JPH09239635A

JPH09239635A - Ｘｙ位置決めテーブル装置

Info

Publication number: JPH09239635A
Application number: JP7303096A
Authority: JP
Inventors: Ikuhisa Miwa; 育久三輪; Isao Ochiai; 功落合
Original assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Current assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Priority date: 1996-03-05
Filing date: 1996-03-05
Publication date: 1997-09-16

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、Ｘテーブルの軽量化を達成し、Ｘ
テーブルの慣性力を低減して高速化、高加速度化、高精
度の位置決めや応答性を向上させたＸＹ位置決めテーブ
ル装置を提供することである。【解決手段】このＸＹ位置決めテーブル装置は、Ｙ軸
用駆動モータ３をＸテーブル２を設置したベッド５上に
配置し、Ｙ軸用駆動モータ３からの駆動力をボールスプ
ライン１５，１６と傘歯車１７，１８を介してＹテーブ
ル１の駆動用ボールねじ１２に伝達する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置、検
査装置、搬送装置、工作機械等の各種装置に適用される
互いに直交方向に相対移動できるＸテーブルとＹテーブ
ルから成るＸＹ位置決めテーブル装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、メカトロ技術の発展が目覚まし
く、当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直
動転がり案内ユニットがある。直動転がり案内ユニット
は、現在では、半導体製造装置、検査装置、移載装置、
搬送装置、産業用ロボット等の各技術分野に組み込まれ
て使用されているが、技術の発展と共にその用途は拡大
している。そして、直動転がり案内ユニットを組み込ん
だＸＹ位置決めテーブル装置は、高精度位置決め、高速
摺動化、高加速度摺動化、小型化等の要求が益々高まっ
ている。従来、直線運動を案内して位置決めする直動用
位置決めテーブルやＸＹ位置決めテーブル装置は、電子
産業と共に、組立装置等に多く使用されている。特に、
半導体製造装置では、より高速で、より高加速度の位置
決めテーブル装置が要求されている。

【０００３】従来のＸＹ位置決めテーブル装置として、
図１５に示すようなものが知られている。該ＸＹ位置決
めテーブル装置は、ベッド１０５上に固定された軌道レ
ール１０６、軌道レール１０６上をスライダ１１３を介
して往復動するＸテーブル１０２、Ｘテーブル１０２上
の支持台１１４に固定された軌道レール１０８、軌道レ
ール１０８上をスライダ１０７を介して往復動するＹテ
ーブル１０１、ベッド１０５に取り付けられたＸ軸用駆
動モータ１０４、及びＸテーブル１０２に取り付けられ
たＹ軸用駆動モータ１０３を有する。更に、ＸＹ位置決
めテーブル装置は、Ｙ軸用駆動モータ１０３で回転駆動
されるＸテーブル１０２上の支持台１１４に軸受１１１
を介して回転可能に支持されたボールねじ軸１１２、及
びＸ軸用駆動モータ１０４で回転駆動されるベッド１０
５上に軸受１１０を介して回転可能に支持されたボール
ねじ軸１０９を有する。Ｘテーブル１０２は、ボールね
じ軸１０９の回転に応じてボールねじ軸１０９上を移動
し、またＹテーブル１０１は、ボールねじ軸１１２の回
転に応じてボールねじ軸１１２上を移動する。

【０００４】従来の直動転がり案内ユニット８０は、例
えば、図１３に示すように、長手方向両側面８９に軌道
溝８８を形成した軌道レール８１と、軌道レール８１上
を跨架して摺動可能に装着されたスライダ８２とから構
成されている。スライダ８２は、軌道レール８１に対し
て相対的に摺動可能であり且つ各軌道溝８８に対向する
位置に軌道溝８７を形成したケーシング８３、対向する
軌道溝８７，８８間で相対移動可能に転動する多数の転
動体８４、及びケーシング８３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取り付けたエンドキャップ８５を有して
いる。各エンドキャップ８５には、軌道レール８１とス
ライダ８２との間の長手方向のシールを達成するエンド
シール８６が取り付けられている。

【０００５】従来のボールねじ９０は、例えば、図１４
に示すように、チューブ式のものが知られており、雄ね
じ９３を形成したねじ軸９１にナット９２が螺入されて
往復動するものである。ナット９２には、チューブ９５
がチューブ押さえ９６で固定されており、多数の鋼球９
４がチューブ９５とナット９２のねじ溝とを循環移動す
るように装填されている。ねじ軸９１又はナット９２が
回転すると、ナット９２のねじ溝間に介在した多数の鋼
球９４が転動し、ねじ軸９１とナット９２とが相対移動
するように構成されている。

【０００６】また、実開平４−８６１４１号公報には、
ＸＹ駆動装置が開示されている。該ＸＹ駆動装置は、案
内レールを設けたＸ方向の第１テーブル、及び該第１テ
ーブルに直交するＹ方向の第２テーブルを備えている。
第１テーブルは、第２テーブルを案内レールにそって直
線移動させる移動部材、該移動部材にモータの回転駆動
力を伝達させる第１駆動機構、該第１駆動機構と平行に
設けられて第２のモータの回転駆動力が付与されるスプ
ライン軸、該スプライン軸に軸方向に移動自在に係合さ
れると共に第２テーブルに設けられた第２駆動機構に駆
動力を伝達させるウォーム歯車等の変換部材から構成さ
れている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、直線
運動を案内して位置決めする直線用位置決めテーブル
や、直交方向のテーブルを持つＸＹ位置決めテーブル装
置は、電子産業の製造装置の発達と共に、その製造装置
や半導体製造装置に多く組み込まれて使用されるように
なり、より高速で、より高加速度で、しかもより高精度
に位置決めすることが求められるようになった。

【０００８】そこで、従来のＸＹ位置決めテーブル装置
としては、可動テーブルの軽量化と駆動モータの容量ア
ップで対応することが考えられるが、しかしながら、従
来のＸＹ位置決めテーブル装置では、図１５に示すよう
に、Ｘテーブル１０２の上に固定された支持台１１４に
Ｙテーブル１０１が搭載されて摺動移動することによ
り、Ｘテーブル１０２にＹテーブル１０１のＹ軸用駆動
モータ１０３等を含めた荷重が加わるため、Ｘテーブル
１０２のＸ軸用駆動モータ１０４の能力を大きく構成す
る必要があり、装置全体が大型化し、運転速度を低くし
なければならないという問題がある。しかも、Ｘテーブ
ル１０２に搭載する部品が大型化するため、Ｘテーブル
１０２を駆動するＸ軸用駆動モータ１０４の能力アップ
のみでなく、それに付随してボールねじ軸１０９等の軸
径や剛性をアップしなければならない。また、Ｘテーブ
ル１０２の直線移動に伴って、Ｙ軸用駆動モータ１０３
やそれに接続されたコード等の断線の発生、或いはＸテ
ーブル１０２の移動に伴う慣性力が増大し、応答性を悪
化させるという問題が発生する。

【０００９】また、前掲実開平４−８６１４１号公報に
開示されたＸＹ駆動装置では、ＸテーブルからＹテーブ
ルが直角方向に長く飛び出すため、重量バランスが悪
く、ＸテーブルやＹテーブルを高速で移動させたり、高
加速度で移動させると、振動が発生し、位置決めテーブ
ル装置として安定性に欠けるという問題がある。更に、
上記ＸＹ駆動装置では、Ｘテーブルにボールスプライン
軸、ボールねじ軸とが上下に配設されているため、ボー
ルスプライン軸の上にウォーム歯車を介在させているた
め、装置自体が嵩高になり、同様に重量バランスを悪化
させる要因になり、高速、高加速度に対応できないとい
う不安定さを有している。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明の目的は、上記
課題を解決することであり、Ｙ軸用駆動モータをＸテー
ブルを設置したベッド上に配置し、Ｙ軸用駆動モータか
らの駆動力をボールスプラインと傘歯車を介してＹテー
ブルの駆動用ボールねじに伝達し、Ｘテーブルの軽量化
を達成し、Ｘテーブルの慣性力を低減して高速化、高加
速度化、高精度の位置決めや応答性を向上させたＸＹ位
置決めテーブル装置を提供することである。

【００１１】この発明は、ベッド上に固定された複数の
第１軌道レール、前記第１軌道レール上を第１スライダ
を介して往復動するＸテーブル、前記Ｘテーブル上に固
定された複数の第２軌道レール、前記第２軌道レール上
を第２スライダを介して往復動するＹテーブル、前記ベ
ッドに取り付けられたＸ軸用駆動モータとＹ軸用駆動モ
ータ、前記Ｙ軸用駆動モータで回転駆動される前記ベッ
ド上に回転可能に支持されたボールスプライン軸、前記
Ｘ軸用駆動モータで回転駆動される前記ベッド上に回転
可能に支持された第１ボールねじ軸、前記Ｘテーブル上
に回転可能に支持され且つ前記ボールスプライン軸の回
転運動が回転伝達装置を介して伝達される第２ボールね
じ軸、前記第１ボールねじ軸の回転に応じて前記第１ボ
ールねじ軸上を移動する前記Ｘテーブルに固定された第
１ボールねじナット、及び前記第２ボールねじ軸の回転
に応じて前記第２ボールねじ軸上を移動する前記Ｙテー
ブルに固定された第２ボールねじナット、から成るＸＹ
位置決めテーブル装置に関する。

【００１２】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、前記Ｙテーブルが往復動するＹ軸方向は、前記Ｘテ
ーブルが往復動するＸ軸方向に対して直交する方向に設
定されている。

【００１３】また、前記ＸテーブルのＸ軸方向の位置決
めは、前記Ｘ軸用駆動モータで回転駆動する前記第１ボ
ールねじ軸上を往復動する前記第１ボールねじナットの
停止位置によって決定されるものである。更に、前記Ｙ
テーブルのＹ軸方向の位置決めは、前記Ｙ軸用駆動モー
タで回転駆動する前記第２ボールねじ軸上を往復動する
前記第２ボールねじナットの停止位置によって決定され
るものである。

【００１４】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、前記回転伝達装置は、ボールスプライン軸に摺動可
能に嵌合され且つ前記Ｘテーブルに固定したボールスプ
ラインハウジングに回転自在に支持されたボールスプラ
イン筒体、及び歯車装置から構成されている。また、前
記歯車装置は、前記ボールスプライン筒体に固定された
第１傘歯車と前記第１歯車と噛み合う前記第２ボールね
じ軸に固定された第２傘歯車とから構成されている。

【００１５】更に、前記スライダは、前記軌道レールの
軌道溝に対向する軌道溝を備えた前記軌道レール上を相
対摺動するケーシング、前記両軌道溝で構成されるそれ
ぞれの軌道路を転走する転動体、及び前記ケーシングの
両端面に固定された前記転動体が方向を転換するための
方向変換路と前記転動体を潤滑するための潤滑油通路を
備えたエンドキャップから構成されている。

【００１６】また、このＸＹ位置決めテーブル装置にお
いて、前記ボールスプライン軸と前記第１ボールねじ軸
とは前記ベッド上の平面上に隔置して配置され、前記前
記ボールスプライン軸は前記ベッド上で前記Ｘテーブル
の側方に位置し、前記第１ボールねじ軸は前記Ｘテーブ
ルの下方に位置しているものである。

【００１７】このＸＹ位置決めテーブル装置は、上記の
ように、Ｙテーブルを搭載するＸテーブルにはＹ軸用駆
動モータが設けられておらず、Ｙ軸用駆動モータがベッ
ド上に静止して設置され、Ｙ軸用駆動モータ及びそれに
付随するコード類も移動することなく、それに付随する
コード類を適宜の場所に固定しておくことができ、Ｘテ
ーブルやＹテーブルの移動体の構造をコンパクトに構成
でき、Ｘテーブルの荷重を大幅に低減でき、Ｘテーブル
の慣性力が大幅に低減され、ＹテーブルとＸテーブルと
の高速化、高加速度化を達成でき、しかも、高精度の位
置決めのテーブルを得ることができ、Ｘテーブル及びＹ
テーブルの応答性を向上できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図７を参照して、こ
の発明によるＸＹ位置決めテーブル装置の実施例を説明
する。図１はこの発明によるＸＹ位置決めテーブル装置
の一実施例を示す平面図、図２は図１の線Ａ−Ａにおけ
る断面図、図３は図１の線Ｂ−Ｂにおける断面図、図４
は図１の線Ｃ−Ｃにおける断面図、図５は図２の要部の
拡大断面図、図６は図４の要部の拡大断面図、及び図７
は図１の符号Ｄ領域の拡大平面図である。

【００１９】このＸＹ位置決めテーブル装置は、主とし
て、ベッド５上でＸ軸方向に直線移動するＸテーブル
２、及びＸテーブル２上でＸ軸方向に直交するＹ軸方向
に直線移動するＹテーブル１から構成されている。ベッ
ド５上には、複数（図１では４本）のトラックレール即
ち軌道レール６が互いに平行にボルト等で固定されてい
る。Ｘテーブル２の下面にはスライダ１３が固定され、
スライダ１３は軌道レール６に跨架して摺動移動でき、
従って、Ｘテーブル２はスライダ１３を介して軌道レー
ル６上をＸ軸方向に往復動するように配設されている。
また、Ｘテーブル２上には、複数（図１では２本）のト
ラックレール即ち軌道レール８が互いに平行にボルト等
で固定されている。Ｙテーブル１の下面にはスライダ７
が固定され、スライダ７は軌道レール８に跨架して摺動
移動でき、従って、Ｙテーブル１は、スライダ７を介し
てＸ軸方向に直交するＹ軸方向に往復動するように配設
されている。従って、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、Ｘテーブル２とＹテーブル１とは、ベッド５に対し
てそれぞれ独立して直交方向に相対移動でき、Ｘテーブ
ル２上のＹテーブル１上に取り付けられた機器は平面上
の所定の位置に移動し位置決めできる。

【００２０】このＸＹ位置決めテーブル装置では、Ｘテ
ーブル２とＹテーブル１の移動領域外のベッド５に対し
てＸ軸用駆動モータ４とＹ軸用駆動モータ３とが取り付
けられている。ベッド５上には、図１４に示すようなボ
ールねじによってＸテーブル２がＸ軸方向に直線往復移
動することができる。また、Ｘテーブル２上には、同様
に、図１４に示すようなボールねじによってＹテーブル
１がＹ軸方向に直線往復移動することができる。ボール
ねじは、ボールねじ軸９，１２及びボールねじ軸９，１
２上に鋼球を介して直線往復移動できるボールねじナッ
ト２１，２２から構成されている。ボールねじナット２
１はＸテーブル２の下面にねじ等で固定されている。ま
た、ボールねじナット２２はＹテーブル１の下面にねじ
等で固定されている。

【００２１】このＸＹ位置決めテーブル装置では、ベッ
ド５上にはＸテーブル２の下方に配置されたボールねじ
軸９が支持軸受１０を介して回転可能に支持され、Ｘ軸
用駆動モータ４はカップリング２０を介してボールねじ
軸９に連結され、ボールねじ軸９はＸ軸用駆動モータ４
によって回転駆動される。Ｘテーブル２上には、ボール
ねじ軸１２が支持軸受１１を介して回転可能に支持さ
れ、ボールねじ軸１２はＹ軸用駆動モータ３によって回
転伝達装置を介して回転駆動される。ボールねじ軸９に
は、Ｘテーブル２に固定されたボールねじナット２１が
螺合している。従って、ボールねじナット２１は、ボー
ルねじ軸９の回転に応じてボールねじ軸９上をＸ軸方向
に往復動することができ、ボールねじナット２１の往復
動はＸテーブル２の往復動となる。また、ボールねじ軸
１２には、Ｙテーブル１に固定されているボールねじナ
ット２２が螺合している。従って、ボールねじナット２
２は、ボールねじ軸１２の回転に応じてボールねじ軸１
２上をＹ軸方向に往復動することができ、ボールねじナ
ット２２の往復動はＹテーブル１の往復動となる。

【００２２】Ｙ軸用駆動モータ３の回転駆動力をボール
ねじ軸１２に伝達する上記回転伝達装置は、ボールスプ
ラインと歯車装置によって構成されている。ボールスプ
ラインは、ボールスプライン軸１５とボールスプライン
筒体２３から構成されている。Ｙ軸用駆動モータ３は、
ボールスプライン軸１５にカップリング１９を介して連
結されている。ボールスプラインは、例えば、図８、図
９、図１０、図１１又は図１２に示すものが利用でき、
ベッド５上に支持軸受１４によって回転可能に支持され
たボールスプライン軸１５、及びボールスプライン軸１
５に非回転状態に摺動可能に取り付けられたボールスプ
ライン筒体２３から構成されている。従って、ボールス
プライン軸１５とボールねじ軸９とは、ベッド５上の平
面上に隔置して配置され、ボールスプライン軸１５はベ
ッド５上でＸテーブル２の側方に位置し、ボールねじ軸
９はＸテーブル２の下方に位置している。ボールスプラ
イン筒体２３は、Ｘテーブル２に固定したボールスプラ
インハウジング１６に軸受２４（図２）を介して回転自
在に支持されている。また、歯車装置は、ボールスプラ
イン筒体２３に固定された傘歯車１７と、傘歯車１７に
直角方向に噛み合うボールねじ軸１２に固定された傘歯
車１８とから構成されている。従って、ボールスプライ
ン軸１５の回転運動は、ボールスプライン筒体２３、傘
歯車１７及び傘歯車１８を通じてボールねじ軸１２の回
転運動として伝達される。

【００２３】このＸＹ位置決めテーブル装置では、Ｙテ
ーブル１が往復動するＹ軸方向は、Ｘテーブル２が往復
動するＸ軸方向に対して直交する方向に設定されてい
る。Ｘテーブル２のＸ軸方向の位置決めは、Ｘ軸用駆動
モータ４で回転駆動するボールねじ軸９上を往復動する
ボールねじナット２１の停止位置によって決定される。
更に、Ｙテーブル１のＹ軸方向の位置決めは、Ｙ軸用駆
動モータ３で回転伝達装置を介して回転駆動するボール
ねじ軸１２上を往復動するボールねじナット２２の停止
位置によって決定される。このＸＹ位置決めテーブル装
置において、Ｙテーブル１及びＸテーブル２の直線位置
決めは、具体的には、コントローラの指令で行われるも
のであり、ＤＣモータやステッピングモータから成るＹ
軸用駆動モータ３とＸ軸用駆動モータ４の駆動で行わ
れ、Ｘテーブル２とＹテーブル１の位置を検出するエン
コーダ等のセンサーやリミットスイッチ等が利用され
る。

【００２４】このＸＹ位置決めテーブル装置において、
スライダ７，１３は、図１３に示すような直動転がり案
内ユニット８０におけるスライダ８２を適用できるもの
である。即ち、スライダ８２（７，１３）は、軌道レー
ル８１（６，８）に対して相対的に摺動可能であり且つ
各軌道溝８８に対向する位置に軌道溝８７を形成したケ
ーシング８３、対向する軌道溝８７，８８間で相対移動
可能に転動する多数の転動体８４、及び転動体８４が方
向を転換するための方向変換路を備え且つケーシング８
３の摺動方向即ち長手方向両端にそれぞれ取り付けたエ
ンドキャップ８５を有している。エンドキャップ８５に
は、軌道レール８１とスライダ８２との間の長手方向の
シールを達成するエンドシール８６が取り付けられてい
る。

【００２５】このＸＹ位置決めテーブル装置において、
ボールスプラインの一例としては、例えば、図８に示す
ように、二条列の軌道を有するボールスプライン５０を
適用できる。ボールスプライン５０は、軌道溝５８を備
えたスプライン軸５２及びスプライン軸５２上を相対運
動可能に取り付けた外筒５１から成る。外筒５１は、外
筒本体５３、その両端に取り付けた方向変換路５９を形
成したエンドキャップ５５、エンドキャップ５５の端面
に取り付けた側面シール５６及びスプライン軸５２と外
筒本体５３との間を転走するボール５７を有している。
外筒本体５３には、軌道溝５８に対応する軌道溝４９、
ボール５７が循環するためのリターン通路４８及びキー
溝５４が形成されている。

【００２６】また、このＸＹ位置決めテーブル装置にお
いて、ボールスプラインの別の例としては、例えば、図
９及び図１０に示すように、三条列の軌道を有するボー
ルスプライン６０を適用できる。ボールスプライン６０
は、軌道溝６８を備えたスプライン軸６２及びスプライ
ン軸６２上を相対運動可能に取り付けた外筒６１から成
る。外筒６１は、外筒本体６３、その両端に取り付けた
方向変換路４７を形成したエンドキャップ６５、エンド
キャップ６５の端面に取り付けた側面シール６６及びス
プライン軸６２と外筒本体６３との間を転走するボール
６７を有している。外筒本体６３には、軌道溝６８に対
応する軌道溝６９、ボール６７が循環するためのリター
ン通路４６及びキー溝６４が形成されている。外筒本体
６３は、キー溝６４を使用して軸受のハウジング等に固
定される。

【００２７】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、図１１に示すようなボールスプライン７１が適用で
きる。ボールスプライン７１は、例えば、図９に示すタ
イプのボールスプラインであり、スプライン軸６２上を
相対運動可能に装着された外筒７２は取付フランジ部７
３を備えたものである。

【００２８】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、図１２に示すようなボールスプライン７４が適用で
きる。ボールスプライン７４は、例えば、図９に示すタ
イプのボールスプラインであり、スプライン軸６２上を
相対運動可能に装着された外筒７５には、傘歯車７６が
固着されている。傘歯車７６は、図１に示す傘歯車１７
を構成することができるものである。外筒７５と傘歯車
７６とを一体に設けることによって、ボールスプライン
の構造自体がコンパクトになり、組立誤差が無くなり、
高精度の位置決めが達成できる。

【００２９】

【発明の効果】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装
置は、上記のように、Ｘテーブル上でＹ軸方向に移動す
るＹテーブルがベッドに取り付けられたＹ軸用駆動モー
タによって回転伝達装置を介してＸテーブル上に回転可
能に支持されたボールねじ軸を駆動することによって往
復動されるので、装置自体の高さを低く構成することが
できると共に、Ｙテーブルを搭載するＸテーブルにはＹ
軸用駆動モータが設けられておらず、Ｙ軸用駆動モータ
及びそれに付随するコード類も移動することなく、Ｙ軸
用駆動モータがベッド上に静止して設置される。従っ
て、このＸＹ位置決めテーブル装置では、Ｘテーブルに
載置される荷重を低減でき、慣性力を小さく構成でき、
Ｙテーブルの高速化、高加速度化、高精度の位置決めが
達成でき、応答性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置の一
実施例を示す平面図である。

【図２】図１の線Ａ−Ａにおける断面図である。

【図３】図１の線Ｂ−Ｂにおける断面図である。

【図４】図１の線Ｃ−Ｃにおける断面図である。

【図５】図２の要部の拡大断面図である。

【図６】図４の要部の拡大断面図である。

【図７】図１の符号Ｄ領域の拡大平面図である。

【図８】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に組
み込まれたボールスプラインの一実施例を示す一部破断
の斜視図である。

【図９】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に組
み込まれたボールスプラインの別の実施例を示す一部破
断の斜視図である。

【図１０】図９のボールスプラインの正面図である。

【図１１】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に
組み込まれたボールスプラインの他の実施例を示す説明
図である。

【図１２】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に
組み込まれたボールスプラインの更に他の実施例を示す
説明図である。

【図１３】従来の直動転がり案内ユニットを示す斜視図
である。

【図１４】従来のボールねじを示す斜視図である。

【図１５】従来のＸＹ位置決めテーブル装置を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１Ｙテーブル２Ｘテーブル３Ｙ軸駆動用モータ４Ｘ軸駆動用モータ５ベッド６，８軌道レール７，１３スライダ９，１２ボールねじ軸１０，１１，１４支持軸受１５ボールスプライン軸１６ボールスプラインハウジング１７，１８傘歯車１９，２０カップリング２１，２２ボールねじナット２３ボールスプライン筒体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベッド上に固定された複数の第１軌道レ
ール、前記第１軌道レール上を第１スライダを介して往
復動するＸテーブル、前記Ｘテーブル上に固定された複
数の第２軌道レール、前記第２軌道レール上を第２スラ
イダを介して往復動するＹテーブル、前記ベッドに取り
付けられたＸ軸用駆動モータとＹ軸用駆動モータ、前記
Ｙ軸用駆動モータで回転駆動される前記ベッド上に回転
可能に支持されたボールスプライン軸、前記Ｘ軸用駆動
モータで回転駆動される前記ベッド上に回転可能に支持
された第１ボールねじ軸、前記Ｘテーブル上に回転可能
に支持され且つ前記ボールスプライン軸の回転運動が回
転伝達装置を介して伝達される第２ボールねじ軸、前記
第１ボールねじ軸の回転に応じて前記第１ボールねじ軸
上を移動する前記Ｘテーブルに固定された第１ボールね
じナット、及び前記第２ボールねじ軸の回転に応じて前
記第２ボールねじ軸上を移動する前記Ｙテーブルに固定
された第２ボールねじナットから成るＸＹ位置決めテー
ブル装置。
【請求項２】前記Ｙテーブルが往復動するＹ軸方向
は、前記Ｘテーブルが往復動するＸ軸方向に対して直交
する方向に設定されている請求項１に記載のＸＹ位置決
めテーブル装置。
【請求項３】前記ＸテーブルのＸ軸方向の位置決めは
前記Ｘ軸用駆動モータで回転駆動する前記第１ボールね
じ軸上を往復動する前記第１ボールねじナットの停止位
置によって決定される請求項１に記載のＸＹ位置決めテ
ーブル装置。
【請求項４】前記ＹテーブルのＹ軸方向の位置決めは
前記Ｙ軸用駆動モータで回転駆動する前記第２ボールね
じ軸上を往復動する前記第２ボールねじナットの停止位
置によって決定される請求項１に記載のＸＹ位置決めテ
ーブル装置。
【請求項５】前記回転伝達装置は、ボールスプライン
軸に摺動可能に嵌合され且つ前記Ｘテーブルに固定した
ボールスプラインハウジングに回転自在に支持されたボ
ールスプライン筒体及び歯車装置から構成されている請
求項１に記載のＸＹ位置決めテーブル装置。
【請求項６】前記歯車装置は、前記ボールスプライン
筒体に固定された第１傘歯車と前記第１傘歯車と噛み合
う前記第２ボールねじ軸に固定された第２傘歯車とから
構成されている請求項５に記載のＸＹ位置決めテーブル
装置。
【請求項７】前記スライダは、前記軌道レールの軌道
溝に対向する軌道溝を備えた前記軌道レール上を相対摺
動するケーシング、前記両軌道溝で構成されるそれぞれ
の軌道路を転走する転動体、及び前記ケーシングの両端
面に固定された前記転動体が方向を転換するための方向
変換路と前記転動体を潤滑するための潤滑油通路を備え
たエンドキャップから構成されている請求項１に記載の
ＸＹ位置決めテーブル装置。
【請求項８】前記ボールスプライン軸と前記第１ボー
ルねじ軸とは前記ベッド上の平面上に隔置して配置さ
れ、前記前記ボールスプライン軸は前記ベッド上で前記
Ｘテーブルの側方に位置し、前記第１ボールねじ軸は前
記Ｘテーブルの下方に位置している請求項１〜７のいず
れか１項に記載のＸＹ位置決めテーブル装置。