JPH09239635A - Xy positioning table device - Google Patents
Xy positioning table deviceInfo
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- JPH09239635A JPH09239635A JP7303096A JP7303096A JPH09239635A JP H09239635 A JPH09239635 A JP H09239635A JP 7303096 A JP7303096 A JP 7303096A JP 7303096 A JP7303096 A JP 7303096A JP H09239635 A JPH09239635 A JP H09239635A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置、検
査装置、搬送装置、工作機械等の各種装置に適用される
互いに直交方向に相対移動できるＸテーブルとＹテーブ
ルから成るＸＹ位置決めテーブル装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an XY positioning table device composed of an X table and a Y table which can be relatively moved in directions orthogonal to each other, which is applied to various devices such as a semiconductor manufacturing device, an inspection device, a transfer device and a machine tool. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、メカトロ技術の発展が目覚まし
く、当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直
動転がり案内ユニットがある。直動転がり案内ユニット
は、現在では、半導体製造装置、検査装置、移載装置、
搬送装置、産業用ロボット等の各技術分野に組み込まれ
て使用されているが、技術の発展と共にその用途は拡大
している。そして、直動転がり案内ユニットを組み込ん
だＸＹ位置決めテーブル装置は、高精度位置決め、高速
摺動化、高加速度摺動化、小型化等の要求が益々高まっ
ている。従来、直線運動を案内して位置決めする直動用
位置決めテーブルやＸＹ位置決めテーブル装置は、電子
産業と共に、組立装置等に多く使用されている。特に、
半導体製造装置では、より高速で、より高加速度の位置
決めテーブル装置が要求されている。2. Description of the Related Art In recent years, the development of mechatronics technology has been remarkable, and there is a linear motion rolling guide unit as a basic and general-purpose device supporting the technology. Linear motion rolling guide units are currently used in semiconductor manufacturing equipment, inspection equipment, transfer equipment,
It is used by being incorporated into each technical field such as a carrier device and an industrial robot, and its applications are expanding with the development of the technology. Further, in the XY positioning table device incorporating the linear motion rolling guide unit, demands for high-accuracy positioning, high-speed sliding, high-acceleration sliding, downsizing, etc. are increasing more and more. Conventionally, linear motion positioning tables and XY positioning table devices for guiding and positioning linear motions have been widely used in assembling devices and the like in the electronic industry. Especially,
In semiconductor manufacturing equipment, a positioning table device with higher speed and higher acceleration is required.
【０００３】従来のＸＹ位置決めテーブル装置として、
図１５に示すようなものが知られている。該ＸＹ位置決
めテーブル装置は、ベッド１０５上に固定された軌道レ
ール１０６、軌道レール１０６上をスライダ１１３を介
して往復動するＸテーブル１０２、Ｘテーブル１０２上
の支持台１１４に固定された軌道レール１０８、軌道レ
ール１０８上をスライダ１０７を介して往復動するＹテ
ーブル１０１、ベッド１０５に取り付けられたＸ軸用駆
動モータ１０４、及びＸテーブル１０２に取り付けられ
たＹ軸用駆動モータ１０３を有する。更に、ＸＹ位置決
めテーブル装置は、Ｙ軸用駆動モータ１０３で回転駆動
されるＸテーブル１０２上の支持台１１４に軸受１１１
を介して回転可能に支持されたボールねじ軸１１２、及
びＸ軸用駆動モータ１０４で回転駆動されるベッド１０
５上に軸受１１０を介して回転可能に支持されたボール
ねじ軸１０９を有する。Ｘテーブル１０２は、ボールね
じ軸１０９の回転に応じてボールねじ軸１０９上を移動
し、またＹテーブル１０１は、ボールねじ軸１１２の回
転に応じてボールねじ軸１１２上を移動する。As a conventional XY positioning table device,
The one shown in FIG. 15 is known. The XY positioning table device includes a track rail 106 fixed on a bed 105, an X table 102 reciprocating on the track rail 106 via a slider 113, and a track rail 108 fixed to a support base 114 on the X table 102. A Y table 101 that reciprocates on a track rail 108 via a slider 107, an X-axis drive motor 104 attached to a bed 105, and a Y-axis drive motor 103 attached to an X table 102. Further, in the XY positioning table device, the bearing 111 is mounted on the support base 114 on the X table 102 which is rotationally driven by the Y-axis drive motor 103.
Bed 10 that is rotatably driven by a ball screw shaft 112 that is rotatably supported via a shaft and an X-axis drive motor 104.
5 has a ball screw shaft 109 rotatably supported via a bearing 110. The X table 102 moves on the ball screw shaft 109 according to the rotation of the ball screw shaft 109, and the Y table 101 moves on the ball screw shaft 112 according to the rotation of the ball screw shaft 112.
【０００４】従来の直動転がり案内ユニット８０は、例
えば、図１３に示すように、長手方向両側面８９に軌道
溝８８を形成した軌道レール８１と、軌道レール８１上
を跨架して摺動可能に装着されたスライダ８２とから構
成されている。スライダ８２は、軌道レール８１に対し
て相対的に摺動可能であり且つ各軌道溝８８に対向する
位置に軌道溝８７を形成したケーシング８３、対向する
軌道溝８７，８８間で相対移動可能に転動する多数の転
動体８４、及びケーシング８３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取り付けたエンドキャップ８５を有して
いる。各エンドキャップ８５には、軌道レール８１とス
ライダ８２との間の長手方向のシールを達成するエンド
シール８６が取り付けられている。A conventional linear motion rolling guide unit 80, for example, as shown in FIG. 13, slides on a track rail 81 having track grooves 88 formed on both sides 89 in the longitudinal direction and on the track rail 81. The slider 82 is mounted so as to be possible. The slider 82 is slidable relative to the track rail 81, and is relatively movable between the casing 83 in which the track groove 87 is formed at a position facing each track groove 88 and the facing track grooves 87, 88. It has a large number of rolling elements 84 that roll, and end caps 85 attached to both ends of the casing 83 in the sliding direction, that is, the longitudinal direction. Attached to each end cap 85 is an end seal 86 that achieves a longitudinal seal between the track rail 81 and the slider 82.
【０００５】従来のボールねじ９０は、例えば、図１４
に示すように、チューブ式のものが知られており、雄ね
じ９３を形成したねじ軸９１にナット９２が螺入されて
往復動するものである。ナット９２には、チューブ９５
がチューブ押さえ９６で固定されており、多数の鋼球９
４がチューブ９５とナット９２のねじ溝とを循環移動す
るように装填されている。ねじ軸９１又はナット９２が
回転すると、ナット９２のねじ溝間に介在した多数の鋼
球９４が転動し、ねじ軸９１とナット９２とが相対移動
するように構成されている。A conventional ball screw 90 is shown in FIG.
As shown in FIG. 2, a tube type is known, and a nut 92 is screwed into a screw shaft 91 having a male screw 93 to reciprocate. The nut 92 has a tube 95
Is fixed by a tube retainer 96, and a large number of steel balls 9
4 is loaded so as to circulate in the tube 95 and the thread groove of the nut 92. When the screw shaft 91 or the nut 92 rotates, a large number of steel balls 94 interposed between the screw grooves of the nut 92 roll and the screw shaft 91 and the nut 92 move relative to each other.
【０００６】また、実開平４−８６１４１号公報には、
ＸＹ駆動装置が開示されている。該ＸＹ駆動装置は、案
内レールを設けたＸ方向の第１テーブル、及び該第１テ
ーブルに直交するＹ方向の第２テーブルを備えている。
第１テーブルは、第２テーブルを案内レールにそって直
線移動させる移動部材、該移動部材にモータの回転駆動
力を伝達させる第１駆動機構、該第１駆動機構と平行に
設けられて第２のモータの回転駆動力が付与されるスプ
ライン軸、該スプライン軸に軸方向に移動自在に係合さ
れると共に第２テーブルに設けられた第２駆動機構に駆
動力を伝達させるウォーム歯車等の変換部材から構成さ
れている。Further, Japanese Utility Model Publication No. 4-86141 discloses that
An XY drive is disclosed. The XY drive device includes a first table in the X direction provided with guide rails, and a second table in the Y direction orthogonal to the first table.
The first table includes a moving member that linearly moves the second table along a guide rail, a first driving mechanism that transmits the rotational driving force of the motor to the moving member, and a second driving member that is provided in parallel with the first driving mechanism. Of the spline shaft to which the rotational driving force of the motor is applied, and a worm gear which is movably engaged with the spline shaft in the axial direction and transmits the driving force to the second drive mechanism provided on the second table It is composed of members.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、直線
運動を案内して位置決めする直線用位置決めテーブル
や、直交方向のテーブルを持つＸＹ位置決めテーブル装
置は、電子産業の製造装置の発達と共に、その製造装置
や半導体製造装置に多く組み込まれて使用されるように
なり、より高速で、より高加速度で、しかもより高精度
に位置決めすることが求められるようになった。By the way, in recent years, a linear positioning table for guiding and positioning a linear motion and an XY positioning table device having a table in an orthogonal direction are manufactured with the development of manufacturing equipment in the electronic industry. It has come to be used by being incorporated in many devices and semiconductor manufacturing devices, and there has been a demand for positioning at higher speed, higher acceleration, and higher accuracy.
【０００８】そこで、従来のＸＹ位置決めテーブル装置
としては、可動テーブルの軽量化と駆動モータの容量ア
ップで対応することが考えられるが、しかしながら、従
来のＸＹ位置決めテーブル装置では、図１５に示すよう
に、Ｘテーブル１０２の上に固定された支持台１１４に
Ｙテーブル１０１が搭載されて摺動移動することによ
り、Ｘテーブル１０２にＹテーブル１０１のＹ軸用駆動
モータ１０３等を含めた荷重が加わるため、Ｘテーブル
１０２のＸ軸用駆動モータ１０４の能力を大きく構成す
る必要があり、装置全体が大型化し、運転速度を低くし
なければならないという問題がある。しかも、Ｘテーブ
ル１０２に搭載する部品が大型化するため、Ｘテーブル
１０２を駆動するＸ軸用駆動モータ１０４の能力アップ
のみでなく、それに付随してボールねじ軸１０９等の軸
径や剛性をアップしなければならない。また、Ｘテーブ
ル１０２の直線移動に伴って、Ｙ軸用駆動モータ１０３
やそれに接続されたコード等の断線の発生、或いはＸテ
ーブル１０２の移動に伴う慣性力が増大し、応答性を悪
化させるという問題が発生する。Therefore, as a conventional XY positioning table device, it is possible to cope with the weight reduction of the movable table and the increase of the capacity of the drive motor. However, in the conventional XY positioning table device, as shown in FIG. Since the Y table 101 is mounted on the support table 114 fixed on the X table 102 and slidably moved, a load including the Y-axis drive motor 103 of the Y table 101 is applied to the X table 102. , The capacity of the X-axis drive motor 104 of the X-table 102 needs to be increased, and the size of the entire apparatus increases, and the operating speed must be reduced. Moreover, since the components mounted on the X table 102 become large, not only the capacity of the X-axis drive motor 104 that drives the X table 102 is improved, but also the shaft diameter and rigidity of the ball screw shaft 109 and the like are increased accordingly. Must. Further, along with the linear movement of the X table 102, the Y-axis drive motor 103
There is a problem that disconnection of a cord or a cord connected thereto or movement of the X table 102 increases an inertial force and deteriorates responsiveness.
【０００９】また、前掲実開平４−８６１４１号公報に
開示されたＸＹ駆動装置では、ＸテーブルからＹテーブ
ルが直角方向に長く飛び出すため、重量バランスが悪
く、ＸテーブルやＹテーブルを高速で移動させたり、高
加速度で移動させると、振動が発生し、位置決めテーブ
ル装置として安定性に欠けるという問題がある。更に、
上記ＸＹ駆動装置では、Ｘテーブルにボールスプライン
軸、ボールねじ軸とが上下に配設されているため、ボー
ルスプライン軸の上にウォーム歯車を介在させているた
め、装置自体が嵩高になり、同様に重量バランスを悪化
させる要因になり、高速、高加速度に対応できないとい
う不安定さを有している。Further, in the XY drive device disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 4-86141, the Y table pops out from the X table in a direction at a right angle for a long time. Alternatively, if the positioning table device is moved at a high acceleration, vibration occurs, and the positioning table device lacks stability. Furthermore,
In the XY drive device, since the ball spline shaft and the ball screw shaft are vertically arranged on the X table, the worm gear is interposed on the ball spline shaft, which makes the device itself bulky. In addition, it becomes a factor that deteriorates the weight balance, and has instability that it cannot cope with high speed and high acceleration.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】この発明の目的は、上記
課題を解決することであり、Ｙ軸用駆動モータをＸテー
ブルを設置したベッド上に配置し、Ｙ軸用駆動モータか
らの駆動力をボールスプラインと傘歯車を介してＹテー
ブルの駆動用ボールねじに伝達し、Ｘテーブルの軽量化
を達成し、Ｘテーブルの慣性力を低減して高速化、高加
速度化、高精度の位置決めや応答性を向上させたＸＹ位
置決めテーブル装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems. A Y-axis drive motor is arranged on a bed on which an X-table is installed, and a driving force from the Y-axis drive motor is set. Is transmitted to the driving ball screw of the Y table via the ball spline and bevel gear, and the weight of the X table is reduced, and the inertial force of the X table is reduced to increase the speed, acceleration, and positioning accuracy. An object of the present invention is to provide an XY positioning table device having improved responsiveness.
【００１１】この発明は、ベッド上に固定された複数の
第１軌道レール、前記第１軌道レール上を第１スライダ
を介して往復動するＸテーブル、前記Ｘテーブル上に固
定された複数の第２軌道レール、前記第２軌道レール上
を第２スライダを介して往復動するＹテーブル、前記ベ
ッドに取り付けられたＸ軸用駆動モータとＹ軸用駆動モ
ータ、前記Ｙ軸用駆動モータで回転駆動される前記ベッ
ド上に回転可能に支持されたボールスプライン軸、前記
Ｘ軸用駆動モータで回転駆動される前記ベッド上に回転
可能に支持された第１ボールねじ軸、前記Ｘテーブル上
に回転可能に支持され且つ前記ボールスプライン軸の回
転運動が回転伝達装置を介して伝達される第２ボールね
じ軸、前記第１ボールねじ軸の回転に応じて前記第１ボ
ールねじ軸上を移動する前記Ｘテーブルに固定された第
１ボールねじナット、及び前記第２ボールねじ軸の回転
に応じて前記第２ボールねじ軸上を移動する前記Ｙテー
ブルに固定された第２ボールねじナット、から成るＸＹ
位置決めテーブル装置に関する。According to the present invention, a plurality of first track rails fixed on a bed, an X table reciprocating on the first track rails via a first slider, and a plurality of first track rails fixed on the X table. 2-track rail, Y table reciprocating on the second track rail via a second slider, X-axis drive motor and Y-axis drive motor mounted on the bed, and rotationally driven by the Y-axis drive motor A ball spline shaft rotatably supported on the bed, a first ball screw shaft rotatably supported on the bed rotatably driven by the X-axis drive motor, and a rotary on the X table A second ball screw shaft that is supported by the first ball screw shaft and is rotated by the second ball screw shaft, and the rotational movement of the ball spline shaft is transmitted through a rotation transmission device. A first ball screw nut fixed to the X table, and a second ball screw nut fixed to the Y table that moves on the second ball screw shaft in response to rotation of the second ball screw shaft. Consists of XY
The present invention relates to a positioning table device.
【００１２】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、前記Ｙテーブルが往復動するＹ軸方向は、前記Ｘテ
ーブルが往復動するＸ軸方向に対して直交する方向に設
定されている。Further, in this XY positioning table device, the Y-axis direction in which the Y table reciprocates is set to be a direction orthogonal to the X-axis direction in which the X table reciprocates.
【００１３】また、前記ＸテーブルのＸ軸方向の位置決
めは、前記Ｘ軸用駆動モータで回転駆動する前記第１ボ
ールねじ軸上を往復動する前記第１ボールねじナットの
停止位置によって決定されるものである。更に、前記Ｙ
テーブルのＹ軸方向の位置決めは、前記Ｙ軸用駆動モー
タで回転駆動する前記第２ボールねじ軸上を往復動する
前記第２ボールねじナットの停止位置によって決定され
るものである。Positioning of the X-table in the X-axis direction is determined by the stop position of the first ball screw nut that reciprocates on the first ball screw shaft that is rotationally driven by the X-axis drive motor. It is a thing. Furthermore, the Y
The positioning of the table in the Y-axis direction is determined by the stop position of the second ball screw nut that reciprocates on the second ball screw shaft that is rotationally driven by the Y-axis drive motor.
【００１４】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、前記回転伝達装置は、ボールスプライン軸に摺動可
能に嵌合され且つ前記Ｘテーブルに固定したボールスプ
ラインハウジングに回転自在に支持されたボールスプラ
イン筒体、及び歯車装置から構成されている。また、前
記歯車装置は、前記ボールスプライン筒体に固定された
第１傘歯車と前記第１歯車と噛み合う前記第２ボールね
じ軸に固定された第２傘歯車とから構成されている。Further, in this XY positioning table device, the rotation transmission device is a ball spline cylindrical body slidably fitted to a ball spline shaft and rotatably supported by a ball spline housing fixed to the X table. , And a gear device. Further, the gear device includes a first bevel gear fixed to the ball spline cylinder and a second bevel gear fixed to the second ball screw shaft that meshes with the first gear.
【００１５】更に、前記スライダは、前記軌道レールの
軌道溝に対向する軌道溝を備えた前記軌道レール上を相
対摺動するケーシング、前記両軌道溝で構成されるそれ
ぞれの軌道路を転走する転動体、及び前記ケーシングの
両端面に固定された前記転動体が方向を転換するための
方向変換路と前記転動体を潤滑するための潤滑油通路を
備えたエンドキャップから構成されている。Further, the slider rolls in each of the raceways formed by the casing which has a raceway groove facing the raceway groove of the raceway rail and which relatively slides on the raceway rail, and the two raceway grooves. The rolling element and the rolling element fixed to both end surfaces of the casing are configured by an end cap having a direction change path for changing direction and a lubricating oil passage for lubricating the rolling element.
【００１６】また、このＸＹ位置決めテーブル装置にお
いて、前記ボールスプライン軸と前記第１ボールねじ軸
とは前記ベッド上の平面上に隔置して配置され、前記前
記ボールスプライン軸は前記ベッド上で前記Ｘテーブル
の側方に位置し、前記第１ボールねじ軸は前記Ｘテーブ
ルの下方に位置しているものである。Further, in this XY positioning table device, the ball spline shaft and the first ball screw shaft are arranged so as to be separated from each other on a plane on the bed, and the ball spline shaft is arranged on the bed. It is located on the side of the X table, and the first ball screw shaft is located below the X table.
【００１７】このＸＹ位置決めテーブル装置は、上記の
ように、Ｙテーブルを搭載するＸテーブルにはＹ軸用駆
動モータが設けられておらず、Ｙ軸用駆動モータがベッ
ド上に静止して設置され、Ｙ軸用駆動モータ及びそれに
付随するコード類も移動することなく、それに付随する
コード類を適宜の場所に固定しておくことができ、Ｘテ
ーブルやＹテーブルの移動体の構造をコンパクトに構成
でき、Ｘテーブルの荷重を大幅に低減でき、Ｘテーブル
の慣性力が大幅に低減され、ＹテーブルとＸテーブルと
の高速化、高加速度化を達成でき、しかも、高精度の位
置決めのテーブルを得ることができ、Ｘテーブル及びＹ
テーブルの応答性を向上できる。In the XY positioning table device, as described above, the X table on which the Y table is mounted is not provided with the Y axis drive motor, and the Y axis drive motor is installed stationary on the bed. , The Y-axis drive motor and the cords associated therewith can be fixed at appropriate places without moving the cords associated therewith, and the structure of the moving body of the X table or the Y table can be made compact. Yes, the load of the X table can be greatly reduced, the inertial force of the X table can be greatly reduced, the speed and acceleration of the Y table and the X table can be increased, and a highly accurate positioning table can be obtained. Can, X table and Y
The responsiveness of the table can be improved.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、図１〜図７を参照して、こ
の発明によるＸＹ位置決めテーブル装置の実施例を説明
する。図１はこの発明によるＸＹ位置決めテーブル装置
の一実施例を示す平面図、図２は図１の線Ａ−Ａにおけ
る断面図、図３は図１の線Ｂ−Ｂにおける断面図、図４
は図１の線Ｃ−Ｃにおける断面図、図５は図２の要部の
拡大断面図、図６は図４の要部の拡大断面図、及び図７
は図１の符号Ｄ領域の拡大平面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of an XY positioning table device according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 is a plan view showing an embodiment of an XY positioning table device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, FIG. 3 is a sectional view taken along line BB of FIG.
1 is a sectional view taken along line C-C in FIG. 1, FIG. 5 is an enlarged sectional view of an essential part of FIG. 2, FIG. 6 is an enlarged sectional view of an essential part of FIG. 4, and FIG.
FIG. 2 is an enlarged plan view of a region D in FIG.
【００１９】このＸＹ位置決めテーブル装置は、主とし
て、ベッド５上でＸ軸方向に直線移動するＸテーブル
２、及びＸテーブル２上でＸ軸方向に直交するＹ軸方向
に直線移動するＹテーブル１から構成されている。ベッ
ド５上には、複数（図１では４本）のトラックレール即
ち軌道レール６が互いに平行にボルト等で固定されてい
る。Ｘテーブル２の下面にはスライダ１３が固定され、
スライダ１３は軌道レール６に跨架して摺動移動でき、
従って、Ｘテーブル２はスライダ１３を介して軌道レー
ル６上をＸ軸方向に往復動するように配設されている。
また、Ｘテーブル２上には、複数（図１では２本）のト
ラックレール即ち軌道レール８が互いに平行にボルト等
で固定されている。Ｙテーブル１の下面にはスライダ７
が固定され、スライダ７は軌道レール８に跨架して摺動
移動でき、従って、Ｙテーブル１は、スライダ７を介し
てＸ軸方向に直交するＹ軸方向に往復動するように配設
されている。従って、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、Ｘテーブル２とＹテーブル１とは、ベッド５に対し
てそれぞれ独立して直交方向に相対移動でき、Ｘテーブ
ル２上のＹテーブル１上に取り付けられた機器は平面上
の所定の位置に移動し位置決めできる。This XY positioning table device is mainly composed of an X table 2 which linearly moves on the bed 5 in the X axis direction and a Y table 1 which linearly moves on the X table 2 in the Y axis direction orthogonal to the X axis direction. It is configured. On the bed 5, a plurality of (four in FIG. 1) track rails, that is, track rails 6 are fixed in parallel with each other by bolts or the like. A slider 13 is fixed to the lower surface of the X table 2,
The slider 13 can slide over the track rail 6,
Therefore, the X table 2 is arranged so as to reciprocate in the X axis direction on the track rail 6 via the slider 13.
A plurality of (two in FIG. 1) track rails, that is, track rails 8 are fixed to the X table 2 in parallel with each other by bolts or the like. A slider 7 is provided on the bottom surface of the Y table 1.
Is fixed, and the slider 7 can slide over the track rail 8. Therefore, the Y table 1 is arranged so as to reciprocate in the Y axis direction orthogonal to the X axis direction via the slider 7. ing. Therefore, in this XY positioning table device, the X table 2 and the Y table 1 can be independently moved relative to the bed 5 in the orthogonal direction, and the device mounted on the Y table 1 on the X table 2 can be moved. It can be moved to a predetermined position on the plane and positioned.
【００２０】このＸＹ位置決めテーブル装置では、Ｘテ
ーブル２とＹテーブル１の移動領域外のベッド５に対し
てＸ軸用駆動モータ４とＹ軸用駆動モータ３とが取り付
けられている。ベッド５上には、図１４に示すようなボ
ールねじによってＸテーブル２がＸ軸方向に直線往復移
動することができる。また、Ｘテーブル２上には、同様
に、図１４に示すようなボールねじによってＹテーブル
１がＹ軸方向に直線往復移動することができる。ボール
ねじは、ボールねじ軸９，１２及びボールねじ軸９，１
２上に鋼球を介して直線往復移動できるボールねじナッ
ト２１，２２から構成されている。ボールねじナット２
１はＸテーブル２の下面にねじ等で固定されている。ま
た、ボールねじナット２２はＹテーブル１の下面にねじ
等で固定されている。In this XY positioning table device, an X-axis drive motor 4 and a Y-axis drive motor 3 are attached to a bed 5 outside the movement area of the X table 2 and the Y table 1. On the bed 5, the X table 2 can be linearly reciprocated in the X axis direction by a ball screw as shown in FIG. Similarly, on the X table 2, the Y table 1 can be linearly reciprocated in the Y axis direction by a ball screw as shown in FIG. The ball screw includes the ball screw shafts 9 and 12 and the ball screw shafts 9 and 1.
2 is composed of ball screw nuts 21 and 22 which can be linearly reciprocated via steel balls. Ball screw nut 2
1 is fixed to the lower surface of the X table 2 with screws or the like. The ball screw nut 22 is fixed to the lower surface of the Y table 1 with a screw or the like.
【００２１】このＸＹ位置決めテーブル装置では、ベッ
ド５上にはＸテーブル２の下方に配置されたボールねじ
軸９が支持軸受１０を介して回転可能に支持され、Ｘ軸
用駆動モータ４はカップリング２０を介してボールねじ
軸９に連結され、ボールねじ軸９はＸ軸用駆動モータ４
によって回転駆動される。Ｘテーブル２上には、ボール
ねじ軸１２が支持軸受１１を介して回転可能に支持さ
れ、ボールねじ軸１２はＹ軸用駆動モータ３によって回
転伝達装置を介して回転駆動される。ボールねじ軸９に
は、Ｘテーブル２に固定されたボールねじナット２１が
螺合している。従って、ボールねじナット２１は、ボー
ルねじ軸９の回転に応じてボールねじ軸９上をＸ軸方向
に往復動することができ、ボールねじナット２１の往復
動はＸテーブル２の往復動となる。また、ボールねじ軸
１２には、Ｙテーブル１に固定されているボールねじナ
ット２２が螺合している。従って、ボールねじナット２
２は、ボールねじ軸１２の回転に応じてボールねじ軸１
２上をＹ軸方向に往復動することができ、ボールねじナ
ット２２の往復動はＹテーブル１の往復動となる。In this XY positioning table device, a ball screw shaft 9 disposed below the X table 2 is rotatably supported on a bed 5 via a support bearing 10, and an X-axis drive motor 4 is coupled. The ball screw shaft 9 is connected to the ball screw shaft 9 via the 20.
Is driven to rotate. A ball screw shaft 12 is rotatably supported on the X table 2 via a support bearing 11, and the ball screw shaft 12 is rotationally driven by a Y-axis drive motor 3 via a rotation transmission device. A ball screw nut 21 fixed to the X table 2 is screwed onto the ball screw shaft 9. Therefore, the ball screw nut 21 can reciprocate in the X-axis direction on the ball screw shaft 9 according to the rotation of the ball screw shaft 9, and the reciprocating motion of the ball screw nut 21 is the reciprocating motion of the X table 2. . A ball screw nut 22 fixed to the Y table 1 is screwed onto the ball screw shaft 12. Therefore, the ball screw nut 2
2 is a ball screw shaft 1 according to the rotation of the ball screw shaft 12.
2 can be reciprocated in the Y-axis direction, and the reciprocation of the ball screw nut 22 is the reciprocation of the Y table 1.
【００２２】Ｙ軸用駆動モータ３の回転駆動力をボール
ねじ軸１２に伝達する上記回転伝達装置は、ボールスプ
ラインと歯車装置によって構成されている。ボールスプ
ラインは、ボールスプライン軸１５とボールスプライン
筒体２３から構成されている。Ｙ軸用駆動モータ３は、
ボールスプライン軸１５にカップリング１９を介して連
結されている。ボールスプラインは、例えば、図８、図
９、図１０、図１１又は図１２に示すものが利用でき、
ベッド５上に支持軸受１４によって回転可能に支持され
たボールスプライン軸１５、及びボールスプライン軸１
５に非回転状態に摺動可能に取り付けられたボールスプ
ライン筒体２３から構成されている。従って、ボールス
プライン軸１５とボールねじ軸９とは、ベッド５上の平
面上に隔置して配置され、ボールスプライン軸１５はベ
ッド５上でＸテーブル２の側方に位置し、ボールねじ軸
９はＸテーブル２の下方に位置している。ボールスプラ
イン筒体２３は、Ｘテーブル２に固定したボールスプラ
インハウジング１６に軸受２４（図２）を介して回転自
在に支持されている。また、歯車装置は、ボールスプラ
イン筒体２３に固定された傘歯車１７と、傘歯車１７に
直角方向に噛み合うボールねじ軸１２に固定された傘歯
車１８とから構成されている。従って、ボールスプライ
ン軸１５の回転運動は、ボールスプライン筒体２３、傘
歯車１７及び傘歯車１８を通じてボールねじ軸１２の回
転運動として伝達される。The rotation transmission device for transmitting the rotational driving force of the Y-axis drive motor 3 to the ball screw shaft 12 is composed of a ball spline and a gear device. The ball spline includes a ball spline shaft 15 and a ball spline cylinder 23. The Y-axis drive motor 3 is
It is connected to the ball spline shaft 15 via a coupling 19. As the ball spline, for example, one shown in FIG. 8, FIG. 9, FIG. 10, FIG. 11 or FIG. 12 can be used,
A ball spline shaft 15 rotatably supported on a bed 5 by a support bearing 14, and a ball spline shaft 1
5, a ball spline cylinder 23 slidably attached in a non-rotating state. Therefore, the ball spline shaft 15 and the ball screw shaft 9 are spaced apart from each other on the plane on the bed 5, and the ball spline shaft 15 is located on the bed 5 on the side of the X table 2 and 9 is located below the X table 2. The ball spline cylinder 23 is rotatably supported by the ball spline housing 16 fixed to the X table 2 via a bearing 24 (FIG. 2). Further, the gear device includes a bevel gear 17 fixed to the ball spline cylindrical body 23, and a bevel gear 18 fixed to the ball screw shaft 12 that meshes with the bevel gear 17 at a right angle. Therefore, the rotational movement of the ball spline shaft 15 is transmitted as the rotational movement of the ball screw shaft 12 through the ball spline cylinder 23, the bevel gear 17, and the bevel gear 18.
【００２３】このＸＹ位置決めテーブル装置では、Ｙテ
ーブル１が往復動するＹ軸方向は、Ｘテーブル２が往復
動するＸ軸方向に対して直交する方向に設定されてい
る。Ｘテーブル２のＸ軸方向の位置決めは、Ｘ軸用駆動
モータ４で回転駆動するボールねじ軸９上を往復動する
ボールねじナット２１の停止位置によって決定される。
更に、Ｙテーブル１のＹ軸方向の位置決めは、Ｙ軸用駆
動モータ３で回転伝達装置を介して回転駆動するボール
ねじ軸１２上を往復動するボールねじナット２２の停止
位置によって決定される。このＸＹ位置決めテーブル装
置において、Ｙテーブル１及びＸテーブル２の直線位置
決めは、具体的には、コントローラの指令で行われるも
のであり、ＤＣモータやステッピングモータから成るＹ
軸用駆動モータ３とＸ軸用駆動モータ４の駆動で行わ
れ、Ｘテーブル２とＹテーブル１の位置を検出するエン
コーダ等のセンサーやリミットスイッチ等が利用され
る。In this XY positioning table device, the Y-axis direction in which the Y table 1 reciprocates is set to be a direction orthogonal to the X-axis direction in which the X table 2 reciprocates. The positioning of the X table 2 in the X axis direction is determined by the stop position of the ball screw nut 21 that reciprocates on the ball screw shaft 9 that is rotationally driven by the X axis drive motor 4.
Further, the positioning of the Y table 1 in the Y-axis direction is determined by the stop position of the ball screw nut 22 that reciprocates on the ball screw shaft 12 that is rotationally driven by the Y-axis drive motor 3 via the rotation transmission device. In this XY positioning table device, the linear positioning of the Y table 1 and the X table 2 is specifically performed by a command from the controller, and is made up of a DC motor and a stepping motor.
It is performed by driving the axis drive motor 3 and the X axis drive motor 4, and a sensor such as an encoder for detecting the positions of the X table 2 and the Y table 1 and a limit switch are used.
【００２４】このＸＹ位置決めテーブル装置において、
スライダ７，１３は、図１３に示すような直動転がり案
内ユニット８０におけるスライダ８２を適用できるもの
である。即ち、スライダ８２（７，１３）は、軌道レー
ル８１（６，８）に対して相対的に摺動可能であり且つ
各軌道溝８８に対向する位置に軌道溝８７を形成したケ
ーシング８３、対向する軌道溝８７，８８間で相対移動
可能に転動する多数の転動体８４、及び転動体８４が方
向を転換するための方向変換路を備え且つケーシング８
３の摺動方向即ち長手方向両端にそれぞれ取り付けたエ
ンドキャップ８５を有している。エンドキャップ８５に
は、軌道レール８１とスライダ８２との間の長手方向の
シールを達成するエンドシール８６が取り付けられてい
る。In this XY positioning table device,
As the sliders 7 and 13, the slider 82 in the linear motion rolling guide unit 80 as shown in FIG. 13 can be applied. That is, the slider 82 (7, 13) is slidable relative to the track rail 81 (6, 8) and is opposed to the casing 83 in which the track groove 87 is formed at a position facing each track groove 88. The casing 8 is provided with a large number of rolling elements 84 that roll relative to each other between the raceway grooves 87 and 88, and a direction change path for the rolling elements 84 to change direction.
3 has end caps 85 attached to both ends in the sliding direction, that is, in the longitudinal direction. Attached to the end cap 85 is an end seal 86 that achieves a longitudinal seal between the track rail 81 and the slider 82.
【００２５】このＸＹ位置決めテーブル装置において、
ボールスプラインの一例としては、例えば、図８に示す
ように、二条列の軌道を有するボールスプライン５０を
適用できる。ボールスプライン５０は、軌道溝５８を備
えたスプライン軸５２及びスプライン軸５２上を相対運
動可能に取り付けた外筒５１から成る。外筒５１は、外
筒本体５３、その両端に取り付けた方向変換路５９を形
成したエンドキャップ５５、エンドキャップ５５の端面
に取り付けた側面シール５６及びスプライン軸５２と外
筒本体５３との間を転走するボール５７を有している。
外筒本体５３には、軌道溝５８に対応する軌道溝４９、
ボール５７が循環するためのリターン通路４８及びキー
溝５４が形成されている。In this XY positioning table device,
As an example of the ball spline, for example, as shown in FIG. 8, a ball spline 50 having a two-row trajectory can be applied. The ball spline 50 includes a spline shaft 52 having a raceway groove 58 and an outer cylinder 51 mounted on the spline shaft 52 so as to be capable of relative movement. The outer cylinder 51 includes an outer cylinder body 53, end caps 55 having direction changing paths 59 attached to both ends thereof, side seals 56 attached to the end faces of the end caps 55, and the spline shaft 52 and the outer cylinder body 53. It has a rolling ball 57.
In the outer cylinder body 53, a raceway groove 49 corresponding to the raceway groove 58,
A return passage 48 and a key groove 54 for circulating the balls 57 are formed.
【００２６】また、このＸＹ位置決めテーブル装置にお
いて、ボールスプラインの別の例としては、例えば、図
９及び図１０に示すように、三条列の軌道を有するボー
ルスプライン６０を適用できる。ボールスプライン６０
は、軌道溝６８を備えたスプライン軸６２及びスプライ
ン軸６２上を相対運動可能に取り付けた外筒６１から成
る。外筒６１は、外筒本体６３、その両端に取り付けた
方向変換路４７を形成したエンドキャップ６５、エンド
キャップ６５の端面に取り付けた側面シール６６及びス
プライン軸６２と外筒本体６３との間を転走するボール
６７を有している。外筒本体６３には、軌道溝６８に対
応する軌道溝６９、ボール６７が循環するためのリター
ン通路４６及びキー溝６４が形成されている。外筒本体
６３は、キー溝６４を使用して軸受のハウジング等に固
定される。Further, in this XY positioning table device, as another example of the ball spline, for example, a ball spline 60 having three rows of tracks as shown in FIGS. 9 and 10 can be applied. Ball spline 60
Is composed of a spline shaft 62 having a raceway groove 68 and an outer cylinder 61 mounted on the spline shaft 62 so as to be capable of relative movement. The outer cylinder 61 includes an outer cylinder body 63, end caps 65 having direction changing passages 47 attached to both ends thereof, side seals 66 attached to end faces of the end caps 65, a spline shaft 62 and the outer cylinder body 63. It has a rolling ball 67. The outer cylinder body 63 is formed with a raceway groove 69 corresponding to the raceway groove 68, a return passage 46 for circulating the balls 67, and a key groove 64. The outer cylinder main body 63 is fixed to a bearing housing or the like using a key groove 64.
【００２７】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、図１１に示すようなボールスプライン７１が適用で
きる。ボールスプライン７１は、例えば、図９に示すタ
イプのボールスプラインであり、スプライン軸６２上を
相対運動可能に装着された外筒７２は取付フランジ部７
３を備えたものである。Further, in this XY positioning table device, a ball spline 71 as shown in FIG. 11 can be applied. The ball spline 71 is, for example, a ball spline of the type shown in FIG. 9, and the outer cylinder 72 mounted so as to be relatively movable on the spline shaft 62 is the mounting flange portion 7.
It is equipped with 3.
【００２８】また、このＸＹ位置決めテーブル装置で
は、図１２に示すようなボールスプライン７４が適用で
きる。ボールスプライン７４は、例えば、図９に示すタ
イプのボールスプラインであり、スプライン軸６２上を
相対運動可能に装着された外筒７５には、傘歯車７６が
固着されている。傘歯車７６は、図１に示す傘歯車１７
を構成することができるものである。外筒７５と傘歯車
７６とを一体に設けることによって、ボールスプライン
の構造自体がコンパクトになり、組立誤差が無くなり、
高精度の位置決めが達成できる。In this XY positioning table device, a ball spline 74 as shown in FIG. 12 can be applied. The ball spline 74 is, for example, a ball spline of the type shown in FIG. 9, and a bevel gear 76 is fixed to an outer cylinder 75 mounted on the spline shaft 62 so as to be capable of relative movement. The bevel gear 76 is the bevel gear 17 shown in FIG.
Can be configured. By integrally providing the outer cylinder 75 and the bevel gear 76, the structure of the ball spline itself becomes compact and the assembly error is eliminated.
Highly accurate positioning can be achieved.
【００２９】[0029]
【発明の効果】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装
置は、上記のように、Ｘテーブル上でＹ軸方向に移動す
るＹテーブルがベッドに取り付けられたＹ軸用駆動モー
タによって回転伝達装置を介してＸテーブル上に回転可
能に支持されたボールねじ軸を駆動することによって往
復動されるので、装置自体の高さを低く構成することが
できると共に、Ｙテーブルを搭載するＸテーブルにはＹ
軸用駆動モータが設けられておらず、Ｙ軸用駆動モータ
及びそれに付随するコード類も移動することなく、Ｙ軸
用駆動モータがベッド上に静止して設置される。従っ
て、このＸＹ位置決めテーブル装置では、Ｘテーブルに
載置される荷重を低減でき、慣性力を小さく構成でき、
Ｙテーブルの高速化、高加速度化、高精度の位置決めが
達成でき、応答性を向上できる。As described above, in the XY positioning table device according to the present invention, the Y table moving on the X table in the Y axis direction is moved by the Y axis drive motor attached to the bed via the rotation transmission device to the X axis. Since it is reciprocated by driving a ball screw shaft rotatably supported on the table, the height of the device itself can be made low, and a Y table can be mounted on an X table.
The axis drive motor is not provided, and the Y axis drive motor and the cords associated therewith do not move, and the Y axis drive motor is installed stationary on the bed. Therefore, in this XY positioning table device, the load placed on the X table can be reduced, and the inertial force can be reduced.
It is possible to achieve high-speed, high-acceleration, high-accuracy positioning of the Y table and improve responsiveness.
【図１】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置の一
実施例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an XY positioning table device according to the present invention.
【図２】図１の線Ａ−Ａにおける断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
【図３】図１の線Ｂ−Ｂにおける断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG. 1;
【図４】図１の線Ｃ−Ｃにおける断面図である。4 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
【図５】図２の要部の拡大断面図である。5 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.
【図６】図４の要部の拡大断面図である。6 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.
【図７】図１の符号Ｄ領域の拡大平面図である。FIG. 7 is an enlarged plan view of a region D in FIG.
【図８】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に組
み込まれたボールスプラインの一実施例を示す一部破断
の斜視図である。FIG. 8 is a partially cutaway perspective view showing an embodiment of the ball spline incorporated in the XY positioning table device according to the present invention.
【図９】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に組
み込まれたボールスプラインの別の実施例を示す一部破
断の斜視図である。FIG. 9 is a partially cutaway perspective view showing another embodiment of the ball spline incorporated in the XY positioning table device according to the present invention.
【図１０】図９のボールスプラインの正面図である。FIG. 10 is a front view of the ball spline of FIG.
【図１１】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に
組み込まれたボールスプラインの他の実施例を示す説明
図である。FIG. 11 is an explanatory view showing another embodiment of the ball spline incorporated in the XY positioning table device according to the present invention.
【図１２】この発明によるＸＹ位置決めテーブル装置に
組み込まれたボールスプラインの更に他の実施例を示す
説明図である。FIG. 12 is an explanatory view showing still another embodiment of the ball spline incorporated in the XY positioning table device according to the present invention.
【図１３】従来の直動転がり案内ユニットを示す斜視図
である。FIG. 13 is a perspective view showing a conventional linear motion rolling guide unit.
【図１４】従来のボールねじを示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing a conventional ball screw.
【図１５】従来のＸＹ位置決めテーブル装置を示す斜視
図である。FIG. 15 is a perspective view showing a conventional XY positioning table device.
１ Ｙテーブル ２ Ｘテーブル ３ Ｙ軸駆動用モータ ４ Ｘ軸駆動用モータ ５ ベッド ６，８ 軌道レール ７，１３ スライダ ９，１２ ボールねじ軸 １０，１１，１４ 支持軸受 １５ ボールスプライン軸 １６ ボールスプラインハウジング １７，１８ 傘歯車 １９，２０ カップリング ２１，２２ ボールねじナット ２３ ボールスプライン筒体 1 Y table 2 X table 3 Y axis drive motor 4 X axis drive motor 5 Bed 6,8 Track rail 7,13 Slider 9,12 Ball screw shaft 10,11,14 Support bearing 15 Ball spline shaft 16 Ball spline housing 17,18 Bevel gear 19,20 Coupling 21,22 Ball screw nut 23 Ball spline cylinder
Claims (8)
ール、前記第１軌道レール上を第１スライダを介して往
復動するＸテーブル、前記Ｘテーブル上に固定された複
数の第２軌道レール、前記第２軌道レール上を第２スラ
イダを介して往復動するＹテーブル、前記ベッドに取り
付けられたＸ軸用駆動モータとＹ軸用駆動モータ、前記
Ｙ軸用駆動モータで回転駆動される前記ベッド上に回転
可能に支持されたボールスプライン軸、前記Ｘ軸用駆動
モータで回転駆動される前記ベッド上に回転可能に支持
された第１ボールねじ軸、前記Ｘテーブル上に回転可能
に支持され且つ前記ボールスプライン軸の回転運動が回
転伝達装置を介して伝達される第２ボールねじ軸、前記
第１ボールねじ軸の回転に応じて前記第１ボールねじ軸
上を移動する前記Ｘテーブルに固定された第１ボールね
じナット、及び前記第２ボールねじ軸の回転に応じて前
記第２ボールねじ軸上を移動する前記Ｙテーブルに固定
された第２ボールねじナットから成るＸＹ位置決めテー
ブル装置。1. A plurality of first track rails fixed on a bed, an X table reciprocating on the first track rails via a first slider, and a plurality of second tracks fixed on the X table. A rail, a Y table that reciprocates on the second track rail via a second slider, an X-axis drive motor and a Y-axis drive motor attached to the bed, and the Y-axis drive motor is rotationally driven. A ball spline shaft rotatably supported on the bed, a first ball screw shaft rotatably supported on the bed rotatably driven by the X-axis drive motor, and rotatably supported on the X table. And a second ball screw shaft to which the rotational movement of the ball spline shaft is transmitted through a rotation transmission device, and the X that moves on the first ball screw shaft in response to the rotation of the first ball screw shaft. An XY positioning table including a first ball screw nut fixed to a table and a second ball screw nut fixed to the Y table that moves on the second ball screw shaft in response to rotation of the second ball screw shaft. apparatus.
は、前記Ｘテーブルが往復動するＸ軸方向に対して直交
する方向に設定されている請求項１に記載のＸＹ位置決
めテーブル装置。2. The XY positioning table device according to claim 1, wherein the Y-axis direction in which the Y table reciprocates is set in a direction orthogonal to the X-axis direction in which the X table reciprocates.
前記Ｘ軸用駆動モータで回転駆動する前記第１ボールね
じ軸上を往復動する前記第１ボールねじナットの停止位
置によって決定される請求項１に記載のＸＹ位置決めテ
ーブル装置。3. The positioning of the X table in the X-axis direction is determined by the stop position of the first ball screw nut that reciprocates on the first ball screw shaft that is rotationally driven by the X-axis drive motor. Item 2. The XY positioning table device according to Item 1.
前記Ｙ軸用駆動モータで回転駆動する前記第２ボールね
じ軸上を往復動する前記第２ボールねじナットの停止位
置によって決定される請求項１に記載のＸＹ位置決めテ
ーブル装置。4. The positioning of the Y table in the Y-axis direction is determined by the stop position of the second ball screw nut that reciprocates on the second ball screw shaft that is rotationally driven by the Y-axis drive motor. Item 2. The XY positioning table device according to Item 1.
軸に摺動可能に嵌合され且つ前記Ｘテーブルに固定した
ボールスプラインハウジングに回転自在に支持されたボ
ールスプライン筒体及び歯車装置から構成されている請
求項１に記載のＸＹ位置決めテーブル装置。5. The rotation transmission device comprises a ball spline cylinder body and a gear device which are slidably fitted to a ball spline shaft and rotatably supported by a ball spline housing fixed to the X table. The XY positioning table device according to claim 1.
筒体に固定された第１傘歯車と前記第１傘歯車と噛み合
う前記第２ボールねじ軸に固定された第２傘歯車とから
構成されている請求項５に記載のＸＹ位置決めテーブル
装置。6. The gear device includes a first bevel gear fixed to the ball spline cylinder and a second bevel gear fixed to the second ball screw shaft that meshes with the first bevel gear. The XY positioning table device according to claim 5.
溝に対向する軌道溝を備えた前記軌道レール上を相対摺
動するケーシング、前記両軌道溝で構成されるそれぞれ
の軌道路を転走する転動体、及び前記ケーシングの両端
面に固定された前記転動体が方向を転換するための方向
変換路と前記転動体を潤滑するための潤滑油通路を備え
たエンドキャップから構成されている請求項１に記載の
ＸＹ位置決めテーブル装置。7. The slider rolls in a respective raceway formed by a casing having a raceway groove facing the raceway groove of the raceway rail and relatively sliding on the raceway rail, and the two raceway grooves. A rolling element, and an end cap provided with a direction change passage for changing the direction of the rolling element fixed to both end surfaces of the casing and a lubricating oil passage for lubricating the rolling element. The XY positioning table device described in 1.
ルねじ軸とは前記ベッド上の平面上に隔置して配置さ
れ、前記前記ボールスプライン軸は前記ベッド上で前記
Ｘテーブルの側方に位置し、前記第１ボールねじ軸は前
記Ｘテーブルの下方に位置している請求項１〜７のいず
れか１項に記載のＸＹ位置決めテーブル装置。8. The ball spline shaft and the first ball screw shaft are spaced apart from each other on a plane on the bed, and the ball spline shaft is located on the bed at a side of the X table. The XY positioning table device according to any one of claims 1 to 7, wherein the first ball screw shaft is located below the X table.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7303096A JPH09239635A (en) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | Xy positioning table device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7303096A JPH09239635A (en) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | Xy positioning table device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09239635A true JPH09239635A (en) | 1997-09-16 |
Family
ID=13506553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7303096A Pending JPH09239635A (en) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | Xy positioning table device |
Country Status (1)
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