JPH08321740A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
弾性表面波デバイスInfo
- Publication number
- JPH08321740A JPH08321740A JP12516595A JP12516595A JPH08321740A JP H08321740 A JPH08321740 A JP H08321740A JP 12516595 A JP12516595 A JP 12516595A JP 12516595 A JP12516595 A JP 12516595A JP H08321740 A JPH08321740 A JP H08321740A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- idt
- acoustic wave
- surface acoustic
- center
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 共振器型弾性表面波デバイスの群遅延歪みを
小さくする。 【構成】 圧電基板１０上に重み付けられた入力ＩＤＴ
１１と出力ＩＤＴ１２、さらにその外側にグレーティン
グ反射器１３ａ，１３ｂを配置して構成され、前記入力
または出力ＩＤＴの本数Ｎと、ＩＤＴまたは反射器を構
成する金属膜の音響インピーダンス不連続係数Ｋとの積
Ｎ・Ｋが０．５５以上で、かつＩＤＴの電極周期λI と
反射器の電極周期λR が異なるとき、３つの異なる縦モ
ードが励振される弾性表面波デバイスにおいて、前記Ｉ
ＤＴ１１，１２の各電極の表面波の伝搬方向に対する重
み付けの中心位置Ｂが、前記電極構造の中心Ａから反射
器側へ１２．５〜３３％の位置にある。
小さくする。 【構成】 圧電基板１０上に重み付けられた入力ＩＤＴ
１１と出力ＩＤＴ１２、さらにその外側にグレーティン
グ反射器１３ａ，１３ｂを配置して構成され、前記入力
または出力ＩＤＴの本数Ｎと、ＩＤＴまたは反射器を構
成する金属膜の音響インピーダンス不連続係数Ｋとの積
Ｎ・Ｋが０．５５以上で、かつＩＤＴの電極周期λI と
反射器の電極周期λR が異なるとき、３つの異なる縦モ
ードが励振される弾性表面波デバイスにおいて、前記Ｉ
ＤＴ１１，１２の各電極の表面波の伝搬方向に対する重
み付けの中心位置Ｂが、前記電極構造の中心Ａから反射
器側へ１２．５〜３３％の位置にある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波デバイスに関
し、特に圧電基板上に入力ＩＤＴ（インタディジタルト
ランスデューサ）および出力ＩＤＴとその外側に反射器
を配置し、縦モードを利用した共振型弾性表面波デバイ
スに関する。
し、特に圧電基板上に入力ＩＤＴ（インタディジタルト
ランスデューサ）および出力ＩＤＴとその外側に反射器
を配置し、縦モードを利用した共振型弾性表面波デバイ
スに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の弾性表面波デバイスは、圧電基板
１０上に重み付けられた入力ＩＤＴ１１と出力ＩＤＴ１
２、さらにその外側にグレーティング反射器１３ａ，１
３ｂを配した図５の構成をしている。
１０上に重み付けられた入力ＩＤＴ１１と出力ＩＤＴ１
２、さらにその外側にグレーティング反射器１３ａ，１
３ｂを配した図５の構成をしている。
【０００３】この構成において、前記入力または出力Ｉ
ＤＴの本数Ｎと、ＩＤＴまたは反射器を構成する金属膜
の音響インピーダンス不連続係数Ｋとの積Ｎ・Ｋが０．
５５以上で、かつＩＤＴの電極周期λI と反射器の電極
周期λR が異なるとき、３つの異なる縦モードが励振さ
れる。すなわち、入力ＩＤＴ１１と出力ＩＤＴ１２との
間の多重反射による共振、ＩＤＴ自身の内部共振、反射
器間の多重反射による共振である。（９３電子情報通信
学会論文誌Ａ、Ｖｏｌ．Ｊ７６−Ａ，Ｎｏ，２ｐｐ．２
１９〜２２６） この従来の弾性表面波デバイスにおいて、重み付けの中
心Ｂが電極構造の中心Ａと一致していると、通過帯域内
の群遅延特性は図６に示すように、高域側の歪みが大き
くなっている。
ＤＴの本数Ｎと、ＩＤＴまたは反射器を構成する金属膜
の音響インピーダンス不連続係数Ｋとの積Ｎ・Ｋが０．
５５以上で、かつＩＤＴの電極周期λI と反射器の電極
周期λR が異なるとき、３つの異なる縦モードが励振さ
れる。すなわち、入力ＩＤＴ１１と出力ＩＤＴ１２との
間の多重反射による共振、ＩＤＴ自身の内部共振、反射
器間の多重反射による共振である。（９３電子情報通信
学会論文誌Ａ、Ｖｏｌ．Ｊ７６−Ａ，Ｎｏ，２ｐｐ．２
１９〜２２６） この従来の弾性表面波デバイスにおいて、重み付けの中
心Ｂが電極構造の中心Ａと一致していると、通過帯域内
の群遅延特性は図６に示すように、高域側の歪みが大き
くなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の弾性
表面波デバイスにおいては、帯域内の周波数高域側の群
遅延歪みが大きくなり、良好なフィルタ特性を得ること
が困難であった。本発明の目的は、弾性表面波の通過帯
域内における歪みを少なくし、バランスの良い群遅延特
性を有する弾性表面波デバイスを提供することである。
表面波デバイスにおいては、帯域内の周波数高域側の群
遅延歪みが大きくなり、良好なフィルタ特性を得ること
が困難であった。本発明の目的は、弾性表面波の通過帯
域内における歪みを少なくし、バランスの良い群遅延特
性を有する弾性表面波デバイスを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波デバ
イスは、圧電基板上に、電気信号を弾性表面波に変換す
る入力ＩＤＴおよび弾性表面波を電気信号に変換する出
力ＩＤＴと、これら入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの外側にそ
れぞれ設けられた反射器とから構成された、縦モードを
利用した弾性表面波デバイスにおいて、前記入力ＩＤＴ
および出力ＩＤＴがそれぞれ重み付けられた電極構造を
有し、弾性表面波の伝搬方向に対する重み付けの中心
が、前記各入力ＩＤＴおよび出力ＩＤＴの電極構造の中
心から、電極端面間の長さの１２．５〜３３％だけ前記
反射器側に位置している。
イスは、圧電基板上に、電気信号を弾性表面波に変換す
る入力ＩＤＴおよび弾性表面波を電気信号に変換する出
力ＩＤＴと、これら入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの外側にそ
れぞれ設けられた反射器とから構成された、縦モードを
利用した弾性表面波デバイスにおいて、前記入力ＩＤＴ
および出力ＩＤＴがそれぞれ重み付けられた電極構造を
有し、弾性表面波の伝搬方向に対する重み付けの中心
が、前記各入力ＩＤＴおよび出力ＩＤＴの電極構造の中
心から、電極端面間の長さの１２．５〜３３％だけ前記
反射器側に位置している。
【０００６】
【実施例】次に本発明の一実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００７】図１は本発明の実施例を表す構成図であ
る。すなわち、圧電基板１０上に、重み付けられた入力
ＩＤＴ１１と出力ＩＤＴ１２、さらにその外側にグレー
ティング反射器１３ａ，１３ｂを配置し、従来例で述べ
るように、Ｎ・Ｋ≧０．５５、かつλI （ＩＤＴの電極
周期）≠λR （反射器の電極周期）で構成され、３つの
異なる縦モードが励振する弾性表面波デバイスである。
る。すなわち、圧電基板１０上に、重み付けられた入力
ＩＤＴ１１と出力ＩＤＴ１２、さらにその外側にグレー
ティング反射器１３ａ，１３ｂを配置し、従来例で述べ
るように、Ｎ・Ｋ≧０．５５、かつλI （ＩＤＴの電極
周期）≠λR （反射器の電極周期）で構成され、３つの
異なる縦モードが励振する弾性表面波デバイスである。
【０００８】前記ＩＤＴ１１，１２の各電極の表面波の
伝搬方向に対する重み付けの中心位置Ｂと、通過帯域内
（ｆｏ±１００ｋＨｚ）の群遅延偏差の関係をシミュレ
ーションによって求めたグラフを図４に示す。図の横軸
は、重み付けの中心位置Ｂを示しており、ゼロ（０）は
電極構造の中心Ａと一致し、プラス（＋）は各対向する
ＩＤＴ側（内側）に、マイナス（−）は反射器側（外
側）にあり、５０％では電極構造の端面にあることを表
す。なお、シミュレーションは中心周波数２５０ＭＨｚ
で行っている。
伝搬方向に対する重み付けの中心位置Ｂと、通過帯域内
（ｆｏ±１００ｋＨｚ）の群遅延偏差の関係をシミュレ
ーションによって求めたグラフを図４に示す。図の横軸
は、重み付けの中心位置Ｂを示しており、ゼロ（０）は
電極構造の中心Ａと一致し、プラス（＋）は各対向する
ＩＤＴ側（内側）に、マイナス（−）は反射器側（外
側）にあり、５０％では電極構造の端面にあることを表
す。なお、シミュレーションは中心周波数２５０ＭＨｚ
で行っている。
【０００９】例えば、重み付けの中心位置Ｂが−１２．
５％（電極構造の中心Ａから１２．５％反射器側にあ
る）のとき群遅延特性のシミュレーションが図２であ
る。通過帯域内（ｆｏ±１００ｋＨｚ）では、歪みが少
なくバランスの良い群遅延特性が得られている。
５％（電極構造の中心Ａから１２．５％反射器側にあ
る）のとき群遅延特性のシミュレーションが図２であ
る。通過帯域内（ｆｏ±１００ｋＨｚ）では、歪みが少
なくバランスの良い群遅延特性が得られている。
【００１０】また、重み付けの中心Ｂが＋１２．５％
（電極構造の中心Ａから１２．５％対向するＩＤＴ側に
ある）のときの群遅延特性のシミュレーションが図３で
あるが、通過帯域内の高域側の歪みが大きくなってお
り、本発明のような効果は得られない。
（電極構造の中心Ａから１２．５％対向するＩＤＴ側に
ある）のときの群遅延特性のシミュレーションが図３で
あるが、通過帯域内の高域側の歪みが大きくなってお
り、本発明のような効果は得られない。
【００１１】よって、通過帯域内の群遅延偏差が小さく
なるのは、図４よりＩＤＴの重み付けの中心位置Ｂが−
３３〜−１２．５％の範囲である。
なるのは、図４よりＩＤＴの重み付けの中心位置Ｂが−
３３〜−１２．５％の範囲である。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、表面波
の伝搬方向に対する重み付けの中心が、入出力ＩＤＴの
電極構造の中心から１２．５〜３３％反射器側にある構
成とすることにより、通過帯域内において歪みが少なく
バランスの良い群遅延特性が得られる。
の伝搬方向に対する重み付けの中心が、入出力ＩＤＴの
電極構造の中心から１２．５〜３３％反射器側にある構
成とすることにより、通過帯域内において歪みが少なく
バランスの良い群遅延特性が得られる。
【図１】本発明の弾性表面波デバイスの一実施例の構成
図
図
【図２】本発明の弾性表面波デバイスの群遅延特性の一
例を示す図
例を示す図
【図３】本発明の群遅延特性の他の例を示す図
【図４】重み付けの中心位置と群遅延特性の関係を示す
図
図
【図５】従来の弾性表面波デバイスの一例を示す構成図
【図６】従来の弾性表面波デバイスの群遅延特性例を示
す図
す図
１０ 圧電基板 １１ 入力ＩＤＴ １２ 出力ＩＤＴ １３ａ，１３ｂ 反射器 Ａ 電極構造の中心 Ｂ 重み付けの中心
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板上に、電気信号を弾性表面波に
変換する入力ＩＤＴおよび弾性表面波を電気信号に変換
する出力ＩＤＴと、これら入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの外
側にそれぞれ設けられた反射器とから構成された、縦モ
ードを利用した弾性表面波デバイスにおいて、 前記入力ＩＤＴおよび出力ＩＤＴがそれぞれ重み付けら
れた電極構造を有し、弾性表面波の伝搬方向に対する重
み付けの中心が、前記各入力ＩＤＴおよび出力ＩＤＴの
電極構造の中心から、前記反射器側へ片寄って位置して
おり、この位置の片寄りが、それぞれ、各電極の端面間
の長さの１２．５〜３３％の範囲内にあることを特徴と
する弾性表面波デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12516595A JPH08321740A (ja) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | 弾性表面波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12516595A JPH08321740A (ja) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | 弾性表面波デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08321740A true JPH08321740A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=14903498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12516595A Pending JPH08321740A (ja) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | 弾性表面波デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08321740A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011041082A (ja) * | 2009-08-13 | 2011-02-24 | Murata Mfg Co Ltd | 一ポート型弾性波共振子及び弾性波フィルタ装置 |
| US8084915B2 (en) * | 2006-11-08 | 2011-12-27 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave resonator having comb electrodes with different overlapping lengths |
| JP2015056792A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 日本電波工業株式会社 | 弾性波フィルタ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06334469A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
-
1995
- 1995-05-24 JP JP12516595A patent/JPH08321740A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06334469A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8084915B2 (en) * | 2006-11-08 | 2011-12-27 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave resonator having comb electrodes with different overlapping lengths |
| JP2011041082A (ja) * | 2009-08-13 | 2011-02-24 | Murata Mfg Co Ltd | 一ポート型弾性波共振子及び弾性波フィルタ装置 |
| JP2015056792A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 日本電波工業株式会社 | 弾性波フィルタ |
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