JPH0832107B2 - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPH0832107B2 JPH0832107B2 JP61019381A JP1938186A JPH0832107B2 JP H0832107 B2 JPH0832107 B2 JP H0832107B2 JP 61019381 A JP61019381 A JP 61019381A JP 1938186 A JP1938186 A JP 1938186A JP H0832107 B2 JPH0832107 B2 JP H0832107B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric vibrator
- insulating layer
- piezoelectric
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は、超音波トランスデューサなどの圧電振動子
において、外来電磁雑音をシールドするための電極を、
本来の電極の上に絶縁層を介して形成することを特徴と
する。
において、外来電磁雑音をシールドするための電極を、
本来の電極の上に絶縁層を介して形成することを特徴と
する。
本発明は超音波診断装置や超音波探傷装置などのプロ
ーブに使用される圧電振動子の改良にかかわり、外来の
電磁的雑音を除去して高い精度の測定を可能とするもの
である。
ーブに使用される圧電振動子の改良にかかわり、外来の
電磁的雑音を除去して高い精度の測定を可能とするもの
である。
従来の圧電振動子は一般に、第４図に示す如くバッキ
ング材41、圧電体40、整合層42から成り、圧電体40は圧
電セラミック40−１、背面電極40−２、前面電極40−３
から成る。本図において観測用超音波は前面電極側から
整合層を介して測定対象に送出され、対象からの反射波
はその逆の径路で受信され、信号処理されて表示等され
る。
ング材41、圧電体40、整合層42から成り、圧電体40は圧
電セラミック40−１、背面電極40−２、前面電極40−３
から成る。本図において観測用超音波は前面電極側から
整合層を介して測定対象に送出され、対象からの反射波
はその逆の径路で受信され、信号処理されて表示等され
る。
受信される信号は一般に極めて微弱であり、信号ケー
ブルなどで拾われる外来の電磁雑音の影響は無視できな
い。そのため、信号ケーブルやコネクタにシールドを施
すことが行われているが、圧電振動子の開口面について
のシールドが問題となっている。これに対して第５図に
示す如く、整合層42の上にシールド電極を設ける例が提
案されている（実開昭58−48221、特開昭59−207138
等）。尚、43は音響レンズである。
ブルなどで拾われる外来の電磁雑音の影響は無視できな
い。そのため、信号ケーブルやコネクタにシールドを施
すことが行われているが、圧電振動子の開口面について
のシールドが問題となっている。これに対して第５図に
示す如く、整合層42の上にシールド電極を設ける例が提
案されている（実開昭58−48221、特開昭59−207138
等）。尚、43は音響レンズである。
しかし第５図の例においては、シールド電極が整合層
42の上に設けられるため、超音波の音響特性に悪影響を
及ぼさないようにその厚みを極端に薄くする必用があ
り、またこのシールド電極からリード線を引出すのが難
しい、などの問題点があった。
42の上に設けられるため、超音波の音響特性に悪影響を
及ぼさないようにその厚みを極端に薄くする必用があ
り、またこのシールド電極からリード線を引出すのが難
しい、などの問題点があった。
本発明では第１図に原理図を示す如く、一方の電極11
の上にこの電極と略同じ音響インピーダンスを有する絶
縁層13を介してシールド電極14を形成することを特徴と
する。
の上にこの電極と略同じ音響インピーダンスを有する絶
縁層13を介してシールド電極14を形成することを特徴と
する。
このような構成をとることにより、電極11,12,圧電体
10、絶縁層13及びシールド電極14の音響インピーダンス
を略同じとすることは容易にできるため、基本周波数は
全体の厚さの平均音速で計算されるλ/2共振周波数とし
て扱うことができ、音響特性を損なうことはない。また
絶縁層13としては、電極材と音響インピーダンスの近い
アルミナ（Al2O3）や酸化珪素（SiO2）などの金属酸化
膜を蒸着、または焼付などで形成すればよい。
10、絶縁層13及びシールド電極14の音響インピーダンス
を略同じとすることは容易にできるため、基本周波数は
全体の厚さの平均音速で計算されるλ/2共振周波数とし
て扱うことができ、音響特性を損なうことはない。また
絶縁層13としては、電極材と音響インピーダンスの近い
アルミナ（Al2O3）や酸化珪素（SiO2）などの金属酸化
膜を蒸着、または焼付などで形成すればよい。
又、リード線の引出しについても、本来の電極11、12
のリード線と同様に行え、従来のように整合層や音響レ
ンズの形成工程における特別の配慮は不要となる。
のリード線と同様に行え、従来のように整合層や音響レ
ンズの形成工程における特別の配慮は不要となる。
第２図は本発明の一実施例による超音波トランスデュ
ーサを示し、20は圧電振動子、20−１は圧電セラミッ
ク、20−２は背面電極、20−３は前面電極、20−４は絶
縁層、20−５はシールド電極、21は整合層、22はバッキ
ング材、23は駆動／受信回路を示す。シールド電極20−
５は接地されており、矢印方向からの電磁波はこの電極
によって反射、吸収されて前面電極20−３の到達エネル
ギーは減衰したものとなる。
ーサを示し、20は圧電振動子、20−１は圧電セラミッ
ク、20−２は背面電極、20−３は前面電極、20−４は絶
縁層、20−５はシールド電極、21は整合層、22はバッキ
ング材、23は駆動／受信回路を示す。シールド電極20−
５は接地されており、矢印方向からの電磁波はこの電極
によって反射、吸収されて前面電極20−３の到達エネル
ギーは減衰したものとなる。
第３図は本発明の他の実施例によるアレイ型超音波ト
ランスデューサを示し、第２図と同じ符合は同じものを
意味し、又24は音響レンズである。第２図と異なるの
は、圧電セラミックが複数に分割されており、前面電極
は互いに共通接続されていること、及び前面電極20−３
とシールド電極20−５はリード線引出しのためにその一
部が露出していることである。
ランスデューサを示し、第２図と同じ符合は同じものを
意味し、又24は音響レンズである。第２図と異なるの
は、圧電セラミックが複数に分割されており、前面電極
は互いに共通接続されていること、及び前面電極20−３
とシールド電極20−５はリード線引出しのためにその一
部が露出していることである。
以上の如く本発明によれば、シールド電極が前面電極
の上に絶縁層を介して形成されるので、音響特性を損な
うことがなく、またリード線の引出しも容易に行うこと
ができる。
の上に絶縁層を介して形成されるので、音響特性を損な
うことがなく、またリード線の引出しも容易に行うこと
ができる。
尚、シールド電極は前面側のみでなく、背面側にも設
けることができる。
けることができる。
第１図は本発明の原理を示す断面図、第２図は本発明の
一実施例を示す斜視図、第３図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第４図は従来例を示す断面図、第５図は他
の従来例を示す断面図である。 第１図において、10は圧電セラミック、11は前面電極、
12は背面電極、13は絶縁層、14はシールド電極である。
一実施例を示す斜視図、第３図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第４図は従来例を示す断面図、第５図は他
の従来例を示す断面図である。 第１図において、10は圧電セラミック、11は前面電極、
12は背面電極、13は絶縁層、14はシールド電極である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 早川 健一 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−99900（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】圧電体の両面に夫々電極を有する圧電振動
子において、少なくともその片面の電極上に該電極と音
響インピーダンスを略同じとした電気的絶縁層を介して
第２層目の電極を形成したことを特徴とする圧電振動
子。 - 【請求項２】上記片面に形成された２層の電極から、互
いに独立のリード線が引き出されていること特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の圧電振動子。 - 【請求項３】上記絶縁層として、金属酸化膜を使用する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記
載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61019381A JPH0832107B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61019381A JPH0832107B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62178100A JPS62178100A (ja) | 1987-08-05 |
| JPH0832107B2 true JPH0832107B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=11997733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61019381A Expired - Lifetime JPH0832107B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0832107B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070046149A1 (en) * | 2005-08-23 | 2007-03-01 | Zipparo Michael J | Ultrasound probe transducer assembly and production method |
| JP2008302098A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Fujifilm Corp | 超音波探触子、超音波探触子用バッキング材及びその製造方法 |
| EP2326432A2 (en) * | 2008-09-16 | 2011-06-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Capacitive micromachined ultrasound transducer |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5999900A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-08 | Toshiba Corp | 超音波探触子 |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP61019381A patent/JPH0832107B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62178100A (ja) | 1987-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |