JPH09155724A - 湿式研磨方法 - Google Patents
湿式研磨方法Info
- Publication number
- JPH09155724A JPH09155724A JP34637895A JP34637895A JPH09155724A JP H09155724 A JPH09155724 A JP H09155724A JP 34637895 A JP34637895 A JP 34637895A JP 34637895 A JP34637895 A JP 34637895A JP H09155724 A JPH09155724 A JP H09155724A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- final
- work
- wet
- polished
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一連の研磨工程において研磨能率を向上させ
ることができるとともに最終的にワークを滑らかに研磨
することができる湿式研磨方法を提供することである。 【解決手段】 回転するバフホイールの研磨面とワーク
の被研磨面との間に研磨液を供給しながら、前記バフホ
イールによって前記ワークを研磨する湿式研磨工程を複
数一連に組み合わせた湿式研磨方法において、前記最終
研磨工程以前の研磨工程を酸性の研磨液によって行うと
ともに前記最終研磨工程をアルカリ性の研磨液によって
行う湿式研磨方法である。
ることができるとともに最終的にワークを滑らかに研磨
することができる湿式研磨方法を提供することである。 【解決手段】 回転するバフホイールの研磨面とワーク
の被研磨面との間に研磨液を供給しながら、前記バフホ
イールによって前記ワークを研磨する湿式研磨工程を複
数一連に組み合わせた湿式研磨方法において、前記最終
研磨工程以前の研磨工程を酸性の研磨液によって行うと
ともに前記最終研磨工程をアルカリ性の研磨液によって
行う湿式研磨方法である。
Description
【０００１】この発明は湿式研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来における湿式研磨方法にあっては、
酸性の研磨剤を用いて研磨能率を向上させる方法とアル
カリ性の研磨剤を用いてワークを滑らかに研磨する方法
とが存在した。
酸性の研磨剤を用いて研磨能率を向上させる方法とアル
カリ性の研磨剤を用いてワークを滑らかに研磨する方法
とが存在した。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の研磨方法において、前者のように、酸性の研磨剤
を用いた場合には研磨能率は向上するがワークを滑らか
に研磨しにくいという不都合を有し、また、後者のよう
に、アルカリ性の研磨剤を用いた場合にはワークを滑ら
かに研磨しやすいがワークの酸化被膜等を除去しにくく
この結果研磨能率を向上させにくいという不都合を有し
た。
従来の研磨方法において、前者のように、酸性の研磨剤
を用いた場合には研磨能率は向上するがワークを滑らか
に研磨しにくいという不都合を有し、また、後者のよう
に、アルカリ性の研磨剤を用いた場合にはワークを滑ら
かに研磨しやすいがワークの酸化被膜等を除去しにくく
この結果研磨能率を向上させにくいという不都合を有し
た。
【０００４】この発明の課題はこれらの不都合を解消す
ることである。
ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、この発明に係る湿式研磨方法においては、複数の湿
式研磨工程を一連に組み合わせた湿式研磨方法におい
て、 前記複数の研磨工程における最終研磨工程をアルカリ性
の研磨液によって行うとともにこの最終研磨工程以前の
研磨工程を酸性の研磨液によって行うものであるため、
最終製品に影響しない最終研磨工程以前の研磨工程にお
ける研磨能率を向上させ、最終製品に影響を及ぼす最終
研磨工程においてワークを滑らかさに研磨することがで
きるものである。
に、この発明に係る湿式研磨方法においては、複数の湿
式研磨工程を一連に組み合わせた湿式研磨方法におい
て、 前記複数の研磨工程における最終研磨工程をアルカリ性
の研磨液によって行うとともにこの最終研磨工程以前の
研磨工程を酸性の研磨液によって行うものであるため、
最終製品に影響しない最終研磨工程以前の研磨工程にお
ける研磨能率を向上させ、最終製品に影響を及ぼす最終
研磨工程においてワークを滑らかさに研磨することがで
きるものである。
【０００６】
【発明の実施の説明】図１は本願発明に係る湿式研磨方
法の実施例を示したものであり、一連の複数の湿式研磨
工程から構成されている。
法の実施例を示したものであり、一連の複数の湿式研磨
工程から構成されている。
【０００７】Ａは粗取り研磨工程、Ｂは仕上げ研磨工
程、又、Ｃは最終仕上げ研磨工程である。
程、又、Ｃは最終仕上げ研磨工程である。
【０００８】これらの各研磨工程Ａ，Ｂ，Ｃを図２に基
づいて説明すると、図において、１は支持盤、11はこの
支持盤１の軸心に設置された支軸である。この支持盤１
はこの支軸11を中心として適宜手段によって矢印方向に
回転される。Ｗは盤状のワークであり、前記支持盤１に
載置されている。このワークＷは上面を被研磨面として
いる。
づいて説明すると、図において、１は支持盤、11はこの
支持盤１の軸心に設置された支軸である。この支持盤１
はこの支軸11を中心として適宜手段によって矢印方向に
回転される。Ｗは盤状のワークであり、前記支持盤１に
載置されている。このワークＷは上面を被研磨面として
いる。
【０００９】次に、２は第一回転駆動装置であり、モー
ター等の駆動原を有している。21は回転軸であり、前記
回転駆動装置２に設置されている。この回転軸21は前記
モーター等の動力によって軸心を中心として回転する。
22は第一バフホイールであり、前記回転軸21の先端に固
定されている。このバフホイール22は回転しながらその
底面である研磨面221 によってワークＷを研磨する。こ
のとき、回転するバフホイール22の研磨面とワークＷの
被研磨面との間に研磨液が供給される。この研磨液が、
最終仕上げ研磨工程Ｃの場合アルカリ性であり、それ以
外の工程、即ち、粗取り研磨工程Ａおよび仕上げ研磨工
程Ｂの場合には酸性である。
ター等の駆動原を有している。21は回転軸であり、前記
回転駆動装置２に設置されている。この回転軸21は前記
モーター等の動力によって軸心を中心として回転する。
22は第一バフホイールであり、前記回転軸21の先端に固
定されている。このバフホイール22は回転しながらその
底面である研磨面221 によってワークＷを研磨する。こ
のとき、回転するバフホイール22の研磨面とワークＷの
被研磨面との間に研磨液が供給される。この研磨液が、
最終仕上げ研磨工程Ｃの場合アルカリ性であり、それ以
外の工程、即ち、粗取り研磨工程Ａおよび仕上げ研磨工
程Ｂの場合には酸性である。
【００１０】また、３は第二回転駆動装置であり、前記
第一回転駆動装置２と同様に、モーター等の駆動原を有
している。31は回転軸であり、前記回転駆動装置３に設
置されている。この回転軸31は前記モーター等の動力に
よって軸心を中心として回転する。32は第二バフホイー
ルであり、前記回転軸31の先端に固定されている。この
バフホイール32は回転しながらその底面である研磨面32
1 によってワークＷを研磨する。このとき、回転するバ
フホイール22の研磨面とワークＷの被研磨面との間に研
磨液が供給されるが、その性質は第一バフホイール22の
場合と同じであるので説明を省略する。
第一回転駆動装置２と同様に、モーター等の駆動原を有
している。31は回転軸であり、前記回転駆動装置３に設
置されている。この回転軸31は前記モーター等の動力に
よって軸心を中心として回転する。32は第二バフホイー
ルであり、前記回転軸31の先端に固定されている。この
バフホイール32は回転しながらその底面である研磨面32
1 によってワークＷを研磨する。このとき、回転するバ
フホイール22の研磨面とワークＷの被研磨面との間に研
磨液が供給されるが、その性質は第一バフホイール22の
場合と同じであるので説明を省略する。
【００１１】なお、第一バフホイール22と第二バフホイ
ール32とは互いに逆方向に回転するため、ワークＷの被
研磨面は往復方向に研磨されることになる。
ール32とは互いに逆方向に回転するため、ワークＷの被
研磨面は往復方向に研磨されることになる。
【００１２】
【発明の効果】この発明に係る湿式研磨方法は、複数の
湿式研磨工程を一連に組み合わせた湿式研磨方法におい
て、
湿式研磨工程を一連に組み合わせた湿式研磨方法におい
て、
【００１３】前記複数の研磨工程における最終研磨工程
をアルカリ性の研磨液によって行うとともにこの最終研
磨工程以前の研磨工程を酸性の研磨液によって行うもの
であるため、
をアルカリ性の研磨液によって行うとともにこの最終研
磨工程以前の研磨工程を酸性の研磨液によって行うもの
であるため、
【００１４】最終製品に影響しない最終研磨工程以前の
研磨工程における研磨能率を向上させ、最終製品に影響
を及ぼす最終研磨工程においてワークを滑らかさに研磨
することができるものである。
研磨工程における研磨能率を向上させ、最終製品に影響
を及ぼす最終研磨工程においてワークを滑らかさに研磨
することができるものである。
【００１５】よって、この湿式研磨方法を使用すれば、
一連の研磨工程において研磨能率を向上させることがで
きるとともに最終的にワークを滑らかに研磨することが
できるものである。
一連の研磨工程において研磨能率を向上させることがで
きるとともに最終的にワークを滑らかに研磨することが
できるものである。
【図１】この発明に係る湿式研磨方法の一連の工程図で
ある。
ある。
【図１】この発明に係る湿式研磨装置の説明図である。
Ａ … 粗取り研磨工程（湿式研磨工程） Ｂ … 仕上げ研磨工程（湿式研磨工程） Ｃ … 最終仕上げ研磨工程（湿式研磨工程）
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年３月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る湿式研磨方法の一連の工程図で
ある。
ある。
【図２】この発明に係る湿式研磨装置の説明図である。
【符号の説明】 Ａ … 粗取り研磨工程（湿式研磨工程） Ｂ … 仕上げ研磨工程（湿式研磨工程） Ｃ … 最終仕上げ研磨工程（湿式研磨工程）
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の湿式研磨工程を一連に組み合わせ
た湿式研磨方法において、 前記複数の研磨工程における最終研磨工程をアルカリ性
の研磨液によって行うとともにこの最終研磨工程以前の
研磨工程を酸性の研磨液によって行うことを特徴とする
湿式研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34637895A JPH09155724A (ja) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | 湿式研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34637895A JPH09155724A (ja) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | 湿式研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155724A true JPH09155724A (ja) | 1997-06-17 |
Family
ID=18383022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34637895A Pending JPH09155724A (ja) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | 湿式研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09155724A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0845327A2 (en) * | 1996-11-27 | 1998-06-03 | Shuji Kawasaki | Buffing apparatus and method |
| CN103419118A (zh) * | 2013-07-16 | 2013-12-04 | 刘高平 | 一种研磨抛光方法 |
-
1995
- 1995-12-11 JP JP34637895A patent/JPH09155724A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0845327A2 (en) * | 1996-11-27 | 1998-06-03 | Shuji Kawasaki | Buffing apparatus and method |
| EP0845327A3 (en) * | 1996-11-27 | 1998-09-30 | Shuji Kawasaki | Buffing apparatus and method |
| TR199701398A3 (tr) * | 1996-11-27 | 1999-10-21 | Shuji Kawasaki | Islak tip parlatma metodu, birikim kaplama metodu, is parlatma metodu, is parlatma donanimi, is yüzeyi mauamele metodu, fiçida parlatma donanimi is destek birimi ve parlatma ortami |
| CN103419118A (zh) * | 2013-07-16 | 2013-12-04 | 刘高平 | 一种研磨抛光方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041112 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041124 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050405 |