JPH091354A - パラレルシーム接合装置 - Google Patents

パラレルシーム接合装置

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JPH091354A
JPH091354A JP17678695A JP17678695A JPH091354A JP H091354 A JPH091354 A JP H091354A JP 17678695 A JP17678695 A JP 17678695A JP 17678695 A JP17678695 A JP 17678695A JP H091354 A JPH091354 A JP H091354A
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JP
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roller electrode
roller
seam joining
parallel seam
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JP17678695A
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Masahiro Takahashi
正浩 高橋
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Origin Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 集積回路や水晶振動子などのセラミックパッ
ケージにコバールなどの金属製の蓋を置き,その両縁に
一対のローラ電極を加圧接触させ,電流を流して,パラ
レルシーム接合する作業において,加圧バネの調整交
換を容易にし,ローラ電極の左右位置の制御を最適化
し,ローラ電極の上下動作について,動作は迅速にか
つワークとの接触時は衝撃を少なくする。 【構成】 一対のローラ電極301 と 331を,コイルバネ
321,351 等により,個別に下方に加圧する機構を有す
る。また電極間隔を,中心から左右対称に間隔dを設定
する機構(右ボールネジ327 と左ボールネジ357 とステ
ッピングモータ361等) を有する。また一対のローラ電
極301,331 と加圧機構と間隔d設定機構を含めた接合ヘ
ッド3を,Z軸方向に昇降する機構5(減速モータと偏
心軸と摺動横長穴等からなる)を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】 本発明は,半導体集積回路や水
晶振動子などを収容してなるセラミックや金属製などの
外囲器と蓋とを接合するのに適したパラレルシーム接合
装置に関する。
【0002】
【従来技術】 半導体集積回路や水晶振動子などの回路
素子を気密封止するパラレルシーム接合装置は,一般に
外囲器であるセラミックパッケージとコバール製の蓋と
を重ねておき一対のローラ状の接合用電極がその上を加
圧しながら回動し,これら一対のローラ状の接合用電極
の一方から蓋を通して他方へ電流を流すことにより外囲
器と蓋とを連続線状に接合する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】 シーム接合するため
に,ワークに対してローラ電極を加圧している。この加
圧方式として従来の金属塊による重力加圧方式において
は,接合作業時の溶け込みの追随性が良くない。また従
来のバネによる加圧ではバネが固定されたり,閉じた構
造であるため,そのバネの交換作業が容易ではない。本
発明ではシーム接合装置において,加圧バネの調整交換
を容易にすることを第1の課題とする。
【0004】
【第2の課題】 シーム接合するために,ワークの両側
の縁にローラ電極をほぼ対称に変位させる必要がある。
従来は左右のローラ電極に,それぞれ左右方向の微動装
置を設けて,この左右方向の微動装置を制御させてい
た。しかしながら,この両側の微動装置を連携して制御
することは,機械的構造が複雑となり,また制御装置に
ついても複雑となる問題がある。本発明ではシーム接合
装置において,ローラ電極の左右位置制御を最適化する
ことを第2の課題とする。
【0005】
【第3の課題】 シーム接合するために,ワークに対し
てローラ電極を上下動作している。ローラ電極の上下動
作方式として,従来はウォームギアやラックとピニオン
によってゆっくりとして速度で移動させ接触時のワーク
への衝撃を和らげている。衝撃を和らげることは必要で
はあるが,その移動時間が長くなる問題がある。本発明
ではシーム接合装置において,ローラ電極の下降速度を
最適化することを第3の課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】 第1の課題を解決する
ため,本発明では以下の手段を提案するものである。ロ
ーラ電極の支持体と,このローラ電極の支持体に対して
垂直方向に摺動する摺動体と,これらローラ電極の支持
体と摺動体との間に係止する弾性体とを備えることを提
案する。弾性体は係止しているので,装着や交換は可能
である。
【0007】
【第2の手段】 第2の課題を解決するため,以下の手
段を提案するものである。一対のローラ電極の支持体に
はそれぞれ螺回方向の逆のナットを横方向に貫通させ,
この両ナットに螺合する共通一軸のネジであってその中
間部を境に螺回方向の逆のネジを設けて,このネジの回
転制御により,ローラ電極の間隔調節をすることを提案
する。
【0008】
【第3の手段】 第3の課題を解決するため,以下の手
段を提案するものである。ローラ電極の支持体の昇降機
構を備えて,この昇降機構はモータと運動伝達機構によ
り構成され,この一対のローラ電極がワークに接触する
間際では接近速度が小さくなり,衝撃なくワークに接触
できることを提案する。
【0009】
【実施例】 図1は,本発明にかかるパラレルシーム接
合装置1のシステム図である。図において,接合工程の
複雑な制御をタッチパネルディスプレイ23から指令を発
する。この指令を受けてCPU21では各制御部等に制御
信号を送り,またセンサ(図示せず)からの検出信号を
受ける。CPU21にはフロッピーディスク25が接続され
て,必要なデータの読み出しと書き込みを行う。
【0010】 CPU21からの制御信号を受けたテーブ
ル回転機構・制御部7は,テーブル6を角度θ回転させ
る。またCPU21からの制御信号はコントローラ19を経
て,d制御部17,Z制御部15,X制御部13,Y制御部11
へとそれぞれ送られる。d制御部17は接合ヘッド3の電
極間隔dを設定する信号を供給する。Z制御部15はZ軸
昇降機構5に信号を与えて接合ヘッド3の垂直方向の位
置を制御する。X制御部13はX軸移動機構8に信号を与
えて接合ヘッド3の横方向の位置を制御する。Y制御部
11はY軸進退機構9に信号を与えて接合ヘッド3の前後
方向の位置を制御する。
【0011】 ワーク2を載せるテーブル6はテーブル
回転機構・制御部7によって任意の角度θ回転できる。
ここでは回転角度θは90°に指定される。テーブル6
の上面には直交座標的にワーク2を配設する。
【0012】 ワーク2の両端には,一対のローラ電極
とそれを支え,Z軸方向に昇降する接合ヘッド3が設け
られる。この接合ヘッド3は,さらにX軸移動機構8と
Y軸進退機構9とによって,X軸とY軸にも運動する機
能を備えている。
【0013】 図2は,本発明にかかるパラレルシーム
接合装置における接合ヘッド3の一実施例を示す。先ず
左側のローラ電極について説明する。左側のローラ電極
301 は電極ホルダ303 によりアーム307 に機械的に回転
自在に支持される。ローラ電極301 は電気的には給電軸
305 に良好に接続されて,接合電源(10)の一端に接続さ
れる。アーム307 はスライダ309,311 により垂直に取り
付けられる。これらスライダ309,311 はガイド312 と組
み合わされて,垂直方向に自由に摺動可能となる。この
ガイド312 はコラム313 に固定される。さらに,このコ
ラム313 は,水平方向に摺動可能なスライダ375 とガイ
ド377 とを介してベース板501 に取り付けられる。コラ
ム313 の上端にはアーム315 が水平前方に固定される。
そしてこのアーム315 の先端には,ディスク319 がシャ
フト317 を介して下方に取り付けられる。ディスク319
に向かい合って,アーム307 の上端にはフランジ323 が
配設され,これらディスク319 とフランジ323 との間
に,コイルバネ321 が挿入される。ディスク319 を回転
させると,これにつながるシャフト317 はアーム315 と
の結合点のネジで垂直方向に上下する構造となり,コイ
ルバネ321 の弾性力を調整できる。なお,図示されてい
ないが,ディスク319 とフランジ323 には,それぞれの
中央に円筒形または円錐形の突起を設けてあり,コイル
バネ321 の装着と交換をより容易かつ確実にするよう作
用している。この突起に代えて,ディスク319 とフラン
ジ323 の双方または何れかの周囲に縁部を設けても,同
様に作用する。またコイルバネ321 は他の弾性体に置き
換えることができる。
【0014】 右側のローラ電極についても,左側と対
称に構成される。すなわち,ローラ電極331 ,電極ホル
ダ333 ,給電軸335 ,アーム337 ,スライダ339,341 ,
ガイド342 ,コラム343 ,アーム345 ,シャフト347 ,
ディスク349,コイルバネ351 ,フランジ353 ,スライ
ダ373 ,ガイド377 によって同様に構成される。
【0015】 次に一対のローラ電極301,331 の間隔d
を可変する構成について説明する。ベース板501 の左端
付近にはヨーク360 を固定し,間隔をおいてヨーク365
と,右端付近にヨーク369 を設ける。ヨーク360 にはス
テッピングモータ361 を固定し,ヨーク365 には軸受36
7 を設け, ヨーク369 には軸受371 を設け,左側のコラ
ム313 には,ボールナット325 を配設し,右側のコラム
343 には,ボールナット355 を配設して,これらの間を
共通の作用軸364 で結ぶ。この作用軸364 は,左端から
順に,ステッピングモータ361 の回転軸に接続されるカ
プリング363 と,軸受367 から右側に位置する右ボール
ネジ327 で,ボールナット325 に結合する部分と,中間
部328 からネジの向きが反対となる左ボールネジ357
で,ボールナット355 に結合して軸受371 で支持される
部分とから構成される。
【0016】 いま,ステッピングモータ361 が図の矢
印方向に回転すると,回転する右ボールネジ327 の作用
で,ボールナット325 は左側に移動して,これに結合す
るローラ電極301 も左側に移動する。同時に,左ボール
ネジ357 の作用で,ボールナット355 は右側に移動し
て,これに結合するローラ電極331 も右側に移動する。
したがってローラ電極301,331 の間隔dは広くなる。逆
にステッピングモータ361 が図の矢印方向と反対方向に
回転すると,ローラ電極301,331の間隔dは狭くなる。
【0017】 ローラ電極301,331 の間隔について,最
短基準間隔寸法と最大間隔とを別に用意したゲージによ
り定めて,この寸法をその指令信号を発生するCPU21
(図1も参照)にあらかじめ入力して記憶させておく。
そして必要な電極間隔に対応した制御信号をd制御部17
を発生させる。
【0018】 図3は,本発明にかかるパラレルシーム
接合装置におけるZ軸昇降機構の一実施例を示す。ブラ
ケット513 に,減速モータ511 を取付け,その回転軸50
9 には,クランク507 を介して偏心軸505 を取り付け
る。この偏心軸505 は,ベース板501 に設けられた摺動
横長穴503 に係合する。ベース板501 には,4個のスラ
イダ519,521,523,525 を取付け,これらに対応してガイ
ド515,517 を,ブラケット513 に取り付ける。ブラケッ
ト513 は,図示しないX軸移動機構とY軸進退機構とに
より保持される。
【0019】 減速モータ511 が回転して,偏心軸505
が上側に来るときには,スライダ519 〜525 とガイド51
5,517 とにより導かれ,ベース板501 上の摺動横長穴50
3 も上側に上昇する。また偏心軸505 が下側に来るとき
には,摺動横長穴503 も下側に下降する。従って減速モ
ータ511 の回転角度によって,ベース板501 はZ軸にそ
って昇降する。
【0020】 このとき,偏心軸505 の動きにおいて,
最上位置から中央位置,最下部と移動する速度では,初
めはゆっくりで中央部付近では速くなり,最下部付近で
は,またゆっくりした速度となる。この昇降速度の関係
は,シーム接合におけるローラ電極がワークに接触する
ときに,最も好ましいものである。この速度の変化の関
係を数式的に表現すると,偏心軸505 を支えているクラ
ンク507 が垂直面となす角度の余弦関数となり,余弦関
数が0°から90°,180 °と変化するときに対応する。
ローラ電極がワークに接触するときには180 °付近の関
数に対応する下降速度として理解できる。
【0021】 この実施例では偏心軸による余弦関数を
利用して,ローラ電極の昇降速度を,シーム接合に適し
たものとしたが,他の運動伝達機構を利用しても同様に
ローラ電極がワークに接触する間際では接近速度を小さ
くすることができる。図3において,偏心軸505 の円の
直径を大きくして,その円の中心でない点に減速モータ
の回転軸を接続しても同様の速度関数を得ることができ
る。また,任意の関数曲線の曲面を持ったカムにカムフ
ォロワを接触させて,このカムフォロワを図3における
ベース板501 に結合することにより,必要な速度関数を
得ることもできる。
【0022】
【発明の効果】 本発明にかかるパラレルシーム接合装
置においては,以上説明したような特徴を有するので,
以下の効果を奏する。
【0023】 ローラ電極の支持体と,その摺動体との
間にバネ等の弾性体が係止しているので,そのバネ等の
交換により加圧力変更も個別に容易に行うことができ
る。またこれらは左右独立に弾性力が印加されており,
ワークの溶け込みや,微妙な変化に対応して,常に良好
な加圧力が印加される。
【0024】 一対のローラ電極の間隔調節について
は,互いに逆方向のネジの回転により行っているので,
中心から常に対称の変位となる。簡素な構造であると共
に,精密な位置制御がなされる。
【0025】 ローラ電極の昇降機構はモータと偏心カ
ム等の運動伝達機構により構成され,ローラ電極がワー
クに接触する間際では接近速度が小さくなり,衝撃なく
ワークに接触できるので,シーム接合の品位を向上させ
ることができる。またこれらローラ電極の支持体の変位
を定める各機構を,軽量に選ぶことができ,位置制御の
応答速度を高め,また経済的ともなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明にかかるパラレルシーム接合装置の一
実施例のシステム図を示す。
【図2】 本発明にかかるパラレルシーム接合装置にお
ける接合ヘッドの一実施例を示す。
【図3】 本発明にかかるパラレルシーム接合装置にお
けるZ軸昇降機構の一実施例を示す。
【符号の説明】
1…パラレルシーム接合装置 2…ワーク 3
…接合ヘッド 5…Z軸昇降機構 6…テーブル 7…テーブル回転機構 8…X軸移動機構
9…Y軸進行機構 10…接合電源 11…Y制御部
13…X制御部 15…Z制御部 17…d制御部 19…コントローラ 21…CPU 23…タッチパネルディスプレイ 25…
フロッピーディスク 301 …ローラ電極 303 …電極ホルダ 305 …給電軸
307 …アーム 309,311 …スライダ 312 …ガイド 313 …コラム
315 …アーム 317 …シャフト 319 …ディスク 321 …コイルバネ
323 …フランジ 325 …ナット 327 …右ボールネジ 331 …ローラ電極 333 …電極ホルダ 335 …給電軸
337 …アーム 339,341 …スライダ 342 …ガイド 343 …コラム
345 …アーム 347 …シャフト 349 …ディスク 351 …コイルバネ
353 …フランジ 355 …ナット 357 …左ボールネジ 360 …ヨーク 361 …ステッピングモータ 363 …カプリング 365…ヨ
ーク 367 …軸受 369 …ヨーク 371 …軸受 373,375…スライダ
377 …ガイド 501 …ベース板 503 …摺動横長穴 505 …偏心
軸 507 …クランク 509 …回転軸 511 …減速
モータ 513 …ブラケット 515,517 …ガイド 519,521,523,
525 …スライダ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】所定回路素子又は電子回路を収納してなる
    外囲器と蓋部材とを加圧しながら回動する一対のローラ
    電極の間に電流を流してシーム接合するパラレルシーム
    接合装置において,前記ローラ電極の支持体と,このロ
    ーラ電極の支持体に対して垂直方向に摺動する摺動体
    と,これらローラ電極の支持体と摺動体との間に係止す
    る弾性体とを備えることを特徴とするパラレルシーム接
    合装置。
  2. 【請求項2】前記摺動体にはそれぞれ螺回方向の逆のナ
    ットを横方向に貫通させ,この両ナットに螺合する共通
    一軸のネジであってその中間部を境に螺回方向の逆のネ
    ジを設けて,このネジの回転制御により前記一対のロー
    ラ電極の間隔調節をすることを特徴とする請求項1に記
    載のパラレルシーム接合装置。
  3. 【請求項3】前記摺動体の昇降機構を備えて,この昇降
    機構はモータと運動伝達機構により構成され,この一対
    のローラ電極がワークに接触する間際では接近速度が小
    さくなり,衝撃なくワークに接触できることを特徴とす
    る請求項1または請求項2に記載のパラレルシーム接合
    装置。
  4. 【請求項4】所定回路素子又は電子回路を収納してなる
    外囲器と蓋部材とを加圧しながら回動する一対のローラ
    電極の間に電流を流してシーム接合するパラレルシーム
    接合装置において,前記一対のローラ電極の支持体には
    それぞれ螺回方向の逆のナットを横方向に貫通させ,こ
    の両ナットに螺合する共通一軸のネジであってその中間
    部を境に螺回方向の逆のネジを設けて,このネジの回転
    制御により前記一対のローラ電極の間隔調節をすること
    を特徴とするパラレルシーム接合装置。
  5. 【請求項5】前記一対のローラ電極の支持体の昇降機構
    を備えて,この昇降機構はモータと運動伝達機構により
    構成され,この一対のローラ電極がワークに接触する間
    際では接近速度が小さくなり,衝撃なくワークに接触で
    きることを特徴とする請求項4に記載のパラレルシーム
    接合装置。
  6. 【請求項6】所定回路素子又は電子回路を収納してなる
    外囲器と蓋部材とを加圧しながら回動する一対のローラ
    電極の間に電流を流してシーム接合するパラレルシーム
    接合装置において,前記一対のローラ電極の支持体の昇
    降機構を備えて,この昇降機構はモータと運動伝達機構
    により構成され,この一対のローラ電極がワークに接触
    する間際では接近速度が小さくなり,衝撃なくワークに
    接触できることを特徴とするパラレルシーム接合装置。
JP17678695A 1995-06-20 1995-06-20 パラレルシーム接合装置 Pending JPH091354A (ja)

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