JPH0917845A - 位置合せ装置 - Google Patents
位置合せ装置Info
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- JPH0917845A JPH0917845A JP18353895A JP18353895A JPH0917845A JP H0917845 A JPH0917845 A JP H0917845A JP 18353895 A JP18353895 A JP 18353895A JP 18353895 A JP18353895 A JP 18353895A JP H0917845 A JPH0917845 A JP H0917845A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 環境温度の変化や構成部材の材質等に左右さ
れることなく、把持手段と保持手段との間で被処理体を
授受する際の授受位置の位置合せを簡易、迅速かつ正確
に行う。 【構成】 ウエハチャック17によって把持される治具
50と、ウエハチャック17の把持溝と、ウエハボート
41の保持溝とを同時に撮像する撮像装置60と、この
撮像装置60によって撮像された把持溝と保持溝とを同
一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する
モニタ70とを具備する。治具50に、ウエハチャック
17の把持溝に係合する爪部54を設けると共に、この
爪部54を異なる温度環境下で使用されるウエハチャッ
ク17の把持溝の共通部分に係合可能に形成する。これ
により、環境温度の変化や構成部材の材質等に左右され
ることなく、ウエハチャック17とウエハボート41と
の間でウエハWを授受する際の授受位置の位置合せを簡
易、迅速かつ正確に行うことができる。
れることなく、把持手段と保持手段との間で被処理体を
授受する際の授受位置の位置合せを簡易、迅速かつ正確
に行う。 【構成】 ウエハチャック17によって把持される治具
50と、ウエハチャック17の把持溝と、ウエハボート
41の保持溝とを同時に撮像する撮像装置60と、この
撮像装置60によって撮像された把持溝と保持溝とを同
一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する
モニタ70とを具備する。治具50に、ウエハチャック
17の把持溝に係合する爪部54を設けると共に、この
爪部54を異なる温度環境下で使用されるウエハチャッ
ク17の把持溝の共通部分に係合可能に形成する。これ
により、環境温度の変化や構成部材の材質等に左右され
ることなく、ウエハチャック17とウエハボート41と
の間でウエハWを授受する際の授受位置の位置合せを簡
易、迅速かつ正確に行うことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、位置合せ装置に関す
るものである。
るものである。
【0002】
【従来の技術】例えばLSI等の半導体デバイスの製造
工程における洗浄処理においては、従来から半導体ウエ
ハ(以下にウエハという)表面のパーティクル、有機汚
染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去するた
めに洗浄処理装置が使用されており、その中でもとりわ
け、ウェット洗浄装置は、パーティクルを効果的に除去
できしかもバッチ処理が可能なため、広く普及してい
る。
工程における洗浄処理においては、従来から半導体ウエ
ハ(以下にウエハという)表面のパーティクル、有機汚
染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去するた
めに洗浄処理装置が使用されており、その中でもとりわ
け、ウェット洗浄装置は、パーティクルを効果的に除去
できしかもバッチ処理が可能なため、広く普及してい
る。
【0003】かかるウェット洗浄装置においては、所定
枚数例えば25枚のウエハを収納したカセット単位でロ
ードするロード機構と、このロード機構によってロード
されたウエハを所定枚数、例えば50枚ずつ搬送するウ
エハ搬送装置と、このウエハ搬送装置によって搬送され
たウエハを一括して洗浄するように配列された複数の洗
浄処理槽と、各洗浄処理槽によって洗浄されたウエハを
アンロードするアンロード機構とを備えて構成されてい
る。
枚数例えば25枚のウエハを収納したカセット単位でロ
ードするロード機構と、このロード機構によってロード
されたウエハを所定枚数、例えば50枚ずつ搬送するウ
エハ搬送装置と、このウエハ搬送装置によって搬送され
たウエハを一括して洗浄するように配列された複数の洗
浄処理槽と、各洗浄処理槽によって洗浄されたウエハを
アンロードするアンロード機構とを備えて構成されてい
る。
【0004】そして上記ウエハ搬送装置は、上記各洗浄
処理槽へウエハを搬送する際に所定枚数、例えば50枚
のウエハを一括して同時に把持する、把持手段としての
ウエハチャックと呼ばれる把持装置を有している。この
把持装置は通常、略水平方向に突出した対向する一対の
把持部材に、把持すべきウエハの枚数に応じた複数の把
持溝が所定の間隔をおいて形成されており、上記各ウエ
ハはこれら各把持溝にその周縁部が挿入され、各把持部
材相互の接近によって、上記各ウエハは垂直状態で把持
装置に把持されるように構成されている。
処理槽へウエハを搬送する際に所定枚数、例えば50枚
のウエハを一括して同時に把持する、把持手段としての
ウエハチャックと呼ばれる把持装置を有している。この
把持装置は通常、略水平方向に突出した対向する一対の
把持部材に、把持すべきウエハの枚数に応じた複数の把
持溝が所定の間隔をおいて形成されており、上記各ウエ
ハはこれら各把持溝にその周縁部が挿入され、各把持部
材相互の接近によって、上記各ウエハは垂直状態で把持
装置に把持されるように構成されている。
【0005】一方、ウエハの洗浄がなされる洗浄処理槽
内には、上記把持装置によって把持されて搬送されてく
る上記ウエハを保持するためのウエハボートと呼ばれる
保持具が設けられている。この保持具は、上記把持装置
によって把持された状態のウエハを一括して受け取って
保持するため、把持装置における上記把持溝に対応した
複数の保持溝が形成され、これら各保持溝内で各ウエハ
の周縁部を垂直に受容して、上記ウエハを所定の保持位
置にて保持するように構成されている。
内には、上記把持装置によって把持されて搬送されてく
る上記ウエハを保持するためのウエハボートと呼ばれる
保持具が設けられている。この保持具は、上記把持装置
によって把持された状態のウエハを一括して受け取って
保持するため、把持装置における上記把持溝に対応した
複数の保持溝が形成され、これら各保持溝内で各ウエハ
の周縁部を垂直に受容して、上記ウエハを所定の保持位
置にて保持するように構成されている。
【0006】したがって、上記把持装置と保持具の間で
ウエハを授受する際には、上記把持装置における把持位
置となる把持溝と、上記保持具における保持位置となる
上記保持溝とが、ウエハを授受する位置にてその相対位
置が一致、即ち同一垂直面上に位置していなければ、ウ
エハを円滑に授受することができない。
ウエハを授受する際には、上記把持装置における把持位
置となる把持溝と、上記保持具における保持位置となる
上記保持溝とが、ウエハを授受する位置にてその相対位
置が一致、即ち同一垂直面上に位置していなければ、ウ
エハを円滑に授受することができない。
【0007】そのため上記把持装置と保持具との間で、
事前に上記把持位置と保持位置との位置合せを行ってお
く必要がある。通常上記保持具は、洗浄処理槽内に固定
されているため、把持装置の方をX−Y方向に調整移動
させて上記位置合せが行われている。
事前に上記把持位置と保持位置との位置合せを行ってお
く必要がある。通常上記保持具は、洗浄処理槽内に固定
されているため、把持装置の方をX−Y方向に調整移動
させて上記位置合せが行われている。
【0008】そしてそのような位置合せについては、従
来、把持装置によって複数のダミーウエハを実際に把持
して授受位置まで移動させ、作業者が把持装置の設定位
置を適宜マニュアル調整しつつ、注意深く耳や目で確認
しながら、把持された各ウエハの周縁部が、保持具にお
いて対応する保持溝内に正しく垂直に授受できるように
位置合せしていた。
来、把持装置によって複数のダミーウエハを実際に把持
して授受位置まで移動させ、作業者が把持装置の設定位
置を適宜マニュアル調整しつつ、注意深く耳や目で確認
しながら、把持された各ウエハの周縁部が、保持具にお
いて対応する保持溝内に正しく垂直に授受できるように
位置合せしていた。
【0009】またその他、例えば把持装置による授受位
置を予め正確に測定して基準位置を決めておき、適宜の
距離センサを設置して把持装置の位置を常時検出し、上
記基準位置との差を例えば数値表示するなどして位置ず
れを検出し、その差が0になるように適宜把持装置の設
定位置を調整して位置合せを行うことが提案されてい
る。
置を予め正確に測定して基準位置を決めておき、適宜の
距離センサを設置して把持装置の位置を常時検出し、上
記基準位置との差を例えば数値表示するなどして位置ず
れを検出し、その差が0になるように適宜把持装置の設
定位置を調整して位置合せを行うことが提案されてい
る。
【0010】しかしながら前者の作業者の目や耳で確認
しながら位置合せを行う方法は、個々の作業者の技量に
負うところが多く、また人為的な誤差が皆無とは言えず
信頼性に欠ける。その上洗浄処理槽内での実際の授受の
様子を直接のぞき込むようにして確認しなければならな
いので、作業環境が悪く、調整までに多大な時間と労力
を必要としている。
しながら位置合せを行う方法は、個々の作業者の技量に
負うところが多く、また人為的な誤差が皆無とは言えず
信頼性に欠ける。その上洗浄処理槽内での実際の授受の
様子を直接のぞき込むようにして確認しなければならな
いので、作業環境が悪く、調整までに多大な時間と労力
を必要としている。
【0011】一方後者の基準位置に基づいて位置合せす
る方法では、把持装置の基準位置を決める際の実測の段
階で誤差が生じやすく、上記マニュアル操作の場合と同
様信頼性に欠ける。しかも把持装置は単純な形態ではな
いので、その位置を検出する際に必要な距離センサを多
数の場所に設置する必要があり、装置自体が複雑化す
る。また、洗浄処理槽内にもかかるセンサを設置する必
要があるので、対洗浄液性や水密性の問題が新たに生
じ、この点でも好ましくない。
る方法では、把持装置の基準位置を決める際の実測の段
階で誤差が生じやすく、上記マニュアル操作の場合と同
様信頼性に欠ける。しかも把持装置は単純な形態ではな
いので、その位置を検出する際に必要な距離センサを多
数の場所に設置する必要があり、装置自体が複雑化す
る。また、洗浄処理槽内にもかかるセンサを設置する必
要があるので、対洗浄液性や水密性の問題が新たに生
じ、この点でも好ましくない。
【0012】そこで、出願人は鋭意研究した結果、把持
装置の把持位置と保持具の保持位置との相対的位置合せ
を行う位置合せ装置を開発した(特願平6−20464
1号)。この位置合わせ装置は、把持装置又は保持具に
把持又は保持することができ、しかも、簡単な装置構成
によって把持装置の把持位置と保持具の保持位置との相
対位置、つまり相対位置基準の位置合せが簡易、迅速か
つ正確に行える。
装置の把持位置と保持具の保持位置との相対的位置合せ
を行う位置合せ装置を開発した(特願平6−20464
1号)。この位置合わせ装置は、把持装置又は保持具に
把持又は保持することができ、しかも、簡単な装置構成
によって把持装置の把持位置と保持具の保持位置との相
対位置、つまり相対位置基準の位置合せが簡易、迅速か
つ正確に行える。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記洗
浄処理量においては、使用される処理液例えばアンモニ
ア、フッ酸、フッ硝酸等の薬液や純水等の温度が異な
り、フッ硝酸を使用する場合は例えば160℃の高温度
下で洗浄処理が施される。このような高温処理の場合に
は、処理槽内の保持具は高温度下におかれるが、ウエハ
の搬送側の把持装置は常温下と高温下におかれるため、
その温度差によって熱膨脹が生じ、そのため位置合せ装
置を正確にセットすることができず、結局、把持装置と
保持具の保持溝の位置合せが正確に測定できないという
問題があった。
浄処理量においては、使用される処理液例えばアンモニ
ア、フッ酸、フッ硝酸等の薬液や純水等の温度が異な
り、フッ硝酸を使用する場合は例えば160℃の高温度
下で洗浄処理が施される。このような高温処理の場合に
は、処理槽内の保持具は高温度下におかれるが、ウエハ
の搬送側の把持装置は常温下と高温下におかれるため、
その温度差によって熱膨脹が生じ、そのため位置合せ装
置を正確にセットすることができず、結局、把持装置と
保持具の保持溝の位置合せが正確に測定できないという
問題があった。
【0014】また、従来の位置合せ装置は、光学系の撮
像装置と画像装置を利用するため、石英製の処理槽内に
配置される保持具を例えば石英製部材にて形成する場合
には、保持具を透過した光が槽の内面で反射してしま
い、そのため画像表示が不鮮明になり正確な位置合せが
できないという問題があった。また、保持具を例えばP
EEK(ポリエーテル・エーテル・ケトン)等の不透明
な合成樹脂製部材にて形成する場合においても、槽の内
面で光が反射して画像表示が不鮮明となり、正確な位置
合せができないという問題があった。
像装置と画像装置を利用するため、石英製の処理槽内に
配置される保持具を例えば石英製部材にて形成する場合
には、保持具を透過した光が槽の内面で反射してしま
い、そのため画像表示が不鮮明になり正確な位置合せが
できないという問題があった。また、保持具を例えばP
EEK(ポリエーテル・エーテル・ケトン)等の不透明
な合成樹脂製部材にて形成する場合においても、槽の内
面で光が反射して画像表示が不鮮明となり、正確な位置
合せができないという問題があった。
【0015】この発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、環境温度の変化や構成部材の材質等に左右されるこ
となく、把持手段の把持装置と把持手段の保持位置との
相対位置(相対基準位置)の位置合せを簡易、迅速かつ
正確に行える位置合せ装置を提供することを目的とする
ものである。
で、環境温度の変化や構成部材の材質等に左右されるこ
となく、把持手段の把持装置と把持手段の保持位置との
相対位置(相対基準位置)の位置合せを簡易、迅速かつ
正確に行える位置合せ装置を提供することを目的とする
ものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の位置合せ装置は、把持手段におけ
る所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を、保持手段における所定の保持位置に授受するように
構成された搬送系における、上記授受の際の上記把持装
置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う装置を
前提とし、上記把持手段によって把持される治具と、上
記治具に設けられ、上記把持位置と保持位置とを同時に
撮像する撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された
上記把持位置と保持位置とを同一画像表示部における同
一座標系に重ねて画像表示する表示手段とを具備し、上
記治具に、上記把持手段の把持位置を構成する把持溝に
係合する爪部を設けると共に、この爪部を異なる温度環
境下で使用される把持手段の把持溝の共通部分に係合可
能に形成してなることを特徴とする。
に、請求項1に記載の位置合せ装置は、把持手段におけ
る所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を、保持手段における所定の保持位置に授受するように
構成された搬送系における、上記授受の際の上記把持装
置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う装置を
前提とし、上記把持手段によって把持される治具と、上
記治具に設けられ、上記把持位置と保持位置とを同時に
撮像する撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された
上記把持位置と保持位置とを同一画像表示部における同
一座標系に重ねて画像表示する表示手段とを具備し、上
記治具に、上記把持手段の把持位置を構成する把持溝に
係合する爪部を設けると共に、この爪部を異なる温度環
境下で使用される把持手段の把持溝の共通部分に係合可
能に形成してなることを特徴とする。
【0017】請求項2に記載の位置合せ装置は、把持手
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持装置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う
装置を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は
保持され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する
撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持
位置と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示手段と、上記把持位置又は保
持位置の背部側に配置され、上記撮像手段から照射され
る光の反射を防止する反射防止部材と、を具備すること
を特徴とする。
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持装置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う
装置を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は
保持され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する
撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持
位置と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示手段と、上記把持位置又は保
持位置の背部側に配置され、上記撮像手段から照射され
る光の反射を防止する反射防止部材と、を具備すること
を特徴とする。
【0018】請求項3に記載の位置合せ装置は、把持手
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持装置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う
装置を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は
保持され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する
撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持
位置と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示手段と、上記把持手段の把持
位置又は保持手段の保持位置に、着脱可能に装着される
不透明性の位置決め部材と、を具備することを特徴とす
る。
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持装置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う
装置を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は
保持され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する
撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持
位置と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示手段と、上記把持手段の把持
位置又は保持手段の保持位置に、着脱可能に装着される
不透明性の位置決め部材と、を具備することを特徴とす
る。
【0019】請求項4に記載の位置合せ装置は、把持手
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持装置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う
装置を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は
保持され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する
撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持
位置と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示手段とを具備し、上記把持手
段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位置決め用の
表示を施してなることを特徴とする。
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持装置位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う
装置を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は
保持され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する
撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持
位置と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示手段とを具備し、上記把持手
段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位置決め用の
表示を施してなることを特徴とする。
【0020】
【作用】請求項1に記載の位置合せ装置によれば、把持
手段によって把持される治具に、把持手段の把持位置を
構成する把持溝に係合する爪部を設けると共に、この爪
部を異なる温度環境下で使用される把持手段の把持溝の
共通部分に係合可能に形成することにより、常温下で使
用される所定のピッチの把持溝を有する把持手段と、高
温度下で使用される予め熱膨張を考慮した小ピッチの把
持溝を有する把持手段のいずれにも治具をセットするこ
とができ、把持手段における被処理体の把持位置と、治
具における保持位置とを同一の撮像装置によって同時に
撮像し、撮像されたこれら把持位置と保持位置とを同一
画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示するこ
とで、把持位置と保持位置とが位置ずれしている場合、
画像像もずれて表示される。
手段によって把持される治具に、把持手段の把持位置を
構成する把持溝に係合する爪部を設けると共に、この爪
部を異なる温度環境下で使用される把持手段の把持溝の
共通部分に係合可能に形成することにより、常温下で使
用される所定のピッチの把持溝を有する把持手段と、高
温度下で使用される予め熱膨張を考慮した小ピッチの把
持溝を有する把持手段のいずれにも治具をセットするこ
とができ、把持手段における被処理体の把持位置と、治
具における保持位置とを同一の撮像装置によって同時に
撮像し、撮像されたこれら把持位置と保持位置とを同一
画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示するこ
とで、把持位置と保持位置とが位置ずれしている場合、
画像像もずれて表示される。
【0021】したがって、上記画像をに基づいて把持位
置と保持位置とが一致するように、把持手段と保持手段
を相対的に位置調整することにより、把持位置と保持位
置との位置合せを簡単かつ正確に行うことができる。
置と保持位置とが一致するように、把持手段と保持手段
を相対的に位置調整することにより、把持位置と保持位
置との位置合せを簡単かつ正確に行うことができる。
【0022】請求項2に記載の位置合せ装置によれば、
把持位置又は保持位置の背部側に反射防止部材を配置す
ることで、撮像手段から把持位置及び保持位置に照射さ
れる光の反射を防止することができ、把持位置と保持位
置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示することができ
る。
把持位置又は保持位置の背部側に反射防止部材を配置す
ることで、撮像手段から把持位置及び保持位置に照射さ
れる光の反射を防止することができ、把持位置と保持位
置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示することができ
る。
【0023】請求項3に記載の位置合せ装置によれば、
把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、不透明
性の位置決め部材を装着することにより、撮像手段によ
って位置決め部材を介して把持位置及び保持位置を撮像
することができ、把持位置と保持位置を表示手段の画像
表示部に鮮明に表示することができる。
把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、不透明
性の位置決め部材を装着することにより、撮像手段によ
って位置決め部材を介して把持位置及び保持位置を撮像
することができ、把持位置と保持位置を表示手段の画像
表示部に鮮明に表示することができる。
【0024】請求項4に記載の位置合せ装置によれば、
把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位置決
め用の表示を施すことにより、撮像手段によって表示を
介して把持位置及び保持位置を撮像することができ、把
持位置と保持位置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示
することができる。
把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位置決
め用の表示を施すことにより、撮像手段によって表示を
介して把持位置及び保持位置を撮像することができ、把
持位置と保持位置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示
することができる。
【0025】
【実施例】以下にこの発明の実施例を添付図面に基づい
て詳細に説明する。本実施例はこの発明の位置合せ装置
を半導体ウエハ(以下にウエハという)の洗浄処理装置
において適用した場合である。
て詳細に説明する。本実施例はこの発明の位置合せ装置
を半導体ウエハ(以下にウエハという)の洗浄処理装置
において適用した場合である。
【0026】上記洗浄処理装置について説明すると、こ
の洗浄処理装置1全体は、図1に示すように、洗浄処理
前のウエハをカセット単位で収容する搬入部2と、ウエ
ハの洗浄処理が行われる洗浄処理部3と、洗浄処理後の
ウエハをカセット単位で取り出すための搬出部4の、3
つのゾーンによって主要部が構成されている。
の洗浄処理装置1全体は、図1に示すように、洗浄処理
前のウエハをカセット単位で収容する搬入部2と、ウエ
ハの洗浄処理が行われる洗浄処理部3と、洗浄処理後の
ウエハをカセット単位で取り出すための搬出部4の、3
つのゾーンによって主要部が構成されている。
【0027】上記搬入部2には、洗浄処理前のウエハが
所定枚数、例えば25枚収納されたカセット5を待機さ
せる待機部6と、カセット5からのウエハの取り出し、
オリフラ合せ及び枚数検出等を行うローダ部7と、外部
から搬送ロボットなどによって搬入されるカセット5の
上記待機部6への搬送、及びこの待機部6と上記ローダ
7との間で、カセット5の搬送を行うための搬送アーム
8が設けられている。
所定枚数、例えば25枚収納されたカセット5を待機さ
せる待機部6と、カセット5からのウエハの取り出し、
オリフラ合せ及び枚数検出等を行うローダ部7と、外部
から搬送ロボットなどによって搬入されるカセット5の
上記待機部6への搬送、及びこの待機部6と上記ローダ
7との間で、カセット5の搬送を行うための搬送アーム
8が設けられている。
【0028】上記洗浄処理部3には、その前面側(図1
における手前側)に3つのウエハ搬送装置11、12、
13、が配列されており、また上記洗浄処理部3の上方
には、上記ウエハ搬送装置11、12、13によってウ
エハが取り出された後の空のカセット5を、洗浄、乾燥
処理するカセット洗浄・乾燥ライン14が上記洗浄部3
に沿って設けられている。このカセット洗浄・乾燥ライ
ン14へのカセットの供給は、上記ローダ部7と昇降機
構15によって行われる。
における手前側)に3つのウエハ搬送装置11、12、
13、が配列されており、また上記洗浄処理部3の上方
には、上記ウエハ搬送装置11、12、13によってウ
エハが取り出された後の空のカセット5を、洗浄、乾燥
処理するカセット洗浄・乾燥ライン14が上記洗浄部3
に沿って設けられている。このカセット洗浄・乾燥ライ
ン14へのカセットの供給は、上記ローダ部7と昇降機
構15によって行われる。
【0029】一方、搬出部4においても、上記昇降機構
15と同様な昇降機構(図示せず)が設けられており、
上記洗浄・乾燥ライン14を経た空のカセット5は、こ
の昇降機構によって搬出部4内の所定の受け取り位置に
セットされるように構成されている。
15と同様な昇降機構(図示せず)が設けられており、
上記洗浄・乾燥ライン14を経た空のカセット5は、こ
の昇降機構によって搬出部4内の所定の受け取り位置に
セットされるように構成されている。
【0030】上記洗浄処理部3には、上記ローダ部7側
から順に、上記ウエハ搬送装置11のウエハチャック1
6を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽21、ウ
エハ表面の有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の
不純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽2
2、上記薬液洗浄処理槽22で洗浄されたウエハを例え
ば純水によって洗浄する2つの水洗洗浄処理槽23,2
4、上記薬液洗浄処理槽22における薬液とは異なった
薬液で洗浄処理する薬液洗浄処理槽25、上記薬液洗浄
処理槽25で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗
浄する2つの水洗洗浄処理槽26,27、上記ウエハ搬
送装置13のウエハチャック17を、乾燥するチャック
洗浄・乾燥処理槽28、及び上記不純物質が除去された
ウエハを、例えばIPA(イソプロピルアルコール)等
で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽29がそれぞれ配設
されている。
から順に、上記ウエハ搬送装置11のウエハチャック1
6を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽21、ウ
エハ表面の有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の
不純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽2
2、上記薬液洗浄処理槽22で洗浄されたウエハを例え
ば純水によって洗浄する2つの水洗洗浄処理槽23,2
4、上記薬液洗浄処理槽22における薬液とは異なった
薬液で洗浄処理する薬液洗浄処理槽25、上記薬液洗浄
処理槽25で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗
浄する2つの水洗洗浄処理槽26,27、上記ウエハ搬
送装置13のウエハチャック17を、乾燥するチャック
洗浄・乾燥処理槽28、及び上記不純物質が除去された
ウエハを、例えばIPA(イソプロピルアルコール)等
で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽29がそれぞれ配設
されている。
【0031】そして上記薬液洗浄処理槽22,25は、
それぞれの洗浄処理液がオーバーフローして循環し、こ
の循環時にそれぞれの洗浄処理液内に蓄積された不純物
が除去されるように構成されている。
それぞれの洗浄処理液がオーバーフローして循環し、こ
の循環時にそれぞれの洗浄処理液内に蓄積された不純物
が除去されるように構成されている。
【0032】上記ウエハ搬送装置11,12,13は、
基本的に同一構成であり、ウエハ搬送装置12の構成に
ついて、図1、図2に基づいて説明すると、このウエハ
搬送装置12は、例えば50枚のウエハを一括して把持
する左右一対の把持部材17a,17bによって構成さ
れたウエハチャック17(把持手段)と、このウエハチ
ャック17を上下方向(Z方向)に昇降させると共に、
前後方向(Y方向)にも移動させるY軸駆動機構12d
と、このY軸駆動機構12dを備えた駆動機構12aを
洗浄処理部3の長手方向(X方向)に沿って移動させる
ための搬送ベース12bとを有している。また上記ウエ
ハチャック17を昇降させる際に、駆動機構12aから
突出、収納する摺動体は、ベローズシール12cによっ
て被覆されており、洗浄処理部3内で発生したパーティ
クルがこの摺動体に直接付着しないように構成されてい
る。
基本的に同一構成であり、ウエハ搬送装置12の構成に
ついて、図1、図2に基づいて説明すると、このウエハ
搬送装置12は、例えば50枚のウエハを一括して把持
する左右一対の把持部材17a,17bによって構成さ
れたウエハチャック17(把持手段)と、このウエハチ
ャック17を上下方向(Z方向)に昇降させると共に、
前後方向(Y方向)にも移動させるY軸駆動機構12d
と、このY軸駆動機構12dを備えた駆動機構12aを
洗浄処理部3の長手方向(X方向)に沿って移動させる
ための搬送ベース12bとを有している。また上記ウエ
ハチャック17を昇降させる際に、駆動機構12aから
突出、収納する摺動体は、ベローズシール12cによっ
て被覆されており、洗浄処理部3内で発生したパーティ
クルがこの摺動体に直接付着しないように構成されてい
る。
【0033】また、上記駆動機構12a全体は、適宜の
調整機構(図示せず)によってその平面における中心を
軸心として、適宜の範囲で図2に示すようにθ方向にも
微調整できるように構成され、更にウエハチャック17
の所定位置での停止、即ち位置合せを行うための、駆動
機構12aのX方向、Y軸駆動機構12dのY方向への
マニュアル調整移動が、パルスモータの制御によって自
在に行え、かつその設定位置を記憶させることが可能な
ように構成されている。
調整機構(図示せず)によってその平面における中心を
軸心として、適宜の範囲で図2に示すようにθ方向にも
微調整できるように構成され、更にウエハチャック17
の所定位置での停止、即ち位置合せを行うための、駆動
機構12aのX方向、Y軸駆動機構12dのY方向への
マニュアル調整移動が、パルスモータの制御によって自
在に行え、かつその設定位置を記憶させることが可能な
ように構成されている。
【0034】そして上記ウエハチャック17における各
把持部材17a、17bは、それぞれ図3、図4に示す
ように、それぞれ図2における往復回動矢印M、Nで示
されるように回動自在に構成され、更にその両端部から
下方に設けられた支持体31,32間の上下に、各々把
持棒33、34が水平方向に架設されて固定されてい
る。これら把持棒33,34fは例えば石英製部材ある
いは例えばPEEK(ポリエーテル・エーテル・ケト
ン)等の合成樹脂製部材にて形成されている。
把持部材17a、17bは、それぞれ図3、図4に示す
ように、それぞれ図2における往復回動矢印M、Nで示
されるように回動自在に構成され、更にその両端部から
下方に設けられた支持体31,32間の上下に、各々把
持棒33、34が水平方向に架設されて固定されてい
る。これら把持棒33,34fは例えば石英製部材ある
いは例えばPEEK(ポリエーテル・エーテル・ケト
ン)等の合成樹脂製部材にて形成されている。
【0035】更に上側の把持棒33には把持溝Pが、下
側の把持棒34にも把持溝Qが、それぞれ同一間隔の下
でそれぞれP1〜P50、Q1〜Q50までの計50個ずつ設
けられており、把持される50枚のウエハWはその周縁
部が、各把持部材17a、17bにおける各把持棒3
3、34における各把持溝P1〜P50とQ1〜Q50内に挿
入(係合)された状態で、各把持部材17a、17bが
相互に接近する方向に回動することによって、ウエハチ
ャック17に把持されるように構成されている。
側の把持棒34にも把持溝Qが、それぞれ同一間隔の下
でそれぞれP1〜P50、Q1〜Q50までの計50個ずつ設
けられており、把持される50枚のウエハWはその周縁
部が、各把持部材17a、17bにおける各把持棒3
3、34における各把持溝P1〜P50とQ1〜Q50内に挿
入(係合)された状態で、各把持部材17a、17bが
相互に接近する方向に回動することによって、ウエハチ
ャック17に把持されるように構成されている。
【0036】上記各洗浄処理槽内の底部近傍には、洗浄
処理中のウエハWを処理するためのウエハ保持手段とし
てのウエハボート41が設けられているが、今図2ない
し図4を参照して、薬液洗浄処理槽25内に設けられて
いるウエハボート41について説明すると、このウエハ
ボート41は、3本の保持棒42,43,44が薬液洗
浄処理槽25の底部近傍に長手方向(Y方向)に沿って
適宜のブラケット45を介して設置固定されている。こ
の場合、薬液洗浄処理槽25は例えば石英製部材にて形
成され、保持棒42,43,44は上記把持棒33,3
4と同様に例えば石英製部材あるいはPEEK等の合成
樹脂製部材にて形成されている。
処理中のウエハWを処理するためのウエハ保持手段とし
てのウエハボート41が設けられているが、今図2ない
し図4を参照して、薬液洗浄処理槽25内に設けられて
いるウエハボート41について説明すると、このウエハ
ボート41は、3本の保持棒42,43,44が薬液洗
浄処理槽25の底部近傍に長手方向(Y方向)に沿って
適宜のブラケット45を介して設置固定されている。こ
の場合、薬液洗浄処理槽25は例えば石英製部材にて形
成され、保持棒42,43,44は上記把持棒33,3
4と同様に例えば石英製部材あるいはPEEK等の合成
樹脂製部材にて形成されている。
【0037】また、保持棒42には保持溝Rが、中央に
位置する保持棒43には保持溝Sが、そして保持棒44
には保持溝Tが、それぞれ上記把持溝P,Qと同一間隔
の下で、それぞれR1〜R50,S1〜S50,T1〜T50ま
で計50個ずつ設けられている。
位置する保持棒43には保持溝Sが、そして保持棒44
には保持溝Tが、それぞれ上記把持溝P,Qと同一間隔
の下で、それぞれR1〜R50,S1〜S50,T1〜T50ま
で計50個ずつ設けられている。
【0038】そして、ウエハ搬送装置12のウエハチャ
ック17で一括して把持された50枚のウエハWを、薬
液洗浄処理槽25内において薬液洗浄を施す際には、ウ
エハWを把持した状態のウエハチャック17を駆動機構
12aによってウエハボート41の真上まで移動させ、
そのままこのウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25
内に下降させて、ウエハチャック17で把持された各ウ
エハWの周縁部をそれぞれウエハボート41の各保持棒
42,43,44における各保持溝R,S,Tで受容さ
せる。その後、ウエハチャック17の把持部材17a,
17bを開脚させて、ウエハチャック17を再び上昇さ
せて、薬液洗浄処理槽25外部に後退させる。
ック17で一括して把持された50枚のウエハWを、薬
液洗浄処理槽25内において薬液洗浄を施す際には、ウ
エハWを把持した状態のウエハチャック17を駆動機構
12aによってウエハボート41の真上まで移動させ、
そのままこのウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25
内に下降させて、ウエハチャック17で把持された各ウ
エハWの周縁部をそれぞれウエハボート41の各保持棒
42,43,44における各保持溝R,S,Tで受容さ
せる。その後、ウエハチャック17の把持部材17a,
17bを開脚させて、ウエハチャック17を再び上昇さ
せて、薬液洗浄処理槽25外部に後退させる。
【0039】所定の浸漬時間が経過し、洗浄処理が終了
した後は、把持部材17a,17bを開脚させた状態で
ウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25内に降下させ
て、ウエハWをウエハボート41に渡した際の位置にて
停止させ、今度はウエハボート41で保持されている5
0枚のウエハWの周縁部を同時に一括して、各把持部材
17a,17bの各把持棒33,34における各把持溝
P,Qに納め、その後各把持部材17a,17bを閉脚
させてこれら各ウエハWを一括して把持し、ウエハチャ
ック17を上昇させて、把持したウエハWを次の洗浄処
理である水洗洗浄を行う水洗洗浄処理槽24へと搬送さ
せるのである。
した後は、把持部材17a,17bを開脚させた状態で
ウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25内に降下させ
て、ウエハWをウエハボート41に渡した際の位置にて
停止させ、今度はウエハボート41で保持されている5
0枚のウエハWの周縁部を同時に一括して、各把持部材
17a,17bの各把持棒33,34における各把持溝
P,Qに納め、その後各把持部材17a,17bを閉脚
させてこれら各ウエハWを一括して把持し、ウエハチャ
ック17を上昇させて、把持したウエハWを次の洗浄処
理である水洗洗浄を行う水洗洗浄処理槽24へと搬送さ
せるのである。
【0040】なお、上記薬液洗浄処理槽25は、図4に
示すように、開口部に溢流用の三角状切欠(図示せず)
を設けた内槽25aと、この内槽25aの開口部の外側
に位置するオーバーフロー槽25bとで構成されてお
り、内槽25aの底部に設けられた処理液供給口25c
とオーバーフロー槽25bの底部に設けられた排液口2
5dに接続された循環路25eに吸引ポンプ25f、流
量制御弁25g、フィルタ25hがそれぞれ介設されて
いる。また、内槽25aの底部におけるウエハボート4
1の下方には、整流板25iが配置されており、処理液
供給口25cから内槽25a内に循環供給される処理液
を均一にウエハWに流すように構成されている。
示すように、開口部に溢流用の三角状切欠(図示せず)
を設けた内槽25aと、この内槽25aの開口部の外側
に位置するオーバーフロー槽25bとで構成されてお
り、内槽25aの底部に設けられた処理液供給口25c
とオーバーフロー槽25bの底部に設けられた排液口2
5dに接続された循環路25eに吸引ポンプ25f、流
量制御弁25g、フィルタ25hがそれぞれ介設されて
いる。また、内槽25aの底部におけるウエハボート4
1の下方には、整流板25iが配置されており、処理液
供給口25cから内槽25a内に循環供給される処理液
を均一にウエハWに流すように構成されている。
【0041】以上のプロセスにおいてウエハチャック1
7とウエハボート41との間で50枚のウエハWを一括
して授受する場合には、授受の時点で、ウエハチャック
17側の各把持溝P1〜P50、Q1〜Q50と、ウエハボー
ト41側の保持溝R1〜R50,S1〜S50,T1〜T50と
がそれぞれ正しい相対位置関係になければならない。即
ち例えば把持溝P1についていえば、把持溝P1,Q
1と、保持溝R1,S1,T1とが同一垂直面上に位置して
いなければならないのである。
7とウエハボート41との間で50枚のウエハWを一括
して授受する場合には、授受の時点で、ウエハチャック
17側の各把持溝P1〜P50、Q1〜Q50と、ウエハボー
ト41側の保持溝R1〜R50,S1〜S50,T1〜T50と
がそれぞれ正しい相対位置関係になければならない。即
ち例えば把持溝P1についていえば、把持溝P1,Q
1と、保持溝R1,S1,T1とが同一垂直面上に位置して
いなければならないのである。
【0042】この発明はかかる場合の把持溝と保持溝と
の位置合せを行う際の位置合せ装置を具現化したもので
ある。次に、位置合せ装置の一例について図5ないし図
14を参照して説明すると、この位置合せ装置は、上記
ウエハチャック17の把持棒33,34にて把持される
位置合せ用の治具50と、この治具50に装着され、上
記把持溝P,Qと、保持溝R,S,Tとを同時に撮像す
る撮像装置60(撮像手段)と、この撮像装置60によ
って撮像された把持溝P,Qと、保持溝R,S,Tとを
同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示す
る表示手段例えばモニタ70とで主要部が構成されてい
る。
の位置合せを行う際の位置合せ装置を具現化したもので
ある。次に、位置合せ装置の一例について図5ないし図
14を参照して説明すると、この位置合せ装置は、上記
ウエハチャック17の把持棒33,34にて把持される
位置合せ用の治具50と、この治具50に装着され、上
記把持溝P,Qと、保持溝R,S,Tとを同時に撮像す
る撮像装置60(撮像手段)と、この撮像装置60によ
って撮像された把持溝P,Qと、保持溝R,S,Tとを
同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示す
る表示手段例えばモニタ70とで主要部が構成されてい
る。
【0043】上記治具50は、図5ないし図7に示すよ
うに、矩形状の支持板51の長手方向両端部に、それぞ
れ左右水平方向に突出する載置部52,53を有し、ま
た、支持板51の下面側には、上記把持溝Pに受容(係
合)される形状の爪部54が例えば4箇所に設けられて
いる。なお、支持板51の下面には図示しない光源例え
ば蛍光灯あるいは発光ダイオード等が取付けられてい
る。なおこの場合、支持板51の長手方向の寸法は、ウ
エハチャック17の上述の把持溝Pの所定間例えばP4
〜P47間の距離と同一に設定されている。また、各爪部
54はそれぞれ外方水平方向にL字状に突出しており、
その外径寸法はウエハWの外径と同一に設定されてい
る。また、これら各爪部54の長手方向の間隔は、ウエ
ハチャック17における把持溝Pの間隔のn倍例えば4
4倍に設定され、更に異なる温度環境下例えば常温下と
高温下で使用されるウエハチャック17に対応し得るよ
うに構成されている。
うに、矩形状の支持板51の長手方向両端部に、それぞ
れ左右水平方向に突出する載置部52,53を有し、ま
た、支持板51の下面側には、上記把持溝Pに受容(係
合)される形状の爪部54が例えば4箇所に設けられて
いる。なお、支持板51の下面には図示しない光源例え
ば蛍光灯あるいは発光ダイオード等が取付けられてい
る。なおこの場合、支持板51の長手方向の寸法は、ウ
エハチャック17の上述の把持溝Pの所定間例えばP4
〜P47間の距離と同一に設定されている。また、各爪部
54はそれぞれ外方水平方向にL字状に突出しており、
その外径寸法はウエハWの外径と同一に設定されてい
る。また、これら各爪部54の長手方向の間隔は、ウエ
ハチャック17における把持溝Pの間隔のn倍例えば4
4倍に設定され、更に異なる温度環境下例えば常温下と
高温下で使用されるウエハチャック17に対応し得るよ
うに構成されている。
【0044】つまり、図8(a)に示すように、高温下
で使用されるウエハチャック17の把持棒32の把持溝
Pの間隔(p2)は、把持棒32の熱膨脹を見込んで常
温下で使用されるウエハチャック17の把持棒32の把
持溝の間隔(p1)より予め小ピッチに設定されてい
る。そのため、常温用と高温用のウエハチャック17の
把持棒32の把持溝P間にピッチ誤差(Δp)が生じる
ため、爪部54を常温用と高温用の両方に対応させるこ
とができないという問題が生じる。そこで、図8(b)
に示すように、上記爪部54を常温用の把持棒32の把
持溝Pnと高温用の把持棒32の把持溝Phの共通部分
(Δp/2)に係合するように形成する。即ち爪部54
を支持板51の中心(O)から所定の間隔(n)位置に
設ける場合は、爪部54の支持板51の中心からの位置
を、p2・n+Δp/2の位置に設定し、その爪部54の
形状を常温用の把持溝Pnと高温用の把持溝Phの共通
部分に係合し得る形状に設定する。このように、爪部5
4を常温用の把持棒32の把持溝Pnと高温用の把持棒
32の把持溝Phの共通部分に係合可能に形成すること
により、同一の治具を用いて把持溝P,Qと、保持溝
R,S,Tの位置合せを行うことができる。
で使用されるウエハチャック17の把持棒32の把持溝
Pの間隔(p2)は、把持棒32の熱膨脹を見込んで常
温下で使用されるウエハチャック17の把持棒32の把
持溝の間隔(p1)より予め小ピッチに設定されてい
る。そのため、常温用と高温用のウエハチャック17の
把持棒32の把持溝P間にピッチ誤差(Δp)が生じる
ため、爪部54を常温用と高温用の両方に対応させるこ
とができないという問題が生じる。そこで、図8(b)
に示すように、上記爪部54を常温用の把持棒32の把
持溝Pnと高温用の把持棒32の把持溝Phの共通部分
(Δp/2)に係合するように形成する。即ち爪部54
を支持板51の中心(O)から所定の間隔(n)位置に
設ける場合は、爪部54の支持板51の中心からの位置
を、p2・n+Δp/2の位置に設定し、その爪部54の
形状を常温用の把持溝Pnと高温用の把持溝Phの共通
部分に係合し得る形状に設定する。このように、爪部5
4を常温用の把持棒32の把持溝Pnと高温用の把持棒
32の把持溝Phの共通部分に係合可能に形成すること
により、同一の治具を用いて把持溝P,Qと、保持溝
R,S,Tの位置合せを行うことができる。
【0045】一方、治具50に装着される撮像装置60
は、取付部材61を介して支持板51の長手方向両端面
の中央に固定されている。この撮像装置60には、図9
に示すように、その略直方体のケース62内に撮像カメ
ラ63が設けられており、この撮像カメラ63には、例
えば20倍の撮像倍率を有する拡大レンズ64が設けら
れ、この拡大レンズ64のピントが爪部54の先端部即
ちウエハWの外周部に合されている。また、拡大レンズ
64の垂直下方には、45度に傾けられたハーフミラー
65が設けられている。このハーフミラー65は、上記
支持板51の中心に位置するように設定されている。そ
して、ケース62の底面及び左側面には、例えばアクリ
ル製のビューポート66,67が設けられている。した
がって、撮像カメラ63は、ビューポート66,67を
通じて垂直下方及び水平方向に位置する物体をそれぞれ
20倍に拡大して、これらを同時に撮像することが可能
となっている。
は、取付部材61を介して支持板51の長手方向両端面
の中央に固定されている。この撮像装置60には、図9
に示すように、その略直方体のケース62内に撮像カメ
ラ63が設けられており、この撮像カメラ63には、例
えば20倍の撮像倍率を有する拡大レンズ64が設けら
れ、この拡大レンズ64のピントが爪部54の先端部即
ちウエハWの外周部に合されている。また、拡大レンズ
64の垂直下方には、45度に傾けられたハーフミラー
65が設けられている。このハーフミラー65は、上記
支持板51の中心に位置するように設定されている。そ
して、ケース62の底面及び左側面には、例えばアクリ
ル製のビューポート66,67が設けられている。した
がって、撮像カメラ63は、ビューポート66,67を
通じて垂直下方及び水平方向に位置する物体をそれぞれ
20倍に拡大して、これらを同時に撮像することが可能
となっている。
【0046】上記支持板51に装着された2つの撮像装
置60の各撮像カメラ63からの画像信号は、図10に
示すように、例えばケーブルや光ファフイバ等の信号線
71を通じて、洗浄処理装置1外部に設置されている適
宜のミキシング装置72に入力される。このミキシング
装置72は画像処理機能を具備しており、処理後の画像
信号は、モニタ70(表示手段)へと入力される。この
モニタ70では、上記入力された画像信号に基づいて、
画面の上方(A部)に支持板51の一端側に装着された
撮像装置60によって撮像された画像を、画面の下方
(B部)に支持板51の他端側に装着された撮像装置6
0によって撮像された画像を、それぞれ表示するように
構成されている。
置60の各撮像カメラ63からの画像信号は、図10に
示すように、例えばケーブルや光ファフイバ等の信号線
71を通じて、洗浄処理装置1外部に設置されている適
宜のミキシング装置72に入力される。このミキシング
装置72は画像処理機能を具備しており、処理後の画像
信号は、モニタ70(表示手段)へと入力される。この
モニタ70では、上記入力された画像信号に基づいて、
画面の上方(A部)に支持板51の一端側に装着された
撮像装置60によって撮像された画像を、画面の下方
(B部)に支持板51の他端側に装着された撮像装置6
0によって撮像された画像を、それぞれ表示するように
構成されている。
【0047】次に、上記のように構成された位置合せ装
置を用いて把持溝P,Qと、保持溝R,S,Tとの位置
合せを行う手順について説明する。まず、図2及び図4
に示すように、上記治具50の支持板51をウエハチャ
ック17の把持棒32上に載置すると共に、把持溝Pに
爪部54を係合させて把持する。かかる場合、治具50
の長手方向の両端側に位置する爪部54は被処理体であ
るウエハWと同一外径寸法によって構成されており、し
かも、これら爪部54の長手方向に沿う間隔は、上述の
ように把持溝P4〜P47までの長さと同一に設定されて
いるので、一方側の爪部54は把持溝P4に、他方側の
爪部54は把持溝P47に係合させることにより、この治
具50をウエハチャック17による通常の閉脚動作によ
って容易に把持させることが可能である。
置を用いて把持溝P,Qと、保持溝R,S,Tとの位置
合せを行う手順について説明する。まず、図2及び図4
に示すように、上記治具50の支持板51をウエハチャ
ック17の把持棒32上に載置すると共に、把持溝Pに
爪部54を係合させて把持する。かかる場合、治具50
の長手方向の両端側に位置する爪部54は被処理体であ
るウエハWと同一外径寸法によって構成されており、し
かも、これら爪部54の長手方向に沿う間隔は、上述の
ように把持溝P4〜P47までの長さと同一に設定されて
いるので、一方側の爪部54は把持溝P4に、他方側の
爪部54は把持溝P47に係合させることにより、この治
具50をウエハチャック17による通常の閉脚動作によ
って容易に把持させることが可能である。
【0048】しかも爪部54の把持溝Pへの挿入(係
合)は、単なるウエハチャック17へセットする際の位
置合せのための動作であって、治具50全体は、載置部
52,53を介して各把持棒33によって支持されてい
るため、治具50をセットした際にこの治具50の荷重
によって把持溝Pにかかる負担は殆どないものである。
合)は、単なるウエハチャック17へセットする際の位
置合せのための動作であって、治具50全体は、載置部
52,53を介して各把持棒33によって支持されてい
るため、治具50をセットした際にこの治具50の荷重
によって把持溝Pにかかる負担は殆どないものである。
【0049】したがって、把持溝Pが損傷する虞れはな
く、しかも治具50も極めて安定した状態でウエハチャ
ック17にセットされるものである。
く、しかも治具50も極めて安定した状態でウエハチャ
ック17にセットされるものである。
【0050】また、上記のようにして治具50をセット
するとき、図4に示すように、薬液洗浄処理槽25内の
例えば把持棒33,34の背部側に反射防止板80を配
置する。このように、把持棒33,34の背部側に反射
防止板80を配置することにより、特に把持棒33,3
4を石英製の透明製部材にて形成した場合に把持棒3
3,34を透過する光が薬液洗浄処理槽25の内面で反
射して撮像装置60の撮像画像を不鮮明にするなどの悪
影響を及ぼすのを防止することができる。なお、図4で
は反射防止板80を薬液洗浄処理槽25内の一方の内側
面側に配置したが、同様に他方の側にも配置すると共
に、ウエハボート41の保持棒42〜44の背部側の底
面側にも配置する。
するとき、図4に示すように、薬液洗浄処理槽25内の
例えば把持棒33,34の背部側に反射防止板80を配
置する。このように、把持棒33,34の背部側に反射
防止板80を配置することにより、特に把持棒33,3
4を石英製の透明製部材にて形成した場合に把持棒3
3,34を透過する光が薬液洗浄処理槽25の内面で反
射して撮像装置60の撮像画像を不鮮明にするなどの悪
影響を及ぼすのを防止することができる。なお、図4で
は反射防止板80を薬液洗浄処理槽25内の一方の内側
面側に配置したが、同様に他方の側にも配置すると共
に、ウエハボート41の保持棒42〜44の背部側の底
面側にも配置する。
【0051】上記のようにして治具50のセット及び反
射防止板80の配置を行うと時同時にモニタ70も作動
させておく。
射防止板80の配置を行うと時同時にモニタ70も作動
させておく。
【0052】そうすると、モニタ70の画面には図11
に示すように、その画面の上方(A部)に、把持部材1
7a側の把持溝P1,P2,P3の拡大画面が鮮明に表示
され、一方画面の下方(B部)に、把持部材17b側の
把持溝P48,P49,P50の拡大画面がそれぞれ鮮明に表
示される。
に示すように、その画面の上方(A部)に、把持部材1
7a側の把持溝P1,P2,P3の拡大画面が鮮明に表示
され、一方画面の下方(B部)に、把持部材17b側の
把持溝P48,P49,P50の拡大画面がそれぞれ鮮明に表
示される。
【0053】そして治具50をそのように把持したま
ま、ウエハチャック17を通常の動作と同様、ウエハボ
ート41の真上にて薬液洗浄処理槽25内に下降させて
いき、図4に示すように、ウエハWをウエハボート41
に受容させる僅か手前で停止させると、モニタ70の画
面上方(A部)には、保持溝S1,S2,S3の拡大画像
が、一方、画面の下方(B部)には、保持溝S48,
S49,S50の拡大画像がそれぞれ把持溝P1,P2,P3
の拡大画像、及び把持溝P48,P49,P50の拡大画像と
同一倍率にて同一座標系上に重ねて表示される。
ま、ウエハチャック17を通常の動作と同様、ウエハボ
ート41の真上にて薬液洗浄処理槽25内に下降させて
いき、図4に示すように、ウエハWをウエハボート41
に受容させる僅か手前で停止させると、モニタ70の画
面上方(A部)には、保持溝S1,S2,S3の拡大画像
が、一方、画面の下方(B部)には、保持溝S48,
S49,S50の拡大画像がそれぞれ把持溝P1,P2,P3
の拡大画像、及び把持溝P48,P49,P50の拡大画像と
同一倍率にて同一座標系上に重ねて表示される。
【0054】したがって、若し上記把持溝P1,P2,P
3と保持溝S1,S2,S3及び把持溝P48,P49,P50と
保持溝S48,S49,S50とが各々対応してそれぞれ同一
垂直面上に位置している場合には、図11及び図12に
示したように、両画像は画面上完全に一致している。即
ち、ウエハチャック17とウエハボート41との授受の
際の相対位置が正しい関係にあることが確認できるので
ある。
3と保持溝S1,S2,S3及び把持溝P48,P49,P50と
保持溝S48,S49,S50とが各々対応してそれぞれ同一
垂直面上に位置している場合には、図11及び図12に
示したように、両画像は画面上完全に一致している。即
ち、ウエハチャック17とウエハボート41との授受の
際の相対位置が正しい関係にあることが確認できるので
ある。
【0055】しかしながら、ウエハチャック17とウエ
ハボート41との授受の際の相対位置関係が、X,Y,
θ方向にそれぞれずれている場合には、モニタ70の画
面においては、それに応じて図13に示すように、例え
ば把持溝P2の画像に対して保持溝S2の画像がずれて表
示される。このことによって作業者は、ウエハチャック
17とウエハボート41との授受の際の相対関係のずれ
が直ちに認識できる。
ハボート41との授受の際の相対位置関係が、X,Y,
θ方向にそれぞれずれている場合には、モニタ70の画
面においては、それに応じて図13に示すように、例え
ば把持溝P2の画像に対して保持溝S2の画像がずれて表
示される。このことによって作業者は、ウエハチャック
17とウエハボート41との授受の際の相対関係のずれ
が直ちに認識できる。
【0056】そして、図13に示すようなずれが確認さ
れると、例えばウエハ搬送装置12の駆動機構12aを
適宜θ方向に調整して、まず図14に示すようにθ方向
のずれ分を是正させる。この場合、勿論ウエハボート4
1の方を適宜θ方向に回転させてもよい。かかる操作
は、作業者がモニタ70を見ながら容易にこれを実施す
ることが可能である。
れると、例えばウエハ搬送装置12の駆動機構12aを
適宜θ方向に調整して、まず図14に示すようにθ方向
のずれ分を是正させる。この場合、勿論ウエハボート4
1の方を適宜θ方向に回転させてもよい。かかる操作
は、作業者がモニタ70を見ながら容易にこれを実施す
ることが可能である。
【0057】上記のθ方向の調整後、図14の状態にな
れば、後はX,Y方向のずれを矯正させればよいので、
作業者は上記と同様モニタ70を見ながら、例えば把持
溝P2と保持溝S2の関係だけについていえば、把持溝P
2と保持溝S2の画像とが図12に示したように両者完全
に一致するように、適宜ウエハ搬送装置12の駆動機構
12aの設定位置をX方向、Y方向に移動調整させれば
よいのである。
れば、後はX,Y方向のずれを矯正させればよいので、
作業者は上記と同様モニタ70を見ながら、例えば把持
溝P2と保持溝S2の関係だけについていえば、把持溝P
2と保持溝S2の画像とが図12に示したように両者完全
に一致するように、適宜ウエハ搬送装置12の駆動機構
12aの設定位置をX方向、Y方向に移動調整させれば
よいのである。
【0058】かかる場合、モニタ70に表示された画像
は、把持溝P1,P2,P3と保持溝S1,S2,S3及び把
持溝P48,P49,P50と保持溝S48,S49,S50との拡
大画像であるから、視認し易く、また一致したことの確
認も容易である。したがって、極めて簡単、迅速に、ウ
エハチャック17とウエハボート41との授受の際の位
置合せが実施できるものである。
は、把持溝P1,P2,P3と保持溝S1,S2,S3及び把
持溝P48,P49,P50と保持溝S48,S49,S50との拡
大画像であるから、視認し易く、また一致したことの確
認も容易である。したがって、極めて簡単、迅速に、ウ
エハチャック17とウエハボート41との授受の際の位
置合せが実施できるものである。
【0059】また、上記実施例においては、上記のよう
に2つの撮像装置60によって、ウエハチャック17と
ウエハボート41における画像部の把持溝Pと保持溝S
とが、それぞれモニタ70上で表示されているから、上
記両端部における位置ずれを検出してこれを矯正するこ
とが可能であり、極めて正確な位置合せが行えるもので
ある。
に2つの撮像装置60によって、ウエハチャック17と
ウエハボート41における画像部の把持溝Pと保持溝S
とが、それぞれモニタ70上で表示されているから、上
記両端部における位置ずれを検出してこれを矯正するこ
とが可能であり、極めて正確な位置合せが行えるもので
ある。
【0060】以上のように上記実施例によれば、ウエハ
チャック17とウエハボート41との授受の際の相対位
置関係の、X,Y,θの各方向のずれ分が直ちに認識で
き、それらを簡易、迅速に是正して、極めて正しい位置
合せが実施できるものである。しかも、そのために使用
する治具50のウエハチャック17への装着も簡単かつ
確実であって装置構成自体も簡易な構成となっている。
チャック17とウエハボート41との授受の際の相対位
置関係の、X,Y,θの各方向のずれ分が直ちに認識で
き、それらを簡易、迅速に是正して、極めて正しい位置
合せが実施できるものである。しかも、そのために使用
する治具50のウエハチャック17への装着も簡単かつ
確実であって装置構成自体も簡易な構成となっている。
【0061】なお、ウエハチャック17とウエハート4
1の相対位置関係は、作業者によるマニュアル調整では
なく、自動的に行うようにすることも可能である。この
場合、撮像装置60からの信号を、ミキシング装置7
2、モニタ70へ送るだけでなく、図1に示すように、
ウエハ搬送装置11,12,13を含む洗浄処理装置1
全体を制御する中央演算処理装置90(CPU)にも入
力する。そしてこのCPU90において、把持溝P、保
持溝Sの画像を比較し、画像像のずれを修正するよう
に、ウエハチャック17、更に必要であれば、ウエハボ
ート41を制御駆動することにより、自動的に両者の相
対位置調整を実施することができる。
1の相対位置関係は、作業者によるマニュアル調整では
なく、自動的に行うようにすることも可能である。この
場合、撮像装置60からの信号を、ミキシング装置7
2、モニタ70へ送るだけでなく、図1に示すように、
ウエハ搬送装置11,12,13を含む洗浄処理装置1
全体を制御する中央演算処理装置90(CPU)にも入
力する。そしてこのCPU90において、把持溝P、保
持溝Sの画像を比較し、画像像のずれを修正するよう
に、ウエハチャック17、更に必要であれば、ウエハボ
ート41を制御駆動することにより、自動的に両者の相
対位置調整を実施することができる。
【0062】また、上記実施例においては、画像を拡大
するための拡大レンズ64を、上記撮像カメラ63に設
けた構成について説明したが、必ずしもこのような構成
である必要はなく、各ビューポート66,67側にかか
る拡大機能をもたせるようにしてもよい。
するための拡大レンズ64を、上記撮像カメラ63に設
けた構成について説明したが、必ずしもこのような構成
である必要はなく、各ビューポート66,67側にかか
る拡大機能をもたせるようにしてもよい。
【0063】ところで、上記ウエハチャック17が、下
降してウエハボート41に対してウエハWを授受する位
置まで移動する場合、ウエハチャック17のウエハボー
ト41に対するZ方向の位置、即ち授受の際のウエハチ
ャック17の高さも正確な授受にとっては重要である。
降してウエハボート41に対してウエハWを授受する位
置まで移動する場合、ウエハチャック17のウエハボー
ト41に対するZ方向の位置、即ち授受の際のウエハチ
ャック17の高さも正確な授受にとっては重要である。
【0064】そこで図15に示すように、治具50Aに
おける支持板51の中央に、開口部55を設け、この開
口部55の上方における開口部55の周縁部に取付部材
56を介して距離センサ57を支持する。この距離セン
サ57は、例えば光学系センサによって構成されてお
り、発光部と受光部とを有し、発光部から発光された例
えばレーザ光などの検出光が他物に反射して返ってきた
場合、この反射光を受光部で受光することによって、こ
の他物までの距離を検出することが可能なように構成さ
れている。そしてこの距離センサ57の検出信号は、例
えばモニタ70へ入力され、モニタ70によって距離セ
ンサ57が検出する距離を確認できるようになってい
る。
おける支持板51の中央に、開口部55を設け、この開
口部55の上方における開口部55の周縁部に取付部材
56を介して距離センサ57を支持する。この距離セン
サ57は、例えば光学系センサによって構成されてお
り、発光部と受光部とを有し、発光部から発光された例
えばレーザ光などの検出光が他物に反射して返ってきた
場合、この反射光を受光部で受光することによって、こ
の他物までの距離を検出することが可能なように構成さ
れている。そしてこの距離センサ57の検出信号は、例
えばモニタ70へ入力され、モニタ70によって距離セ
ンサ57が検出する距離を確認できるようになってい
る。
【0065】上記のように構成される治具50Aを用い
る場合には、適宜の反射板(図示せず)を予めセットし
ておく。後は上記治具50と同様、ウエハチャック17
にセットして用いればよい。そうすると、この治具50
Aによれば、支持板51の中央の開口部55を通して距
離センサ57が、上記反射板との間の距離を常時検出
し、かつ、この距離がモニタ70によって常時表示され
ているので、ウエハチャック17の所定の高さ、即ちウ
エハボート41に対するウエハチャック17のZ方向の
位置を確認することができる。
る場合には、適宜の反射板(図示せず)を予めセットし
ておく。後は上記治具50と同様、ウエハチャック17
にセットして用いればよい。そうすると、この治具50
Aによれば、支持板51の中央の開口部55を通して距
離センサ57が、上記反射板との間の距離を常時検出
し、かつ、この距離がモニタ70によって常時表示され
ているので、ウエハチャック17の所定の高さ、即ちウ
エハボート41に対するウエハチャック17のZ方向の
位置を確認することができる。
【0066】また、上記実施例では、ウエハチャック1
7の把持棒33に載置されされる支持板51と把持溝P
に係合する爪部54を有する治具50の両端にそれぞれ
撮像装置60を設けた構成について説明したが、このよ
うな治具50に代えて、図16に示すような、治具50
Bを用いてもよい。
7の把持棒33に載置されされる支持板51と把持溝P
に係合する爪部54を有する治具50の両端にそれぞれ
撮像装置60を設けた構成について説明したが、このよ
うな治具50に代えて、図16に示すような、治具50
Bを用いてもよい。
【0067】上記治具50Bは、ウエハWと同一径、同
一厚みを有する支持円板58a,58bの周縁部に上述
したような常温用と高温用のウエハチャック17の把持
溝Pの共通部分に係合する爪部54aを形成し、そして
両支持円板58a,58bを2本の連結棒58cを介し
て一体化させ、各支持円板58a,58bが平行に対向
するように構成されている。なお各支持円板58a,5
8bの間の長さは、上記把持溝P間の適宜距離例えばP
4〜P47間の距離と同一に設定されている。
一厚みを有する支持円板58a,58bの周縁部に上述
したような常温用と高温用のウエハチャック17の把持
溝Pの共通部分に係合する爪部54aを形成し、そして
両支持円板58a,58bを2本の連結棒58cを介し
て一体化させ、各支持円板58a,58bが平行に対向
するように構成されている。なお各支持円板58a,5
8bの間の長さは、上記把持溝P間の適宜距離例えばP
4〜P47間の距離と同一に設定されている。
【0068】そして、各支持円板58a,58bの外側
には、上記撮像装置60が固定されている。この撮像装
置60に設けられる撮像カメラのピントは各支持円板5
8a,58bの周縁部に合されている。また、撮像装置
60に設けられたハーフミラー(図示せず)は、各支持
円板58a,58bの中心に位置するように設定されて
いる。
には、上記撮像装置60が固定されている。この撮像装
置60に設けられる撮像カメラのピントは各支持円板5
8a,58bの周縁部に合されている。また、撮像装置
60に設けられたハーフミラー(図示せず)は、各支持
円板58a,58bの中心に位置するように設定されて
いる。
【0069】このような構成にかかる治具50Bを用い
て位置合せする場合も、上記実施例の治具50と同様、
まず、治具50Bをウエハチャック17にセットさせる
のであるが、この場合、ウエハチャック17の各把持部
材17a,17bを開脚させ、治具50Bをセットした
後、把持部材17a,17bを閉脚して支持円板58a
の周縁の爪部54aを把持溝P4,Q4に、支持円板58
bの周縁の爪部54aを把持溝P47,Q47に挿入させ
て、治具50Bをウエハチャック17にて把持すること
ができる。
て位置合せする場合も、上記実施例の治具50と同様、
まず、治具50Bをウエハチャック17にセットさせる
のであるが、この場合、ウエハチャック17の各把持部
材17a,17bを開脚させ、治具50Bをセットした
後、把持部材17a,17bを閉脚して支持円板58a
の周縁の爪部54aを把持溝P4,Q4に、支持円板58
bの周縁の爪部54aを把持溝P47,Q47に挿入させ
て、治具50Bをウエハチャック17にて把持すること
ができる。
【0070】また、上記のように一対の支持円板58
a,58bを有する治具50Bを用いる場合には、ウエ
ハボート41に対してウエハチャック17のZ方向の所
定位置を確認するため、図17に示すように、治具50
Bをウエハボート41の側にセットしてもよい。この場
合には、撮像装置60は、ビューポート66を介して、
常時ウエハボート41の保持棒43の保持溝Sを撮像し
ているが、ウエハチャック17の把持棒33側の把持溝
Pについては、ビューポート67の視野に入ってこない
限り、撮像されない。換言すれば、ウエハチャック17
が所定の高さまで下降してはじめてビューポート67を
通して撮像され、モニタ70に表示されるのである。そ
して、所定の授受位置の高さに位置すると、画像上、各
把持溝P、保持溝Sが重なる。したがって、この方法に
よっても、ウエハチャック17のZ方向の所定位置を確
認することができる。
a,58bを有する治具50Bを用いる場合には、ウエ
ハボート41に対してウエハチャック17のZ方向の所
定位置を確認するため、図17に示すように、治具50
Bをウエハボート41の側にセットしてもよい。この場
合には、撮像装置60は、ビューポート66を介して、
常時ウエハボート41の保持棒43の保持溝Sを撮像し
ているが、ウエハチャック17の把持棒33側の把持溝
Pについては、ビューポート67の視野に入ってこない
限り、撮像されない。換言すれば、ウエハチャック17
が所定の高さまで下降してはじめてビューポート67を
通して撮像され、モニタ70に表示されるのである。そ
して、所定の授受位置の高さに位置すると、画像上、各
把持溝P、保持溝Sが重なる。したがって、この方法に
よっても、ウエハチャック17のZ方向の所定位置を確
認することができる。
【0071】なお、上記実施例では、把持溝P,Q及び
保持溝R,S,Tの撮像画像を鮮明にするために、薬液
洗浄処理槽25内における把持棒33,34の背部側及
び保持棒42〜44の背部側に反射防止板80を配置す
る場合について説明したが、この反射防止板80に代え
てあるいは反射防止板80と共に、例えば図18に示す
ように、把持棒33,34の把持溝P,Q又は保持棒4
2〜44の保持溝R〜Tに、位置決め部材81を着脱可
能に装着してもよい。この位置決め部材81は、把持溝
P,Qあるいは保持溝R〜Tに係合する位置決め部81
aを適宜間隔即ち溝のピッチに合致する間隔をおいて設
けた梯子状の不透明性の例えば合成樹脂製部材にて形成
されている。このように上記把持溝P,Q及び保持溝R
〜Tに位置決め部材81を装着して上述のように撮像装
置60の撮像カメラ63で撮像を行うことにより、位置
決め部材81の位置決め部81aを撮像して、その画像
をモニタ70に鮮明に表示することができるので、更に
正確な位置合せを行うことができる。
保持溝R,S,Tの撮像画像を鮮明にするために、薬液
洗浄処理槽25内における把持棒33,34の背部側及
び保持棒42〜44の背部側に反射防止板80を配置す
る場合について説明したが、この反射防止板80に代え
てあるいは反射防止板80と共に、例えば図18に示す
ように、把持棒33,34の把持溝P,Q又は保持棒4
2〜44の保持溝R〜Tに、位置決め部材81を着脱可
能に装着してもよい。この位置決め部材81は、把持溝
P,Qあるいは保持溝R〜Tに係合する位置決め部81
aを適宜間隔即ち溝のピッチに合致する間隔をおいて設
けた梯子状の不透明性の例えば合成樹脂製部材にて形成
されている。このように上記把持溝P,Q及び保持溝R
〜Tに位置決め部材81を装着して上述のように撮像装
置60の撮像カメラ63で撮像を行うことにより、位置
決め部材81の位置決め部81aを撮像して、その画像
をモニタ70に鮮明に表示することができるので、更に
正確な位置合せを行うことができる。
【0072】また、上記位置決め部材81の使用に代え
て、図19に示すように、把持溝P,Q及び保持溝R〜
T(図面では把持溝Pを代表して示す)の底部に位置決
め用の表示82を施してもよい。この表示82は、例え
ば耐薬品性、耐熱性及び耐剥離性を有する塗料等にて施
される。このように把持溝P,Q及び保持溝R〜Tの底
部に位置決め用の表示を施すことにより、上記位置決め
部材81を用いたと同様に、表示82を撮像装置60の
撮像カメラ63で撮像して、その画像をモニタ70に鮮
明に表示することができるので、正確な位置合せを行う
ことができる。
て、図19に示すように、把持溝P,Q及び保持溝R〜
T(図面では把持溝Pを代表して示す)の底部に位置決
め用の表示82を施してもよい。この表示82は、例え
ば耐薬品性、耐熱性及び耐剥離性を有する塗料等にて施
される。このように把持溝P,Q及び保持溝R〜Tの底
部に位置決め用の表示を施すことにより、上記位置決め
部材81を用いたと同様に、表示82を撮像装置60の
撮像カメラ63で撮像して、その画像をモニタ70に鮮
明に表示することができるので、正確な位置合せを行う
ことができる。
【0073】更に、上記位置決め部材81や表示82に
代えて、図20に示すように、把持溝P,Q及び保持溝
R〜T(図面では把持溝Pを代表して示す。)の溝間の
山の部分に位置決め用の表示83を施してもよい。な
お、この表示83は、例えば耐薬品性、耐熱性及び耐剥
離性を有する塗料等にて施すことができる他、直接母材
を切削することにより形成する表示でもよい。
代えて、図20に示すように、把持溝P,Q及び保持溝
R〜T(図面では把持溝Pを代表して示す。)の溝間の
山の部分に位置決め用の表示83を施してもよい。な
お、この表示83は、例えば耐薬品性、耐熱性及び耐剥
離性を有する塗料等にて施すことができる他、直接母材
を切削することにより形成する表示でもよい。
【0074】また、上記各実施例で使用した撮像装置6
0においては、1の撮像カメラ63で2つの方向にある
物体を同時に撮像するために、ハーフミラー65を使用
したが、これに代えて例えば図21に示すように、プリ
ズム68を使用しても、同一の作用効果が得られる。即
ち撮像カメラ63からの光路を分割することが可能であ
る。この場合、プリズム68の形状を変更したり、他の
光学素子を組み合せることにより、直角でない角度で位
置する2つの物体に対して、撮像カメラ63からの光路
を適当に分割することができる。即ち、撮像カメラ63
からの光路を適当に分割することにより、ウエハチャッ
ク17とウエハボート41との位置合せに際して、例え
ば把持棒34の把持溝Qと、保持棒42又は43の保持
溝R又はTとを使用することが可能になる。
0においては、1の撮像カメラ63で2つの方向にある
物体を同時に撮像するために、ハーフミラー65を使用
したが、これに代えて例えば図21に示すように、プリ
ズム68を使用しても、同一の作用効果が得られる。即
ち撮像カメラ63からの光路を分割することが可能であ
る。この場合、プリズム68の形状を変更したり、他の
光学素子を組み合せることにより、直角でない角度で位
置する2つの物体に対して、撮像カメラ63からの光路
を適当に分割することができる。即ち、撮像カメラ63
からの光路を適当に分割することにより、ウエハチャッ
ク17とウエハボート41との位置合せに際して、例え
ば把持棒34の把持溝Qと、保持棒42又は43の保持
溝R又はTとを使用することが可能になる。
【0075】更に、上記各実施例においては、撮像装置
60における1の撮像カメラ63で把持溝Pと保持溝S
とを同時に撮像するようにしたが、勿論図22に示すよ
うに、2つの撮像カメラ63a,63bを例えば支持円
板58a,58bに取付け、把持溝Pは撮像カメラ63
aで、保持溝Sは撮像カメラ63bでそれぞれ別個に撮
像し、その画像信号をミキシング処理して、モニタ70
上で重ねて表示するようにしても上記各実施例と同様な
作用効果が得られる。
60における1の撮像カメラ63で把持溝Pと保持溝S
とを同時に撮像するようにしたが、勿論図22に示すよ
うに、2つの撮像カメラ63a,63bを例えば支持円
板58a,58bに取付け、把持溝Pは撮像カメラ63
aで、保持溝Sは撮像カメラ63bでそれぞれ別個に撮
像し、その画像信号をミキシング処理して、モニタ70
上で重ねて表示するようにしても上記各実施例と同様な
作用効果が得られる。
【0076】なお、上記実施例は、ウエハの洗浄処理装
置におけるウエハチャックと薬液洗浄処理槽内のウエハ
ボートとの間の搬送系に適用した場合について説明した
が、この発明の位置合せ装置はこれに限らず、把持手段
における所定の把持位置に把持された状態の複数の被処
理体を、保持手段における所定の保持位置に授受するよ
うに構成された搬送系において、上記把持位置と保持位
置との相対位置の位置合せを実施する装置において適用
可能である。
置におけるウエハチャックと薬液洗浄処理槽内のウエハ
ボートとの間の搬送系に適用した場合について説明した
が、この発明の位置合せ装置はこれに限らず、把持手段
における所定の把持位置に把持された状態の複数の被処
理体を、保持手段における所定の保持位置に授受するよ
うに構成された搬送系において、上記把持位置と保持位
置との相対位置の位置合せを実施する装置において適用
可能である。
【0077】
1)請求項1記載の位置合せ装置によれば、常温下で使
用される所定のピッチの把持溝を有する把持手段と、高
温度下で使用される予め熱膨張を考慮した小ピッチの把
持溝を有する把持手段のいずれにも治具をセットするこ
とができ、また把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受する際の、把持位置と保持位置との相
対位置の位置合せを簡単かつ正確に行うことができる。
用される所定のピッチの把持溝を有する把持手段と、高
温度下で使用される予め熱膨張を考慮した小ピッチの把
持溝を有する把持手段のいずれにも治具をセットするこ
とができ、また把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受する際の、把持位置と保持位置との相
対位置の位置合せを簡単かつ正確に行うことができる。
【0078】2)請求項2に記載の位置合せ装置によれ
ば、把持位置又は保持位置の背部側に反射防止部材を配
置するので、撮像手段から把持位置及び保持位置に照射
される光の反射を防止することができ、把持位置と保持
位置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示することがで
き、上記1)に加えて更に正確に位置合せを行うことが
できる。
ば、把持位置又は保持位置の背部側に反射防止部材を配
置するので、撮像手段から把持位置及び保持位置に照射
される光の反射を防止することができ、把持位置と保持
位置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示することがで
き、上記1)に加えて更に正確に位置合せを行うことが
できる。
【0079】3)請求項3に記載の位置合せ装置によれ
ば、把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、不
透明性の位置決め部材を装着することにより、撮像手段
によって位置決め部材を介して把持位置及び保持位置を
撮像することができるので、把持位置と保持位置を表示
手段の画像表示部に鮮明に表示することができ、上記
1)に加えて更に正確に位置合せを行うことができる。
ば、把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、不
透明性の位置決め部材を装着することにより、撮像手段
によって位置決め部材を介して把持位置及び保持位置を
撮像することができるので、把持位置と保持位置を表示
手段の画像表示部に鮮明に表示することができ、上記
1)に加えて更に正確に位置合せを行うことができる。
【0080】4)請求項4に記載の位置合せ装置によれ
ば、把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位
置決め用の表示を施すことにより、撮像手段によって表
示を介して把持位置及び保持位置を撮像することができ
るので、把持位置と保持位置を表示手段の画像表示部に
鮮明に表示することができ、上記1)に加えて更に正確
に位置合せを行うことができる。
ば、把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位
置決め用の表示を施すことにより、撮像手段によって表
示を介して把持位置及び保持位置を撮像することができ
るので、把持位置と保持位置を表示手段の画像表示部に
鮮明に表示することができ、上記1)に加えて更に正確
に位置合せを行うことができる。
【図1】この発明の位置合せ装置を適用する半導体ウエ
ハの洗浄処理装置を示す斜視図である。
ハの洗浄処理装置を示す斜視図である。
【図2】この発明における治具の一例を使用したウエハ
チャックを示す斜視図である。
チャックを示す斜視図である。
【図3】この発明における撮像装置がウエハチャック側
の把持溝とウエハボート側の保持溝とを同時に撮像して
いる状態を示す斜視図である。
の把持溝とウエハボート側の保持溝とを同時に撮像して
いる状態を示す斜視図である。
【図4】この発明の実施例における撮像装置がウエハチ
ャック側の把持溝とウエハボート側の保持溝を同時に撮
像している状態を示す概略断面図である。
ャック側の把持溝とウエハボート側の保持溝を同時に撮
像している状態を示す概略断面図である。
【図5】この発明における治具の一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図6】上記治具をウエハチャックにセットした状態の
概略正面図である。
概略正面図である。
【図7】上記治具をウエハチャックにセットした状態の
概略平面図(a)及びそのA−A線に沿う拡大断面図
(b)である。
概略平面図(a)及びそのA−A線に沿う拡大断面図
(b)である。
【図8】異なる温度環境下で使用されるウエハチャック
の把持溝を示す概略断面図(a)及び両把持溝に適用さ
れる状態を示すこの発明における爪部の要部断面図
(b)である。
の把持溝を示す概略断面図(a)及び両把持溝に適用さ
れる状態を示すこの発明における爪部の要部断面図
(b)である。
【図9】この発明における撮像装置の一例を示す断面図
である。
である。
【図10】この発明における撮像装置とモニタとの関係
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図11】モニタ上に表示されたウエハチャック側の把
持溝の画像を示す説明図である。
持溝の画像を示す説明図である。
【図12】把持溝と保持溝とが正しい相対位置関係にあ
るときのモニタ上に表示された画像の部分拡大図であ
る。
るときのモニタ上に表示された画像の部分拡大図であ
る。
【図13】把持溝と保持溝とがX,Y,θ方向にそれぞ
れ位置ずれしているときのモニタ上に表示された画像の
部分拡大図である。
れ位置ずれしているときのモニタ上に表示された画像の
部分拡大図である。
【図14】把持溝と保持溝とがX,Y方向にそれぞれ位
置ずれしているときのモニタ上に表示された画像の部分
拡大図である。
置ずれしているときのモニタ上に表示された画像の部分
拡大図である。
【図15】距離センサを具備する他の治具の例を示す斜
視図である。
視図である。
【図16】更に他の治具を示す斜視図である。
【図17】図16に示す治具をウエハボートにセットし
た状態を示す概略断面図である。
た状態を示す概略断面図である。
【図18】この発明における位置決め部材の取付け状態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図19】この発明における位置決め用表示を示す概略
平面図(a)及びその要部拡大断面図(b)である。
平面図(a)及びその要部拡大断面図(b)である。
【図20】この発明における別の位置決め用表示を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図21】プリズムを採用した撮像装置の概略断面図で
ある。
ある。
【図22】個別撮像用の撮像カメラを具備した治具を示
す斜視図である。
す斜視図である。
17 ウエハチャック(把持手段) 41 ウエハボート(保持手段) 50,50A,50B 位置合せ用治具 54,54a 爪部 60 撮像装置(撮像手段) 70 モニタ(表示手段) 80 反射防止板 81 位置決め部材 82,83 位置決め用表示 W 半導体ウエハ(被処理体) P,Q 把持溝 R,S,T 保持溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // B23Q 3/18 G06F 15/62 405C
Claims (4)
- 【請求項1】 把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持装置位置と保持位置との相
対位置の位置合せを行う装置において、 上記把持手段によって把持される治具と、 上記治具に設けられ、上記把持位置と保持位置とを同時
に撮像する撮像手段と、 上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段とを具備し、 上記治具に、上記把持手段の把持位置を構成する把持溝
に係合する爪部を設けると共に、この爪部を異なる温度
環境下で使用される把持手段の把持溝の共通部分に係合
可能に形成してなることを特徴とする位置合せ装置。 - 【請求項2】 把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持装置位置と保持位置との相
対位置の位置合せを行う装置において、 上記把持手段又は保持手段に把持又は保持され、上記把
持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像手段と、 上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段と、 上記把持位置又は保持位置の背部側に配置され、上記撮
像手段から照射される光の反射を防止する反射防止部材
と、を具備することを特徴とする位置合せ装置。 - 【請求項3】 把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持装置位置と保持位置との相
対位置の位置合せを行う装置において、 上記把持手段又は保持手段に把持又は保持され、上記把
持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像手段と、 上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段と、 上記把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、着
脱可能に装着される不透明性の位置決め部材と、を具備
することを特徴とする位置合せ装置。 - 【請求項4】 把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持装置位置と保持位置との相
対位置の位置合せを行う装置において、 上記把持手段又は保持手段に把持又は保持され、上記把
持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像手段と、 上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段とを具備し、 上記把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位
置決め用の表示を施してなることを特徴とする位置合せ
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18353895A JP3143700B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18353895A JP3143700B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 位置合せ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0917845A true JPH0917845A (ja) | 1997-01-17 |
JP3143700B2 JP3143700B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=16137582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18353895A Expired - Fee Related JP3143700B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 位置合せ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3143700B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018052724A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5769412B2 (ja) | 2010-12-17 | 2015-08-26 | 三菱重工業株式会社 | 構造物製造方法 |
-
1995
- 1995-06-27 JP JP18353895A patent/JP3143700B2/ja not_active Expired - Fee Related
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