JPH0831190A - 不揮発性半導体メモリ装置 - Google Patents

不揮発性半導体メモリ装置

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JPH0831190A
JPH0831190A JP16647894A JP16647894A JPH0831190A JP H0831190 A JPH0831190 A JP H0831190A JP 16647894 A JP16647894 A JP 16647894A JP 16647894 A JP16647894 A JP 16647894A JP H0831190 A JPH0831190 A JP H0831190A
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address
memory
defective
memory area
circuit
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JP16647894A
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Masato Imaizumi
正人 今泉
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JFE Engineering Corp
Original Assignee
NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 不揮発性半導体メモリ装置の使用時に発生す
るメモリ素子の欠陥、特に、情報の書き込み時に発生す
る書き込み不良を救済する。 【構成】 主メモリ領域1に欠陥アドレスが発生した場
合、そのアドレスが新たな欠陥アドレスであるか否か
を、不良アドレスメモリ6に蓄積した内容を読み出して
判定し、新たな欠陥アドレスであれば、その欠陥アドレ
スを不良アドレスメモリ6に記憶して、そのアドレスに
対応するデータを冗長メモリ領域2に記憶してベリファ
イ動作を行って自動書き込みを行うとともに、任意のア
ドレス入力信号が蓄積された欠陥アドレスであるか否か
を第二制御回路9によって不良アドレスメモリ6の内容
を読み出して判定し、すでに記憶された欠陥アドレスで
あれば、第三制御回路12を介してアドレスサブデコー
ダ4を主メモリ領域1から冗長メモリ領域2に切り替え
てデータを読み出すようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電気的に書き込み・消
去が可能なメモリの延命手段を備える不揮発性半導体メ
モリ装置に関し、殊に、フラッシュメモリ等の使用時に
発生するメモリ素子の欠陥、例えば、書き込み時に発生
する書き込み不良からこの製品を救済する不揮発性半導
体メモリ装置に係るものである。
【0002】
【従来の技術】フラッシュメモリに代表される書き込み
・消去可能な不揮発性半導体メモリ装置では、書き込み
・消去動作が繰り返された場合に、メモリ素子の欠陥、
例えば、トンネル酸化膜に欠陥が発生して、書き込み不
良が発生する。トンネル酸化膜の劣化等によるメモリセ
ルの欠陥の発生は、書き込み回数に依存しており、メモ
リの使用寿命が決定される。このようなトンネル酸化膜
の欠陥による書き込み不良は、メモリの製造段階にも発
生しており、通常、このような不良メモリが発生した場
合、不揮発性半導体メモリ装置に備える予備のメモリセ
ル(冗長メモリセル)に切り換えて正常動作させること
によって、製造歩留りを向上させている。更に、メモリ
製品として装置に実装されている場合にも偶発的にトン
ネル酸化膜の劣化等による欠陥が発生するおそれがあ
る。
【0003】このような観点から、メモリ素子の書き込
み不良の発生要因自体を回避する技術開発を行うととも
に、偶発的に発生する書き込み不良を巧みに回避してメ
モリの正常動作状態を維持することで、メモリ使用の実
質的な延命を図る技術開発が進められている。メモリ装
置の製品寿命が偶発的に発生する危険性を回避する手段
の一例としては、メモリ装置の回路内に書き込み動作時
に不良の存在を検出する不良検出回路と、その不良検出
回路からの出力を受けてメモリ装置全体を作動停止する
論理回路とを組み込んだものがある。書き込み不良発生
時にメモリ装置全体を作動停止状態とし、使用者に不良
の発生を明示する方式も採用されている。
【0004】図6は、特開平1−128300号公報に
開示されたメモリ装置の延命に関する従来例を示すもの
である。図6において、1は主メモリ領域、2は主メモ
リ領域に欠陥が発生したメモリセルを補うための冗長メ
モリ領域、3は行アドレスデコーダ、4は主メモリ領域
1から冗長メモリ領域2に切り替える時の切替回路、5
は切替回路4を制御するための制御回路、6は欠陥メモ
リセルのアドレスを記憶するための不揮発性メモリ、7
は不揮発性メモリ6を制御するための書き込み制御回路
である。
【0005】図6に示したメモリ装置の動作を簡単に説
明すれば、製造されたメモリ装置の特性検査により不良
ビットが発見された場合、この不良ビットのアドレスを
予め不揮発性メモリ6に記憶する。そして、このメモリ
製品の使用時、すなわち、読み出し時又は書き込み時
に、不良ビットへのアクセスがあった場合、このアクセ
スを制御回路5で検知して同時に切替回路4へ制御信号
を発生して、主メモリ領域1から冗長メモリ領域2へ切
り替え、不良ビットに対応する正常な冗長メモリ領域2
のビットへのアクセスを可能にする。この結果、主メモ
リ領域1の一部に発生した欠陥から本来不良品となるメ
モリ装置を救済することによって、製造歩留りの向上を
図るとともに、実質的延命を図ることができる。
【0006】次に、従来の自動書き込み機能について説
明する。この自動書き込み機能は、メモリの指定された
アドレスに指定された情報を自動的に書き込む過程で、
書き込む度にその書き込み状態の検証も行うという機能
である(例えばUSP4460982)。この機能は、
最終的に正常に書き込めないという事態を想定して、メ
モリの使用中に書き込み不良が発生した場合にメモリ全
体を停止させて、使用者に不良の発生を明示するという
自己停止機能が付加されている。図7は、従来例の自動
書き込み回路のブロック図であり、その動作を説明す
る。同図に於いて、入力されたアドレス信号はアドレス
ラッチ11で一時保持された後、アドレスデコーダ3に
よりデコードされ主メモリ領域1のうち、ある1ブロッ
クが選択される。一方、データ信号は、データラッチ1
0で一時保持されて、その後、主メモリ領域1に入力さ
れる。データ信号は同時に第一制御回路8に入力され、
主メモリ領域1に対し、書き込み制御用高電圧が印加さ
れる。これらの動作によりデータの書き込みが行われ
る。続いて、第一制御回路8は書き込みベリファイ動
作、すなわち書き込みを行ったブロックのデータの読み
出しを行い、アドレスラッチ11に保持されている書き
込むべきデータと比較し、正しく書き込まれたかの確認
動作を行う。比較の結果が正しくなければ、繰り返し書
き込み動作を行う。最大回数の書き込みを行い、なお書
き込み動作が完了しなければ、第一制御回路8によりメ
モリ素子自体の動作を停止する。
【0007】次に、図7に示した第1制御回路8につい
て、図8のブロック図を参照して説明する。同図に於い
て、データラッチ10に保持されたデータは、第1制御
回路8内の多入力NAND回路53に入力される。その
全データが“1”以外のデータ信号が入力されると、書
き込み制御回路52に“1”が入力される。これにより
自動書き込みの動作が開始される。すなわち、アドレス
ラッチ11から入力されたアドレス入力信号36により
示される主メモリ領域1内のアドレスに対しデータ書き
込みを行い、引き続いてベリファイ回路51により最大
回数までの書き込み確認動作が行われる。この結果、正
常に書き込みが確認されれば書き込み制御回路52は次
のアドレスに対する書き込みを行う。もし、ベリファイ
動作において正常に終了しなければ、不揮発性メモリ全
体が動作不良であるとして、ベリファイ回路51より全
体チップ動作停止信号34を発生して、書き込み制御回
路52に送り、チップ全体の動作を停止する。
【0008】次に、従来の不揮発性半導体メモリ装置に
おける自動書き込みサイクルについて、図9のフローチ
ャートを参照してその概略を説明する。この自動書き込
みは、ベリファイ回路51と書き込み制御回路52で行
われる。同図に於いて、例えば、1ビット又は8ビット
をブロック単位とするフラッシュメモリの自動書き込み
サイクルである。ステップS1 に示すようにブロック番
号Kを0とし、ステップS6 に示すようにブロック番号
Kを順次1づつ増加させて各ブロックに書き込みを行
う。その過程で、各書き込み動作に続いて書き込み(ス
テップS2 )が正しく行われているかの検証動作(ベリ
ファイ)(ステップS3 )を行う。あるブロックにおけ
るメモリセルの書き込みが正常に行われていれば、ステ
ップS5 に進む。ステップS5 では最終ブロックである
か、否かを判定する。最終ブロックでなければ、ステッ
プS6 に進みブロック番号Kを1増加させて、次のブロ
ックに対して書き込み動作を行う(ステップS2 )。次
のブロックにおけるメモリセルの書き込みの検証を再び
行う(ステップS3 )。ブロックS3 では、あるブロッ
クへの書き込みが正常でない場合でも、同じデータによ
る当該ブロックへの書き込みを有限回数N、例えば、最
大N=32回繰り返す。この繰り返しは、繰り返し回数
Nをカウントしながら行う。最大回数目でもなおそのブ
ロックに対する正常書き込みが行われていないと検証さ
れる場合は、ステップS4 に進む。ステップS4 では書
き込み不可能と判断しこのメモリ装置そのものを動作停
止させる。メモリ素子の使用者に対し不良の発生を明示
する。このような書き込み,検証動作(ベリファイ)を
全ブロックに対して行って自動書き込みを完了する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図6に
示した延命手段を備える不揮発性メモリ装置では、メモ
リ装置の救済が可能なのは、製造者及びそのメモリ装置
を使用する製造業者等によってそのメモリの検査が可能
を範囲に限られる。そのため、メモリ装置の特性検査が
可能であって、その欠陥メモリセルのアドレスが検出で
き、その欠陥メモリセルのアドレスを不揮発性メモリ6
に書き込みができる段階までである。それ以降、例え
ば、使用者がそのメモリ製品を使用している最中に不良
が発生した場合には、発生した不良部分がメモリ領域の
極く一部であったとしても、冗長メモリ領域2に書き込
むことはできない。更に、図7に示したように、ベリフ
ァイ回路51を備える第一制御回路8を備える場合に
は、使用者がそのメモリ製品を使用している最中に不良
が発生したとすると、発生した不良部分がメモリ領域の
極く一部であったとしても、図8に示すように全体チッ
プ動作停止信号34が書き込み制御回路52に印加され
る。すなわち、メモリ装置自体が保有する自己停止機能
が働いて、メモリ装置を組み込んだ製品全体が作動を停
止してしまう。その結果、使用者はそのメモリ装置が組
み込まれた製品を廃棄せざるを得ないことになり、不経
済であり好ましいものではない。
【0010】本発明は、上述のような問題点に鑑みなさ
れたものであって、不揮発性半導体メモリ装置の使用時
に発生するメモリ素子の欠陥、特に、情報の書き込み時
に発生する書き込み不良から不揮発性半導体メモリ装置
を救済して実質的に延命を図ることができる不揮発性半
導体メモリ装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る第1不揮発性半導体メモリ装置は、主
メモリ領域に発生する欠陥アドレスを記憶する第1記憶
手段と、アドレス信号の入力に対し、該アドレス信号が
既に欠陥アドレスとして前記第1記憶手段によって記憶
されているか否かを判断する判定手段と、前記判定手段
によって新たな欠陥アドレスであると判定された場合、
冗長メモリ領域に記憶する第2記憶手段と、を具備する
ことを特徴とするものである。
【0012】又、本発明の第2の不揮発性半導体メモリ
装置は、不揮発性メモリ素子で構成される第1メモリ領
域と、前記第1メモリ領域の欠陥メモリセルを補うため
に用意された第2メモリ領域と、前記欠陥メモリセルの
アドレスを蓄積する欠陥アドレスメモリ領域と、前記第
1メモリ領域に発生した欠陥メモリセルのアドレスが前
記欠陥アドレスメモリ領域に蓄積されていない場合、前
記欠陥アドレスメモリにその欠陥アドレスの蓄積を指示
する制御回路と、前記欠陥アドレスメモリ領域が蓄積す
る欠陥メモリセルのアドレスがアクセスされた場合、前
記第1メモリ領域から前記第2メモリ領域へアドレス信
号を切り替えるアドレス切替回路と、を具備することを
特徴とするものである。
【0013】又、本発明の第3の不揮発性半導体メモリ
装置は、第2の不揮発性半導体メモリ装置において、前
記アドレス信号に対応する前記第1メモリ領域又は第2
メモリ領域内にデータを書き込むデータ入力回路を更に
具備することを特徴とするものである。又、本発明の第
4の不揮発性半導体メモリ装置は、第2と第3の不揮発
性半導体メモリ装置において、前記アドレス信号に対応
する前記第1メモリ領域又は第2メモリ領域に蓄積され
ているデータを読み出すデータ出力回路を更に具備する
ことを特徴とするものである。又、本発明の第5の不揮
発性半導体メモリ装置は、第2と第3の不揮発性半導体
メモリ装置において、前記第1メモリ領域もしくは第2
メモリ領域に書き込まれたデータ又は前記欠陥アドレス
メモリ領域に蓄積された欠陥アドレスのデータの蓄積異
常を検知して、前記第1メモリ領域の動作停止を指示す
る自己停止回路を更に具備することを特徴とするもので
ある。
【0014】又、本発明の第6の不揮発性半導体メモリ
装置は、不揮発性メモリ素子で構成される第1メモリ領
域と、前記第1メモリ領域の欠陥を補うための第2メモ
リ領域と、前記第2メモリ領域の欠陥を補うための第3
メモリ領域と、前記第1メモリ領域の欠陥メモリセルの
アドレス又は前記第2メモリ領域の欠陥メモリセルのア
ドレスを蓄積する欠陥アドレスメモリ領域と、前記第1
メモリ領域から前記第2メモリ領域へ、又は前記第2メ
モリ領域から前記第3メモリ領域へアドレス信号を切り
替えるアドレス切替回路と、前記第1メモリ領域の欠陥
メモリセルのアドレス又は第2メモリ領域の欠陥メモリ
セルのアドレスが蓄積されていない場合、前記欠陥アド
レスメモリ領域に欠陥アドレスの蓄積を指示する第1制
御回路と、前記欠陥アドレスメモリ領域が蓄積する欠陥
アドレスがアクセスされた場合、前記アドレス切替回路
の動作を指示する第2制御回路と、を具備することを特
徴とするものである。
【0015】又、本発明の第7の不揮発性半導体メモリ
装置は、第6の不揮発性半導体メモリ装置において、前
記欠陥アドレスメモリ領域に蓄積された欠陥メモリセル
のアドレスのデータの蓄積異常を検知して、前記第1メ
モリ領域の動作停止を指示する自己停止回路を更に具備
することを特徴とするものである。又、本発明の第8の
不揮発性半導体メモリ装置は、不揮発性メモリ素子で構
成される第1メモリ領域と、前記第1メモリ領域の欠陥
メモリセルを補うために用意した第2メモリ領域と、前
記第1メモリ領域の欠陥メモリセルのアドレスを蓄積す
る欠陥アドレスメモリ領域と、前記第1メモリ領域から
前記第2メモリ領域へアドレス信号を切り替えるアドレ
ス切替回路と、前記第1メモリ領域に書き込まれた情報
を検証して欠陥発生を指示する信号を生成する第1制御
回路と、前記欠陥発生を指示する信号に基づき、未蓄積
の欠陥アドレスの前記欠陥アドレスメモリによる蓄積を
制御する第2制御回路と、前記欠陥アドレスメモリが蓄
積する欠陥アドレスがアクセスされた場合、前記アドレ
ス切替回路の動作を指示する第3制御回路と、を具備す
ることを特徴とするものである。
【0016】又、本発明の第9の不揮発性半導体メモリ
装置は、第7の不揮発性半導体メモリ装置に於いて、前
記第1制御回路は、前記第1メモリ領域及び前記第2メ
モリ領域に蓄積されたデータの書き込み異常を検知し
て、前記第1メモリ領域の動作停止を指示する自己停止
回路を更に有することを特徴とするものである。又、本
発明の第10の不揮発性半導体メモリ装置は、第10の
不揮発性半導体メモリ装置に於いて、前記第2制御回路
は、前記欠陥アドレスメモリに蓄積された欠陥のアドレ
スの蓄積異常を検知して、前記自己停止回路の作動を指
示する信号を生成する停止信号発生回路を更に有するこ
とを特徴とする。
【0017】
【作用】本発明によれば、不揮発性半導体メモリ装置の
使用中に第1メモリ領域内に欠陥が発生したとしても、
メモリ装置を救済することができる。具体的には、先
ず、第1メモリ領域内に欠陥メモリセルが発生した場合
に、その欠陥メモリセルが既に発生したものであるか否
かを判断して、その欠陥が新たな欠陥である場合に、欠
陥が発生したメモリセルのアドレスが欠陥アドレスメモ
リ領域に記憶して欠陥が発生したメモリ装置の救済を行
うものである。更に、その欠陥アドレスに対応するアド
レス信号がアクセスされた場合に、アドレス信号が冗長
メモリ領域である第2メモリ領域に転送されて、データ
の読み出しや書き込みがなされる。このように第1メモ
リ領域の欠陥が第2メモリ領域によって補償されるの
で、たとえ、メモリ装置に欠陥が発生したとしても救済
されることになる。すなわち、データの書き込みや読み
出しは実質的に2個のメモリ領域を対象として行われ
る。
【0018】更に、第1メモリ領域内のみならず第2メ
モリ領域内に欠陥が発生することもあり得るので、第2
メモリ領域の欠陥による支障を解消すべく第3メモリ領
域を設け、アドレス信号が第3メモリ領域にも転送され
るようにすることもできる。すると、データの書き込み
や読み出しは実質的に3個のメモリ領域を対象として行
われ、救済の自由度が増加する。なお、この第3メモリ
領域と同等の機能をするメモリ領域を複数付加しその付
加領域にアドレス信号を転送することは当業者が容易に
案出できる改良であり、しかも結果として3つ以上の領
域を有したとしても、本発明の意図する範囲を逸脱する
ものではない。又、本発明によれば、欠陥アドレスメモ
リにおける書き込み不良は致命的な機能障害に直面す
る。そこで、欠陥アドレスメモリの書き込み不良に関す
る自己停止機構をメモリ装置に付加することで、使用者
の利用の便に供している。更に、主メモリ領域とは別に
同一メモリ領域内を幾つかに区分して、それぞれの領域
を冗長メモリ領域とすることもできる。
【0019】
【実施例】以下、本発明に係る不揮発性半導体メモリ装
置の一実施例について図を参照して説明する。図1のブ
ロック図は、不揮発性半導体メモリ装置の一実施例を示
している。同図に於いて、1は主メモリ領域、2は主メ
モリ領域1の欠陥メモリセルを補うための冗長メモリ領
域、3はアドレスデコーダ、4は主メモリ領域1から冗
長メモリ領域2に切り替えるためのアドレスサブデコー
ダ、6は主メモリ領域1に発生した欠陥メモリセルのア
ドレスを記憶する不良アドレスメモリ、8は主メモリ領
域1のベリファイ動作を行う第1制御回路、9は欠陥メ
モリセルの発生に対し、救済の可能性を判断するととも
に、不良アドレスメモリ6のベリファイ動作を行う第2
制御回路、10はデータ信号が一時的に保持されるデー
タラッチ、11はアドレス信号が一時的に保持されるア
ドレスラッチ、12は主メモリ領域1と冗長メモリ領域
2の切り替えを行うアドレスサブデコーダ4を制御する
第3制御回路である。
【0020】次に、図1のブロック図を参照して、デー
タ信号の自動書き込みの際の各部の動作を説明する。同
図に於いて、アドレス信号は、アドレスラッチ11に入
力されて保持される。アドレス信号はアドレスデコーダ
3に供給されるとともに、第一乃至第三制御回路8,
9,12に入力される。アドレス信号はアドレスデコー
ダ3でデコードされた後、アドレスサブデコーダ4によ
り主メモリ領域1か、或いは、冗長メモリ領域2のメモ
リセルが選択されてアクセスされる。この選択は第三制
御回路12によってなされ、当該アドレスがすでに冗長
メモリ領域2により置き換えられたものであるか否かが
判断される。第三制御回路12では、アドレスラッチ1
1に保持されたアドレスのブロック番号と不良アドレス
メモリ6にすでに書き込まれている不良アドレスのブロ
ック番号を比較して、すでに冗長メモリセルに置き換え
られたブロック番号と一致すればアドレスサブデコーダ
4を切り替えて冗長メモリ領域2に対して書き込みのア
クセスを行い、不一致であれば主メモリ領域1にアクセ
スする。
【0021】一方、データ入力信号は、データラッチ1
0により保持された後、主メモリ領域1又は冗長メモリ
領域2に供給されることにより、アドレス信号により選
択されたメモリ素子に対して書き込みがなされる。デー
タ入力信号は、データラッチ10を介して主メモリ領域
1及び冗長メモリ領域2に供給されると同時に第一制御
回路8に送られる。第一制御回路8では、従来例で説明
したように書き込みベリファイ動作が行われる。第一制
御回路8で書き込みベリファイ動作において、欠陥メモ
リセルがある不良ブロックが検出されると、欠陥発生信
号を発生する。欠陥発生信号は第一制御回路8から第二
制御回路9へ出力される。第二制御回路9では不良アド
レスメモリ6に書き込まれているアドレスを読み出し、
データが書き込まれていなければ、不良メモリブロック
救済が行えると判断する。第一制御回路8によってなさ
れた書き込みベリファイ動作で不良メモリブロックを検
出し、その不良メモリセルのアドレスに対応するブロッ
ク番号を第二制御回路9を介して改めて不良アドレスメ
モリ6に書き込む。一方、不良アドレスメモリ6にすで
にデータが書き込まれていれば、新たな不良メモリの救
済は不可能であると判断し、第一制御回路8に動作停止
を指示する信号を送ることによりメモリチップ全体の動
作を停止する。更に、不良救済のための冗長メモリ領域
2が複数存在する場合は、これらのすべての冗長メモリ
領域2に対してアドレスが不良アドレスメモリ6に書き
込まれているか否かを判断する。
【0022】上記の実施例のように、冗長メモリ領域2
は1メモリ領域としてもよく、複数の第1乃至第3メモ
リ領域を用意することも可能である。複数の第1乃至第
3メモリ領域を冗長メモリ領域2とする場合は、任意の
アドレス信号がアクセスされた場合、そのアドレスが欠
陥アドレスとして不良アドレスメモリ6に書き込まれて
いるか否かを判断する。そして、そのアドレスが存在す
る場合は、第三制御回路12からアドレスサブデコーダ
4に切替信号を発生させて冗長メモリ領域2の第1メモ
リ領域乃至第3メモリ領域を選択してアクセスする。チ
ップ全体の寿命延長の効果を高めるためには、このよう
に複数のメモリ領域を保持することが望ましい。無論、
一つのメモリ領域を三つ以上に区分して三つ以上に区分
された冗長メモリ領域としてもよいことは明らかであ
る。
【0023】図2は、第二及び第三制御回路をより詳細
に示したブロック図である。同図に於いて、第二制御回
路9は、ラッチ回路21、コンパレータ22、〔1,1
…,1〕データ23、書き込み/読み出し回路24、O
R回路25,27、ベリファイ回路26、AND回路2
8、インバータ回路29から構成されている。アドレス
信号は、アドレスラッチ11を介して第二制御回路9の
書き込み/読み出し回路24とベリファイ回路26に夫
々入力される。第三制御回路12はコンパレータ41か
ら構成され、アドレスラッチ11を介してアドレス信号
が入力される。データ入出力信号の信号経路は図示され
ていない。
【0024】次に、図2を参照して説明する。先ず、主
メモリ領域1への書き込み時に第一制御回路8のベリフ
ァイ動作によって欠陥が検出された場合について説明す
る。第一制御回路8より欠陥発生信号31が第二制御回
路9へ出力される。第二制御回路9では、この欠陥発生
信号31が一時的にラッチ21に保持される。ラッチ2
1の出力はコンパレータ22の作動信号32として用い
られ、コンパレータ22は動作を開始する。このコンパ
レータ22では、不良アドレスメモリ6から書き込み/
読み出し回路24から出力される読み出し信号37と
[1,1,…1]データ23との比較を行う。因に、
[1,1,…1]データ23は、不良アドレスメモリ6
が未使用の状態を示すデータである。コンパレータ22
は不良アドレスメモリ6の使用状態を検出するものであ
る。コンパレータ22では、書き込み/読み出し回路2
4によって不良アドレスメモリ6の内容を読み出した結
果として、不良アドレスメモリ6が未使用であれば
“1”(未使用信号33)、使用済みであれば“0”を
夫々出力する。これらの信号はインバータ29において
“1”(未使用信号33)又は“0”(使用済信号)を
反転してOR回路27に送られる。使用済信号として
“1”がOR回路27を介して入力されると、全体チッ
プ動作停止信号34として第一制御回路8へ転送され
る。すなわち、欠陥メモリブロックが検出されたものの
すでに不良アドレスメモリ6が使用済みであるため、新
たな欠陥メモリブロックの救済が不可能であると判断し
て、チップ全体の動作を停止状態とする。この実施例に
は、このような救済が不可能な場合に、従来と類似する
ようなチップ全体の動作を停止する自己停止回路を基本
的な機能として備えている。
【0025】次に、不良アドレスメモリ6の読み出し/
書き込み制御について説明する。不良アドレスメモリ6
の読み出し、書き込み制御は、制御用高電圧発生を含め
て書き込み/読み出し回路24で制御される。書き込み
/読み出し回路24は、書き込み指示信号35が入力さ
れると、不良アドレスメモリ6にはアドレスラッチ11
からのアドレス入力信号36に対応するデータの書き込
みが行った後、ベリファイ指示信号38をベリファイ回
路26に転送する。書き込み/読み出し回路24では、
それ以外の機能とし、不良アドレスメモリ6の内容を読
み出して読み出し信号37を出力する機能を有する。
【0026】AND回路28には、ラッチ21からの作
動信号32とコンパレータ22の出力信号(未使用信号
33)とが入力され、これらの信号の論理積をとってい
る。更に、OR回路25にはAND回路28からの出力
とベリファイ回路26からの出力とが入力され、OR回
路25からの出力を書き込み/読み出し回路24の書き
込み指示信号35として用いている。主メモリ領域1に
書き込み不良が発生した際に、すなわち、作動信号32
(欠陥発生信号31)と未使用信号33のAND回路2
8の出力によって、欠陥発生時に不良アドレスメモリ6
が未使用であると判断されれば、主メモリ領域に発生し
た欠陥メモリの救済が可能であると判断して、アドレス
ラッチ11に保持されているアドレス入力信号36を不
良アドレスメモリ6に書き込む動作を行う。
【0027】一方、ベリファイ回路26では、書き込み
/読み出し回路24よりベリファイ指示信号38を受け
ると、読み出し信号37とアドレス入力信号36との比
較を行う。ベリファイ回路26で比較して、両者に相違
があればOR回路25を介して再度書き込み指示信号3
5を書き込み/読み出し回路24に出力し、ベリファイ
動作を繰り返す。ベリファイ回路26では、上記のよう
な操作を最大回数繰り返して正常に書き込みが終了しな
ければ書き込み不良信号39を発生させ、正常に書き込
まれれば救済終了信号40を発生する。OR回路27で
は、書き込み不良信号39と、インバータ29を介して
得られる反転した未使用信号33とによる論理和をと
る。いずれも欠陥メモリセルの救済が不可能であること
を示す信号であるから、OR回路27を介して全体チッ
プ動作停止信号34として第一制御回路8に転送する。
不揮発性半導体メモリ装置には自己停止機能が働いて停
止する。又、ベリファイ回路26から出力される救済終
了信号40は、欠陥メモリ素子の救済が正常に完了した
ことを意味する信号である。救済終了信号40は、第一
制御回路8に転送され、同一ブロック番号による自動書
き込み動作を再度行うように指示すると同時に、ラッチ
21をリセットとして、保持されていた欠陥発生信号3
1をリセットする。
【0028】第三制御回路12はコンパレータ41から
構成されており、アドレスサブデコーダ4の切り替え制
御するものである。アドレスラッチ11に保持されたア
ドレス入力信号36と、第二制御回路9の書き込み/読
み出し回路24で不良アドレスメモリ6から読み出され
た読み出し信号37とを比較する。コンパレータ41で
比較した結果、両者が一致していれば、データの書き込
みは主メモリ領域1の代わりに冗長メモリ領域2に書き
込む必要があると判断する。その場合、コンパレータ4
1の出力によりアドレスサブデコーダ4は主メモリ領域
1から冗長メモリ領域2に切り替えられる。アドレス入
力信号36は冗長メモリ領域2に転送され、データが書
き込まれる。また、コンパレータ41で比較した結果、
両者が異なっていれば通常通りアドレス入力信号36は
主メモリ領域1の該当ブロック番号のメモリセルに転送
され、データの書き込みがなされる。
【0029】次に、図2の第一制御回路8の実施例を図
3を参照して説明する。同図に於いて、アドレス入力信
号36に対して、書き込みおよびそれに続く書き込みベ
リファイ動作を行うところまでは従来例と同じである。
ベリファイ回路で最大回数のベリファイ動作を行っても
正常に書き込みが行われなかった場合、図9で示した従
来例で説明したように、全体チップ動作停止信号34を
発生させチップ全体の動作を停止させている。しかし、
本発明では、同じ全体チップ動作停止信号34を欠陥発
生信号31として機能させ、第二制御回路9へ送る。先
に説明したように、第二制御回路9では、主メモリ領域
1に発生した不良メモリセル(不良メモリセルが含む不
良メモリブロック)の救済を行う。不良救済が完了すれ
ば、救済完了信号40が第一制御回路8に転送して、第
一制御回路8のパルス発生回路54により負のパルスと
して、AND回路55に印加される。AND回路55に
は、パルス発生回路54からの負のパルスとデータラッ
チ10のデータ入力信号が入力されるNAND回路53
の出力信号が入力され、論理積をとり、その出力パルス
が書き込み制御回路52に加えられる。この意味すると
ころは、データ入力信号としてすべて“1”がNAND
回路53に入力された後、実データ信号が入力される
と、書き込み制御回路52が自動書き込みを開始させる
ことにある。そこで、パルス発生回路54で発生したパ
ルスによりデータ入力信号がすべて“1”と同じ状態を
再現することによって、書き込み制御回路52は自動書
き込みの動作を開始する。アドレス入力信号およびデー
タ入力信号は夫々アドレスラッチ11及びデータラッチ
10に保持された状態にあるので、不良メモリセルを救
済したメモリセルに対して改めて自動書き込みの動作を
行う。又、第二制御回路9によっても主メモリ領域1に
発生した不良メモリブロックの救済が行えない場合は、
第二制御回路9から発生する全体チップ動作停止信号3
4により書き込み制御回路52の動作を停止する。すな
わち、不揮発性半導体メモリ装置の自己停止回路が働い
て動作を停止する。
【0030】次に、図4を用いて、上記実施例の自動書
き込みサイクルのフローチャートを参照してその制御に
ついて説明する。この自動書き込みサイクルはROM等
にプログラムされており、CPU(中央演算装置)によ
って制御されている。以下にその制御方法の一例を図4
を参照して説明する。図4に於いて、図7と同様にステ
ップS1 でブロック番号Kを0として、ステップS6
示すように、ブロック番号Kを0から順次1づつ増加さ
せて各ブロックに書き込みを行う。その際に、ステップ
2 で当該ブロック番号がすでに欠陥メモリブロックの
救済を行われたものであるかを欠陥アドレスメモリの内
容を読み出すことにより判断される。主メモリ領域1に
不良ブロックが存在しない場合は、ステップS3 に進み
主メモリ領域1に書き込み、不良ブロックが存在する場
合は、冗長メモリ領域2により置き換えられたブロック
であると判定して、ステップS7 に進み、冗長メモリ領
域2に書き込む。引き続き、ステップS4 に進み、先に
説明した従来技術と同様に最大回数N(例えば、N=3
2)までの書き込みベリファイ動作を行い、ステップS
5 において正常に書き込みが行われたことが確認されれ
ば、ステップS6 に進みブロック番号Kをインクリメン
トし、次のブロックの書き込みに進む。
【0031】ステップS4 に於いて、最大回数のベリフ
ァイ動作を行っても正常に書き込みが完了しなかった場
合は、欠陥メモリセルが存在するものと判断され、ステ
ップS8 に進む。ステップS8 では、第二制御回路9に
よって欠陥アドレス記憶用不揮発性メモリ(不良アドレ
スメモリ)6の内容を読み出し、すでにアドレスが記憶
されているかどうかを検出する。その検出結果として、
主メモリ領域1に発生した欠陥メモリの救済が行われて
いるかが判断される。すでに救済がなされていると判断
された場合、即ち、すでに冗長メモリ領域2を利用し、
そのメモリセルの欠陥が発生したものと判断される場合
であるので、新たな欠陥メモリの救済は不可能であると
判断して、チップ全体の動作を停止する。ステップS8
に於いて、欠陥メモリアドレスに未使用部分があれば、
不良を発生したアドレスのブロック番号Kを不良ブロッ
クアドレス記録のために予め用意した不揮発性メモリで
ある不良メモリセル6へ書き込む。不良アドレスメモリ
6の書き込み方法についても他の書き込み方法と同様で
ある。すなわち、ステップS10に示すように、最大回数
までの書き込みベリファイ動作を行い、最大回数のベリ
ファイを行っても書き込みが正常に終了しない場合は、
これ以上の欠陥メモリ素子の救済は不可能であるとして
チップ全体の動作を停止する。一方、書き込みベリファ
イ動作が正常に終了した場合は、ステップS2 に進み、
改めて同じブロック番号Kに対する書き込み動作を行
う。ステップS4 のベリファイ動作は、主メモリ領域1
又は冗長メモリ領域2に対しては第一制御回路8によっ
てなされ、不良アドレスメモリ6に対しては第二制御回
路9によってなされる。
【0032】次に、第二制御回路9の制御について、図
5のフローチャートに基づいて説明する。この制御は通
常CPU(中央演算装置)でなされる。第一制御回路8
により、主メモリ領域1のあるメモリブロックへの書き
込みベリファイ動作で不良メモリセル(欠陥メモリセ
ル)が検出された場合、ステップS1 に示すように、第
一制御回路8より不良ブロック検出信号(欠陥発生信号
31)が第二制御回路9に転送される。第二制御回路9
はこの信号を受け、不良アドレスメモリ6の内容を読み
出し動作を開始する。続いて、ステップS2 に進み、不
良アドレスメモリセル6にすでにアドレスブロック番号
が記録されていることが検出された場合は、ステップS
6 に進み、これ以上の不良メモリ救済は不可能であると
して第一制御回路8に対し、チップ全体の作動停止を行
わせる。一方、不良アドレスメモリ6が未使用であれ
ば、ステップS3 に進み、不良を検出したメモリブロッ
ク番号を不良アドレスメモリ6に書き込む。ステップS
4 に進み、引き続き不良アドレスメモリ6に書き込みに
対して最大回数までのベリファイ動作を行う。ここで不
良アドレスメモリ6への書き込みベリファイが最大回数
行っても完了しなければ、ステップS6 に進み、不良ア
ドレスメモリ6自体が不良であるとして、同様に第一制
御回路8に対し、チップ全体の動作停止を指示する。一
方、不良アドレスメモリ6へのベリファイが完了すれ
ば、書き込み不良を発生したメモリブロックに対する救
済動作が完了となるので、第一制御回路8に対し、救済
終了信号40を転送して救済動作完了を指示する。これ
を受け、第一制御回路8は冗長メモリブロックに対しあ
らためて同一データの書き込みを行うことで自動書き込
みの動作を再開する。このような操作によって不揮発性
半導体メモリ装置の延命が図られる。
【0033】上述のように、本発明では、先ず、欠陥メ
モリセルが発生したメモリセルに対応するブロック番号
がすでに欠陥メモリブロックの救済が行われたものであ
るか否かを確認する。すでに、欠陥アドレスメモリへの
書き込みが完了している場合は、冗長メモリセルへの書
き込みが選択され、当該冗長メモリセルへの書き込みに
引き続きベリファイ動作を行う。以後、書き込みに際
し、冗長メモリブロックに置き換えが行われているブロ
ックかどうかを判断して、不良アドレスは冗長メモリセ
ルに書き込み、それ以外は主メモリ領域1に書き込む動
作を行う。ここで、不良アドレスメモリ6が未使用状態
であって、不良メモリブロックの救済が可能であれば第
二制御回路9の指示により、欠陥ブロック番号の不良ア
ドレスメモリ6への書き込み動作に対し、最大回数の書
き込みベリファイ動作を行う。このとき書き込みが完了
しなければ、第一制御回路8に対しチップ全体の動作停
止を指示する。更に、書き込みベリファイ時に不良メモ
リブロックが検出され、新たに不良メモリ救済が可能で
ある上記条件が満たされた場合は、アドレスサブデコー
ダ4に対し現在アドレスラッチ11に保持されているア
ドレス信号が主メモリ領域1の該当するブロックの代わ
りに冗長メモリ領域2に対してアクセスされるように第
三制御回路12がアドレスサブデコーダ4の切り替えが
なされ、冗長メモリ領域2が選択される。同時に、デー
タラッチ10に保持されている当該アドレスに対するデ
ータが冗長メモリ領域2に転送される。
【0034】この切り替え時点で、第一制御回路8によ
る書き込み制御信号が第二制御回路9に出力されてい
る。従って、主メモリ領域1への書き込みサイクルにお
いて最大回数のベリファイ動作の結果、動作不良と判定
されたメモリセルの内容が改めて冗長メモリ領域2へ書
き込まれたことになる。引き続き、従来例と同様に、第
一制御回路8により冗長メモリ領域2への書き込みに対
してベリファイ動作を最大回数まで行う。以後、主メモ
リ領域1に発生した欠陥は、冗長メモリ領域2により置
換され、不良救済が行われたブロックに対する書き込み
は、第三制御回路12およびアドレスサブデコーダ4に
より、冗長メモリ領域2に対してアクセスが行われるよ
うになり、使用中に発生した欠陥を補償することができ
るので、不揮発性半導体メモリ装置の実質的な延命を図
ることができる。
【0035】尚、実施例の冗長メモリ領域2や不良アド
レスメモリ6は、その構造が不揮発性の構造を有するメ
モリセルであればすべて使用可能であることは明らかで
ある。一方、この冗長メモリ領域2や不良アドレスメモ
リ6は、製造プロセスの簡略化の観点から、主メモリ領
域1と同じ構造のフラッシュメモリセルを用いることが
望ましい。更に、実施例では、主メモリ領域は、2電源
方式によるフラッシュメモリであっても、1電源方式の
場合であっても適用できることは明らかであり、更に、
紫外線消去型を含む書き込み・消去可能な不揮発性半導
体メモリ全般に適用できることは言うまでもない。無
論、上記のベリファイ動作は書き込み/読み込み異常が
発生した時のみ行うものであって、それ以降は、ベリフ
ァイ動作を行う必要がないので、書き込み/読み込み動
作が遅延することもない。
【0036】
【発明の効果】上述のように、本発明によれば、使用中
に不良メモリセル(欠陥アドレス)が発生したとして
も、冗長メモリセルに切り替えることによって、電気的
に消去、書き込み可能な不揮発性半導体メモリ装置に発
生した不良メモリセルを救済することができ、実質的に
寿命を延ばすことができる極めて効果的なものである。
次に、各請求項に発生する効果を示す。請求項1は、使
用中に発生した欠陥アドレスが既に記憶されているか否
かを検出することによって、主メモリ領域に発生した欠
陥アドレスを冗長メモリ領域に切り替えて不揮発性半導
体メモリ装置の延命を図ることができる効果がある。請
求項2の制御回路とアドレス切替回路を備えることによ
って、使用中に第1メモリ領域に発生した不良メモリセ
ルのアドレスが既に記憶されているか否かを検出して、
アドレス入力信号に対してメモリ領域の切替え操作を行
えるようにして不揮発性半導体メモリ装置の延命を図る
ものである。請求項3のデータ入力回路を設けることに
よって第1と第2メモリ領域のデータの書き込みがなさ
れる利点がある。
【0037】請求項4のデータ出力回路を備えることに
よって第1と第2メモリ領域のデータの読み出しができ
る利点がある。請求項5の自己停止回路を設けることに
よって操作及び入力時間等の損失を最小限に止めること
ができる利点がある。請求項6の冗長メモリ領域である
第3メモリ領域を備えることによって第2のメモリ領域
に欠陥アドレスが発生しても不揮発性半導体メモリ装置
の延命を図ることができる効果がある。
【0038】請求項7の自己停止回路を設けることによ
って欠陥の発生を使用者に報知して入力時の誤りを最小
限に止めることができる利点がある。請求項8の第1制
御回路を設けることによって第1メモリ領域に書き込ま
れた情報を検証することによって欠陥アドレスの検出を
効率よく行って不揮発性半導体メモリ装置の延命を図る
効果を奏するものである。請求項9の自己停止回路を備
えることによって欠陥の発生を使用者に報知して入力時
に誤りを最小限に止めることができる利点がある。請求
項10の停止信号発生回路から自己停止回路を作動させ
て自己停止回路を備えることによって欠陥の発生を使用
者に報知して入力時の誤りを最小限に止めることができ
る利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すブロック図である。
【図2】図1の第二,第三制御回路の実施例を示すブロ
ック図である。
【図3】図1の第一制御回路の一実施例を示すブロック
図である。
【図4】自動書き込みサイクルのフローチャートであ
る。
【図5】第二制御回路の動作を示すフローチャートであ
る。
【図6】従来例の不揮発性半導体メモリ装置の一例を示
すブロック図である。
【図7】従来例の不揮発性半導体メモリ装置の一例を示
すブロック図である。
【図8】図7の第一制御回路のブロック図である。
【図9】従来例の制御回路の動作を示すフローチャート
である。
【符号の説明】
1 主メモリ領域 2 冗長メモリ領域 3 アドレスデコーダ 4 アドレスサブデコーダ 6 不良アドレスメモリ 8 第一制御回路 9 第二制御回路 10 データラッチ 11 アドレスラッチ 12 第三制御回路

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 不揮発性半導体メモリ装置に於いて、 主メモリ領域に発生する欠陥アドレスを記憶する第1記
    憶手段と、 アドレス信号の入力に対し、該アドレス信号が既に欠陥
    アドレスとして前記第1記憶手段によって記憶されてい
    るか否かを判断する判定手段と、 前記判定手段によって新たな欠陥アドレスであると判定
    された場合、冗長メモリ領域に記憶する第2記憶手段
    と、 を具備することを特徴とする不揮発性半導体メモリ装
    置。
  2. 【請求項2】 不揮発性メモリ素子で構成される第1メ
    モリ領域と、 前記第1メモリ領域の欠陥メモリセルを補うために用意
    された第2メモリ領域と、 前記欠陥メモリセルのアドレスを蓄積する欠陥アドレス
    メモリ領域と、 前記第1メモリ領域に発生した欠陥メモリセルのアドレ
    スが前記欠陥アドレスメモリ領域に蓄積されていない場
    合、前記欠陥アドレスメモリにその欠陥アドレスの蓄積
    を指示する制御回路と、 前記欠陥アドレスメモリ領域が蓄積する欠陥メモリセル
    のアドレスがアクセスされた場合、前記第1メモリ領域
    から前記第2メモリ領域へアドレス信号を切り替えるア
    ドレス切替回路と、 を具備することを特徴とする不揮発性半導体メモリ装
    置。
  3. 【請求項3】 前記アドレス信号に対応する前記第1メ
    モリ領域又は第2メモリ領域内にデータを書き込むデー
    タ入力回路を更に具備する請求項2記載の不揮発性半導
    体メモリ装置。
  4. 【請求項4】 前記アドレス信号に対応する前記第1メ
    モリ領域又は第2メモリ領域に蓄積されているデータを
    読み出すデータ出力回路を更に具備する請求項2又は3
    記載の不揮発性半導体メモリ装置。
  5. 【請求項5】 前記第1メモリ領域もしくは第2メモリ
    領域に書き込まれたデータ又は前記欠陥アドレスメモリ
    領域に蓄積された欠陥アドレスのデータの蓄積異常を検
    知して、前記第1メモリ領域の動作停止を指示する自己
    停止回路を更に具備する請求項2又は3記載の不揮発性
    半導体メモリ装置。
  6. 【請求項6】 不揮発性メモリ素子で構成される第1メ
    モリ領域と、 前記第1メモリ領域の欠陥を補うための第2メモリ領域
    と、 前記第2メモリ領域の欠陥を補うための第3メモリ領域
    と、 前記第1メモリ領域の欠陥メモリセルのアドレス又は前
    記第2メモリ領域の欠陥メモリセルのアドレスを蓄積す
    る欠陥アドレスメモリ領域と、 前記第1メモリ領域から前記第2メモリ領域へ、又は前
    記第2メモリ領域から前記第3メモリ領域へアドレス信
    号を切り替えるアドレス切替回路と、 前記第1メモリ領域の欠陥メモリセルのアドレス又は第
    2メモリ領域の欠陥メモリセルのアドレスが蓄積されて
    いない場合、前記欠陥アドレスメモリ領域に欠陥アドレ
    スの蓄積を指示する第1制御回路と、 前記欠陥アドレスメモリ領域が蓄積する欠陥アドレスが
    アクセスされた場合、前記アドレス切替回路の動作を指
    示する第2制御回路と、 を具備することを特徴とする不揮発性半導体メモリ装
    置。
  7. 【請求項7】 前記欠陥アドレスメモリ領域に蓄積され
    た欠陥メモリセルのアドレスのデータの蓄積異常を検知
    して、前記第1メモリ領域の動作停止を指示する自己停
    止回路を更に具備することを特徴とする請求項6に記載
    の不揮発性半導体メモリ装置。
  8. 【請求項8】 不揮発性メモリ素子で構成される第1メ
    モリ領域と、 前記第1メモリ領域の欠陥メモリセルを補うために用意
    した第2メモリ領域と、 前記第1メモリ領域の欠陥メモリセルのアドレスを蓄積
    する欠陥アドレスメモリ領域と、 前記第1メモリ領域から前記第2メモリ領域へアドレス
    信号を切り替えるアドレス切替回路と、 前記第1メモリ領域に書き込まれた情報を検証して欠陥
    発生を指示する信号を生成する第1制御回路と、 前記欠陥発生を指示する信号に基づき、未蓄積の欠陥ア
    ドレスの前記欠陥アドレスメモリによる蓄積を制御する
    第2制御回路と、 前記欠陥アドレスメモリが蓄積する欠陥アドレスがアク
    セスされた場合、前記アドレス切替回路の動作を指示す
    る第3制御回路と、 を具備することを特徴とする不揮発性半導体メモリ装
    置。
  9. 【請求項9】 前記第1制御回路は、前記第1メモリ領
    域及び前記第2メモリ領域に蓄積されたデータの書き込
    み異常を検知して、前記第1メモリ領域の動作停止を指
    示する自己停止回路を更に有することを特徴とする請求
    項7に記載の不揮発性半導体メモリ装置。
  10. 【請求項10】 前記第2制御回路は、前記欠陥アドレ
    スメモリに蓄積された欠陥のアドレスの蓄積異常を検知
    して、前記自己停止回路の作動を指示する信号を生成す
    る停止信号発生回路を更に有することを特徴とする請求
    項9に記載の不揮発性半導体メモリ装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100316041B1 (ko) * 1998-01-05 2002-04-24 야마노우 찌 아 쯔시 블럭기록을큰버스폭으로할수있는반도체기억장치
CN100345123C (zh) * 2004-11-27 2007-10-24 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 延长非易失性存储器使用寿命的装置及方法
US8448017B2 (en) 2009-07-07 2013-05-21 Sony Corporation Memory apparatus, memory controlling method and program

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