瞬発電流によるドレイ
ン電流が流れることによって、インダクタ接続用端子1
2に外付けされたインダクタには電圧が誘起され、この
誘起電圧は電流遮断用MOSFET7のゲート電位とし
て加えられる。
【0048】このゲート電位が正のときで、かつ電流遮
断用MOSFET7の閾値Vthを越えると、電流遮断
用MOSFET7はオンしてドレイン電流が流れるよう
になる。このドレイン電流が流れることにより、ゲート
抵抗5にゲート電流が流れるので、ゲート抵抗5に電圧
降下が生ずる。従って、このゲート抵抗5が接続されて
いる本体のMOSFET2のゲート電圧は、その電圧降
下分だけ低下するようになる。
【0049】この結果、本体のMOSFET2のドレイ
ンとソース間に流れている瞬発電流は瞬時に減少するよ
うになる。
【0050】以上のような本実施形態4によるMIS型
半導体装置1によれば、次のような効果が得られる。
【0051】実施形態1乃至3と同様に本体のMOSF
ET2を瞬発電流から保護する保護回路3を内蔵するよ
うにしたので、本体のMOSFET2のドレイン2dと
ソース2s間に瞬発電流が流れたときに、この瞬発電流
を電流検知用MOSFET4によって検知して、電流遮
断用MOSFET7によってその瞬発電流を遮断するこ
とができるため、実施形態1乃至3と同様な効果を得る
ことができ、しかもインダクタ接続用端子12を設けて
いるので、チップサイズに制限されることなしに、大き
なインダクタスを有するインダクタを用意することがで
きる。
【0052】(実施形態5)図6は本実施形態5による
MIS型半導体装置を示す平面図である。本実施形態5
によるMIS型半導体装置1は、実施形態4によるMI
S型半導体装置1の具体例を示している。
【0053】本体のMOSFET2が形成されている半
導体チップ13上には、保護回路3のインダクタを除く
回路部14が形成されて、このチップ13上のインダク
タの両端部に相当する位置にはワイヤボンディング用パ
ッド15が形成されている。
【0054】半導体チップ13はパッケージ16に配置
されて、このパッケージ16には外付け用のインダクタ
チップ17が配置されて、このインダクタチップ17は
インダクタチップボンディングワイヤ18を通じてワイ
ヤボンディング用パッド15に接続されている。また、
半導体チップ13上にはソースパッド19、ゲートパッ
ド20が設けられて各々にはソースボンディングワイヤ
21、ゲートボンディングパッド22が接続されてい
る。
【0055】以上のような本実施形態5によれば、外付
け可能な大きなインダクタスを有するインダクタチップ
17及び半導体チップ13を一つのパッケージ16に収
納できる保護機能付きのMIS型半導体装置1を実現す
ることができるので、システムを小型化できるようにな
る。
【0056】(実施形態6)図7は本実施形態6による
MIS型半導体装置を示す平面図である。本実施形態5
によるMIS型半導体装置1は、実施形態4によるMI
S型半導体装置1の他の具体例を示している。
【0057】本実施形態6によるMIS型半導体装置1
は、実施形態5によるMIS型半導体装置1と比較し
て、そのインダクタチップ17に代えて、ワイヤボンデ
ィング用パッド15に例えば10μmφのAu線からな
るインダクタ用ワイヤ23を接続した点が異なってい
る。このワイヤ23は所望のインダクタンスを有するよ
うに巻回あるいは迂回される。
【0058】以上のような本実施形態6によっても、外
付け可能な大きなインダクタスを有するインダクタ用ワ
イヤ23及び半導体チップ13を一つのパッケージ16
に収納できる保護機能付きのMIS型半導体装置1を実
現することができるので、実施形態5と同様な効果を得
ることができる。
【0059】図8は、各実施形態1乃至4で用いられる
インダクタの構成例を示すもので、半導体チップ13上
に所望のインダクタンスを有するように形成した例えば
Al線からなるスパイラル配線24を、例えば低抵抗ポ
リシリコンからなるリード配線25によって外部に引き
出すようにした例を示している。
【0060】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、
前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論で
ある。
【0061】例えば、前記実施形態ではMIS型半導体
装置としてMOSFETに例をあげて説明したが、これ
に限らずIGBT(Insulated Gate B
ipolar Transistor)のようなパワー
半導体装置に対しても適用できる。
【0062】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるMIS
型半導体装置に適用した場合について説明したが、それ
に限定されるものではない。本発明は、少なくとも保護
回路を必要とする瞬発電流の発生し易い大電力用の半導
体装置に対しては適用できる
【0063】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。
【0064】ドレインとソース間に瞬発電流が流れたと
きに、この瞬発電流を検知することによりゲート電位を
低下させて瞬発電流を低下させる保護回路を内蔵してい
るので、瞬発電流が発生した際でも、素子の破壊防止を
図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1によるMIS型半導体装置
を示す回路図である。
【図2】本発明の実施形態1によるMIS型半導体装置
の動作を説明する特性図である。
【図3】本発明の実施形態2によるMIS型半導体装置
を示す回路図である。
【図4】本発明の実施形態3によるMIS型半導体装置
を示す回路図である。
【図5】本発明の実施形態4によるMIS型半導体装置
を示す回路図である。
【図6】本発明の実施形態5によるMIS型半導体装置
の具体例を示す平面図である。
【図7】本発明の実施形態6によるMIS型半導体装置
の他の具体的を示す平面図である。
【図8】本発明の各実施形態1乃至4によるMIS型半
導体装置で用いられるインダクタの構成例を示す平面図
である。
【符号の説明】
1…MIS型半導体装置、2…本体のMOSFET、2
s、4s、7s…MOSFETのソース、2d、4d、
7d…MOSFETのドレイン、2g、4g、7g…M
OSFETのゲート、3…保護回路、4…電流検知用M
OSFET、5…ゲート抵抗、6…インダクタ、7…電
流遮断用MOSFET、8…接続点、9…第1のダイオ
ード、10…第2のダイオード、11…キャパシタ、1
2…インダクタ接続用端子、13…半導体チップ、14
…保護回路のインダクタを除く回路部、15…ワイヤボ
ンディング用パッド、16…パッケージ、17…インダ
クタチップ、18…インダクタチップボンディングワイ
ヤ、19…ソースパッド、20…ゲートパッド、21…
ソースボンディングワイヤ、22…ゲートボンディング
ワイヤ、23…インダクタ用ワイヤ、24…スパイラル
配線、25…リード配線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯島 哲郎 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 中洲 正敏 埼玉県入間郡毛呂山町大字旭台15番地 日 立東部セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者 大澤 和明 埼玉県入間郡毛呂山町大字旭台15番地 日 立東部セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者 小林 正義 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 中沢 芳人 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ゲート電位に応じてドレインとソース間
    に流れるドレイン電流を制御するMIS型半導体装置で
    あって、前記ドレインとソース間に瞬発電流が流れたと
    きに、この瞬発電流を検知することにより前記ゲート電
    位を低下させて前記瞬発電流を低下させる保護回路を内
    蔵することを特徴とするMIS型半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記保護回路は、本体のMIS型半導体
    装置に並列接続される電流検知用MIS型半導体装置
    と、この電流検知用MIS型半導体装置及び前記本体の
    MIS型半導体装置のゲートに共通に接続されるゲート
    抵抗と、前記電流検知用MIS型半導体装置のソースに
    接続されるインダクタと、ドレインが前記本体及び電流
    検知用MIS型半導体装置のゲートと前記ゲート抵抗間
    に接続されるとともに、ゲートが前記電流検知用MIS
    型半導体装置のソースと前記インダクタ間に接続される
    電流遮断用MIS型半導体装置とから構成されているこ
    とを特徴とする請求項1に記載のMIS型半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記電流遮断用MIS型半導体装置はそ
    の閾値電圧が、前記瞬発電流が本体のMIS型半導体装
    置に発生したときに前記インダクタに誘起される電圧よ
    りも低くなるように設定されていることを特徴とする請
    求項2に記載のMIS型半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記保護回路は、本体のMIS型半導体
    装置に並列接続される電流検知用MIS型半導体装置
    と、この電流検知用MIS型半導体装置及び前記本体の
    MIS型半導体装置のゲートに共通に接続されるゲート
    抵抗と、前記電流検知用MIS型半導体装置のソースに
    接続されるインダクタと、ドレインが前記本体及び電流
    検知用MIS型半導体装置のゲートと前記ゲート抵抗間
    に接続されるとともに、ゲートが前記電流検知用MIS
    型半導体装置のソースと前記インダクタ間に逆方向の第
    1のダイオードを介して接続される電流遮断用MIS型
    半導体装置と、前記第1のダイオードに順方向となるよ
    うにインダクタに並列接続される第2のダイオードとか
    ら構成されていることを特徴とする請求項1に記載のM
    IS型半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記保護回路は、本体のMIS型半導体
    装置のゲートに接続されるゲート抵抗と、本体のMIS
    型半導体装置のソースに接続されるインダクタと、ドレ
    インが前記本体のMIS型半導体装置のゲートと前記ゲ
    ート抵抗間に接続されるとともに、ゲートが前記本体の
    MIS型半導体装置のソースと前記インダクタ間に逆方
    向の第1のダイオードを介して接続される電流遮断用M
    IS型半導体装置と、前記第1のダイオードに順方向と
    なるようにインダクタに並列接続される第2のダイオー
    ドとから構成されていることを特徴とする請求項1に記
    載のMIS型半導体装置。
  6. 【請求項6】 前記保護回路は、本体のMIS型半導体
    装置に並列接続される電流検知用MIS型半導体装置
    と、この電流検知用MIS型半導体装置及び前記本体の
    MIS型半導体装置のゲートに共通に接続されるゲート
    抵抗と、前記電流検知用MIS型半導体装置のソースに
    設けられるインダクタ接続用端子と、ドレインが前記本
    体及び電流検知用MIS型半導体装置のゲートと前記ゲ
    ート抵抗間に接続されるとともに、ゲートが前記電流検
    知用MIS型半導体装置のソースに逆方向の第1のダイ
    オードを介して接続される電流遮断用MIS型半導体装
    置と、前記第1のダイオードに順方向となるように電流
    検知用MIS型半導体装置のソースに接続される第2の
    ダイオードとから構成されていることを特徴とする請求
    項1に記載のMIS型半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記保護回路のインダクタを除く回路部
    が、本体のMIS型半導体装置と同一チップ上に形成さ
    れ、このチップ上のインダクタの両端部に相当する位置
    にはワイヤボンディング用パッドが形成されていること
    を特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のM
    IS型半導体装置。
  8. 【請求項8】 前記ワイヤボンディング用パッドにワイ
    ヤボンディングが行われ、このワイヤをインダクタとし
    て用いることを特徴とする請求項7に記載のMIS型半
    導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR2819953A1 (fr) * 2001-01-24 2002-07-26 St Microelectronics Sa Commutateur de puissance a asservissement en di/dt
JP2005209943A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Denso Corp スイッチ回路およびそれを用いた点火装置

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