JPH09183660A - 高充填性六方晶窒化ほう素粉末、その製造方法及び用途 - Google Patents
高充填性六方晶窒化ほう素粉末、その製造方法及び用途Info
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- JPH09183660A JPH09183660A JP7342565A JP34256595A JPH09183660A JP H09183660 A JPH09183660 A JP H09183660A JP 7342565 A JP7342565 A JP 7342565A JP 34256595 A JP34256595 A JP 34256595A JP H09183660 A JPH09183660 A JP H09183660A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高充填性のｈＢＮ粉末を提供し、もって密
度、強度及びＢＮ純度の高い六方晶窒化ほう素焼結体を
製造すること。 【解決手段】 面積平均径Ｄａ／体積平均径Ｄｖの比で
表されるＴ値が０．５以下であることを特徴とする高充
填性六方晶窒化ほう素粉末、体積平均径Ｄｖが３０μｍ
以上である六方晶窒化ほう素粉末を磨砕を伴わない粉砕
法で粉砕することを特徴とする高充填性六方晶窒化ほう
素粉末の製造方法、上記高充填性六方晶窒化ほう素粉末
を２０重量％以上（１００重量％を含む）含み、かつ酸
素含有量が０．４〜１．７重量％であることを特徴とす
る六方晶窒化ほう素焼結体製造用原料、及び該六方晶窒
化ほう素焼結体製造用原料を焼結してなることを特徴と
する六方晶窒化ほう素焼結体。
度、強度及びＢＮ純度の高い六方晶窒化ほう素焼結体を
製造すること。 【解決手段】 面積平均径Ｄａ／体積平均径Ｄｖの比で
表されるＴ値が０．５以下であることを特徴とする高充
填性六方晶窒化ほう素粉末、体積平均径Ｄｖが３０μｍ
以上である六方晶窒化ほう素粉末を磨砕を伴わない粉砕
法で粉砕することを特徴とする高充填性六方晶窒化ほう
素粉末の製造方法、上記高充填性六方晶窒化ほう素粉末
を２０重量％以上（１００重量％を含む）含み、かつ酸
素含有量が０．４〜１．７重量％であることを特徴とす
る六方晶窒化ほう素焼結体製造用原料、及び該六方晶窒
化ほう素焼結体製造用原料を焼結してなることを特徴と
する六方晶窒化ほう素焼結体。
Description
【０００１】
【発明の所属する技術分野】本発明は、高充填性六方晶
窒化ほう素粉末、その製造方法及びこの六方晶窒化ほう
素粉末を用いた焼結体製造用原料とそれを焼結して得ら
れた六方晶窒化ほう素焼結体に関する。
窒化ほう素粉末、その製造方法及びこの六方晶窒化ほう
素粉末を用いた焼結体製造用原料とそれを焼結して得ら
れた六方晶窒化ほう素焼結体に関する。
【０００２】
【従来の技術】六方晶窒化ほう素（以下、「ｈＢＮ」と
いう。）焼結体は、耐熱性、耐熱衝撃性、潤滑性、耐食
性、電気絶縁性、熱伝導性などに優れた易加工性のセラ
ミックスである。
いう。）焼結体は、耐熱性、耐熱衝撃性、潤滑性、耐食
性、電気絶縁性、熱伝導性などに優れた易加工性のセラ
ミックスである。
【０００３】ｈＢＮ粉末は、難焼結性であるのでその焼
結体は一般的にホットプレス法により製造されている
が、ホットプレス法では複雑形状品や大型形状品の製造
が困難であり、また高圧力を必要とするのでダイスなど
を損傷させるなどの問題がある。
結体は一般的にホットプレス法により製造されている
が、ホットプレス法では複雑形状品や大型形状品の製造
が困難であり、また高圧力を必要とするのでダイスなど
を損傷させるなどの問題がある。
【０００４】常圧焼結法によれば上記問題は緩和される
が、ｈＢＮ粉末は鱗片状の自形を有し、高温においては
Ｂ2 Ｏ3 などの液相存在下でその長軸方向に優先的に成
長するという強い晶癖があるので、常圧焼結時に体積膨
張を起こして焼結体密度を低下させ、熱伝導性や強度等
の特性が損なわれるという問題がある。
が、ｈＢＮ粉末は鱗片状の自形を有し、高温においては
Ｂ2 Ｏ3 などの液相存在下でその長軸方向に優先的に成
長するという強い晶癖があるので、常圧焼結時に体積膨
張を起こして焼結体密度を低下させ、熱伝導性や強度等
の特性が損なわれるという問題がある。
【０００５】このような常圧焼結法やホットプレス法に
おける問題を解決するには、予備成形段階で高い成形体
密度の得られる高充填性のｈＢＮ粉末の出現が望まれて
おり、従来より次の方法が提案されている。
おける問題を解決するには、予備成形段階で高い成形体
密度の得られる高充填性のｈＢＮ粉末の出現が望まれて
おり、従来より次の方法が提案されている。
【０００６】（１）酸素含有量１〜１２％の粗製ｈＢＮ
粉末に１〜１０％のアルカリ土類金属の酸化物及びフッ
化物から選ばれた１種又は２種以上を添加して成形し、
それを不活性ガス気流中、１７００℃以上の温度で焼結
させた後、粉砕、分級する方法（特公昭６２−２７００
２号公報）。 （２）１〜１５重量％のＢ2 Ｏ3 と０．１〜７重量％の
アルカリ土類金属の酸化物及び／又はフッ化物を含有す
るｈＢＮ粉末を不活性雰囲気中で加熱する方法（特開昭
６３−４０７６９号公報）。 （３）窒化ほう素粉末に９重量％のほう酸とＣａＯ換算
で５重量％の炭酸カルシウムとフッ化カルシウムを加え
てブリケットとなし、それを窒素雰囲気中、２０００℃
に加熱して結晶サイズ２０〜４０μｍのｈＢＮ粉末を製
造する方法（特公平７−３５３０３号公報、特公平７−
３５３０４号公報、特公平７−４２１６９号公報）。
粉末に１〜１０％のアルカリ土類金属の酸化物及びフッ
化物から選ばれた１種又は２種以上を添加して成形し、
それを不活性ガス気流中、１７００℃以上の温度で焼結
させた後、粉砕、分級する方法（特公昭６２−２７００
２号公報）。 （２）１〜１５重量％のＢ2 Ｏ3 と０．１〜７重量％の
アルカリ土類金属の酸化物及び／又はフッ化物を含有す
るｈＢＮ粉末を不活性雰囲気中で加熱する方法（特開昭
６３−４０７６９号公報）。 （３）窒化ほう素粉末に９重量％のほう酸とＣａＯ換算
で５重量％の炭酸カルシウムとフッ化カルシウムを加え
てブリケットとなし、それを窒素雰囲気中、２０００℃
に加熱して結晶サイズ２０〜４０μｍのｈＢＮ粉末を製
造する方法（特公平７−３５３０３号公報、特公平７−
３５３０４号公報、特公平７−４２１６９号公報）。
【０００７】（４）粗製ｈＢＮ粉末にＣａ含有化合物を
混合し、それを非酸化性雰囲気中、１３００〜１８００
℃の温度で加熱処理した後水洗浄処理を行い、更に非酸
化性雰囲気中、１８００〜２１００℃の温度で加熱処理
を行い、一次粒子径１０〜３０μｍのｈＢＮ粉末を製造
する方法（特開平７−４１３１１号公報）。 （５）ｈＢＮ粉末をＮａＯＨ、ＫＯＨ、Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2 、Ｎａ2 ＣＯ3 などの希アルカリ水溶液に浸漬・
撹拌した後、水洗、乾燥して高充填性ｈＢＮ粉末を製造
する方法（特公昭６１−２６４８６号公報）。
混合し、それを非酸化性雰囲気中、１３００〜１８００
℃の温度で加熱処理した後水洗浄処理を行い、更に非酸
化性雰囲気中、１８００〜２１００℃の温度で加熱処理
を行い、一次粒子径１０〜３０μｍのｈＢＮ粉末を製造
する方法（特開平７−４１３１１号公報）。 （５）ｈＢＮ粉末をＮａＯＨ、ＫＯＨ、Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2 、Ｎａ2 ＣＯ3 などの希アルカリ水溶液に浸漬・
撹拌した後、水洗、乾燥して高充填性ｈＢＮ粉末を製造
する方法（特公昭６１−２６４８６号公報）。
【０００８】しかしながら、（１）、（２）、（３）の
方法は粒径数十μｍ以上の粗粉を粉砕・分級して製造す
るものであるので工程が煩雑であり、また粉砕時に不純
物の混入が起こる問題がある。更には、ボールミル、ロ
ールミル等の磨砕を伴う方法で粉砕されるのでｈＢＮ粗
粉の有していた優れた充填性が失われてしまい焼結体用
原料としてはふさわしくないものとなる。また、これら
の方法では、充填性の目安として振動充填嵩密度（タッ
プ密度）が用いられているが、この方法は再現性が得ら
れ難くいので品質管理がやりずらい問題もある。
方法は粒径数十μｍ以上の粗粉を粉砕・分級して製造す
るものであるので工程が煩雑であり、また粉砕時に不純
物の混入が起こる問題がある。更には、ボールミル、ロ
ールミル等の磨砕を伴う方法で粉砕されるのでｈＢＮ粗
粉の有していた優れた充填性が失われてしまい焼結体用
原料としてはふさわしくないものとなる。また、これら
の方法では、充填性の目安として振動充填嵩密度（タッ
プ密度）が用いられているが、この方法は再現性が得ら
れ難くいので品質管理がやりずらい問題もある。
【０００９】（４）の方法では二段階の加熱処理や水洗
処理が必要となるので工程が煩雑となり、また水洗処理
による粗製ｈＢＮの凝集が避けられず、局所的な粒成長
が懸念されるため、焼結体製造用原料としてはふさわし
くない。
処理が必要となるので工程が煩雑となり、また水洗処理
による粗製ｈＢＮの凝集が避けられず、局所的な粒成長
が懸念されるため、焼結体製造用原料としてはふさわし
くない。
【００１０】（５）の方法においても乾燥工程で生成し
た凝集体の解砕・分級が必要となるなどやはり工程が煩
雑となり、更にアルカリ水溶液のアルカリ金属化合物や
アルカリ土類化合物はｈＢＮの結晶化触媒としても用い
られるものであるので、それが十分に除去されずに残留
していると、それを焼結した場合に異常に粒成長を起こ
し焼結体強度が著しく低下する。
た凝集体の解砕・分級が必要となるなどやはり工程が煩
雑となり、更にアルカリ水溶液のアルカリ金属化合物や
アルカリ土類化合物はｈＢＮの結晶化触媒としても用い
られるものであるので、それが十分に除去されずに残留
していると、それを焼結した場合に異常に粒成長を起こ
し焼結体強度が著しく低下する。
【００１１】一方、ｈＢＮ焼結体は易加工性セラミック
スであるが、同時に機械的強度が小さいのでそれを改善
するため、アルカリ土類金属酸化物などの焼結助剤が添
加されている。しかし、それによって熱伝導性、耐熱
性、耐熱衝撃性などが低下しｈＢＮ本来の優れた特性が
損なわれてしまうという、上記高充填性ｈＢＮ粉末を製
造する際の問題とは異なる問題もある。
スであるが、同時に機械的強度が小さいのでそれを改善
するため、アルカリ土類金属酸化物などの焼結助剤が添
加されている。しかし、それによって熱伝導性、耐熱
性、耐熱衝撃性などが低下しｈＢＮ本来の優れた特性が
損なわれてしまうという、上記高充填性ｈＢＮ粉末を製
造する際の問題とは異なる問題もある。
【００１２】焼結助剤を添加せずに機械的強度を向上さ
せるには、焼結体を構成するＢＮ粒子の微細化、緻密化
による組織強度の向上が重要なことであり、特に強度面
からはＢＮ粒子の大きさを１０μｍ以下にすることが望
ましい。そのためにも、粒子径が小さくかつ充填性の優
れたｈＢＮ粉末が望まれている。
せるには、焼結体を構成するＢＮ粒子の微細化、緻密化
による組織強度の向上が重要なことであり、特に強度面
からはＢＮ粒子の大きさを１０μｍ以下にすることが望
ましい。そのためにも、粒子径が小さくかつ充填性の優
れたｈＢＮ粉末が望まれている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
に鑑み、高充填性のｈＢＮ粉末を提供することであり、
またそのようなｈＢＮ粉末を用いて更に優れた特性を有
するｈＢＮ焼結体を提供することである。本発明の要旨
は以下のとおりである。
に鑑み、高充填性のｈＢＮ粉末を提供することであり、
またそのようなｈＢＮ粉末を用いて更に優れた特性を有
するｈＢＮ焼結体を提供することである。本発明の要旨
は以下のとおりである。
【００１４】
（請求項１）面積平均径Ｄａ／体積平均径Ｄｖの比で表
されるＴ値が０．５以下であることを特徴とする高充填
性六方晶窒化ほう素粉末。 （請求項２）体積平均径Ｄｖが３０μｍ以上である六方
晶窒化ほう素粉末を磨砕を伴わない粉砕法で粉砕するこ
とを特徴とする高充填性六方晶窒化ほう素粉末の製造方
法。 （請求項３）請求項１記載の高充填性ｈＢＮ粉末を２０
重量％以上（１００重量％を含む）含み、かつ酸素含有
量が０．４〜１．７重量％であることを特徴とするｈＢ
Ｎ焼結体製造用原料。 （請求項４）請求項３記載のｈＢＮ焼結体製造用原料を
焼結してなることを特徴とするｈＢＮ焼結体。
されるＴ値が０．５以下であることを特徴とする高充填
性六方晶窒化ほう素粉末。 （請求項２）体積平均径Ｄｖが３０μｍ以上である六方
晶窒化ほう素粉末を磨砕を伴わない粉砕法で粉砕するこ
とを特徴とする高充填性六方晶窒化ほう素粉末の製造方
法。 （請求項３）請求項１記載の高充填性ｈＢＮ粉末を２０
重量％以上（１００重量％を含む）含み、かつ酸素含有
量が０．４〜１．７重量％であることを特徴とするｈＢ
Ｎ焼結体製造用原料。 （請求項４）請求項３記載のｈＢＮ焼結体製造用原料を
焼結してなることを特徴とするｈＢＮ焼結体。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、更に詳しく本発明について
説明する。
説明する。
【００１６】本発明における面積平均径Ｄａと体積平均
径Ｄｖは、一般的な粒度の表現法で使用されているもの
であり、それは例えば光回折法（装置：マイクロトラッ
ク）によって測定することができる（例えば「最新粉体
の材料設計」第１０３〜１０９頁 １９８８年６月１０
日 株式会社テクノシステム 参照）。
径Ｄｖは、一般的な粒度の表現法で使用されているもの
であり、それは例えば光回折法（装置：マイクロトラッ
ク）によって測定することができる（例えば「最新粉体
の材料設計」第１０３〜１０９頁 １９８８年６月１０
日 株式会社テクノシステム 参照）。
【００１７】本発明の高充填性ｈＢＮ粉末は、Ｔ値が
０．５以下である。これは、通常のｈＢＮ粉末が有する
Ｔ値０．６〜０．８程度と比較して小さいことが特徴で
ある。従って、本発明の高充填性ｈＢＮ粉末は、通常の
ｈＢＮ粉末よりも充填性が良好であり、常圧焼結やホッ
トプレス用原料あるいは樹脂との複合体として優れたも
のである。
０．５以下である。これは、通常のｈＢＮ粉末が有する
Ｔ値０．６〜０．８程度と比較して小さいことが特徴で
ある。従って、本発明の高充填性ｈＢＮ粉末は、通常の
ｈＢＮ粉末よりも充填性が良好であり、常圧焼結やホッ
トプレス用原料あるいは樹脂との複合体として優れたも
のである。
【００１８】本発明において、Ｔ値をｈＢＮ粉末の充填
性の指標としたのは、ｈＢＮ粉末は強い鱗片形状を有し
ておりその厚みが薄いほど充填性が低いこと、また一般
的に厚みは粒径の大きさに比例して厚くなるので粒径の
大きいｈＢＮ粉末ほど充填性が高くなるが、粒径の小さ
いｈＢＮ粉末であってもその厚みの厚いものは充填性が
高くなることにもとづいたものであり、再現性の高い評
価法である。一定体積の粒子を考えると、粒子が理想球
形状である場合にその表面積が最小となり、鱗片形状と
なるに従ってその表面積が増加することから、本発明に
おいてＴ値が小さいということは厚みが厚いことを意味
する。
性の指標としたのは、ｈＢＮ粉末は強い鱗片形状を有し
ておりその厚みが薄いほど充填性が低いこと、また一般
的に厚みは粒径の大きさに比例して厚くなるので粒径の
大きいｈＢＮ粉末ほど充填性が高くなるが、粒径の小さ
いｈＢＮ粉末であってもその厚みの厚いものは充填性が
高くなることにもとづいたものであり、再現性の高い評
価法である。一定体積の粒子を考えると、粒子が理想球
形状である場合にその表面積が最小となり、鱗片形状と
なるに従ってその表面積が増加することから、本発明に
おいてＴ値が小さいということは厚みが厚いことを意味
する。
【００１９】本発明においては、上記Ｔ値を有するもの
であっても、２７００ｋｇ／ｃｍ2で冷間静水圧成形を
行ったときの成形体密度（以下、「ＣＩＰ体密度」とい
う。）が１．９ｇ／ｃｍ3 以上であるものが好ましく、
特に体積平均径Ｄｖが３０μｍ未満更に好ましくは１５
μｍ以下であるｈＢＮ粉末である場合には、更なる高純
度でかつ高密度、高強度のｈＢＮ焼結体を製造すること
ができる。
であっても、２７００ｋｇ／ｃｍ2で冷間静水圧成形を
行ったときの成形体密度（以下、「ＣＩＰ体密度」とい
う。）が１．９ｇ／ｃｍ3 以上であるものが好ましく、
特に体積平均径Ｄｖが３０μｍ未満更に好ましくは１５
μｍ以下であるｈＢＮ粉末である場合には、更なる高純
度でかつ高密度、高強度のｈＢＮ焼結体を製造すること
ができる。
【００２０】本発明の高充填性ｈＢＮ粉末は、通常に入
手できる体積平均径Ｄｖが３０μｍ以上のｈＢＮ粉末を
ジェットミル等の磨砕を伴わない方法で粉砕することに
よって製造することができ、原料のｈＢＮ粉末の製造法
については特に制約はない。本発明のように磨砕を伴わ
ない方法で粉砕することによる利点は、それによってｈ
ＢＮ粒子同士の衝突によりｈＢＮ粉末が粉砕されるの
で、ボールミル粉砕等のような磨砕を伴う方法で粉砕し
た場合のようにＢＮ粒子の短軸方向の剥離が起こり難く
なり、従って鱗片形状の強まらない、充填性の低下しな
い所望の粒径を有するｈＢＮ粉末を製造することができ
ることである。更には、粉砕後の分級等の処理を行わな
くてもそのままｈＢＮ焼結体製造用原料として使用する
ことができる。
手できる体積平均径Ｄｖが３０μｍ以上のｈＢＮ粉末を
ジェットミル等の磨砕を伴わない方法で粉砕することに
よって製造することができ、原料のｈＢＮ粉末の製造法
については特に制約はない。本発明のように磨砕を伴わ
ない方法で粉砕することによる利点は、それによってｈ
ＢＮ粒子同士の衝突によりｈＢＮ粉末が粉砕されるの
で、ボールミル粉砕等のような磨砕を伴う方法で粉砕し
た場合のようにＢＮ粒子の短軸方向の剥離が起こり難く
なり、従って鱗片形状の強まらない、充填性の低下しな
い所望の粒径を有するｈＢＮ粉末を製造することができ
ることである。更には、粉砕後の分級等の処理を行わな
くてもそのままｈＢＮ焼結体製造用原料として使用する
ことができる。
【００２１】本発明の高充填性ｈＢＮ粉末はそのまま焼
結体製造用原料として使用することができるが、望まし
くは本発明の高充填性ｈＢＮ粉末とそれ以外のｈＢＮ粉
末とを混合することである。この場合において、焼結体
製造用原料中における本発明の高充填性ｈＢＮ粉末の含
有割合は２０重量％以上（１００重量％を含む）である
ことが好ましく、また酸素含有量は０．４〜１．７重量
％であることが好ましい。本発明の高充填性ｈＢＮ粉末
の含有割合が２０重量％未満では焼結体密度の向上効果
が小さく、また酸素含有量が０．４重量％未満では焼結
体強度が低下し、１．７重量％を越えると焼結体純度が
低下する。焼結体製造用原料の調製にあたっては、リボ
ンブレンダー等の磨砕を伴わない混合装置が使用され
る。
結体製造用原料として使用することができるが、望まし
くは本発明の高充填性ｈＢＮ粉末とそれ以外のｈＢＮ粉
末とを混合することである。この場合において、焼結体
製造用原料中における本発明の高充填性ｈＢＮ粉末の含
有割合は２０重量％以上（１００重量％を含む）である
ことが好ましく、また酸素含有量は０．４〜１．７重量
％であることが好ましい。本発明の高充填性ｈＢＮ粉末
の含有割合が２０重量％未満では焼結体密度の向上効果
が小さく、また酸素含有量が０．４重量％未満では焼結
体強度が低下し、１．７重量％を越えると焼結体純度が
低下する。焼結体製造用原料の調製にあたっては、リボ
ンブレンダー等の磨砕を伴わない混合装置が使用され
る。
【００２２】
【実施例】次に、実施例例と比較例をあげて更に具体的
に本発明を説明する。
に本発明を説明する。
【００２３】実施例１〜６ 市販ｈＢＮ粉末（マイクロトラックで測定された体積平
均径Ｄｖが３３μｍ、Ｔ値が０．６３）をジェットミル
粉砕機の粉砕時間を変えて粉砕し、表１に示す種々の高
充填性ｈＢＮ粉末を製造した。ＣＩＰ体密度はＣＩＰ体
の寸法と質量から求めた。
均径Ｄｖが３３μｍ、Ｔ値が０．６３）をジェットミル
粉砕機の粉砕時間を変えて粉砕し、表１に示す種々の高
充填性ｈＢＮ粉末を製造した。ＣＩＰ体密度はＣＩＰ体
の寸法と質量から求めた。
【００２４】得られた高充填ｈＢＮ粉末と酸素含有量
２．１重量％のｈＢＮ粉末とを酸素含有量１．０重量％
となるように混合してｈＢＮ焼結体製造用原料を製造
し、それを温度１９００℃、圧力２００ｋｇ／ｃｍ2 で
ホットプレス焼結してｈＢＮ焼結体を製造した。得られ
たｈＢＮ焼結体の密度、強度及びＢＮ純度を測定した。
それらの結果を表１に示す。
２．１重量％のｈＢＮ粉末とを酸素含有量１．０重量％
となるように混合してｈＢＮ焼結体製造用原料を製造
し、それを温度１９００℃、圧力２００ｋｇ／ｃｍ2 で
ホットプレス焼結してｈＢＮ焼結体を製造した。得られ
たｈＢＮ焼結体の密度、強度及びＢＮ純度を測定した。
それらの結果を表１に示す。
【００２５】実施例７ 実施例５で得られた高充填ｈＢＮ粉末と酸素含有量０．
８重量％のｈＢＮ粉末とを混合して酸素含有量０．５重
量％のｈＢＮ焼結体製造用原料を製造し、それを用いて
実施例１と同様にしてｈＢＮ焼結体を製造した。
８重量％のｈＢＮ粉末とを混合して酸素含有量０．５重
量％のｈＢＮ焼結体製造用原料を製造し、それを用いて
実施例１と同様にしてｈＢＮ焼結体を製造した。
【００２６】実施例８ 実施例５で得られた高充填ｈＢＮ粉末と酸素含有量３．
３重量％のｈＢＮ粉末とを混合して酸素含有量１．５重
量％のｈＢＮ焼結体製造用原料を製造し、それを用いて
実施例１と同様にしてｈＢＮ焼結体を製造した。
３重量％のｈＢＮ粉末とを混合して酸素含有量１．５重
量％のｈＢＮ焼結体製造用原料を製造し、それを用いて
実施例１と同様にしてｈＢＮ焼結体を製造した。
【００２７】比較例１ アルミナボールを媒体とするボールミルにより磨砕粉砕
を行ったこと以外は、実施例１と同様にしてｈＢＮ粉末
を製造し、ｈＢＮ焼結体を製造した。
を行ったこと以外は、実施例１と同様にしてｈＢＮ粉末
を製造し、ｈＢＮ焼結体を製造した。
【００２８】比較例２ アルミナボールを媒体とする振動ミルにより磨砕粉砕を
行ったこと以外は、実施例１と同様にしてｈＢＮ粉末を
製造し、ｈＢＮ焼結体を製造した。
行ったこと以外は、実施例１と同様にしてｈＢＮ粉末を
製造し、ｈＢＮ焼結体を製造した。
【００２９】比較例３ 実施例１で使用した市販ｈＢＮ粉末を用いてｈＢＮ焼結
体を製造したが、焼結が進まず強度を測定することがで
きなかった。
体を製造したが、焼結が進まず強度を測定することがで
きなかった。
【００３０】
【表１】
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、従来よりも高充填性の
ｈＢＮ粉末が提供されるので、それを用いて製造された
ｈＢＮ焼結体の密度、強度及びＢＮ純度が向上する。
ｈＢＮ粉末が提供されるので、それを用いて製造された
ｈＢＮ焼結体の密度、強度及びＢＮ純度が向上する。
Claims (4)
- 【請求項１】 面積平均径Ｄａ／体積平均径Ｄｖの比で
表されるＴ値が０．５以下であることを特徴とする高充
填性六方晶窒化ほう素粉末。 - 【請求項２】 体積平均径Ｄｖが３０μｍ以上である六
方晶窒化ほう素粉末を磨砕を伴わない粉砕法で粉砕する
ことを特徴とする高充填性六方晶窒化ほう素粉末の製造
方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の高充填性六方晶窒化ほう
素粉末を２０重量％以上（１００重量％を含む）含み、
かつ酸素含有量が０．４〜１．７重量％であることを特
徴とする六方晶窒化ほう素焼結体製造用原料。 - 【請求項４】 請求項３記載の六方晶窒化ほう素焼結体
製造用原料を焼結してなることを特徴とする六方晶窒化
ほう素焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7342565A JPH09183660A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 高充填性六方晶窒化ほう素粉末、その製造方法及び用途 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7342565A JPH09183660A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 高充填性六方晶窒化ほう素粉末、その製造方法及び用途 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09183660A true JPH09183660A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=18354750
Family Applications (1)
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| JP7342565A Withdrawn JPH09183660A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 高充填性六方晶窒化ほう素粉末、その製造方法及び用途 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09183660A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11277515A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-10-12 | Advanced Ceramics Corp | 高密度窒化ホウ素および高密度凝集窒化ホウ素粒子の製造法 |
| JP2000007310A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 高充填性窒化ホウ素粉末 |
| JP2007191337A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 窒化ホウ素粉末、その製造方法及び用途 |
| CN117050460A (zh) * | 2023-09-13 | 2023-11-14 | 江苏耀鸿电子有限公司 | 一种覆铜板用bn微粉增强酚醛树脂及其制备方法 |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP7342565A patent/JPH09183660A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11277515A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-10-12 | Advanced Ceramics Corp | 高密度窒化ホウ素および高密度凝集窒化ホウ素粒子の製造法 |
| JP2000007310A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 高充填性窒化ホウ素粉末 |
| JP2007191337A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 窒化ホウ素粉末、その製造方法及び用途 |
| CN117050460A (zh) * | 2023-09-13 | 2023-11-14 | 江苏耀鸿电子有限公司 | 一种覆铜板用bn微粉增强酚醛树脂及其制备方法 |
| CN117050460B (zh) * | 2023-09-13 | 2024-01-23 | 江苏耀鸿电子有限公司 | 一种覆铜板用bn微粉增强酚醛树脂及其制备方法 |
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