JPH0924616A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板が損傷または破損するおそれがなくしか
もバリやフラッシュ等が発生しない液体噴射記録ヘッド
の製造方法を実現する。 【構成】 基板１上に、除去可能な第１ないし第３固体
層１１〜１３を形成しておく。ついで、キャビティ１４
ａ内に突出する第２固体層１２に当接する当接部１６ａ
を有する第１突出部材１６および第３固体層１３に当接
する当接部１７ａを有する第２突出部材１７を備えた一
方の型１４と、キャビティ１５ａを有する他方の型１５
からなる分割型式のトランスファー成形型を用い、他方
の型１５のキャビティ１５ａ内に前記基板１を挿入して
型締めし、樹脂材料を注入して硬化させることにより樹
脂層を基板１に一体成形する。ここで、前記当接部は、
方形状の周縁部と該周縁部で囲まれた凹部１６ｂ，１７
ｂを有し、型締めした際に前記当接部が前記第２および
第３固体層にめり込む寸法に設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク等の記録液
滴を飛翔させて記録紙等の記録媒体上に画像を形成する
液体噴射記録装置に用いられる液体噴射記録ヘッドの製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来この種の液体噴射記録ヘッドは、図
１５および図１６に示すように、電気熱変換体１０２ａ
およびこれに電気配線１０２ｂを介して電気接続された
電極１０２ｃを備えた基板１０１と、基板１０１上の電
極１０２ｃおよびその近傍の電気接続部１０１ａを除く
部位に一体に形成された樹脂層１０３とを備えており、
樹脂層１０３には、供給口１０７を介して外部に連通さ
れた共通液室１０４およびこの共通液室１０４に液流路
１０５を介して連通された吐出口１０６が設けられたも
のであって、次に説明する（イ）および（ロ）等の製造
方法によって作製される。

【０００３】（イ）半導体製造プロセスと同様のプロセ
スを用いて電気熱変換体１０２ａおよびこれに電気配線
１０２ｂを介して電気接続された電極１０２ｃをパター
ニングした基板１０１上に、ネガ型のドライフィルムや
レジストあるいはポジ型のドライフィルムやレジストを
積層したのち、共通液室１０４および液流路１０５のパ
ターンを有するネガ型またはポジ型のフォトマスクを介
して露光し、ネガ型の場合は未露光部、ポジ型の場合は
露光部を現像液で洗い出して順次液流路１０５を形成す
るための第１固体層および共通液室１０４を形成するた
めの第２固体層を形成する。そののち、基板１０１上の
電気接続部１０１ａを除いた部位に樹脂材料を流し込ん
で硬化させて前記第１および第２固体層を中子とする樹
脂層１０３を一体に形成する。ついで吐出口面１０８と
なる部位を切断して吐出口１０６を開口させたのち、前
記第１および第２固体層を除去液で除去する（特開昭６
１−１５４９７号公報参照）。

【０００４】（ロ）上記（イ）と同様の工程によって、
図１７に示すように、基板１０１上に、順次液流路１０
５を形成するための第１固体層１１１および共通液室１
０４を形成するための第２固体層１１２を形成する。そ
ののち、基板１０１上の電気接続部１０１ａを除いた部
位に、キャビティ１１３ａに供給口１０７を形成するた
めの突出部１１４を有するトランスファー成形型を用い
てトランスファー成形することによって前記固体層１１
１，１１２を中子とする樹脂層１０３を一体に形成し、
ついで吐出口面１０８となる部位を切断して吐出口１０
６を開口させたのち、前記固体層１１１，１１２を除去
液で除去する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の技
術のうち、（イ）は、共通液室等の深さを深くすること
ができず、加えて工程が複雑で多量生産性に劣り製造コ
ストが高くなる。一方、（ロ）は、多量生産性に優れ、
製造コストの低減が可能であるが、次に説明するような
未解決の課題がある。

【０００６】キャビティ１１３ａに設けられた突出部１
１４の先端面１１４ａが平坦面であるため、第２固体層
１１２に対し先端面１１４ａの押圧力が小さい場合、図
１７の（ａ）に示すように、キャビティ１１３ａ内の樹
脂圧力によって隙間ΔＬが発生し、該隙間ΔＬへ樹脂が
流出してバリ１０３ａが発生したり、フラッシュが発生
する。

【０００７】逆に、図１７の（ｂ）に示すように、第２
固体層に突出部１１４の先端部がΔＬ₁ の長さだけめり
込むような押圧力で押圧すると、基板１０１に大きな押
圧力がかかり、基板１０１が損傷あるいは破損するおそ
れがある。

【０００８】本発明は、上記従来の技術の有する未解決
の課題に鑑みてなされたものであって、基板が損傷また
は破損するおそれがなくしかもバリやフラッシュ等が発
生しない液体噴射記録ヘッドの製造方法を実現すること
を目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、基板上
に除去可能な固体層を形成したのち、前記固体層が形成
された基板を樹脂層を形成するためのキャビティを有す
る分割型式の成形型の前記キャビティ内に挿入して型締
めし、ついで前記キャビティへ樹脂材料を注入して硬化
させて前記基板に前記樹脂層を一体成形したのち、型開
きして前記樹脂層が一体成形された基板を取り出し、前
記固体層を除去することによって前記樹脂層に中空部を
形成する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記
成形型は型締めした際に前記固体層にめり込む当接部を
備えており、しかも前記当接部の形状が凹凸面であるこ
とを特徴とするものである。

【００１０】また、凹凸面が、中央部に形成された凹部
および該凹部を囲む周縁部、あるいは、互いに間隔をお
いて配設された複数の凸部およびその間隙部からなるも
のとしたり、凹凸面のかわりに、基板面に対して傾斜し
た傾斜面とすることができる。

【００１１】さらに、中空部が共通液室およびこれに連
通された液流路であると効果的である。

【００１２】基板上に除去可能な固体層を形成する前
に、基板上の液流路に対応する部位に吐出エネルギー発
生素子を配設しておくとよい。

【００１３】

【作用】固体層を形成した基板を、樹脂層を形成するた
めのキャビティを有する分割型式の成形型の前記キャビ
ティ内に挿入して型締めした際に、前記固体層にめり込
む前記成形型の当接部の形状が凹凸面であるため、型締
め時に前記固体層が変形して凹凸面の凹部へ入り込む。
その結果、基板に加わる押圧力が低減され、基板にダメ
ージを与えることなくバリやフラッシュの発生を防止す
ることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面に基づいて
説明する。

【００１５】（第１実施例）本実施例は、図１および図
６に示すように、吐出エネルギー発生素子である電気熱
変換体２ａおよびこれに電気配線２ｂを介して電気接続
された電極２ｃを備えた基板１と、基板１上の電極２ｃ
およびその近傍の電気接続部１ａを除く部位に一体に形
成された樹脂層３とを備え、樹脂層３が供給口７を介し
て外部に連通された共通液室４および共通液室４に液流
路５を介して連通された吐出口６を有する液体噴射記録
ヘッドを作製するためのものであって、次に説明する
〜の工程を有する。

【００１６】 図２の（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、シリコンウエハ等からなる基板１を準備し、基板１
上の液流路５に対応する部位に吐出エネルギー発生素子
であるＨｆＢ₂ からなる電気熱変換体２ａ、電気熱変換
体２ａに電気接続されたＡｌからなる電気配線２ｂおよ
び電気配線２ｂの端部に電気接続された電極２ｃを半導
体製造プロセスと同様のプロセスにより配設する。

【００１７】本工程において、図示しないが、耐久性向
上のために、電気熱変換体２ａ、電気配線２ｂおよび電
極２ｃの上面に、ＳｉＯ₂ からなる電気絶縁膜、Ｔａか
らなる保護膜、Ａｕからなる電極酸化防止膜等の各種機
能層を設ける。

【００１８】なお、説明の便宜上、電気熱変換体２ａ側
を対向して配設した２個取りのものを例示したが、実際
には基板１上で複数の液体噴射記録ヘッドを一括処理
し、後述する工程のダイシングソーにて単体の液体噴射
記録ヘッドに分離する。

【００１９】 上記の工程ののち、基板１上に、感
光性ポジレジストを所定の厚さ（例えば３０μｍ）にス
ピンコートし、液流路５、共通液室４および電気接続部
１ａのパターンを有するフォトマスクを介して露光した
のち現像し、図２の（ｃ）に示すような除去可能な第１
固体層１１を形成する。

【００２０】 上記の工程ののち、第１固体層１１
のうちの共通液室７に相当する部位の上面にスクリーン
印刷法にて感光性の無いメッキレジストを塗布し、図２
の（ｄ）に示すように、第２固体層１２を形成するとと
もに、樹脂層を形成しない電気接続部１ａの上方にも同
様にメッキレジストを塗布して第３固体層１３を形成す
る。因みに、メッキレジストの乾燥後の第２固体層１２
および第３固体層１３の膜厚は１００±２０μｍとす
る。

【００２１】 上記の工程ののち、図３に示すよう
な、キャビティ１４ａ内に突出する第２固体層１２に当
接する当接部１６ａを有する供給口７を形成するための
第１突出部材１６および第３固体層１３に当接する当接
部１７ａを有する第２突出部材１７を備えた一方の型１
４と、前記基板１をほぼ水平状態で挿入できる大きさの
キャビティ１５ａを有する他方の型１５からなる分割型
式のトランスファー成形型を用い、第１乃至第３固体層
１１〜１３が形成された基板１を第１乃至第３固体層１
１〜１３を一方の型１４に対向させた状態で他方の型１
５のキャビティ１５ａ内に挿入したのち型閉じする。

【００２２】ここで、第２固体層１２に当接する第１突
出部材１６の当接部１６ａは図４に示すように、方形状
の幅０．１ｍｍの周縁部と該周縁部で囲まれた深さ５０
μｍの凹部１６ｂを有し、前記各当接部１６ａの先端面
が第２固体層１２の表面から３０μｍ程度めり込む寸法
に設定する。これ以外の構成については、公知のトラン
スファー成形型と同様にキャビティに連通するゲート、
エア抜き、ランナ、タブレットポート、エジェクタピン
等を有する。

【００２３】なお、第２突出部材１７の当接部１７ａも
第１突出部材１６の当接部１６ａと同様でよいので説明
は省略する。

【００２４】また、他方の型１５のキャビティ１５ａに
は、基板１の保護のために厚さ５０μｍ程度のゴムライ
ニングを施してもよい。

【００２５】 上記の工程ののち、型閉じしたトラ
ンスファー成形型１４，１５を成形機のクランププレー
トにセットして約１５０ｋｇ／ｃｍ² Ｇの型締力で型締
めして型温度を約１２０℃に調節したのち、予め高周波
予備加熱装置で８０℃程度に予熱したエポキシ樹脂タブ
レットを、タブレットポットへ挿入し、ついで４０ｋｇ
／ｃｍ² Ｇ程度のトランスファー圧力にてキャビティ内
の空間部へ注入し、約８分間の保圧時間経過後型開きを
行ない基板１上に樹脂層３が一体に形成された液体噴射
記録ヘッドの中間製品Ｅを取り出す。

【００２６】 上記の工程ののち、中間製品Ｅに対
し、ポストキュアと呼ばれる加熱処理を約１２０℃で２
時間の条件で行ない樹脂層３を完全硬化させる。

【００２７】 上記の工程ののち、中間製品Ｅをダ
イシングソーにて、図５に示すような単体の液体噴射記
録ヘッドに切断して吐出口面８を形成したのち、基板
１、樹脂層３および電気熱変換体２ａ、電気配線２ｂ、
電極２ｃ等にダメージを与えずに各固体層１１〜１３を
除去できるＮａＯＨ２％水溶液を用い、超音波洗浄を併
用しつつ各固体層１１〜１３を除去して図１および図６
に示すような液体噴射記録ヘッドを得る。

【００２８】なお、本実施例における上記の工程にお
いて、型温度は、１２０℃に限られるものではなく１０
０〜１８０℃程度の任意の温度でよいが、基板１や各固
体層１１〜１３の耐熱性、あるいは樹脂の種類に応じた
最適成形温度範囲、さらには成形性（樹脂フロー性、離
型性、ボイド、バリ、フラッシュ等の抑止）等から設定
するとよい。

【００２９】一般に、成形温度を高くすれば硬化時間が
短くなり、トランスファー圧力は高いほど形状の安定性
が向上するとともにボイドの発生が無くなるが、低温度
で長時間保圧することにより、バリやフラッシュの発生
を防止できる。

【００３０】また、本実施例における上記の工程のポ
ストキュアは、必ずしも樹脂層のトランスファー成形工
程と連続して行なう必要はなく、液体噴射記録ヘッドの
完成までのどの時点で行なってもよい。

【００３１】本実施例によれば、各固体層１１〜１３と
一方の型１４の各当接部１６ａ，１７ａとの間にバリや
フラッシュが発生せず、１００ショット以上のテストを
行なっても良好な結果が得られた。

【００３２】本実施例によって製造された液体噴射記録
ヘッドをインクジェット記録装置に組み付けて吐出性能
試験、印字耐久試験を行なったところ、バリ等によるイ
ンク供給不足に起因する吐出周波数性能不足、あるいは
バリ等の脱落や液流路内への侵入によるインクノズル詰
まりに起因するインク不吐出等が一切発生しなかった。

【００３３】本実施例において、当接部の形状である凹
凸面の一例として、第２固体層１２に当接する突出部材
１６の当接部１６ａおよび第３固体層１３に当接する第
２突出部材１７の当接部１７ａの形状を図４に示すよう
に方形状の周縁部と該周縁部に囲まれた凹部１６ｂから
なるものを示したが、これに限らず次に説明するような
各変形例とすることができる。なお、各変形例について
は第１実施例と同様でよい部分には同一符号を付してそ
の説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。

【００３４】図７に示す第１変形例は、突出部材２６の
凹部２６ｂの深さを上記第１実施例の第１突出部材１６
の凹部１６ｂよりもさらに深くして、その当接部２６ａ
を第２固体層１２にめり込ませた際に凹部２６ｂの底面
と第２固体層１２の表面に接触しないようにしたもので
ある。

【００３５】図８に示す第２変形例は、突出部材３６が
一方の型１４に設けられた案内孔１４ｂに摺動自在に案
内されてキャビティ内に進退できるように構成されたも
のであって、当接部３６ａが半球状の凹部３６ｂを囲む
周縁部からなるものである。

【００３６】本変形例によれば、突出部材３６の第２固
体層１２に対する突出量を変化させることができるた
め、第２固体層１２の厚さの異なる場合にも対処するこ
とができる。

【００３７】図９に示す第３変形例は、突出部材４６の
当接部４６ａが、基板１の面に対して傾斜した傾斜面か
らなるものである。

【００３８】本変形例は、当接部４６ａが基板１の面に
対して傾斜しているため第２固体層１２にその先端部分
をめり込ませたときに、基板１にかかる押圧力が小さく
なる。

【００３９】図１０に示す第４変形例は、突出部材５６
の当接部５６ａがその先端面に互いに間隔をおいて配設
された複数の凸部およびその間隙部５６ｂからなるもの
である。

【００４０】本実施例は各間隙部５６ｂに変形した固体
層の一部が入り込むことで、型締め時の型締力による基
板１に加わる押圧力が低減される。

【００４１】（第２実施例）本実施例は、図１１に示す
ように、第１実施例と同様の電気熱変換体６２ａ、電気
配線６２ｂ、電極６２ｃが一方の面上に配設された基板
６１と、該基板６１の一方の面に一体に形成された液流
路６５およびこれに連通された吐出口６６が開口する吐
出口面６８を有する第１樹脂層６３Ａと、基板６１の他
方の面に供給口６７によって外部に連通された共通液室
６４を有する第２樹脂層６３Ｂを備え、第１樹脂層６３
Ａと第２樹脂層６３Ｂとは基板６１を貫通する連通孔６
９によって連通された液体噴射記録ヘッドを製造するた
めのものであって、次に説明する〜の工程を有す
る。

【００４２】 第１実施例のの工程に準じ、ＴａＮ
₂ からなる電気熱変換体６２ａ、Ａｌからなる電気配線
６２ｂおよび電極６２ｃを基板６１の一方の面上に形成
する。

【００４３】 上記の工程ののち、基板６１の一方
の面上にダミーガラス基板をゴム系接着剤により貼り付
けたのち、基板６１の他方の面より砥粒（＃１２００
番）を分散させた冷却水とともに、３０ｋＨｚの超音波
治具を接触させることによって、基板６１を貫通する連
通孔６９を形成し、ついで、加熱した塩素系有機溶剤で
接着剤を溶解させて前記ダミーガラス基板を剥離し、最
終的に純水で洗浄したのち乾燥させる。

【００４４】 上記の工程ののち、連通孔６９にダ
ミーレジスト７３ａを注入して硬化させたのち、基板６
１の一方の面の電気熱変換体６２ａに対応した部位に第
１実施例のおよびの工程に準じて液流路６５を形成
するための第１固体層７１を形成し、つづいて、基板６
１の他方の面の連通孔６９に対応した部位に共通液室６
４を形成するための第２固体層７２を形成する（図１２
参照）。

【００４５】 上記の工程ののち、図１２に示すよ
うに、キャビティ７４ａ内に突出する第１固体層７１に
当接する当接部７７ａを有する吐出口６６を形成するた
めの第２突出部材７７を備えた一方の型７４と、基板１
を挿入できる大きさのキャビティ７５ａを有するととも
に該キャビティ内に突出する第２固体層７２に当接する
当接部７６ａを有する供給口を形成するための第１突出
部材７６を備えた他方の型７５からなる分割型式の注形
型を用い、第１および第２固体層７１，７２が形成され
た基板６１を第１固体層７１を一方の型７４に対向させ
た状態で他方の型７５のキャビティ７５ａ内に挿入して
型締めする。

【００４６】この型締めを行なうことにより、第２突出
部材７７の当接部７７ａが第１固体層７１にめり込むと
ともに、第１突出部材７６の当接部７６ａが第２固体層
７２にめり込んだ状態となる。

【００４７】 上記の工程ののち、型締めした注形
型を真空チャンバ内にセットして減圧下で主剤と硬化剤
とを混合して用いる常温硬化型のエポキシ樹脂をキャビ
ティ内に注入する。

【００４８】 上記の工程ののち、常温で１２時間
放置して硬化させたのち、型開きして中間製品を取出
し、ダイシングソーにて単体の液体噴射記録ヘッドに切
断し、第１実施例のの工程に準じて第１および第２固
体層７１，７２を除去することによって図１１に示すよ
うな液体噴射記録ヘッドを得る。

【００４９】なお、本実施例で用いた一方の型７４の第
２突出部材７７の当接部７７ａは先端の角度が１５０度
の円錐状とし、他方の型７５の第１突出部材７６の当接
部７６ａは、中央部が屋根形状に突出した形状とした。

【００５０】本実施例も上記第１実施例と同様、型締め
時に基板にダメージを与えることなく、バリの発生を防
止できた。

【００５１】（第３実施例）本実施例は、図１３に示す
ような、ガラス製の基板８１の一方の面に一体に形成さ
れた液流路８５を有する第１樹脂層８３Ａと、基板８１
の他方の面に一体に形成された供給口８７によって外部
に連通された共通液室８４を有する第２樹脂層８３Ｂと
を備え、液流路８５は基板８１を貫通する連通孔８９を
介して共通液室８４に連通されているとともに、第１樹
脂層８３Ａの液流路８５上の外面に電気圧力変換素子８
２を取り付けた液体噴射記録ヘッドを製造するためのも
のであって、次に説明する〜の工程を有する。

【００５２】 ガラス製の基板８１に、基板８１を貫
通する連通孔８９を形成したのち、上記第２実施例の
の工程に準じて連通孔８９にダミーレジスト９３ａを注
入して硬化させたのち、基板８１の一方の面に液流路８
５を形成するための第１固体層９１を形成し、つづい
て、基板８１の他方の面に共通液室８４を形成するため
の第２固体層９２を形成するが、本工程において第２固
体層９２の中央部には凹部９２ａを形成しておく（図１
４参照）。

【００５３】 上記の工程ののち、図１４に示すよ
うに、第１樹脂層８３Ａを形成するためのキャビティ９
４ａを有する一方の型９４と、第２樹脂層８３Ｂを形成
するためのキャビティ９５ａを有し、キャビティ９５ａ
内に突出する第２固体層９２に当接する当接部９６ａを
有する突出部材９６を備えた他方の型９５からなるトラ
ンスファー成形型を用い、前記第１および第２固体層９
１，９２が形成される基板８１を第１固体層９１を一方
の型９４に対向させた状態で他方の型９５のキャビティ
９５ａ内に挿入して型締めする。

【００５４】本実施例においては当接部９６ａは型締め
時における型の移動方向に対して水平な平坦面であって
もよい。

【００５５】この型締めを行なうことにより、突出部材
の当接部９６ａが第２固体層９２の凹部９２ａを覆った
状態で第２固体層９２の凹部９２ａの周縁部近傍にめり
込んだ状態となる。

【００５６】 上記の工程ののち、熱硬化型の液状
エポキシ樹脂をキャビティ内に注入し、１３０℃で１０
分間維持して硬化させて中間製品を得る。

【００５７】 上記の工程ののち、型開きを行なっ
て中間製品を取り出しして、ダイシングソーにて単体の
液体噴射記録ヘッドに切断して吐出口面８８（図１３参
照）を形成して吐出口８６を開口させ、ついで、第１樹
脂層８３Ａの液流路８５の上方の外面に電気圧力変換素
子を貼り付けることによって液体噴射記録ヘッドを得
る。

【００５８】本発明は、上記各実施例に限らず、射出成
形方法や圧縮成形方法を用いても有効なものである。

【００５９】また、使用する樹脂材料としては、成形方
法に応じて液状またはＢステージ化された固形状のいず
れでもよく、熱硬化型、常温硬化型、可視光硬化型、紫
外線硬化型等のものが使用できる。具体的には、ジアリ
ルフタレート系樹脂、シリコーン系樹脂、フェノール系
樹脂、あるいはアクリル樹脂、ジグリコールジアキルカ
ーボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタ
ン樹脂、ポリイミド樹脂、尿素樹脂等が挙げられるが、
耐インク性、基板との密着性、材料の扱いやすさ、固体
層および除去剤との絡み等を勘案して選択するのが望ま
しい。

【００６０】本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱
エネルギを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行なう、
いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置において、優れた効果をもたらすものである。

【００６１】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。

【００６２】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００６３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００６４】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００６５】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００６６】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００６７】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体或はこれとは別の加熱素子、あるいはこれらの組
み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行な
う予備吐出モード手段を付加することも安定した記録を
行なうために有効である。

【００６８】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００６９】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００７０】さらに加えて、本発明のインクジェット記
録装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器
の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と
組み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するフ
ァクシミリ装置の形態を採るものであってもよい。

【００７１】以上説明した本発明の実施例においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体とな
るもの、或いは、インクジェットにおいて一般的に行な
われている温度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃
以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるものでもよ
い。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状をな
すものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーに
よる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化の
エネルギーとして使用せしめることで防止するか、また
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによ
って初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用
可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に
液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換
体に対して対向するような形態としてもよい。本発明に
おいては、上述した各インクに対して最も有効なもの
は、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００７２】

【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、次に記載するような効果を奏する。

【００７３】型締めした際に、基板と成形型の当接部と
の間に除去可能な固体層が介在しており、しかも固体層
に前記当接部がめり込んだ際に前記固体層が変形して凹
凸面の凹部へ入り込むため、基板に加わる押圧力が低減
される。その結果、基板にダメージを与えることなくバ
リやフラッシュの発生が防止でき、ひいては高品位の液
体噴射記録ヘッドを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によって製造する液体噴射記録ヘッドの
一例を示す模式斜視図である。

【図２】本発明の第１実施例における基板に除去可能な
固体層を形成する工程を示す模式断面図である。

【図３】本発明の第１実施例においてトランスファー成
形後型開きした状態を示すトランスファー成形型の模式
断面図である。

【図４】第１実施例のトランスファー成形型主要部の模
式断面図である。

【図５】第１実施例の一工程を示し固体層を除去する前
の液体噴射記録ヘッドの模式断面図である。

【図６】第１実施例によって製造された液体噴射記録ヘ
ッドの模式断面図である。

【図７】第１実施例の第１変形例を示す説明図である。

【図８】第１実施例の第２変形例を示す説明図である。

【図９】第１実施例の第３変形例を示す説明図である。

【図１０】第１実施例の第４変形例を示す説明図であ
る。

【図１１】本発明の第２実施例によって製造された液体
噴射記録ヘッドの模式断面図である。

【図１２】第２実施例における一工程を示し、型締めし
た型の模式部分断面図である。

【図１３】本発明の第３実施例によって製造された液体
噴射記録ヘッドの模式断面図である。

【図１４】第３実施例における一工程を示し、型締めし
た型の模式部分断面図である。

【図１５】従来の液体噴射記録ヘッドの一例を示す模式
斜視図である。

【図１６】従来の液体噴射記録ヘッドの製造方法によっ
て製造された液体噴射記録ヘッドの模式断面図である。

【図１７】従来の液体噴射記録ヘッドの製造方法におけ
る型締めした型内において樹脂層を形成した状態を示す
説明図である。

【符号の説明】

１，６１，８１ 基板 １ａ 電気接続部 ２ａ 電気熱変換体 ２ｂ 電気配線 ２ｃ 電極 ３ 樹脂層 ４，６４，８４ 共通液室 ５，６５，８５ 液流路 ６，６６，８６ 吐出口 ７，６７，８７ 供給口 ８，６８，８８ 吐出口面 １１，７１，９１ 第１固体層 １２，７２，９２ 第２固体層 １３，７３，９３ 第３固体層 １４，７４，９４ 一方の型 １４ａ，１５ａ，７４ａ，９４ａ キャビティ １５，７５，９５ 他方の型 １６，７６ 第１突出部材 １６ａ，１７ａ，２６ａ，３６ａ，４６ａ，５６ａ，７
６ａ，７７ａ，９６ａ当接部 １６ｂ，１７ｂ，２６ｂ，３６ｂ，９２ａ 凹部 １７，７７ 第２突出部材 ２６，３６，４６，５６，９６ 突出部材 ５６ｂ 間隙部 ９７ 段差部

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に除去可能な固体層を形成したの
   ち、前記固体層が形成された基板を樹脂層を形成するた
   めのキャビティを有する分割型式の成形型の前記キャビ
   ティ内に挿入して型締めし、ついで前記キャビティへ樹
   脂材料を注入して硬化させて前記基板に前記樹脂層を一
   体成形したのち、型開きして前記樹脂層が一体成形され
   た基板を取り出し、前記固体層を除去することによって
   前記樹脂層に中空部を形成する液体噴射記録ヘッドの製
   造方法において、 前記成形型は型締めした際に前記固体層にめり込む当接
   部を備えており、しかも前記当接部の形状が凹凸面であ
   ることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 凹凸面が、中央部に形成された凹部およ
   び該凹部を囲む周縁部からなることを特徴とする請求項
   １記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 凹凸面が、互いに間隔をおいて配設され
   た複数の凸部およびその間隙部からなることを特徴とす
   る請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 凹凸面のかわりに、基板面に対して傾斜
   した傾斜面としたことを特徴とする請求項１記載の液体
   噴射記録ヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】 樹脂層をトランスファー成形することを
   特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の液体噴
   射記録ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 中空部が共通液室およびこれに連通され
   た液流路であることを特徴とする請求項１ないし５いず
   れか１項記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 基板上に除去可能な固体層を形成する前
   に、基板上の液流路に対応する部位に吐出エネルギー発
   生素子を配設しておくことを特徴とする請求項６記載の
   液体噴射記録ヘッドの製造方法。
8. 【請求項８】 吐出エネルギー発生素子が電気熱変換体
   であることを特徴とする請求項７記載の液体噴射記録ヘ
   ッドの製造方法。