JPH09139082A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH09139082A
JPH09139082A JP7299770A JP29977095A JPH09139082A JP H09139082 A JPH09139082 A JP H09139082A JP 7299770 A JP7299770 A JP 7299770A JP 29977095 A JP29977095 A JP 29977095A JP H09139082 A JPH09139082 A JP H09139082A
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signal
output
signal line
mos transistor
data
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JP7299770A
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Susumu Tanida
進 谷田
Yasuhiko Tsukikawa
靖彦 月川
Kiyohiro Furuya
清広 古谷
Takayuki Miyamoto
崇行 宮元
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 チップの縮小とアクセス高速化が可能な半導
体記憶装置を提供する。 【解決手段】 ラッチ回路301とNANDゲート30
3,305とからなる信号生成回路105a〜105d
を、余裕のある半導体基板102上の中央部に配置し、
各々を4本の信号線でメモリセルアレイ101a〜10
1dに接続する。レイアウト面積が制限された出力パッ
ド109a〜109dの近傍にはインバータ701,7
03とNMOSトランジスタ705,707とからなる
出力ドライバ107a〜107dのみを配置し、さらに
相補なデータ信号を伝送する信号線対113a〜113
dで対応する信号生成回路と接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に関
し、特に、出力パッド周辺において回路や配線などのレ
イアウト可能面積が制限された半導体記憶装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の半導体記憶装置のチップ
500の半導体基板102上のパッド部近傍における信
号生成回路505と、出力ドライバ507と、出力パッ
ド109と、信号線束111と信号線115とのレイア
ウトの一例を示す図である。
【0003】図5を参照して、半導体基板102′上
で、信号生成回路505と出力ドライバ507とが信号
線束111で接続されている。信号線束111は、信号
生成回路505で生成される‘H(論理ハイ)’読出デ
ータ信号RD、‘L(論理ロー)’読出データ信号/R
D(/はバーを表わす)、読出データラッチ信号/OD
L、データ出力制御信号OEMを伝送する4本の信号線
1,2,3,4からなる。出力ドライバ507は出力パ
ッド109の近傍に配置され、出力ドライバ507から
出力されたデータは信号線115により出力パッド10
9に伝送される。
【0004】図6は、図5における信号生成回路505
で生成される信号とそれを伝達する信号線束111とを
示す図である。
【0005】図6を参照して、信号生成回路505で生
成された‘H’読出データ信号RDは信号線1で、
‘L’読出データ信号/RDは信号線2で、読出データ
ラッチ信号/ODLは信号線3で、データ出力制御信号
OEMは信号線4で、出力ドライバ507に伝送され
る。
【0006】図7は、図5の出力ドライバ507の構成
の一例と出力パッド109との接続を示す図である。
【0007】図7を参照して、従来の出力ドライバ50
7は、読出データラッチ信号/ODLにより制御され、
‘H’読出データ信号RDおよび‘L’読出データ信号
/RDをラッチするラッチ回路301と、ラッチ回路3
01でラッチされた‘H’読出データ信号RDが入力さ
れデータ出力制御信号OEMに応答して‘H’読出デー
タ信号RDの反転論理を出力するNANDゲート303
と、‘L’読出データ信号/RDが入力されデータ出力
制御信号OEMに応答して‘L’読出データ信号/RD
の反転論理を出力するNANDゲート305と、NAN
Dゲート303から出力されたデータ信号/HOUTが
入力されるインバータ701と、NANDゲート305
から出力されるデータ信号/LOUTが入力されるイン
バータ703と、ドレイン電極が外部電源extVcc
に接続され、ゲート電極がインバータ701の出力端子
に接続されたNチャネルMOSトランジスタ(以下、N
MOSトランジスタと略す)と、ソース電極が接地さ
れ、ゲート電極がインバータ703の出力端子に接続さ
れ、ドレイン電極がNMOSトランジスタ705のソー
ス電極に接続されたNMOSトランジスタ707とを含
む。
【0008】ラッチ回路301の出力端子とNANDゲ
ート303の入力端子とは信号線5で接続され、ラッチ
回路301の出力端子とNANDゲート305の入力端
子とは信号線6で接続されている。NANDゲート30
3の出力端子とインバータ701の入力端子とは信号線
7で接続され、NANDゲート305の出力端子とイン
バータ703の入力端子とは信号線8で接続されてい
る。インバータ701の出力端子とNMOSトランジス
タ705のゲート電極とは信号線9で接続され、インバ
ータ703の出力端子とNMOSトランジスタ707の
ゲート電極とは信号線10で接続されている。NMOS
トランジスタ705のソース電極とNMOSトランジス
タ707のドレイン電極との接続ノードは、信号線11
で出力パッド109に接続されている。
【0009】ラッチ回路301は、読出データラッチ信
号/ODLが‘L’のとき‘H’読出データ信号RDお
よび‘L’読出データ信号/RDをラッチし、その状態
を保持する。
【0010】図8は、図7のラッチ回路301の構成の
一例を示す図である。図8を参照して、ラッチ回路30
1は、NANDゲート801,803と、RS−ラッチ
805,807とを含む。
【0011】信号線1を介して‘H’読出データ信号R
Dが入力され、信号線3を介して読出データラッチ信号
/ODLが入力されるNANDゲート801の出力は、
RS−ラッチ805,807に入力され、信号線2を介
して‘L’読出データ信号/RDが入力され、信号線3
を介して読出データラッチ信号/ODLが入力されるN
ANDゲート803の出力もまた、RS−ラッチ80
5,807に入力される。RS−ラッチ805からの出
力が図7のNANDゲート303に入力され、RS−ラ
ッチ807の出力は図7のNANDゲート305に入力
される。
【0012】図9は、図5の信号生成回路505と出力
ドライバ507と出力パッド109と信号線束111と
信号線115とで構成された回路の動作を示すタイミン
グチャートである。
【0013】図9を参照して、‘H’読出データ信号R
Dが時刻T1で‘H’になり、読出データラッチ信号/
ODLが時刻T2で‘L’になると、信号線5を伝送す
るデータ信号には‘H’読出データ信号RDの状態がラ
ッチされ‘H’になる。さらに、時刻T3でデータ出力
制御信号OEMが‘H’になると、信号線7を伝送する
データ信号/HOUTが‘L’になり、これを受けて、
信号線9を伝送するデータ信号が‘H’になってNMO
Sトランジスタ705がオンし、これにより、出力パッ
ド109に‘H’データが出力される。その後、時刻T
4において‘H’読出データ信号RDが‘L’になって
も、この時点では読出データラッチ信号/ODLが
‘L’のままなので、ラッチ回路301でラッチされて
いるデータ信号のレベルは保持され、信号線5を伝送す
るデータ信号は‘H’のまま変化しない。そして、時刻
T5においてデータ出力制御信号OEMが‘L’になる
と、それに応答してNANDゲート303の出力である
データ信号/HOUTは‘H’になり、これを入力とす
るインバータ701の出力は‘L’になってトランジス
タ505はオフし、出力パッド109は高インピーダン
ス状態Hi−Zになる。さらに時刻T6において読出デ
ータラッチ信号/ODLが‘H’になると、ラッチ回路
301のラッチが解除され、信号線5を伝送するデータ
信号は‘L’になる。
【0014】以上、出力パッド109の出力が‘H’レ
ベルの出力時について説明したが、出力パッド109の
出力が‘L’レベルの出力時についても、‘H’読出デ
ータ信号RDと‘L’読出データ信号/RDとを置換え
て考えることにより同様に説明することができる。この
場合の動作を示すタイミングチャートを時刻T7以降に
示す。
【0015】すなわち、図9を参照して、“L”読出デ
ータ信号/RDが時刻T7で“H”になり、読出データ
ラッチ信号/ODLが時刻T8で“L”になると、信号
線6を伝送するデータ信号には“H”読出データ信号R
Dの状態がラッチされ“H”になる。さらに、時刻T9
でデータ出力制御信号OEMが“H”になると、信号線
8を伝送するデータ信号/LOUTが“L”になり、こ
れを受けて、信号線10を伝送するデータ信号が“H”
になってNMOSトランジスタ707がオンし、これに
より、出力パッド109に“L”データが出力される。
その後、時刻T10において“L”読出データ信号/R
Dが“L”になっても、この時点では読出データラッチ
信号/ODLが“L”のままなので、ラッチ回路301
でラッチされているデータ信号のレベルは保持され、信
号線6を伝送するデータ信号は“H”のまま変化しな
い。そして、時刻T11においてデータ出力制御信号O
EMが“L”になると、それに応答してNANDゲート
303の出力であるデータ信号/LOUTは“H”にな
り、これを入力とするインバータ703の出力は“L”
になってトランジスタ507はオフし、出力パッド10
9は高インピーダンス状態Hi−Zになる。さらに時刻
T12において読出データラッチ信号/ODLが“H”
になると、ラッチ回路301のラッチが解除され、信号
線6を伝送するデータ信号は“L”になる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、設計上
の理由などからチップの面積削減を行なう必要が生じた
場合、出力パッドおよび入力パッド近傍における回路や
配線のレイアウト可能面積が制限されてしまう。
【0017】図10は、チップのシュリンク(縮小)の
様子を示す図であり、(a)は、シュリンク前のチップ
100′、(b)は、シュリンクした場合のチップ10
0″の様子を示す図である。
【0018】図10(a)を参照して、チップ100′
は、半導体基板102′上にメモリセルアレイ101
a′,101b′,101c′,101d′が所定間隔
をおいて2行2列に配置され、メモリセルアレイ101
c′,101d′からなる1行目と、メモリセルアレイ
101a′,101b′とからなる2行目との間に沿っ
て、出力バッファ用の出力パッド109a,109b,
109c,109dをはじめとする複数の出力パッドお
よび入力パッドが所定間隔をおいて並設されている。
【0019】このときのチップ100′の半導体基板1
02′の短辺の長さをL′、メモリセルアレイ101
a′〜101d′の短辺の長さをLA ′、メモリセルア
レイ101b′とメモリセルアレイ101d′との間隔
(または、メモリセル101a′とメモリセルアレイ1
01d′との間隔)をLB ′、出力パッド109a〜1
09dの1辺の長さをP、1行目のメモリセルアレイ1
01c′,101d′と出力パッド109a〜109d
との間隔をL0 と表わす。
【0020】図10(b)を参照して、チップ100″
は(a)に示したチップ100′をシュリンクしたもの
であり、半導体基板102上にメモリセルアレイ101
a,101b,101c,101dが所定間隔をおいて
2行2列に配置され、メモリセルアレイ101c,10
1dからなる1行目と、メモリセルアレイ101a,1
01bとからなる2行目との間に沿って、出力パッド1
09a〜109dをはじめとする複数の出力パッドおよ
び入力パッドが並設されている。
【0021】このシュリンク後のチップ100″の半導
体基板の短辺の長さをL、メモリセルアレイ101a〜
101dの各々の短辺の長さをLA 、1行目のメモリセ
ルアレイ101c,101dと2行目のメモリセルアレ
イ101b,101dとの間隔をLB 、1行目のメモリ
セルアレイ101c,101dと出力パッド109a〜
109dとの間隔をL0 と表わす。ここで、出力パッド
109a〜109dのサイズはシュリンクにかかわらず
1辺の長さがPである。
【0022】これらのパラメータを用いて、シュリンク
率Kは、
【0023】
【数1】
【0024】と表わされる。しかし、(a)に示したシ
ュリンク前のチップ100′および(b)のシュリンク
後のチップ100″において出力パッド109a〜10
9d(およびその他の出力パッドおよび入力パッド)の
1辺の長さPが変化せず同じであるため、
【0025】
【数2】
【0026】となってしまい、シュリンクによってパッ
ド部近傍のレイアウトはますます苦しくなるという問題
点があった。
【0027】図5〜図9に示した従来例の場合、DRA
Mのチップ上において、チップ面積のシュリンクが行な
われてもパッド周りの設計基準はシュリンクしないた
め、出力パッドおよび入力パッド周囲のレイアウト可能
面積が非常に狭くなり、信号生成回路や出力ドライバ等
を構成する多くの回路は配線を出力パッドの近傍に配置
することができないという問題点があった。
【0028】たとえば、信号生成回路には、4本の信号
線が接続されており、その4本の信号線が出力パッドの
近傍で占める面積が大きく、チップ面積のシュリンクの
障害となるという問題点があった。このことは、出力ピ
ンが多くなるほど顕著であった。
【0029】本発明は、以上のような問題点を解決する
ためになされたもので、レイアウト面積が限られたパッ
ド部近傍に配置する回路および配線を減らしてチップサ
イズの縮小を可能にし、かつ、相補バスによりアクセス
の高速化が可能な半導体記憶装置を提供することを目的
とする。
【0030】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る半導体記
憶装置は、半導体基板と、メモリセルアレイと、半導体
基板の中央に所定間隔をおいて並設された複数の出力パ
ッドと、複数の出力パッドに対応して設けられメモリセ
ルアレイから読出された第1のデータ信号をもとに第2
のデータ信号を生成する複数の信号生成手段と、複数の
信号生成手段に対応して設けられメモリセルアレイと信
号生成手段との間に接続され第1の信号を伝送する第1
の数の第1の信号線と、複数の出力パッドに対応して設
けられ、信号生成手段で生成された第2データ信号をも
とに第3のデータ信号を出力する複数の出力ドライバ
と、複数の信号生成手段に対応して設けられ出力ドライ
バと信号生成手段との間に接続され第2のデータ信号を
伝送する第1の数よりも少ない第2の数の第2の信号線
とを設け、第1の信号線は第2の信号線よりも短い。
【0031】請求項2に係る半導体記憶装置は、請求項
1の半導体記憶装置において、出力手段において、ドレ
イン電極が外部電源に接続されソース電極が出力パッド
に接続された第1のNチャネルMOSトランジスタと、
ドレイン電極が出力パッドに接続されソース電極が接地
された第2のNチャネルMOSトランジスタとを設け、
第2の信号線において、互いに相補なデータ信号を伝送
する信号線対を設け、信号線対のうちの一方の信号線は
第1のNチャネルMOSトランジスタのゲート電極に接
続され、信号線対のうちの他方の信号線は第2のNチャ
ネルMOSトランジスタのゲート電極に接続されてい
る。
【0032】請求項3に係る半導体記憶装置は、半導体
基板と、メモリセルアレイと、半導体基板の中央に所定
間隔をおいて並設された複数の出力パッドと、複数の出
力パッドに対応して設けられメモリセルアレイから読出
されたデータ信号をもとに互いに相補な1対の信号を生
成する複数の信号生成手段と、複数の出力パッドに対応
して設けられ各々が対応する出力パッドの近傍に配置さ
れ対応する信号生成手段で生成された1対の信号に応答
して対応する出力パッドにデータを出力する複数の出力
ドライバと、複数の信号生成手段と複数の信号生成手段
に対応する出力ドライバとの間に接続され各々が1対の
信号を伝送する複数の信号線対とを設けたものである。
【0033】請求項4に係る半導体記憶装置は、請求項
3の半導体記憶装置において、出力手段において、ドレ
イン電極が外部電源に接続されソース電極が出力パッド
に接続された第1のNチャネルMOSトランジスタと、
ドレイン電極が出力パッドに接続されソース電極が接地
された第2のNチャネルMOSトランジスタとを設け、
信号線対のうちの一方の信号線は第1のNチャネルMO
Sトランジスタのゲート電極に接続され、前記信号線対
のうちの他方の信号線は第2のNチャネルMOSトラン
ジスタのゲート電極とに接続されている。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。
【0035】図1は、本発明の実施の形態による半導体
記憶装置のチップ100のレイアウトの一例を示す図で
ある。
【0036】図1を参照して、チップ100の半導体基
板102上には、4つのメモリセルアレイ101a〜1
01dと、各メモリセルアレイに対応して設けられたプ
リアンプ103a〜103dと、出力制御信号を生成す
る信号生成回路105a〜105dと、出力ドライバ1
07a〜107dと、出力パッド109a〜109dと
が配置されている。
【0037】DRAMでは、チップ上の面積の大部分を
メモリセルアレイが占め、制御回路および配線はメモリ
セルアレイの間を縫うようにして配置される。
【0038】一般に、制御を簡単化するために、信号生
成回路はチップ中央部に配置することが多く、また、出
力パッドはLOC(Lead On Chip)の場合、半導体基板
の中央線に沿って並設される。
【0039】図1において、チップ100の半導体基板
102上におけるレイアウトは、2行2列に配列された
メモリセルアレイ101a〜101dの1行目のメモリ
セルアレイ101c,101dと2行目のメモリセル1
01a,101bとの間に沿って、出力パッド109a
〜109dをはじめとする複数の出力パッドおよび入力
パッドが所定間隔をおいて1列に並設されている。出力
パッドの他の例としては、アドレス信号出力用のものな
どがあり、入力パッドの例としては、ローアドレススト
ローブ信号入力用、コラムアドレスストローブ信号入力
用、電源電圧Vcc入力用のものなどがある。
【0040】出力パッド109a〜109dの近傍に
は、出力パッドの各々に対応して設けられた出力ドライ
バ107a〜107dが配置されている。半導体基板1
02上の中央部には、出力パッド109a〜109dの
各々に対応して設けられた信号生成回路105a〜10
5dが配置され、信号生成回路105a〜105dは、
対応する出力ドライバ107a〜107dに、相補なデ
ータを伝送する信号線対113a〜113dによって接
続されている。メモリセルアレイ101a〜101d
は、対応する信号生成回路105a〜105dに、プリ
アンプ103a〜103dを介して2本以上(本実施の
形態では4本の信号線からなる)信号線束111a〜1
11dで接続されている。
【0041】図1では、複数ある出力パッドおよび入力
パッドのうち、特に、外部にデータを出力するための4
つの出力パッド109a〜109dのみを図示してお
り、半導体基板102上に配置されたメモリセルアレイ
101dとメモリセルアレイ101bとの間に、所定間
隔をおいて出力パッド109a〜109dが並設され、
その出力パッド109a〜109dの各々の左側近傍
に、出力ドライバ107a〜107dの各々が配置され
ている。
【0042】図2は、図1のチップ100の半導体基板
102上のパッド部における信号生成回路105a〜1
05d(以下、総称して105とよぶ)と出力ドライバ
107a〜107d(以下、総称して107とよぶ)と
出力パッド109a〜109d(以下、総称して109
とよぶ)と信号線対113a〜113d(以下、総称し
て113とよぶ)と信号線115a〜115d(以下、
総称して115とよぶ)との配置の一例を示す図であ
る。
【0043】図2では、信号生成回路105と出力ドラ
イバ107と出力パッド109と信号線対113とから
なる対応関係を有する1組分の配置を代表して示してい
る。
【0044】図2を参照して、信号線対113は、
‘H’出力指令信号/HOUTが伝送される信号線7
と、‘L’出力指令信号/LOUTが伝送される信号線
8とを含む。
【0045】出力パッド109の近傍に出力ドライバ1
07が配置され、信号線115で接続されている。出力
ドライバ107と比較して出力パッド109から離れた
レイアウトの余裕のある半導体基板102上に、信号生
成回路105が配置され、信号線対113により出力ド
ライバ107と接続されている。
【0046】図3は、図2の信号生成回路105の構成
の一例を示す図である。図3を参照して、信号生成回路
105は、読出データラッチ信号/ODLに応答して読
出データ信号RD,/RDをラッチしその状態を保持す
るラッチ回路301と、NANDゲート303,305
とを含む。
【0047】ラッチ回路301の入力端子は、‘H’読
出データ信号RDを伝送する信号線1と、‘L’読出デ
ータ信号/RDを伝送する信号線2と、読出データラッ
チ信号/ODLを伝送する信号線3とに接続され、出力
端子は、信号線5によりNANDゲート303の一方の
入力端子に接続され、信号線6によりNANDゲート3
05の一方の入力端子に接続されている。NANDゲー
ト303の他方の入力端子、およびNANDゲート30
5の他方の入力端子は、ともにデータ出力制御信号OE
Mを伝送する信号線4に接続されている。NANDゲー
ト303の出力端子は、信号線7に接続され、NAND
ゲート305の出力端子は、信号線8に接続されてい
る。信号線7,8は、前述のように、相補なデータ信
号、‘H’出力指令信号/HOUT、‘L’出力指令信
号/LOUTを伝送する。
【0048】ラッチ回路301の構成は図9に示したも
のと同様である。図4は、図2の出力ドライバ107の
構成の一例と出力パッド109との接続を示す図であ
る。
【0049】図4を参照して、出力ドライバ107は、
インバータ701,503と、NMOSトランジスタ7
05,707とを含む。
【0050】インバータ701の入力端子は、信号線7
に接続され、‘H’出力指令信号/HOUTが入力さ
れ、インバータ703の入力端子は、信号線8に接続さ
れ、‘L’出力指令信号/LOUTが入力される。NM
OSトランジスタ705のドレイン電極は、外部電源e
xtVccに接続され、ソース電極は、出力パッド10
9に接続されている。NMOSトランジスタ707のド
レイン電極は、NMOSトランジスタ705のソース電
極と出力パッド109とに接続され、ソース電極は、接
地されている。NMOSトランジスタ705のゲート電
極は、インバータ701の出力端子に信号線9で接続さ
れ、NMOSトランジスタ707のゲート電極は、イン
バータ703の出力端子に信号線10で接続されてい
る。すなわち、NMOSトランジスタ705,707は
N−Nバッファを構成し、その出力は出力パッド109
に接続されている。
【0051】図1〜図4に示した本発明の実施の形態に
よる半導体記憶装置のチップ100の半導体基板102
上に配置された信号生成回路105と出力ドライバ10
7とそれらを接続する信号線束113とから構成される
回路と、図5〜図8に示した従来の半導体記憶装置のチ
ップ500の半導体基板102′上に配置された信号生
成回路505と出力ドライバ507とそれらを接続する
信号線束113とから構成された回路とは、配線の長さ
を除いて基本的に構成内容は同一であるので、本発明の
実施の形態による半導体記憶装置のチップ100の半導
体基板102上に構成されたこれらの回路の動作は、図
9に示したタイミングチャートとほとんど同じになる。
【0052】しかし、従来例では、図5に示したよう
に、信号線1〜4の4本の信号線からなる信号線束11
1a〜111dをチップ500の半導体基板502上の
出力パッド109a〜109d近傍に長く配線していた
のに対し、本発明の実施の形態による半導体記憶装置で
は、‘H’出力指令信号/HOUTと‘L’出力指令信
号/LOUTの相補なデータ信号が伝送される信号線
7,8からなる信号線対113を、シュリンクされたチ
ップ100の半導体基板102上に長く配線し、半導体
基板上に占める配線領域を大幅に削減することにより、
シュリンク後の出力パッド近傍における制限された面積
でのレイアウトが可能となる。
【0053】また、従来例に比較して、読出経路におけ
る論理段数および総配線長が変わらないので、従来と読
出す速さは変わらないという利点もある。
【0054】さらに、パッド部近傍の配線が、‘H’出
力指令信号/HOUTと‘L’出力指令信号/LOUT
とを伝送するための2本の配線のみであり、読出データ
ラッチ信号/ODLやデータ出力制御信号OEMのよう
な他のコントロール信号がないため、この相補バスによ
りアクセスの高速化が図られるとともに、パッド近傍に
はインバータのみ配置すればよく、その他の論理回路を
配置する必要がなくなり、パッド部近傍に配置する回路
を減らすことが可能となる。したがって、従来と同等の
読出速さを保持したまま、チップサイズのより小さな半
導体記憶装置を作成することが可能となる。
【0055】上記の実施の形態では出力ピンが1個のと
きの例を示したが、出力ピンが2個以上のときはさらに
チップサイズを増大させないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態による半導体記憶装置の
チップ100のレイアウトの一例を示す図である。
【図2】 図1のチップ100の半導体基板102上に
おける信号生成回路105と出力ドライバ107と出力
パッド109と信号線対113との配置の一例を示す図
である。
【図3】 図2の信号生成回路105の構成の一例を示
す図である。
【図4】 図2の出力ドライバ107の構成の一例を示
す図である。
【図5】 従来の半導体記憶装置のチップ100′の半
導体基板102′上における信号生成回路505と出力
ドライバ507と出力パッド109と信号線束613と
のレイアウトの一例を示す図である。
【図6】 図5の信号生成回路505で生成される信号
とそれを伝達する信号線束613とを示す図である。
【図7】 図5の出力ドライバ507の構成の一例を示
す図である。
【図8】 図7のラッチ回路301の構成の一例と出力
パッド109との接続を示す図である。
【図9】 図5〜図8の従来の信号生成回路505と出
力ドライバ507と信号線束613とからなる回路の動
作を示すタイミングチャートである。
【図10】 チップのシュリンクの様子を示す図であ
り、(a)はシュリンク前のチップ100′、(b)は
シュリンクした場合のチップ100″の様子を示す図で
ある。
【符号の説明】
1,2,3,4、5,6,7,8,9,10,11 信
号線、100 チップ、101a〜101d メモリセ
ルアレイ、102 半導体基板、103a〜103d
プリアンプ、105,105a〜105d 信号生成回
路、107,107a〜107d 出力ドライバ、10
9,109a〜109d 出力パッド、111 信号線
束、113 信号線対。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮元 崇行 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板と、 メモリセルアレイと、 前記半導体基板の中央に所定間隔をおいて並設された複
    数の出力パッドと、 前記複数の出力パッドに対応して設けられ、前記メモリ
    セルアレイから読出された第1のデータ信号をもとに第
    2のデータ信号を生成する複数の信号生成手段と、 前記複数の信号生成手段に対応して設けられ、前記メモ
    リセルアレイと前記信号生成手段との間に接続され、前
    記第1の信号を伝送する第1の数の第1の信号線と、 前記複数の出力パッドに対応して設けられ、前記信号生
    成手段で生成された前記第2のデータ信号をもとに第3
    のデータ信号を出力する複数の出力ドライバと、 前記複数の信号生成手段に対応して設けられ、前記出力
    ドライバと前記信号生成手段との間に接続され、前記第
    2のデータ信号を伝送する前記第1の数よりも少ない第
    2の数の第2の信号線とを含み、 前記第1の信号線は前記第2の信号線よりも短い半導体
    記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記出力手段は、 ドレイン電極が外部電源に接続され、ソース電極が前記
    出力パッドに接続された第1のNチャネルMOSトラン
    ジスタと、 ドレイン電極が前記出力パッドに接続され、ソース電極
    が接地された第2のNチャネルMOSトランジスタとを
    含み、 前記第2の信号線は、 互いに相補なデータ信号を伝送する信号線対を含み、 前記信号線対のうちの一方の信号線は前記第1のNチャ
    ネルMOSトランジスタのゲート電極に接続され、前記
    信号線対のうちの他方の信号線は前記第2のNチャネル
    MOSトランジスタのゲート電極に接続された請求項1
    に記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 半導体基板と、 メモリセルアレイと、 前記半導体基板の中央に所定間隔をおいて並設された複
    数の出力パッドと、 前記複数の出力パッドに対応して設けられ、前記メモリ
    セルアレイから読出されたデータ信号をもとに互いに相
    補な1対の信号を生成する複数の信号生成手段と、 前記複数の出力パッドに対応して設けられ、各々が対応
    する前記出力パッドの近傍に配置され、対応する前記信
    号生成手段で生成された前記1対の信号に応答して、対
    応する前記出力パッドにデータを出力する複数の出力ド
    ライバと、 前記複数の信号生成手段と、前記複数の信号生成手段に
    対応する前記出力ドライバとの間に接続され、各々が前
    記1対の信号を伝送する複数の信号線対とを含む半導体
    記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記出力手段は、ドレイン電極が外部電
    源に接続され、ソース電極が前記出力パッドに接続され
    た第1のNチャネルMOSトランジスタと、 ドレイン電極が前記出力パッドに接続され、ソース電極
    が接地された第2のNチャネルMOSトランジスタとを
    含み、 前記信号線対のうちの一方の信号線は、前記第1のNチ
    ャネルMOSトランジスタのゲート電極に接続され、前
    記信号線対のうちの他方の信号線は、前記第2のNチャ
    ネルMOSトランジスタのゲート電極に接続された請求
    項3に記載の半導体記憶装置。
JP7299770A 1995-11-17 1995-11-17 半導体記憶装置 Pending JPH09139082A (ja)

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