JP3368087B2 - 弾性表面波フィルタ装置 - Google Patents
弾性表面波フィルタ装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電基板上を伝搬する
弾性表面波を用いてバンドパス特性を得る弾性表面波フ
ィルタ装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来から、例えば特公平３−５１３３０
号公報に示されるように、圧電基板上に櫛歯状の入力電
極及び出力電極を弾性表面波の伝搬方向に直列に配置す
るとともに、前記両電極の各外側に反射器をそれぞれ配
置してなり、前記両電極内部に発生する対称モードと反
対称モードの２種の定在波からなる２つの振動モードを
用いてバンドパス特性を得るようにした弾性表面波フィ
ルタ装置は知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来装置
においては、バンドパス特性の信号通過帯域幅を広げる
ためには、入力電極及び出力電極の電極指数を減少させ
て２振動の共振周波数差を広げる必要がある。また、一
方では、前記電極指数を減少させると、挿入損失が増加
するという問題もある。したがって、上記従来の弾性表
面波フィルタ装置においては、信号通過帯域幅を充分に
広げることはできず、例えば中心周波数４４９．９４５
ＭＨｚの弾性表面波フィルタの信号通過帯域幅は４９０
ＫＨｚ程度であった。 【０００４】本発明は上記問題に対処するためになされ
もので、挿入損失の増大を伴うことなく信号通過帯域幅
を広げることができる弾性表面波フィルタ装置を提供す
ることにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る弾性表面波フィルタ装置の構成上の特
徴は、入力電極と出力電極との各内側間の距離を伝搬弾
性表面波の１／２波長の１８倍以上に設定して、両電極
の各外側に設けた両反射器間の共振、両電極自身の各内
部共振及び入力電極と出力電極との両電極間の共振から
なる３つの共振を用いてバンドパス特性を得るようにし
たことにある。 【０００６】 【発明の作用・効果】上記のように構成した本発明によ
れば、３つの共振を利用してバンドパスフィルタ特性を
得るようにしたために、入力電極及び出力電極の電極指
数を減少させることなく、信号通過帯域を広げることが
できた。また、入力電極と出力電極との各内側間の距離
を伝搬弾性表面波の１／２波長の１８倍以上に設定する
ことにより、３つの共振点のピーク値の差を小さくする
ことができた。したがって、挿入損失を増大させること
なく、信号通過帯域が広くかつフラットな周波数特性を
有するバンドパスフィルタを実現できる。 【０００７】 【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
すると、図１は同実施例に係る弾性表面波フィルタ装置
を平面図により概略的に示すとともに、同装置における
弾性表面波の発生状態を模擬的に示している。 【０００８】この弾性表面波装置は、ニオブ酸リチウム
(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、水晶などの圧
電材料で厚さの薄い直方体状に形成した圧電基板１０を
備えている。圧電基板１０上には、入力電極１１及び出
力電極１２が弾性表面波の伝搬方向に直列に配置されて
いる。入力電極１１は交互に交差して並べられた多数の
電極指１１ａ，１１ｂからなるとともに、出力電極１２
も交互に交差して並べられた多数の電極指１２ａ，１２
ｂからなる。電極指１１ａ，１１ｂの合計本数及び電極
指１２ａ，１２ｂの合計本数はそれぞれ３００〜７００
程度である。また、各電極指１１ａ，１１ｂ，１２ａ，
１２ｂの間隔は伝搬する弾性表面波の波長λ（例えば、
６．９６μｍ程度）にほぼ等しく設定され、各電極指１
１ａ，１２ａは各電極指１１ｂ，１２ｂの中央に位置し
ている。両電極１１，１２の各内側間の距離（詳しく
は、最も各内側に位置する電極指１１ｂ，１２ｂの中心
間距離）ｄは、ｎλ／２に設定されている。ｎは正の整
数であり、後述の実験結果からも理解できるように、好
ましくは「１８」以上の値に設定される。 【０００９】両電極１１，１２の各外側には、Ｐλ／２
の間隔をおいて設けた複数（例えば、２００本程度）の
グレーティング１３ａ，１４ａからなる反射器１３，１
４が、それぞれ配置されている。Ｐは、１．００２〜
１．０１０程度の値である。反射器１３と入力電極１１
の間隔及び反射器１４と出力電極１２の間隔は、共にｍ
λ／２程度に設定されている。ｍは、正の整数であり、
「１」又は「２」程度の小さな値が好ましい。 【００１０】上記のように構成した弾性表面波フィルタ
装置においては、シミュレーションの結果、周波数伝達
特性としての周波数に対する挿入損失（利得）の変化は
図２のグラフに示すようになることを確認した。なお、
この場合の弾性表面波フィルタ装置の仕様は下記表１の
通りである。 【００１１】 【表１】 【００１２】このグラフによれば、共振周波数が順に高
くなる第１〜第３の共振峰Ｐ１〜Ｐ３が４５０ＭＨｚ当
りに発生することが確認される。第１共振峰Ｐ１は、反
射器１３，１４間の共振すなわち反射器１３，１４の等
価反射面Ｘ１，Ｘ１間の定在波を構成する弾性表面波の
共振に関するものである。第２共振峰Ｐ２は、入力電極
１１自身及び出力電極１２自身の各内部の弾性表面波の
共振に関するものである。第３共振峰Ｐ３は、両電極１
１，１２間の共振すなわち両電極１１，１２の等価反射
面Ｘ２，Ｘ２間の定在波を構成する弾性表面波の共振に
関するものである。 【００１３】また、シミュレーションにより、両電極１
１，１２間の距離ｄを変化させて、第１〜第３共振峰Ｐ
１〜Ｐ３の周波数位置及び最大ピークレベル差Ｐ−Ｐの
変化を確認すると、第１〜第３共振峰Ｐ１〜Ｐ３の各周
波数位置は図３のグラフのように変化し、かつ最大ピー
クレベル差Ｐ−Ｐは図４のグラフのように変化すること
が確認された。一方、両電極１１，１２の各電極指１１
ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの数及び反射器１３，１４
の各グレーティング１３ａ，１４ａの数を変化させて
も、前記第１〜第３共振峰Ｐ１〜Ｐ３の周波数位置及び
最大ピークレベル差Ｐ−Ｐはバンドパスフィルタの設計
に影響を与えるほど大きく変化しないことも確認され
た。 【００１４】このようなシミュレーション結果より、広
帯域かつフラットなバンドパス特性を得るためには、図
３のグラフから、第１〜第３共振峰Ｐ１〜Ｐ３の周波数
差が大きくなるようにすることが適切であり、両電極間
距離ｄを決める前記整数ｎは数十（例えば、「８０」）
以下であることが適当であることが考察される。また、
フラットなバンドパス特性を得るためには、第１〜第３
共振峰Ｐ１〜Ｐ３の最大ピークレベル差Ｐ−Ｐが所定値
以下（例えば、３．０ｄＢ以下）である必要があり、図
４のグラフから両電極１１，１２間の距離ｄを１８λ／
２以上に設定する必要があることが理解される。 【００１５】そして、前記のような条件の基に弾性表面
波フィルタ装置を構成すれば、第１〜第３共振峰Ｐ１〜
Ｐ３にそれぞれ対応した３つの共振を利用できるので、
フラットな周波数伝達特性を有しかつ広帯域のバンドパ
スフィルタを実現できる。また、この場合、両電極１
１，１２の各電極指１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの
数を減少させる必要もないので、挿入損失を小さく抑え
ることもできる。 【００１６】上述のように構成した弾性表面波フィルタ
装置１０Ａの使用に際しては、図５に示すように、同装
置１０Ａにインダクタンスを含む入力側インピーダンス
調整回路２１及び出力側インピーダンス調整回路２２を
接続して、信号通過帯域特性が極力フラットになるよう
に回路のマッチングを図る。そして、この回路による入
力電圧Ｅinに対する出力電圧Ｅout の周波数伝達特性を
周波数に対する挿入損失（利得）で示すと、図６のグラ
フのようになる。これにより、信号通過帯域がきわめて
フラットな周波数伝達特性を有し、かつ中心周波数４４
９．８８５ＭＨｚ、信号通過帯域幅６３０ＫＨｚのバン
ドパスフィルタが実現されたことになる。なお、この図
６の実験に用いた弾性表面波フィルタ装置１０Ａも、上
記表１の仕様と同じものである。
弾性表面波を用いてバンドパス特性を得る弾性表面波フ
ィルタ装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来から、例えば特公平３−５１３３０
号公報に示されるように、圧電基板上に櫛歯状の入力電
極及び出力電極を弾性表面波の伝搬方向に直列に配置す
るとともに、前記両電極の各外側に反射器をそれぞれ配
置してなり、前記両電極内部に発生する対称モードと反
対称モードの２種の定在波からなる２つの振動モードを
用いてバンドパス特性を得るようにした弾性表面波フィ
ルタ装置は知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来装置
においては、バンドパス特性の信号通過帯域幅を広げる
ためには、入力電極及び出力電極の電極指数を減少させ
て２振動の共振周波数差を広げる必要がある。また、一
方では、前記電極指数を減少させると、挿入損失が増加
するという問題もある。したがって、上記従来の弾性表
面波フィルタ装置においては、信号通過帯域幅を充分に
広げることはできず、例えば中心周波数４４９．９４５
ＭＨｚの弾性表面波フィルタの信号通過帯域幅は４９０
ＫＨｚ程度であった。 【０００４】本発明は上記問題に対処するためになされ
もので、挿入損失の増大を伴うことなく信号通過帯域幅
を広げることができる弾性表面波フィルタ装置を提供す
ることにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る弾性表面波フィルタ装置の構成上の特
徴は、入力電極と出力電極との各内側間の距離を伝搬弾
性表面波の１／２波長の１８倍以上に設定して、両電極
の各外側に設けた両反射器間の共振、両電極自身の各内
部共振及び入力電極と出力電極との両電極間の共振から
なる３つの共振を用いてバンドパス特性を得るようにし
たことにある。 【０００６】 【発明の作用・効果】上記のように構成した本発明によ
れば、３つの共振を利用してバンドパスフィルタ特性を
得るようにしたために、入力電極及び出力電極の電極指
数を減少させることなく、信号通過帯域を広げることが
できた。また、入力電極と出力電極との各内側間の距離
を伝搬弾性表面波の１／２波長の１８倍以上に設定する
ことにより、３つの共振点のピーク値の差を小さくする
ことができた。したがって、挿入損失を増大させること
なく、信号通過帯域が広くかつフラットな周波数特性を
有するバンドパスフィルタを実現できる。 【０００７】 【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
すると、図１は同実施例に係る弾性表面波フィルタ装置
を平面図により概略的に示すとともに、同装置における
弾性表面波の発生状態を模擬的に示している。 【０００８】この弾性表面波装置は、ニオブ酸リチウム
(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、水晶などの圧
電材料で厚さの薄い直方体状に形成した圧電基板１０を
備えている。圧電基板１０上には、入力電極１１及び出
力電極１２が弾性表面波の伝搬方向に直列に配置されて
いる。入力電極１１は交互に交差して並べられた多数の
電極指１１ａ，１１ｂからなるとともに、出力電極１２
も交互に交差して並べられた多数の電極指１２ａ，１２
ｂからなる。電極指１１ａ，１１ｂの合計本数及び電極
指１２ａ，１２ｂの合計本数はそれぞれ３００〜７００
程度である。また、各電極指１１ａ，１１ｂ，１２ａ，
１２ｂの間隔は伝搬する弾性表面波の波長λ（例えば、
６．９６μｍ程度）にほぼ等しく設定され、各電極指１
１ａ，１２ａは各電極指１１ｂ，１２ｂの中央に位置し
ている。両電極１１，１２の各内側間の距離（詳しく
は、最も各内側に位置する電極指１１ｂ，１２ｂの中心
間距離）ｄは、ｎλ／２に設定されている。ｎは正の整
数であり、後述の実験結果からも理解できるように、好
ましくは「１８」以上の値に設定される。 【０００９】両電極１１，１２の各外側には、Ｐλ／２
の間隔をおいて設けた複数（例えば、２００本程度）の
グレーティング１３ａ，１４ａからなる反射器１３，１
４が、それぞれ配置されている。Ｐは、１．００２〜
１．０１０程度の値である。反射器１３と入力電極１１
の間隔及び反射器１４と出力電極１２の間隔は、共にｍ
λ／２程度に設定されている。ｍは、正の整数であり、
「１」又は「２」程度の小さな値が好ましい。 【００１０】上記のように構成した弾性表面波フィルタ
装置においては、シミュレーションの結果、周波数伝達
特性としての周波数に対する挿入損失（利得）の変化は
図２のグラフに示すようになることを確認した。なお、
この場合の弾性表面波フィルタ装置の仕様は下記表１の
通りである。 【００１１】 【表１】 【００１２】このグラフによれば、共振周波数が順に高
くなる第１〜第３の共振峰Ｐ１〜Ｐ３が４５０ＭＨｚ当
りに発生することが確認される。第１共振峰Ｐ１は、反
射器１３，１４間の共振すなわち反射器１３，１４の等
価反射面Ｘ１，Ｘ１間の定在波を構成する弾性表面波の
共振に関するものである。第２共振峰Ｐ２は、入力電極
１１自身及び出力電極１２自身の各内部の弾性表面波の
共振に関するものである。第３共振峰Ｐ３は、両電極１
１，１２間の共振すなわち両電極１１，１２の等価反射
面Ｘ２，Ｘ２間の定在波を構成する弾性表面波の共振に
関するものである。 【００１３】また、シミュレーションにより、両電極１
１，１２間の距離ｄを変化させて、第１〜第３共振峰Ｐ
１〜Ｐ３の周波数位置及び最大ピークレベル差Ｐ−Ｐの
変化を確認すると、第１〜第３共振峰Ｐ１〜Ｐ３の各周
波数位置は図３のグラフのように変化し、かつ最大ピー
クレベル差Ｐ−Ｐは図４のグラフのように変化すること
が確認された。一方、両電極１１，１２の各電極指１１
ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの数及び反射器１３，１４
の各グレーティング１３ａ，１４ａの数を変化させて
も、前記第１〜第３共振峰Ｐ１〜Ｐ３の周波数位置及び
最大ピークレベル差Ｐ−Ｐはバンドパスフィルタの設計
に影響を与えるほど大きく変化しないことも確認され
た。 【００１４】このようなシミュレーション結果より、広
帯域かつフラットなバンドパス特性を得るためには、図
３のグラフから、第１〜第３共振峰Ｐ１〜Ｐ３の周波数
差が大きくなるようにすることが適切であり、両電極間
距離ｄを決める前記整数ｎは数十（例えば、「８０」）
以下であることが適当であることが考察される。また、
フラットなバンドパス特性を得るためには、第１〜第３
共振峰Ｐ１〜Ｐ３の最大ピークレベル差Ｐ−Ｐが所定値
以下（例えば、３．０ｄＢ以下）である必要があり、図
４のグラフから両電極１１，１２間の距離ｄを１８λ／
２以上に設定する必要があることが理解される。 【００１５】そして、前記のような条件の基に弾性表面
波フィルタ装置を構成すれば、第１〜第３共振峰Ｐ１〜
Ｐ３にそれぞれ対応した３つの共振を利用できるので、
フラットな周波数伝達特性を有しかつ広帯域のバンドパ
スフィルタを実現できる。また、この場合、両電極１
１，１２の各電極指１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの
数を減少させる必要もないので、挿入損失を小さく抑え
ることもできる。 【００１６】上述のように構成した弾性表面波フィルタ
装置１０Ａの使用に際しては、図５に示すように、同装
置１０Ａにインダクタンスを含む入力側インピーダンス
調整回路２１及び出力側インピーダンス調整回路２２を
接続して、信号通過帯域特性が極力フラットになるよう
に回路のマッチングを図る。そして、この回路による入
力電圧Ｅinに対する出力電圧Ｅout の周波数伝達特性を
周波数に対する挿入損失（利得）で示すと、図６のグラ
フのようになる。これにより、信号通過帯域がきわめて
フラットな周波数伝達特性を有し、かつ中心周波数４４
９．８８５ＭＨｚ、信号通過帯域幅６３０ＫＨｚのバン
ドパスフィルタが実現されたことになる。なお、この図
６の実験に用いた弾性表面波フィルタ装置１０Ａも、上
記表１の仕様と同じものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例を示す弾性表面波フィルタ
装置を平面的に示すとともに、同装置を伝搬する弾性表
面波を模擬的に示す概略図である。 【図２】 図１の弾性表面波フィルタ装置の周波数に対
する挿入損失（利得）の変化を示すグラフである。 【図３】 入力電極と出力電極の間の距離を変化させた
場合の共振峰の周波数位置の変化を示すグラフである。 【図４】 入力電極と出力電極の間の距離を変化させた
場合の共振峰の最大ピークレベル差の変化を示すグラフ
である。 【図５】 前記弾性表面波フィルタ装置の使用例を示す
回路図である。 【図６】 同使用例の周波数に対する挿入損失（利得）
の変化を示すグラフである。 【符号の説明】 １０…圧電基板、１１…入力電極、１１ａ，１１ｂ…電
極指、１２…出力電極、１２ａ，１２ｂ…電極指、１
３，１４…反射器、１３ａ，１４ａ…グレーティング。
装置を平面的に示すとともに、同装置を伝搬する弾性表
面波を模擬的に示す概略図である。 【図２】 図１の弾性表面波フィルタ装置の周波数に対
する挿入損失（利得）の変化を示すグラフである。 【図３】 入力電極と出力電極の間の距離を変化させた
場合の共振峰の周波数位置の変化を示すグラフである。 【図４】 入力電極と出力電極の間の距離を変化させた
場合の共振峰の最大ピークレベル差の変化を示すグラフ
である。 【図５】 前記弾性表面波フィルタ装置の使用例を示す
回路図である。 【図６】 同使用例の周波数に対する挿入損失（利得）
の変化を示すグラフである。 【符号の説明】 １０…圧電基板、１１…入力電極、１１ａ，１１ｂ…電
極指、１２…出力電極、１２ａ，１２ｂ…電極指、１
３，１４…反射器、１３ａ，１４ａ…グレーティング。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−283309（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−12206（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−30413（ＪＰ，Ａ)
山本泰司，複合縦モード共振器型ＳＡ
Ｗフィルタ，電子情報通信学会論文誌,
1993年２月25日，ＶＯＬ．Ｊ76−Ａ，Ｎ
ｏ．２（第302号，ｐ．219−226
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 9/64
H03H 9/145
H03H 9/25
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 圧電基板上に櫛歯状の入力電極及び出力
電極を弾性表面波の伝搬方向に直列に配置するとともに
前記両電極の各外側に反射器をそれぞれ配置してなる弾
性表面波フィルタ装置において、前記入力電極と出力電
極との各内側間の距離を伝搬弾性表面波の１／２波長の
１８倍以上に設定して、前記両反射器間の共振、前記両
電極自身の各内部共振及び前記両電極間の共振からなる
３つの共振を用いてバンドパス特性を得るようにしたこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06085595A JP3368087B2 (ja) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | 弾性表面波フィルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06085595A JP3368087B2 (ja) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | 弾性表面波フィルタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08265100A JPH08265100A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3368087B2 true JP3368087B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=13154423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06085595A Expired - Fee Related JP3368087B2 (ja) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | 弾性表面波フィルタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3368087B2 (ja) |
-
1995
- 1995-03-20 JP JP06085595A patent/JP3368087B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 山本泰司，複合縦モード共振器型ＳＡＷフィルタ，電子情報通信学会論文誌，１９９３年２月２５日，ＶＯＬ．Ｊ７６−Ａ，Ｎｏ．２（第３０２号，ｐ．２１９−２２６ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08265100A (ja) | 1996-10-11 |
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