JPH048896A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JPH048896A JPH048896A JP2107596A JP10759690A JPH048896A JP H048896 A JPH048896 A JP H048896A JP 2107596 A JP2107596 A JP 2107596A JP 10759690 A JP10759690 A JP 10759690A JP H048896 A JPH048896 A JP H048896A
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- JP
- Japan
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- stator
- cooling jacket
- temperature
- gas
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、排気口を大気圧で運転する真空ポンプに係り
、特に、反応生成物の付着しやすいプロセスに使用する
のに好適なドライ真空ポンプに関する。
、特に、反応生成物の付着しやすいプロセスに使用する
のに好適なドライ真空ポンプに関する。
ドライ真空ポンプは、吸気口から流入する気体が通過す
る流路に油や水が無いため、クリーンな真空が得られる
という優れた特徴をもつが、一方、気体を圧縮する際の
発熱を取り去る効果が無くなるため、ポンプ内の温度が
高くなってしまう。そこで従来は、発熱部の外側に冷却
ジャケットを設けて水冷却していた。
る流路に油や水が無いため、クリーンな真空が得られる
という優れた特徴をもつが、一方、気体を圧縮する際の
発熱を取り去る効果が無くなるため、ポンプ内の温度が
高くなってしまう。そこで従来は、発熱部の外側に冷却
ジャケットを設けて水冷却していた。
第２図は、従来のドライ真空ポンプの断面図である。吸
気口１．排気口２をもったケーシング３の内部に、軸受
６によって回転自在しこ支承されたロータ４と静止して
いるステータ５とが設けられている。吸気口１から吸い
込まれた気体は、ロータ４とステータ５の圧縮作用によ
り、順次、圧縮され、排気口２から大気へ排気される。
気口１．排気口２をもったケーシング３の内部に、軸受
６によって回転自在しこ支承されたロータ４と静止して
いるステータ５とが設けられている。吸気口１から吸い
込まれた気体は、ロータ４とステータ５の圧縮作用によ
り、順次、圧縮され、排気口２から大気へ排気される。
その圧縮過程で、気体は圧縮熱を発生するが、排気口２
に近い程、その圧縮熱量は多くなる。この圧縮熱を取り
去るために、第２図の例ではステータ５の外側に冷却ジ
ャケット９を設け、給水口１３から供給される水で冷却
するようになっている。
に近い程、その圧縮熱量は多くなる。この圧縮熱を取り
去るために、第２図の例ではステータ５の外側に冷却ジ
ャケット９を設け、給水口１３から供給される水で冷却
するようになっている。
なお、この種の従来技術は、特開昭６１−２４７８９３
号公報に記載のものがある。
号公報に記載のものがある。
上記従来技術では、金属性の冷却ジャケットに、直接、
水を通して冷却していたため、冷却効果は非常によい。
水を通して冷却していたため、冷却効果は非常によい。
しかし、吸込気体の昇華温度が高い場合、ポンプ内部温
度が低いと気体が固体化し、ポンプの内部に反応生成物
として付着堆積し、ポンプ流路を塞ぎ、ついにはロータ
ロックを生じる。
度が低いと気体が固体化し、ポンプの内部に反応生成物
として付着堆積し、ポンプ流路を塞ぎ、ついにはロータ
ロックを生じる。
また、冷却水量をある量以下に減少させると、温度の不
均一化が生じてポンプの性能が低下したり、流速の遅い
部分でカルキが析出するなどの問題があった。
均一化が生じてポンプの性能が低下したり、流速の遅い
部分でカルキが析出するなどの問題があった。
本発明の目的は、ポンプ流路部に昇華温度の高い気体が
吸込まれても、気体が固体化することなく、反応生成物
の付着堆積を防ぐ真空ポンプを提供することにある。
吸込まれても、気体が固体化することなく、反応生成物
の付着堆積を防ぐ真空ポンプを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は冷却ジャケット内
面の熱伝導率を小さくすることにより、ポンプ内部の温
度を一様に上昇させ、吸気口から吸込まれる昇華温度の
高い物質を気相側の温度以上に保つことができるように
した。
面の熱伝導率を小さくすることにより、ポンプ内部の温
度を一様に上昇させ、吸気口から吸込まれる昇華温度の
高い物質を気相側の温度以上に保つことができるように
した。
例えば、半導体製造装置における反応炉から出る気体は
、その物質の蒸気圧と温度の関係により。
、その物質の蒸気圧と温度の関係により。
大気圧に近くなる程、温度が高くないと固体になってし
まい、反応生成物としてポンプ流路に付着堆積すること
になる。
まい、反応生成物としてポンプ流路に付着堆積すること
になる。
ポンプは圧縮作用により多量の熱を発生するので、冷却
ジャケット内面の熱伝導率を小さくすると、ポンプ流路
を高い温度に一定に保つことができる。それによって、
ポンプ流路を通過する気体を高温で、かつ、一定に保つ
ことができるので、反応生成物の付着堆積を防ぐことが
できる。
ジャケット内面の熱伝導率を小さくすると、ポンプ流路
を高い温度に一定に保つことができる。それによって、
ポンプ流路を通過する気体を高温で、かつ、一定に保つ
ことができるので、反応生成物の付着堆積を防ぐことが
できる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
第１図において、吸気口１と排気口２とをもつケーシン
グ３内には、軸受７によって支承され、モータ８により
駆動されるロータ４と、ロータ４を囲むようにして取付
けられたステータ５とからなるポンプ機構部６がある。
グ３内には、軸受７によって支承され、モータ８により
駆動されるロータ４と、ロータ４を囲むようにして取付
けられたステータ５とからなるポンプ機構部６がある。
吸気口１から吸込まれた気体は、ロータ４とステータ５
の圧縮作用により、順次、圧縮され、排気口２より大気
へ排気される。ステータ５の外側には冷却ジャケット９
が設けてあり、その内面には、プラスチック板１０が接
着剤によって貼り付けである。そして。
の圧縮作用により、順次、圧縮され、排気口２より大気
へ排気される。ステータ５の外側には冷却ジャケット９
が設けてあり、その内面には、プラスチック板１０が接
着剤によって貼り付けである。そして。
ゴム製のＯリング１１でシールして、ジャケットカバー
１２によって閉空間を形成している。ジャケットカバー
１２には、給水口１３、及び、排水口１４が設けてあり
、給水口１３から流入した冷却水は、ポンプ機構部６で
気体が圧縮されるときに発生する熱を奪って、排水口１
４から排出される。
１２によって閉空間を形成している。ジャケットカバー
１２には、給水口１３、及び、排水口１４が設けてあり
、給水口１３から流入した冷却水は、ポンプ機構部６で
気体が圧縮されるときに発生する熱を奪って、排水口１
４から排出される。
次に１本発明の実施例の動作について説明する。
吸気口１から吸い込まれた気体は、ロータ４とステータ
５よりなるポンプ機構部６の流路内で、順次、圧縮され
、排気口２を通って大気へ排気される。排気の過程で、
ロータ４が高速回転している部分では、気体は高温にな
り、その熱がステータ５に伝導される。このままの状、
態では、気体温度が高くなり、ポンプ機構部６の圧縮作
用が悪くなってポンプ性能が低下したり、熱膨張により
ロータ４とステータ５が接触したりするので、冷却ジャ
ケット９に冷却水を通して冷却する。
５よりなるポンプ機構部６の流路内で、順次、圧縮され
、排気口２を通って大気へ排気される。排気の過程で、
ロータ４が高速回転している部分では、気体は高温にな
り、その熱がステータ５に伝導される。このままの状、
態では、気体温度が高くなり、ポンプ機構部６の圧縮作
用が悪くなってポンプ性能が低下したり、熱膨張により
ロータ４とステータ５が接触したりするので、冷却ジャ
ケット９に冷却水を通して冷却する。
真空ポンプの吸気口１が１例えば、半導体製造装置のア
ルミドライエツチング装置に連結されている場合には、
エツチング後の反応生成物として。
ルミドライエツチング装置に連結されている場合には、
エツチング後の反応生成物として。
塩化アルミニウム（ＡｎＣＲａ）が生成する。この昇華
温度特性図は、第３図に示すように、圧力と温度の関係
によって、同相側と気相側に分かれる。
温度特性図は、第３図に示すように、圧力と温度の関係
によって、同相側と気相側に分かれる。
第３図において、１５は従来技術のデータ、１６は本発
明の一実施例を示す。
明の一実施例を示す。
冷却ジャケット９に、直接、冷却水を流して冷却すると
、ステータ５の内部温度はＡ Ｑ ＣＱ ｓの昇華温度
特性図の固相側に位置し、ステータ５の内壁にＡＱＣＱ
ｓが着付堆積する。そこで、冷却ジャケット９の内面に
プラスチック板１ｏを貼りつけると、プラスチックは鉄
に比べて熱伝導率が約１７１０と小さいので、冷却水と
ステータ５の内部の気体との間の温度勾配が大きくなり
、気体の温度を高く保つことができる。その結果、ステ
ータ５の内部温度はＡＱＣＱ３の昇華温度特性図の気相
側の位置にすることができ、ステータ５の内壁に反応生
成物が付着堆積しなくなる。
、ステータ５の内部温度はＡ Ｑ ＣＱ ｓの昇華温度
特性図の固相側に位置し、ステータ５の内壁にＡＱＣＱ
ｓが着付堆積する。そこで、冷却ジャケット９の内面に
プラスチック板１ｏを貼りつけると、プラスチックは鉄
に比べて熱伝導率が約１７１０と小さいので、冷却水と
ステータ５の内部の気体との間の温度勾配が大きくなり
、気体の温度を高く保つことができる。その結果、ステ
ータ５の内部温度はＡＱＣＱ３の昇華温度特性図の気相
側の位置にすることができ、ステータ５の内壁に反応生
成物が付着堆積しなくなる。
なお、プラスチック板１０の代りに、プラスチック以外
の金属に比べて熱伝導率の小さい物質を貼りつけたり、
固まると熱伝導率の小さい膜状になるような液状物質を
、冷却ジャケット９の内面に塗布することによっても同
様の効果が得られる。
の金属に比べて熱伝導率の小さい物質を貼りつけたり、
固まると熱伝導率の小さい膜状になるような液状物質を
、冷却ジャケット９の内面に塗布することによっても同
様の効果が得られる。
本発明によれば、ステータ内部の温度を高くすることが
できるので、ポンプ機構部への反応生成物の付着堆積を
防ぐことができる。
できるので、ポンプ機構部への反応生成物の付着堆積を
防ぐことができる。
第１図は本発明の一実施例の真空ポンプの縦断面図、第
２図は従来の真空ポンプの縦断面図、第３図はＡＲＣＱ
ａの昇華温度特性図及び温度特性図である。 ４・・・ロータ、５・・・ステータ、６・・・ポンプ機
構部。 ９・・・冷却ジャケット、１０・・・プラスチック板、
１２・・・ジャケットカバー
２図は従来の真空ポンプの縦断面図、第３図はＡＲＣＱ
ａの昇華温度特性図及び温度特性図である。 ４・・・ロータ、５・・・ステータ、６・・・ポンプ機
構部。 ９・・・冷却ジャケット、１０・・・プラスチック板、
１２・・・ジャケットカバー
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ケーシング内に設けたロータとステータより成るポ
ンプ部の作用で、吸気口から吸込んだ低圧の気体を圧縮
し、排気口より大気へ排気する真空ポンプにおいて、 前記ステータの外周部に設けた冷却ジャケットのカバー
を着脱可能にしたことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107596A JPH048896A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 真空ポンプ |
| KR1019910005355A KR950007378B1 (ko) | 1990-04-06 | 1991-04-03 | 진공펌프 |
| EP91105353A EP0451708B1 (en) | 1990-04-06 | 1991-04-04 | Vacuum pump |
| DE69125044T DE69125044T2 (de) | 1990-04-06 | 1991-04-04 | Vakuumpumpe |
| CN91102168A CN1019675B (zh) | 1990-04-06 | 1991-04-06 | 真空泵 |
| US07/682,265 US5190438A (en) | 1990-04-06 | 1991-04-08 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107596A JPH048896A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048896A true JPH048896A (ja) | 1992-01-13 |
Family
ID=14463170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2107596A Pending JPH048896A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-25 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048896A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002227765A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Stmp Kk | 真空ポンプ |
| GB2559444A (en) * | 2017-02-03 | 2018-08-08 | Edwards Ltd | Pump cooling systems |
| CN115234489A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-10-25 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 用于旋片式真空泵的防返油装置 |
-
1990
- 1990-04-25 JP JP2107596A patent/JPH048896A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002227765A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Stmp Kk | 真空ポンプ |
| JP4657463B2 (ja) * | 2001-02-01 | 2011-03-23 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| GB2559444A (en) * | 2017-02-03 | 2018-08-08 | Edwards Ltd | Pump cooling systems |
| GB2559444B (en) * | 2017-02-03 | 2019-08-28 | Edwards Ltd | Pump cooling systems |
| US11098718B2 (en) | 2017-02-03 | 2021-08-24 | Edwards Limited | Pump cooling systems |
| CN115234489A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-10-25 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 用于旋片式真空泵的防返油装置 |
| CN115234489B (zh) * | 2022-08-16 | 2023-10-31 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 用于旋片式真空泵的防返油装置 |
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