JPH0884005A - 空洞内のスロットを通るストリップラインあるいはマイクロストリップの層間の相互接続 - Google Patents

空洞内のスロットを通るストリップラインあるいはマイクロストリップの層間の相互接続

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JPH0884005A
JPH0884005A JP7048416A JP4841695A JPH0884005A JP H0884005 A JPH0884005 A JP H0884005A JP 7048416 A JP7048416 A JP 7048416A JP 4841695 A JP4841695 A JP 4841695A JP H0884005 A JPH0884005 A JP H0884005A
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    • HELECTRICITY
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    • H01P3/121Hollow waveguides integrated in a substrate

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  • Waveguides (AREA)
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  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、多層マイクロ波集積回路における
異なる層の導体間の廉価で、容易で、分解可能な相互接
続を提供することを目的とする。 【構成】 第1および第2の導体60, 62をそれぞれ支持
している第1および第2の層52, 54間に配置された接地
面56と、この接地面56中に形成され、第1および第2の
導体60, 62に対して横断方向に延在している中間部分64
A を有する結合スロット64とを具備し、この結合スロッ
ト64を介して2つの導体60, 62間で電磁結合により相互
接続が行われることを特徴とする。相互接続部分の周囲
は不所望な伝送モードへの結合の形成を防ぐために導電
性の金属で被覆されて空洞を形成している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多層マイクロ波集積回
路の2つの異なる層の間の2つのストリップラインある
いはマイクロストリップ伝送ラインの相互接続に関す
る。
【0002】
【従来の技術】マイクロ波伝送ラインの多層は、一般
に、マイクロ波回路の寸法を減少し、その性能を改良す
るために使用されている。小型のマイクロ波集積回路
(MMIC)パッケージは、一般にこのような多層技術
を使用する。
【0003】通常、層間の相互接続は、直接的な接触、
すなわちメッキされたスルーホールにおける層間に延在
し、層における伝送ライン導体にはんだ付けされている
フィードスルーピンによって達成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような相互接続
は、比較的製造が難しく、費用がかかる。さらに、ピン
が適切な場所にはんだ付けされると、層の分解ははんだ
接続が破壊される、すなわち分解されることを必要とす
る。これは、故障の修理あるいは装置の試験の難しさを
顕著に増大する。
【0005】さらに容易に分解することができる多層装
置を提供する企図において、異なる層上のマイクロ波回
路間の相互接続は、層間に延在している小型のベロー相
互接続素子とのプレスコンタクトによって達成される。
このようなベロー素子は導体にはんだ付けされていない
ので、層は修理あるいは試験のためにさらに容易に分解
されることができる。ベローあるいはベローが接触され
る導体の接触表面が汚れている場合、相互接続の有効性
は妨害される。
【0006】
【課題を解決するための手段】多層マイクロ波回路にお
ける、第1および第2の異なる層における第1および第
2のマイクロ波回路導体間の電磁結合相互接続が説明さ
れている。相互接続は第1および第2の層の間に配置さ
れた接地面、および2つの導体間の接地面に定められた
結合スロットを具備する。スロットは、第1および第2
の導体を横断して延在している中間部分を有する。有効
なエネルギ結合のため、スロットは動作周波数の半波長
に等しい実効電気的長さを有する。結合領域を保持する
ため、スロットは実質上U型であり、アーム部分はスロ
ット中間部分に実質上垂直に配置される。
【0007】相互接続はさらに、相互接続領域を囲うた
めの容器を定める空洞を含む。これは、空洞モードある
いは不所望の伝送ラインモードの好ましくない伝播を阻
止する。
【0008】
【実施例】本発明は、直接的な接触の代りの相互接続の
ための電磁結合に関する。ストリップラインあるいはマ
イクロストリップラインは、導体およびその接地面の両
方における電流を支持する。スロットが接地面中に形成
される場合、接地面電流はスロットによって乱される。
この結果として、マイクロ波エネルギはスロットに結合
され、スロットは励起される。別の第2のストリップラ
イン導体が第1のストリップライン導体と共通の接地面
の反対側に位置される場合、マイクロ波エネルギは1つ
の層における1つのストリップラインから別の層におけ
る別のストリップラインに結合する。本発明は、異なる
層における伝送ライン間の相互接続に対してこの特性の
利点を与える。しかしながら、励起されたスロットは多
くの異なる伝送ライン(例として、並列伝送ラインモー
ド)を認める。別の伝送ラインモードである並列プレー
トTEMモードへの不所望な結合を除去するため、結合
スロットは、実質上、隣接した層間の接地面と隣接した
層間に延在している金属被覆された側面によって定めら
れた空洞によって囲われる。空洞の寸法は、空洞モード
が存在しないほど十分に小さく(自由空間波長の0.6
×0.6)すべきである。空洞モードは、常に不所望の
余分な損失を加える。
【0009】有効な結合スロットは、中間帯域周波数の
半分の波長でなければならず、かなり大きい空間を得
る。空洞の寸法を減少させるため、U型のスロットが使
用される。U型のスロットは、さらに小さいスロット領
域において同じ有効な電気的長さを供給する。懸架され
たエアストリップラインに対して空洞の寸法は自由空間
波長の0.5×0.5の面積より小さく減少させること
ができる。誘電体負荷されたストリップライン(例え
ば、MMIC回路用の窒化アルミニウム基板)に関し
て、空洞の寸法は自由空間波長の0.17×0.17よ
りさらに小さく減少されることができる。
【0010】懸架されたエアストリップライン間の相互
接続 図1および2は、懸架されたストリップラインが相互接
続されている本発明の第1の例示的な実施例を示す。図
1は組立てられた形態の相互接続を示し、図2は部分的
に分解された形態の相互接続を示す。図示された実施例
において、誘電体基板52および54は、エアギャップ58お
よび59を形成するために接地面層56の片側の空間中に懸
架されている。中央導体60および62は基板52および54の
対向する表面上で定められ、導体60が導体62の真っ直ぐ
上に配置されるように整列された関係で配置されてい
る。各エアギャップ66および68は、基板52と上部接地面
72との間、および基板54と下部接地面74との間で定めら
れる。
【0011】本発明によれば、U型のスロット64は接地
面層56において定められる。スロット中間部64Aは、懸
架されたエアストリップライン60と62の間を横断して配
置される。スロットのアーム部分64Bおよび64Cは中間
部64Aに対して直角であり、懸架されたエアストリップ
ライン60および62に平行である。当然、直線結合スロッ
トは、アーム部分を簡単に「真っ直ぐにする」ことによ
って代りに使用されることができるが、懸架されたエア
ストリップラインの片側の長さの増加は相互接続の寸法
を増大させる。
【0012】他の伝送ラインへの不所望な結合を除去す
るため、導電性の空洞76および78は接地面56の片側の結
合スロット64を覆う。導電性の壁70A乃至70Dは、導電
性の上部および下部接地面72および74と共に実質上基板
52および54に垂直に結合スロット64を取囲んで延在し、
上部および下部空洞76および78を定める。壁70Eは、導
体60および62が相互接続領域に入ることを可能にする開
口部70Eを含む。空洞76は中央導体60を含んでいる上部
エアストリップラインを囲い、空洞78は中央導体62を含
んでいる下部エアストリップラインを囲う。
【0013】8.4乃至11.6Ghzの周波数帯域で
相互接続を行う特定の適用において、相互接続50の様々
な素子は以下の寸法を有する。基板52および54は厚さ
0.015インチのデュロイドから形成され、0.06
1インチのエアギャップ58および59によって接地面から
それぞれ間隔が隔てられている。中央導体60および62の
ストリップの幅は0.180インチである。スロット64
は、0.06インチの幅を有する。アーム64Bおよび64
Cの各外縁部は、0.52インチである。空洞76および
78を含んでいる空洞70は、0.58インチ×0.58イ
ンチ×0.173インチである。小さな開口部は、スト
リップライン60および62が短くすることなく空洞に入る
ことを可能にするために空洞壁70B中に形成される。開
口部は、0.25インチ×.173インチの典型的な寸
法を有する。
【0014】導電性の負荷されたストリップライン間の
相互接続 誘電体負荷されたストリップラインの層間の相互接続が
図1および2に示された懸架されたエアストリップライ
ン相互接続に非常に類似した方法で形成されることは理
解されるであろう。エアギャップ58、59、66および68を
エアギャップより薄い誘電体負荷層と置換することは必
要である。これは、転移の厚さをさらに減少する。この
ような相互接続は図3に示されており、誘電体基板58'
、59' 、66' および68' はエアギャップに置換され
る。他の点において、相互接続50' は図1および2の相
互接続50に類似している。それ故、ストリップライン入
力および出力ポートの開口部70E' を除いて、相互接続
の全ての側面が金属被覆されている。
【0015】マイクロストリップライン層間の相互接続 本発明は、図4の相互接続100 によって示されたよう
に、マイクロストリップラインの層に隣接して電磁的に
相互接続するために使用される。この実施例では中央接
地面102 は、上部および下部誘電体基板104 および106
間に挟まれている。マイクロストリップ導体108 および
110 は、基板104 および106 の対向面と反対側の表面上
に形成されている。U型の結合スロット116 は、中央接
地面102 において形成される。エアギャップ112 および
114 は、各基板104 および106 と上部接地面118 および
下部接地面120 との間に形成されている。上部および下
部空洞は、中央接地面102 および導電性の側壁122 A乃
至122 Dと組合わされた上部および下部接地面118 およ
び120 によって形成される。開口部122 Eは、開口部を
マイクロストリップ入力および出力ポートに供給するた
めに壁122 Bに形成される。
【0016】空洞の形成 多層マイクロ波回路装置に空洞を形成する多くの技術が
知られている。例えば、図1および2の空洞壁70A乃至
70Dは、連続的な壁部材を必要とせず、異なる基板およ
び接地面層において形成され、導電性のピンを通してメ
ッキされ、または接続される一連の整列された穴によっ
て定められることもできる。図5は、複数のメッキされ
たスルーホール90が空洞側壁を定めるこのような形成技
術を示す。その代りに、多層装置において、基板194 お
よび196 は図6に示されたように空洞を取囲んで切り抜
かれ、側壁がメッキされることもできる。大きな開口部
92は空洞の外形を取囲んで切り抜かれ、誘電体負荷され
たストリップラインの結果的な壁は空洞側壁を形成する
ためにメッキされる。エアストリップライン相互接続に
おける空洞を形成するための別の技術は図7に示されて
おり、上部および下部金属板または金属メッキ被覆150
および152 は結合スロットを含んでいる共通接地面を定
める中間金属部材154 を間に挟む。誘電体基板層156 お
よび158 は、ストリップライン導体160 および162 を支
持する。U型の結合スロットは、中間金属部材154 の薄
い部分164 に位置される。
【0017】図8は、隣接したマイクロストリップライ
ンを相互接続するために相互接続において空洞導電壁を
形成するための1技術を示す。相互接続180 は、マイク
ロストリップ導体188 、190 を支持する誘電体基板184
、186 に挟まれた結合スロットが形成される中央接地
面182 を含む。メッキされたスルーホール192 は、マイ
クロストリップラインおよび空洞の境界付近にチャンネ
ル化するために使用される。切抜きは、上部および下部
エアギャップを定めるために上部および下部基板194 お
よび196 に形成される。基板194 および196 の結果的な
内壁はメッキされ、種々の層が共に接着される。上部お
よび下部導電性被覆(図示されていない)は、導電性の
空洞を完成するために付加される。
【0018】ストリップラインとマイクロストリップラ
インとの間の相互接続 本発明は、異なるタイプの伝送ライン間の相互接続を可
能にする。図9は、誘電体負荷されたストリップライン
とマイクロストリップラインとの間の相互接続200 を示
す。中央接地面202 には結合スロット216 が形成され、
誘電体基板204と206 との間に挟まれている。ストリッ
プライン導体208 およびマイクロストリップライン導体
210 は、整列された関係において基板201 および206 の
対向面と反対側の表面上に形成されている。ストリップ
ライン負荷誘電体基板212 は、基板201 と上部接地面21
4 との間に配置されている。下部接地面218 は、マイク
ロストリップラインエアギャップ220 を定めるために基
板206 の下部表面から間隔が隔てられている。側壁224
A乃至Dは、空洞壁を定めるために導電性である。
【0019】図10は、懸架されたエアストリップライ
ンとマイクロストリップラインとの間の相互接続250 を
示す。中央接地面252 は、そこにU型の結合スロット26
0 を形成されている。マイクロストリップライン誘電体
基板254 は接地面252 の下部表面に隣接しており、その
下部表面にマイクロストリップ導体260 が形成されてい
る。ストリップライン誘電体基板256 は、エアギャップ
262 によって接地面の上部表面から間隔が隔てられ、ス
トリップライン導体258 の下部表面に形成されている。
エアギャップ270 は、基板256 から上部接地面264 を分
離する。同様にエアギャップ266 は下部接地面268 とマ
イクロストリップ基体254 を分離する。導電性の側壁27
2 A乃至Dは、上部および下部空洞を完成する。
【0020】ミサイルRFプロセッサへの適用 本発明による相互接続の1実施例は、図11乃至13に
示されたようなミサイルレーダプロセッサにおけるもの
である。ミサイル300 は、RFシェルフ312 、IFシェ
ルフ314 およびベースバンドシェルフ316 を含むRFプ
ロセッサ310 を含む。空洞内のスロットを介する本発明
による例示的な相互接続は、RFシェルフにおけるスト
リップライン318 とIFシェルフにおけるストリップラ
イン320との間に形成される。
【0021】上記実施例が、単に本発明の原理を表す可
能な特定の実施例を示すものであることを理解すべきで
ある。その他の構成は、本発明の技術的範囲から逸脱す
ることなしに当業者によってこれらの原理により容易に
工夫されることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による異なる層におけるエアストリップ
ライン回路導体間の電磁結合相互接続を使用している多
層マイクロ波回路の一部分の斜視図。
【図2】図1の回路の部分的分解図。
【図3】本発明による異なる層における誘電体負荷され
たストリップライン間の相互接続を示す図。
【図4】多層マイクロ波回路の隣接した層におけるマイ
クロストリップライン間の本発明を実施している相互接
続を示す図。
【図5】本発明による結合スロットを囲う導電性の空洞
を形成する構造技術の説明図。
【図6】本発明による結合スロットを囲う導電性の空洞
を形成する構造技術を示す図。
【図7】本発明による結合スロットを囲う導電性の空洞
を形成する構造技術を示す図。
【図8】本発明による結合スロットを囲う導電性の空洞
を形成する構造技術を示す図。
【図9】本発明による多層回路の隣接した層における誘
電体負荷されたストリップラインとマイクロ波ストリッ
プラインとの間の例示的な相互接続を示す図。
【図10】本発明による多層の隣接した層におけるエア
ストリップラインとマイクロ波ストリップラインとの間
の例示的な相互接続を示す図。
【図11】ミサイルに搭載されたRFプロセッサの異な
る層上の伝送ラインを相互接続させるためにこの相互接
続の発明の例示的な適用を示す概略図。
【図12】ミサイルに搭載されたRFプロセッサの異な
る層上の伝送ラインを相互接続させるためにこの相互接
続の発明の例示的な適用を示す概略図。
【図13】ミサイルに搭載されたRFプロセッサの異な
る層上の伝送ラインを相互接続させるためにこの相互接
続の発明の例示的な適用を示す概略図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/822 H01P 3/08

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電磁結合相互接続が回路の第1および第
    2の異なる層における第1および第2のマイクロ波回路
    導体間のマイクロ波周波数で作用する多層マイクロ波集
    積回路における相互接続において、 前記第1および第2の層間に配置された接地面と、前記
    接地面中に形成され、前記第1および第2の導体を実質
    上横断して延在している中間部分を有する結合スロット
    とを具備している相互接続。
  2. 【請求項2】 前記スロットが、動作周波数の半波長に
    等しい実効的な電気的長さを有する請求項1記載の相互
    接続。
  3. 【請求項3】 前記スロットが実質上U型であり、アー
    ム部分が前記中間部分に対して実質上垂直に配置されて
    いる請求項1記載の相互接続。
  4. 【請求項4】 前記スロットが、動作周波数の半波長に
    等しい実効的な電気的長さを有する請求項3記載の相互
    接続。
  5. 【請求項5】 前記第1および第2の導体が結合領域で
    互いに重なり、前記スロットが前記導体間の前記接地面
    に形成されている請求項4記載の相互接続。
  6. 【請求項6】 前記第1の導体が第1の誘電体基板の第
    1の表面上に形成されたマイクロストリップ導体を具備
    し、前記第2の導体が第2の誘電体基板の第2の表面上
    に形成されたマイクロストリップ導体を具備し、前記第
    1の表面が前記第2の表面と反対の方向に面し、前記第
    1および第2の誘電体基板が前記接地面を挟み、前記相
    互接続が前記第1および第2の層上の前記ストリップ導
    体間の電磁結合を行う請求項1記載の相互接続。
  7. 【請求項7】 前記第1の導体が第1の誘電体表面に形
    成された第1のストリップライン導体を具備し、前記第
    2の導体が第2の誘電体表面に形成された第2のストリ
    ップライン導体を具備し、前記導体が前記接地面から間
    隔を隔てられている請求項1記載の相互接続。
  8. 【請求項8】 前記第1の導体を有する前記第1の誘電
    体表面と前記接地面との間、および前記第2の導体を有
    する前記第2の誘電体表面と前記接地面との間の誘電体
    負荷をさらに具備している請求項7記載の相互接続。
  9. 【請求項9】 不所望な伝送モードへの結合の形成を防
    ぐために前記相互接続を囲んでいる導電性の空洞壁画定
    手段をさらに具備している請求項1記載の相互接続。
  10. 【請求項10】 前記第1のマイクロ波回路導体がマイ
    クロストリップライン導体であり、前記第2のマイクロ
    波回路導体がストリップライン導体である請求項1記載
    の相互接続。
  11. 【請求項11】 電磁結合相互接続が回路の第1および
    第2の異なる層における第1および第2のマイクロ波回
    路導体間のマイクロ波周波数で作用する多層マイクロ波
    集積回路における相互接続において、 前記第1および第2の層間に配置された第1の接地面
    と、 前記接地面に形成され、前記第1および第2の導体を実
    質上横断して延在している中間部分を有している結合ス
    ロットと、 不所望な伝送モードへの結合の形成を阻止するために前
    記結合スロットと、前記第1および第2のマイクロ波回
    路導体を囲んでいる空洞画定導電性壁とを具備している
    多層マイクロ波集積回路。
  12. 【請求項12】 前記スロットが、動作周波数の半分の
    波長に等しい実効的な電気的長さを有する請求項11記
    載の相互接続。
  13. 【請求項13】 前記スロットが実質上U型であり、ア
    ーム部分が実質上前記中間部分に対して垂直に配置され
    ている請求項11記載の相互接続。
  14. 【請求項14】 前記スロットが、動作周波数の半波長
    に等しい実効的な電気的長さを有する請求項13記載の
    相互接続。
  15. 【請求項15】 前記第1および第2の導体が結合領域
    で互いに重なり、前記スロットが前記導体間の前記接地
    面に形成されている請求項14記載の相互接続。
  16. 【請求項16】 前記第1の導体が第1の誘電体基板の
    第1の表面上に形成された第1のストリップライン導体
    を具備し、前記相2の導体が第2の誘電体基板の第2の
    表面上に形成された第2のストリップライン導体を具備
    し、前記第1および第2の表面が互いに面し、エアギャ
    ップが前記第1の基板の前記第1の表面と前記接地面と
    の間、および前記第2の基板の前記第1の表面と前記接
    地面との間で定められ、前記相互接続が前記第1および
    第2の層上のストリップライン導体間の電磁結合を行う
    請求項11記載の相互接続。
  17. 【請求項17】 前記空洞画定手段が、前記第1の接地
    面から間隔を隔てて前記第1の誘電体基板の反対側に配
    置された第2の接地面と、前記第1の接地面から間隔を
    隔てて前記第2の誘電体基板の反対側に配置された第3
    の接地面とを具備する請求項14記載の相互接続。
  18. 【請求項18】 前記空洞画定手段が、実質上前記第1
    の接地面の片側に前記結合スロットを取囲んでいる空間
    を囲んでいる導電性の側壁を含む請求項17記載の相互
    接続。
  19. 【請求項19】 前記第2の導体を有する前記第1の誘
    電体表面と前記接地面との間、および前記第2の導体を
    有する前記第2の誘電体表面と前記接地面との間にさら
    に誘電体負荷を具備している請求項18記載の相互接
    続。
  20. 【請求項20】 前記空洞囲壁が、空洞伝播モードの形
    成を阻止するために十分に小さく形成されている請求項
    11記載の相互接続。
  21. 【請求項21】 前記空洞囲壁が、動作波長の自由空間
    波長の0.6×0.6のより小さい請求項20記載の相
    互接続。
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