JPH08316288A - 自動搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品点数を削減してコストを低減し、かつ処
理時間の短縮を図った自動搬送装置を提供する。 【構成】 複数のガラス基板を収納するケースと、載物
台を有する処理部と、基板を保持するフォーク１１を有
し、ケースからフォークにより取り出した基板を処理部
へ搬送し、処理が終了した基板をフォークにより受け取
ってケースまで搬送し、ケース内へ収納させる搬送ロボ
ット１０と、ロボット１０に移動指令を与えるコントロ
ーラ２０と、載物台に載置された基板の位置ずれ量及び
傾き角度を検出するセンサ３０とを備える。コントロー
ラ２０は、基板がケースから取り出される時と同じ位置
及び姿勢でケース内へ収納されるように、フォーク１１
の位置及び傾きをセンサ３０の検出値に基づいて補正す
るための移動指令を、基板を載物台から受け取る時にロ
ボット１０へ与える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハ，矩形
のガラス基板，プリント基板及び各原板などの偏平物体
を収納するケースと偏平物体に処理を加える処理部との
間で基板を搬送する自動搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の自動搬送装置としては、例えば
図５に示すようなものが考えられている。この自動搬送
装置は、複数の偏平物体（例えば液晶表示装置用のガラ
ス基板）５０を収納するカセット５１と、基板５０が載
置される載物台５２ａ、５３ａをそれぞれ有する第１、
第２処理部５２、５３と、基板５０を搬送する搬送ロボ
ット（以下、単にロボットという）５４とを備えてい
る。第１処理部５２には、この処理部５２で処理された
基板５０をロボット５４へ引き渡すために保持する第１
受け渡し部５５が設けられている。第２処理部５３に
は、この処理部５３で処理された基板５０をロボット５
４へ引き渡すために保持する第２受け渡し部５６が設け
られている。カセット５１には、基板５０を１枚ずつ収
納するための複数の収納部が上下方向に設けられてい
る。各収納部には、基板５０の両側部の下面を支持する
張り出し部５１ａが設けられている。また、自動搬送装
置には、処理済みの基板５０をカセット５１の収納部内
へ収納する際に、その収納部から取り出された時と同じ
位置及び姿勢に基板５０を位置決めするための収納部プ
リアライメント機構５７が設けられている。

【０００３】この自動搬送装置は、基板５０をロボット
５４のフォーク５４ａによってカセット５１の収納部か
ら取り出し、その基板５０を加工や検査等の一連の処理
を行なう処理部５２、５３へロボット５４により順次搬
送し、一連の処理が終了した処理済みの基板５０を図５
に示す元の位置までロボット５４により搬送し、その基
板５０をフォーク５４ａによってカセット５１の収納部
へ挿入して収納するようになっている。

【０００４】ところで、液晶表示装置に用いられるガラ
ス基板のような矩形の基板５０は、生産効率を高める都
合上、全面に渡って処理されている。そのため、カセッ
ト５１の各収納部の張り出し部５１ａは、基板５０を傷
めないように支持するために、最低限必要な僅かな張り
出し量しかない。したがって、基板５０をカセット５１
の収納部内に確実に収納するためには、基板５０の姿勢
を収納部の姿勢に正確に合わせて挿入する必要がある。

【０００５】また、ロボット５４は、基板５０をフォー
ク５４ａの上面に複数の真空吸着パッド５４ｂにより真
空吸着して保持した状態で搬送するが、フォーク５４ａ
の急な加減速や基板５０の変形等による基板５０の真空
吸着パッド保持力の低下によって基板５０がフォーク５
４ａの上面上で動いてしまう。これによって、フォーク
５４ａの上面上における基板５０の位置（Ｘ軸方向及び
Ｙ軸方向の位置）や姿勢（ＸＹ平面内での角度位置）
が、ケース５１の収納部から取り出された時の基準位置
（図５の二点鎖線で示す位置）からズレてしまう。ま
た、フォーク５４ａを上下させるためにロボット５４の
Ｚ軸駆動機構のＺ軸ガイドレールが傾いていると、フォ
ーク５４ａが受け渡し部５５，５６上にある基板５０を
受け取る時におけるフォーク５４ａに対する基板５０の
位置が、フォーク５４ａが基板５０を載物台５２ａ、５
３ａ上に引き渡す時と異なってしまう。これによって
も、フォーク５４ａ上における基板５０の位置が前記基
準位置からズレてしまう。また、基板５０をフォーク５
４ａや載物台５２ａ、５３ａの真空吸着パッドで真空吸
着する際に、全ての真空吸着パッドが基板５０の面に垂
直に当たらないと、基板５０が回転してしまう。これに
よっても、フォーク５４ａ上における基板５０の位置や
姿勢が、基準位置からズレてしまう。

【０００６】そのため、一連の処理が終了してロボット
５４が図５に示す元の位置に戻った時には、フォーク５
４ａ上にある前記処理済みの基板５０が基準位置からズ
レている。その状態のまま基板５０を収納部内へ収納し
ようとすると、基板５０がカセット５１に衝突して破損
したり、基板５０が張り出し部５１ａから外れて落下し
てしまうことがある。したがって、基板５０をカセット
５１の収納部内へ安全に挿入しかつ確実に収納するため
には、収納前に基板５０の姿勢を収納部の姿勢に正確に
合わせる必要がある。

【０００７】そのために、前記プリアライメント機構５
７が設けられている。このプリアライメント機構５７
は、３本の基準ピン５８ａを有する固定部材５８と、２
本の押し付けピン５９ａを有する押し付け部材５９とを
有する。２本の押し付けピン５９ａでフォーク５４ａ上
にある真空吸着されていない基板５０の２つの端面を押
し付けることにより、その端面とは反対側にある基板５
０の２つの端面が３本の基準ピン５８ａに押し付けられ
て基板５０が位置決めされる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、基準ピン５８ａや押し付けピン５９ａ以外
に、そのピン５９を押し付けるためのエアシリンダ等が
必要なプリアライメント機構５７を設ける必要があるた
め、部品点数が増えて製造コストが増加してしまい、か
つプリアライメント機構５７による機械的な位置決め作
業を行なうのに時間がかかり、装置タスク（Ｎ枚目の基
板５０がカセット５１から取り出されてから、Ｎ＋１枚
目の基板５０がカセットから取り出されるまでの時間）
が長くなって全体の処理時間が長くなってしまうという
問題がある。

【０００９】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、その課題は部品点数を削減してコストを低
減し、かつ処理時間の短縮を図った自動搬送装置を提供
することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明に係る自動搬送装置装置は、複数
の偏平物体を収納するケースと、前記偏平物体が載置さ
れる載物台を有する処理部と、前記偏平物体を保持する
保持部材を有し、前記ケースから前記保持手段により取
り出した前記偏平物体を前記処理部へ搬送し、前記処理
部による処理が終了した前記偏平物体を前記保持部材に
より受け取って前記ケースまで搬送し、かつ前記ケース
内へ収納させる搬送ロボットと、前記搬送ロボットに移
動指令を与えるロボット制御部と、前記処理部又はその
近傍に設けられ、前記載物台に載置された基板の基準位
置に対する位置ずれ量及び傾き角度を検出する位置検出
手段とを備え、前記ロボット制御部は、前記偏平物体が
前記ケースから取り出される時と同じ位置及び姿勢で前
記ケース内へ収納されるように、前記搬送ロボットの前
記保持部材の位置及び傾きを前記検出手段の検出値に基
づいて補正するための移動指令を、前記偏平物体を前記
処理部の前記載物台から受け取る時又は前記ケース内へ
収納する直前に前記搬送ロボットへ与えるように構成さ
れている。

【００１１】請求項２記載の発明に係る自動搬送装置装
置は、前記処理部を複数有し、前記複数の処理部の各々
には、処理された前記偏平物体を前記処理部から受け取
り、前記搬送ロボットへ搬送するために保持する受け渡
し部が設けられており、かつ前記位置検出手段は、前記
複数の処理部のうちの最終の処理部にある前記受け渡し
部又はその近傍に設けられている。

【００１２】

【作用】請求項１記載の自動搬送装置装置では、位置検
出手段が処理部の載物台に載置された偏平物体の基準位
置に対する位置ずれ量及び傾き角度を検出する。ロボッ
ト制御部は、偏平物体がケースから取り出される時と同
じ位置及び姿勢でケース内へ収納されるように、搬送ロ
ボットの保持部材の位置及び傾きを検出手段の検出値に
基づいて補正するための移動指令を、偏平物体を載物台
から受け取る時又はケース内へ収納する直前に搬送ロボ
ットへ与える。これによって、搬送ロボットの保持部材
の位置及び傾きが前記位置ずれ量及び傾き角度だけ変化
し、偏平物体をケース内へ収納する際に偏平物体がケー
スから取り出される時と同じ位置及び姿勢となり、偏平
物体をケース内に安全かつ確実に収納することができ
る。そのため、上記従来技術のようなプリアライント機
構を設ける必要がないと共に、偏平物体をケース内へ収
納する前に、時間のかかる偏平物体の機械的な位置決め
作業をする必要がない。

【００１３】

【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００１４】図１はこの発明の一実施例に係る自動搬送
装置を示す概略構成図であり、図２はその自動搬送装置
を示す平面図である。

【００１５】この自動搬送装置は、偏平物体例えば液晶
表示装置用の矩形のガラス基板１をカセットから取り出
し、そのガラス基板１をこれに加工や検査等の一連の処
理を加える処理部へ搬送し、かつ一連の処理が終了した
基板１をカセット２内へ収納するという一連の搬送動作
を自動的に行なうものである。

【００１６】一実施例に係る自動搬送装置は、図２に示
すように、複数のガラス基板（以下、単に基板という）
１を収納する第１カセット２及び第２カセット３と、基
板１が載置される載物台４ａ及び５ａをそれぞれ有する
第１処理部４及び第２処理部５と、基板１を搬送する搬
送ロボット（以下、単にロボットという）１０とを備え
ている。第１処理部４には、この処理部４で処理された
基板１をロボット１０へ引き渡すために保持する第１受
け渡し部７が設けられている。第２処理部５には、この
処理部５で処理された基板１をロボット１０へ引き渡す
ために保持する第２受け渡し部８が設けられている。

【００１７】第１カセット２及び第２カセット３はカセ
ット台６上に固定されている。このカセット台６には、
両カセット２、３の一方をカセット位置（収納している
基板１をロボット１０のフォーク１１によって取り出し
可能な位置）に位置決めするための位置決め機構が設け
られている。図２では、第１カセット２がカセット位置
にセットされている。カセット２、３には、基板１を１
枚ずつ収納するための複数の収納部が上下方向に設けら
れている。カセット２、３の各収納部には、基板１の両
側部の下面を支持する張り出し部２ａ、３ａが設けられ
ている。

【００１８】第１処理部４の載物台４ａには、ロボット
１０のフォーク１１が進入できる凹部４ｂと、第１受け
渡し部７のアーム７ａが進入できる凹部４ｃとが設けら
れている。載物台４ａの上面には、基板１を保持するた
めの真空吸着パッド４ｄが４箇所に設けられている。載
物台４ａの上面の中央部には、基板１の有無を検知する
１つのセンサ４ｅが設けられている。

【００１９】第２処理部５の載物台５ａには、フォーク
１１が進入できる凹部５ｂと、第２受け渡し部８のアー
ム８ａが進入できる凹部５ｃとが設けられている。載物
台５ａの上面には、基板１を保持するための真空吸着パ
ッド５ｄが４箇所に設けられている。

【００２０】ロボット１０は、基板１を上面に載せて保
持するフォーク１１をカセット２や処理部４、５に対し
て進退させる（Ｘ軸方向に移動させる）Ｘ軸直進機構
と、フォーク１１を上下させる（Ｚ軸方向に移動させ
る）Ｚ軸直進機構と、フォーク１１を回転させる回転機
構と、前記３つの機構部分等が搭載されたロボット本体
１０ａ（図１参照）を処理部４、５の並び方向（Ｙ軸方
向）に移動させるＹ軸直進機構とを有する４軸ロボット
である。Ｙ軸直進機構はガイドレール１２を有する。Ｘ
軸直進機構はガイドレール１５を有する（図４参照）。
フォーク１１は板状の部材である。フォーク１１の上面
には、基板１を保持するための真空吸着パッド１３が４
箇所に設けられている。フォーク１１の上面の中央部に
は、基板１の有無を検知する１つのセンサ１４が設けら
れている。

【００２１】第１受け渡し部７は、基板１を上面に載せ
て保持するアーム７ａを第１処理部４に対して進退させ
るＹ軸直進機構と、アーム７ａを上下させるＺ軸直進機
構とを有する２軸ロボットである。アーム７ａには、ロ
ボット１０のフォーク１１が進入できる凹部７ｂが設け
られている。アーム７ａの上面には基板１を保持するた
めの真空吸着パッド７ｃが４箇所に設けられている。

【００２２】第２受け渡し部８は、基板１を上面に載せ
て保持するアーム８ａを第２処理部５に対して進退させ
るＹ軸直進機構と、アーム８ａを上下させるＺ軸直進機
構とを有する２軸ロボットである。アーム８ａには、図
２及び図４に示すように、フォーク１１が進入できる凹
部８ｂが設けられている。アーム８ａの上面には基板１
を保持するための真空吸着パッド８ｃが４箇所に設けら
れている。

【００２３】また、一実施例に係る自動搬送装置は、図
１に示すように、ロボット１０に移動指令を与える搬送
ロボットコントローラ（以下、単にコントローラとい
う）２０と、第２受け渡し部８のアーム８ａ上に保持さ
れている基板１の基準位置３４（図４参照）に対する位
置ずれ量（Ｘ軸方向及びＹ軸方向のずれ量）及び傾き角
度（ＸＹ平面内での回転角度）を検出する基板位置検知
センサ（以下、単に検知センサという）３０とが設けら
れている。

【００２４】コントローラ２０は、予め入力されたティ
ーチングデータを記憶するメモリー部２１と、メモリー
部２１からのティーチングデータに基づきロボット１０
の移動指令を演算し、その移動指令を表わす信号を出力
する移動指令演算部（以下、単に演算部という）２２と
を有する。

【００２５】検知センサ３０は、図４に示すように、第
２受け渡し部８のアーム８ａの上面に配置された３つの
ＣＣＤラインセンサ３１〜３３から構成されている。Ｃ
ＣＤラインセンサ３１及び３２は、基準位置３４を示す
仮想の矩形の一辺に沿って配置されており、基板１の一
端面をそれぞれ下方から検知し、その検知した位置を表
わす位置信号を前記演算部２２へ出力する。ＣＣＤライ
ンセンサ３３は、前記一辺と直交する前記仮想の矩形の
他の辺に配置されており、前記一端面と直交する基板１
の他端面を下方から検知し、その検知した位置を表わす
位置信号を前記演算部２２へ出力する。すなわち、検知
センサ３０は、２つのＣＣＤラインセンサ３１と３３又
は３２と３３によって、基準位置３４に対する基板１の
位置ずれ量（Ｘ軸方向及びＹ軸方向のずれ量）を検出す
ると共に、２つのＣＣＤラインセンサ３１と３２によっ
て基準位置３４に対する基板１の傾き角度（ＸＹ平面内
での回転角度）を検出する。

【００２６】図４に示す基準位置３４は、基板１の位置
決め基準となる位置で、図２の二点鎖線で示す基準位置
３５に対応している。すなわち、アーム８ａの上面にあ
る基板１が基準位置３４に正確に位置し、かつフォーク
１１をガイドレール１２に対して直角にした状態でフォ
ーク１１が基板１をアーム８ａから受け取れば、ロボッ
ト１０が図２に示す元の位置まで戻った時に、基板１が
図２の基準位置３５に正確に位置するようになってい
る。

【００２７】前記演算部２２は、２つのＣＣＤラインセ
ンサ３１と３３又は３２と３３からの位置信号に基づき
前記位置ずれ量を演算すると共に、２つのＣＣＤライン
センサ３１と３２からの位置信号に基づき前記傾き角度
を演算し、その演算値を補正値とする移動指令をロボッ
ト１０へ出力するように構成されている。

【００２８】すなわち、演算部２２は、基板１がカセッ
ト２から取り出される時と同じ位置及び姿勢で（図２の
基準位置３５で）カセット２内へ収納されるように、フ
ォーク１１の位置及び傾き（ＸＹ平面内での位置及び姿
勢方向）を検知センサ３０の検出値（３つのＣＣＤライ
ンセンサ３１〜３３からの位置信号）に基づいて補正す
るための移動指令をロボット１０へ与えるように構成さ
れている。その移動指令は、フォーク１１が基板１をア
ーム８ａから受け取る時（例えば、フォーク１１がアー
ム８ａへ向かって繰り出される直前に）ロボット１０へ
与えられる。

【００２９】上記自動搬送装置では、基板１を２つの処
理部４、５で処理する場合に、基板１の自動搬送は以下
の手順でなされる（図３参照）。図３において、実線矢
印は基板１の搬送経路を示している。 （１）ロボット１０のフォーク１１がカセット２内の収
納部から１枚の基板１を受け取る（図３の経路６１）。 （２）その基板１をフォーク１１が第１処理部４の載物
台４ａ上に載せる（図３の経路６２）。 （３）第１受け渡し部７のアーム７ａが第１処理部４に
よる処理が終了した基板１を第１処理部４の載物台４ａ
から受け取り（図３の経路６３）、フォーク１１へ引き
渡すために保持する。 （４）ロボット１０が第１処理部４の位置から第１受け
渡し部７の位置までガイドレール１２に沿って（Ｙ軸方
向に）移動し、第１受け渡し部７のアーム７ａ上にある
基板１をフォーク１１により受け取る（図３の経路６
４）。 （５）ロボット１０が第１受け渡し部７の位置から第２
処理部５の載物台５ａの位置までＹ軸方向に移動する
（図３の経路６５）。 （６）フォーク１１が基板１を第２処理部５の載物台５
ａ上に載せる（図３の経路６６）。 （７）第２受け渡し部８のアーム８ａが第２処理部５に
よる処理が終了した基板（処理済みの基板）１を第２処
理部５の載物台５ａから受け取り（図３の経路６７）、
フォーク１１へ引き渡すために保持する。

【００３０】このとき、検知センサ３０のＣＣＤライン
センサ３１〜３３は、図４の基準位置３４に対する基板
１の位置ずれ量及び傾き角度を検出する。すなわち、Ｃ
ＣＤラインセンサ３１及び３２は、基板１の前記一端面
を検知し、その検知した位置を表わす位置信号を演算部
２２へ出力する。ＣＣＤラインセンサ３３は、基板１の
前記他端面を検知し、その検知した位置を表わす位置信
号を演算部２２へ出力する。演算部２２は、ＣＣＤライ
ンセンサ３１〜３３からの位置信号に基づき前記位置ず
れ量及び傾き角度を演算し、その演算値をメモリー２１
が記憶する。 （８）ロボット１０が第２処理部５のの載物台５ａの位
置から第２受け渡し部８の位置までＹ軸方向に移動す
る。この移動後、演算部２２は、フォーク１１が基板１
を第２受け渡し部８のアーム８ａから受け取る時に、前
記位置ずれ量及び傾き角度の演算値をメモリー２１から
読み込み、その演算値を補正値とする移動指令をロボッ
ト１０へ与える。これによって、フォーク１１の位置及
び傾き（ＸＹ平面内での位置及び姿勢方向）が基板１の
位置及び傾きに応じてすなわち前記位置ずれ量及び傾き
角度だけ変更される。この変更後、フォーク１１が繰り
出され、第２受け渡し部８のアーム８ａ上にある処理済
みの基板１を受け取る（図３の経路６８）。これによっ
て、基板１は、フォーク１１の上面に前記位置ずれ量及
び傾き角度が補正された正しい位置で保持される。 （９）ロボット１０が第２受け渡し部８の位置から図２
に示す元の位置までＹ軸方向に移動する（図３の経路６
９）。 （１０）この移動後、演算部２２は、前記位置ずれ量及
び傾き角度の演算値をメモリー２１から再び読み込み、
その演算値を補正値とする移動指令をロボット１０へ与
える。これによって、フォーク１１の位置及び傾きが前
記位置ずれ量及び傾き角度だけ元に戻され、基板１が図
２の基準位置３５に位置する。この状態でフォーク１１
を繰り出すことにより、基板１をカセット２内の収納部
へ収納する（図３の経路７０）。

【００３１】このように、上記一実施例によれば、フォ
ーク１１が処理済みの基板１を第２受け渡し部８のアー
ム８ａから受け取る時に、フォーク１１の位置及び傾き
が基板１の基準位置（図２の基準位置３４）に対する位
置ずれ量及び傾き角度だけ変更され、かつロボット１０
が処理済みの基板１を保持して図２に示す元の位置に戻
った後、フォーク１１の位置及び傾きが前記位置ずれ量
及び傾き角度だけ元に戻されるので、基板１をカセット
２内へ収納する際に基板１が図２の基準位置３５に位置
する（カセット２から取り出される時と同じ位置及び姿
勢となる）。これによって、基板１をカセット２内へ安
全に挿入しかつ確実に収納することができる。そのた
め、上記従来技術のようなプリアライント機構を設ける
必要がないと共に、基板をケース内へ収納する前に、時
間のかかる基板の機械的な位置決め作業をする必要がな
い。したがって、部品点数を削減してコストを低減し、
かつ処理時間の短縮を図ることができる。

【００３２】また、上記一実施例によれば、処理部４、
５に受け渡し部７、８をそれぞれ設けてあるため、装置
タクト（Ｎ枚目の基板１がカセット２から取り出されて
から、Ｎ＋１枚目の基板１がカセット２から取り出され
るまでの時間）を短縮することができる。すなわち、第
１受け渡し部７が無いと、ロボット１０は、カセット２
から取り出した基板１を第１処理部４の載物台４ａ上に
載せてから、第１処理部４による処理が終了するまで、
基板１を受け取るためにその場で待機しなければなら
ず、その分だけ無駄な時間が生じる。同様に、第２受け
渡し部８無いと、ロボット１０は、基板１を第２処理部
５の載物台５ａ上に載せてから、第２処理部５での処理
が終了するまで、基板１を受け取るためにその場で待機
しなければならなず、その分だけ無駄な時間が生じる。
これに対して、上記一実施例によれば、前記無駄な時間
がないので、前記装置タクトを短縮して全体の処理時間
を短縮することができる。

【００３３】なお、上記一実施例では、フォーク１１の
位置及び傾きを前記位置ずれ量及び傾き角度だけ元に戻
す動作を、ロボット１０が図２に示す元の位置に戻った
後に行なっているが、その動作を、フォーク１１が処理
済みの基板１を第２受け渡し部８から受け取った直後に
行なうようにしてもよい。

【００３４】また、上記一実施例において、前記検知セ
ンサ３０として、ＣＣＤラインセンサ３１〜３３に代え
て、２次元のＣＣＤカメラを２つ用いてもよい。この場
合、その一方で基板１の前記一端面を検出し、その他方
で基板１の前記他端面を検出する。

【００３５】また、上記一実施例において、ＣＣＤライ
ンセンサ３１〜３３に代えて、ＰＳＤを用いてもよい。

【００３６】また、上記一実施例において、ＣＣＤライ
ンセンサ３１〜３３に代えて、フォトダイオードを用い
てもよい。この場合、位置ずれ量は、フォトダイオード
の絶対受光量から求め、傾き角度は、フォトダイオード
間の相対受光量から求める。但し、フォトダイオードを
用いる場合、基板周囲照度の変動を基板の位置及び傾き
の変化と誤検知しないように、常に、基板周囲照度をモ
ニターする必要がある。

【００３７】また、上記一実施例において、ＣＣＤライ
ンセンサ３１〜３３に代えて、第２受け渡し部８のアー
ム８ａの上方にカメラを配置し、このカメラによってア
ーム８ａ上にある基板１の基準位置に対する位置ずれ量
及び傾き角度を検知するようにしてもよい。

【００３８】さらに、上記一実施例において、ＣＣＤラ
インセンサ３１〜３３に代えて、接触式のセンサを用い
てもよい。この場合、前記アーム８ａ上にある基板１の
前記一端面に押し付けられる２つのピンと、基板１の前
記他端面に押し付けられる１つのピンとを用い、各ピン
の位置をデジタルスケールや差動変圧器等で読み取るよ
うに構成する。なお、各ピンを押し付ける力は、真空吸
着による基板１の保持力より小さい。

【００３９】また、上記一実施例において、フォーク１
１が処理済みの基板１を第２受け渡し部８のアーム８ａ
から受け取る時には、フォーク１１の位置及び傾きを変
更せずに、ロボット１０が処理済みの基板１を保持して
図２に示す元の位置に戻った後に、フォーク１１の位置
及び傾きを前記位置ずれ量及び傾き角度だけ変更するよ
うに構成してもよい。この場合には、フォーク１１の位
置及び傾きを１回だけ変更すればよいので、その分だけ
処理時間が短縮される。

【００４０】また、上記一実施例では、２つの処理部
４、５を設けてあるが、この発明はこれに限定されるも
のではなく、処理部が１つのもの、あるいは処理部が３
つ以上あるものにも適用される。処理部を３つ以上設け
る場合には、前記検知センサ３０は、最終の処理部に設
けられる。最終の処理部に受け渡し部がある場合には、
その受け渡し部に前記検知センサ３０が設けられる。

【００４１】なお、前記検知センサ３０として、図２に
示す位置にあるロボット１０の上方にテレビカメラを配
置し、ロボット１０が図２に示す位置で基板１を保持し
ている状態における基板１の位置及び姿勢をテレビカメ
ラにより検知してもよい。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明に係る自動搬送装置装置によれば、位置検出手段が処
理部の載物台に載置された偏平物体の基準位置に対する
位置ずれ量及び傾き角度を検出する。ロボット制御部
は、偏平物体がケースから取り出される時と同じ位置及
び姿勢でケース内へ収納されるように、搬送ロボットの
保持部材の位置及び傾きを検出手段の検出値に基づいて
補正するための移動指令を、偏平物体を載物台から受け
取る時又はケース内へ収納する直前に搬送ロボットへ与
える。これによって、搬送ロボットの保持部材の位置及
び傾きが前記位置ずれ量及び傾き角度だけ変化し、偏平
物体をケース内へ収納する際に偏平物体がケースから取
り出される時と同じ位置及び姿勢となり、偏平物体をケ
ース内に安全かつ確実に収納することができる。そのた
め、上記従来技術のようなプリアライント機構を設ける
必要がないと共に、偏平物体をケース内へ収納する前
に、時間のかかる偏平物体の機械的な位置決め作業をす
る必要がない。

【００４３】したがって、部品点数を削減してコストを
低減することができ、かつ処理時間の短縮を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の一実施例に係る自動搬送装置
を示す概略構成図である。

【図２】図２は一実施例に係る自動搬送装置を示す平面
図である。

【図３】図２は一実施例に係る自動搬送装置による基板
の搬送手順を示す説明図である。

【図４】図３は一実施例に係る自動搬送装置の動作説明
図である。

【図５】図５は従来の自動搬送装置を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

１ ガラス基板（偏平物体） ２、３ カセット（ケース） ４ 第１処理部（処理部） ５ 第２処理部（処理部） ４ａ、５ａ 載物台 １０ 搬送ロボット １１ フォーク（保持部材） ２０ 搬送ロボットコントローラ（ロボット制御部） ３０ 基板位置検知センサ（位置検出手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｔ // Ｇ０１Ｎ 35/04 Ｇ０１Ｎ 35/04 Ｅ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の偏平物体を収納するケースと、 前記偏平物体が載置される載物台を有する処理部と、 前記偏平物体を保持する保持部材を有し、前記ケースか
   ら前記保持手段により取り出した前記偏平物体を前記処
   理部へ搬送し、前記処理部による処理が終了した前記偏
   平物体を前記保持部材により受け取って前記ケースまで
   搬送し、かつ前記ケース内へ収納させる搬送ロボット
   と、 前記搬送ロボットに移動指令を与えるロボット制御部
   と、 前記処理部又はその近傍に設けられ、前記載物台に載置
   された基板の基準位置に対する位置ずれ量及び傾き角度
   を検出する位置検出手段とを備え、 前記ロボット制御部は、前記偏平物体が前記ケースから
   取り出される時と同じ位置及び姿勢で前記ケース内へ収
   納されるように、前記搬送ロボットの前記保持部材の位
   置及び傾きを前記検出手段の検出値に基づいて補正する
   ための移動指令を、前記偏平物体を前記処理部の前記載
   物台から受け取る時又は前記ケース内へ収納する直前に
   前記搬送ロボットへ与えるように構成されていることを
   特徴とする自動搬送装置。
2. 【請求項２】 前記処理部を複数有し、前記複数の処理
   部の各々には、処理された前記偏平物体を前記処理部か
   ら受け取り、前記搬送ロボットへ搬送するために保持す
   る受け渡し部が設けられており、かつ前記位置検出手段
   は、前記複数の処理部のうちの最終の処理部にある前記
   受け渡し部又はその近傍に設けられていることを特徴と
   する請求項１記載の自動搬送装置。