JPH09105838A - 光導波路装置 - Google Patents
光導波路装置Info
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- JPH09105838A JPH09105838A JP7290310A JP29031095A JPH09105838A JP H09105838 A JPH09105838 A JP H09105838A JP 7290310 A JP7290310 A JP 7290310A JP 29031095 A JP29031095 A JP 29031095A JP H09105838 A JPH09105838 A JP H09105838A
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Abstract
光導波路装置を提供する。 【解決手段】 基板4上にコア部6とクラッド部5を形
成した導波路チップ1の接続端面25a,25b側に、各接
続端面25a,25bを露出した状態で、嵌合凹部16によっ
て導波路チップ1の両側面と上面10を囲んで嵌合する接
続端部材2,3を嵌合装着して光導波路装置を形成す
る。導波路チップ1の上面10の両側にV字溝8a,8b
を導波路チップ1の長手方向全長にわたって形成し、接
続端部材2,3の嵌合凹部16にはV字溝8a,8bに対
応する位置に逆V字溝14,15を形成する。V字溝8a,
8bの長手方向全長にわたって位置決め用の光ファイバ
9を配設し、光ファイバ9の両端側をV字溝8a,8b
と逆V字溝14,15によって挟んで導波路チップ1と接続
端部材2,3の位置決めを行う。
Description
として用いられ、多心光ファイバコネクタ等に接続され
て使用される光導波路装置に関するものである。
合波等を行う光導波路装置(光導波路モジュールともい
う)が広く知られている。この光導波路装置の光導波路
と単心の光ファイバあるいは多心の光ファイバを整列固
定して成る光アレイの光ファイバと接続する場合、いち
いち調心して接着や溶接によって接続する作業が一般に
用いられているが、この作業は非常に手間がかかって作
業性が悪く、最近においては、光導波路と光ファイバと
を無調芯の状態で接続する接続方式が検討されている。
している光導波路装置(未だ公開にはなっていない)が
示されており、図4の(a)には、この光導波路装置が
分解状態で示されている。これらの図に示されるよう
に、この提案の装置は、シリコン(Si)や石英ガラス
によって形成された基板4上に、例えば火炎堆積法によ
って形成されたクラッド部5とクラッド部5に埋設され
た複数の導波路コア部(光導波路として機能するコア
部)6を形成した導波路チップ1を有しており、この導
波路チップ1のコア部6の端面は、導波路チップ1の接
続端面25a,25bに露出し、予め定められたピッチで配
列されている。
は、それぞれ、接続端部材2,3が設けられている。こ
の接続端部材2,3には、導波路チップ1の接続端面25
a,25bを露出した状態で、導波路チップ1の両側面
と、導波路コア部6の光導波路を形成して成る上面10を
囲んで嵌合する、断面略コ字形状の嵌合凹部16が形成さ
れており、この嵌合凹部16に導波路チップ1が嵌合装着
され、熱硬化性接着剤等によって接着固定されている。
接続端部材2,3は、それぞれ、例えば、フィラー含有
のエポキシ樹脂等をトランスファー成形を用いて製造さ
れた一体成形品であり、嵌合凹部16を挟む両側に、接続
用のガイドピンを挿入する貫通のガイドピン嵌合孔12,
13がそれぞれ形成されている。ガイドピン嵌合孔12,13
は、この光導波路装置と接続される多心光ファイバコネ
クタのピン孔と軸芯が一致する位置に、例えば4.6 mmピ
ッチで形成されている。
導波路コア部6を避けた位置に、チップ側位置決めガイ
ド溝としてのV字溝8a,8bが、導波路チップ1の長
手方向の全長にわたって伸長形成されており、図4およ
び図5に示すように、導波路チップ1の上面10と対向す
る接続端部材2,3の嵌合凹部16の対向面11側には、V
字溝8a,8bに対応する位置に、V字溝8a,8bの
伸長方向に伸長した端部材側位置決めガイド溝としての
逆V字溝14,15がそれそれ形成されている。なお、V字
溝8a,8bは、例えば機械加工又はエッチングによっ
て形成されている。
a,8bには、それぞれ、導波路チップ1の接続端面25
a,25b側に、光ファイバ9が2本ずつ、合計4本挿入
固定されている。これらの光ファイバ9の長さは、例え
ば接続端部材2,3の長さとほぼ同じ長さ、あるいは接
続端部材2,3から光ファイバ9の一端側が多少はみ出
す程度の長さに形成されており、これらの光ファイバ9
を接続端部材2,3の逆V字溝14,15に嵌合することに
より、導波路チップ1と接続端部材2,3とが位置決め
され、その状態で、導波路チップ1と接続端部材2,3
とが接着固定されて光導波路装置が形成されている。
部材2,3に逆V字溝14,15を設ける代わりに、導波路
チップ1のV字溝8a,8bに嵌合する、例えば山型の
突起部を形成し、光ファイバ9を設けずに、山型の突起
部をV字溝8a,8bに直接嵌合して導波路チップ1と
接続端部材2,3とを位置決めする方法も考えられてい
る。
案の装置においては、4本の光ファイバ9を2本ずつ各
V字溝8a,8bの両端側に配設して導波路チップ1と
接続端部材2,3との位置決めを行うようにしており、
直径0.125 mmと非常に細い光ファイバ9を4本用意し、
導波路チップ1の接続端面25a,25b側にそれぞれ配設
して位置決めする操作は非常に手間がかかるものであっ
た。
ップ1のV字溝8a,8bと接続端部材2,3に形成し
た山型の突起部とを嵌合させる装置においては、山型の
突起部が破損し易いために、V字溝8a,8bに嵌合す
る際に、突起部の破損が生じてしまい、接続端部材2,
3と導波路チップ1との位置決めができなくなってしま
うといった問題があった。
は、コア部6とV字溝8a,8bとの位置関係を把握
し、V字溝8a,8bの形成精度を高めることが望まれ
ている。それというのは、この提案の光導波路装置を多
心光コネクタ等と接続するときには、接続端部材2,3
に形成されたガイドピン嵌合孔12,13と、接続相手側の
多心光コネクタに形成されているピン孔とに共通のガイ
ドピンを挿入し、ガイドピンを介して光導波路装置と多
心光ファイバコネクタとの光接続を無調芯で行うように
するために、接続端部材2,3と導波路チップ1との位
置決め用の溝であるV字溝8a,8b、逆V字溝14,15
のコア部6に対する位置精度を高めることが非常に大切
だからである。
対する位置関係を把握するために、例えば、コア部6と
V字溝8a,8bの形成位置とのそれぞれに光を通光さ
せてそれらの光を受信し、解析することによりコア部6
に対するV字溝8a,8bの位置関係を把握することが
考えられるが、上記提案の装置においては、V字溝8
a,8bに配設される光ファイバ9は接続端部材2,3
の間で分断しているために、光ファイバ9に通光した光
を受信することはできないし、光ファイバ9を用いない
ものにおいては、当然、上記のような方法を用いてV字
溝8a,8bのコア部6に対する位置精度を把握するこ
とはできなかった。
れたものであり、その目的は、導波路チップと接続端部
材との位置決めおよび装置の組み立てを容易に、かつ、
正確に行うことが可能であり、願わくば、導波路チップ
の位置決め溝および接続端部材の位置決め溝のコア部に
対する位置精度を容易に、かつ、確実に把握することが
できる光導波路装置を提供することにある。
に、本発明は次のような構成により課題を解決するため
の手段としている。すなわち、本発明は、基板上に導波
路コア部と該導波路コア部を埋設するクラッド部を形成
した導波路チップを有し、この導波路チップの接続端面
両側にはそれぞれ該導波路チップの接続端面を露出した
状態で少なくとも該導波路チップの両側面と前記導波路
コア部を形成して成る上面を囲んで嵌合する嵌合凹部を
もった接続端部材が嵌合装着されており、前記導波路チ
ップの上面の両側には前記導波路コア部を避けた位置に
チップ側位置決めガイド溝が導波路チップの長手方向の
全長にわたって伸長形成されており、該導波路チップの
上面と対向する前記嵌合凹部の対向面側には前記チップ
側位置決めガイド溝に対応する位置に該チップ側位置決
めガイド溝の伸長方向に伸長した端部材側位置決めガイ
ド溝が形成されており、端部材側位置決めガイド溝と前
記チップ側位置決めガイド溝によって導波路チップの両
端側で挟まれて該チップ側位置決めガイド溝の長手方向
全長にわたって位置決め用棒材が配設されていることを
特徴として構成されている。
したこと、前記ガラス部材は光ファイバであること、前
記光ファイバはカーボンコートファイバであること、前
記光ファイバの配列ピッチが導波路コア部の配列ピッチ
の整数倍であることも本発明の特徴的な構成とされてい
る。
の上面両側に、導波路チップの長手方向の全長にわたっ
て伸長形成されたチップ側位置決めガイド溝の長手方向
全長にわたって、例えば光ファイバ等によって形成され
た位置決め用棒材が配設されており、導波路チップと接
続端部材とはこの各チップ側位置決めガイド溝に1本ず
つ配設された、合計2本の位置決め用棒材によって位置
決めが行われる。そのため、導波路チップの接続端面側
にのみそれぞれ位置決め用棒材を設けるようにして、合
計4本の位置決め用棒材を2本ずつチップ側位置決めガ
イド溝の長手方向の一部に配設する場合に比べて、位置
決め用棒材の本数が少なくて済み、導波路チップと接続
端部材との位置決めが容易に行われ、導波路チップと接
続端部材との組み立て作製も容易に行われる。
て形成すれば、この光ファイバと導波路チップの導波路
コア部とにそれぞれ光を通光させ、その通光した光を受
信、解析することにより、導波路コア部に対する光ファ
イバの位置を把握し、導波路コア部に対するチップ側位
置決めガイド溝および接続端部材側位置決めガイド溝の
位置精度が把握される。そのため、この位置精度の値
を、導波路チップにチップ側位置決めガイド溝を形成す
るときの形成条件や接続端部材の成形条件等にフィード
バックして、極めて精度良く各位置決めガイド溝を形成
した光導波路装置の作製が可能となる。
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図1には、本発明に係る光導波路装
置の一実施形態例の構成が、(a)には分解状態で、
(b)には組み立て状態でそれぞれ示されている。これ
らの図に示されるように、本実施形態例は図4に示した
提案の装置とほぼ同様に構成されており、本実施形態例
が図4に示した装置と異なる特徴的なことは、導波路チ
ップ1と接続端部材2,3との位置決め用の光ファイバ
9が、V字溝8a,8bと逆V字溝14によって導波路チ
ップ1の両端側で挟まれて、V字溝8a,8bの長手方
向全長にわたって配設されていることである。
良く作製されたカーボンコートファイバであり、カーボ
ンをコートしていない通常のノンコートファイバよりも
脆性に優れており、非常に扱い易くなっている。
約3.2 mm、厚みは1.05mmに形成されており、コア部6
は、導波路チップ1の接続端面側で、例えば0.25mmピッ
チで8本配列されて接続端面25a,25b側に露出してい
る。そして、前記V字溝8a,8bの配列ピッチは、こ
のコア部6の配列ピッチである0.25mmの整数倍の2.75mm
の配列ピッチで、例えば機械加工やエッチングによって
形成されている。各V字溝8a,8bの頂角は90°、深
さは約0.2 mmである。
3の各嵌合凹部16は、横寸法(対向面11の幅) が約3.4
mm、縦寸法(深さ)が約1.3 mmであり、対向面11に形成
された逆V字溝は、頂角が90°、高さが約0.2 mmであ
り、その配列ピッチは、V字溝8a,8bと同じ2.75mm
となっている。
り、図1および図5に示すように、従来例と同様に、導
波路チップ1のV字溝8a,8bに配設した光ファイバ
9を接続端部材2,3の逆V字溝溝14,15にそれぞれ嵌
合して位置決めを行い、導波路チップ1に接続端部材
2,3を接着固定して作製されるが、本実施形態例で
は、V字溝8a,8bの長手方向全長にわたって光ファ
イバ9を配設するために、光ファイバ9の本数は2本で
よく、この2本の光ファイバ9を用いて、容易に、か
つ、正確に、導波路チップ1と接続端部材2,3との位
置決めを行うことが可能となる。そのため、光導波路装
置の作製も容易に、かつ、正確に、短時間で行うことが
できる。
9はカーボンコートファイバとしており、通常の光ファ
イバよりも脆性に優れているために、光ファイバ9をよ
り一層取り扱い易く、装置の組み立ての際に光ファイバ
9を破損することは殆どなく、光導波路装置作製の歩留
りも向上させることができる。
バ9をV字溝8a,8bの長手方向全長にわたって配設
しているために、この光ファイバ9と導波路コア部6と
に光を通光し、その通光した光を受信、解析することに
より、コア部6と光ファイバ9との位置関係を容易に把
握することが可能となり、コア部6に対するV字溝8
a,8bおよび逆V字溝14,15の位置精度を容易に、か
つ、正確に検出することができる。そのため、この検出
結果に基づいて、コア部6に対するV字溝8a,8b、
逆V字溝14,15の位置精度をV字溝8a,8bの形成条
件や接続端部材2,3の成形条件にフィードバックする
ことが可能となり、それにより、光導波路装置の作製条
件を調整し、極めて精度良く光導波路装置を作製するこ
とができる。
8bの配列ピッチがコア部6の配列ピッチの整数倍に形
成されているために、例えば、光通信用として一般的に
用いられている12心のMTコネクタタイプであって、各
光ファイバの配列ピッチが精度良く位置決めされてい
る、いわゆるマスターコネクタ(各光ファイバの配列ピ
ッチは250 μm)を光導波路装置の接続端面25a側に対
向させ、各光ファイバからそれぞれ光を出射させて、光
ファイバ9およびコア部6にそれぞれ入射させることが
できる。具体的には、両端側(1心目と12心目)の光フ
ァイバから出射する光を各光ファイバ9に入射させ、M
Tコネクタの3心目から10心目までの光ファイバからそ
れぞれ出射される光を8本の各コア部6にそれぞれ入射
することになる。そのため、本実施形態例によれば、一
般に用いられているMTネクタを利用して、容易に、か
つ、正確にV字溝8a,8bのコア部6に対する位置精
度を測定することが可能となり、位置精度の把握を非常
に容易に行うことができる。
合孔12,13および前述したMTコネクタ(マスターコネ
クタ)のガイドピン嵌合孔に、軸中心に光ファイバを埋
め込んだフェルールを各々挿入し、しかる後、マスター
コネクタと本発明の光導波路装置のフェルール同志をフ
ェルール中の光ファイバの光軸が一致するように対向さ
せた状態で前記フェルールに埋め込んだ光ファイバに光
を伝送させれば、上記と同様の手順にて、接続端部材
2,3のガイドピン嵌合孔12,13とコア部6、V字溝8
a,8bの各々の位置精度を容易かつ正確に測定するこ
ともできる。
材2,3は、フィラー含有のエポキシ樹脂等のプラスチ
ック材料により形成されているために、接続端部材2,
3と導波路チップ1との接着強度を向上させることが可
能となり、例えば外部からの衝撃等が加えられたときに
も、接続端部材2,3と導波路チップ1とは剥離しにく
くなり、環境特性に対する信頼性も向上させることがで
きる。
多心(8心)光ファイバコネクタ23との接続方法が示さ
れている。なお、光導波路装置には、図2に示すよう
に、導波路チップ1のクラッド部5を保護するために保
護部材18を設けており、保護部材18は、各接続端部2,
3の段部27に係合して設けられており、保護部材18は、
接続端部材2,3の長手方向の位置決め手段としての機
能も果たしている。
導波路装置と光ファイバコネクタ23とを接続するときに
は、接続端部材2,3のガイドピン嵌合孔12,13にそれ
ぞれ接続用のガイドピン19,20を挿入し、各接続端部材
2,3の端面28,29から突出させる。そして、このガイ
ドピン19,20の突出側に、光ファイバテープ21の光ファ
イバを等間隔に配列固定した多心の光ファイバコネクタ
23の接続端面30側を対向させ、例えば4.6 mmといった所
定のピッチでこの光ファイバコネクタ23に形成されてい
る貫通のピン孔22にガイドピン19,20を挿入し、接続端
部材2,3の端面28,29と光ファイバコネクタ23の接続
端面30とを屈折率整合剤を介して当接させる。そして、
最後に、光ファイバコネクタ23の後端側と保護部材18の
段部31とに、ばねクランプ24を掛け渡して嵌合し、光フ
ァイバコネクタ23と光導波路装置とを長手方向に圧接し
て固定する。
ネクタ23とが接続され、この接続により、本実施形態例
の光導波路装置のコア部6と光ファイバコネクタ23の光
ファイバとの光軸が一致し、光導波路装置と光ファイバ
コネクタ23とが無調芯で光接続される。
ることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、
上記実施形態例では、嵌合凹部16は、下部側が開口の断
面略コ字形状の凹部としたが、嵌合凹部16は、矩形状の
貫通孔としてもよい。
1の接続端面25a,25bおよび、接続端部材2,3の端
面28, 29は、コア部6の光軸に対して略垂直に形成した
が、導波路チップの接続端面25a,25bおよび接続端部
材の端面28,29をそれぞれ、コア部6に垂直な面から例
えば約8°傾けた斜め端面に形成してもよい。このよう
に、各端面25a,25b,28,29を斜めに形成し、光導波
路装置の接続端面を斜め端面とすると、この光導波路装
置と光ファイバコネクタ23等の光部品とを接続し、光を
伝送させたときに、伝送光がコア部6の端面で反射して
も、その反射光はコア部6から外れる方向に反射するた
めに、反射光が送信側に戻る悪影響を抑制し、反射光に
よる損失を抑制することができる。
プ1には8本のコア部6を0.25mmピッチで配設したが、
コア部6の配設数や配設ピッチ、大きさ、形状等は特に
限定されるものではなく、適宜設定されるものである。
プ1のV字溝8a,8bおよび、接続端部材2,3の逆
V字溝14,15の配列ピッチは2.75mmとし、各溝の頂角を
90°、深さを約0.2 mmとしたが、各溝のピッチや頂角の
大きさ、深さ等は特に限定されるものではなく、適宜設
定されるものである。また、これらの溝は、必ずしもV
字溝や逆V字溝とするとは限らず、例えば導波路チップ
1側にU字型の溝を形成し、接続端部材2,3側に逆U
字型の溝を形成し、このU字型と逆U字型の溝とによっ
て形成される円形状の穴に光ファイバ9の両端側を嵌合
するようにしてもよい。
9はカーボンコートファイバとしたが、光ファイバ9は
通常のノンコートの光ファイバとしてもよい。ただし、
光ファイバ9をカーボンコートファイバとすると、光フ
ァイバ9の脆性に優れるために、光ファイバ9を取り扱
い易くなり、光導波路装置を作製するときの歩留りも向
上させることができる。
9を位置決め用棒材としたが、位置決め用棒材は光ファ
イバ9以外のガラス部材としてもよく、ガラス部材以外
の、例えばセラミックの棒材としてもよい。
2,3は、エポキシ樹脂等から成る成形品としたが、接
続端部材2,3は、例えば石英やパイレックスガラス等
により形成してもよい。このように、接続端部材2,3
を石英やパイレックスガラス等によって形成したときに
は、接続端部材2,3と導波路チップ1との接着はUV
(紫外線)硬化接着剤により接着固定される。
3の大きさは特に限定されるものではなく、適宜設定さ
れるものあり、例えば、MTコネクタ等の接続相手側の
光部品に対応させて、コア部6を光ファイバと同じピッ
チで配設したり、接続端部材2,3のガイドピン嵌合孔
12,13を光ファイバコネクタ23のピン孔22に対応させる
ようにして適宜に設定される。
向全長にわたって伸長形成したチップ側位置決めガイド
溝の長手方向全長にわたって位置決め用棒材を配設し、
この位置決め棒材を導波路チップの両端側でチップ側位
置決めガイド溝と接続端部材側に形成した端部材側位置
決めガイド溝とによって挟むことにより、導波路チップ
と接続端部材とを位置決めし、固定したものであるか
ら、2本の位置決め用棒材を用いて、導波路チップと接
続端部材とを容易に、かつ、正確に位置決めすることが
できる。そして、本発明によれば、例えばチップ側位置
決めガイド溝の長手方向の一部の長さを有する位置決め
部材を4個用意し、この位置決め部材を導波路チップの
両端側にそれぞれ配設してチップ側位置決めガイド溝と
端部材側位置決めガイド溝とによって挟んで位置決めす
るよりも、位置決め部材(位置決め用棒材)の取り扱い
もし易くなり、導波路チップと接続端部材との位置決め
も容易に、かつ、正確に行うことが可能となり、装置を
容易に、かつ、正確に組み立て作製できる。
はガラス部材によって形成されていることから、位置決
め用棒材をガラス部材とすることにより、位置決め用棒
材を金属材料等によって形成したときに比べて、位置決
め用棒材と導波路チップとの線膨張係数差を非常に小さ
くすることが可能となり、線膨張係数差によって生じる
応力等により光導波路装置が変形することを抑制し、導
波路チップと接続端部材との固定状態を精度良く維持す
ることができる。
イバとした本発明によれば、光ファイバは細径にもかが
かわらずその直径寸法は非常に高精度に作製されている
ために、導波路チップと接続端部材との位置決めをより
一層正確に行うことが可能であり、しかも、光ファイバ
のコストは安いために、光導波路装置のコストも安くす
ることができる。
ファイバとすれば、このカーボンコートファイバは通常
のノンコートファイバよりも脆性に優れているために、
光ファイバの作業性を向上することが可能となり、光導
波路装置の作製の歩留りを向上させることができる。
ことにより、この光ファイバと導波路コア部とにそれぞ
れ光を通光し、その光を受信解析すれば、導波路コア部
に対する光ファイバの位置精度を正確に求めることが可
能となり、それにより、導波路コア部に対するチップ側
位置決めガイド溝および端部材側位置決めガイド溝の位
置精度を検出することができる。そして、その検出結果
に基づいて、導波路チップへのチップ側位置決めガイド
溝の形成や接続端部材への端部材側位置決めガイド溝の
形成条件にフィードバックすることにより、光導波路装
置を極めて正確に作製することができる。
波路コア部の配列ピッチの整数倍である本発明によれ
ば、例えば、導波路コア部の配列ピッチを、光通信用と
して一般に用いられている光コネクタの光ファイバ配列
ピッチと同じピッチに形成し、光ファイバから光を出射
させれば、各出射光を、光導波路装置の導波路コア部と
位置決め用の光ファイバとにそれぞれ入射させることが
可能となる。そのため、光コネクタを用いて、光導波路
装置の光ファイバの導波路コア部に対する位置精度を容
易に、かつ、正確に検出することが可能となり、それに
より、チップ側および端部材側位置決めガイド溝導波路
コア部に対する位置精度を容易に、かつ、正確に求め、
光導波路装置作製条件にフィードバックし、非常に容易
に高制度の光導波路装置を作製することができる。
す構成図である。
接続用のガイドピン19,20を設けた状態を示す説明図で
ある。
の接続方法を示す説明図である。
構成を示す説明図である。
で示す説明図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板上に導波路コア部と該導波路コア部
を埋設するクラッド部を形成した導波路チップを有し、
この導波路チップの接続端面両側にはそれぞれ該導波路
チップの接続端面を露出した状態で少なくとも該導波路
チップの両側面と前記導波路コア部を形成して成る上面
を囲んで嵌合する嵌合凹部をもった接続端部材が嵌合装
着されており、前記導波路チップの上面の両側には前記
導波路コア部を避けた位置にチップ側位置決めガイド溝
が導波路チップの長手方向の全長にわたって伸長形成さ
れており、該導波路チップの上面と対向する前記嵌合凹
部の対向面側には前記チップ側位置決めガイド溝に対応
する位置に該チップ側位置決めガイド溝の伸長方向に伸
長した端部材側位置決めガイド溝が形成されており、端
部材側位置決めガイド溝と前記チップ側位置決めガイド
溝によって導波路チップの両端側で挟まれて該チップ側
位置決めガイド溝の長手方向全長にわたって位置決め用
棒材が配設されていることを特徴とする光導波路装置。 - 【請求項2】 位置決め用棒材はガラス部材としたこと
を特徴とする請求項1記載の光導波路装置。 - 【請求項3】 ガラス部材は光ファイバであることを特
徴とする請求項2記載の光導波路装置。 - 【請求項4】 光ファイバはカーボンコートファイバで
あることを特徴とする請求項3記載の光導波路装置。 - 【請求項5】 光ファイバの配列ピッチが導波路コア部
の配列ピッチの整数倍であることを特徴とする請求項3
又は請求項4記載の光導波路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29031095A JP3256925B2 (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 光導波路装置 |
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