JPH0666504A - 直線変位検出装置 - Google Patents
直線変位検出装置Info
- Publication number
- JPH0666504A JPH0666504A JP4216185A JP21618592A JPH0666504A JP H0666504 A JPH0666504 A JP H0666504A JP 4216185 A JP4216185 A JP 4216185A JP 21618592 A JP21618592 A JP 21618592A JP H0666504 A JPH0666504 A JP H0666504A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- permanent magnet
- linear displacement
- circuit board
- substrate
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- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、組立作業性に優れた直線変位検
出装置を得ることを目的とする。 【構成】 コネクタＡＳＳＹ６には、同一方向に開口部
を有する第１および第２の収納室２０、２１が形成され
ている。第１の収納室２０には、感磁面５ｂが基板面と
直交するように磁気検出素子５を実装した回路基板４が
収納保持されている。第２の収納室２１には、感磁面５
ｂの延長面上に長軸心がくるように、磁気検出素子５と
対向し、長軸方向に移動可能に両端面を磁極面とする棒
状の永久磁石３が配設されている。
出装置を得ることを目的とする。 【構成】 コネクタＡＳＳＹ６には、同一方向に開口部
を有する第１および第２の収納室２０、２１が形成され
ている。第１の収納室２０には、感磁面５ｂが基板面と
直交するように磁気検出素子５を実装した回路基板４が
収納保持されている。第２の収納室２１には、感磁面５
ｂの延長面上に長軸心がくるように、磁気検出素子５と
対向し、長軸方向に移動可能に両端面を磁極面とする棒
状の永久磁石３が配設されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、永久磁石の直線変位
を、磁気検出素子の感磁面上の磁束方向の変化として検
出する直線変位検出装置に関するものである。
を、磁気検出素子の感磁面上の磁束方向の変化として検
出する直線変位検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種直線変位検出装置として
は、永久磁石の磁極面と磁気抵抗素子の感磁面とを対向
して配置し、永久磁石の直線変位を、磁気検出素子の感
磁面を垂直に通過する磁界の変化にともなう抵抗値変化
として検出するものがあった（実公平２ー３６０８９号
公報）。しかし、直線状の出力特性が得られる永久磁石
の直線変位範囲が狭いという課題があった。本出願人は
上記課題を解決すべく先に強磁性体磁気抵抗素子を用い
た直線変位検出装置（特願平４ー１９８７１号）を提案
している。
は、永久磁石の磁極面と磁気抵抗素子の感磁面とを対向
して配置し、永久磁石の直線変位を、磁気検出素子の感
磁面を垂直に通過する磁界の変化にともなう抵抗値変化
として検出するものがあった（実公平２ー３６０８９号
公報）。しかし、直線状の出力特性が得られる永久磁石
の直線変位範囲が狭いという課題があった。本出願人は
上記課題を解決すべく先に強磁性体磁気抵抗素子を用い
た直線変位検出装置（特願平４ー１９８７１号）を提案
している。
【０００３】図３および図４はそれぞれ特願平４ー１９
８７１号に示される従来の直線変位検出装置の構成を示
す分解斜視図および分解断面図であり、図において１は
例えばポリブチレンテレフタレート樹脂でモールド成形
された直線変位検出装置のケース、２は両端面を磁極面
とする棒状の永久磁石３が一体成形されたシャフト、４
は図示していないが配線パターンが形成されるとともに
種々の電子部品が搭載された回路基板である。
８７１号に示される従来の直線変位検出装置の構成を示
す分解斜視図および分解断面図であり、図において１は
例えばポリブチレンテレフタレート樹脂でモールド成形
された直線変位検出装置のケース、２は両端面を磁極面
とする棒状の永久磁石３が一体成形されたシャフト、４
は図示していないが配線パターンが形成されるとともに
種々の電子部品が搭載された回路基板である。
【０００４】５は磁気検出素子であり、この磁気検出素
子５は、例えばガラス基板表面に、櫛歯状パターンが直
交する磁気抵抗パターンに構成された強磁性体磁気抵抗
材料（例えばＮｉＦｅ）からなる強磁性体磁気抵抗素子
５ａが形成され、さらに絶縁樹脂で直方体形状にミニモ
ールドされて構成され、ガラス基板表面の強磁性体磁気
抵抗素子５ａの形成面が感磁面５ｂとなっている。さら
に、磁気検出素子５は、感磁面５ｂが基板面に直交する
とともに、強磁性体磁気抵抗素子５ａの櫛歯状パターン
が櫛歯状パターンの中心を通る回路基板４に垂直な面に
対して左右対称となるように、磁気検出素子５から引き
出されたリード端子５ｃにより、回路基板４上に実装さ
れている。
子５は、例えばガラス基板表面に、櫛歯状パターンが直
交する磁気抵抗パターンに構成された強磁性体磁気抵抗
材料（例えばＮｉＦｅ）からなる強磁性体磁気抵抗素子
５ａが形成され、さらに絶縁樹脂で直方体形状にミニモ
ールドされて構成され、ガラス基板表面の強磁性体磁気
抵抗素子５ａの形成面が感磁面５ｂとなっている。さら
に、磁気検出素子５は、感磁面５ｂが基板面に直交する
とともに、強磁性体磁気抵抗素子５ａの櫛歯状パターン
が櫛歯状パターンの中心を通る回路基板４に垂直な面に
対して左右対称となるように、磁気検出素子５から引き
出されたリード端子５ｃにより、回路基板４上に実装さ
れている。
【０００５】６は例えばポリブチレンテレフタレート樹
脂でモールド成形されたフレームとしてのコネクタＡＳ
ＳＹであり、このコネクタＡＳＳＹ６には、シャフト２
を摺動案内するガイド部７が一体形成されるとともに、
電磁波をシールドする銅製のシールドボックス８、磁気
検出素子５の出力を取り出すターミナル９が一体化され
ている。１０はシールドボックス８を封口するシールド
板、１１はシャフト２とコネクタＡＳＳＹ６との間に縮
設され、シャフト２の直線変位の動作を規制するスプリ
ングである。
脂でモールド成形されたフレームとしてのコネクタＡＳ
ＳＹであり、このコネクタＡＳＳＹ６には、シャフト２
を摺動案内するガイド部７が一体形成されるとともに、
電磁波をシールドする銅製のシールドボックス８、磁気
検出素子５の出力を取り出すターミナル９が一体化され
ている。１０はシールドボックス８を封口するシールド
板、１１はシャフト２とコネクタＡＳＳＹ６との間に縮
設され、シャフト２の直線変位の動作を規制するスプリ
ングである。
【０００６】ここで、上記従来の直線変位検出装置の組
み立てについて説明する。まず、コネクタＡＳＳＹ６と
一体化されたシールドボックス８内に磁気検出素子５が
搭載された回路基板４をＡ方向から挿入して取り付け、
その後銅製のシールド板１０でシールドボックス８の開
口部を封口する。ついで、スプリング１１とともにシャ
フト２をＢ方向からガイド部７に案内挿入してセットし
た状態で、コネクタＡＳＳＹ６をケース１内に挿入固定
する。
み立てについて説明する。まず、コネクタＡＳＳＹ６と
一体化されたシールドボックス８内に磁気検出素子５が
搭載された回路基板４をＡ方向から挿入して取り付け、
その後銅製のシールド板１０でシールドボックス８の開
口部を封口する。ついで、スプリング１１とともにシャ
フト２をＢ方向からガイド部７に案内挿入してセットし
た状態で、コネクタＡＳＳＹ６をケース１内に挿入固定
する。
【０００７】このように組み立てられた直線変位検出装
置では、棒状の永久磁石３を一体化したシャフト２は、
ガイド部７に案内されて摺動して長軸方向に直線移動で
き、永久磁石３は、磁気検出素子５と対向するととも
に、その長軸心が感磁面５ｂの延長面上に位置してい
る。したがって、永久磁石３の発生する磁界は、磁気検
出素子５の感磁面５ｂを平行に横切るようになってい
る。
置では、棒状の永久磁石３を一体化したシャフト２は、
ガイド部７に案内されて摺動して長軸方向に直線移動で
き、永久磁石３は、磁気検出素子５と対向するととも
に、その長軸心が感磁面５ｂの延長面上に位置してい
る。したがって、永久磁石３の発生する磁界は、磁気検
出素子５の感磁面５ｂを平行に横切るようになってい
る。
【０００８】つぎに、上記の直線変位検出装置の動作に
ついて説明する。被測定物に連結されたシャフト２が、
スプリング１１の付勢力に抗して被測定物の変位に連動
してコネクタＡＳＳＹ６のガイド部７に案内されて摺動
し、永久磁石３の長軸方向に直線変位する。そこで、シ
ャフト２に一体化された永久磁石３も、被測定物の変位
に連動して長軸方向に直線変位する。この永久磁石３の
直線変位によって、磁気検出素子５の感磁面５ｂの面を
平行に横切る磁束方向が変化し、この感磁面５ｂを横切
る磁束方向の変化に応じて強磁性体磁気抵抗素子５ａの
磁気抵抗パターンを構成する直交する櫛歯状のパターン
のそれぞれの抵抗値が変化し、永久磁石３の直線変位に
対応した電圧がリード端子５ｃを介して回路基板４に出
力される。磁気検出素子５からの出力電圧は回路基板４
で増幅された後、ターミナル９を介して外部装置（図示
せず）に出力され、被測定物の変位が検出される。
ついて説明する。被測定物に連結されたシャフト２が、
スプリング１１の付勢力に抗して被測定物の変位に連動
してコネクタＡＳＳＹ６のガイド部７に案内されて摺動
し、永久磁石３の長軸方向に直線変位する。そこで、シ
ャフト２に一体化された永久磁石３も、被測定物の変位
に連動して長軸方向に直線変位する。この永久磁石３の
直線変位によって、磁気検出素子５の感磁面５ｂの面を
平行に横切る磁束方向が変化し、この感磁面５ｂを横切
る磁束方向の変化に応じて強磁性体磁気抵抗素子５ａの
磁気抵抗パターンを構成する直交する櫛歯状のパターン
のそれぞれの抵抗値が変化し、永久磁石３の直線変位に
対応した電圧がリード端子５ｃを介して回路基板４に出
力される。磁気検出素子５からの出力電圧は回路基板４
で増幅された後、ターミナル９を介して外部装置（図示
せず）に出力され、被測定物の変位が検出される。
【０００９】この時、磁気検出素子５が搭載された回路
基板４を包囲して設けられたシールドボックス８、シー
ルド板１０により、外部からの電磁波が遮蔽され、回路
基板４に搭載されている回路素子の誤動作が防止され
る。
基板４を包囲して設けられたシールドボックス８、シー
ルド板１０により、外部からの電磁波が遮蔽され、回路
基板４に搭載されている回路素子の誤動作が防止され
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来の直線変位検出装
置は以上のように、感磁面５ｂが基板面に直交するとと
もに、強磁性体磁気抵抗素子５ａの櫛歯状パターンが櫛
歯状パターンの中心を通る回路基板４に垂直な面に対し
て左右対称となるように、リード端子５ｃにより、磁気
検出素子５が回路基板４上に実装されるとともに、永久
磁石３が磁気検出素子５と対向し、その長軸心が感磁面
５ｂの延長面上にくるように配設されているので、コネ
クタＡＳＳＹ６への回路基板４の取付方向とシャフト２
の組込方向とが直交することになり、組立作業性が悪い
という課題があった。
置は以上のように、感磁面５ｂが基板面に直交するとと
もに、強磁性体磁気抵抗素子５ａの櫛歯状パターンが櫛
歯状パターンの中心を通る回路基板４に垂直な面に対し
て左右対称となるように、リード端子５ｃにより、磁気
検出素子５が回路基板４上に実装されるとともに、永久
磁石３が磁気検出素子５と対向し、その長軸心が感磁面
５ｂの延長面上にくるように配設されているので、コネ
クタＡＳＳＹ６への回路基板４の取付方向とシャフト２
の組込方向とが直交することになり、組立作業性が悪い
という課題があった。
【００１１】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、組立作業性を向上できる直線変
位検出装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、組立作業性を向上できる直線変
位検出装置を得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明に係る直線変位
検出装置は、同一方向に開口部を有する第１および第２
の収納室が形成されたフレームと、第１の収納室に収納
保持された回路基板と、所定のパターンに形成された強
磁性体磁気抵抗素子からなる感磁面を有し、感磁面が基
板面と直交するように回路基板に搭載された磁気検出素
子と、感磁面の延長面上に長軸心がくるように、磁気検
出素子と対向して、かつ長軸方向に移動可能に第２の収
納室に配設された両端面を磁極面とする棒状の永久磁石
と、フレームの開口部を封口する封口部材とを備えたも
のである。
検出装置は、同一方向に開口部を有する第１および第２
の収納室が形成されたフレームと、第１の収納室に収納
保持された回路基板と、所定のパターンに形成された強
磁性体磁気抵抗素子からなる感磁面を有し、感磁面が基
板面と直交するように回路基板に搭載された磁気検出素
子と、感磁面の延長面上に長軸心がくるように、磁気検
出素子と対向して、かつ長軸方向に移動可能に第２の収
納室に配設された両端面を磁極面とする棒状の永久磁石
と、フレームの開口部を封口する封口部材とを備えたも
のである。
【００１３】
【作用】この発明においては、磁気検出素子が感磁面を
基板面と直交するように第１の収納室に配設された回路
基板に搭載され、棒状の永久磁石が感磁面の延長面上に
長軸心がくるように、磁気検出素子と対向して、長軸方
向に移動可能に第２の収納室に配設され、さらに第１お
よび第２の収納室が同一方向に開口部を有しているの
で、第１の収納室への磁気検出素子を搭載した回路基板
の組込方向と、第２の収納室への永久磁石の組込方向と
が、同一方向となり、直線変位検出装置の組立作業性が
向上される。
基板面と直交するように第１の収納室に配設された回路
基板に搭載され、棒状の永久磁石が感磁面の延長面上に
長軸心がくるように、磁気検出素子と対向して、長軸方
向に移動可能に第２の収納室に配設され、さらに第１お
よび第２の収納室が同一方向に開口部を有しているの
で、第１の収納室への磁気検出素子を搭載した回路基板
の組込方向と、第２の収納室への永久磁石の組込方向と
が、同一方向となり、直線変位検出装置の組立作業性が
向上される。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例１．図１はこの発明の実施例１を示す直線変位検
出装置の断面図であり、図において図３および図４に示
す従来の直線変位検出装置と同一または相当部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。
る。 実施例１．図１はこの発明の実施例１を示す直線変位検
出装置の断面図であり、図において図３および図４に示
す従来の直線変位検出装置と同一または相当部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。
【００１５】図において、２０はコネクタＡＳＳＹ６に
形成された第１の収納室であり、この第１の収納室２０
には磁気検出素子５を実装した回路基板４が収納され
る。２１は第１の収納室２０と同一方向に開口部を持つ
ようにコネクタＡＳＳＹ６に形成された第２の収納室で
あり、この第２の収納室２１には、その内壁面に形成さ
れたガイド部７により、シャフト２を摺動可能に収納さ
れる。２２はコネクタＡＳＳＹ６に形成された第１およ
び第２の収納室２０、２１の開口部を封口する封口部材
としてのカバーである。
形成された第１の収納室であり、この第１の収納室２０
には磁気検出素子５を実装した回路基板４が収納され
る。２１は第１の収納室２０と同一方向に開口部を持つ
ようにコネクタＡＳＳＹ６に形成された第２の収納室で
あり、この第２の収納室２１には、その内壁面に形成さ
れたガイド部７により、シャフト２を摺動可能に収納さ
れる。２２はコネクタＡＳＳＹ６に形成された第１およ
び第２の収納室２０、２１の開口部を封口する封口部材
としてのカバーである。
【００１６】ここで、上記実施例１の直線変位検出装置
の組み立てについて説明する。まず、感磁面５ｂが基板
面に直交するとともに、強磁性体磁気抵抗素子５ａの櫛
歯状パターンが櫛歯状パターンの中心を通る回路基板４
に水平な面に対して対称なパターン形状となるように、
リード端子５ｃにより、磁気検出素子５が回路基板４上
に実装される。その後、第１の収納室２０内に磁気検出
素子５が実装された回路基板４をＡ方向から挿入して取
り付ける。ついで、第２の収納室２１にスプリング１１
とともにシャフト２をＡ方向からガイド部７を案内にし
て挿入する。さらに、カバー２２を装着して、第１およ
び第２の収納室２０、２１の開口部を封口する。
の組み立てについて説明する。まず、感磁面５ｂが基板
面に直交するとともに、強磁性体磁気抵抗素子５ａの櫛
歯状パターンが櫛歯状パターンの中心を通る回路基板４
に水平な面に対して対称なパターン形状となるように、
リード端子５ｃにより、磁気検出素子５が回路基板４上
に実装される。その後、第１の収納室２０内に磁気検出
素子５が実装された回路基板４をＡ方向から挿入して取
り付ける。ついで、第２の収納室２１にスプリング１１
とともにシャフト２をＡ方向からガイド部７を案内にし
て挿入する。さらに、カバー２２を装着して、第１およ
び第２の収納室２０、２１の開口部を封口する。
【００１７】このように組み立てられた直線変位検出装
置では、棒状の永久磁石３を一体化したシャフト２は、
ガイド部７に摺動案内されて直線移動でき、永久磁石３
は、磁気検出素子５と対向するとともに、その長軸心が
感磁面５ｂの延長面上に位置している。したがって、永
久磁石３の発生する磁界は、感磁面５ｂの面上を平行に
横切るように、磁気検出素子５に印加される。永久磁石
３が長軸方向に変位すると、感磁面５ｂの面上を平行に
横切る磁束の方向が変化することになる。
置では、棒状の永久磁石３を一体化したシャフト２は、
ガイド部７に摺動案内されて直線移動でき、永久磁石３
は、磁気検出素子５と対向するとともに、その長軸心が
感磁面５ｂの延長面上に位置している。したがって、永
久磁石３の発生する磁界は、感磁面５ｂの面上を平行に
横切るように、磁気検出素子５に印加される。永久磁石
３が長軸方向に変位すると、感磁面５ｂの面上を平行に
横切る磁束の方向が変化することになる。
【００１８】ここで、上記実施例１の直線変位検出動作
は従来の直線変位検出装置と同様に動作する。
は従来の直線変位検出装置と同様に動作する。
【００１９】このように構成された上記実施例１によれ
ば、磁気検出素子５が感磁面５ｂを基板面と直交するよ
うに第１の収納室２０に配設された回路基板４に搭載さ
れ、棒状の永久磁石３が感磁面５ｂの延長面上に長軸心
がくるように、磁気検出素子５と対向して、長軸方向に
移動可能に第２の収納室２１に配設され、さらに第１お
よび第２の収納室２０、２１が同一方向に開口部を有し
ているので、第１の収納室２０への磁気検出素子５を搭
載した回路基板４の組込方向と、第２の収納室２１への
シャフト２（永久磁石３）の組込方向とが、同一方向と
なり、直線変位検出装置の組立作業性が向上される。
ば、磁気検出素子５が感磁面５ｂを基板面と直交するよ
うに第１の収納室２０に配設された回路基板４に搭載さ
れ、棒状の永久磁石３が感磁面５ｂの延長面上に長軸心
がくるように、磁気検出素子５と対向して、長軸方向に
移動可能に第２の収納室２１に配設され、さらに第１お
よび第２の収納室２０、２１が同一方向に開口部を有し
ているので、第１の収納室２０への磁気検出素子５を搭
載した回路基板４の組込方向と、第２の収納室２１への
シャフト２（永久磁石３）の組込方向とが、同一方向と
なり、直線変位検出装置の組立作業性が向上される。
【００２０】実施例２．上記実施例１では、磁気検出素
子５の強磁性体磁気抵抗素子５ａを、２つの櫛歯状パタ
ーンが直交する磁気抵抗パターンで構成するものとして
いるが、この実施例２では、図２に示すように、強磁性
体磁気抵抗素子５ａを、４つの櫛歯状パターンが互いに
直交するフルブリッジの磁気抵抗パターンで構成するも
のとし、同様の効果を奏する。なお、強磁性体磁気抵抗
素子５ａをフルブリッジの磁気抵抗パターンで構成した
磁気検出素子５では、上記実施例１に対して２倍の出力
電圧が得られる。
子５の強磁性体磁気抵抗素子５ａを、２つの櫛歯状パタ
ーンが直交する磁気抵抗パターンで構成するものとして
いるが、この実施例２では、図２に示すように、強磁性
体磁気抵抗素子５ａを、４つの櫛歯状パターンが互いに
直交するフルブリッジの磁気抵抗パターンで構成するも
のとし、同様の効果を奏する。なお、強磁性体磁気抵抗
素子５ａをフルブリッジの磁気抵抗パターンで構成した
磁気検出素子５では、上記実施例１に対して２倍の出力
電圧が得られる。
【００２１】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、同一方
向に開口部を有する第１および第２の収納室が形成され
たフレームと、第１の収納室に収納保持された回路基板
と、所定のパターンに形成された強磁性体磁気抵抗素子
からなる感磁面を有し、感磁面が基板面と直交するよう
に回路基板に搭載された磁気検出素子と、感磁面の延長
面上に長軸心がくるように、磁気検出素子と対向して、
かつ長軸方向に移動可能に第２の収納室に配設された両
端面を磁極面とする棒状の永久磁石と、フレームの開口
部を封口する封口部材とを備えているので、磁気検出素
子を搭載した回路基板および永久磁石をそれぞれ第１お
よび第２の収納室に同一方向から挿入組込でき、組立作
業性を向上できる。
向に開口部を有する第１および第２の収納室が形成され
たフレームと、第１の収納室に収納保持された回路基板
と、所定のパターンに形成された強磁性体磁気抵抗素子
からなる感磁面を有し、感磁面が基板面と直交するよう
に回路基板に搭載された磁気検出素子と、感磁面の延長
面上に長軸心がくるように、磁気検出素子と対向して、
かつ長軸方向に移動可能に第２の収納室に配設された両
端面を磁極面とする棒状の永久磁石と、フレームの開口
部を封口する封口部材とを備えているので、磁気検出素
子を搭載した回路基板および永久磁石をそれぞれ第１お
よび第２の収納室に同一方向から挿入組込でき、組立作
業性を向上できる。
【図１】この発明の実施例１を示す直線変位検出装置の
断面図である。
断面図である。
【図２】この発明の実施例２を示す直線変位検出装置に
おける磁気検出素子の平面図である。
おける磁気検出素子の平面図である。
【図３】従来の直線変位検出装置の分解斜視図である。
【図４】従来の直線変位検出装置の分解断面図である。
３ 永久磁石 ４ 回路基板 ５ 磁気検出素子 ５ａ 強磁性体磁気抵抗素子 ５ｂ 感磁面 ６ コネクタＡＳＳＹ（フレーム） ２０ 第１の収納室 ２１ 第２の収納室 ２２ カバー（封口部材）
Claims (1)
- 【請求項１】 同一方向に開口部を有する第１および第
２の収納室が形成されたフレームと、前記第１の収納室
に収納保持された回路基板と、所定のパターンに形成さ
れた強磁性体磁気抵抗素子からなる感磁面を有し、前記
感磁面が基板面と直交するように前記回路基板に搭載さ
れた磁気検出素子と、前記感磁面の延長面上に長軸心が
くるように、前記磁気検出素子と対向して、かつ前記長
軸方向に移動可能に前記第２の収納室に配設された両端
面を磁極面とする棒状の永久磁石と、前記フレームの前
記開口部を封口する封口部材とを備えたことを特徴とす
る直線変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4216185A JPH0666504A (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | 直線変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4216185A JPH0666504A (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | 直線変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666504A true JPH0666504A (ja) | 1994-03-08 |
Family
ID=16684625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4216185A Pending JPH0666504A (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | 直線変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666504A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038773A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Tokai Rika Co Ltd | 操作位置判定装置 |
| JP2011127962A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Tokai Rika Co Ltd | 位置検出装置 |
| JP2014521068A (ja) * | 2011-07-01 | 2014-08-25 | ボーグワーナー インコーポレーテッド | 位置センサーモジュール |
| JP2015092187A (ja) * | 2007-12-03 | 2015-05-14 | シーティーエス・コーポレーションＣｔｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | リニアポジションセンサー |
| KR20180093913A (ko) | 2015-12-11 | 2018-08-22 | 가부시키가이샤파크웨이 | 빗 |
-
1992
- 1992-08-13 JP JP4216185A patent/JPH0666504A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015092187A (ja) * | 2007-12-03 | 2015-05-14 | シーティーエス・コーポレーションＣｔｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | リニアポジションセンサー |
| JP2010038773A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Tokai Rika Co Ltd | 操作位置判定装置 |
| JP2011127962A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Tokai Rika Co Ltd | 位置検出装置 |
| JP2014521068A (ja) * | 2011-07-01 | 2014-08-25 | ボーグワーナー インコーポレーテッド | 位置センサーモジュール |
| KR20180093913A (ko) | 2015-12-11 | 2018-08-22 | 가부시키가이샤파크웨이 | 빗 |
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