JPH0850070A - 差圧伝送器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は差圧伝送器およびダイアフラムリプレ
ーサ型の差圧伝送器に関する。 【構成】測定流体受圧は単一部品からなる受圧部材のシ
ールダイアフラム取付け穴部と栓で形成され、シールダ
イアフラムは受圧部の両端に平行に取り付ける過負荷保
護ダイアフラムとセンサ部組はシールダイアフラムと直
角方向に設け、第一の受圧室と隔離室，半導体センサは
導通路により連絡している。同様に第二の受圧室と第二
の隔離室，半導体センサも導通路により連通している。
過負荷保護ダイアフラムはその運動支点部を固定金具に
より押し付けられ、固定金具は受圧部材に強固に接合さ
れる。また、受圧部材内にダイアフラムリプレーサのダ
イアフラムからの圧力が直接加わる圧力室を第一，第二
のシールダイアフラムの対向面に設ける。 【効果】プロセスの静圧が変化した場合でも、その歪が
センターダイアフラムに伝わらないので零点変化がな
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は差圧伝送器に係り、特に
センターダイアフラムの零点の変化と受圧構成部材の変
形を防ぎ差圧を正確に検出する差圧伝送器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の差圧伝送器の受圧部構造は、一般
的には、特開昭60−185131号公報（図２参照）に記載さ
れたように、圧力受圧部材は本体Ｈ，本体Ｌの二つの部
品で構成され、本体Ｈの片面にはシールダイアフラム
が、もう一方の面にはセンサ部とセンターダイアフラム
が固定されている。

【０００３】本体Ｌの片面にもシールダイアフラムが固
定され、もう一方の面は本体Ｈのセンターダイアフラム
を押し付けるように、本体Ｈと本体Ｌを重ね外周を溶接
する。また本体Ｈ，Ｌで構成された本体の両側に、第
一，第二の流体を受圧するシールダイアフラムによって
形成された第一，第二の受圧室を構成し、そして本体
Ｈ，センサ部組，センターダイアフラム，本体Ｌによっ
て第一，第二の隔離室を設け、さらに第一の受圧部と第
一の隔離室をつなぐ導圧路，第一の隔離室と半導体差圧
センサをつなぐ導圧路，第二の受圧室と第二の隔離室を
つなぐ導圧路，第二の隔離室と半導体差圧センサをつな
ぐ導圧路を構成している。

【０００４】これら第一の受圧室，第一の隔離室，半導
体差圧センサ、これらをつなぐ導圧路内には封入液が充
填されている。同様に第二の受圧室，第二の隔離室，半
導体圧差圧センサ、これらをつなぐ導圧路内にも封入液
が充填され、圧力が半導体差圧センサに伝達される構造
になっていた。

【０００５】そして従来の差圧伝送器は、シールダイア
フラムに対向した場所にフランジを取り付け、本体Ｈ，
Ｌとフランジをボルト，ナットにより締付固定すること
により、プロセス流体からの圧力をそれぞれの受圧室に
伝達するようになっていた。そして、差圧伝送器の保守
においては、圧力受圧部材の両側に接合された第一，第
二のシールダイアフラムの点検を行うために圧力受圧部
材とフランジを締め付けているボルトを緩め、圧力受圧
部材を取り出してからシールダイアフラムの点検を行っ
ていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の差圧伝送器の受
圧部においては、本体部材は本体Ｈと本体Ｌで構成さ
れ、センターダイアフラムをはさみ込んで本体Ｈと本体
Ｌを溶接し固定している。したがってセンターダイアフ
ラムは、本体Ｈと本体Ｌの溶接による押し付け力によっ
て形状および位置が決定される。

【０００７】なお、測定流体受圧室は、本体Ｈ，Ｌを２
個のフランジで両側よりはさみ込み、ボルト，ナットに
よって締付固定され、形成される。このフランジの締付
力は、本体Ｈと本体Ｌを両端より押し付けるため、セン
ターダイアフラムの形状および位置に影響し、さらにこ
のフランジの締付力は、第一，第二の測定流体受圧室に
静圧が加わった場合にもその圧力に応じて変化してしま
っていた。

【０００８】このように、本体Ｈと本体Ｌの溶接，フラ
ンジの締付力がセンターダイアフラムの形状と位置を変
える大きな要因となっており、また、圧力負荷時に本体
部材の変形により、内部に充填された封入液の移動をも
たらし、シールダイアフラムを変形させこの影響が零点
の変化となって表われ、正確な差圧測定の障害となって
いた。

【０００９】差圧伝送器の保守においては、圧力受圧部
材とフランジを分離し、その後圧力受圧部材を取り出し
てから、シールダイアフラムの点検を行っていたため作
業が困難であった。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の差圧伝送器においては、センターダイアフ
ラムを本体部材に設ける際に、第一，第二のシールダイ
アフラムの圧力受圧方向に対して、このセンターダイア
フラムの圧力の受圧方向が異なるように設けるように
し、センターダイアフラムの支点部分を受圧部部材にて
押し付ける構成とし、さらに、この受圧部材を強固に受
圧部の本体部材に接合するもである。

【００１１】また本発明の差圧伝送器においては、セン
ターダイアフラムの圧力受圧方向を挟んで、第一，第二
のシールダイアフラムで作られる第一，第二の受圧室を
設け、これらの受圧室とセンターダイアフラムにより作
られた第一，第二の隔離室とを導圧路を結んだものであ
る。

【００１２】さらに、受圧室を構成する本体部材で、測
定流体をシールダイアフラムに受圧させる測定流体受圧
室を構成し、この測定流体受圧室にプロセス配管と直接
つながる開口部を設けたものである。

【００１３】

【作用】以下、本発明の差圧伝送器の作用を従来の差圧
伝送器と比較して述べる。

【００１４】従来の差圧伝送器においては、第一，第二
のシールダイアフラム，センターダイアフラム及びセン
サ部組が同一軸上に並べて設けられているので、それぞ
れのダイアフラムを支持する部材を接合する場合、また
シールダイアフラムを支持する部材に測定流体から圧力
が加わった場合にもセンターダイアフラムの形状および
位置に歪が生じてしまい零点変化が発生してしまってい
た。これに対し本発明の差圧伝送器ではセンターダイア
フラムの圧力受圧方向が、第一，第二のシールダイアフ
ラムの圧力受圧方向と異なる向きに設けられているの
で、圧力受圧部材にシールダイアフラムを接合する場合
でも、この時に発生する歪をセンターダイアフラムに伝
達しなくなり、これによりそれぞれのダイアフラムを圧
力受圧部材に接合する時に、お互いにその接合時の歪を
伝達しなくなる。

【００１５】また、受圧部の隔離室を形成する部材によ
り、センターダイアフラムの動作支点を明確化している
ため、センターダイアフラムの動作も明確化され、圧力
負荷時にこの支点が動くことがなく零点変化が発生しな
い。

【００１６】さらに、この受圧部材は受圧部材の本体部
材にねじ或いは溶接により強固に接合，封止されるため
圧力負荷時の変形量を小さくすることができ、零点変化
をも小さくすることができる。

【００１７】差圧伝送器の使用時においては、シールダ
イアフラムを支持する部材に測定流体室から過大な圧力
が加わった場合でも、これらの歪はセンターダイアフラ
ムにほとんど影響しなくなる。

【００１８】また、第一，第二の隔離室に対して、第
一，第二の受圧室をそれぞれ接近させて設けることが出
来るので、各圧力室を設ける導圧路の経路を短くするこ
とができる。

【００１９】そして、受圧室を構成する部材で測定流体
受圧室を構成し、この部材にプロセス配管と直接につな
がる開口部を設けているため、従来必要であったフラン
ジを無くすことができ、保守が容易である。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の差圧伝送器を図を用いて説明
する。

【００２１】図１は本発明の差圧伝送器の一実施例を示
したものであり、この差圧伝送器は主に、圧力受圧部材
２０，センサ部組２，シールダイアフラム６，７，過負
荷保護ダイアフラム４，第一，第二の受圧室２０１，２
０２，第一，第二の隔離室２０３，２０４で構成されて
いる。

【００２２】図３に図１で示した受圧部材２０の詳細図
を示す。圧力受圧部材２０は単一の部材からなり、受圧
部材２０の両端には対称にシールダイアフラム６，７を
取り付けるための穴部２１，２２を設け、底面にはシー
ルダイアフラム６，７と同一形状に加工を施し、穴部２
１，２２の入口には栓３５，３６を固定するためのシー
ルダイアフラム６，７より大きな径のねじ穴３７，３８
を形成している。

【００２３】図４に図３のａ−ａ線の切断図面を示す。

【００２４】受圧部材２０にはシールダイアフラム７を
取り付けるための穴部２２の上側にそれぞれテーパーね
じ２８が、また下側にもそれぞれテーパーねじ３０が加
工され、導通路３２，３４によって穴部２２と接続され
ている。同様に穴部２１においても、上下の部分にテー
パーねじ２７，２９（図示せず）がそれぞれ加工され、
導通路３１，３３により接続されている。

【００２５】また、受圧部材２０の中心軸上には、過負
荷保護ダイアフラム４，センサ部組２を収納するための
センサ部組収納穴部２３が、シールダイアフラム６，７
と直角方向に設けてある。段付穴２３の小径側には、増
幅器と取り付けるための穴９が、また大径側には過負荷
保護ダイアフラム４を固定するための固定金具８を取り
付けるための穴１０が設けてある。

【００２６】そして、シールダイアフラム６，７，過負
荷保護ダイアフラム４，センサ部組２の間を導通路２
４，２５，２６で接続している。

【００２７】本発明の一実施例の差圧伝送器における第
一の受圧室２０１，第二の受圧室２０２，第一の隔離室
２０３，第二の隔離室２０４の構造を図１を用いて説明
する。

【００２８】本実施例の差圧伝送器においては、受圧部
材２０の穴部２１，２２からシールダイアフラム６，７
を組み込み、シールダイアフラム６，７の面が平行とな
るように溶接して第一，第二の受圧室２０１，２０２を
形成する。

【００２９】次に栓３５，３６を受圧部材２０のねじ穴
にねじこみ、その端面部分を溶接で接合，封止し測定流
体受圧室１７，１８を形成する。

【００３０】圧力受圧部材２０の中心のセンサ部組収納
穴部２３には、径の大きな方向よりセンサ部組２を挿入
し、センサ部組２の導通路６０と圧力受圧部材２０の導
通路２５が導通するように組み込み、センサ部組２の両
端を溶接する。

【００３１】その後、センタ金具５をセンタ金具５の導
通路６１と受圧部材２０の導通路２４が導通するような
位置に、また過負荷保護ダイアフラム４の波形状と同一
に加工した面を過負荷保護ダイアフラム４側に向けて取
り付け、さらに過不過保護ダイアフラム４を受圧部材２
０に溶接し、第一の隔離室２０３を形成する。センタ金
具５の中心には過負荷保護ダイアフラム４から半導体差
圧センサ４４へ圧力を伝達するための導通路６３が設け
てある。

【００３２】固定金具取り付け穴１０に固定金具８の下
面に位置するスペーサ８０の導通路６２と受圧部材２０
の導通路２６が導通するように、また過負荷保護ダイア
フラム４の波形状と同一に加工した面を過負荷保護ダイ
アフラム４側に向けて取り付け、固定金具８と受圧部材
２０によって形成されたねじ部に固定金具８のねじ部を
ねじ込み、その端部を溶接にて封止し、第二の隔離室２
０４を形成する。次に、シールダイアフラム６，過負荷
保護ダイアフラム４，センサ部組２，導通路２４，６
１，６３，液封口のシールピン５１で囲まれた空間に
は、封入液１５が充填してあり、同様にシールダイアフ
ラム７，過負荷保護ダイアフラム４，センサ部組２，導
通２５，２６，６０，６２，液封口のシールビン５２で
囲まれた空間にも封入液１６が充填してある。

【００３３】図６は図１の過負荷保護ダイアフラム４と
受圧部材と固定金具８部の部分を詳細に示した図であ
る。過負荷保護ダイアフラム４は受圧部材に溶接接合さ
れ、その溶接部の内側をスペーサ８１の凸部６８１によ
って、固定金具を受圧部材２０にねじ込む時に、固定金
具の端面と接触し押し付けられる。固定金具８は受圧部
材２０とその端面部でアルゴンアークで溶接され、封止
される。したがって、センターダイアフラムの運動支点
は強固に押し付けられるため、歪の影響がなく、その運
動支点は常時明確化される。さらに、圧力負荷時には隔
離室２０４と固定金具端面（大気側）では大きな差圧が
発生し固定金具８が弾性変形し、その変形により内部の
封入液が移動して零点が変化する可能性があるが、固定
金具８のねじ接合部６８３の長さを十分確保しているの
で、その変形量は非常に小さい。このため、零点の影響
も小さい。

【００３４】センサ部組２は半導体差圧センサ４４，ハ
ーメチックシールビン４５を備え、ハーメチックシール
ビン４５の大気圧開放側にＦＰＣ４６が半田付けをする
ことにより、従来の差圧伝送器で必要だったセンサ信号
を取り出すための穴を受圧部材 ２０に設ける必要を無
くしている。

【００３５】増幅器取付穴９には、増幅器ケース４７を
挿入し、圧力受圧部材２０と増幅器ケース４７で形成さ
れる溝にメタル１４を挿入し、メタルフロー接合によっ
て、増幅器ケース４７を圧力受圧部材２０に固定する。

【００３６】このような構成からなる差圧伝送器の差圧
検出動作を図１を用いて説明する。シールダイアフラム
６にプロセス流体からの第一の圧力が印加すると、シー
ルダイアフラム６を介してシールダイアフラム６の裏側
の第一の受圧室２０１の封入液１５に測定流体の第一圧
力が伝達される。さらにこの第一の圧力は導通路２４，
６１を通って過負荷保護ダイアフラム４とセンター金具
５の間に形成された第一の隔離室２０３に伝達され、さ
らにセンター金具４の導通路６３を通って半導体差圧セ
ンサ４４に伝達される。またプロセス流体からの第二の
圧力がシールダイアフラム７に印加した場合も同様にシ
ールダイアフラム７を介して第二の受圧室２０２の封入
液１６に測定流体の第二の圧力が伝達され、この第二の
圧力は導通路２５，２６によって過負荷保護ダイアフラ
ム４と固定金具８の間で形成された第二の隔離室２０４
と、導通路６０によってセンサの裏面へ伝達される。こ
のように半導体差圧センサ４４はセンターダイアフラム
の表，裏に伝達した測定流体の第一，第二の圧力を検出
し、半導体差圧センサ４４の出力はハーメチックシール
ピン４５より大気開放側に取り出され、ＦＰＣ４６を介
して増幅器に伝送される。

【００３７】測定流体受圧室１７，１８は、受圧部材２
０内に形成されるため、従来例のように、特にフランジ
やフランジを締め付けるボルト，ナットを必要としな
い。すなわち、測定流体受圧室１７，１８を形成するた
めに栓３５，３６を設けるだけで済む。

【００３８】また、プロセス配管は図５のように、圧力
受圧部材２０の接続口の一方にアダプター４３，ガスケ
ット４８をボルト５０によって締付固定する。配管４１
は、アダプター４３にねじ込み使用する。圧力受圧部材
２０のもう一方の接続口には、ドレン・ベントプラグ３
９を取り付け、プロセス配管接続とドレン・ベントプラ
グ３９の接続は上下両方又は直角に接続可能である。
尚、図では配管４１と圧力受圧部材２０との接続にアダ
プター４３を用いたが、圧力部材２０にテーパーねじを
切って配管４１を直接に接合することも可能である。

【００３９】以上のように本発明の差圧伝送器によれ
ば、シールダイアフラムの圧力受圧方向を第一，第二の
シールダイアフラムの圧力受圧方向と直角方向に配置す
ることにより、センターダイアフラムと受圧部材２０と
の溶接箇所が同一軸上にダイアフラムを並べた従来例と
比べると歪が伝達しない箇所に設けることができるの
で、シールダイアフラムの形状および位置に歪が発生し
なくなる。

【００４０】そして、直角方向に配置したことにより測
定流体受圧室１７，１８にプロセス流体から過大な圧力
が加わった場合でも、シールダイアフラム近辺に発生し
た部材の歪はセンターダイアフラムに歪として伝わりに
くくなるので、過負荷保護ダイアフラムの零点の変化や
その運動支点の変化がなくなり差圧を正確に測定するこ
とができる。

【００４１】さらに、本発明の差圧伝送器によれば、測
定流体受圧室１７，１８が圧力受圧部材２０内に形成で
きるので、受圧部材２０を単一部品として構成でき、測
定流体受圧室１７，１８を形成するのにフランジ，ボル
ト，ナットが不要となる。したがって、ボルト，ナット
の締め付けによる受圧部材２０の形状変化や測定流体受
圧室１７，１８に片圧や過大な静圧が印加した場合の受
圧部材本体の変形等がないため、過負荷保護ダイアフラ
ムの零点の変化や、支持点の変化をなくして、より正確
に差圧を測定することができる。

【００４２】固定金具の取付けの変形例を図７，図８に
示す。

【００４３】図７は固定金具８内に過負荷保護ダイアフ
ラム４の運動支点部を明確化するための凸部７８１を具
備し、受圧部材と固定金具８をセンターダイアフラム４
に非常に近接した位置（勘合している円周面の隔離室に
近接した位置）で溶接接合する構成としたものである。
この溶接部の溶接深さは、差圧伝送器の使用圧力に対し
て、十分強度を確保できる溶接法（電子ビーム溶接等）
により実現できる。かかる構成によれば、受圧部部材の
数が少なくなり、かつ固定金具の円周方向の空間をなく
すことができるため、封入液量を少なくでき一層の小型
化が達成できる。さらに、圧力負荷時には、前記受圧部
材の穴１０（図３）の円筒面には圧力が一切作用しない
ので変形がない。このため、変形による零点変化を一層
押さえることができ正確な差圧を測定できる。

【００４４】図８は固定金具を二つの部材８３，８４で
構成したもであり、部材８３は前記センターダイアフラ
ム４の運動支点部を明確化するための凸部８８１を有
し、さらに隔離室２０４を形成する空間を有する。さら
に、その円周部を前記図７の実施例と同様の方法で溶接
接合される。次に、部材８４を前記受圧部材２０のねじ
部に溝８８４を介して、所定のトルクでねじ込むことに
より、部材８３には初期歪が負荷されるため、圧力負荷
時に、その変形を押さえこむことができる。前記部材８
４はその端部を溶接により封止される。かかる構成によ
れば、受圧部材の変形に起因する零点誤差を一層少なく
すことができ、さらに信頼性を要求される溶接部が露出
しないため信頼性が向上する。

【００４５】図９は前記栓３５，３６に微細穴９３５，
９３６を設け、さらに前記受圧室２０１，２０２の対抗
面にもう一つの受圧室９２１，９２２を形成できるよう
に、微小空間部を有する形状に変更したもである。かか
る構成は、プロセス計装でタンク内の液面や密度を計測
するのに広く用いられているダイアフラムリプレーサ形
の差圧伝送器の受圧部（図中破線部はダイアフラムリプ
レーサ形の場合に具備される部品の装着例を示す）に容
易に適用できる。この栓は、組立時に、前記栓３５，３
６と交換して組み上げるのみで良いため、組立性，拡張
性に優れている。また、ダイアフラムリプレーサ形の差
圧伝送器の受圧部では、前記図１に示した圧力導入口の
ねじ穴は一切不要であり、経済性にも優れている。

【００４６】《付加部分》図９はプロセス計測におい
て、タンク内の圧力や液面及び密度を計測するために広
く用いられているダイアフラムリプレーサ型の差圧伝送
器に、本発明の受圧部を適用した場合の構成を示したも
のであり、図１０はダイアフラムリプレーサ型の差圧伝
送器の先端部の構成を示したものである。

【００４７】従来のダイアフラムリプレーサ型の差圧伝
送器においては、ダイアフラムリプレーサ型の差圧伝送
器の先端部を受圧部に取り付ける際、必ず特別な部材を
介して接合しなければならず、その時の歪みが基本の受
圧部の圧力特性に影響を与えるため、特性が変化してし
まっていた。さらに、この特別な構成部材が必要なため
必然的にコストアップしていた。

【００４８】これに対し、本発明のダイアフラムリプレ
ーサ型の差圧伝送器においては、図１に示す基本的な受
圧部構成があり、この受圧部にダイアフラムリプレーサ
部からの圧力を伝達する構成部材を付加し、受圧部に接
合，密封する構成を採用している。

【００４９】本発明によれば、基本の受圧部構成におい
て、前記栓３５，３６の構成を図９に示すような部材形
状に変更するだけでダイアフラムリプレーサ型の差圧伝
送器を構成できる。

【００５０】前記栓３５，３６に微細穴９３５，９３６
を設け、更に前記受圧室２０１，２０２の対向面にもう
一つの受圧室９２１，９２２を形成して、これらの微細
空間を有する形状に変更したものである。

【００５１】前記栓３５，３６のもう一方の端面にはダ
イアフラムリプレーサ部との圧力を伝達するための構成
部材がそれぞれ接合，封止されて微細穴９３５，９３６
を介して前記ダイアフラムリプレーサ部からの圧力が伝
達される。

【００５２】図１０はダイアフラムリプレーサ型の差圧
伝送器のプロセス流体を直接受ける部分の構成例の一実
施例を示したものである。

【００５３】プロセス接続ダイアフラム９５２はプロセ
ス接続部材９５３に溶接により接合，封止され、部材９
５３との間で受圧室２６０が形成される。またこの接続
部材９５３はプロセス配管，タンク等のフランジ等に取
りつけるため、プロセス側の形状に合致したプロセス接
続フランジ９５４を介しボルト９５５により固定され一
体化している。さらに、前記プロセス接続部材９５３の
外周上にはプロセスの圧力を前記栓３５，３６に伝達す
るための構成部材９５１が取り付けられる。かかる構成
において作られた空間部にはシリコンオイルが封入さ
れ、プロセスの各圧力は前記ダイアフラム９５２と受圧
室２６０と導圧路９５８，９５１及び前記栓３５，３６
を経由して半導体差圧センサ４４に伝達され、差圧が検
出できるようになる。

【００５４】このような構成によれば、基本の受圧部を
構成する栓３５，３６を本図のごとく変更するだけでダ
イアフラムリプレーサ型の受圧室に変更でき、しかも受
圧部側に付加部品を一切必要としないで構成できる。

【００５５】また、基本の受圧部の差圧検出特性を損な
うことが無く、拡張性に優れている。

【００５６】

【発明の効果】本発明の差圧伝送器によればセンターダ
イアフラムを受圧部材本体に接合する場合、そしてプロ
セス流体から過大圧力が加わった場合でも、発生した歪
はセンターダイアフラムに影響を及ぼさないのでその形
状，位置に変化が無く零点に影響を及ぼさないため、ま
た圧力負荷時に受圧部部材の変形による零点誤差を少な
くできるため正確な差圧を検出することができる効果が
あると共に、伝送器全体を小型にすることが可能にな
る。

【００５７】また、測定流体受圧室を圧力受圧部材で構
成しているため、フランジを必要とせず、受圧部材の単
一部品と栓で構成することにより、より小型化を可能に
している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の差圧伝送器の一実施例を示す縦断面
図。

【図２】従来の差圧伝送器の縦断面図。

【図３】図１の圧力受圧部材の縦断面図。

【図４】図３のａ−ａ面における断面図。

【図５】本発明の差圧伝送器の配管例を示す縦断面図。

【図６】センターダイアフラム取り付け部，固定金具取
付部の拡大図。

【図７】センターダイアフラム取り付けの別実施例断面
図。

【図８】センターダイアフラム取り付けの別実施例断面
図。

【図９】ダイアフラムリプレーサ形受圧部の実施例の断
面図。

【図１０】ダイアフラムリプレーサ先端部。

【符号の説明】

２…センサ部組、４…過負荷保護ダイアフラム、５…セ
ンター金具、６，７…シールダイアフラム、８…固定金
具、９…増幅器取付穴、１０…固定金具取付穴、１４…
メタル、１５，１６…封入液、１７，１８…測定流体受
圧室、２０…受圧部材、２１，２２…シールダイアフラ
ム取付け穴部、２３…センサ部組収納穴部、２４，２
５，２６，３１，３２，３３，３４，６０，６１，６
２，６３…導通路、２７，２８，２９，３０…テーパー
めねじ、３５，３６…栓、３７，３８…ねじ穴、３９…
ドレン・ベントプラグ、４１…配管、４３…アダプタ
ー、４４…半導体差圧センサ、４５…ハーメチックシー
ルビン、４６…ＦＰＣ、４７…増幅器ケース、４８…ガ
スケット、５０…ボルト、５１，５２…シールピン、５
３，５４…液封口、８１…スペーサ、８３，８４…固定
金具の変形例、１０１…本体Ｈ、１０２…センサ部組、
１０３…センター金具、１０４…過負荷保護ダイアフラ
ム、１０５…本体Ｌ、１０６，１０７…シールダイアフ
ラム、１０８，109…フランジ、１１０，１１１…ガス
ケット、１１２…ボルト、１１３…ナット、１１４…接
続金具、１１５，１１６…隔離室、１１７，１１８…測
定流体受圧室、１４４…半導体差圧センサ、２０１…第
一の受圧室、２０２…第二の受圧室、２０３…第一の隔
離室、２０４…第二の隔離室。

フロントページの続き (72)発明者 山本 芳己 茨城県勝田市大字市毛882番地 株式会社 日立製作所計測器事業部内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第一のダイアフラムによって形成され、か
   つ第一の検出流体が封入された第一の受圧室と，第二の
   ダイアフラムによって形成され、かつ第二の検出流体が
   封入された第二の受圧室とを備え、前記第一のダイアフ
   ラムに第一の測定流体の圧力，前記第二のダイアフラム
   に第二の測定流体の圧力を印加して両圧力の差を差圧検
   出センサで検出する差圧伝送器において、前記第一の受
   圧室に導通する第一の隔離室と，前記第二の受圧室に導
   通する第二の隔離室とを、前記第一，第二のダイアフラ
   ムと異なる方向に配置された第三のダイアフラムで構成
   し、前記第一，第二の隔離室に導通する前記第一，第二
   の検出流体を前記差圧検出センサに印加し、前記第一の
   ダイアフラムを前記差圧伝送器の受圧部材本体の第一の
   端面に配置し、前記第二のダイアフラムを前記第一の端
   面に対向する前記受圧部材本体の第二の端面に配置し、
   前記第一のダイアフラムの圧力受圧方向と，前記第二の
   ダイアフラムの圧力受圧方向が同軸上にあり、前記第一
   のダイアフラムと，前記第二のダイアフラムの圧力受圧
   方向とが直角に位置するように第三のダイアフラムが配
   置され、前記第三のダイアフラムの片面を前記差圧伝送
   器を構成する受圧部材に接合して前記第一の隔離室を形
   成し、かつ該第三のダイアフラムの他面にダイアフラム
   を押し付けて密閉接合して前記第二の隔離室を形成し、
   前記差圧検出センサとして圧力検出ダイアフラムを有す
   る半導体差圧センサを備え、前記圧力検出ダイアフラム
   の圧力受圧方向と前記第三のダイアフラムの圧力受圧方
   向が同方向になるように構成し、前記半導体差圧センサ
   をシール金具により保持し、前記差圧伝送器を構成する
   受圧部材と該シール金具との接合部は、大気圧方向に沿
   って接合径が小さくなり、その同軸の延長上に前記半導
   体センサの出力を正規化する増幅器との接合部を有する
   単一の部材で構成されていることを特徴とする差圧伝送
   器。
2. 【請求項２】請求項第１項の差圧伝送器において、前記
   第一の受圧室を形成する前記差圧伝送器の受圧部材によ
   り、前記第一の測定流体の圧力を前記第一のダイアフラ
   ムに導圧する第一の測定流体受圧室を構成し、かつ前記
   第二の受圧室を形成する前記差圧伝送器の受圧部材によ
   り、前記第二の測定流体の圧力を前記第二のダイアフラ
   ムに導圧する第二の測定流体受圧室を構成し、前記第
   一，第二の測定流体受圧室に前記第一，第二の測定流体
   圧力を伝達する配管と接合する第一，第二の導圧口を設
   けたことを特徴とする差圧伝送器。
3. 【請求項３】請求項第１項の差圧伝送器において、前記
   第一，第二の測定流体受圧室を形成する受圧部材に前記
   導圧口と異なる開口部を一つ以上設けたことを特徴とす
   る差圧伝送器。
4. 【請求項４】請求項第３項の差圧伝送器において、前記
   開口部を前記第一，第二のダイアフラムに対向する位置
   に設けたことを特徴とする差圧伝送器。
5. 【請求項５】請求項第４項の差圧伝送器において、前記
   開口部を前記導圧口に対向する位置に設けたことを特徴
   とする差圧伝送器。
6. 【請求項６】請求項第１項の差圧伝送器において、前記
   第三のダイアフラムの接合部以外の箇所を前記隔離室を
   形成する部材とは別の部材にて押し付け、前記部材は前
   記隔離室を形成する部材にて押し付けられ、前記受圧部
   材本体とねじ接合にて固定され、その端部を溶接にて封
   止されていることを特徴とする差圧伝送器。
7. 【請求項７】請求項第１項の差圧伝送器において、前記
   第三のダイアフラムの接合部以外の箇所を前記隔離室を
   形成する部材にて押し付け、前記受圧部材本体の円周面
   にて溶接にて固定，封止されていることを特徴とする差
   圧伝送器。
8. 【請求項８】請求項第１項の差圧伝送器において、前記
   第三のダイアフラムの接合部以外の箇所を前記隔離室を
   形成する部材にて押し付け、前記受圧部材本体の円周面
   にて溶接にて固定，封止され、その同軸延長上に前記部
   材を押し付けるもう一つの部材を有し、前記部材は前記
   受圧部材本体とねじ接合にて固定され、その端部を溶接
   にて封止されていることを特徴とする差圧伝送器。
9. 【請求項９】請求項第２項の差圧伝送器において、前記
   第一，第二のダイアフラムに導圧する第一，第二の測定
   流体受圧室は前記差圧伝送器の受圧部材本体とねじ接合
   部を有する部材とで接合され、かつその端部で溶接によ
   り封止されて形成されていることを特徴とする差圧伝送
   器。
10. 【請求項１０】請求項第９項の差圧伝送器において、前
    記部材に前記第一，第二の受圧室の反対面側に第三，第
    四の受圧室を形成する微小な空間部と、この空間部と連
    通する微***とを有し、前記差圧伝送器の受圧部材本体
    とねじ接合部を有する部材とで接合され、かつその端部
    で溶接により封止されて形成されていることを特徴とす
    る差圧伝送器。