JPH09232233A - 上部層を縮小する中間層リソグラフィ法 - Google Patents
上部層を縮小する中間層リソグラフィ法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000001459 lithography Methods 0.000 title abstract description 12
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 125
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 59
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 abstract description 59
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 48
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 104
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 8
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 8
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 7
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 2
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910008484 TiSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001540 azides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001810 electrochemical catalytic reforming Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
- H01L21/0276—Photolithographic processes using an anti-reflective coating
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
- H01L21/0337—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane characterised by the process involved to create the mask, e.g. lift-off masks, sidewalls, or to modify the mask, e.g. pre-treatment, post-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
- H01L21/0338—Process specially adapted to improve the resolution of the mask
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32139—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer using masks
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
微細パターンを定義する方法を得る。 【解決手段】 リソグラフィによってパターン化された
フォトレジスト(211,212)を等方的、または部
分的に等方的なエッチングによって縮小させ、エッチス
トップとしてもあるいはダミー層としても機能する埋め
込み反射防止被覆を備えた縮小した線幅のパターン化さ
れたフォトレジスト(213,214)を形成する。縮
小した線幅パターン(213,214)が、ポリシリコ
ン(206)、金属、または絶縁体、あるいは強誘電体
等の下層材料の、次に続く異方性エッチングのためのエ
ッチマスクを提供する。
Description
に関するものであり、更に詳細にはそのようなデバイス
を作製する方法に関する。
電界効果トランジスタ(FET)の短いチャンネルやバ
イポーラートランジスタの小面積のエミッター、あるい
はデバイス間の狭い相互接続など、最小寸法の構造を要
求する。そのようなポリシリコンまたは金属でできた構
造を作製するためには、望みの構造パターンを含むレチ
クルを通してフォトレジストを露光することによって、
ポリシリコンまたは金属層の上に取り付けられたフォト
レジスト層中にそのような構造の配置を定義する工程を
含むのが一般的である。フォトレジストの露光および現
像の後、パターニングされたフォトレジストをエッチマ
スクとして、下層のポリシリコンや金属の層が異方性エ
ッチングされる。従って、ポリシリコンや金属の最小線
幅はフォトレジスト中に生成できる最小線幅に等しくな
る。現状の光学的ステッパーは波長365nmの光(そ
の光を発生するために使用される高圧水銀アークランプ
中の対応する発光ラインに倣ってI線と呼ばれる)を用
いてフォトレジストを露光するので、I線を使用したリ
ソグラフィではフォトレジスト中に約0.30μm以下
のパターン線幅を約0.01μm以下の標準偏差で以て
生成することは満足にできない。
リソグラフィ寸法よりも小さい(サブリソグラフィック
な)ポリシリコンゲート構造を形成するための既知の方
法を示しており、それは、ポリシリコン層上のフォトレ
ジストを最小形状にパターニングすること(図1a)、
前記フォトレジストを等方的にエッチングして線幅を縮
小させること(図1b)、および縮小された線幅を有す
るフォトレジストをエッチマスクとしてポリシリコンを
異方性エッチングすること(図1c)を含んでいる。こ
の方法にはポリシリコンの汚染等の問題がある。
めにフォトレジストマスクを使用することは、エッチン
グの後にポリシリコンゲートの端部に硬化したフォトレ
ジストの残留リッジ(ridge)が残る原因となり得
る。ポリシリコンのエッチング中にプラズマエッチング
の元素種がフォトレジスト側壁を硬化させ、引き続く酸
素プラズマによるフォトレジスト剥離工程でもリッジは
完全に除去できない(図1d)。更に、このリッジを剥
離するために別個の湿式エッチングを施すことはできる
が、修正が必要な場合に不十分な対応しかとれなく完全
ではない。リッジが残存していると、それは後の加熱処
理の間に炭素化し、自己整合的なゲートシリサイド化
(siliication)工程においてチタンシリサ
イド(TiSi2 )の形成を妨害する。従って、簡単な
工程でフォトレジスト残滓を完全に除去することが問題
である。
材料とフォトレジストとの間に中間層を使用し、リソグ
ラフィによって定義されたフォトレジストパターンまた
は前記中間層のいずれかの横方向エッチングを利用した
線幅の縮小を併用してサブリソグラフィックなパターン
を供給する。前記中間層は、まず(1)フォトレジスト
露光に関する反射防止層として機能し、(2)後に続く
横方向エッチングに関してはエッチストップ層あるいは
ダミー(sacrifical)層として機能し、そし
て(3)硬化したフォトレジスト残滓の除去に関しては
リフトオフ層として機能する。
パターンを生成し、フォトレジスト除去を完全に行う簡
便な方法を提供できることである。
けとなるようなものにしてある。
発明の好適実施例の方法は、パターニングすべき材料と
フォトレジストとの間に中間層を挿入し、そして次のよ
うな工程を使用する。まずフォトレジスト中に最小線幅
でパターンを露光および現像し、次にフォトレジストま
たは中間層、あるいは両者を横方向に(すなわち、等方
的に)除去して中間層を最小寸法以下の線幅にまで均一
的に縮小させ、次にそれをパターニングすべき材料のた
めのエッチマスクとする。この中間層は、(1)フォト
レジスト露光中の反射防止層としての機能、(2)後に
続く横方向除去における下層の材料層を保護するための
エッチストップまたはダミー層としての機能、および/
または(3)材料がパターニングされた後のエッチ残滓
のリフトオフ層としての機能を提供する。
および残滓リフトオフはポリシリコン、金属、絶縁体、
強誘電体等々の材料に対して適用できる。サブリソグラ
フィックなパターンは、集積回路の相互接続線幅やゲー
ト長のような最小寸法の対象物を定義する。
シリコンエッチングのためのマスクを作製するために用
いることのできる、第1の好適実施例のフォトレジスト
パターニング方法を示している。特に、(100)面方
位を有する単結晶シリコン基板202からスタートして
いるが、この基板は、デバイス作製のためのp形および
n形にドープされた両ウエル領域を含むのが一般的であ
り、更に、分離用の酸化物203、典型的には厚さ6−
10nmのゲート酸化物204、および典型的には厚さ
300−500nmで、ドープされた、または未ドープ
の、あるいは部分的にドープされたゲートレベルポリシ
リコン層206が含むことができる。この後、プロセス
は次のような工程で続く。
厚の窒化チタン(TiN)層208をスパッタ堆積させ
る。TiN層208はI線リソグラフィのための埋め込
み反射防止被覆(”BARC”)として機能する。すな
わち、TiNは波長365nmの光を強く吸収する。T
iNあるいは何らかのその他のBARC無しでは、下層
のポリシリコン206が上を覆うフォトレジストを通過
した露出光を反射して干渉が起こり、その結果、フォト
レジストの厚さが分離酸化物203等の突出部上で変化
しているため、フォトレジストの露出程度が場所に依っ
て変化することになる。
1μm厚のI線用フォトレジスト層210をスピン塗布
する。層210の厚さは下層の表面形状に依存する。I
線フォトレジストはアジド増感剤を含む環化されたポリ
イソプレンポリマーを含むものでよい。もし必要なら
ば、ソフトベーク(softbake)のフォトレジス
ト210を使用する。図2aの断面図および図2bの平
面図を参照されたい。
フォトレジスト210を露光し、最小線幅0.33μm
のパターンを定義する。次に、露光されたフォトレジス
ト210を現像しベークして、図2cおよび図2dに断
面図および平面図を示したように、パターニングされた
フォトレジスト部分211および212を得る。”W”
と記された幅は例えば0.33μmの最小線幅である。
図2c−dを参照されたい。図2dは平面図であり、図
2cはそのC−Cに沿って取った断面図である。
12からΔWを除去するための等方的エッチングを施し
て、フォトレジストパターン213−214を得る。但
し、このエッチはTiN208に関してはほとんどエッ
チしない。この等方的エッチは1.5mTorrの圧力
における80%のヘリウムと20%の酸素によるプラズ
マエッチでよく、これはフォトレジストを160nm/
分の速度で除去する。従って、15秒間のエッチングに
よってフォトレジストが0.04μm除去され、0.3
3μmの線幅が0.25μmの線幅にまでなる。図2e
−fを参照されたい。そこには実線でW−2ΔWの線幅
を定義しているエッチ後のフォトレジストパターン21
3−214が示され、破線でWの線幅を定義している元
のフォトレジストパターン211−212が示されてい
る。
ために異方性エッチングが施され、ポリシリコン206
をエッチするためのエッチマスクが完成する。6mTo
rrの圧力における塩素を含むヘリコン(helico
n)型プラズマエッチャーはTiNを約200nm/分
の速度でエッチし、そのためおよそ15秒間のエッチン
グによって露出したTiNが除去され、TiN部分21
7−218が残される。このエッチングはまた、ポリシ
リコンも同じ程度の速度でエッチするが、ポリシリコン
206はいずれ次に異方性エッチングでエッチされるの
であるからポリシリコン206中でエッチングを停止さ
せることは重要な問題ではない。図2g−hは下層のT
iN部分217−218を覆う最終的なフォトレジスト
パターン213−214を示しており、それはポリシリ
コン206の異方性エッチングに用いられるための、W
−2ΔWの最小線幅を有するマスクを形成している。
14をエッチマスクとして用い、約6mTorr圧にお
けるCl2 、HBr、およびHe/O2 (80%/20
%)の混合ガスからのヘリコン励起されたプラズマで以
てポリシリコン206の異方性エッチングが進行する。
このBrは異方性を保証するための側壁パッシベーショ
ン効果を提供している。Cl2 /HBr/He−O2 プ
ラズマはポリシリコンを酸化物よりも約300倍高速に
エッチし、酸化物204上で過剰エッチングが起こって
も最小量の酸化物を除去するだけである。図3を参照。
最終的な酸素プラズマがフォトレジストを剥離し、塩素
プラズマまたはSC1リンス(NH4 OH+H2 O2 +
H2 O溶液)が、ポリシリコンおよび露出したゲート酸
化物のいずれにも影響を与えないで、エッチ後のポリシ
リコンからTiNを剥離する。
ゲートレベルのポリシリコンエッチングのマスクを作製
するために使用できる、第2の好適実施例のフォトレジ
ストパターニング方法を示している。特に、ここでも分
離用酸化物403、厚さ6nmのゲート酸化物、厚さ4
00nmのゲートレベルポリシリコン層406を備えた
(100)面方位の単結晶シリコン基板402からスタ
ートする。以下の工程でプロセスが進行する。
厚の有機BARC層408をスピン塗布する。すなわ
ち、有機BARC層408は波長365nmの光を強く
吸収する。有機BARC408は染料基(dye gr
oup)を付加されたポリマーでよく、それはポリマー
ボンドに変化を与えることなく吸収を提供できるもの
で、例えばポリアミック(polyamic)酸ポリマ
ーやコポリマーでよい。既に述べたように、何らかのB
ARCが無ければ下層のポリシリコン406は上を覆う
フォトレジスト410を通過してきた露出光を反射して
干渉が起こり、その結果、フォトレジストの厚さが変化
しているので、フォトレジストの露光程度が場所に依存
することになる。
厚のフォトレジスト層410をスピン塗布する。層41
0の厚さは下層の表面形状に依存する。断面図を示す図
4aを参照。
フォトレジスト410を露光し、最小線幅0.30μm
を持つパターンを定義する。次に、フォトレジストを現
像しベークして、図4bに示すようにパターニングされ
たフォトレジスト部分411および412を得る。”
W”と記された幅は例えば0.30μmの最小線幅であ
る。
中で25−75mTorrの圧力のCHF3 /CF4 /
O2 またはCHF3 /O2 の混合物を用いてエッチング
を行い、BARC層408の露出部分を異方的に除去す
る。このエッチングによってフォトレジストも異方的に
除去されるが、そのエッチ速度はCHF3 とCF4 との
比率に依存する。CHF3 とO2 の混合物はフォトレジ
スト(イソプレンのポリマーをベースとしている)を、
それがBARCを除去するのとほとんど同じ速度で除去
する。他方、CF4 とO2 はフォトレジストを高速に除
去することはしない。図5はガスの混合比の関数として
フォトレジスト対BARCのエッチ速度比率を表してい
る。すなわち、ガスの混合比を選ぶことによってBAR
Cのエッチング中に、ΔWを0から200nmまでの所
望の大きさに制御しながらフォトレジストパターン41
1−412のΔWを除去することができ、それにより線
幅W−2ΔWを持つフォトレジストパターン413−4
14を得ることができる。例えば、リソグラフィで定義
された線幅0.30μmは、もしフォトレジストの横方
向のエッチ速度がBARCの縦方向のエッチ速度の約1
/10であれば、BARCを過剰エッチして除去する間
に0.25μmにまで縮小させることができる。横方向
および縦方向のエッチングの様子を示す図4cと、ポリ
シリコン406のエッチングに使用するための線幅W−
2ΔWのマスクを定義するエッチ後のフォトレジストパ
ターン413−414を示す図4dを参照されたい。
後、フォトレジストパターン413−414をマスクと
し、SF6 とHBrの混合ガスから得られるプラズマを
用いて進行する。Brは異方性エッチングのための側壁
パッシベーションを提供する。更に、工程(4)のBA
RCエッチは図4dに示すようにBARC側壁上へ材料
450を堆積させる。そしてポリシリコンのエッチング
中に、この側壁材料は図6に示すように形成されつつあ
るポリシリコン側壁を下方へ移動して側壁の底面におけ
るマイクロ・トレンチング(microtrenchi
ng)を制限する。Cl2 /HBr/He−O2 プラズ
マはポリシリコンを酸化物よりも約300倍も高速にエ
ッチし、酸化物404上での過剰エッチは酸化物のほん
の少量を除去するのみであるから、この混合物を用いた
プラズマエッチを用いて仕上げの過剰エッチを行う。最
後の酸素プラズマがパターン化されたフォトレジストと
BARCを剥離する。
れに固有の異なる量の線幅縮小をもたらす。従って、第
2の好適実施例を使用して、BARCエッチ混合ガスを
調節することによってポリシリコンのエッチングを補償
することができ、それによって全体的な線幅の縮小(B
ARCエッチによるフォトレジスト線幅の縮小にポリシ
リコンのエッチによる線幅の縮小を加えたもの)を一定
に保つことができる。
も、金属のエッチングに関して異方性エッチが用いられ
て、TiN反射防止被覆で以てフォトレジストマスクの
最小線幅を縮小させることが行われている。特に、アル
ミニウム相互接続は、拡散障壁となりまたエレクトロマ
イグレーションを抑制するように働くTiNのクラッデ
ィング(cladding)を有することがしばしばあ
る。図7aは絶縁されたゲート704と、ゲート704
を持つFETのソース/ドレインへつながるように下方
へ延びたタングステン充填されたビア708を有する平
坦化された酸化物絶縁体706と、更にはTiNの層7
10と714とでクラッディングされたアルミニウム層
712を備えたシリコン基板702を示している。
し、マスクを使用してI線光で線幅Wのパターンに露光
する。上部TiNクラッディング714が反射防止被覆
の役目をする。フォトレジスト720を現像し、次に上
部TiNクラッディング714をエッチストップとして
酸素プラズマエッチを施して、パターン化されたフォト
レジスト720の線幅をW−Δ2Wへ縮小させる。パタ
ーン化されたフォトレジストの縮小の様子を示す図7b
を参照。
グを施して、パターン化されたフォトレジスト720で
マスクされていないTiN714、Al712、および
TiN710を除去する。酸素プラズマによって、パタ
ーン化されたフォトレジスト720を剥離する。この場
合、構造用のTiN層714は埋め込まれた反射防止被
覆およびフォトレジスト線幅縮小エッチストップとして
も機能する。
ートレベルのポリシリコンエッチングのためのマスクを
作製するために使用できる第4の好適実施例の方法を示
している。特に、ここでも(100)面方位の単結晶シ
リコン基板802からスタートしている。この基板も分
離用酸化物803、厚さ6nmのゲート酸化物804、
および厚さ400nmのゲートレベルポリシリコン層8
06を備えている。プロセスは次のような工程で進行す
る。
RCとして働く200nm厚のTiN層808を堆積さ
せる。TiNの堆積は、N2 プラズマ中でTiのスパッ
タを行うことによってもあるいはTiNをスパッタして
もよい。既に述べたように、BARC808は、さもな
ければフォトレジストの厚さが変化することのために場
所に依存したフォトレジスト露光程度の原因となる被覆
フォトレジスト中での反射性の干渉効果を制限する。
厚のフォトレジスト層810をスピン塗布する。層81
0の厚さは下層の表面形状に依存する。断面図を示す図
8aを参照。
ラフィシステムによって露光し、最小線幅0.30μm
を持つパターンを定義する。次にフォトレジストを現
像、ベークして図8bに示すようにパターン化されたフ
ォトレジスト部分811および812を得る。”W”と
記された幅は例えば0.30μmの最小線幅である。
層808の露出部分を除去する。図8cを参照。TiN
のBARCに対して、6mTorrの圧力の塩素を含む
ヘリコン型のプラズマエッチャーはTiNを約200n
m/分の速度でエッチする。従って、およそ60秒間の
エッチでBARC部分821−822から露出したTi
Nが除去される。このエッチはまた、ほぼ同じ速度でポ
リシリコンをもエッチするが、ポリシリコン806は工
程(6)において異方性エッチされるのであるから、ポ
リシリコン806でエッチングを停止させることはさほ
ど重要な問題ではない。
施してBARC821−822の約0.025μmを横
方向に除去することによって、最小線幅0.25μmの
狭いBARC部分823−824を形成する。最小線幅
W−2ΔWを示す図8dを参照。TiNのBARCに対
する等方的なエッチングは薄めたH2 O2 の湿式エッチ
でよく、その場合TiNは約5nm/分の速度でエッチ
されるので、これは5分間のエッチングになる。上を覆
うフォトレジスト811−812がエッチャントに曝さ
れるBARCの量を制限するので、それによって近接効
果が大幅に漸減して、ウエハ全面に亘ってBARCの横
方向での0.025μmの均一な除去が保証されること
に注目されたい。同様に、等方的なプラズマエッチング
を用いることもできる。狭くなったBARC823−8
24はポリシリコン806の異方性エッチングのために
用いることのできる、W−2ΔWの最小線幅を持つ最終
的なエッチマスクを形成する。
ているフォトレジスト811−812を剥離し、次にB
ARC823−824をエッチマスクとしてポリシリコ
ン806を異方性エッチングする。BARC823−8
24の厚さは、何らかの非選択的な異方性ポリシリコン
エッチの使用を可能にするものであることに注目された
い。すなわち、プラズマエッチはもしそれがポリシリコ
ンを少なくともBARCの2倍の速度で除去するのであ
れば、BARC除去のために利用できる。図8eを参
照。最後に、BARCを剥離して、サブリソグラフィッ
クにパターニングされたポリシリコンが残される。
なしに除去できるのであれば、有機BARCを使用する
ことも可能であることに注目されたい。
れまで述べた好適実施例の線幅縮小方法の任意のものと
一緒に、あるいは単独で使用できる第5の好適実施例の
方法を示している。第5の好適実施例は次に述べる工程
に従ってフォトレジスト残存物あるいは上を覆っている
フォトレジストを除去するためのリフトオフとして中間
層(多分BARC)を使用する。
を覆う50nm厚のTiN中間層部分917−918の
上にパターニングされたフォトレジスト911−912
を有する構造からスタートする。このTiNはフォトレ
ジストのパターニングのためのBARCとして働き、オ
プションとしてフォトレジスト911−912は図2g
の構造と類似なように等方的にエッチされて線幅を縮小
されていてもよい。図9aを参照。
びTiN917−918をエッチマスクとして、Clお
よびBrをベースとするプラズマによってポリシリコン
906を異方性エッチする。このエッチプラズマはま
た、フォトレジスト911−912の側壁から硬化した
フォトレジスト部分913−914を形成する。図9b
を参照。
と、30%のH2 O2 を1と、H2 Oを6)等の溶液に
TiN917−918を溶かす。これはまた硬化した側
壁部分913−914に沿ってフォトレジスト911−
912をリフトオフする。図9cを参照。オプションと
して、TiN917−918の溶解の前に、フォトレジ
スト911−912を酸素プラズマで灰化(アッシン
グ)し、次にTiN917−918を溶解させることも
できる。この事前の灰化はTiN917−918の別の
表面を露出させて迅速な溶解を促し、それでもなお酸素
プラズマが除去し損ねた硬化側壁部分913−914の
リフトオフを可能にする。フォトレジストのアッシング
の後、TiNの溶解の前の構造を示す図9dを参照。
もよく、そして有機溶媒によるBARCの溶解を伴った
同じ工程をたどることによって、本方法は硬化した側壁
部分913−914をリフトオフすることを可能にす
る。しかし、有機BARC側壁もまた硬化する可能性が
あり、そのため溶解には使用されるBARCのタイプに
適した特別なものを必要とする。更に、硬化した側壁の
リフトオフのためにフォトレジストの下側に中間層を使
用することは、第3の好適実施例と同じように、金属レ
ベルのエッチングにも適用でき、絶縁体を貫通するビア
のエッチングにも適用できる。
んな形に変形できて、しかもなお、埋め込み反射防止被
覆として、線幅縮小のダミー層またはエッチストトップ
として、更には上を覆うフォトレジストまたは残滓やそ
の他の材料のリフトオフとして機能する中間層の利用と
いう特長のうちの1つまたは複数のものを保有している
ことができる。
施例のフォトレジストは、エッチングがBARCに関し
て十分選択的であるならば、エッチマスクとして使用さ
れる、剥離されパターニングされたBARCのみでも構
わない。フォトレジスト線幅を縮小させる等方的なエッ
チングは、十分なフォトレジストが残っていれば幾分異
方性であっても構わない。層の厚さと線幅、およびエッ
チの化学組成および条件はすべて変化させることができ
る。更に、好適実施例の説明はすべてI線リソグラフィ
を使用するとしたが、同じ、あるいは異なるフォトレジ
ストと反射防止被覆で以て、他の露光波長を使用しても
同じ方式が有効に働く。更に、単一ウエハのヘリコン型
のプラズマエッチャーやその他の型のプラズマエッチャ
ー、バッチ式のRIE、ECR、RIEおよび誘導性結
合方式のプラズマなどの変形が可能である。
る。 (1)リソグラフィの方法であって、次の工程、(a)
パターニングすべき底部層を供給すること、(b)前記
底部層を覆って中間層を形成すること、(c)前記中間
層を覆って放射に敏感な上部層を形成すること、(d)
前記上部層を放射で以てパターニングしてパターン化さ
れた上部層を形成すること、(e)前記パターン化され
た上部層を等方的に縮小して、縮小されたパターン化さ
れた上部層を形成すること、(f)前記縮小したパター
ン化された上部層をマスクとして使用して、前記中間層
の一部を除去し、パターン化された中間層を形成するこ
と、および(g)前記パターン化された中間層を少なく
ともマスクの一部として使用して、前記底部層の一部を
除去すること、を含む方法。
前記中間層がTiNを含んでおり、そして(b)前記上
部層がフォトレジストを含んでいる方法。
前記等方的な縮小がプラズマエッチングによって行わ
れ、そして(b)前記中間層の一部の除去が異方性プラ
ズマエッチングによって行われる方法。
前記底部層がポリシリコンであり、そして(b)前記底
部層の一部の除去が異方性プラズマエッチングによって
行われる方法。
グを行う方法であって、次の工程、(a)パターニング
すべき底部層を供給すること、(b)前記底部層を覆っ
て、第1の波長の放射を吸収する埋め込み反射防止被覆
(BARC)層を形成すること、(c)前記BARC層
を覆って、前記第1の波長を持つ放射によって露光可能
なフォトレジスト層を形成すること、(d)前記フォト
レジスト層を前記第1の波長を含む放射で以てパターニ
ングして、最小線幅Wを持つフォトレジストの第1のパ
ターン化された層を形成すること、(e)前記第1のパ
ターン化された層をエッチングし、前記第1のパターン
化された層のすべての表面から前記BARC層の表面に
沿った方向にΔWの量を除去して、最小線幅W−2ΔW
を持つフォトレジストの第2のパターン化された層を形
成すること、(f)前記第2のパターン化された層をエ
ッチマスクとして使用して、前記BARC層を異方性エ
ッチングし、パターン化されたBARC層を形成するこ
と、および(g)前記第2のパターン化された層および
パターン化されたBARC層をエッチマスクとして使用
して、前記底部層を異方性エッチングすること、を含む
方法。
ッチングによって、リソグラフィによってパターン化さ
れたフォトレジスト211,212が縮小されて、エッ
チストップとしてもあるいはダミー層としても機能する
埋め込み反射防止被覆を備えた縮小した線幅のパターン
化されたフォトレジスト213,214が供給される。
縮小した線幅パターン213,214は、ポリシリコン
206、金属、または絶縁体、あるいは強誘電体等の下
層材料の、次に続く異方性エッチングのためのエッチマ
スクを提供する。
され、出願された米国特許出願は関連事項を開示してい
る: 年 月 日付けの出願番号第 号および 年 月 日付けの出願番号第 号。
を形成する既知の方法。
1の好適実施例の方法を示す断面図および平面図。
施した後の断面図。
るための第2の好適実施例の方法。
面図。
面図。
面図。
Claims (1)
- 【請求項1】 リソグラフィの方法であって、次の工
程、 (a)パターニングすべき底部層を供給すること、 (b)前記底部層を覆って中間層を形成すること、 (c)前記中間層を覆って放射に敏感な上部層を形成す
ること、 (d)前記上部層を放射で以てパターニングしてパター
ン化された上部層を形成すること、 (e)前記パターン化された上部層を等方的に縮小し
て、縮小されたパターン化された上部層を形成するこ
と、 (f)前記縮小したパターン化された上部層をマスクと
して使用して、前記中間層の一部を除去し、パターン化
された中間層を形成すること、および (g)前記パターン化された中間層を少なくともマスク
の一部として使用して、前記底部層の一部を除去するこ
と、を含む方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US115495P | 1995-07-14 | 1995-07-14 | |
US001154 | 1995-07-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09232233A true JPH09232233A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=21694654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18516096A Pending JPH09232233A (ja) | 1995-07-14 | 1996-07-15 | 上部層を縮小する中間層リソグラフィ法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0753763A1 (ja) |
JP (1) | JPH09232233A (ja) |
KR (1) | KR100434132B1 (ja) |
TW (1) | TW419617B (ja) |
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1996
- 1996-07-13 KR KR1019960028359A patent/KR100434132B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-07-15 EP EP96111355A patent/EP0753763A1/en not_active Withdrawn
- 1996-07-15 JP JP18516096A patent/JPH09232233A/ja active Pending
- 1996-09-02 TW TW85110667A patent/TW419617B/zh not_active IP Right Cessation
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---|---|---|---|---|
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US8091046B2 (en) | 2003-03-26 | 2012-01-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Set of masks, method of generating mask data and method for forming a pattern |
US8312396B2 (en) | 2003-03-26 | 2012-11-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Set of masks, method of generating mask data and method for forming a pattern |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100434132B1 (ko) | 2004-09-08 |
TW419617B (en) | 2001-01-21 |
EP0753763A1 (en) | 1997-01-15 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
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|
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