JP3138391B2 - 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 - Google Patents
位置合わせ装置及び位置合わせ方法Info
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- JP3138391B2 JP3138391B2 JP20464194A JP20464194A JP3138391B2 JP 3138391 B2 JP3138391 B2 JP 3138391B2 JP 20464194 A JP20464194 A JP 20464194A JP 20464194 A JP20464194 A JP 20464194A JP 3138391 B2 JP3138391 B2 JP 3138391B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,位置合わせ装置及び方
法に関するものである。
法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えばLSI等の半導体デバイスの製造
工程における洗浄処理を例にとって説明すると、従来か
ら半導体ウエハ(以下、「ウエハ」という)表面のパー
ティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーシ
ョンを除去するために洗浄処理装置が使用されており、
その中でもとりわけ、ウェット洗浄装置は、パーティク
ルを効果的に除去できしかもバッチ処理が可能なため、
広く普及している。
工程における洗浄処理を例にとって説明すると、従来か
ら半導体ウエハ(以下、「ウエハ」という)表面のパー
ティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーシ
ョンを除去するために洗浄処理装置が使用されており、
その中でもとりわけ、ウェット洗浄装置は、パーティク
ルを効果的に除去できしかもバッチ処理が可能なため、
広く普及している。
【0003】かかるウェット洗浄装置においては、所定
枚数例えば25枚のウエハを収納したカセット単位でロ
ードするロード機構と、このロード機構によってロード
されたウエハを所定枚数、例えば50枚ずつ搬送するウ
エハ搬送装置と、このウエハ搬送装置によって搬送され
たウエハを一括して洗浄するように配列された複数の洗
浄処理槽と、各洗浄処理槽によって洗浄されたウエハを
アンロードするアンロード機構とを備えて構成されてい
る。
枚数例えば25枚のウエハを収納したカセット単位でロ
ードするロード機構と、このロード機構によってロード
されたウエハを所定枚数、例えば50枚ずつ搬送するウ
エハ搬送装置と、このウエハ搬送装置によって搬送され
たウエハを一括して洗浄するように配列された複数の洗
浄処理槽と、各洗浄処理槽によって洗浄されたウエハを
アンロードするアンロード機構とを備えて構成されてい
る。
【0004】そして前記ウエハ搬送装置は、前記各洗浄
処理槽へウエハを搬送する際に所定枚数、例えば50枚
のウエハを一括して同時に把持する、ウエハチャックと
呼ばれる把持装置を有している。この把持装置は通常、
略水平方向に突出した対向する一対の把持部材に、把持
すべきウエハの枚数に応じた複数の把持溝が所定の間隔
をおいて形成されており、前記各ウエハはこれら各把持
溝にその周縁部が挿入され、各把持部材相互の接近によ
って、前記各ウエハは垂直状態で把持装置に把持される
ように構成されている。
処理槽へウエハを搬送する際に所定枚数、例えば50枚
のウエハを一括して同時に把持する、ウエハチャックと
呼ばれる把持装置を有している。この把持装置は通常、
略水平方向に突出した対向する一対の把持部材に、把持
すべきウエハの枚数に応じた複数の把持溝が所定の間隔
をおいて形成されており、前記各ウエハはこれら各把持
溝にその周縁部が挿入され、各把持部材相互の接近によ
って、前記各ウエハは垂直状態で把持装置に把持される
ように構成されている。
【0005】一方ウエハの洗浄がなされる洗浄処理槽内
には、前記把持装置によって把持されて搬送されてくる
前記ウエハを保持するためのボートと呼ばれる保持具が
設けられている。この保持具は、前記把持装置によって
把持された状態のウエハを一括して受け取って保持する
ため、把持装置における前記把持溝に対応した複数の保
持溝が形成され、これら各保持溝内で各ウエハの周縁部
を垂直に受容して、前記ウエハを所定の保持位置にて保
持するように構成されている。
には、前記把持装置によって把持されて搬送されてくる
前記ウエハを保持するためのボートと呼ばれる保持具が
設けられている。この保持具は、前記把持装置によって
把持された状態のウエハを一括して受け取って保持する
ため、把持装置における前記把持溝に対応した複数の保
持溝が形成され、これら各保持溝内で各ウエハの周縁部
を垂直に受容して、前記ウエハを所定の保持位置にて保
持するように構成されている。
【0006】従って、前記把持装置と保持具の間でウエ
ハを授受する際には、前記把持装置における把持位置と
なる把持溝と、前記保持具における保持位置となる前記
保持溝とが、ウエハを授受する位置にてその相対位置が
一致、即ち同一垂直面上に位置していなければ、ウエハ
を円滑に授受することができない。そのため前記把持装
置と保持具との間で、事前に前記把持位置と保持位置と
の位置合わせを行っておく必要がある。通常前記保持具
は、洗浄処理槽内に固定されているため、把持装置の方
を適宜X−Y方向に調整移動させて前記位置合わせが行
われている。
ハを授受する際には、前記把持装置における把持位置と
なる把持溝と、前記保持具における保持位置となる前記
保持溝とが、ウエハを授受する位置にてその相対位置が
一致、即ち同一垂直面上に位置していなければ、ウエハ
を円滑に授受することができない。そのため前記把持装
置と保持具との間で、事前に前記把持位置と保持位置と
の位置合わせを行っておく必要がある。通常前記保持具
は、洗浄処理槽内に固定されているため、把持装置の方
を適宜X−Y方向に調整移動させて前記位置合わせが行
われている。
【0007】そしてそのような位置合わせについては、
従来、把持装置によって複数のダミーウエハを実際に把
持して授受位置まで移動させ、操作員が把持装置の設定
位置を適宜マニュアル調整しつつ、注意深く目や耳で確
認しながら、把持された各ウエハの周縁部が、保持具に
おいて対応する保持溝内に正しく垂直に授受できるよう
に位置合わせしていた。
従来、把持装置によって複数のダミーウエハを実際に把
持して授受位置まで移動させ、操作員が把持装置の設定
位置を適宜マニュアル調整しつつ、注意深く目や耳で確
認しながら、把持された各ウエハの周縁部が、保持具に
おいて対応する保持溝内に正しく垂直に授受できるよう
に位置合わせしていた。
【0008】またその他、例えば把持装置による授受位
置を予め正確に測定して基準位置を決めておき、適宜の
距離センサを設置して把持装置の位置を常時検出し、前
記基準位置との差を例えば数値表示するなどして位置ズ
レを検出し、その差が0になるように適宜把持装置の設
定位置を調整して位置合わせを行うことが提案されてい
る。
置を予め正確に測定して基準位置を決めておき、適宜の
距離センサを設置して把持装置の位置を常時検出し、前
記基準位置との差を例えば数値表示するなどして位置ズ
レを検出し、その差が0になるように適宜把持装置の設
定位置を調整して位置合わせを行うことが提案されてい
る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前者の操
作員の目や耳で確認しながら位置合わせを行う方法は、
個々の操作員の技量に負うところが多く、また人為的な
誤差が皆無とは言えず信頼性に欠ける。そのうえ洗浄処
理槽内での実際の授受の様子を直接のぞき込むようにし
て確認しなければならないので、作業環境が悪く、調整
までに多大な時間と労力を必要としている。
作員の目や耳で確認しながら位置合わせを行う方法は、
個々の操作員の技量に負うところが多く、また人為的な
誤差が皆無とは言えず信頼性に欠ける。そのうえ洗浄処
理槽内での実際の授受の様子を直接のぞき込むようにし
て確認しなければならないので、作業環境が悪く、調整
までに多大な時間と労力を必要としている。
【0010】一方後者の基準位置に基づいて位置合わせ
する方法では、把持装置の基準位置を決める際の実測の
段階で誤差が生じやすく、前記マニュアル操作の場合と
同様信頼性に欠ける。しかも把持装置は単純な形態では
ないので、その位置を検出する際に必要な距離センサを
多数の場所に設置する必要があり、装置自体が複雑化す
る。また洗浄処理槽内にもかかるセンサを設置する必要
があるので、対洗浄液性や水密性の問題が新たに生じ、
この点でも好ましくない。
する方法では、把持装置の基準位置を決める際の実測の
段階で誤差が生じやすく、前記マニュアル操作の場合と
同様信頼性に欠ける。しかも把持装置は単純な形態では
ないので、その位置を検出する際に必要な距離センサを
多数の場所に設置する必要があり、装置自体が複雑化す
る。また洗浄処理槽内にもかかるセンサを設置する必要
があるので、対洗浄液性や水密性の問題が新たに生じ、
この点でも好ましくない。
【0011】本発明はそのような問題点に鑑みてなされ
たものであり,簡単な装置構成によって把持装置の把持
位置と保持具の保持位置との相対位置,つまり相対位置
基準の位置合わせが簡易,迅速かつ正確に行える位置合
わせ装置及び方法を提供して,上記問題の解決を図るこ
とを目的とするものである。
たものであり,簡単な装置構成によって把持装置の把持
位置と保持具の保持位置との相対位置,つまり相対位置
基準の位置合わせが簡易,迅速かつ正確に行える位置合
わせ装置及び方法を提供して,上記問題の解決を図るこ
とを目的とするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1によれば、把持装置における所定の把持位
置に把持された状態の複数の被処理体を、保持具におけ
る所定の保持位置に授受する如く構成された搬送系にお
ける、前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との
相対位置の位置合わせを行う装置であって、前記把持装
置によって把持される適宜の治具に設けられ、前記把持
位置と前記保持位置とを同時に撮像する撮像装置と、前
記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持
位置とを、同一画像表示部における同一座標系に重ねて
画像表示する表示装置とを具備することを特徴とする、
位置合わせ装置が提供される。
め、請求項1によれば、把持装置における所定の把持位
置に把持された状態の複数の被処理体を、保持具におけ
る所定の保持位置に授受する如く構成された搬送系にお
ける、前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との
相対位置の位置合わせを行う装置であって、前記把持装
置によって把持される適宜の治具に設けられ、前記把持
位置と前記保持位置とを同時に撮像する撮像装置と、前
記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持
位置とを、同一画像表示部における同一座標系に重ねて
画像表示する表示装置とを具備することを特徴とする、
位置合わせ装置が提供される。
【0013】請求項2によれば、把持装置における所定
の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、保持
具における所定の保持位置に授受する如く構成された搬
送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記保持
位置との相対位置の位置合わせを行う装置であって、前
記把持装置によって把持される適宜の治具の2カ所に撮
像装置が設けられ、前記撮像装置における一の撮像装置
は、第1の把持位置と保持位置とを同時に撮像し、前記
撮像装置における他の撮像装置は、他の第2の把持位置
と保持位置とを同時に撮像する如く構成され、前記各撮
像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持位置
とを、前記各撮像装置ごとに、同一画像表示部における
同一座標系に、重ねて画像表示する表示装置とを具備す
ることを特徴とする、位置合わせ装置が提供される。
の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、保持
具における所定の保持位置に授受する如く構成された搬
送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記保持
位置との相対位置の位置合わせを行う装置であって、前
記把持装置によって把持される適宜の治具の2カ所に撮
像装置が設けられ、前記撮像装置における一の撮像装置
は、第1の把持位置と保持位置とを同時に撮像し、前記
撮像装置における他の撮像装置は、他の第2の把持位置
と保持位置とを同時に撮像する如く構成され、前記各撮
像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持位置
とを、前記各撮像装置ごとに、同一画像表示部における
同一座標系に、重ねて画像表示する表示装置とを具備す
ることを特徴とする、位置合わせ装置が提供される。
【0014】この場合、請求項3に記載したように、第
1の把持位置と保持位置を一端部に、第2の把持位置と
保持位置を他端部に夫々位置する把持位置、保持位置と
してもよい。
1の把持位置と保持位置を一端部に、第2の把持位置と
保持位置を他端部に夫々位置する把持位置、保持位置と
してもよい。
【0015】これらの各位置合わせ装置において、請求
項4に記載したように、前記各撮像装置によって撮像さ
れた前記把持位置と前記保持位置とを、前記各撮像装置
ごとに同一画像表示部における同一座標系に、前記各撮
像装置ごとに分割して重ねて画像表示する表示装置とを
具備するようにしてもよい。即ち表示装置を共用して、
その画像表示部を分割して、各撮像装置ごとに表示する
ようにしてもよい。
項4に記載したように、前記各撮像装置によって撮像さ
れた前記把持位置と前記保持位置とを、前記各撮像装置
ごとに同一画像表示部における同一座標系に、前記各撮
像装置ごとに分割して重ねて画像表示する表示装置とを
具備するようにしてもよい。即ち表示装置を共用して、
その画像表示部を分割して、各撮像装置ごとに表示する
ようにしてもよい。
【0016】さらに請求項5のように、前記した各位置
合わせ装置における適宜の治具に、前記把持装置と保持
具との間の距離を検出する距離センサを設けてもよい。
合わせ装置における適宜の治具に、前記把持装置と保持
具との間の距離を検出する距離センサを設けてもよい。
【0017】請求項6によれば、把持装置における所定
の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、保持
具における所定の保持位置に授受する如く構成された搬
送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記保持
位置との相対位置の位置合わせを行う装置であって、前
記保持具によって保持される適宜の支持治具には撮像装
置が設けられ、この撮像装置は、前記保持位置を常時撮
像すると共に、前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍
(もちろん授受の際の高さも含めて)に位置するときに
この把持装置の把持位置をも同時に撮像する如く構成さ
れ、前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前
記保持位置とを、同一画像表示部における同一座標系に
重ねて画像表示する表示装置とを具備することを特徴と
する、位置合わせ装置が提供される。
の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、保持
具における所定の保持位置に授受する如く構成された搬
送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記保持
位置との相対位置の位置合わせを行う装置であって、前
記保持具によって保持される適宜の支持治具には撮像装
置が設けられ、この撮像装置は、前記保持位置を常時撮
像すると共に、前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍
(もちろん授受の際の高さも含めて)に位置するときに
この把持装置の把持位置をも同時に撮像する如く構成さ
れ、前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前
記保持位置とを、同一画像表示部における同一座標系に
重ねて画像表示する表示装置とを具備することを特徴と
する、位置合わせ装置が提供される。
【0018】また請求項7によれば、把持装置における
所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、
保持具における所定の保持位置に授受する如く構成され
た搬送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記
保持位置との相対位置の位置合わせを行う装置であっ
て、前記保持具によって保持される適宜の支持治具には
2カ所に撮像装置が設けられ、一の撮像装置は、第1の
保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装置が前記授
受の際の高さ近傍(もちろん授受の際の高さも含めて)
に位置するときにこの把持装置における第1の把持位置
をも同時に撮像する如く構成され、他の撮像装置は、第
2の保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装置が前
記授受の際の高さ近傍(もちろん授受の際の高さも含め
て)に位置するときにこの把持装置における第2の把持
位置をも同時に撮像する如く構成され、前記各撮像装置
によって撮像された前記把持位置と前記保持位置とを、
各撮像装置ごとに、同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示装置とを具備することを特徴
とする、位置合わせ装置が提供される。
所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、
保持具における所定の保持位置に授受する如く構成され
た搬送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記
保持位置との相対位置の位置合わせを行う装置であっ
て、前記保持具によって保持される適宜の支持治具には
2カ所に撮像装置が設けられ、一の撮像装置は、第1の
保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装置が前記授
受の際の高さ近傍(もちろん授受の際の高さも含めて)
に位置するときにこの把持装置における第1の把持位置
をも同時に撮像する如く構成され、他の撮像装置は、第
2の保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装置が前
記授受の際の高さ近傍(もちろん授受の際の高さも含め
て)に位置するときにこの把持装置における第2の把持
位置をも同時に撮像する如く構成され、前記各撮像装置
によって撮像された前記把持位置と前記保持位置とを、
各撮像装置ごとに、同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示装置とを具備することを特徴
とする、位置合わせ装置が提供される。
【0019】この場合、請求項8に記載したように、第
1の把持位置と保持位置を一端部に、第2の把持位置と
保持位置を他端部に夫々位置する把持位置、保持位置と
してもよい。
1の把持位置と保持位置を一端部に、第2の把持位置と
保持位置を他端部に夫々位置する把持位置、保持位置と
してもよい。
【0020】さらに請求項9に記載したように,前記各
撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持位
置とを,前記各撮像装置ごとに同一画像表示部における
同一座標系に,前記各撮像装置ごとに分割して重ねて画
像表示する表示装置とを具備するようにしてもよい。即
ち1つの表示装置を共用して,その画像表示部を分割し
て,個々の分割画面上で各撮像装置ごとに表示するよう
にしてもよい。請求項10によれば,把持装置における
所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を,
保持具における所定の保持位置に授受する搬送系におけ
る,前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相
対位置の位置合わせを行う方法であって,前記把持位置
と前記保持位置とを撮像する工程と,前記撮像された前
記把持位置と前記保持位置とを,同一画像表示部におけ
る同一座標系に重ねて画像表示する工程とを具備するこ
とを特徴とする,位置合わせ方法が提供される。請求項
11によれば,把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する搬送系における,前記授受の際の前
記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを
行う方法であって,第1の把持位置と保持位置とを撮像
する工程と,他の第2の把持位置と保持位置とを撮像す
る工程と,前記撮像された第1の把持位置と保持位置と
を同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示
する工程と,前記撮像された第2の把持位置と保持位置
とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表
示する工程とを具備することを特徴とする,位置合わせ
方法が提供される。請求項12によれば,把持装置にお
ける所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を,保持具における所定の保持位置に授受する搬送系に
おける,前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置と
の相対位置の位置合わせを行う方法であって,前記保持
位置を常時撮像する工程と,前記把持装置が前記授受の
際の高さ近傍に位置するときにこの把持装置の把持位置
を撮像する工程と,前記撮像された前記把持位置と前記
保持位置とを,同一画像表示部における同一座標系に重
ねて画像表示する工程とを具備することを特徴とする,
位置合わせ方法が提供される。 請求項13によれば,把
持装置における所定の把持位置に把持された状態の複 数
の被処理体を,保持具における所定の保持位置に授受す
る搬送系における,前記授受の際の前記把持位置と前記
保持位置との相対位置の位置合わせを行う方法であっ
て,第1の保持位置と他の第2の保持位置を常時撮像す
る工程と,前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位
置するときに,第1の把持位置と他の第2の把持位置を
撮像する工程と,前記撮像された第1の把持位置と保持
位置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画
像表示する工程と,前記撮像された第2の把持位置と保
持位置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて
画像表示する工程とを具備することを特徴とする,位置
合わせ方法が提供される。
撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持位
置とを,前記各撮像装置ごとに同一画像表示部における
同一座標系に,前記各撮像装置ごとに分割して重ねて画
像表示する表示装置とを具備するようにしてもよい。即
ち1つの表示装置を共用して,その画像表示部を分割し
て,個々の分割画面上で各撮像装置ごとに表示するよう
にしてもよい。請求項10によれば,把持装置における
所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を,
保持具における所定の保持位置に授受する搬送系におけ
る,前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相
対位置の位置合わせを行う方法であって,前記把持位置
と前記保持位置とを撮像する工程と,前記撮像された前
記把持位置と前記保持位置とを,同一画像表示部におけ
る同一座標系に重ねて画像表示する工程とを具備するこ
とを特徴とする,位置合わせ方法が提供される。請求項
11によれば,把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する搬送系における,前記授受の際の前
記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを
行う方法であって,第1の把持位置と保持位置とを撮像
する工程と,他の第2の把持位置と保持位置とを撮像す
る工程と,前記撮像された第1の把持位置と保持位置と
を同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示
する工程と,前記撮像された第2の把持位置と保持位置
とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表
示する工程とを具備することを特徴とする,位置合わせ
方法が提供される。請求項12によれば,把持装置にお
ける所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を,保持具における所定の保持位置に授受する搬送系に
おける,前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置と
の相対位置の位置合わせを行う方法であって,前記保持
位置を常時撮像する工程と,前記把持装置が前記授受の
際の高さ近傍に位置するときにこの把持装置の把持位置
を撮像する工程と,前記撮像された前記把持位置と前記
保持位置とを,同一画像表示部における同一座標系に重
ねて画像表示する工程とを具備することを特徴とする,
位置合わせ方法が提供される。 請求項13によれば,把
持装置における所定の把持位置に把持された状態の複 数
の被処理体を,保持具における所定の保持位置に授受す
る搬送系における,前記授受の際の前記把持位置と前記
保持位置との相対位置の位置合わせを行う方法であっ
て,第1の保持位置と他の第2の保持位置を常時撮像す
る工程と,前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位
置するときに,第1の把持位置と他の第2の把持位置を
撮像する工程と,前記撮像された第1の把持位置と保持
位置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画
像表示する工程と,前記撮像された第2の把持位置と保
持位置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて
画像表示する工程とを具備することを特徴とする,位置
合わせ方法が提供される。
【0021】
【作用】請求項1によれば、把持装置における被処理体
の把持位置と、保持具における保持位置とが同一の撮像
装置によって同時に撮像され、撮像されたこれら把持位
置と前記保持位置とが、同一画像表示部における同一座
標系に、重ねて画像表示されるので、把持位置と保持位
置とが位置ズレしている場合、両画像もズレて表示され
る。従って操作員は、その画像を見ながら把持位置と保
持位置とが一致するように、把持装置の設定位置を適宜
調整するだけで把持位置と保持位置との位置合わせが簡
単にしかも正確に行える。
の把持位置と、保持具における保持位置とが同一の撮像
装置によって同時に撮像され、撮像されたこれら把持位
置と前記保持位置とが、同一画像表示部における同一座
標系に、重ねて画像表示されるので、把持位置と保持位
置とが位置ズレしている場合、両画像もズレて表示され
る。従って操作員は、その画像を見ながら把持位置と保
持位置とが一致するように、把持装置の設定位置を適宜
調整するだけで把持位置と保持位置との位置合わせが簡
単にしかも正確に行える。
【0022】また請求項2によれば、基本的に作用は上
記請求項1と同様であるが、撮像装置は2箇所に設けら
れて、これら2つの撮像装置によって把持装置と保持具
の各両端部の把持位置と保持位置とが撮像されている。
従って、例えば前記把持装置と保持具とがある程度の長
さを有している場合、そのように二カ所で夫々請求項1
による位置合わせが行われるから、正確な位置合わせが
行えるものである。請求項3では、撮像する箇所が、一
端部と他端部、即ち両端部で行うので、請求項2よりも
さらに正確な位置合わせが行えるものである。
記請求項1と同様であるが、撮像装置は2箇所に設けら
れて、これら2つの撮像装置によって把持装置と保持具
の各両端部の把持位置と保持位置とが撮像されている。
従って、例えば前記把持装置と保持具とがある程度の長
さを有している場合、そのように二カ所で夫々請求項1
による位置合わせが行われるから、正確な位置合わせが
行えるものである。請求項3では、撮像する箇所が、一
端部と他端部、即ち両端部で行うので、請求項2よりも
さらに正確な位置合わせが行えるものである。
【0023】そして請求項4では、表示装置、例えばモ
ニタなどを共用しているので、一台の表示装置における
一つの画面上で、二つの撮像装置の撮像、即ち二カ所に
おける把持位置と保持位置との重ねられた画像表示を視
認することができる。
ニタなどを共用しているので、一台の表示装置における
一つの画面上で、二つの撮像装置の撮像、即ち二カ所に
おける把持位置と保持位置との重ねられた画像表示を視
認することができる。
【0024】ところで前記把持装置が、上下動して保持
具に対して授受する位置まで移動する場合、把持装置の
Z方向の位置、即ち把持装置の高さも、正確な授受にと
っては、重要な基準となる。請求項5〜9では、かかる
点に対処可能であり、まず請求項5によれば、前記した
各位置合わせ装置における適宜の治具に、前記把持装置
と保持具との間の距離を検出する距離センサを設けてあ
るので、この距離センサの検出信号、即ち距離をモニタ
することにより、把持装置の保持具に対する高さを確認
することができる。
具に対して授受する位置まで移動する場合、把持装置の
Z方向の位置、即ち把持装置の高さも、正確な授受にと
っては、重要な基準となる。請求項5〜9では、かかる
点に対処可能であり、まず請求項5によれば、前記した
各位置合わせ装置における適宜の治具に、前記把持装置
と保持具との間の距離を検出する距離センサを設けてあ
るので、この距離センサの検出信号、即ち距離をモニタ
することにより、把持装置の保持具に対する高さを確認
することができる。
【0025】請求項6の位置合わせ装置における撮像装
置は、前記保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装
置が前記授受の際の高さ近傍に位置するときにこの把持
装置の把持位置をも同時に撮像する如く構成されている
ので、未だ把持装置が前記授受の際の所定の地位周辺に
ないときは、把持位置が撮像されず、所定の高さ近傍に
位置したときにはじめて、把持位置が撮像されて画像に
表示される。したがって画像上、保持位置と把持位置と
が表示され両者が重なった位置になれば、授受の際の所
定の高さに把持装置が位置していることが確認できる。
置は、前記保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装
置が前記授受の際の高さ近傍に位置するときにこの把持
装置の把持位置をも同時に撮像する如く構成されている
ので、未だ把持装置が前記授受の際の所定の地位周辺に
ないときは、把持位置が撮像されず、所定の高さ近傍に
位置したときにはじめて、把持位置が撮像されて画像に
表示される。したがって画像上、保持位置と把持位置と
が表示され両者が重なった位置になれば、授受の際の所
定の高さに把持装置が位置していることが確認できる。
【0026】請求項7では、二カ所で夫々請求項6によ
る位置合わせが行われるから、正確な位置合わせが行え
るものである。請求項8では、撮像する箇所が、一端部
と他端部、即ち両端部で行われるので、請求項7よりも
さらに正確な位置合わせが行えるものである。
る位置合わせが行われるから、正確な位置合わせが行え
るものである。請求項8では、撮像する箇所が、一端部
と他端部、即ち両端部で行われるので、請求項7よりも
さらに正確な位置合わせが行えるものである。
【0027】請求項9によれば,請求項4の場合と同
様,表示装置,例えばモニタなどを共用しているので,
一台の表示装置における一つの画面上で,二つの撮像装
置の撮像,即ち二カ所における把持位置と保持位置との
重ねられた画像表示を視認することができる。請求項1
0の位置合わせ方法によれば,把持装置における被処理
体の把持位置と保持具における保持位置とが同一画像表
示部における同一座標系に,重ねて画像表示されるの
で,把持位置と保持位置とが位置ズレしている場合,両
画像もズレて表示される。従って操作員は,その画像を
見ながら把持位置と保持位置とが一致するように,把持
装置の設定位置を適宜調整するだけで把持位置と保持位
置との位置合わせが簡単にしかも正確に行える。請求項
11の位置合わせ方法によれば,二カ所で位置合わせが
行われるから,例えば前記把持装置と保持具とがある程
度の長さを有している場合,正確な位置合わせが行える
ものである。請求項12の位置合わせ方法によれば,未
だ把持装置が前記授受の際の所定の高さ近傍にないとき
は,把持位置が撮像されず,所定の高さ近傍に位置した
ときにはじめて,把持位置が撮像されて画像に表示され
る。したがって画像上,保持位置と把持位置とが表示さ
れ両者が重なった位置になれば,授受の際の所定の高さ
に把持装置が位置していることが確認できる。請求項1
3の位置合わせ方法によれば,二カ所で位置合わせが行
われるから,正確な位置合わせが行えるものである。
様,表示装置,例えばモニタなどを共用しているので,
一台の表示装置における一つの画面上で,二つの撮像装
置の撮像,即ち二カ所における把持位置と保持位置との
重ねられた画像表示を視認することができる。請求項1
0の位置合わせ方法によれば,把持装置における被処理
体の把持位置と保持具における保持位置とが同一画像表
示部における同一座標系に,重ねて画像表示されるの
で,把持位置と保持位置とが位置ズレしている場合,両
画像もズレて表示される。従って操作員は,その画像を
見ながら把持位置と保持位置とが一致するように,把持
装置の設定位置を適宜調整するだけで把持位置と保持位
置との位置合わせが簡単にしかも正確に行える。請求項
11の位置合わせ方法によれば,二カ所で位置合わせが
行われるから,例えば前記把持装置と保持具とがある程
度の長さを有している場合,正確な位置合わせが行える
ものである。請求項12の位置合わせ方法によれば,未
だ把持装置が前記授受の際の所定の高さ近傍にないとき
は,把持位置が撮像されず,所定の高さ近傍に位置した
ときにはじめて,把持位置が撮像されて画像に表示され
る。したがって画像上,保持位置と把持位置とが表示さ
れ両者が重なった位置になれば,授受の際の所定の高さ
に把持装置が位置していることが確認できる。請求項1
3の位置合わせ方法によれば,二カ所で位置合わせが行
われるから,正確な位置合わせが行えるものである。
【0028】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明すると、本実施例は半導体ウエハ(以下、「ウエ
ハ」という)の洗浄処理装置において適用された例であ
り、まずその洗浄処理装置について説明すると、この洗
浄処理装置1全体は、図1に示したように、洗浄処理前
のウエハをカセット単位で収容する搬入部2と、ウエハ
の洗浄処理が行われる洗浄処理部3と、洗浄処理後のウ
エハをカセット単位で取り出すための搬出部4の、3つ
のゾーンによって構成されている。
説明すると、本実施例は半導体ウエハ(以下、「ウエ
ハ」という)の洗浄処理装置において適用された例であ
り、まずその洗浄処理装置について説明すると、この洗
浄処理装置1全体は、図1に示したように、洗浄処理前
のウエハをカセット単位で収容する搬入部2と、ウエハ
の洗浄処理が行われる洗浄処理部3と、洗浄処理後のウ
エハをカセット単位で取り出すための搬出部4の、3つ
のゾーンによって構成されている。
【0029】前記搬入部2には、洗浄処理前のウエハが
所定枚数、例えば25枚収納されたカセット5を待機さ
せる待機部6と、カセット5からのウエハの取り出し、
オリフラ合わせ及び枚葉検出等を行うローダ部7と、外
部から搬送ロボットなどによって搬入されるカセット5
の前記待機部6への搬送、及びこの待機部6と前記ロー
ダ部7との間で、カセット5の搬送を行うための搬送ア
ーム8が設けられている。
所定枚数、例えば25枚収納されたカセット5を待機さ
せる待機部6と、カセット5からのウエハの取り出し、
オリフラ合わせ及び枚葉検出等を行うローダ部7と、外
部から搬送ロボットなどによって搬入されるカセット5
の前記待機部6への搬送、及びこの待機部6と前記ロー
ダ部7との間で、カセット5の搬送を行うための搬送ア
ーム8が設けられている。
【0030】前記洗浄処理部3には、その前面側(図1
における手前側)に3つのウエハ搬送装置11、12、
13が配列されており、また前記洗浄処理部3の上方に
は、前記ウエハ搬送装置11、12、13によってウエ
ハが取り出された後の空のカセット5を、洗浄、乾燥処
理するカセット洗浄・乾燥ライン14が前記洗浄処理部
3に沿って設けられている。このカセット洗浄・乾燥ラ
イン14へのカセットの供給は、前出ローダ部7と昇降
機構15によって行われる。
における手前側)に3つのウエハ搬送装置11、12、
13が配列されており、また前記洗浄処理部3の上方に
は、前記ウエハ搬送装置11、12、13によってウエ
ハが取り出された後の空のカセット5を、洗浄、乾燥処
理するカセット洗浄・乾燥ライン14が前記洗浄処理部
3に沿って設けられている。このカセット洗浄・乾燥ラ
イン14へのカセットの供給は、前出ローダ部7と昇降
機構15によって行われる。
【0031】一方、搬出部4においても、前記昇降機構
15と同様な昇降機構(図示せず)が設けられており、
前記洗浄・乾燥ライン14を経た空のカセット5は、こ
の昇降機構によって搬出部4内の所定の受け取り位置に
セットされるように構成されている。
15と同様な昇降機構(図示せず)が設けられており、
前記洗浄・乾燥ライン14を経た空のカセット5は、こ
の昇降機構によって搬出部4内の所定の受け取り位置に
セットされるように構成されている。
【0032】前記洗浄処理部3には、前記ローダ部7側
から順に、前記ウエハ搬送装置11のウエハチャック1
6を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽21、ウ
エハ表面の有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の
不純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽2
2、前記薬液洗浄処理槽22で洗浄されたウエハを例え
ば純水によって洗浄する2つの水洗洗浄処理槽23、2
4、前記薬液洗浄処理槽22における薬液とは異なった
薬液で洗浄処理する薬液洗浄処理槽25、前記薬液洗浄
処理槽25で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗
浄する2つの水洗洗浄処理槽26、27、前記ウエハ搬
送装置13のウエハチャック17を洗浄、乾燥するチャ
ック洗浄・乾燥処理槽28、及び前記不純物質が除去さ
れたウエハを、例えばIPA(イソプロピルアルコー
ル)等で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽29が夫々配
設されている。
から順に、前記ウエハ搬送装置11のウエハチャック1
6を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽21、ウ
エハ表面の有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の
不純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽2
2、前記薬液洗浄処理槽22で洗浄されたウエハを例え
ば純水によって洗浄する2つの水洗洗浄処理槽23、2
4、前記薬液洗浄処理槽22における薬液とは異なった
薬液で洗浄処理する薬液洗浄処理槽25、前記薬液洗浄
処理槽25で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗
浄する2つの水洗洗浄処理槽26、27、前記ウエハ搬
送装置13のウエハチャック17を洗浄、乾燥するチャ
ック洗浄・乾燥処理槽28、及び前記不純物質が除去さ
れたウエハを、例えばIPA(イソプロピルアルコー
ル)等で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽29が夫々配
設されている。
【0033】そして前記薬液洗浄処理槽22、25は、
夫々の洗浄処理液がオーバーフローして循環し、この循
環時にそれぞれの洗浄処理液内に蓄積された不純物が除
去されるように構成されている。
夫々の洗浄処理液がオーバーフローして循環し、この循
環時にそれぞれの洗浄処理液内に蓄積された不純物が除
去されるように構成されている。
【0034】前記ウエハ搬送装置11、12、13は、
基本的に同一構成であり、ウエハ搬送装置12の構成に
ついて、図1、図2に基づいて説明すると、このウエハ
搬送装置12は、例えば50枚のウエハを一括して把持
する左右一対の把持部材17a、17bによって構成さ
れたウエハチャック17と、このウエハチャック17を
上下方向(Z方向)に昇降させると共に、前後方向(Y
方向)にも移動させるY軸駆動機構12dと、このY軸
駆動機構12dを備えた駆動機構12aを洗浄処理部3
の長手方向(X方向)に沿って移動させるための搬送ベ
ース12bとを有している。また前記ウエハチャック1
7を昇降させる際に、駆動機構12aから突出、収納す
る摺動体は、ベローズシール12cによって被覆されて
おり、洗浄処理部3内で発生したパーティクルがこの摺
動体に直接付着しないように構成されている。
基本的に同一構成であり、ウエハ搬送装置12の構成に
ついて、図1、図2に基づいて説明すると、このウエハ
搬送装置12は、例えば50枚のウエハを一括して把持
する左右一対の把持部材17a、17bによって構成さ
れたウエハチャック17と、このウエハチャック17を
上下方向(Z方向)に昇降させると共に、前後方向(Y
方向)にも移動させるY軸駆動機構12dと、このY軸
駆動機構12dを備えた駆動機構12aを洗浄処理部3
の長手方向(X方向)に沿って移動させるための搬送ベ
ース12bとを有している。また前記ウエハチャック1
7を昇降させる際に、駆動機構12aから突出、収納す
る摺動体は、ベローズシール12cによって被覆されて
おり、洗浄処理部3内で発生したパーティクルがこの摺
動体に直接付着しないように構成されている。
【0035】さらにまた前記駆動機構12a全体は、適
宜の調整機構(図示せず)によってその平面における中
心を軸心として、適宜の範囲で図2に示したようにθ方
向にも微調整できるように構成され、さらにウエハチャ
ック17の所定位置での停止、即ち位置合わせを行うた
めの、駆動機構12aのX方向、Y軸駆動機構12dの
Y方向へのマニュアル調整移動が、パルスモータの制御
によって自在に行え、かつその設定位置を記憶させるこ
とが可能なように構成されている。
宜の調整機構(図示せず)によってその平面における中
心を軸心として、適宜の範囲で図2に示したようにθ方
向にも微調整できるように構成され、さらにウエハチャ
ック17の所定位置での停止、即ち位置合わせを行うた
めの、駆動機構12aのX方向、Y軸駆動機構12dの
Y方向へのマニュアル調整移動が、パルスモータの制御
によって自在に行え、かつその設定位置を記憶させるこ
とが可能なように構成されている。
【0036】そして前記ウエハチャック17における各
把持部材17a、17bは、夫々図3、図4に示したよ
うに、夫々図2における往復回動矢印M、Nで示される
ように回動自在に構成され、さらにその両端部から下方
に設けられた支持体31、32間の上下に、各々把持棒
33、34が水平方向に渡されて固定されている。
把持部材17a、17bは、夫々図3、図4に示したよ
うに、夫々図2における往復回動矢印M、Nで示される
ように回動自在に構成され、さらにその両端部から下方
に設けられた支持体31、32間の上下に、各々把持棒
33、34が水平方向に渡されて固定されている。
【0037】さらに上側の把持棒33には把持溝Pが、
下側の把持棒34にも把持溝Qが、夫々同一の一定間隔
の下で夫々P1〜P50、Q1〜Q50までの計50本ずつ設
けられており、把持される50枚のウエハはその周縁部
が、各把持部材17a、17bにおける前記各把持棒3
3、34における前記各把持溝P1〜P50とQ1〜Q50内
に挿入された状態で、各把持部材17a、17bが相互
に接近する方向に回動することによって、前記ウエハチ
ャック17に把持されるように構成されている。
下側の把持棒34にも把持溝Qが、夫々同一の一定間隔
の下で夫々P1〜P50、Q1〜Q50までの計50本ずつ設
けられており、把持される50枚のウエハはその周縁部
が、各把持部材17a、17bにおける前記各把持棒3
3、34における前記各把持溝P1〜P50とQ1〜Q50内
に挿入された状態で、各把持部材17a、17bが相互
に接近する方向に回動することによって、前記ウエハチ
ャック17に把持されるように構成されている。
【0038】前出各洗浄処理槽内の底部近傍には、洗浄
処理中のウエハを処理するためのウエハ保持具が設けら
れているが、いま図2、図3、図4をもとに、薬液洗浄
処理槽25内に設けられているウエハ保持具41につい
て説明すると、このウエハ保持具41は、ボートとも呼
ばれる3本の保持棒42、43、44が薬液洗浄処理槽
25の底部近傍に長手方向(Y方向)に沿って、適宜の
ブラケット45を介して設置、固定されている。
処理中のウエハを処理するためのウエハ保持具が設けら
れているが、いま図2、図3、図4をもとに、薬液洗浄
処理槽25内に設けられているウエハ保持具41につい
て説明すると、このウエハ保持具41は、ボートとも呼
ばれる3本の保持棒42、43、44が薬液洗浄処理槽
25の底部近傍に長手方向(Y方向)に沿って、適宜の
ブラケット45を介して設置、固定されている。
【0039】また前記保持棒42には保持溝Rが、中央
に位置する前記保持棒43には保持溝Sが、そして前記
保持棒44には保持溝Tが、夫々前記把持溝P、Qと同
一間隔の下で、夫々R1〜R50、S1〜S50、T1〜T50
までの計50本ずつ設けられている。
に位置する前記保持棒43には保持溝Sが、そして前記
保持棒44には保持溝Tが、夫々前記把持溝P、Qと同
一間隔の下で、夫々R1〜R50、S1〜S50、T1〜T50
までの計50本ずつ設けられている。
【0040】そしてウエハ搬送装置12のウエハチャッ
ク17で一括して把持された50枚のウエハを、薬液洗
浄処理槽25内において薬液洗浄に付する際には、ウエ
ハを把持した状態のウエハチャック17を駆動機構12
aによってウエハ保持具41の真上まで移動させ、その
ままこのウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25内に
下降させて、ウエハチャック17で把持された各ウエハ
の周縁部を、夫々ウエハ保持具41の各保持棒42、4
3、44における各保持溝R、S、Tで受容させる。そ
の後このウエハチャック17の把持部材17a、17b
を開脚させて、ウエハチャック17を再び上昇させて、
薬液洗浄処理槽25外部に後退させる。
ク17で一括して把持された50枚のウエハを、薬液洗
浄処理槽25内において薬液洗浄に付する際には、ウエ
ハを把持した状態のウエハチャック17を駆動機構12
aによってウエハ保持具41の真上まで移動させ、その
ままこのウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25内に
下降させて、ウエハチャック17で把持された各ウエハ
の周縁部を、夫々ウエハ保持具41の各保持棒42、4
3、44における各保持溝R、S、Tで受容させる。そ
の後このウエハチャック17の把持部材17a、17b
を開脚させて、ウエハチャック17を再び上昇させて、
薬液洗浄処理槽25外部に後退させる。
【0041】所定の浸漬時間が経過し、洗浄処理が終了
した後は、把持部材17a、17bを開脚させた状態で
ウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25内に降下させ
て、ウエハをウエハ保持具41に渡した際の位置にて停
止させ、今度はウエハ保持具41で保持されている50
枚のウエハの周縁部を同時に一括して、各把持部材17
a、17bの各把持棒33、34における各把持溝P、
Qに納め、その後各把持部材17a、17bを閉脚させ
てこれら各ウエハを一括して把持し、ウエハチャック1
7を上昇させて、把持したウエハを次の洗浄処理である
水洗洗浄を行う水洗洗浄処理槽24へと搬送させるので
ある。
した後は、把持部材17a、17bを開脚させた状態で
ウエハチャック17を薬液洗浄処理槽25内に降下させ
て、ウエハをウエハ保持具41に渡した際の位置にて停
止させ、今度はウエハ保持具41で保持されている50
枚のウエハの周縁部を同時に一括して、各把持部材17
a、17bの各把持棒33、34における各把持溝P、
Qに納め、その後各把持部材17a、17bを閉脚させ
てこれら各ウエハを一括して把持し、ウエハチャック1
7を上昇させて、把持したウエハを次の洗浄処理である
水洗洗浄を行う水洗洗浄処理槽24へと搬送させるので
ある。
【0042】以上のプロセスにおいてウエハチャック1
7とウエハ保持具41との間で50枚のウエハを一括し
て授受する場合には、授受の時点で、ウエハチャック1
7側の各把持溝P1〜P50、Q1〜Q50と、ウエハ保持具
41側の保持溝R1〜R50、S1〜S50、T1〜T50とが
夫々正しい相対位置関係になければならない。即ち例え
ば把持溝P1についていえば、把持溝P1、Q1と、保持
溝R1、S1、T1とが同一垂直面上に位置していなけれ
ばならないのである。
7とウエハ保持具41との間で50枚のウエハを一括し
て授受する場合には、授受の時点で、ウエハチャック1
7側の各把持溝P1〜P50、Q1〜Q50と、ウエハ保持具
41側の保持溝R1〜R50、S1〜S50、T1〜T50とが
夫々正しい相対位置関係になければならない。即ち例え
ば把持溝P1についていえば、把持溝P1、Q1と、保持
溝R1、S1、T1とが同一垂直面上に位置していなけれ
ばならないのである。
【0043】本実施例はかかる場合の把持溝Pと保持溝
Sとの位置合わせを行う際の装置として具体化された例
であり、まずウエハチャック17に把持される検出用治
具について説明すると、図5に示したように、この検出
用治具51は、ウエハと同一径、同一の厚みを有する円
板状の支持板52、53を2本の連結棒54、54を介
して一体化させ、各支持板52、53が平行に対向する
ように構成されている。そして各支持板52、53間の
長さは、前出把持溝P4〜P47間の距離と同一に設定さ
れている。
Sとの位置合わせを行う際の装置として具体化された例
であり、まずウエハチャック17に把持される検出用治
具について説明すると、図5に示したように、この検出
用治具51は、ウエハと同一径、同一の厚みを有する円
板状の支持板52、53を2本の連結棒54、54を介
して一体化させ、各支持板52、53が平行に対向する
ように構成されている。そして各支持板52、53間の
長さは、前出把持溝P4〜P47間の距離と同一に設定さ
れている。
【0044】そして前記各支持板52、53の外側に
は、夫々図6に示したような撮像装置55が固定されて
いる。この撮像装置55には、その略直方体のケース5
6内に撮像カメラ57が設けられており、この撮像カメ
ラ57には、例えば20倍の撮像倍率を有する拡大レン
ズ58が設けられており、この拡大レンズ58のピント
は、各支持板52、53の周縁部に合わされている。
は、夫々図6に示したような撮像装置55が固定されて
いる。この撮像装置55には、その略直方体のケース5
6内に撮像カメラ57が設けられており、この撮像カメ
ラ57には、例えば20倍の撮像倍率を有する拡大レン
ズ58が設けられており、この拡大レンズ58のピント
は、各支持板52、53の周縁部に合わされている。
【0045】また前記拡大レンズ58の垂直下方には、
45゜に傾けられたハーフミラー59が設けられてい
る。このハーフミラー59は、前記各支持板52、53
の中心に位置するように設定されている。
45゜に傾けられたハーフミラー59が設けられてい
る。このハーフミラー59は、前記各支持板52、53
の中心に位置するように設定されている。
【0046】そしてケース56の底面及び左側面には、
例えばアクリル製のビューポート60、61が設けられ
ている。従って前記撮像カメラ57は、ビューポート6
0、61を通じて、各支持板52、53の垂直下方及び
水平方向に位置する物体を、夫々20倍に拡大して、こ
れらを同時に撮像することが可能である。
例えばアクリル製のビューポート60、61が設けられ
ている。従って前記撮像カメラ57は、ビューポート6
0、61を通じて、各支持板52、53の垂直下方及び
水平方向に位置する物体を、夫々20倍に拡大して、こ
れらを同時に撮像することが可能である。
【0047】前記各支持板52、53に設けられた2つ
の撮像装置55、55の各撮像カメラ57からの画像信
号は、図7に示したように、例えばケーブルや光ファイ
バなどの信号線71を通じて、洗浄処理装置1外部に設
置されている適宜のミキシング装置72に入力される。
このミキシング装置72は画像処理機能を具有してお
り、処理後の画像信号は、モニタ73へと入力される。
このモニタ73では、前記入力された画像信号に基づい
て、画面の上方(A部)に支持板52側の撮像装置55
によって撮像された画像を、画面の下方(B部)に支持
板53側の撮像装置55によって撮像された画像を、夫
々表示するように構成されている。
の撮像装置55、55の各撮像カメラ57からの画像信
号は、図7に示したように、例えばケーブルや光ファイ
バなどの信号線71を通じて、洗浄処理装置1外部に設
置されている適宜のミキシング装置72に入力される。
このミキシング装置72は画像処理機能を具有してお
り、処理後の画像信号は、モニタ73へと入力される。
このモニタ73では、前記入力された画像信号に基づい
て、画面の上方(A部)に支持板52側の撮像装置55
によって撮像された画像を、画面の下方(B部)に支持
板53側の撮像装置55によって撮像された画像を、夫
々表示するように構成されている。
【0048】本実施例は以上のように構成されており、
次のその使用方法並びに作用等について説明すると、ま
ず図2に示したように前記検出用治具51をウエハチャ
ック17で把持させる。かかる場合、この検出用治具5
1の両端部に位置する支持板は被処理体であるウエハと
同一径、同一厚みを有する円板によって構成されてお
り、しかもこれら支持板52、53間の距離は、既述の
如く把持溝P4〜P47までの長さと同一に設定されてい
るので、支持板52の周縁部は把持溝P4、Q4に、支持
板53の周縁部は把持溝P47、Q47に挿入させることに
より、この検出用治具51をウエハチャック17による
通常の閉脚動作によって容易に把持させることが可能で
ある。またその時同時にモニタ73も作動させておく。
次のその使用方法並びに作用等について説明すると、ま
ず図2に示したように前記検出用治具51をウエハチャ
ック17で把持させる。かかる場合、この検出用治具5
1の両端部に位置する支持板は被処理体であるウエハと
同一径、同一厚みを有する円板によって構成されてお
り、しかもこれら支持板52、53間の距離は、既述の
如く把持溝P4〜P47までの長さと同一に設定されてい
るので、支持板52の周縁部は把持溝P4、Q4に、支持
板53の周縁部は把持溝P47、Q47に挿入させることに
より、この検出用治具51をウエハチャック17による
通常の閉脚動作によって容易に把持させることが可能で
ある。またその時同時にモニタ73も作動させておく。
【0049】そうすると、モニタ73の画面には図8に
示したように、その画面の上方(A部)に、把持部材1
7a側の把持溝P1、P2、P3の拡大画像が鮮明に表示
され、一方画面の下方(B部)に、把持部材17b側の
把持溝P48、P49、P50拡大画像が夫々鮮明に表示され
る。
示したように、その画面の上方(A部)に、把持部材1
7a側の把持溝P1、P2、P3の拡大画像が鮮明に表示
され、一方画面の下方(B部)に、把持部材17b側の
把持溝P48、P49、P50拡大画像が夫々鮮明に表示され
る。
【0050】そして検出用治具51をそのように把持し
たまま、ウエハチャック17を通常の動作と同様、ウエ
ハ保持具41の真上にて薬液洗浄処理槽25内に下降さ
せていき、図4に示したように、ウエハをウエハ保持具
41に受容させる僅かに手前で停止させると、モニタ7
3の画面の上方(A部)には、保持溝S1、S2、S3の
拡大画像が、一方画面の下方(B部)には、保持溝
S48、S49、S50拡大画像が夫々前記把持溝P1、P2、
P3の拡大画像、及び把持溝P48、P49、P50拡大画像
と同一倍率にて同一座標系上に重ねて表示される。
たまま、ウエハチャック17を通常の動作と同様、ウエ
ハ保持具41の真上にて薬液洗浄処理槽25内に下降さ
せていき、図4に示したように、ウエハをウエハ保持具
41に受容させる僅かに手前で停止させると、モニタ7
3の画面の上方(A部)には、保持溝S1、S2、S3の
拡大画像が、一方画面の下方(B部)には、保持溝
S48、S49、S50拡大画像が夫々前記把持溝P1、P2、
P3の拡大画像、及び把持溝P48、P49、P50拡大画像
と同一倍率にて同一座標系上に重ねて表示される。
【0051】従って、もし前記把持溝P1、P2、P3と
保持溝S1、S2、S3、及び把持溝P48、P49、P50と
保持溝S48、S49、S50とが各々対応して夫々同一垂直
面上に位置している場合には、図8、図9に示したよう
に、両画像は画面上完全に一致している。即ち、ウエハ
チャック17とウエハ保持具41との授受の際の相対位
置が正しい位置関係にあることが確認できるのである。
保持溝S1、S2、S3、及び把持溝P48、P49、P50と
保持溝S48、S49、S50とが各々対応して夫々同一垂直
面上に位置している場合には、図8、図9に示したよう
に、両画像は画面上完全に一致している。即ち、ウエハ
チャック17とウエハ保持具41との授受の際の相対位
置が正しい位置関係にあることが確認できるのである。
【0052】しかしながら、ウエハチャック17とウエ
ハ保持具41との授受の際の相対位置関係が、X、Y、
θ方向に夫々ずれている場合には、モニタ73の画面に
おいては、それに応じて図10に示したように、例えば
把持溝P2の画像に対して保持溝S2の画像がずれて表示
される。このことによって操作員は、ウエハチャック1
7とウエハ保持具41との授受の際の相対位置関係のズ
レが直ちに確認できる。
ハ保持具41との授受の際の相対位置関係が、X、Y、
θ方向に夫々ずれている場合には、モニタ73の画面に
おいては、それに応じて図10に示したように、例えば
把持溝P2の画像に対して保持溝S2の画像がずれて表示
される。このことによって操作員は、ウエハチャック1
7とウエハ保持具41との授受の際の相対位置関係のズ
レが直ちに確認できる。
【0053】そして図10に示したようなズレが確認さ
れると、例えばウエハ搬送装置12の駆動機構12aを
適宜θ方向に調整して、まず図11に示したようにθ方
向のズレ分を是正させる。この場合、もちろんウエハ保
持具41の方を適宜θ方向に回転させて調整してもよ
い。かかる操作は、作業員がモニタ73の画面を見なが
ら容易にこれを実施することが可能である。
れると、例えばウエハ搬送装置12の駆動機構12aを
適宜θ方向に調整して、まず図11に示したようにθ方
向のズレ分を是正させる。この場合、もちろんウエハ保
持具41の方を適宜θ方向に回転させて調整してもよ
い。かかる操作は、作業員がモニタ73の画面を見なが
ら容易にこれを実施することが可能である。
【0054】上記のθ方向の調整後、図11の状態にな
れば、後はX、Y方向のズレを矯正させればよいので、
操作員は前記と同様モニタ73を見ながら、例えば把持
溝P2と保持溝S2の関係だけについていえば、把持溝P
2と保持溝S2の画像とが図9に示した如く両者完全に一
致するように、適宜ウエハ搬送装置12の駆動機構12
aの設定位置をX方向、Y方向に移動調整させればよい
のである。
れば、後はX、Y方向のズレを矯正させればよいので、
操作員は前記と同様モニタ73を見ながら、例えば把持
溝P2と保持溝S2の関係だけについていえば、把持溝P
2と保持溝S2の画像とが図9に示した如く両者完全に一
致するように、適宜ウエハ搬送装置12の駆動機構12
aの設定位置をX方向、Y方向に移動調整させればよい
のである。
【0055】かかる場合、モニタ73に表示された画像
は、把持溝P1、P2、P3と保持溝S1、S2、S3、及び
把持溝P48、P49、P50と保持溝S48、S49、S50との
拡大画像であるから、視認しやすく、また一致したこと
の確認も容易である。従って、極めて簡易、迅速に、ウ
エハチャック17とウエハ保持具41との授受の際の位
置合わせが実施できるものである。
は、把持溝P1、P2、P3と保持溝S1、S2、S3、及び
把持溝P48、P49、P50と保持溝S48、S49、S50との
拡大画像であるから、視認しやすく、また一致したこと
の確認も容易である。従って、極めて簡易、迅速に、ウ
エハチャック17とウエハ保持具41との授受の際の位
置合わせが実施できるものである。
【0056】また上記実施例においては、上記のように
2つの撮像装置55によって、ウエハチャック17とウ
エハ保持具41における両端部の把持溝Pと保持溝Sと
が、夫々をモニタ73上で表示されているから、上記両
端部における位置ズレを検出してこれを矯正することが
可能であり、極めて正確な位置合わせが行えるものであ
る。
2つの撮像装置55によって、ウエハチャック17とウ
エハ保持具41における両端部の把持溝Pと保持溝Sと
が、夫々をモニタ73上で表示されているから、上記両
端部における位置ズレを検出してこれを矯正することが
可能であり、極めて正確な位置合わせが行えるものであ
る。
【0057】以上のように上記実施例によれば、ウエハ
チャック17とウエハ保持具41との授受の際の相対位
置関係の、X、Y、θの各方向のズレ成分が直ちに確認
でき、それらを簡易、迅速に是正して、極めて正しい位
置合わせが実施できるものである。しかもそのために使
用する検出用治具51のウエハチャック17への装着も
簡単であって、装置構成自体も簡易な構成となってい
る。
チャック17とウエハ保持具41との授受の際の相対位
置関係の、X、Y、θの各方向のズレ成分が直ちに確認
でき、それらを簡易、迅速に是正して、極めて正しい位
置合わせが実施できるものである。しかもそのために使
用する検出用治具51のウエハチャック17への装着も
簡単であって、装置構成自体も簡易な構成となってい
る。
【0058】なおウエハチャック17とウエハ保持具4
1の相対位置調整は、操作員によるマニュアル調整では
なく、自動的に行うようにすることも可能である。この
場合、撮像装置55からの信号を、ミキシング装置7
2、モニタ73へ送るだけでなく、素七に示したよう
に、ウエハ搬送装置11、12、13を含む洗浄処理装
置1全体を制御するCPU10にも入力する。そしてこ
のCPU10において、溝P、Sの画像を比較し、両画
像のズレを修正するように、ウエハチャック17、さら
に必要であれば、ウエハ保持具41を制御駆動すること
により、自動的に両者の相対位置調整を実施することが
できる。
1の相対位置調整は、操作員によるマニュアル調整では
なく、自動的に行うようにすることも可能である。この
場合、撮像装置55からの信号を、ミキシング装置7
2、モニタ73へ送るだけでなく、素七に示したよう
に、ウエハ搬送装置11、12、13を含む洗浄処理装
置1全体を制御するCPU10にも入力する。そしてこ
のCPU10において、溝P、Sの画像を比較し、両画
像のズレを修正するように、ウエハチャック17、さら
に必要であれば、ウエハ保持具41を制御駆動すること
により、自動的に両者の相対位置調整を実施することが
できる。
【0059】また上記実施例においては、画像を拡大す
るための拡大レンズ58を、前記撮像カメラ57に設け
た構成であったが、各ビューポート60、61側にかか
る拡大機能を持たせるように構成してもよい。
るための拡大レンズ58を、前記撮像カメラ57に設け
た構成であったが、各ビューポート60、61側にかか
る拡大機能を持たせるように構成してもよい。
【0060】さらにまた上記実施例で使用した検出用治
具51は、ウエハチャック17側の把持溝Pにその周縁
部が挿入される円板形状の支持板52、53を連結棒5
4、54で連結し、これら各支持板52、53の外側端
面にそれぞれ撮像装置55を設けた構成であったが、こ
のような検出用治具51に代えて、図12に示した検出
用治具81を用いてもよい。
具51は、ウエハチャック17側の把持溝Pにその周縁
部が挿入される円板形状の支持板52、53を連結棒5
4、54で連結し、これら各支持板52、53の外側端
面にそれぞれ撮像装置55を設けた構成であったが、こ
のような検出用治具51に代えて、図12に示した検出
用治具81を用いてもよい。
【0061】この検出用治具81は、略長方形の支持板
82の長手方向両端部に、それぞれ左右水平方向に突出
する載置部83、84を有し、さらにこの支持板82の
長手方向の長さは、ウエハチャック17の既述の把持溝
P4〜P47間の距離と同一に設定されている。また前記
支持板82の下面側には、前記把持溝Pに受容される形
状の爪部85が例えば4カ所に設けられ、各爪部85は
それぞれ外方水平方向に突出している。またこれら各爪
部85の前記長手方向の間隔は、ウエハチャック17に
おける把持溝Pの間隔のn倍に設定されている。
82の長手方向両端部に、それぞれ左右水平方向に突出
する載置部83、84を有し、さらにこの支持板82の
長手方向の長さは、ウエハチャック17の既述の把持溝
P4〜P47間の距離と同一に設定されている。また前記
支持板82の下面側には、前記把持溝Pに受容される形
状の爪部85が例えば4カ所に設けられ、各爪部85は
それぞれ外方水平方向に突出している。またこれら各爪
部85の前記長手方向の間隔は、ウエハチャック17に
おける把持溝Pの間隔のn倍に設定されている。
【0062】そして前出検出用治具51に使用した撮像
装置55は、適宜の取付部材86によって前記支持板8
2の長手方向両端面の中央に固定され、これら撮像装置
55の側面にあるビューポート61は、それぞれ前記爪
部85の高さと同一位置になるように設定されている。
装置55は、適宜の取付部材86によって前記支持板8
2の長手方向両端面の中央に固定され、これら撮像装置
55の側面にあるビューポート61は、それぞれ前記爪
部85の高さと同一位置になるように設定されている。
【0063】このような構成にかかる検出用治具81を
用いて位置合わせする場合も、前出検出用治具51と同
様、まず検出用治具81をウエハチャック17にセット
させるのであるが、この検出用治具81によれば、図1
3、図14に示したように、ウエハチャック17の各把
持部材17a、bが閉脚状態にあるときに、前記爪部8
5を対応する各把持部材17a、bの把持溝Pに挿入す
るようにして、支持板82の各載置部83、84を各把
持部材17a、bの上側の把持棒33、33の上に載置
するだけでよい。従ってウエハチャック17へのセット
が極めて簡単である。
用いて位置合わせする場合も、前出検出用治具51と同
様、まず検出用治具81をウエハチャック17にセット
させるのであるが、この検出用治具81によれば、図1
3、図14に示したように、ウエハチャック17の各把
持部材17a、bが閉脚状態にあるときに、前記爪部8
5を対応する各把持部材17a、bの把持溝Pに挿入す
るようにして、支持板82の各載置部83、84を各把
持部材17a、bの上側の把持棒33、33の上に載置
するだけでよい。従ってウエハチャック17へのセット
が極めて簡単である。
【0064】しかも前記爪部85の把持溝Pへの挿入
は、単なるウエハチャック17へセットする際の位置合
わせのための動作であって、検出用治具81全体は、載
置部83、84を介して各把持棒33、33によって支
持されているため、検出用治具81をセットした際にこ
の検出用治具81の荷重によって前記把持溝Pにかかる
負担は殆どないものである。従って把持溝Pが損傷する
おそれはない。しかも検出用治具81も極めて安定した
状態でウエハチャック17にセットされるものである。
それゆえ前記検出用治具51よりもさらに安定した画像
を得ることが可能である。
は、単なるウエハチャック17へセットする際の位置合
わせのための動作であって、検出用治具81全体は、載
置部83、84を介して各把持棒33、33によって支
持されているため、検出用治具81をセットした際にこ
の検出用治具81の荷重によって前記把持溝Pにかかる
負担は殆どないものである。従って把持溝Pが損傷する
おそれはない。しかも検出用治具81も極めて安定した
状態でウエハチャック17にセットされるものである。
それゆえ前記検出用治具51よりもさらに安定した画像
を得ることが可能である。
【0065】ところで前記ウエハチャック17が、下降
してウエハ保持具41に対してウエハを授受する位置ま
で移動する場合、ウエハチャック17のウエハ保持具4
1に対するZ方向の位置、即ち授受の際のウエハチャッ
ク17の高さも、正確な授受にとっては重要である。
してウエハ保持具41に対してウエハを授受する位置ま
で移動する場合、ウエハチャック17のウエハ保持具4
1に対するZ方向の位置、即ち授受の際のウエハチャッ
ク17の高さも、正確な授受にとっては重要である。
【0066】図15に示した検出用治具91は、かかる
要請に対処できる構成を有している。即ちこの検出用治
具91の基本的構成は、前出検出用治具81と同一であ
り、図15中、図12と同一の番号で引用される部材構
成は、前記検出用治具81と全く同一の構成を有してい
る。そしてこの検出用治具91における支持板82の中
央には、開口部92が形成され、さらにこの開口部92
の上方には、開口部92周縁部に取り付けられた適宜の
取付具93によって、距離センサ94が支持されてい
る。
要請に対処できる構成を有している。即ちこの検出用治
具91の基本的構成は、前出検出用治具81と同一であ
り、図15中、図12と同一の番号で引用される部材構
成は、前記検出用治具81と全く同一の構成を有してい
る。そしてこの検出用治具91における支持板82の中
央には、開口部92が形成され、さらにこの開口部92
の上方には、開口部92周縁部に取り付けられた適宜の
取付具93によって、距離センサ94が支持されてい
る。
【0067】この距離センサ94は、例えば光学系セン
サによって構成され、発光部と受光部とを有し、発光部
から発光された例えばレーザ光などの検出光が他物に反
射して返ってきた場合、当該反射光を受光部で受光する
ことによって、当該他物までの距離を検出することが可
能なように構成されている。そしてこの距離センサ94
の検出信号は、例えばモニタ95へと入力され、当該モ
ニタ95によって、距離センサ94が検出する距離を確
認できるようになっている。
サによって構成され、発光部と受光部とを有し、発光部
から発光された例えばレーザ光などの検出光が他物に反
射して返ってきた場合、当該反射光を受光部で受光する
ことによって、当該他物までの距離を検出することが可
能なように構成されている。そしてこの距離センサ94
の検出信号は、例えばモニタ95へと入力され、当該モ
ニタ95によって、距離センサ94が検出する距離を確
認できるようになっている。
【0068】かかる構成を有する検出用治具91を用い
る場合には、例えばウエハ保持具41における中央の保
持棒43上に、適宜の反射板(図示せず)を予めセット
しておく。後は前記検出用治具81と同様、ウエハチャ
ック17にセットして用いればよい。そうするとこの検
出用治具91によれば、支持板82中央の開口部92を
通して距離センサ94が、前記反射板との間の距離を常
時検出し、かつ当該距離がモニタ95によって常時表示
されているので、ウエハチャック17の所定の高さ、即
ちウエハ保持具41に対するウエハチャック17のZ方
向の位置を確認することができる。
る場合には、例えばウエハ保持具41における中央の保
持棒43上に、適宜の反射板(図示せず)を予めセット
しておく。後は前記検出用治具81と同様、ウエハチャ
ック17にセットして用いればよい。そうするとこの検
出用治具91によれば、支持板82中央の開口部92を
通して距離センサ94が、前記反射板との間の距離を常
時検出し、かつ当該距離がモニタ95によって常時表示
されているので、ウエハチャック17の所定の高さ、即
ちウエハ保持具41に対するウエハチャック17のZ方
向の位置を確認することができる。
【0069】さらにそのようなウエハ保持具41に対す
るウエハチャック17のZ方向の所定位置を確認するた
め、図16に示したように、前出検出用治具51をウエ
ハ保持具41の側にセットしてもよい。この場合には、
撮像装置55は、ビューポート60を介して、常時ウエ
ハ保持具41の保持棒43の保持溝Sを撮像している
が、ウエハチャック17の把持棒33側の把持溝Pにつ
いては、ビューポート61の視野に入ってこない限り、
撮像されない。換言すれば、ウエハチャック17が所定
の高さまで下降してはじめてビューポート61を通して
撮像され、モニタ73に表示されるのである。そして所
定の授受位置の高さに位置すると、画像上、各溝P、S
が重なる。したがってこの方法によっても、ウエハチャ
ック17のZ方向の所定位置を確認することができる。
るウエハチャック17のZ方向の所定位置を確認するた
め、図16に示したように、前出検出用治具51をウエ
ハ保持具41の側にセットしてもよい。この場合には、
撮像装置55は、ビューポート60を介して、常時ウエ
ハ保持具41の保持棒43の保持溝Sを撮像している
が、ウエハチャック17の把持棒33側の把持溝Pにつ
いては、ビューポート61の視野に入ってこない限り、
撮像されない。換言すれば、ウエハチャック17が所定
の高さまで下降してはじめてビューポート61を通して
撮像され、モニタ73に表示されるのである。そして所
定の授受位置の高さに位置すると、画像上、各溝P、S
が重なる。したがってこの方法によっても、ウエハチャ
ック17のZ方向の所定位置を確認することができる。
【0070】前出各実施例で使用した撮像装置55にお
いては、1の撮像カメラ57で2つの方向にある物体を
同時に撮像するために、ハーフミラー59を使用した
が、これに代えて例えば、図17に示したように、プリ
ズム101を使用しても、同一の作用効果が得られる。
即ち撮像カメラ57からの光路を分割することが可能で
ある。この場合、プリズム101の形状を変更したり、
他の光学素子を組み合わせることにより、直角でない角
度で位置する2つの物体に対して、撮像カメラ57から
の光路を分割することができる。即ち、撮像カメラ57
からの光路を適当に分割することにより、ウエハチャッ
ク17とウエハ保持具41との位置合わせに際して、例
えば把持棒34の把持溝Qと、保持棒42又は保持棒4
3の保持溝R又はTとを使用することが可能になる。
いては、1の撮像カメラ57で2つの方向にある物体を
同時に撮像するために、ハーフミラー59を使用した
が、これに代えて例えば、図17に示したように、プリ
ズム101を使用しても、同一の作用効果が得られる。
即ち撮像カメラ57からの光路を分割することが可能で
ある。この場合、プリズム101の形状を変更したり、
他の光学素子を組み合わせることにより、直角でない角
度で位置する2つの物体に対して、撮像カメラ57から
の光路を分割することができる。即ち、撮像カメラ57
からの光路を適当に分割することにより、ウエハチャッ
ク17とウエハ保持具41との位置合わせに際して、例
えば把持棒34の把持溝Qと、保持棒42又は保持棒4
3の保持溝R又はTとを使用することが可能になる。
【0071】さらに前記各実施例においては、撮像装置
55における1の撮像カメラ57で把持溝Pと保持溝S
とを同時に撮像するようにしていたが、もちろん図18
に示したように、2つの撮像カメラ57a、57bを支
持板52に取付け、把持溝Pは撮像カメラ57aで、保
持溝Sは撮像カメラ57bで夫々個別に撮像し、その画
像信号をミキシング処理して、モニタ73上で重ねて表
示するようにしても前記各実施例と同様な作用効果が得
られるものである。
55における1の撮像カメラ57で把持溝Pと保持溝S
とを同時に撮像するようにしていたが、もちろん図18
に示したように、2つの撮像カメラ57a、57bを支
持板52に取付け、把持溝Pは撮像カメラ57aで、保
持溝Sは撮像カメラ57bで夫々個別に撮像し、その画
像信号をミキシング処理して、モニタ73上で重ねて表
示するようにしても前記各実施例と同様な作用効果が得
られるものである。
【0072】なお上記実施例はウエハの洗浄処理装置に
おけるウエハチャックと薬液洗浄処理槽内のウエハ保持
具との間の搬送系に適用した例であったが、本発明はこ
れに限らず、把持装置における所定の把持位置に把持さ
れた状態の複数の被処理体を、保持具における所定の保
持位置に授受する如く構成された搬送系において、前記
把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを実
施する装置において適用可能である。
おけるウエハチャックと薬液洗浄処理槽内のウエハ保持
具との間の搬送系に適用した例であったが、本発明はこ
れに限らず、把持装置における所定の把持位置に把持さ
れた状態の複数の被処理体を、保持具における所定の保
持位置に授受する如く構成された搬送系において、前記
把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを実
施する装置において適用可能である。
【0073】
【発明の効果】請求項1,10によれば,把持装置にお
ける所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を,保持具における所定の保持位置に授受する際の,前
記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを
簡易,迅速に,しかも正確に行うことが可能である。請
求項2,11によれば,さらに正確な位置合わせがで
き,請求項3によれば,より一層正確な位置合わせが可
能である。また請求項4では,表示装置を共有してお
り,一台の表示装置における一つの画面上で,二カ所に
おける把持位置と保持位置との重ねられた画像表示を視
認することができるから,位置合わせの確認がしやす
い。
ける所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を,保持具における所定の保持位置に授受する際の,前
記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを
簡易,迅速に,しかも正確に行うことが可能である。請
求項2,11によれば,さらに正確な位置合わせがで
き,請求項3によれば,より一層正確な位置合わせが可
能である。また請求項4では,表示装置を共有してお
り,一台の表示装置における一つの画面上で,二カ所に
おける把持位置と保持位置との重ねられた画像表示を視
認することができるから,位置合わせの確認がしやす
い。
【0074】請求項5〜9,12,13によれば,前記
把持装置と保持具とのZ方向の位置関係も確認できるの
で,実際の授受に即した位置合わせが可能になってい
る。特に請求項6,12では距離センサを別途設けるこ
となく,Z方向の位置関係も確認でき,実際の授受に即
した位置合わせが可能になっている。また請求項7,1
3では,さらに正確な位置合わせが可能であり,請求項
8ではより一層正確な位置合わせをすることが可能にな
っている。そして請求項9によれば,二カ所における把
持位置と保持位置との重ねられた画像を,1つの表示装
置における画面上で分割して視認することができるか
ら,位置合わせの確認がしやすい。
把持装置と保持具とのZ方向の位置関係も確認できるの
で,実際の授受に即した位置合わせが可能になってい
る。特に請求項6,12では距離センサを別途設けるこ
となく,Z方向の位置関係も確認でき,実際の授受に即
した位置合わせが可能になっている。また請求項7,1
3では,さらに正確な位置合わせが可能であり,請求項
8ではより一層正確な位置合わせをすることが可能にな
っている。そして請求項9によれば,二カ所における把
持位置と保持位置との重ねられた画像を,1つの表示装
置における画面上で分割して視認することができるか
ら,位置合わせの確認がしやすい。
【図1】本発明の実施例が好適に使用されるウエハの洗
浄処理装置の斜視図である。
浄処理装置の斜視図である。
【図2】実施例における検出用治具を把持した状態のウ
エハチャックの斜視図である。
エハチャックの斜視図である。
【図3】実施例における撮像装置がウエハチャック側の
把持溝とウエハ保持具側の保持溝とを同時に撮像してい
る様子を示す斜視図である。
把持溝とウエハ保持具側の保持溝とを同時に撮像してい
る様子を示す斜視図である。
【図4】実施例における撮像装置がウエハチャック側の
把持溝とウエハ保持具側の保持溝とを同時に撮像してい
る様子を示す説明図である。
把持溝とウエハ保持具側の保持溝とを同時に撮像してい
る様子を示す説明図である。
【図5】実施例における検出用治具の斜視図である。
【図6】実施例における撮像装置の断面図である。
【図7】実施例における撮像装置とモニタとの関係を示
す説明図である。
す説明図である。
【図8】実施例によってモニタ上に表示されたウエハチ
ャック側の把持溝の画像である。
ャック側の把持溝の画像である。
【図9】実施例を使用した場合において、把持溝と保持
溝とが正しい相対位置関係にあるときのモニタ上に表示
された画像の部分拡大図である。
溝とが正しい相対位置関係にあるときのモニタ上に表示
された画像の部分拡大図である。
【図10】実施例を使用した場合において、把持溝と保
持溝とがX、Y、θ方向にそれぞれ位置ズレしていると
きのモニタ上に表示された画像の部分拡大図である。
持溝とがX、Y、θ方向にそれぞれ位置ズレしていると
きのモニタ上に表示された画像の部分拡大図である。
【図11】実施例を使用した場合において、把持溝と保
持溝とがX、Y方向にそれぞれ位置ズレしているときの
モニタ上に表示された画像の部分拡大図である。
持溝とがX、Y方向にそれぞれ位置ズレしているときの
モニタ上に表示された画像の部分拡大図である。
【図12】他の検出用治具の例を示す斜視図である。
【図13】他の検出用治具をウエハチャックにセットし
た際の正面説明図である。
た際の正面説明図である。
【図14】他の検出用治具をウエハチャックにセットし
た際の平面説明図である。
た際の平面説明図である。
【図15】距離センサを有する他の検出用治具の例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図16】図5の検出用治具をウエハ治具側にセットし
た様子を示す説明図である。
た様子を示す説明図である。
【図17】プリズムを採用した撮像装置の断面説明図で
ある。
ある。
【図18】個別撮像用の撮像カメラを具備した検出用治
具の斜視図である。
具の斜視図である。
1 洗浄処理装置 12 ウエハ搬送装置 17 ウエハチャック 17a、17b 把持部材 25 薬液洗浄処理槽 33、34 把持棒 41 ウエハ保持具 42、43、44 保持棒 51 検出用治具 52、53 支持板 55 撮像装置 57 撮像カメラ 59 ハーフミラー 60、61 ビューポート 73 モニタ P 把持溝 S 保持溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/68 G01B 11/00 H01L 21/304
Claims (13)
- 【請求項1】 把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する如く構成された搬送系における,前
記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
の位置合わせを行う装置であって, 前記把持装置によって把持される適宜の治具に設けら
れ,前記把持位置と前記保持位置とを同時に撮像する撮
像装置と, 前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保
持位置とを,同一画像表示部における同一座標系に重ね
て画像表示する表示装置とを具備することを特徴とす
る,位置合わせ装置。 - 【請求項2】 把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する如く構成された搬送系における,前
記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
の位置合わせを行う装置であって, 前記把持装置によって把持される適宜の治具の2カ所に
撮像装置が設けられ, 前記撮像装置における一の撮像装置は,第1の把持位置
と保持位置とを同時に撮像し,前記撮像装置における他
の撮像装置は,他の第2の把持位置と保持位置とを同時
に撮像する如く構成され, 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
保持位置とを,前記各撮像装置ごとに,同一画像表示部
における同一座標系に,重ねて画像表示する表示装置と
を具備することを特徴とする,位置合わせ装置。 - 【請求項3】 把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する如く構成された搬送系における,前
記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
の位置合わせを行う装置であって, 前記把持装置によって把持される適宜の治具の両端部近
傍に夫々撮像装置が設けられ, 前記撮像装置における一の撮像装置は,一端部の把持位
置と保持位置とを同時に撮像し,前記撮像装置における
他の撮像装置は,他端部の把持位置と保持位置とを同時
に撮像する如く構成され, 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
保持位置とを,前記各撮像装置ごとに,同一画像表示部
における同一座標系に,重ねて画像表示する表示装置と
を具備することを特徴とする,位置合わせ装置。 - 【請求項4】 前記各撮像装置によって撮像された前記
把持位置と前記保持位置とを,前記各撮像装置ごとに同
一画像表示部における同一座標系に,前記各撮像装置ご
とに分割して重ねて画像表示する表示装置とを具備する
ことを特徴とする,請求項2又は3に記載の位置合わせ
装置。 - 【請求項5】 前記適宜の治具に,前記把持装置と保持
具との間の距離を検出する距離センサが設けられたこと
を特徴とする,請求項1,2,3又は4に記載の位置合
わせ装置。 - 【請求項6】 把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する如く構成された搬送系における,前
記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
の位置合わせを行う装置であって, 前記保持具によって保持される適宜の支持治具には撮像
装置が設けられ,この撮像装置は,前記保持位置を常時
撮像すると共に,前記把持装置が前記授受の際の高さ近
傍に位置するときにこの把持装置の把持位置をも同時に
撮像する如く構成され, 前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保
持位置とを,同一画像表示部における同一座標系に重ね
て画像表示する表示装置とを具備することを特徴とす
る,位置合わせ装置。 - 【請求項7】 把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する如く構成された搬送系における,前
記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
の位置合わせを行う装置であって, 前記保持具によって保持される適宜の支持治具には2カ
所に撮像装置が設けられ,一の撮像装置は,第1の保持
位置を常時撮像すると共に,前記把持装置が前記授受の
際の高さ近傍に位置するときにこの把持装置における第
1の把持位置をも同時に撮像する如く構成され, 他の撮像装置は,第2の保持位置を常時撮像すると共
に,前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置する
ときにこの把持装置における第2の把持位置をも同時に
撮像する如く構成され, 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
保持位置とを,各撮像装置ごとに,同一画像表示部にお
ける同一座標系に重ねて画像表示する表示装置とを具備
することを特徴とする,位置合わせ装置。 - 【請求項8】 把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を,保持具における所定の
保持位置に授受する如く構成された搬送系における,前
記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
の位置合わせを行う装置であって, 前記保持具によって保持される適宜の支持治具の両端部
近傍に夫々撮像装置が設けられ,一の撮像装置は,一端
部の保持位置を常時撮像すると共に,前記把持装置が前
記授受の際の高さ近傍に位置するときにこの把持装置に
おける一端部の把持位置をも同時に撮像する如く構成さ
れ, 他の撮像装置は,他端部の保持位置を常時撮像すると共
に,前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置する
ときにこの把持装置における他端部の把持位置をも同時
に撮像する如く構成され, 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
保持位置とを,各撮像装置ごとに,同一画像表示部にお
ける同一座標系に重ねて画像表示する表示装置とを具備
することを特徴とする,位置合わせ装置。 - 【請求項9】 前記各撮像装置によって撮像された前記
把持位置と前記保持位置とを,前記各撮像装置ごとに同
一画像表示部における同一座標系に,前記各撮像装置ご
とに分割して重ねて画像表示する表示装置とを具備する
ことを特徴とする,請求項7又は8に記載の位置合わせ
装置。 - 【請求項10】 把持装置における所定の把持位置に把
持された状態の複数の被処理体を,保持具における所定
の保持位置に授受する搬送系における,前記授受の際の
前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
を行う方法であって, 前記把持位置と前記保持位置とを撮像する工程と, 前記撮像された前記把持位置と前記保持位置とを,同一
画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
程とを具備することを特徴とする,位置合わせ方法。 - 【請求項11】 把持装置における所定の把持位置に把
持された状態の複数の被処理体を,保持具における所定
の保持位置に授受する搬送系における,前記授受の際の
前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
を行う方法であって, 第1の把持位置と保持位置とを撮像する工程と,他の第
2の把持位置と保持位置とを撮像する工程と, 前記撮像された第1の把持位置と保持位置とを同一画像
表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工程
と,前記撮像された第2の把持位置と保持位置とを同一
画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
程とを具備することを特徴とする,位置合わせ方法。 - 【請求項12】 把持装置における所定の把持位置に把
持された状態の複数の被処理体を,保持具における所定
の保持位置に授受する搬送系における,前記授受の際の
前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
を行う方法であって, 前記保持位置を常時撮像する工程と, 前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置するとき
にこの把持装置の把持位置を撮像する工程と, 前記撮像された前記把持位置と前記保持位置とを,同一
画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
程とを具備することを特徴とする,位置合わせ方法。 - 【請求項13】 把持装置における所定の把持位置に把
持された状態の複数の被処理体を,保持具における所定
の保持位置に授受する搬送系における,前記授受の際の
前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
を行う方法であって, 第1の保持位置と他の第2の保持位置を常時撮像する工
程と, 前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置するとき
に,第1の把持位置と他の第2の把持位置を撮像する工
程と, 前記撮像された第1の把持位置と保持位置とを同一画像
表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工程
と,前記撮像された第2の把持位置と保持位置とを同一
画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
程とを具備することを特徴とする,位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20464194A JP3138391B2 (ja) | 1993-08-05 | 1994-08-05 | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21487893 | 1993-08-05 | ||
JP5-214878 | 1993-08-05 | ||
JP20464194A JP3138391B2 (ja) | 1993-08-05 | 1994-08-05 | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0799229A JPH0799229A (ja) | 1995-04-11 |
JP3138391B2 true JP3138391B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=26514570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20464194A Expired - Fee Related JP3138391B2 (ja) | 1993-08-05 | 1994-08-05 | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3138391B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
JP4663493B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2011-04-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | ティーチング装置、およびティーチング方法 |
KR101339152B1 (ko) * | 2006-12-27 | 2013-12-09 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 정렬 시스템 및 이를 구비한 기판 세정 장치 |
JP5004695B2 (ja) * | 2007-06-30 | 2012-08-22 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の内径測定装置、内径測定方法、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスク製造方法 |
CN108878329B (zh) * | 2018-07-19 | 2024-06-28 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 用于检测硅片位置的检测装置、硅片处理***及检测方法 |
JP2022085409A (ja) * | 2020-11-27 | 2022-06-08 | 株式会社イシダ | 物品処理装置及び下流側装置 |
-
1994
- 1994-08-05 JP JP20464194A patent/JP3138391B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH0799229A (ja) | 1995-04-11 |
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