JPH08296557A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JPH08296557A JPH08296557A JP12092795A JP12092795A JPH08296557A JP H08296557 A JPH08296557 A JP H08296557A JP 12092795 A JP12092795 A JP 12092795A JP 12092795 A JP12092795 A JP 12092795A JP H08296557 A JPH08296557 A JP H08296557A
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- Japan
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- gas
- temperature
- exhaust
- casing
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ 常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は
固化する気体を液化又は固化させることなく排気し得る
真空ポンプを提供すること。 ［構成］ 真空ポンプ１０のシリンダ３1 、３2 、３
3 、３4 、３5 、３6 が形成されているケーシング１及
び羽根車８1 、８2 、８3 、８4 、８5 、８6 を持つロ
ータ１１等の主要部品をアルミニウム、又はアルミニウ
ム合金で作成する。
固化する気体を液化又は固化させることなく排気し得る
真空ポンプを提供すること。 ［構成］ 真空ポンプ１０のシリンダ３1 、３2 、３
3 、３4 、３5 、３6 が形成されているケーシング１及
び羽根車８1 、８2 、８3 、８4 、８5 、８6 を持つロ
ータ１１等の主要部品をアルミニウム、又はアルミニウ
ム合金で作成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプに関するもの
であり、特に減圧ＣＶＤやドライエッチング等の半導体
製造プロセスにおいて生成される常温、常圧或いはそれ
に近い状態で液化又は固化する気体を排気するためのド
ライ真空ポンプに関する。
であり、特に減圧ＣＶＤやドライエッチング等の半導体
製造プロセスにおいて生成される常温、常圧或いはそれ
に近い状態で液化又は固化する気体を排気するためのド
ライ真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造装置等において、清浄
な真空を作り出すためにシールや潤滑のための油類を使
用しないドライ真空ポンプが用いられるようになり、特
に、鋳鉄製やステンレス製の多段真空ポンプが広く使用
されている。図３はこの鋳鉄製の多段真空ポンプ１００
のブロック図であり、６段の真空ポンプユニット１１
０、１１２、１１４、１１６、１１８、１２０が流路Ｌ
1 によって直列に接続されている。流路Ｌ1 の真空ポン
プユニット１１６と１１８の間の部分、１１８と１２０
の間の部分には気体を冷却するための冷却器１３４、１
３６がが介装されており、流路Ｌ1 を通過する気体が圧
縮熱によって極めて高い温度になるのを防ぐため、流路
ｌ1 を流過する冷却水によって冷却するようになってい
る。
な真空を作り出すためにシールや潤滑のための油類を使
用しないドライ真空ポンプが用いられるようになり、特
に、鋳鉄製やステンレス製の多段真空ポンプが広く使用
されている。図３はこの鋳鉄製の多段真空ポンプ１００
のブロック図であり、６段の真空ポンプユニット１１
０、１１２、１１４、１１６、１１８、１２０が流路Ｌ
1 によって直列に接続されている。流路Ｌ1 の真空ポン
プユニット１１６と１１８の間の部分、１１８と１２０
の間の部分には気体を冷却するための冷却器１３４、１
３６がが介装されており、流路Ｌ1 を通過する気体が圧
縮熱によって極めて高い温度になるのを防ぐため、流路
ｌ1 を流過する冷却水によって冷却するようになってい
る。
【０００３】ところで、半導体製造プロセスのうち、塩
素系ガスを用いるアルミニウムのドライエッチングやジ
クロルシラン（ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ）とアンモニア（ＮＨ
3 ）を原料ガスとして窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）の成膜を
行なう減圧ＣＶＤ等では、反応によって生成される塩化
アルミニウム（ＡｌＣｌ3 ）ガスや塩化アンモニウム
（ＮＨ4 Ｃｌ）ガスが常温、常圧或はそれに近い状態で
固化（昇華）するため、このガスが常温近傍の真空ポン
プ内に取り込まれることによって固化温度以下に冷却さ
れ、固体状の反応生成物となって流路の各部位に付着、
堆積する不都合のあることが知られている。
素系ガスを用いるアルミニウムのドライエッチングやジ
クロルシラン（ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ）とアンモニア（ＮＨ
3 ）を原料ガスとして窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）の成膜を
行なう減圧ＣＶＤ等では、反応によって生成される塩化
アルミニウム（ＡｌＣｌ3 ）ガスや塩化アンモニウム
（ＮＨ4 Ｃｌ）ガスが常温、常圧或はそれに近い状態で
固化（昇華）するため、このガスが常温近傍の真空ポン
プ内に取り込まれることによって固化温度以下に冷却さ
れ、固体状の反応生成物となって流路の各部位に付着、
堆積する不都合のあることが知られている。
【０００４】一般に物質はその温度と圧力によって、気
相、液相、固相の何れかの状態を取る。図２は前記Ａｌ
Ｃｌ3 やＮＨ4 Ｃｌと同様、常温、常圧、或はそれに近
い状態で固化するある物質の飽和蒸気圧曲線Ｓを示す図
で、飽和蒸気圧曲線Ｓより下側（右側）でその物質は気
相状態にあり、飽和蒸気圧曲線Ｓより上側（左側）にお
いて液相状態又は固相状態を呈する。この図からも、こ
の飽和蒸気圧曲線Ｓで示される物質はＡ点、すなわち常
温（例えば２５°Ｃ）、常圧（例えば１×１０5 Ｐａ）
においては液相状態又は固相状態であることが分かる。
相、液相、固相の何れかの状態を取る。図２は前記Ａｌ
Ｃｌ3 やＮＨ4 Ｃｌと同様、常温、常圧、或はそれに近
い状態で固化するある物質の飽和蒸気圧曲線Ｓを示す図
で、飽和蒸気圧曲線Ｓより下側（右側）でその物質は気
相状態にあり、飽和蒸気圧曲線Ｓより上側（左側）にお
いて液相状態又は固相状態を呈する。この図からも、こ
の飽和蒸気圧曲線Ｓで示される物質はＡ点、すなわち常
温（例えば２５°Ｃ）、常圧（例えば１×１０5 Ｐａ）
においては液相状態又は固相状態であることが分かる。
【０００５】ここで、Ｘ点の状態にあるこの物質を前記
真空ポンプ１００で排気することを考える。図３の１段
目の真空ポンプユニット１１０の吸気口近傍の温度は室
温にあり、図２のＸ点の状態にある気体は吸気口の壁に
接し冷却されてＢ点の状態になり液化又は固化し始め
る。流路Ｌ1 を進み真空ポンプユニット１１２、１１
４、１１６を通過して圧縮されるに伴い気体の温度は上
昇するが、流路Ｌ1 を含む真空ポンプユニット１１２、
１１４、１１６は鋳鉄製であり熱が放散されにくいので
それらの温度も上昇する。そして、高温になった気体は
４段目の真空ポンプユニット１１６の下流側で冷却器１
３４によって冷却される。冷却器１３４は室温の冷却水
が流過しているので、その冷却面に接する気体は図２の
Ｅ点の状態となり、冷化又は固化して冷却器１３４の冷
却面に付着する。
真空ポンプ１００で排気することを考える。図３の１段
目の真空ポンプユニット１１０の吸気口近傍の温度は室
温にあり、図２のＸ点の状態にある気体は吸気口の壁に
接し冷却されてＢ点の状態になり液化又は固化し始め
る。流路Ｌ1 を進み真空ポンプユニット１１２、１１
４、１１６を通過して圧縮されるに伴い気体の温度は上
昇するが、流路Ｌ1 を含む真空ポンプユニット１１２、
１１４、１１６は鋳鉄製であり熱が放散されにくいので
それらの温度も上昇する。そして、高温になった気体は
４段目の真空ポンプユニット１１６の下流側で冷却器１
３４によって冷却される。冷却器１３４は室温の冷却水
が流過しているので、その冷却面に接する気体は図２の
Ｅ点の状態となり、冷化又は固化して冷却器１３４の冷
却面に付着する。
【０００６】液化又は固化しなかった気体は更に真空ポ
ンプユニット１１８で圧縮され高温になって冷却器１３
６で冷却される。冷却器１３６にも室温の冷却水が流過
しているので、その冷却面に接する気体は図２のＦ点の
状態となり、液化又は固化して冷却器１３６の冷却面に
付着する。そして、真空ポンプユニット１２０から排気
される気体は図２のＤ点の状態（温度１００°Ｃ、圧力
１×１０5 Ｐａ）となって常圧雰囲気中へ排出される。
ンプユニット１１８で圧縮され高温になって冷却器１３
６で冷却される。冷却器１３６にも室温の冷却水が流過
しているので、その冷却面に接する気体は図２のＦ点の
状態となり、液化又は固化して冷却器１３６の冷却面に
付着する。そして、真空ポンプユニット１２０から排気
される気体は図２のＤ点の状態（温度１００°Ｃ、圧力
１×１０5 Ｐａ）となって常圧雰囲気中へ排出される。
【０００７】このようにして、気体は真空ポンプユニッ
ト１１０の吸気口の近傍でＢ点の温度（常温）、真空ポ
ンプユニット１２０の排出口近傍ではＤ点の温度（１０
０°Ｃ）以上になるが、冷却器１３４、１３６で冷却さ
れるので、真空ポンプ１００は図２における線分ＢＤで
示されるような温度勾配を形成していると見做し得る。
そして、１段目の真空ポンプユニット１１０の吸気口の
壁面や冷却器１３４、１３６の冷却面での液化又は固化
によって真空ポンプ１００の性能は低下し、極端な場合
には閉塞されて運転不能に至ることが予測される。
ト１１０の吸気口の近傍でＢ点の温度（常温）、真空ポ
ンプユニット１２０の排出口近傍ではＤ点の温度（１０
０°Ｃ）以上になるが、冷却器１３４、１３６で冷却さ
れるので、真空ポンプ１００は図２における線分ＢＤで
示されるような温度勾配を形成していると見做し得る。
そして、１段目の真空ポンプユニット１１０の吸気口の
壁面や冷却器１３４、１３６の冷却面での液化又は固化
によって真空ポンプ１００の性能は低下し、極端な場合
には閉塞されて運転不能に至ることが予測される。
【０００８】そこで、このような不都合を解消するため
特開平１−１８２５８２号公報のような真空ポンプも提
案されている。図４はその真空ポンプ２００のブロック
図であり、６段の真空ポンプユニット２１０、２１２、
２１４、２１６、２１８、２２０が直列に流路Ｌ2 によ
って接続されており、かつそれぞれには不活性ガス、例
えば窒素ガスを吹き込んで気体の分圧を図２の飽和蒸気
圧曲線Ｓよりも下げるための分圧調節機構２２２、２２
４、２２６、２２８、２３０、２３２が設けられてい
る。又、流路Ｌ2 の真空ポンプユニット２１６と２１８
の間の部分、２１８と２２０の間の部分、２２０の下流
側の部分に設けた冷却器２３４、２３６、２３８の冷却
水の流路ｌ2 に対し、冷却水の温度を調節するための冷
却水温度調節機構２４０が設けられており、冷却水の温
度を冷却器２３４、２３６、２３８の冷却面において気
体が液化又は固化しない温度、すなわち、図２において
飽和蒸気圧曲線Ｓの下側（右側）の気相状態を保持する
温度となるように加温調節している。
特開平１−１８２５８２号公報のような真空ポンプも提
案されている。図４はその真空ポンプ２００のブロック
図であり、６段の真空ポンプユニット２１０、２１２、
２１４、２１６、２１８、２２０が直列に流路Ｌ2 によ
って接続されており、かつそれぞれには不活性ガス、例
えば窒素ガスを吹き込んで気体の分圧を図２の飽和蒸気
圧曲線Ｓよりも下げるための分圧調節機構２２２、２２
４、２２６、２２８、２３０、２３２が設けられてい
る。又、流路Ｌ2 の真空ポンプユニット２１６と２１８
の間の部分、２１８と２２０の間の部分、２２０の下流
側の部分に設けた冷却器２３４、２３６、２３８の冷却
水の流路ｌ2 に対し、冷却水の温度を調節するための冷
却水温度調節機構２４０が設けられており、冷却水の温
度を冷却器２３４、２３６、２３８の冷却面において気
体が液化又は固化しない温度、すなわち、図２において
飽和蒸気圧曲線Ｓの下側（右側）の気相状態を保持する
温度となるように加温調節している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このような分圧調節機
構２２２、２２４、２２６、２２８、２３０、２３２や
冷却水温度調節機構２４０の付加は、真空ポンプ２００
の製造コストを高め、設置スペースを増大させるばかり
でなく、不活性ガスの吹き込みはランニングコストを高
くするし、冷却水温度調節機構２４０が調節トラブルを
発生した場合には冷却水が沸騰して機器を破壊させる恐
れもある。
構２２２、２２４、２２６、２２８、２３０、２３２や
冷却水温度調節機構２４０の付加は、真空ポンプ２００
の製造コストを高め、設置スペースを増大させるばかり
でなく、不活性ガスの吹き込みはランニングコストを高
くするし、冷却水温度調節機構２４０が調節トラブルを
発生した場合には冷却水が沸騰して機器を破壊させる恐
れもある。
【００１０】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、減圧
ＣＶＤやドライエッチング等の半導体製造プロセスにお
いて生成される常温、常圧或いはそれに近い状態で液化
又は固化する気体を液化又は固化させることなく排気す
ることのできる真空ポンプを提供することを目的とす
る。
ＣＶＤやドライエッチング等の半導体製造プロセスにお
いて生成される常温、常圧或いはそれに近い状態で液化
又は固化する気体を液化又は固化させることなく排気す
ることのできる真空ポンプを提供することを目的とす
る。
【００１１】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、常温、
常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化する気体を排
気する真空ポンプにおいて、前記気体の流路を構成する
ケーシング及びシリンダ、ロータ等の主要部品がアルミ
ニウム又はアルミニウム合金で製作されていることを特
徴とする真空ポンプ、によって達成される。
常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化する気体を排
気する真空ポンプにおいて、前記気体の流路を構成する
ケーシング及びシリンダ、ロータ等の主要部品がアルミ
ニウム又はアルミニウム合金で製作されていることを特
徴とする真空ポンプ、によって達成される。
【００１２】
【作用】真空ポンプにおいて気体の流路を構成する主要
部品が熱伝導率の大きいアルミニウム又はアルミニウム
合金で製作されているので、気体の圧縮熱は直ちに真空
ポンプの主要部品の全体に伝達され、かつ主要部品から
外部へ放散される。そのため、気体が最も圧縮され、最
も温度が高くなる真空ポンプの排気口近傍においても気
体の温度は上昇せず、真空ポンプの吸気口近傍は伝達、
伝導される圧縮熱によって昇温されるので、気体は液化
又は固化されない。従って気体は液化又は固化すること
なく排気される。
部品が熱伝導率の大きいアルミニウム又はアルミニウム
合金で製作されているので、気体の圧縮熱は直ちに真空
ポンプの主要部品の全体に伝達され、かつ主要部品から
外部へ放散される。そのため、気体が最も圧縮され、最
も温度が高くなる真空ポンプの排気口近傍においても気
体の温度は上昇せず、真空ポンプの吸気口近傍は伝達、
伝導される圧縮熱によって昇温されるので、気体は液化
又は固化されない。従って気体は液化又は固化すること
なく排気される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例による真空ポンプにつ
いて、図面を参照して説明する。図１は実施例の真空ポ
ンプ１０の主要部の断面図である。すなわち、真空ポン
プ１０は円筒状のケーシング１内おいて吸気口２から排
気口５に至る間に、シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、
３5 、３6 と、これらを結ぶ連絡流路４1 、４2 、４
3 、４4 、４5 が設けられている。ケーシング１の吸気
側の端面には吸気側カバー６が取り付けられ、排気側の
端面には排気側カバー７が取り付けられている。
いて、図面を参照して説明する。図１は実施例の真空ポ
ンプ１０の主要部の断面図である。すなわち、真空ポン
プ１０は円筒状のケーシング１内おいて吸気口２から排
気口５に至る間に、シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、
３5 、３6 と、これらを結ぶ連絡流路４1 、４2 、４
3 、４4 、４5 が設けられている。ケーシング１の吸気
側の端面には吸気側カバー６が取り付けられ、排気側の
端面には排気側カバー７が取り付けられている。
【００１４】各シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、３
5 、３6 には、ケーシング１の軸心部を貫通する回転軸
９に固定した羽根車８1 、８2 、８3 、８4 、８5 、８
6 がそれぞれ組み合わされ、６段に圧縮して排気するよ
うになっている。回転軸９の一方の端部は吸気側カバー
６に固定したベアリング１２に軸支され、その内側にお
いてリップシール１３によって気体の流路と大気とシー
ルしている。回転軸９の他方の端部は同じく排気側カバ
ー７に固定したベアリング１４に軸支され、その内側に
おいてリップシール１５によって気体の流路と大気とを
シールしている。各羽根車８1 、８2 、・・・、８6 は
回転軸９と共にロータ１１を構成し、回転軸９は排気側
カバー７の外側において、回転軸９に取り付けたギヤ１
６を介し、図示しないモータによって駆動される。そし
て、吸気側カバー６、排気側カバー７、シリンダ３1 、
３2 、・・・、３6 と一体的なケーシング１、及びロー
タ１１など気体と接する主要部品は鋳鉄に比して約４倍
以上の熱伝導率を有するアルミニウム合金で製作されて
いる。
5 、３6 には、ケーシング１の軸心部を貫通する回転軸
９に固定した羽根車８1 、８2 、８3 、８4 、８5 、８
6 がそれぞれ組み合わされ、６段に圧縮して排気するよ
うになっている。回転軸９の一方の端部は吸気側カバー
６に固定したベアリング１２に軸支され、その内側にお
いてリップシール１３によって気体の流路と大気とシー
ルしている。回転軸９の他方の端部は同じく排気側カバ
ー７に固定したベアリング１４に軸支され、その内側に
おいてリップシール１５によって気体の流路と大気とを
シールしている。各羽根車８1 、８2 、・・・、８6 は
回転軸９と共にロータ１１を構成し、回転軸９は排気側
カバー７の外側において、回転軸９に取り付けたギヤ１
６を介し、図示しないモータによって駆動される。そし
て、吸気側カバー６、排気側カバー７、シリンダ３1 、
３2 、・・・、３6 と一体的なケーシング１、及びロー
タ１１など気体と接する主要部品は鋳鉄に比して約４倍
以上の熱伝導率を有するアルミニウム合金で製作されて
いる。
【００１５】本発明の実施例による真空ポンプ１０は以
上のように構成されるが、次にその作用について説明す
る。図２においてＸ点の状態にある気体は真空ポンプ１
０の常温にある吸気口２から矢印のように吸気され、そ
の一部は吸気口２の壁に接し冷却されてＢ点の状態にな
り液化又は固化するが、大部は各シリンダ３1 、３2、
３3 、３4 、３5 、３6 を通過するに従って圧縮が強め
られ発熱して、排気口５の近傍においては最も昇温す
る。
上のように構成されるが、次にその作用について説明す
る。図２においてＸ点の状態にある気体は真空ポンプ１
０の常温にある吸気口２から矢印のように吸気され、そ
の一部は吸気口２の壁に接し冷却されてＢ点の状態にな
り液化又は固化するが、大部は各シリンダ３1 、３2、
３3 、３4 、３5 、３6 を通過するに従って圧縮が強め
られ発熱して、排気口５の近傍においては最も昇温す
る。
【００１６】この時、アルミニウム合金は熱伝導率が大
きいので、圧縮熱は直ちにケーシング１、ロータ１１に
伝達され、ケーシング１及び排気側カバー７から外部へ
放散されると共に、ケーシング１、ロータ１１において
温度の高い排気口側から温度の低い吸気口側へ伝達され
て、吸気口２の近傍のケーシング１の温度、吸気側カバ
ー６の温度及び羽根車８1 の温度を上昇させる。従って
排気口５において気体は図２のＤ点の状態（温度１００
°Ｃ、圧力１×１０5 Ｐａ）となって矢印のように排出
される。又、吸気口２において気体は図２のＣ点の状態
を取るようになり、当初に吸気口２の壁に接して液化又
は固化し付着したものも再度気化されるようになる。
きいので、圧縮熱は直ちにケーシング１、ロータ１１に
伝達され、ケーシング１及び排気側カバー７から外部へ
放散されると共に、ケーシング１、ロータ１１において
温度の高い排気口側から温度の低い吸気口側へ伝達され
て、吸気口２の近傍のケーシング１の温度、吸気側カバ
ー６の温度及び羽根車８1 の温度を上昇させる。従って
排気口５において気体は図２のＤ点の状態（温度１００
°Ｃ、圧力１×１０5 Ｐａ）となって矢印のように排出
される。又、吸気口２において気体は図２のＣ点の状態
を取るようになり、当初に吸気口２の壁に接して液化又
は固化し付着したものも再度気化されるようになる。
【００１７】このようにして、気体は吸気口２の近傍で
Ｃ点の温度、排気口５の近傍ではＤ点の温度（１００°
Ｃ）となるので実施例の真空ポンプ１０は図２における
線分ＣＤで示されるようなゆるい温度勾配を形成してい
ると見做し得る。Ｃ点、Ｄ点は共に飽和蒸気圧曲線Ｓか
ら下側（右側）へ充分に離れた状態であり、気体は真空
ポンプ１０によって液化又は固化されることなく排気さ
れる。又、この間において気体は充分に冷却されるので
ケーシング１ないしはシリンダ３1 、３2 、・・・、３
6 等を冷却する必要がない。
Ｃ点の温度、排気口５の近傍ではＤ点の温度（１００°
Ｃ）となるので実施例の真空ポンプ１０は図２における
線分ＣＤで示されるようなゆるい温度勾配を形成してい
ると見做し得る。Ｃ点、Ｄ点は共に飽和蒸気圧曲線Ｓか
ら下側（右側）へ充分に離れた状態であり、気体は真空
ポンプ１０によって液化又は固化されることなく排気さ
れる。又、この間において気体は充分に冷却されるので
ケーシング１ないしはシリンダ３1 、３2 、・・・、３
6 等を冷却する必要がない。
【００１８】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００１９】例えば本実施例においては、６段に圧縮し
て排気を行なう真空ポンプ１０について述べたが、本発
明は１段の真空ポンプにも適用されるし、６段以下又は
７段以上の真空ポンプにも適用され得る。
て排気を行なう真空ポンプ１０について述べたが、本発
明は１段の真空ポンプにも適用されるし、６段以下又は
７段以上の真空ポンプにも適用され得る。
【００２０】又、本実施例においては、円筒状のケーシ
ング１を有する真空ポンプとしたが、円筒の外側面に放
熱用のフィンを設けてもよい。
ング１を有する真空ポンプとしたが、円筒の外側面に放
熱用のフィンを設けてもよい。
【００２１】又、本実施例においては、真空ポンプの気
体の流路を構成する主要部品はアルミニウム合金で製作
したものを採用したが、同等の熱伝導率を有するアルミ
ニウムで製作したものを使用してもよい。
体の流路を構成する主要部品はアルミニウム合金で製作
したものを採用したが、同等の熱伝導率を有するアルミ
ニウムで製作したものを使用してもよい。
【００２２】又、本実施例においては設けていないが、
各シリンダ３1 、３2 、・・・、３6 内へ気体の分圧を
下げるための不活性ガスを吹き込む機構を設けることは
何等差し支えない。
各シリンダ３1 、３2 、・・・、３6 内へ気体の分圧を
下げるための不活性ガスを吹き込む機構を設けることは
何等差し支えない。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空ポンプ
は気体の流路を構成する主要部品を熱伝導率の大きいア
ルミニウム又はアルミニウム合金で製作しているので、
塩化アルミニウム、塩化アンモニウムや、過熱されてお
らず飽和蒸気圧曲線に近い状態にある水蒸気のように、
常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化するよ
うな性質を有する気体を排気する場合に、吸気口から排
気口に至る間において気相状態が維持されるので、気体
の液化又は固化による真空ポンプの性能低下ないしは閉
塞は生じない。又、運転開始当初、吸気口において一旦
は液化又は固化する気体があったとしても、時間の経過
と共にこれらは気化される。
は気体の流路を構成する主要部品を熱伝導率の大きいア
ルミニウム又はアルミニウム合金で製作しているので、
塩化アルミニウム、塩化アンモニウムや、過熱されてお
らず飽和蒸気圧曲線に近い状態にある水蒸気のように、
常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化するよ
うな性質を有する気体を排気する場合に、吸気口から排
気口に至る間において気相状態が維持されるので、気体
の液化又は固化による真空ポンプの性能低下ないしは閉
塞は生じない。又、運転開始当初、吸気口において一旦
は液化又は固化する気体があったとしても、時間の経過
と共にこれらは気化される。
【００２４】更には、気体の圧縮熱は直ちに真空ポンプ
の流路を構成する主要部品に伝達され外部に放散される
と共に、高温となる排気側から低温の吸気側へ伝導され
て気体は充分に冷却されるので、圧縮熱を除去するため
の冷却器を必要とせず、その点において真空ポンプの製
造コストを低下させ、設置スペース的にも余裕を与え
る。
の流路を構成する主要部品に伝達され外部に放散される
と共に、高温となる排気側から低温の吸気側へ伝導され
て気体は充分に冷却されるので、圧縮熱を除去するため
の冷却器を必要とせず、その点において真空ポンプの製
造コストを低下させ、設置スペース的にも余裕を与え
る。
【図１】実施例の真空ポンプの主要部の断面図である。
【図２】排気される物質の飽和蒸気圧曲線を示す図であ
る。
る。
【図３】第１従来例の真空ポンプのブロック図である。
【図４】第２従来例の真空ポンプのブロック図である。
１ ケーシング ２ 吸気口 ３1 シリンダ ３2 シリンダ ３3 シリンダ ３4 シリンダ ３5 シリンダ ３6 シリンダ ４1 連絡流路 ４2 連絡流路 ４3 連絡流路 ４4 連絡流路 ４5 連絡流路 ５ 排気口 ６ 吸気側カバー ７ 排気側カバー ８1 羽根車 ８2 羽根車 ８3 羽根車 ８4 羽根車 ８5 羽根車 ８6 羽根車 ９ 回転軸 １０ 実施例の真空ポンプ １１ ロータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下坂 健太郎 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 常温、常圧或いはそれに近い状態で液化
又は固化する気体を排気する真空ポンプにおいて、前記
気体の流路を構成するケーシング及びシリンダ、ロータ
等の主要部品がアルミニウム又はアルミニウム合金で製
作されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記流路に前記気体の圧縮熱を除去する
ための冷却器を具備していない請求項１に記載の真空ポ
ンプ。 - 【請求項３】 前記気体の排気を多段で行なう請求項１
又は２に記載の真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記気体の排気がシール及び潤滑のため
の油類を使用することなく行われる請求項１、２又は３
に記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12092795A JP3563152B2 (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12092795A JP3563152B2 (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08296557A true JPH08296557A (ja) | 1996-11-12 |
| JP3563152B2 JP3563152B2 (ja) | 2004-09-08 |
Family
ID=14798431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12092795A Expired - Lifetime JP3563152B2 (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3563152B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002005023A (ja) * | 2000-04-06 | 2002-01-09 | Alcatel | 真空ポンプ冷却システム、およびその製造方法 |
| EP1398509A2 (en) * | 2002-09-10 | 2004-03-17 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| US6874989B2 (en) | 2002-09-10 | 2005-04-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| JP2009203945A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Ebara Corp | 多段真空ポンプ |
-
1995
- 1995-04-21 JP JP12092795A patent/JP3563152B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002005023A (ja) * | 2000-04-06 | 2002-01-09 | Alcatel | 真空ポンプ冷却システム、およびその製造方法 |
| EP1398509A2 (en) * | 2002-09-10 | 2004-03-17 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| US6874989B2 (en) | 2002-09-10 | 2005-04-05 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| EP1398509A3 (en) * | 2002-09-10 | 2005-06-15 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| JP2009203945A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Ebara Corp | 多段真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3563152B2 (ja) | 2004-09-08 |
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