JPH0886762A - 試料に含まれる物質の同定方法および分布測定方法 - Google Patents
試料に含まれる物質の同定方法および分布測定方法Info
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- JPH0886762A JPH0886762A JP6248845A JP24884594A JPH0886762A JP H0886762 A JPH0886762 A JP H0886762A JP 6248845 A JP6248845 A JP 6248845A JP 24884594 A JP24884594 A JP 24884594A JP H0886762 A JPH0886762 A JP H0886762A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スペクトルの解析や元素同定を個々に行うこ
となく、試料の構成物質を直接的に同定し、分布測定す
ることができる新規で有用な試料に含まれる物質の同定
方法および分布測定方法を提供する。 【構成】 電子線４の走査を行い、２元素以上のＸ線の
画像を取り込む。これらの画像から作成される散布図上
に、材質が既知の試料を用いて計測されたＸ線強度から
散布図上の座標を求めプロットする。散布図上のデータ
とプロットとを対比することにより、試料に含まれる物
質の同定およびその分布を得る。
となく、試料の構成物質を直接的に同定し、分布測定す
ることができる新規で有用な試料に含まれる物質の同定
方法および分布測定方法を提供する。 【構成】 電子線４の走査を行い、２元素以上のＸ線の
画像を取り込む。これらの画像から作成される散布図上
に、材質が既知の試料を用いて計測されたＸ線強度から
散布図上の座標を求めプロットする。散布図上のデータ
とプロットとを対比することにより、試料に含まれる物
質の同定およびその分布を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば物質に電子線
またはＸ線を照射したときに発生する特性Ｘ線を分析す
るＸ線マイクロアナリシスの手法などを用いた試料に含
まれる物質の同定方法および分布測定方法に関する。
またはＸ線を照射したときに発生する特性Ｘ線を分析す
るＸ線マイクロアナリシスの手法などを用いた試料に含
まれる物質の同定方法および分布測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】複数の未知の物質から構成された試料を
Ｘ線マイクロアナライザを用いて分析する場合、従来に
おいては、個々の物質に電子線を照射し、計測されたＸ
線スペクトルを解析し、前記物質に含まれる元素の濃度
を求め、該当する材質を推定していた。例えば岩石試料
を分析する場合、図７に示すように、構成鉱物のひとつ
ひとつでスペクトル測定を行い、定性分析および定量分
析を行うことにより、含有元素の濃度を求め、その組成
に対応する鉱物の推定を行っていた。
Ｘ線マイクロアナライザを用いて分析する場合、従来に
おいては、個々の物質に電子線を照射し、計測されたＸ
線スペクトルを解析し、前記物質に含まれる元素の濃度
を求め、該当する材質を推定していた。例えば岩石試料
を分析する場合、図７に示すように、構成鉱物のひとつ
ひとつでスペクトル測定を行い、定性分析および定量分
析を行うことにより、含有元素の濃度を求め、その組成
に対応する鉱物の推定を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の手法においては、試料を構成する物質の数が多
くなるに伴って分析に要する時間が増大するといった欠
点がある。また、個々の物質の組成から該当する材質名
を同定する作業に際してかなりの知識と時間を要すると
いった問題がある。
た従来の手法においては、試料を構成する物質の数が多
くなるに伴って分析に要する時間が増大するといった欠
点がある。また、個々の物質の組成から該当する材質名
を同定する作業に際してかなりの知識と時間を要すると
いった問題がある。
【０００４】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、スペクトルの解析や元素同定を個々に行うこ
となく、試料の構成物質を直接的に物質の同定し、分布
測定することができる新規で有用な試料に含まれる物質
の同定方法および分布測定方法を提供することを目的と
している。
たもので、スペクトルの解析や元素同定を個々に行うこ
となく、試料の構成物質を直接的に物質の同定し、分布
測定することができる新規で有用な試料に含まれる物質
の同定方法および分布測定方法を提供することを目的と
している。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の試料に含まれる物質の同定方法は、試料
に対して電子線またはＸ線を走査しながら照射したとき
に生ずる特性Ｘ線の強度を元素ごとにメモリ内に記録
し、これに基づいて元素ごとの特性Ｘ線画像を作成し、
次いで、演算装置によって、前記特性Ｘ線画像に適宜の
係数を乗じて二以上の演算画像を形成し、これらの演算
画像における相関を示す散布図を演算装置によって作成
してこれを表示画面に表示するとともに、予め登録され
ている材質が既知のＸ線スペクトルに基づいて前記散布
図上に対応する座標を計算してその座標を散布図に重ね
てプロットし、散布図上のデータと前記プロットとを対
比し、これらが一致した場合、その材質が前記試料に含
まれると判定するようにしている。
め、この発明の試料に含まれる物質の同定方法は、試料
に対して電子線またはＸ線を走査しながら照射したとき
に生ずる特性Ｘ線の強度を元素ごとにメモリ内に記録
し、これに基づいて元素ごとの特性Ｘ線画像を作成し、
次いで、演算装置によって、前記特性Ｘ線画像に適宜の
係数を乗じて二以上の演算画像を形成し、これらの演算
画像における相関を示す散布図を演算装置によって作成
してこれを表示画面に表示するとともに、予め登録され
ている材質が既知のＸ線スペクトルに基づいて前記散布
図上に対応する座標を計算してその座標を散布図に重ね
てプロットし、散布図上のデータと前記プロットとを対
比し、これらが一致した場合、その材質が前記試料に含
まれると判定するようにしている。
【０００６】そして、この発明の試料に含まれる物質の
分布測定方法は、試料に対して電子線またはＸ線を走査
しながら照射したときに生ずる特性Ｘ線の強度を元素ご
とにメモリ内に記録し、これに基づいて元素ごとの特性
Ｘ線画像を作成し、次いで、演算装置によって、前記特
性Ｘ線画像に適宜の係数を乗じて二以上の演算画像を形
成し、これらの演算画像における相関を示す散布図を演
算装置によって作成してこれを表示画面に表示するとと
もに、予め登録されている材質が既知のＸ線スペクトル
に基づいて前記散布図上に対応する座標を計算してその
座標を散布図に重ねてプロットし、散布図上のデータと
前記プロットとを対比し、これらが一致した場合、その
材質が前記試料に含まれると判定し、さらに、存在する
と判定された材質のスペクトルの強度と前記元素ごとの
特性Ｘ線画像とを比較することにより、当該材質の存在
する部分を画面表示するようにしている。
分布測定方法は、試料に対して電子線またはＸ線を走査
しながら照射したときに生ずる特性Ｘ線の強度を元素ご
とにメモリ内に記録し、これに基づいて元素ごとの特性
Ｘ線画像を作成し、次いで、演算装置によって、前記特
性Ｘ線画像に適宜の係数を乗じて二以上の演算画像を形
成し、これらの演算画像における相関を示す散布図を演
算装置によって作成してこれを表示画面に表示するとと
もに、予め登録されている材質が既知のＸ線スペクトル
に基づいて前記散布図上に対応する座標を計算してその
座標を散布図に重ねてプロットし、散布図上のデータと
前記プロットとを対比し、これらが一致した場合、その
材質が前記試料に含まれると判定し、さらに、存在する
と判定された材質のスペクトルの強度と前記元素ごとの
特性Ｘ線画像とを比較することにより、当該材質の存在
する部分を画面表示するようにしている。
【０００７】上記いずれの方法においても、試料に対し
て電子線またはＸ線を照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線
を検出するのに代えて、試料に電子線を照射し、そのと
き生ずる特性電子線を検出したり（オージェ電子分光
法）、試料にイオンを照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線
を検出したり（粒子線励起Ｘ線分光法）、あるいは、試
料にイオンを照射し、そのとき生ずる特性イオンを検出
する（二次イオン質量分析法）ようにしてもよい。
て電子線またはＸ線を照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線
を検出するのに代えて、試料に電子線を照射し、そのと
き生ずる特性電子線を検出したり（オージェ電子分光
法）、試料にイオンを照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線
を検出したり（粒子線励起Ｘ線分光法）、あるいは、試
料にイオンを照射し、そのとき生ずる特性イオンを検出
する（二次イオン質量分析法）ようにしてもよい。
【０００８】
【作用】この発明によれば、同じ材質のものが試料の異
なる位置に多数存在していても、散布図上では一箇所に
対応するため、散布図上のデータと前記プロットとを対
比して試料中に材質が存在するか否かの判定を行う場
合、一つの材質について判定作業が１回で済む。従来
は、個々の位置ごとに判定を行う必要があり、それだ
け、時間を要していた。
なる位置に多数存在していても、散布図上では一箇所に
対応するため、散布図上のデータと前記プロットとを対
比して試料中に材質が存在するか否かの判定を行う場
合、一つの材質について判定作業が１回で済む。従来
は、個々の位置ごとに判定を行う必要があり、それだ
け、時間を要していた。
【０００９】そして、従来方法では、まず、元素の組成
を求め、次に該当する材質を、別の知識や情報に基づい
て推定しなければならないが、この発明では、これらの
中間的な過程が不要であり、時間や専門知識が不要にな
る。また、この発明によれば、試料中に含まれる材質の
同定と分布測定を同時に行なえる。
を求め、次に該当する材質を、別の知識や情報に基づい
て推定しなければならないが、この発明では、これらの
中間的な過程が不要であり、時間や専門知識が不要にな
る。また、この発明によれば、試料中に含まれる材質の
同定と分布測定を同時に行なえる。
【００１０】また、この発明によれば、特性Ｘ線画像に
適宜の係数を乗じて作成した演算画像を用いて散布図を
作成しているので、試料に含まれる物質に関連すると思
われる元素の特性Ｘ線画像を選択し、それを用いて散布
図を作成する必要がないので、時間や専門知識が不要に
なる。
適宜の係数を乗じて作成した演算画像を用いて散布図を
作成しているので、試料に含まれる物質に関連すると思
われる元素の特性Ｘ線画像を選択し、それを用いて散布
図を作成する必要がないので、時間や専門知識が不要に
なる。
【００１１】
【実施例】まず、この発明方法を説明する前に、この発
明方法で用いるＸ線マイクロアナライザの一例を、図１
を参照しながら説明する。図１において、１は鉄製の試
料室（図示してない）の内部上方に設けられる電子銃、
２はこの電子銃１から試料室の内部下方に配置された試
料３に向けて発せられる電子線４を二次元方向（互いに
直交するｘ方向とｙ方向）に走査する電子線走査コイル
である。そして、５は電子線走査コイル２を制御する電
子線走査回路、６は試料３を載置する試料ステージ（図
示してない）をｘ，ｙ方向とに移動させる試料移動ユニ
ットである。
明方法で用いるＸ線マイクロアナライザの一例を、図１
を参照しながら説明する。図１において、１は鉄製の試
料室（図示してない）の内部上方に設けられる電子銃、
２はこの電子銃１から試料室の内部下方に配置された試
料３に向けて発せられる電子線４を二次元方向（互いに
直交するｘ方向とｙ方向）に走査する電子線走査コイル
である。そして、５は電子線走査コイル２を制御する電
子線走査回路、６は試料３を載置する試料ステージ（図
示してない）をｘ，ｙ方向とに移動させる試料移動ユニ
ットである。
【００１２】７は電子線４が試料３に照射されたとき試
料３から放出される特性Ｘ線８を検出するＸ線検出器、
９はＸ線検出器７からの信号に基づいて個々の元素ごと
の特性Ｘ線８の数を計数する波高弁別器である。１０は
電子線走査回路５、試料移動ユニット６および波高弁別
器９をそれぞれ制御する走査制御ユニットである。ま
た、１１は画像メモリ、１２は演算装置、１３は表示装
置である。
料３から放出される特性Ｘ線８を検出するＸ線検出器、
９はＸ線検出器７からの信号に基づいて個々の元素ごと
の特性Ｘ線８の数を計数する波高弁別器である。１０は
電子線走査回路５、試料移動ユニット６および波高弁別
器９をそれぞれ制御する走査制御ユニットである。ま
た、１１は画像メモリ、１２は演算装置、１３は表示装
置である。
【００１３】次に、上記構成のＸ線マイクロアナライザ
を用いて、この発明の試料に含まれる物質の同定並びに
分布測定方法について、図２〜図６をも参照しながら詳
細に説明する。今、例えば試料３に４つの元素が含まれ
ているものとする。
を用いて、この発明の試料に含まれる物質の同定並びに
分布測定方法について、図２〜図６をも参照しながら詳
細に説明する。今、例えば試料３に４つの元素が含まれ
ているものとする。
【００１４】電子線４が試料３に照射されると、試料３
からＸ線８が放出される。このとき、走査制御ユニット
１０からの制御信号によって、電子線４または試料３の
位置をｘ，ｙ方向に移動させることによって、電子線４
を試料３に走査しながら照射する。
からＸ線８が放出される。このとき、走査制御ユニット
１０からの制御信号によって、電子線４または試料３の
位置をｘ，ｙ方向に移動させることによって、電子線４
を試料３に走査しながら照射する。
【００１５】前記試料３から放出された特性Ｘ線８は、
Ｘ線検出器７によって検出され、波高弁別器９におい
て、個々の元素ごとの特性Ｘ線８の数が計数される。電
子線４または試料３の位置の走査の座標（ｘ，ｙ）と元
素の種類に対応したアドレスを有する画像メモリ１１に
特性Ｘ線８の計数値を格納していくと、図２に示すよう
に、４つの元素にそれぞれ対応する４つの特性Ｘ線画像
１４−１，１４−２，１４−３，１４−４が得られる。
これらの特性Ｘ線画像１４−１〜１４−４において、濃
淡は、元素の分布度合いを示している。
Ｘ線検出器７によって検出され、波高弁別器９におい
て、個々の元素ごとの特性Ｘ線８の数が計数される。電
子線４または試料３の位置の走査の座標（ｘ，ｙ）と元
素の種類に対応したアドレスを有する画像メモリ１１に
特性Ｘ線８の計数値を格納していくと、図２に示すよう
に、４つの元素にそれぞれ対応する４つの特性Ｘ線画像
１４−１，１４−２，１４−３，１４−４が得られる。
これらの特性Ｘ線画像１４−１〜１４−４において、濃
淡は、元素の分布度合いを示している。
【００１６】次いで、上述のようにして得られた特性Ｘ
線画像１４−１，１４−２，１４−３，１４−４にそれ
ぞれ適当な組合せの係数を乗じた後、加算することによ
り、図３の左に示すような一つの演算画像１５−１を作
成する。そして、前記組合せの係数とは別の組合せの係
数を特性Ｘ線画像１４−１，１４−２，１４−３，１４
−４にそれぞれ乗じた後、加算することにより、図３の
右に示すようなもう一つの演算画像１５−２を作成す
る。前記演算を行うときの係数は、主成分分析法などの
多変量解析的な統計的手法により、もとの特性Ｘ線画像
１４−１〜１４−４から演算装置１２において算出され
る。
線画像１４−１，１４−２，１４−３，１４−４にそれ
ぞれ適当な組合せの係数を乗じた後、加算することによ
り、図３の左に示すような一つの演算画像１５−１を作
成する。そして、前記組合せの係数とは別の組合せの係
数を特性Ｘ線画像１４−１，１４−２，１４−３，１４
−４にそれぞれ乗じた後、加算することにより、図３の
右に示すようなもう一つの演算画像１５−２を作成す
る。前記演算を行うときの係数は、主成分分析法などの
多変量解析的な統計的手法により、もとの特性Ｘ線画像
１４−１〜１４−４から演算装置１２において算出され
る。
【００１７】そして、演算装置１２は、前記二つの演算
画像１５−１，１５−２の相関関係を示す散布図１６
（図４参照）を作成する。つまり、演算画像１５−１と
演算画像１５−２の同一の場所の値を読み取り、演算画
像１５−１の値を縦軸、演算画像１５−２の値を横軸と
する散布図１６の該当する座標に数値１を加える。以
下、同様にして、この作業を演算画像全面にわたって行
うと、散布図１６内に数値の大きな領域（島）四つ１７
−１，１７−２，１７−３，１７−４生ずる。この領域
１７−１〜１７−４の個数は、試料３に含まれる材質
（組成）の種類に対応し、個々の領域の数値の合計は、
対応する材質の面積を示している。
画像１５−１，１５−２の相関関係を示す散布図１６
（図４参照）を作成する。つまり、演算画像１５−１と
演算画像１５−２の同一の場所の値を読み取り、演算画
像１５−１の値を縦軸、演算画像１５−２の値を横軸と
する散布図１６の該当する座標に数値１を加える。以
下、同様にして、この作業を演算画像全面にわたって行
うと、散布図１６内に数値の大きな領域（島）四つ１７
−１，１７−２，１７−３，１７−４生ずる。この領域
１７−１〜１７−４の個数は、試料３に含まれる材質
（組成）の種類に対応し、個々の領域の数値の合計は、
対応する材質の面積を示している。
【００１８】一方、前記試料３に含まれている可能性の
ある材質のＸ線スペクトル（標準スペクトル）を予め測
定し、これをディスクなどに記録しておく。図５
（Ａ），（Ｂ）は、ある既知の２つの材質Ａ，Ｂの標準
スペクトル１８−１，１８−２の一例を示し、横軸はエ
ネルギー強度、縦軸はカウント数を示している。
ある材質のＸ線スペクトル（標準スペクトル）を予め測
定し、これをディスクなどに記録しておく。図５
（Ａ），（Ｂ）は、ある既知の２つの材質Ａ，Ｂの標準
スペクトル１８−１，１８−２の一例を示し、横軸はエ
ネルギー強度、縦軸はカウント数を示している。
【００１９】演算装置１２は、前記ディスクに記録され
ている標準スペクトルから特性Ｘ線画像１４−１〜１４
−４に対応する元素の特性Ｘ線強度を求め、前記演算画
像１５−１，１５−２を作成したときと同様の演算を行
い、散布図１６上の座標を求める。この場合、画像と標
準スペクトルとにおける測定時間、電子線４の電流の差
を補正するのが好ましい。
ている標準スペクトルから特性Ｘ線画像１４−１〜１４
−４に対応する元素の特性Ｘ線強度を求め、前記演算画
像１５−１，１５−２を作成したときと同様の演算を行
い、散布図１６上の座標を求める。この場合、画像と標
準スペクトルとにおける測定時間、電子線４の電流の差
を補正するのが好ましい。
【００２０】表示装置１３は、散布図１６の上に、前記
標準スペクトル１８−１，１８−２から計算された座標
に該当する位置に、適宜の記号、例えばａ，ｂをプロッ
トする。そして、散布図１６内の領域１７−１〜１７−
４と記号ａ，ｂとが重なるか否かを判定する。そして、
例えば一つの領域１７−１と一つの記号ａとが重なった
場合、そのスペクトルの材質Ａが試料３に存在すると判
断するのである。
標準スペクトル１８−１，１８−２から計算された座標
に該当する位置に、適宜の記号、例えばａ，ｂをプロッ
トする。そして、散布図１６内の領域１７−１〜１７−
４と記号ａ，ｂとが重なるか否かを判定する。そして、
例えば一つの領域１７−１と一つの記号ａとが重なった
場合、そのスペクトルの材質Ａが試料３に存在すると判
断するのである。
【００２１】そして、試料３中に存在すると判断された
材質Ａのスペクトルの強度と特性Ｘ線画像１４−１〜１
４−４とを演算装置１２が比べることによって、図６に
示すように、前記材質Ａが存在する部分を求め（斜線
部）、これを表示画面に表示するのである。
材質Ａのスペクトルの強度と特性Ｘ線画像１４−１〜１
４−４とを演算装置１２が比べることによって、図６に
示すように、前記材質Ａが存在する部分を求め（斜線
部）、これを表示画面に表示するのである。
【００２２】このように、この発明の物質の同定並びに
分布測定方法においては、同じ材質のものが試料３の異
なる位置に多数存在していても、散布図１６上では一箇
所に対応するため、散布図１６上のデータと前記プロッ
トとを対比して試料３中に材質が存在するか否かの判定
を行う場合、一つの材質について判定作業が１回で済む
とともに、元素の組成を求めたりする必要がなく、ま
た、特性Ｘ線画像に適宜の係数を乗じて作成した演算画
像を用いて散布図を作成しているので、試料に含まれる
物質に関連すると思われる元素の特性Ｘ線画像を選択
し、それを用いて散布図を作成する必要がないととも
に、別の知識や情報に基づいて組成の材質を推定したり
する必要がないため、専門的な知識がなくても短時間で
判定を行うことができる。そして、試料３中に含まれる
材質の同定と分布の測定を同時に行なえる。
分布測定方法においては、同じ材質のものが試料３の異
なる位置に多数存在していても、散布図１６上では一箇
所に対応するため、散布図１６上のデータと前記プロッ
トとを対比して試料３中に材質が存在するか否かの判定
を行う場合、一つの材質について判定作業が１回で済む
とともに、元素の組成を求めたりする必要がなく、ま
た、特性Ｘ線画像に適宜の係数を乗じて作成した演算画
像を用いて散布図を作成しているので、試料に含まれる
物質に関連すると思われる元素の特性Ｘ線画像を選択
し、それを用いて散布図を作成する必要がないととも
に、別の知識や情報に基づいて組成の材質を推定したり
する必要がないため、専門的な知識がなくても短時間で
判定を行うことができる。そして、試料３中に含まれる
材質の同定と分布の測定を同時に行なえる。
【００２３】上述の実施例では、Ｘ線の励起源として電
子線４を用いているが、これに代えて、Ｘ線を用いるよ
うにしてもよい。また、Ｘ線検出器７と波高弁別器９と
の組合せに代えて、Ｘ線分光器とＸ線検出器とシングル
チャンネルアナライザとを組み合わせるようにしてもよ
い。
子線４を用いているが、これに代えて、Ｘ線を用いるよ
うにしてもよい。また、Ｘ線検出器７と波高弁別器９と
の組合せに代えて、Ｘ線分光器とＸ線検出器とシングル
チャンネルアナライザとを組み合わせるようにしてもよ
い。
【００２４】また、この発明は、試料３に対して電子線
またはＸ線を照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線８を検出
する場合に限られるのではなく、次のようにしてもよ
い。すなわち、試料３に電子線を照射し、そのとき生ず
る特性電子線を検出する（オージェ電子分光法）ように
してもよく、この場合、特性電子線の検出には、Ｘ線検
出器７と波高弁別器９の組合せに代えて、例えばエネル
ギー分析器とチャンネルトロンが用いられる。そして、
試料３にイオンを照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線を検
出する（粒子線励起Ｘ線分光法）ようにしてもよく、こ
の場合、特性Ｘ線の検出には、Ｘ線検出器７と波高弁別
器９が用いられる。さらに、試料３にイオンを照射し、
そのとき生ずる特性イオンを検出する（二次イオン質量
分析法）ようにしてもよく、この場合、特性イオンを検
出には、質量分析装置が用いられる。これらいずれの場
合も、その画像処理や演算処理は、上述した実施例に準
じて行うようにすればよい。
またはＸ線を照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線８を検出
する場合に限られるのではなく、次のようにしてもよ
い。すなわち、試料３に電子線を照射し、そのとき生ず
る特性電子線を検出する（オージェ電子分光法）ように
してもよく、この場合、特性電子線の検出には、Ｘ線検
出器７と波高弁別器９の組合せに代えて、例えばエネル
ギー分析器とチャンネルトロンが用いられる。そして、
試料３にイオンを照射し、そのとき生ずる特性Ｘ線を検
出する（粒子線励起Ｘ線分光法）ようにしてもよく、こ
の場合、特性Ｘ線の検出には、Ｘ線検出器７と波高弁別
器９が用いられる。さらに、試料３にイオンを照射し、
そのとき生ずる特性イオンを検出する（二次イオン質量
分析法）ようにしてもよく、この場合、特性イオンを検
出には、質量分析装置が用いられる。これらいずれの場
合も、その画像処理や演算処理は、上述した実施例に準
じて行うようにすればよい。
【００２５】さらに、上述の実施例においては、二つの
演算画像を作成し、これらを用いて二次の相関を示す散
布図を作成していたが、三つの演算画像を作成し、これ
らを用いて三次の相関を示す散布図を作成して物質の同
定を行うようにしてもよい。
演算画像を作成し、これらを用いて二次の相関を示す散
布図を作成していたが、三つの演算画像を作成し、これ
らを用いて三次の相関を示す散布図を作成して物質の同
定を行うようにしてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、スペクトルの解析や元素同定を個々に行うことな
く、試料の構成物質を直接的に物質の同定し、分布の測
定を容易に行うことができる。
ば、スペクトルの解析や元素同定を個々に行うことな
く、試料の構成物質を直接的に物質の同定し、分布の測
定を容易に行うことができる。
【図１】この発明方法で用いる装置の一例を概略的に示
す図である。
す図である。
【図２】特性Ｘ線画像の一例を示す図である。
【図３】特性Ｘ線画像を処理して得られる演算画像の一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図４】演算画像を処理して得られる散布図の一例を示
す図である。
す図である。
【図５】標準スペクトルの一例を示す図である。
【図６】同定および分布測定の結果得られたある材質の
分布を表す図である。
分布を表す図である。
【図７】従来方法を説明するための図である。
３…試料、４…電子線、８…特性Ｘ線、１１…メモリ、
１２…演算装置。
１２…演算装置。
Claims (4)
- 【請求項１】 試料に対して電子線またはＸ線を走査し
ながら照射したときに生ずる特性Ｘ線の強度を元素ごと
にメモリ内に記録し、これに基づいて元素ごとの特性Ｘ
線画像を作成し、次いで、演算装置によって、前記特性
Ｘ線画像に適宜の係数を乗じて二以上の演算画像を形成
し、これらの演算画像における相関を示す散布図を演算
装置によって作成してこれを表示画面に表示するととも
に、予め登録されている材質が既知のＸ線スペクトルに
基づいて前記散布図上に対応する座標を計算してその座
標を散布図に重ねてプロットし、散布図上のデータと前
記プロットとを対比し、これらが一致した場合、その材
質が前記試料に含まれると判定することを特徴とする試
料に含まれる物質の同定方法。 - 【請求項２】 試料に対して電子線またはＸ線を走査し
ながら照射したときに生ずる特性Ｘ線の強度を元素ごと
にメモリ内に記録し、これに基づいて元素ごとの特性Ｘ
線画像を作成し、次いで、演算装置によって、前記特性
Ｘ線画像に適宜の係数を乗じて二以上の演算画像を形成
し、これらの演算画像における相関を示す散布図を演算
装置によって作成してこれを表示画面に表示するととも
に、予め登録されている材質が既知のＸ線スペクトルに
基づいて前記散布図上に対応する座標を計算してその座
標を散布図に重ねてプロットし、散布図上のデータと前
記プロットとを対比し、これらが一致した場合、その材
質が前記試料に含まれると判定し、さらに、存在すると
判定された材質のスペクトルの強度と前記元素ごとの特
性Ｘ線画像とを比較することにより、当該材質の存在す
る部分を画面表示するようにしたことを特徴とする試料
に含まれる物質の分布測定方法。 - 【請求項３】 試料に対して電子線またはイオンを走査
しながら照射したときに生ずる特性電子線、特性Ｘ線ま
たは特性イオンの強度を元素ごとにメモリ内に記録し、
これに基づいて元素ごとの特性画像を作成し、次いで、
演算装置によって、前記特性画像に適宜の係数を乗じて
二以上の演算画像を形成し、これらの演算画像における
相関を示す散布図を演算装置によって作成してこれを表
示画面に表示するとともに、予め登録されている材質が
既知のスペクトルに基づいて前記散布図上に対応する座
標を計算してその座標を散布図に重ねてプロットし、散
布図上のデータと前記プロットとを対比し、これらが一
致した場合、その材質が前記試料に含まれると判定する
ことを特徴とする試料に含まれる物質の同定方法。 - 【請求項４】 試料に対して電子線またはイオンを走査
しながら照射したときに生ずる特性電子線、特性Ｘ線ま
たは特性イオンの強度を元素ごとにメモリ内に記録し、
これに基づいて元素ごとの特性画像を作成し、次いで、
演算装置によって、前記特性画像に適宜の係数を乗じて
二以上の演算画像を形成し、これらの演算画像における
相関を示す散布図を演算装置によって作成してこれを表
示画面に表示するとともに、予め登録されている材質が
既知のスペクトルに基づいて前記散布図上に対応する座
標を計算してその座標を散布図に重ねてプロットし、散
布図上のデータと前記プロットとを対比し、これらが一
致した場合、その材質が前記試料に含まれると判定し、
さらに、存在すると判定された材質のスペクトルの強度
と前記元素ごとの特性画像とを比較することにより、当
該材質の存在する部分を画面表示するようにしたことを
特徴とする試料に含まれる物質の分布測定方法。
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