JPH09292202A - 直線変位検出装置 - Google Patents
直線変位検出装置Info
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- JPH09292202A JPH09292202A JP8105593A JP10559396A JPH09292202A JP H09292202 A JPH09292202 A JP H09292202A JP 8105593 A JP8105593 A JP 8105593A JP 10559396 A JP10559396 A JP 10559396A JP H09292202 A JPH09292202 A JP H09292202A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 取り付け環境に対する自由度を拡大して汎用
性を持たせることができ、また、磁気検出素子の出力電
圧に対する永久磁石の着磁精度の影響度を小さくでき、
しかも、磁石形状を小さくできると共にコストの低廉化
を図ることができ、また、構成簡単且つ安価にして２重
系出力が可能な直線変位検出装置を得る。 【解決手段】 所定のパターンに形成された感磁面（３
ｂ）を有する磁気検出素子（３）と、短軸方向の両端面
に磁極面を有し、この磁極面が磁気検出素子（３）の感
磁面（３ｂ）に対向させられ、且つ長軸方向に移動可能
に配設された永久磁石（４）とを備え、この永久磁石の
長軸方向の変位を検出する。
性を持たせることができ、また、磁気検出素子の出力電
圧に対する永久磁石の着磁精度の影響度を小さくでき、
しかも、磁石形状を小さくできると共にコストの低廉化
を図ることができ、また、構成簡単且つ安価にして２重
系出力が可能な直線変位検出装置を得る。 【解決手段】 所定のパターンに形成された感磁面（３
ｂ）を有する磁気検出素子（３）と、短軸方向の両端面
に磁極面を有し、この磁極面が磁気検出素子（３）の感
磁面（３ｂ）に対向させられ、且つ長軸方向に移動可能
に配設された永久磁石（４）とを備え、この永久磁石の
長軸方向の変位を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、直線変位検出装
置に関し、特に直線変位に連動した永久磁石の直線変位
を、磁気検出素子の感磁面上の磁束方向、あるいは、磁
束密度の変化として検出する直線変位検出装置に関する
ものである。
置に関し、特に直線変位に連動した永久磁石の直線変位
を、磁気検出素子の感磁面上の磁束方向、あるいは、磁
束密度の変化として検出する直線変位検出装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は、例えば特開平５−２８０９１６
号公報に示された従来の直線変位検出装置の一例を模式
的に示す平面図である。図において、１は磁気検出素子
であり、例えばガラス基板上に磁気抵抗パターンに構成
された強磁性体磁気抵抗材料であるＮiＦeからなる磁気
抵抗素子１ａが形成され、さらに絶縁樹脂で直方体形状
にモールドされて構成され、ガラス基板表面の磁気抵抗
素子１ａの形成面が感磁面１ｂとなっている。ここで
は、磁気抵抗素子１ａの磁気抵抗パターンは、櫛歯状パ
ターンが出力端子１ｃのパターンを中心に左右対称にハ
の字状に構成されている。２は永久磁石であり、この永
久磁石２は、磁石長手方向に磁極面をもち、直線変位に
応じて磁石長手方向に変位し、磁気検出素子１に磁束変
化を与える。磁気検出素子１は磁束変化を出力電圧に変
換し、直線変位を検出する。
号公報に示された従来の直線変位検出装置の一例を模式
的に示す平面図である。図において、１は磁気検出素子
であり、例えばガラス基板上に磁気抵抗パターンに構成
された強磁性体磁気抵抗材料であるＮiＦeからなる磁気
抵抗素子１ａが形成され、さらに絶縁樹脂で直方体形状
にモールドされて構成され、ガラス基板表面の磁気抵抗
素子１ａの形成面が感磁面１ｂとなっている。ここで
は、磁気抵抗素子１ａの磁気抵抗パターンは、櫛歯状パ
ターンが出力端子１ｃのパターンを中心に左右対称にハ
の字状に構成されている。２は永久磁石であり、この永
久磁石２は、磁石長手方向に磁極面をもち、直線変位に
応じて磁石長手方向に変位し、磁気検出素子１に磁束変
化を与える。磁気検出素子１は磁束変化を出力電圧に変
換し、直線変位を検出する。
【０００３】次に、動作について説明する。検出する直
線変位に応じて永久磁石２は変位し、磁気検出素子１に
は検出する直線変位に対応した磁束方向あるいは磁束密
度変化が印加される。磁気検出素子１は、この磁束変化
に応じて磁気抵抗素子１ａの磁気抵抗パターンの抵抗値
が変化し、検出する直線変位に対応した電圧を出力す
る。なお、この場合、出力電圧は、磁気抵抗パターンの
抵抗値に比例して大きくなる。磁気検出素子１からの出
力電圧は、出力端子１ｃを介して外部に出力される。
線変位に応じて永久磁石２は変位し、磁気検出素子１に
は検出する直線変位に対応した磁束方向あるいは磁束密
度変化が印加される。磁気検出素子１は、この磁束変化
に応じて磁気抵抗素子１ａの磁気抵抗パターンの抵抗値
が変化し、検出する直線変位に対応した電圧を出力す
る。なお、この場合、出力電圧は、磁気抵抗パターンの
抵抗値に比例して大きくなる。磁気検出素子１からの出
力電圧は、出力端子１ｃを介して外部に出力される。
【０００４】図９は永久磁石２の変位に対する磁気検出
素子１の出力電圧の関係を示したものである。同図にお
いて、電圧Ｖ1，Ｖ2は永久磁石２が０を基準にして左右
（−Ｘ側およびＸ側）に変位したときの磁気検出素子１
の出力電圧のそれぞれの側における最大値を実質的に表
している。また、実線Ａは磁気検出素子１の理想的な出
力電圧の特性、破線Ｂは磁気検出素子１の実際の出力電
圧の波形である。ここで、磁気検出素子１の直線性は、
理想的な出力電圧に対する実際の出力電圧の偏位分をΔ
Ｖ、永久磁石２の変位がフルスケール（ＦＳ）時の出力
電圧をＶFSとすると、次式で与えられる。
素子１の出力電圧の関係を示したものである。同図にお
いて、電圧Ｖ1，Ｖ2は永久磁石２が０を基準にして左右
（−Ｘ側およびＸ側）に変位したときの磁気検出素子１
の出力電圧のそれぞれの側における最大値を実質的に表
している。また、実線Ａは磁気検出素子１の理想的な出
力電圧の特性、破線Ｂは磁気検出素子１の実際の出力電
圧の波形である。ここで、磁気検出素子１の直線性は、
理想的な出力電圧に対する実際の出力電圧の偏位分をΔ
Ｖ、永久磁石２の変位がフルスケール（ＦＳ）時の出力
電圧をＶFSとすると、次式で与えられる。
【０００５】 直線性＝（ΔＶ／ＶFS）×１００％ ・・・（１）
【０００６】図１０は、磁石長手方向に磁極面を持つ永
久磁石２の変位と、その変位に対応して変化する磁気検
出素子１の出力電圧の関係を示したものである。図８に
示すように磁気検出素子１は永久磁石２の長手方向の中
心（磁極境面）に対向して配置されているため、永久磁
石２の着磁精度がよい（正常である）と、ニュートラル
ゾーンが図１０（ｂ）の符号２ａで示すように磁極境面
と一致しているので、このような永久磁石２の直線変位
を、その感磁面１ｂ上の磁束方向、あるいは、磁束密度
の変化として検出する磁気検出素子１の出力電圧の特性
は、図１０（ａ）の実線で示すように略理想的な特性と
なるが、永久磁石２の着磁精度が悪い（異常である）
と、ニュートラルゾーンが図１０（ｂ）の符号２ｂで示
すように磁極境面より大きくずれるので、磁気検出素子
１の出力電圧の特性は、図１０（ａ）の破線で示すよう
な特性となり、例えば中点電圧（永久磁石２が停止して
いるとき（Ｘ＝０）の磁気検出素子１の出力電圧（Ｖ1
＋Ｖ2）／２相当）に対して電圧Ｄ1なる大きなずれを生
じる。
久磁石２の変位と、その変位に対応して変化する磁気検
出素子１の出力電圧の関係を示したものである。図８に
示すように磁気検出素子１は永久磁石２の長手方向の中
心（磁極境面）に対向して配置されているため、永久磁
石２の着磁精度がよい（正常である）と、ニュートラル
ゾーンが図１０（ｂ）の符号２ａで示すように磁極境面
と一致しているので、このような永久磁石２の直線変位
を、その感磁面１ｂ上の磁束方向、あるいは、磁束密度
の変化として検出する磁気検出素子１の出力電圧の特性
は、図１０（ａ）の実線で示すように略理想的な特性と
なるが、永久磁石２の着磁精度が悪い（異常である）
と、ニュートラルゾーンが図１０（ｂ）の符号２ｂで示
すように磁極境面より大きくずれるので、磁気検出素子
１の出力電圧の特性は、図１０（ａ）の破線で示すよう
な特性となり、例えば中点電圧（永久磁石２が停止して
いるとき（Ｘ＝０）の磁気検出素子１の出力電圧（Ｖ1
＋Ｖ2）／２相当）に対して電圧Ｄ1なる大きなずれを生
じる。
【０００７】従って、磁気検出素子１の出力電圧は永久
磁石２の着磁精度に大きく左右されることが分かる。換
言すれば、このように磁気検出素子１を永久磁石２の長
手方向の中心（磁極境面）に対向して配置した場合、磁
気検出素子１の出力電圧は、永久磁石２のニュートラル
ゾーンに大きく影響されることが分かる。一般に、永久
磁石の着磁は、Ｎ極とＳ極の間が長くなればなる程、難
しいと云われている。
磁石２の着磁精度に大きく左右されることが分かる。換
言すれば、このように磁気検出素子１を永久磁石２の長
手方向の中心（磁極境面）に対向して配置した場合、磁
気検出素子１の出力電圧は、永久磁石２のニュートラル
ゾーンに大きく影響されることが分かる。一般に、永久
磁石の着磁は、Ｎ極とＳ極の間が長くなればなる程、難
しいと云われている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の直線変位検出装
置は、以上のように、長手方向に磁極面をもつ永久磁石
を使用しているので、以下のような種々の問題点があっ
た。即ち、先ず、磁気検出素子への印加磁界が弱いため
外部磁界および外部磁性体の影響を受けやすく、取り付
け環境を考慮する必要があり、取り付け環境に対する自
由度が制限されるという問題点があった。また、磁気検
出素子は永久磁石の長手方向の中心（磁極境面）に対向
して配置されているため、磁気検出素子の出力電圧は永
久磁石の着磁精度に大きく左右されるという問題点があ
った。さらに、磁気検出素子の出力電圧の直線性を確保
するために永久磁石の長手方向寸法Ｌと短手方向寸法Ｍ
の比率Ｌ／Ｍを大きくする必要があり、磁石形状が大き
くなり、コスト的にも高価になるという問題点があっ
た。
置は、以上のように、長手方向に磁極面をもつ永久磁石
を使用しているので、以下のような種々の問題点があっ
た。即ち、先ず、磁気検出素子への印加磁界が弱いため
外部磁界および外部磁性体の影響を受けやすく、取り付
け環境を考慮する必要があり、取り付け環境に対する自
由度が制限されるという問題点があった。また、磁気検
出素子は永久磁石の長手方向の中心（磁極境面）に対向
して配置されているため、磁気検出素子の出力電圧は永
久磁石の着磁精度に大きく左右されるという問題点があ
った。さらに、磁気検出素子の出力電圧の直線性を確保
するために永久磁石の長手方向寸法Ｌと短手方向寸法Ｍ
の比率Ｌ／Ｍを大きくする必要があり、磁石形状が大き
くなり、コスト的にも高価になるという問題点があっ
た。
【０００９】この発明はこのような問題点を解決するた
めになされたもので、取り付け環境に対する自由度を拡
大して汎用性を持たせることができ、また、磁気検出素
子の出力電圧に対する永久磁石の着磁精度の影響度を小
さくでき、しかも、磁石形状を小さくできると共にコス
トの低廉化を図ることができ、また、構成簡単且つ安価
にして２重系出力が可能な直線変位検出装置を提供する
ことを目的とする。
めになされたもので、取り付け環境に対する自由度を拡
大して汎用性を持たせることができ、また、磁気検出素
子の出力電圧に対する永久磁石の着磁精度の影響度を小
さくでき、しかも、磁石形状を小さくできると共にコス
トの低廉化を図ることができ、また、構成簡単且つ安価
にして２重系出力が可能な直線変位検出装置を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る直線変位検出装置は、所定のパターンに形成された感
磁面を有する磁気検出素子と、短軸方向の両端面に磁極
面を有し、この磁極面が磁気検出素子の感磁面に対向さ
せられ、且つ長軸方向に移動可能に配設された永久磁石
とを備え、この永久磁石の長軸方向の変位を検出するよ
うにしたものである。
る直線変位検出装置は、所定のパターンに形成された感
磁面を有する磁気検出素子と、短軸方向の両端面に磁極
面を有し、この磁極面が磁気検出素子の感磁面に対向さ
せられ、且つ長軸方向に移動可能に配設された永久磁石
とを備え、この永久磁石の長軸方向の変位を検出するよ
うにしたものである。
【００１１】請求項２記載の発明に係る直線変位検出装
置は、所定のパターンに形成された感磁面を有し、この
感磁面が相互に所定間隔で対向するように配置された複
数の磁気検出素子と、短軸方向の両端面に磁極面を有
し、この磁極面が複数の磁気検出素子の感磁面に対向さ
せられ、且つ長軸方向に移動可能に複数の磁気検出素子
の間に配設された永久磁石とを備え、この永久磁石の長
軸方向の変位を検出するようにしたものである。
置は、所定のパターンに形成された感磁面を有し、この
感磁面が相互に所定間隔で対向するように配置された複
数の磁気検出素子と、短軸方向の両端面に磁極面を有
し、この磁極面が複数の磁気検出素子の感磁面に対向さ
せられ、且つ長軸方向に移動可能に複数の磁気検出素子
の間に配設された永久磁石とを備え、この永久磁石の長
軸方向の変位を検出するようにしたものである。
【００１２】請求項３記載の発明に係る直線変位検出装
置は、請求項１または２の発明において、永久磁石の長
軸方向寸法Ｌと検出変位Ｘとの比率Ｘ／Ｌを０．８〜
１．２とするものである。
置は、請求項１または２の発明において、永久磁石の長
軸方向寸法Ｌと検出変位Ｘとの比率Ｘ／Ｌを０．８〜
１．２とするものである。
【００１３】請求項４記載の発明に係る直線変位検出装
置は、請求項１〜３のいずれかの発明において、磁気検
出素子の感磁面は櫛歯状パターンが左右対称にハの字状
に構成されたパターンに形成されているものである。
置は、請求項１〜３のいずれかの発明において、磁気検
出素子の感磁面は櫛歯状パターンが左右対称にハの字状
に構成されたパターンに形成されているものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１を模式的
に示す平面図である。図において、３は磁気検出素子で
あり、例えばガラス基板上に磁気抵抗パターンに構成さ
れた強磁性体磁気抵抗材料であるＮiＦeからなる磁気抵
抗素子３ａが形成され、さらに絶縁樹脂で直方体形状に
モールドされて構成され、ガラス基板表面の磁気抵抗素
子３ａの形成面が感磁面３ｂとなっている。ここでは、
磁気抵抗素子３ａの磁気抵抗パターンは、櫛歯状パター
ンが出力端子３ｃのパターンを中心に左右対称にハの字
状に構成されている。４は棒状の永久磁石であり、この
永久磁石４は、磁気検出素子３の感磁面の延長上に長軸
心がくるように、磁気検出素子３と対向して、長軸方向
に移動可能に配設され、かつ短軸方向の両端面を磁極面
とするものである。
図について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１を模式的
に示す平面図である。図において、３は磁気検出素子で
あり、例えばガラス基板上に磁気抵抗パターンに構成さ
れた強磁性体磁気抵抗材料であるＮiＦeからなる磁気抵
抗素子３ａが形成され、さらに絶縁樹脂で直方体形状に
モールドされて構成され、ガラス基板表面の磁気抵抗素
子３ａの形成面が感磁面３ｂとなっている。ここでは、
磁気抵抗素子３ａの磁気抵抗パターンは、櫛歯状パター
ンが出力端子３ｃのパターンを中心に左右対称にハの字
状に構成されている。４は棒状の永久磁石であり、この
永久磁石４は、磁気検出素子３の感磁面の延長上に長軸
心がくるように、磁気検出素子３と対向して、長軸方向
に移動可能に配設され、かつ短軸方向の両端面を磁極面
とするものである。
【００１５】次に、動作について説明する。検出する直
線変位に応じて永久磁石４は変位し、磁気検出素子３に
は検出する直線変位に対応した磁束方向あるいは磁束密
度変化が印加される。磁気検出素子３は、この磁束変化
に応じて磁気抵抗素子３ａの磁気抵抗パターンの抵抗値
が変化し、検出する直線変位に対応した電圧を出力す
る。なお、この場合も、出力電圧は、磁気抵抗パターン
の抵抗値に比例して大きくなる。磁気検出素子３からの
出力電圧は、出力端子３ｃを介して外部に出力される。
線変位に応じて永久磁石４は変位し、磁気検出素子３に
は検出する直線変位に対応した磁束方向あるいは磁束密
度変化が印加される。磁気検出素子３は、この磁束変化
に応じて磁気抵抗素子３ａの磁気抵抗パターンの抵抗値
が変化し、検出する直線変位に対応した電圧を出力す
る。なお、この場合も、出力電圧は、磁気抵抗パターン
の抵抗値に比例して大きくなる。磁気検出素子３からの
出力電圧は、出力端子３ｃを介して外部に出力される。
【００１６】図２は、短軸方向の両端面を磁極面として
いる永久磁石４の変位と、その変位に対応して変化する
磁気検出素子３の出力電圧の関係を示したものである。
同図において、電圧Ｖ1，Ｖ2は永久磁石４が０を基準に
して左右（−Ｘ側およびＸ側）に変位したときの磁気検
出素子３の出力電圧のそれぞれの側における最大値を実
質的に表している。ここでは、永久磁石４は、磁気検出
素子３の感磁面の延長上に長軸心がくるように磁気検出
素子３と対向して長軸方向に移動可能に配設され、かつ
短軸方向の両端面を磁極面としているため、図２（ｂ）
の符号４ａで示すようにそのニュートラルゾーンは、磁
気検出素子３の感磁面に対して略平行の関係にあり、こ
の場合、実質的にニュートラルゾーンを使用していない
ので、その影響を受けない。従って、磁気検出素子３の
出力電圧の理想的な特性を図２（ａ）の実線で示すよう
な特性とすると、実際の磁気検出素子３の出力電圧の特
性は、図２（ａ）の破線で示すような特性となり、中点
電圧（永久磁石４が停止しているとき（Ｘ＝０）の磁気
検出素子３の出力電圧（Ｖ1＋Ｖ2）／２相当）に対して
電圧Ｄ2（≪Ｄ1）なるずれを生じるのみで、略理想的な
特性に近い特性が得られる。この場合の特性のずれは、
着磁のずれや磁気検出素子と永久磁石の配置関係のずれ
等によるものと思われる。
いる永久磁石４の変位と、その変位に対応して変化する
磁気検出素子３の出力電圧の関係を示したものである。
同図において、電圧Ｖ1，Ｖ2は永久磁石４が０を基準に
して左右（−Ｘ側およびＸ側）に変位したときの磁気検
出素子３の出力電圧のそれぞれの側における最大値を実
質的に表している。ここでは、永久磁石４は、磁気検出
素子３の感磁面の延長上に長軸心がくるように磁気検出
素子３と対向して長軸方向に移動可能に配設され、かつ
短軸方向の両端面を磁極面としているため、図２（ｂ）
の符号４ａで示すようにそのニュートラルゾーンは、磁
気検出素子３の感磁面に対して略平行の関係にあり、こ
の場合、実質的にニュートラルゾーンを使用していない
ので、その影響を受けない。従って、磁気検出素子３の
出力電圧の理想的な特性を図２（ａ）の実線で示すよう
な特性とすると、実際の磁気検出素子３の出力電圧の特
性は、図２（ａ）の破線で示すような特性となり、中点
電圧（永久磁石４が停止しているとき（Ｘ＝０）の磁気
検出素子３の出力電圧（Ｖ1＋Ｖ2）／２相当）に対して
電圧Ｄ2（≪Ｄ1）なるずれを生じるのみで、略理想的な
特性に近い特性が得られる。この場合の特性のずれは、
着磁のずれや磁気検出素子と永久磁石の配置関係のずれ
等によるものと思われる。
【００１７】ここで、検出する直線変位Ｘに対応した磁
束方向及び磁束密度の変化量を、永久磁石４の長手方向
寸法ＬをＸ／Ｌ＝０．８〜１．２で設定することによ
り、図３で示すように、その出力直線性を最適にでき、
永久磁石４の長手方向寸法を短縮できるためコスト低減
が可能となる。また、検出する直線変位に対応して決定
される永久磁石４の長手方向寸法の構成上の余裕度を大
きくできる。
束方向及び磁束密度の変化量を、永久磁石４の長手方向
寸法ＬをＸ／Ｌ＝０．８〜１．２で設定することによ
り、図３で示すように、その出力直線性を最適にでき、
永久磁石４の長手方向寸法を短縮できるためコスト低減
が可能となる。また、検出する直線変位に対応して決定
される永久磁石４の長手方向寸法の構成上の余裕度を大
きくできる。
【００１８】図４は図１で説明した磁気検出素子３およ
び永久磁石４を組み込んだこの発明に係る直線変位検出
装置の構成を示す断面図、図５は図４の線IーIの断面図
であり、各図において、図１と対応する部分には同一符
号を付し、その説明を省略する。図において、５はケー
ス本体６に形成された取付フランジ、７は取付フランジ
５から突出する状態にケース本体６に形成される挿入筒
部で、この中心線８上を永久磁石４が移動するようにシ
ャフト９が装着されている。１０は被検出装置である例
えばＥＧＲバルブで、本装置取り付け用としての鉄等の
強磁性体からなる取付フランジ１０ａおよび開口部１０
ｂを有している。１１は負圧室で、エンジン（図示せ
ず）に発生する負圧が供給される。１２はロッドで、負
圧室１１の負圧の大きさにより作動されてバルブ１３を
開閉する。
び永久磁石４を組み込んだこの発明に係る直線変位検出
装置の構成を示す断面図、図５は図４の線IーIの断面図
であり、各図において、図１と対応する部分には同一符
号を付し、その説明を省略する。図において、５はケー
ス本体６に形成された取付フランジ、７は取付フランジ
５から突出する状態にケース本体６に形成される挿入筒
部で、この中心線８上を永久磁石４が移動するようにシ
ャフト９が装着されている。１０は被検出装置である例
えばＥＧＲバルブで、本装置取り付け用としての鉄等の
強磁性体からなる取付フランジ１０ａおよび開口部１０
ｂを有している。１１は負圧室で、エンジン（図示せ
ず）に発生する負圧が供給される。１２はロッドで、負
圧室１１の負圧の大きさにより作動されてバルブ１３を
開閉する。
【００１９】また、１４はケース本体６に収納された回
路基板、１５はケース本体６のスペースを防ぐと共に、
シャフト９の貫挿穴を有するカバーで、ケース本体６に
接着されてシャフト９の脱落を防止している。そして、
回路基板１４の固定・収納スペースとシャフト９の動作
スペースが完全に隔離されているので、装置の気密性が
確保されている。
路基板、１５はケース本体６のスペースを防ぐと共に、
シャフト９の貫挿穴を有するカバーで、ケース本体６に
接着されてシャフト９の脱落を防止している。そして、
回路基板１４の固定・収納スペースとシャフト９の動作
スペースが完全に隔離されているので、装置の気密性が
確保されている。
【００２０】以上のように、挿入筒部７を開口部１０ｂ
に挿入して両方の取付フランジ５および１０ａを固定し
て本装置をＥＧＲバルブで１０に取り付けると、図４お
よび図５に示すように、永久磁石４が取付フランジ１０
ａおよび開口部１０ｂの中心線８上を直線変位するよう
になるので、強磁性体（鉄等）の取付フランジ１０ａに
よる影響が最も少なくなり、出力変動も最も小さく抑制
できる。
に挿入して両方の取付フランジ５および１０ａを固定し
て本装置をＥＧＲバルブで１０に取り付けると、図４お
よび図５に示すように、永久磁石４が取付フランジ１０
ａおよび開口部１０ｂの中心線８上を直線変位するよう
になるので、強磁性体（鉄等）の取付フランジ１０ａに
よる影響が最も少なくなり、出力変動も最も小さく抑制
できる。
【００２１】なお、本装置は、ＥＧＲバルブ１０に取り
付けられて、負圧室１１の負圧の大きさに応じて直線変
位するロッド１２の、この直線変位をシャフト９により
取り出し、永久磁石４を磁気検出素子３に対して直線変
位することで印加磁界方向が変化し、アナログ出力を得
ることにより、ＥＧＲバルブ１０の開度センサとして使
用される。
付けられて、負圧室１１の負圧の大きさに応じて直線変
位するロッド１２の、この直線変位をシャフト９により
取り出し、永久磁石４を磁気検出素子３に対して直線変
位することで印加磁界方向が変化し、アナログ出力を得
ることにより、ＥＧＲバルブ１０の開度センサとして使
用される。
【００２２】このように、本実施の形態では、磁気検出
素子と永久磁石の磁極面を対向させて配置することによ
り、磁気検出素子に強磁界が印加出来るため、外部磁界
および外部磁性体の影響を低減でき、取付環境に対して
自由度ができる。また、磁束方向変化を検出する磁気検
出素子の場合は飽和磁界以上の非常に安定した領域での
素子使用が可能である。また、永久磁石の磁極面と対向
して磁気検出素子を配置することにより、磁気検出素子
の出力電圧に対する永久磁石の着磁精度に影響度が小さ
くできる。また、検出する直線変位Ｘに対応した磁束方
向および磁束密度の変化量を、永久磁石の長手方向寸法
ＬとしてＸ／Ｌ＝０．８〜１．２で設定することにより
出力直線性を最適にでき、永久磁石の長手方向寸法を短
縮できるためコスト低減が可能となる。さらに、検出す
る直線変位に対応して決定される永久磁石の長手方向寸
法の構成上の余裕度が大きくできる。
素子と永久磁石の磁極面を対向させて配置することによ
り、磁気検出素子に強磁界が印加出来るため、外部磁界
および外部磁性体の影響を低減でき、取付環境に対して
自由度ができる。また、磁束方向変化を検出する磁気検
出素子の場合は飽和磁界以上の非常に安定した領域での
素子使用が可能である。また、永久磁石の磁極面と対向
して磁気検出素子を配置することにより、磁気検出素子
の出力電圧に対する永久磁石の着磁精度に影響度が小さ
くできる。また、検出する直線変位Ｘに対応した磁束方
向および磁束密度の変化量を、永久磁石の長手方向寸法
ＬとしてＸ／Ｌ＝０．８〜１．２で設定することにより
出力直線性を最適にでき、永久磁石の長手方向寸法を短
縮できるためコスト低減が可能となる。さらに、検出す
る直線変位に対応して決定される永久磁石の長手方向寸
法の構成上の余裕度が大きくできる。
【００２３】実施の形態２．図６はこの発明の実施の形
態２を模式的に示す平面図である。図６において、図１
と対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略す
る。図において、２１，２２は磁気検出素子３と同様の
磁気検出素子であり、それぞれ、例えばガラス基板上に
磁気抵抗パターンに構成された強磁性体磁気抵抗材料で
あるＮiＦeからなる磁気抵抗素子２１ａ，２２ａが形成
され、さらに絶縁樹脂で直方体形状にモールドされて構
成され、また、ガラス基板表面の磁気抵抗素子２１ａ，
２２ａの形成面がそれぞれ感磁面２１ｂ，２２ｂとなっ
ている。これらの磁気抵抗素子２１ａ，２２ａもその磁
気抵抗パターンは、櫛歯状パターンがそれぞれ出力端子
２１ｃ，２２ｃのパターンを中心に左右対称にハの字状
に構成されている。そして、磁気検出素子２１，２２
を、その感磁面２１ｂ，２２ｂが対向するように、永久
磁石４を挟んで配置する。
態２を模式的に示す平面図である。図６において、図１
と対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略す
る。図において、２１，２２は磁気検出素子３と同様の
磁気検出素子であり、それぞれ、例えばガラス基板上に
磁気抵抗パターンに構成された強磁性体磁気抵抗材料で
あるＮiＦeからなる磁気抵抗素子２１ａ，２２ａが形成
され、さらに絶縁樹脂で直方体形状にモールドされて構
成され、また、ガラス基板表面の磁気抵抗素子２１ａ，
２２ａの形成面がそれぞれ感磁面２１ｂ，２２ｂとなっ
ている。これらの磁気抵抗素子２１ａ，２２ａもその磁
気抵抗パターンは、櫛歯状パターンがそれぞれ出力端子
２１ｃ，２２ｃのパターンを中心に左右対称にハの字状
に構成されている。そして、磁気検出素子２１，２２
を、その感磁面２１ｂ，２２ｂが対向するように、永久
磁石４を挟んで配置する。
【００２４】次に、動作について説明する。検出する直
線変位に応じて永久磁石４は磁気検出素子２１，２２の
間を長軸方向に変位し、磁気検出素子２１，２２には検
出する直線変位に対応した磁束方向あるいは磁束密度変
化が印加される。磁気検出素子２１，２２は、この磁束
変化に応じて磁気抵抗素子２１ａ，２２ａの磁気抵抗パ
ターンの抵抗値が変化し、検出する直線変位に対応した
電圧を出力する。なお、この場合も、出力電圧は、磁気
抵抗パターンの抵抗値に比例して大きくなる。磁気検出
素子２１，２２からの出力電圧は、それぞれ出力端子２
１ｃ，２２ｃを介して外部に出力される。
線変位に応じて永久磁石４は磁気検出素子２１，２２の
間を長軸方向に変位し、磁気検出素子２１，２２には検
出する直線変位に対応した磁束方向あるいは磁束密度変
化が印加される。磁気検出素子２１，２２は、この磁束
変化に応じて磁気抵抗素子２１ａ，２２ａの磁気抵抗パ
ターンの抵抗値が変化し、検出する直線変位に対応した
電圧を出力する。なお、この場合も、出力電圧は、磁気
抵抗パターンの抵抗値に比例して大きくなる。磁気検出
素子２１，２２からの出力電圧は、それぞれ出力端子２
１ｃ，２２ｃを介して外部に出力される。
【００２５】図７は、短軸方向の両端面を磁極面として
いる永久磁石４の変位と、その変位に対応して変化する
磁気検出素子２１，２２の出力電圧の関係を示したもの
である。同図において、電圧Ｖ1，Ｖ2は永久磁石４が０
を基準にして左右（−Ｘ側およびＸ側）に変位したとき
の磁気検出素子２１，２２の出力電圧のそれぞれの側に
おける最大値を実質的に表している。ここでは、永久磁
石４は、磁気検出素子２１，２２の感磁面の延長上に長
軸心がくるように磁気検出素子２１，２２と対向して長
軸方向に移動可能に配設され、かつ短軸方向の両端面を
磁極面としているため、図７（ｂ）の符号４ａで示すよ
うにそのニュートラルゾーンは、磁気検出素子２１，２
２の感磁面に対して略平行の関係にあり、この場合、実
質的にニュートラルゾーンを使用していないので、その
影響を受けない。
いる永久磁石４の変位と、その変位に対応して変化する
磁気検出素子２１，２２の出力電圧の関係を示したもの
である。同図において、電圧Ｖ1，Ｖ2は永久磁石４が０
を基準にして左右（−Ｘ側およびＸ側）に変位したとき
の磁気検出素子２１，２２の出力電圧のそれぞれの側に
おける最大値を実質的に表している。ここでは、永久磁
石４は、磁気検出素子２１，２２の感磁面の延長上に長
軸心がくるように磁気検出素子２１，２２と対向して長
軸方向に移動可能に配設され、かつ短軸方向の両端面を
磁極面としているため、図７（ｂ）の符号４ａで示すよ
うにそのニュートラルゾーンは、磁気検出素子２１，２
２の感磁面に対して略平行の関係にあり、この場合、実
質的にニュートラルゾーンを使用していないので、その
影響を受けない。
【００２６】従って、磁気検出素子２１，２２の出力電
圧の理想的な特性をそれぞれ図７（ａ）および図７
（ｃ）の実線で示すような特性とすると、実際の磁気検
出素子２１，２２の出力電圧の特性は、それぞれ図７
（ａ）および図７（ｃ）の破線で示すような特性とな
り、中点電圧（永久磁石４が停止しているときの磁気検
出素子２１，２２の出力電圧（Ｖ1＋Ｖ2）／２相当）に
対して電圧Ｄ2（≪Ｄ1）なるずれを生じるのみで、略理
想的な特性に近い特性が得られる。この場合の特性のず
れも、着磁のずれや磁気検出素子と永久磁石の配置関係
のずれ等によるものと思われる。
圧の理想的な特性をそれぞれ図７（ａ）および図７
（ｃ）の実線で示すような特性とすると、実際の磁気検
出素子２１，２２の出力電圧の特性は、それぞれ図７
（ａ）および図７（ｃ）の破線で示すような特性とな
り、中点電圧（永久磁石４が停止しているときの磁気検
出素子２１，２２の出力電圧（Ｖ1＋Ｖ2）／２相当）に
対して電圧Ｄ2（≪Ｄ1）なるずれを生じるのみで、略理
想的な特性に近い特性が得られる。この場合の特性のず
れも、着磁のずれや磁気検出素子と永久磁石の配置関係
のずれ等によるものと思われる。
【００２７】この図７（ａ）および図７（ｃ）の特性か
らも分かるように、磁気検出素子２１，２２の出力電圧
は、理想的な特性に対してそのずれ量（Ｄ2）が小さい
ので、実質的に両方の特性は、相似の関係にある。従っ
て、実質的に１つの移動軸（永久磁石）を用いて２つの
信号を同時に取り出すことができ、２重系出力が可能に
なる。
らも分かるように、磁気検出素子２１，２２の出力電圧
は、理想的な特性に対してそのずれ量（Ｄ2）が小さい
ので、実質的に両方の特性は、相似の関係にある。従っ
て、実質的に１つの移動軸（永久磁石）を用いて２つの
信号を同時に取り出すことができ、２重系出力が可能に
なる。
【００２８】因に、上述の図８に示したような長手方向
に磁極面をもつ永久磁石に対して、これを挟むように一
対の磁気検出素子を設けた場合、理想的な特性に対する
ずれ量（Ｄ1）は図１０に示したように大きいので、双
方の磁気検出素子から出力される出力電圧の特性は、相
似でなくなり、両方の信号を用いるには、もう１つ別の
移動軸を設けて直線変位検出装置を構成する必要があ
り、この場合、形状が大きくなり、また、コスト的にも
高価となる。なお、このような２重系出力が可能な一対
の磁気検出素子２１，２２を図４に示すような構造の直
線変位検出装置に組み込むには、図示せずも、永久磁石
４を挟んで磁気検出素子２１，２２を配置するようにす
ればよい。
に磁極面をもつ永久磁石に対して、これを挟むように一
対の磁気検出素子を設けた場合、理想的な特性に対する
ずれ量（Ｄ1）は図１０に示したように大きいので、双
方の磁気検出素子から出力される出力電圧の特性は、相
似でなくなり、両方の信号を用いるには、もう１つ別の
移動軸を設けて直線変位検出装置を構成する必要があ
り、この場合、形状が大きくなり、また、コスト的にも
高価となる。なお、このような２重系出力が可能な一対
の磁気検出素子２１，２２を図４に示すような構造の直
線変位検出装置に組み込むには、図示せずも、永久磁石
４を挟んで磁気検出素子２１，２２を配置するようにす
ればよい。
【００２９】このように、本実施の形態でも、実施の形
態１と同様の効果が得られると共に、さらに、本実施の
形態では、短軸方向の両端面を磁極面としている永久磁
石に対してこれを挟んで所定間隔で感磁面が対向するよ
うに一対の磁気検出素子を配置したので、構成簡単且つ
安価にて２重系出力が可能になる。
態１と同様の効果が得られると共に、さらに、本実施の
形態では、短軸方向の両端面を磁極面としている永久磁
石に対してこれを挟んで所定間隔で感磁面が対向するよ
うに一対の磁気検出素子を配置したので、構成簡単且つ
安価にて２重系出力が可能になる。
【００３０】実施の形態３．上記実施の形態では、磁気
検出素子の磁気抵抗パターンは、出力パターンを中心に
左右対称にハの字状に構成された櫛歯状パターンの場合
であったが、その他の形状、例えば、直交する櫛歯状の
パターンでもよい。また、上記実施の形態では、磁気検
出素子として磁気抵抗素子を用いた場合について説明し
たが、同様の機能が得られれば、その他の素子、例えば
ホール素子を用いてもい。また、棒状の永久磁石の形状
は角形でもよいし、或いは円筒形でもよい。
検出素子の磁気抵抗パターンは、出力パターンを中心に
左右対称にハの字状に構成された櫛歯状パターンの場合
であったが、その他の形状、例えば、直交する櫛歯状の
パターンでもよい。また、上記実施の形態では、磁気検
出素子として磁気抵抗素子を用いた場合について説明し
たが、同様の機能が得られれば、その他の素子、例えば
ホール素子を用いてもい。また、棒状の永久磁石の形状
は角形でもよいし、或いは円筒形でもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明によ
れば、所定のパターンに形成された感磁面を有する磁気
検出素子と、短軸方向の両端面に磁極面を有し、この磁
極面が磁気検出素子の感磁面に対向させられ、且つ長軸
方向に移動可能に配設された永久磁石とを備え、この永
久磁石の長軸方向の変位を検出するようにしたので、磁
気検出素子に強磁界を印加でき、外部磁界および外部磁
性体の影響を低減でき、以て、取付環境に対して自由度
ができ、装置に汎用性を持たせることが可能になり、ま
た、磁束方向変化を検出する磁気検出素子の場合は飽和
磁界以上の非常に安定した領域での素子使用が可能とな
り、さらに、磁気検出素子の出力電圧に対する永久磁石
の着磁精度の影響度を小さくできるという効果がある。
れば、所定のパターンに形成された感磁面を有する磁気
検出素子と、短軸方向の両端面に磁極面を有し、この磁
極面が磁気検出素子の感磁面に対向させられ、且つ長軸
方向に移動可能に配設された永久磁石とを備え、この永
久磁石の長軸方向の変位を検出するようにしたので、磁
気検出素子に強磁界を印加でき、外部磁界および外部磁
性体の影響を低減でき、以て、取付環境に対して自由度
ができ、装置に汎用性を持たせることが可能になり、ま
た、磁束方向変化を検出する磁気検出素子の場合は飽和
磁界以上の非常に安定した領域での素子使用が可能とな
り、さらに、磁気検出素子の出力電圧に対する永久磁石
の着磁精度の影響度を小さくできるという効果がある。
【００３２】請求項２記載の発明によれば、所定のパタ
ーンに形成された感磁面を有し、この感磁面が相互に所
定間隔で対向するように配置された複数の磁気検出素子
と、短軸方向の両端面に磁極面を有し、この磁極面が複
数の磁気検出素子の感磁面に対向させられ、且つ長軸方
向に移動可能に複数の磁気検出素子の間に配設された永
久磁石とを備え、この永久磁石の長軸方向の変位を検出
するようにしたので、磁気検出素子に強磁界を印加で
き、外部磁界および外部磁性体の影響を低減でき、以
て、取付環境に対して自由度ができ、装置に汎用性を持
たせることが可能になり、また、磁束方向変化を検出す
る磁気検出素子の場合は飽和磁界以上の非常に安定した
領域での素子使用が可能となり、さらに、磁気検出素子
の出力電圧に対する永久磁石の着磁精度の影響度を小さ
くでき、しかも、構成簡単且つ安価にて２重系出力が可
能になるという効果がある。
ーンに形成された感磁面を有し、この感磁面が相互に所
定間隔で対向するように配置された複数の磁気検出素子
と、短軸方向の両端面に磁極面を有し、この磁極面が複
数の磁気検出素子の感磁面に対向させられ、且つ長軸方
向に移動可能に複数の磁気検出素子の間に配設された永
久磁石とを備え、この永久磁石の長軸方向の変位を検出
するようにしたので、磁気検出素子に強磁界を印加で
き、外部磁界および外部磁性体の影響を低減でき、以
て、取付環境に対して自由度ができ、装置に汎用性を持
たせることが可能になり、また、磁束方向変化を検出す
る磁気検出素子の場合は飽和磁界以上の非常に安定した
領域での素子使用が可能となり、さらに、磁気検出素子
の出力電圧に対する永久磁石の着磁精度の影響度を小さ
くでき、しかも、構成簡単且つ安価にて２重系出力が可
能になるという効果がある。
【００３３】請求項３記載の発明によれば、請求項１ま
たは２の発明において、永久磁石の長軸方向寸法Ｌと検
出変位Ｘとの比率Ｘ／Ｌを０．８〜１．２としたので、
出力直線性を最適にでき、永久磁石の長手方向寸法を短
縮でき、以て、小型化、コストの低減が可能となり、ま
た、検出する直線変位に対応して決定される永久磁石の
長手方向寸法の構成上の余裕度が大きくできるという効
果がある。
たは２の発明において、永久磁石の長軸方向寸法Ｌと検
出変位Ｘとの比率Ｘ／Ｌを０．８〜１．２としたので、
出力直線性を最適にでき、永久磁石の長手方向寸法を短
縮でき、以て、小型化、コストの低減が可能となり、ま
た、検出する直線変位に対応して決定される永久磁石の
長手方向寸法の構成上の余裕度が大きくできるという効
果がある。
【００３４】請求項４記載の発明によれば、請求項１〜
３のいずれかの発明において、磁気検出素子の感磁面は
櫛歯状パターンが左右対称にハの字状に構成されたパタ
ーンに形成したので、磁気検出素子の出力電圧の直線域
を有効に利用できるという効果がある。
３のいずれかの発明において、磁気検出素子の感磁面は
櫛歯状パターンが左右対称にハの字状に構成されたパタ
ーンに形成したので、磁気検出素子の出力電圧の直線域
を有効に利用できるという効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１を模式的に示す平面
図である。
図である。
【図２】 この発明の実施の形態１の動作説明に供する
ための特性図である。
ための特性図である。
【図３】 この発明の実施の形態１の動作説明に供する
ための特性図である。
ための特性図である。
【図４】 この発明の実施の形態１に係る直線変位検出
装置の全体の構成を示す断面図である。
装置の全体の構成を示す断面図である。
【図５】 図４の線I−Iの断面図である。
【図６】 この発明の実施の形態２を模式的に示す平面
図である。
図である。
【図７】 この発明の実施の形態２の動作説明に供する
ための特性図である。
ための特性図である。
【図８】 従来の直線変位検出装置を模式的に示す平面
図である。
図である。
【図９】 従来の直線変位検出装置の動作説明に供する
ための特性図である。
ための特性図である。
【図１０】 従来の直線変位検出装置の動作説明に供す
るための特性図である。
るための特性図である。
３，２１，２２ 磁気検出素子、３ａ，２１ａ，２２ａ
磁気抵抗素子（磁気抵抗パターン）、３ｂ，２１ｂ，
２２ｂ 感磁面、４ 棒状の永久磁石。
磁気抵抗素子（磁気抵抗パターン）、３ｂ，２１ｂ，
２２ｂ 感磁面、４ 棒状の永久磁石。
フロントページの続き (72)発明者 福井 渉 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 大橋 豊 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 所定のパターンに形成された感磁面を有
する磁気検出素子と、 短軸方向の両端面に磁極面を有し、該磁極面が上記磁気
検出素子の感磁面に対向させられ、且つ長軸方向に移動
可能に配設された永久磁石とを備え、該永久磁石の上記
長軸方向の変位を検出するようにしたことを特徴とする
直線変位検出装置。 - 【請求項２】 所定のパターンに形成された感磁面を有
し、該感磁面が相互に所定間隔で対向するように配置さ
れた複数の磁気検出素子と、 短軸方向の両端面に磁極面を有し、該磁極面が上記複数
の磁気検出素子の感磁面に対向させられ、且つ長軸方向
に移動可能に上記複数の磁気検出素子の間に配設された
永久磁石とを備え、該永久磁石の上記長軸方向の変位を
検出するようにしたことを特徴とする直線変位検出装
置。 - 【請求項３】 上記永久磁石の長軸方向寸法Ｌと検出変
位Ｘとの比率Ｘ／Ｌを０．８〜１．２とすることを特徴
とする請求項１または２記載の直線変位検出装置。 - 【請求項４】 上記磁気検出素子の感磁面は櫛歯状パタ
ーンが左右対称にハの字状に構成されたパターンに形成
されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに
記載の直線変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10559396A JP3400641B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 直線変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10559396A JP3400641B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 直線変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09292202A true JPH09292202A (ja) | 1997-11-11 |
| JP3400641B2 JP3400641B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=14411806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10559396A Expired - Lifetime JP3400641B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 直線変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3400641B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002340515A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転角度検出装置 |
| JP2007333490A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気式位置検出装置 |
| JP2007333489A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気式位置検出装置 |
| JP2008101932A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気式位置検出装置 |
| JP2009139252A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Tokai Rika Co Ltd | ポジションセンサ |
| JP2011127962A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Tokai Rika Co Ltd | 位置検出装置 |
| JP2014006096A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気センサ装置 |
| JP2015092187A (ja) * | 2007-12-03 | 2015-05-14 | シーティーエス・コーポレーションＣｔｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | リニアポジションセンサー |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP10559396A patent/JP3400641B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002340515A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転角度検出装置 |
| JP2007333490A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気式位置検出装置 |
| JP2007333489A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気式位置検出装置 |
| JP2008101932A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気式位置検出装置 |
| JP2015092187A (ja) * | 2007-12-03 | 2015-05-14 | シーティーエス・コーポレーションＣｔｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | リニアポジションセンサー |
| JP2009139252A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Tokai Rika Co Ltd | ポジションセンサ |
| JP2011127962A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Tokai Rika Co Ltd | 位置検出装置 |
| JP2014006096A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気センサ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3400641B2 (ja) | 2003-04-28 |
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|
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|
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