JPH09269451A - 走査光学装置 - Google Patents

走査光学装置

Info

Publication number
JPH09269451A
JPH09269451A JP10337096A JP10337096A JPH09269451A JP H09269451 A JPH09269451 A JP H09269451A JP 10337096 A JP10337096 A JP 10337096A JP 10337096 A JP10337096 A JP 10337096A JP H09269451 A JPH09269451 A JP H09269451A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
optical
scanning
optical element
single lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10337096A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Toyoda
浩司 豊田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP10337096A priority Critical patent/JPH09269451A/ja
Publication of JPH09269451A publication Critical patent/JPH09269451A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 1枚のfθレンズのレンズ形状を適切に設定
することによってコンパクトで高精細な印字に適した走
査光学装置を得ること。 【解決手段】 光源手段から出射した光束を第1の光学
素子により収束光束に変換し、変換された光束を第2の
光学素子を介して偏向素子の偏向面において主走査方向
に長手の線状に結像させ、該偏向素子で偏向された光束
を第3の光学素子を介し被走査面上にスポット状に結像
させて、被走査面上を走査する際、第3の光学素子は単
レンズより成り、単レンズは主走査面内において偏向素
子側に凸のメニスカス形状を成し、かつ偏向素子側の第
1レンズ面と被走査面側の第2レンズ面は共に非球面形
状で形成され、第2レンズ面の非球面形状は近軸曲率半
径の接線に対して周辺部で交わり、最外部で偏向素子側
に近接した形状を成すこと。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は走査光学装置に関
し、特に光源手段から光変調され出射した光束を回転多
面鏡等より成る光偏向器(偏向素子)で偏向反射させた
後、fθ特性を有する結像光学系(fθレンズ)を介し
て被走査面上を光走査して画像情報を記録するようにし
た、例えば電子写真プロセスを有するレーザービームプ
リンタ(LBP)やデジタル複写機等の装置に好適な走
査光学装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりレーザービームプリンタやデジ
タル複写機等に用いられる走査光学装置においては、画
像信号に応じて光源手段から光変調され出射した光束
を、例えば回転多面鏡(ポリゴンミラー)より成る光偏
向器により周期的に偏向させ、fθ特性を有する結像光
学系によって感光性の記録媒体(感光体ドラム)面上に
スポット状に集束させ、その面上を光走査して画像記録
を行なっている。
【0003】図7はこの種の従来の走査光学装置の要部
概略図である。
【0004】同図において光源手段71から出射した発
散光束はコリメーターレンズ72により略平行光束とさ
れ、絞り73によって該光束(光量)を制限して副走査
方向にのみ所定の屈折力を有するシリンドリカルレンズ
74に入射している。シリンドリカルレンズ74に入射
した平行光束のうち主走査断面内においてはそのまま平
行光束の状態で射出する。又副走査断面内においては集
束して回転多面鏡(ポリゴンミラー)から成る光偏向器
75の偏向面(反射面)75aにほぼ線像として結像し
ている。
【0005】そして光偏向器75の偏向面75aで偏向
反射された光束をfθ特性を有する結像光学系(fθレ
ンズ)76を介して被走査面としての感光体ドラム77
面上に導光し、該光偏向器75を矢印A方向に回転させ
ることによって該感光体ドラム77面上を矢印B方向に
光走査している。これにより記録媒体である感光ドラム
77上に画像記録を行なっている。
【0006】近年、レーザービームプリンタやデジタル
複写機等の小型化、低コスト化に伴ない、走査光学装置
においても同様のことが要求されている。この解決策の
一つとして上記fθ特性を有する結像光学系を1枚のレ
ンズから構成した走査光学装置が、例えば特公昭61−
48684号公報や特開昭63−157122号公報や
特開平4−104213号公報や特開平4−50908
号公報等で種々と提案されている。
【0007】これらの公報のうち特公昭61−4868
4号公報や特開昭63−157122号公報ではfθレ
ンズとして光偏向器側に凹面の単レンズを用いてコリメ
ーターレンズからの平行光束を記録媒体面上に集束させ
ている。
【0008】特開平4−104213号公報ではfθレ
ンズとして光偏向器側に凹面、像面側にトロイダル面の
単レンズを用いてコリメーターレンズにより収束光に変
換された光束を該fθレンズに入射させている。
【0009】特開平4−50908号公報ではfθレン
ズとしてレンズ面に高次非球面を導入した単レンズを用
いてコリメーターレンズにより収束光に変換された光束
を該fθレンズに入射させている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】この種の走査光学装置
において高精度な画像情報の記録を行なうには被走査面
全域にわたって像面湾曲が良好に補正されスポット径が
揃っていること、そして入射光の角度と像高とが比例関
係となる歪曲収差(fθ特性)を有していることが必要
である。
【0011】しかしながら上記に示した従来の走査光学
装置において特公昭61−48684号公報では副走査
方向の像面湾曲が残存しており、かつ平行光束を被走査
面に結像させている為、fθレンズから被走査面までの
距離が焦点距離に等しくなり、コンパクトな走査光学装
置を構成することが難しいという問題点があった。
【0012】特開昭63−157122号公報ではfθ
レンズの肉厚が厚い為、モールド成型による製作が困難
であり、コストアップの要因になるという問題点があっ
た。
【0013】特開平4−104213号公報では歪曲収
差が残存しており、かつ光偏向器であるポリゴンミラー
の取付誤差によりポリゴン面数周期のジッターが発生す
るという問題点があった。
【0014】特開平4−50908号公報では高次非球
面のfθレンズを用い収差は良好に補正されているもの
の、光偏向器と被走査面間における副走査方向の倍率の
不均一性のため像高により副走査方向のスポット径が変
化するという傾向があった。
【0015】本発明はコリメーターレンズからの収束光
を光偏向器を介して1枚のfθレンズにより被走査面上
に結像させる際、該fθレンズのレンズ形状を適切に構
成することにより、像面湾曲や歪曲収差を補正し、かつ
光偏光器の取付誤差によるジッターや像高による副走査
方向のスポット径の変化等を防止すると共にコンパクト
でしかも高精細な印字に適した走査光学装置の提供を目
的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の走査光学装置
は、(1) 光源手段から出射した光束を第1の光学素子に
より収束光束に変換し、該変換された光束を第2の光学
素子を介して偏向素子の偏向面において主走査方向に長
手の線状に結像させ、該偏向素子で偏向された光束を第
3の光学素子を介し被走査面上にスポット状に結像させ
て、該被走査面上を走査する走査光学装置において、該
第3の光学素子は単レンズより成り、該単レンズは主走
査面内において該偏向素子側に凸のメニスカス形状を成
し、かつ該偏向素子側の第1レンズ面と該被走査面側の
第2レンズ面は共に非球面形状で形成され、該第2レン
ズ面の非球面形状は近軸曲率半径の接線に対して周辺部
で交わり、最外部で該偏向素子側に近接した形状を成す
ことを特徴としている。
【0017】特に(1-1) 前記第3の光学素子を構成する
単レンズは、主走査面内において該単レンズの最大有効
径における前記第1、第2のレンズ面の近軸曲率半径の
接線から該第1、第2のレンズ面までの光軸方向の距離
を各々d1,d2、該単レンズの中心厚をSとしたと
き、 0.46≦|d1/S|≦0.54 0.12≦|d2/S|≦0.24 なる条件を満足することや、(1-2) 前記第3の光学素子
を構成する単レンズの主走査面内における第2レンズ面
の非球面形状は、近軸曲率半径の接線に平行になるよう
な接線を有する局部点が存在し、該局部点は光軸からの
距離をX、該単レンズの最大有効径をYとしたとき、 0.48≦X/Y≦0.56 なる条件を満足することや、(1-3) 前記第3の光学素子
を構成する単レンズの両レンズ面のうち、少なくとも一
方のレンズ面の副走査面内の曲率が該単レンズの有効部
内において連続的に変化していることや、(1-4) 前記第
3の光学素子を構成する単レンズはプラスチック成型に
より製作されていること、等を特徴としている。
【0018】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施例1の主走査
方向の要部断面図(主走査断面図)である。
【0019】同図において1は光源手段であり、例えば
半導体レーザより成っている。2は第1の光学素子とし
てのコリメーターレンズであり、光源手段1から出射さ
れた発散光束(光ビーム)を収束光束に変換している。
3は開口絞りであり、通過光束径を整えている。4は第
2の光学素子としてのシリンドリカルレンズであり、副
走査方向にのみ所定の屈折力を有しており、開口絞り3
を通過した光束を副走査断面内で後述する光偏向器5の
偏向面5aにほぼ線像として結像させている。5は偏向
素子としての例えばポリゴンミラー(回転多面鏡)より
成る光偏向器であり、モーター等の駆動手段(不図示)
により図中矢印A方向に一定速度で回転している。
【0020】6は第3の光学素子としてのfθ特性を有
する1枚のレンズより成るfθレンズ(結像光学系)で
ある。fθレンズ6は後述するように主走査面内におい
て光偏向器5側に凸のメニスカス形状を成し、かつ該光
偏向器5側の第1レンズ面Raと被走査面としての感光
ドラム7面側の第2レンズ面Rbとを共に非球面形状の
トーリック面より構成しており、該第2レンズ面Rbの
非球面形状は近軸曲率半径の接線に対して周辺部で交わ
り、最外部で該光偏向器5側に近接した形状を成してお
り、該光偏向器5によって偏向反射された画像情報に基
づく光束を感光ドラム7面上に結像させ、かつ該光偏向
器5の偏向面の面倒れを補正している。
【0021】又、本実施形態におけるfθレンズ6は、
該fθレンズの両レンズ面Ra,Rbのうち少なくとも
一方のレンズ面の副走査方向の曲率を、該fθレンズ6
の有効部内において連続的に変化させており、又プラス
チック成型により製作している。
【0022】本実施例において半導体レーザ1より出射
した光束はコリメータレンズ2により収束光束に変換さ
れ、開口絞り3によって該光束(光量)を制限してシリ
ンドリカルレンズ4に入射している。シリンドリカルレ
ンズ4に入射した光束のうち主走査断面においてはその
ままの状態で射出する。又副走査断面においては集束し
て光偏向器5の偏向面5aにほぼ線像(主走査方向に長
手の線像)として結像している。そして光偏向器5の偏
向面5aで偏向反射された光束は主走査方向と副走査方
向とで互いに異なる屈折力を有するfθレンズ6を介し
て感光ドラム7面上に導光され、該光偏向器5を矢印A
方向に回転させることによって該感光ドラム7面上を矢
印B方向に走査している。これにより記録媒体である感
光ドラム7上に画像記録を行なっている。
【0023】次に本実施形態において歪曲収差(fθ特
性)及び像面湾曲を補正する手段について説明する。本
装置の歪曲収差及び像面湾曲を満足させる為には、fθ
レンズ6の主走査面内において、該fθレンズ6の最大
有効径における第1、第2のレンズ面の近軸曲率半径の
接線から該第1、第2のレンズ面Ra,Rbまでの光軸
方向の距離を各々d1,d2、該fθレンズ6の中心厚
をSとしたとき、 0.46≦|d1/S|≦0.54 ‥‥(1) 0.12≦|d2/S|≦0.24 ‥‥(2) なる条件を満足させるようにレンズ形状を設定してい
る。尚、d1,d2は各々光線の進行方向を測ったとき
を正としている。
【0024】上記の条件式(1),(2)は共にfθレ
ンズ6の最大有効径における近軸曲率半径の接線から第
1、第2のレンズ面Ra,Rbまでの光軸方向の距離
と、該fθレンズ6の中心厚との比に関するものであ
り、条件式(1)を外れると主走査方向の像面湾曲や歪
曲収差等を良好に補正することが困難になってくるので
良くない。又条件式(2)を外れると主走査方向の像面
湾曲、歪曲収差及び副走査方向のスポット径の均一化を
良好に補正することが困難になってくるので良くない。
【0025】更にfθレンズ6の主走査面内における第
2レンズ面Rbの非球面形状は、近軸曲率半径の接線に
平行になるような接線を有する局部点が存在し、該局部
点は光軸からの距離をX、該fθレンズ6の最大有効径
をYとしたとき、 0.48≦X/Y≦0.56 ‥‥(3) なる条件を満足させるようにレンズ形状を設定してい
る。
【0026】上記の条件式(3)はfθレンズ6の第2
レンズ面Rbにおける光軸から局部点までの距離と、該
fθレンズ6の最大有効径との比に関するものであり、
条件式(3)を外れると主走査方向の像面湾曲や歪曲収
差等を良好に補正することが困難になってくるので良く
ない。
【0027】本実施形態ではこのように各条件式
(1),(2),(3)のうち少なくとも1つの条件式
を満足するようにfθレンズ6のレンズ形状を適切に設
定することにより、像面湾曲や歪曲収差等を良好に保ち
つつ、副走査方向のスポット径の均一性を向上させてい
る。
【0028】本実施形態ではfθレンズ6のレンズ形状
を主走査方向は10次までの関数で表わせる非球面形状
とし、副走査方向は像高方向に連続的に変化する球面よ
り構成している。そのレンズ形状は、例えばfθレンズ
6と光軸との交点を原点とし、光軸方向をX軸、主走査
面内において光軸と直交する軸をY軸、副走査面内にお
いて光軸と直交する軸をZ軸としたとき、主走査方向と
対応する母線方向が X=(Y/R)/(1+(1−(1+K)(Y/R)
21/2 +B44+B66 +B88 +B1010 (但し、Rは曲率半径、K,B4 ,B6 ,B8 ,B10
非球面係数)なる式で表わせるものであり、又副走査方
向(光軸を含む主走査方向に対して直交する方向)と対
応する子線方向が S=(Z2 /r’)/(1+(1−(Z/r’)2
1/2 (ここでr’=r(1+D22 +D44 +D66
+D88+D1010))なる式で表わせるものであ
る。
【0029】表−1に本実施形態におけるfθレンズ6
の非球面係数を示す。図2はfθレンズ6の非球面形状
を示す説明図であり、X1は第1レンズ面、X2は第2
レンズ面の形状を表わしている。
【0030】
【表1】 本実施形態におけるfθレンズ6は主走査面内において
該fθレンズ6の最大有効径における近軸曲率半径の接
線から第1、第2のレンズ面Ra,Rbまでの光軸方向
の距離を各々d1,d2、該fθレンズ6の中心厚を
S、第2レンズ面Rbにおける光軸から局部点までの距
離をX、該fθレンズ6の最大有効径をYとしたとき、
各値は、 |d1|=5.15mm ,|d2|=1.97mm S=10mm X=22mm ,Y=42mm であり、これらの値より、 |d1/S|=0.515 |d2/S|=0.197 X/Y=0.524 となり、これらの値は前述した各条件式(1)〜(3)
を満足している。
【0031】図3は本実施形態における像面湾曲と歪曲
収差(fθ特性)を示す諸収差図である。同図より各収
差とも実用上問題のないレベルまで補正されていること
が解る。
【0032】図4は本発明の実施形態2の主走査方向の
要部断面図(主走査断面図)である。同図において図1
に示した要素と同一要素には同符番を付している。
【0033】本実施形態において前述の実施形態1と異
なる点は光偏向器の偏向面に入射する光束の入射角を異
ならせた点と、これに伴なってfθレンズのレンズ形状
を異ならせたことである。その他の構成及び光学的作用
は前述の実施形態1と略同様であり、これにより同様な
効果を得ている。
【0034】即ち、同図において16はfθレンズであ
り、該fθレンズ16の第1レンズ面Raのレンズ形状
は、例えば該fθレンズ16と光軸との交点を原点と
し、光軸方向をX軸、主走査面内において光軸と直交す
る軸をY軸、副走査面内において光軸と直交する軸をZ
軸としたとき、主走査方向と対応する母線方向が X=(Y2 /Ru)/(1+(1−(1+Kyu)(Y
/Ru)21/2 )+B2 uY2 +B4 uY4 +B6
6 +B8 uY8 +B10uY10 (但し、Y≧0、Rは曲率半径、Kyu,B2 u,B4
u,B6 u,B8 u,B10uは非球面係数) X=(Y2 /Rl)/(1+(1−(1+Kyl)(Y
/Rl)21/2 )+B2 lY2 +B4 lY4 +B6
6 +B8 lY8 +B10lY10 (但し、Y≧0、Rは曲率半径、Kyl,B2 l,B4
l,B6 l,B8 l,B10lは非球面係数)なる式で表
わせるものであり、又副走査方向(光軸を含む主走査方
向に対して直交する方向)と対応する子線方向が S=(Z2 /ru’)/(1+(1−(Z+ru’)
21/2 (但し、Y≧0、1/ru’=1/ru+D2 uY2
4 uY4+D6 uY6 +D8 uY8 +D10uY10) S=(Z2 /rl’)/(1+(1−(Z+rl’)
21/2 (但し、Y<0、1/rl’=1/rl+D2 lY2
4 lY4+D6 lY6 +D8 lY8 +D10lY10)な
る式で表わせるものである。
【0035】表−2に本実施形態におけるfθレンズ1
6の非球面係数を示す。図5はfθレンズ16の非球面
形状を示す説明図であり、X1は第1レンズ面、X2は
第2レンズ面の形状を表わしている。
【0036】
【表2】 本実施形態におけるfθレンズ16は主走査方向におい
て該fθレンズ16の最大有効径における近軸曲率半径
の接線から第1、第2のレンズ面Ra,Rbまでの光軸
方向の距離を各々d1,d2、該fθレンズ16の中心
厚をS、第2レンズ面Rbにおける光軸から局部点まで
の距離をX、該fθレンズ16の最大有効径をYとした
とき、各値は、 |d1|=5.77mm 、|d2|=1.84mm S=12mm X=24mm 、Y=46mm であり、これらの値より、 |d1/S|=0.481 |d2/S|=0.153 X/Y=0.522 となり、これらの値は前述した各条件式(1)〜(3)
を満足している。
【0037】図6は本実施形態における像面湾曲と歪曲
収差(fθ特性)を示す諸収差図である。同図より各収
差とも実用上問題のないレベルまで補正されていること
が解る。
【0038】
【発明の効果】本発明によれば、前述の如くコリメータ
レンズからの収束光を光偏向器を介して1枚のfθレン
ズにより被走査面上に結像させる際、該fθレンズの形
状を適切に設定することにより、像面湾曲や歪曲収差
(fθ特性)等を良好に補正すると共に光偏向器の取付
誤差によるジッターや像高による副走査方向のスポット
径の変化等の影響を小さく抑えることができ、これによ
りコンパクトで高精細な印字に適した走査光学装置を達
成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態1の主走査方向の要部断面
【図2】 本発明の実施形態1におけるfθレンズの非
球面形状を示す説明図
【図3】 本発明の実施形態1における像面湾曲と歪曲
収差を示す説明図
【図4】 本発明の実施形態2の主走査方向の要部断面
【図5】 本発明の実施形態2におけるfθレンズの非
球面形状を示す説明図
【図6】 本発明の実施形態2における像面湾曲と歪曲
収差を示す収差図
【図7】 従来の走査光学装置の主走査方向の要部断面
【符号の説明】
1 光源手段 2 第1の光学素子(コリメータレンズ) 3 開口絞り 4 第2の光学素子(シリンドリカルレンズ) 5 偏向素子(光偏向器) 6,16 第3の光学素子(fθレンズ) 7 被走査面(感光ドラム面)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源手段から出射した光束を第1の光学
    素子により収束光束に変換し、該変換された光束を第2
    の光学素子を介して偏向素子の偏向面において主走査方
    向に長手の線状に結像させ、該偏向素子で偏向された光
    束を第3の光学素子を介し被走査面上にスポット状に結
    像させて、該被走査面上を走査する走査光学装置におい
    て、 該第3の光学素子は単レンズより成り、該単レンズは主
    走査面内において該偏向素子側に凸のメニスカス形状を
    成し、かつ該偏向素子側の第1レンズ面と該被走査面側
    の第2レンズ面は共に非球面形状で形成され、該第2レ
    ンズ面の非球面形状は近軸曲率半径の接線に対して周辺
    部で交わり、最外部で該偏向素子側に近接した形状を成
    すことを特徴とする走査光学装置。
  2. 【請求項2】 前記第3の光学素子を構成する単レンズ
    は、主走査面内において該単レンズの最大有効径におけ
    る前記第1、第2のレンズ面の近軸曲率半径の接線から
    該第1、第2のレンズ面までの光軸方向の距離を各々d
    1,d2、該単レンズの中心厚をSとしたとき、 0.46≦|d1/S|≦0.54 0.12≦|d2/S|≦0.24 なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の走
    査光学装置。
  3. 【請求項3】 前記第3の光学素子を構成する単レンズ
    の主走査面内における第2レンズ面の非球面形状は、近
    軸曲率半径の接線に平行になるような接線を有する局部
    点が存在し、該局部点は光軸からの距離をX、該単レン
    ズの最大有効径をYとしたとき、 0.48≦X/Y≦0.56 なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の走
    査光学装置。
  4. 【請求項4】 前記第3の光学素子を構成する単レンズ
    の両レンズ面のうち、少なくとも一方のレンズ面の副走
    査面内の曲率が該単レンズの有効部内において連続的に
    変化していることを特徴とする請求項1記載の走査光学
    装置。
  5. 【請求項5】 前記第3の光学素子を構成する単レンズ
    はプラスチック成型により製作されていることを特徴と
    する請求項1記載の走査光学装置。
JP10337096A 1996-03-29 1996-03-29 走査光学装置 Pending JPH09269451A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10337096A JPH09269451A (ja) 1996-03-29 1996-03-29 走査光学装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10337096A JPH09269451A (ja) 1996-03-29 1996-03-29 走査光学装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09269451A true JPH09269451A (ja) 1997-10-14

Family

ID=14352231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10337096A Pending JPH09269451A (ja) 1996-03-29 1996-03-29 走査光学装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09269451A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3466863B2 (ja) 走査光学装置及びそれを用いた画像記録装置
KR100404698B1 (ko) 광학 주사 장치와 이를 사용하는 화상 형성 장치
JP3397624B2 (ja) 走査光学装置及びそれを具備するレーザビームプリンター
JP3303558B2 (ja) 走査光学装置
JP3445092B2 (ja) 走査光学装置
JPH0727123B2 (ja) 面倒れ補正走査光学系
JP3943820B2 (ja) 光走査装置及びマルチビーム光走査装置及び画像形成装置
JP5269169B2 (ja) 走査光学装置及びそれを有するレーザービームプリンタ
JP3854779B2 (ja) 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置
JP2000081584A (ja) 走査光学装置
JP2005338865A (ja) 走査光学装置及びそれを有するレーザービームプリンタ
JP2956169B2 (ja) 走査光学装置
JP3320239B2 (ja) 走査光学装置
JPH11281911A (ja) 光走査光学系
JP3420439B2 (ja) 光走査光学系及びそれを備えるレーザービームプリンタ
JPH10260371A (ja) 走査光学装置
JPH0968664A (ja) 光ビーム走査用光学系
JPH09281422A (ja) 走査光学装置
JPH09269451A (ja) 走査光学装置
JP3728256B2 (ja) 走査光学装置
JP4072559B2 (ja) 走査光学装置
JP3706858B2 (ja) fθレンズ及びそれを有する走査光学装置
JPS6321619A (ja) 面倒れ補正走査光学系
JP2008209926A (ja) 走査光学装置
JPH0720398A (ja) 面倒れ補正走査光学系