JPH0826419A - Workpiece conveyance robot and workpiece storehouse - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To provide a workpiece conveyance robot and a workpiece storehouse which can increase a degree of freedom at low cost and make a position of a hand coincide with the direction of a workpiece in the conveyance of the workpiece and can reduce space of the work piece storehouse including a robot. CONSTITUTION:Right and left elastic arms whose basic ends are fixed to rotary arms 6, 7 are forcedly deformed by rollers 32a, 32b fixed to a lower part of a hand portion for loading workpiece rotatably and hand rotation regulation parts 31a, 31b provided in such a manner that the rollers are pressed when a robot turns to change a position of the hand.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、前後、上下に移動可能
な所定の台に設置され、該台より構成部材の運動により
ハンドを移動させてワークを搬送するワーク搬送用ロボ
ットおよび該ワーク搬送用ロボットを設置したワーク保
管庫に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work transfer robot and a work transfer robot which are installed on a predetermined table which can be moved back and forth and up and down, and which moves a hand by the movement of its constituent members to transfer a work. Related to a work storage with a robot for installation.

【０００２】[0002]

【従来の技術】一般にエレクトロニクス、情報産業にお
ける電子部品の製品パターンは、微細化、高集積化、高
密度化がますます進められている。それにつれて製品歩
留まり向上と、その製造プロセス段階におけるパーティ
クルなどによる汚染を防止し製品の信頼性を維持するた
め、製造環境でのコンタミネーションコントロールが重
要である。なかでも搬送装置を含めた製造装置からの発
塵防止が強く望まれている。2. Description of the Related Art Generally, the product patterns of electronic parts in the electronics and information industries are increasingly miniaturized, highly integrated, and highly densified. Along with this, in order to improve the product yield and prevent the contamination due to particles in the manufacturing process and maintain the reliability of the product, it is important to control the contamination in the manufacturing environment. Above all, it is strongly desired to prevent dust generation from the manufacturing apparatus including the transporting apparatus.

【０００３】上記のごとく発塵のないクリーンな環境で
製作される電子部品は、クリーンルーム内で各種の工程
を連続的に処理されるが、処理時間が異なる各工程をつ
なぐ中継点として、各工程ごとにストッカを設け一時保
管している。該ストッカは、工程内搬送と呼ばれる処理
装置とストッカ間の搬送と、工程間搬送と呼ばれるスト
ッカから次の工程への搬送の中継点にあり、頻繁に入
庫、出庫が繰り返される。したがって、ストッカは、ワ
ークの保管と、入出の接点としての機能をもち、しかも
保管中のワークをクリーンに保つ重要な役割をもつ。As described above, electronic parts manufactured in a clean environment free of dust are continuously processed in various steps in a clean room. However, each step is used as a relay point connecting the steps with different processing times. A stocker is provided for each and temporarily stored. The stocker is at a relay point between the processing device and the stocker, which is called intra-process transfer, and the transfer from the stocker to the next process, which is called inter-process transfer, and is frequently loaded and unloaded. Therefore, the stocker has a function as a contact point for storing and entering the work, and also has an important role to keep the work being stored clean.

【０００４】該ストッカ内でワークの搬送を行うスタッ
カクレーンは、一般に、２列の保管棚の間に設置されて
おり、棚の一部に設けられた工程内入出庫口とのワーク
搬送と、保管棚に対し直角方向に設けられた工程間搬送
装置への入出庫口とのワーク搬送を行う。該スタッカク
レーンは、ワークを昇降、旋回、また、前後左右に移動
させる機能をもつため、床面を直進走行する軌道式台車
上に昇降機構用マストを設置し、該マストにワーク搬送
用ロボットを搭載した構成となっている。該ワーク搬送
用ロボットは、多関節形、円筒座標形等の関節部および
摺動部を有する構成のものが一般的であり、ロボットを
構成するアームの屈曲運動または摺動運動により、ハン
ドを移動させてワークを搬送する構成になっている。ま
た、前記の理由からそれぞれ搬送ロボットの発塵対策が
なされている。発塵性の少ない従来のワーク搬送ロボッ
トは、特開平５−３１８３４５号公報記載のようになっ
ていた。The stacker crane for carrying the work in the stocker is generally installed between two rows of storage shelves, and carries the work with the in-process loading / unloading port provided in a part of the shelf. Work transfer is performed with the loading / unloading port to the inter-process transfer device provided in the direction perpendicular to the storage shelves. Since the stacker crane has the functions of raising and lowering, turning, and moving the work forward, backward, leftward, and rightward, a mast for a lifting mechanism is installed on a track-type carriage that travels straight on the floor, and a work transfer robot is installed on the mast. It is configured to be installed. The work transfer robot generally has a structure having an articulated part such as an articulated type and a cylindrical coordinate type and a sliding part, and moves a hand by bending or sliding motion of an arm constituting the robot. It is configured to convey the work. Further, for the above-mentioned reasons, measures against dust generation of the transfer robot are taken. A conventional work transfer robot having little dust generation has been disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-318345.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前記ストッカは、クリ
ーン度の確保が必要であり内部の気流管理を行うが、効
率を良くするため、デッドスペースを減らした省スペー
ス化が要求されている。一方、２列の保管棚に対し直角
方向に設置された工程間入出庫口は、一般に２個隣に並
んだ受け渡し位置をもつ。前記ワーク搬送用ロボット
は、２列の保管棚と該工程間受け渡し位置に対応するた
め、２自由度以上を必要とする。そのため、スタッカク
レーン用マストに搭載されたワーク搬送用ロボットとし
て、上記の理由から摺動機構と旋回機構を組み合わせた
機構や水平多関節ロボットを採用している。The above-mentioned stocker needs to ensure cleanliness and manages the internal air flow, but in order to improve efficiency, there is a demand for space saving by reducing dead space. On the other hand, the inter-process loading / unloading ports installed in the direction perpendicular to the two rows of storage shelves generally have two delivery positions next to each other. The work transfer robot needs two or more degrees of freedom because it corresponds to two rows of storage shelves and the inter-process transfer position. Therefore, as the work transfer robot mounted on the stacker crane mast, a mechanism in which a sliding mechanism and a turning mechanism are combined and a horizontal articulated robot are adopted for the above reasons.

【０００６】上記従来技術である特開平５−３１８３４
５号公報記載のワーク搬送ロボットは、低発塵であるも
のの、円筒座標形ロボットと同様にワークを直進、旋回
する機能のみであり、ワークの姿勢を旋回回転軸の半径
方向からずれた方向に変化できなかった。The above-mentioned prior art, Japanese Patent Laid-Open No. 31834/1993.
Although the work transfer robot described in Japanese Patent No. 5 has low dust generation, it has only a function of moving the work straight and turning like a cylindrical coordinate type robot, and the posture of the work is deviated from the radial direction of the turning rotation axis. I couldn't change.

【０００７】また、前記摺動機構を組み合わせた機構の
場合、摺動部の摩擦接触による発塵を迎えるため、カバ
ーを設けた構造が多いが、摺動部を防塵することは難し
い。Further, in the case of a mechanism in which the sliding mechanism is combined, dust is generated due to frictional contact of the sliding portion, and therefore a cover is often provided, but it is difficult to protect the sliding portion from dust.

【０００８】また、前記水平多関節ロボットの場合、２
自由度の機構ではワークの姿勢が半径方向に限定されて
おり、半径方向からずれた姿勢となる２個以上並んだ工
程間受け渡し位置にワークの受け渡しができない。その
ため、旋回、伸縮、ハンドの回転といった３自由度の機
構や、前記走行台車とを含めた３軸同時制御で対応して
いる。また、該ワーク搬送用ロボットは２自由度の機構
とし工程間入出庫口にワーク仮置き台と専用移載機を設
けて対応しているものもある。しかし、装置がコスト高
となるといった問題を有していた。In the case of the horizontal articulated robot, 2
With the mechanism of the degree of freedom, the posture of the work is limited in the radial direction, and the work cannot be delivered to the inter-process delivery position where two or more processes are lined up, which are in a posture deviated from the radial direction. Therefore, a mechanism with three degrees of freedom such as turning, extension and contraction, and rotation of the hand, and three-axis simultaneous control including the traveling carriage are used. There is also a robot for transferring the work, which has a mechanism of two degrees of freedom and is provided with a work temporary placing table and a dedicated transfer machine at the inter-process loading / unloading port. However, there is a problem that the cost of the device becomes high.

【０００９】本発明は、前記従来技術の問題点に鑑み、
発塵が少なく、ローコストで自由度を増やしたワーク搬
送用ロボットを提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems of the prior art.
An object of the present invention is to provide a work transfer robot that generates less dust, has a low cost, and has a high degree of freedom.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、前後、上下に移動可能な所定の台に設置
され、該台より構成部材の運動によりハンドを移動させ
てワークを搬送するワーク搬送用ロボットにおいて、
(1) ワークを載置するハンドと、(2) 略同軸上に配置さ
れた２つの回転軸と、(3) 前記各回転軸に固定され、そ
れぞれの回転軸の半径方向に突設し、左右対称状に配置
される１対の回転アームと、(4) 前記各回転アームに基
端部が固着され、他の端部が前記ハンドに固着され、お
よそ対称状に配置される弾性変形可能な部材を有する１
対以上の弾性アームと、(5) 前記各回転軸をそれぞれ回
転駆動する２つの駆動源と、(6) ハンドの所定の位置に
おいて、ハンドの回転を規制しハンドの向きを変える手
段を設けた構成としたものである。In order to achieve the above object, the present invention is installed on a predetermined table which can be moved back and forth and up and down, and the work is conveyed by moving the hand from the table by the movement of the constituent members. In the work transfer robot,
(1) A hand on which a work is placed, (2) two rotary shafts arranged substantially coaxially, (3) fixed to each of the rotary shafts, and protruding in the radial direction of each rotary shaft, (4) A pair of rotating arms arranged symmetrically, and (4) a base end portion is fixed to each rotating arm and the other end portion is fixed to the hand, and elastically deformable arranged approximately symmetrically. 1 with various members
A pair of elastic arms, (5) two drive sources for rotationally driving the respective rotary shafts, and (6) means for restricting rotation of the hand and changing the direction of the hand at a predetermined position of the hand are provided. It is configured.

【００１１】また、前後、上下に移動可能な所定の台に
設置され、該台より構成部材の直進運動と旋回運動の２
自由度でワークを搬送するワーク搬送用ロボットにおい
て、(1) 先端のアーム部にハンド部を水平面内に回動可
能に支持し、(2) ハンド部を所定の向きに弾性的に姿勢
を保持する弾性部材を先端のアーム部に配設し、(3) ハ
ンドの所定の位置において、ハンドの回転を規制しハン
ドの向きを変える手段を設けた構成としたものである。Further, it is installed on a predetermined table which can be moved back and forth and up and down.
In a work transfer robot that transfers a work with a degree of freedom, (1) the hand arm is rotatably supported in the horizontal plane by the tip arm, and (2) the hand is elastically held in a predetermined direction. The elastic member is disposed on the arm portion at the tip, and (3) at a predetermined position of the hand, means for restricting the rotation of the hand and changing the direction of the hand is provided.

【００１２】そして、前記ハンドの回転を規制する手段
は、(1) ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラ
と、(2) 回転アームの回転軸固定部に該ローラと同平面
内に固設したハンドの回転を規制する部品からなること
がのぞましい。The means for restricting the rotation of the hand are (1) a roller fixed rotatably at the bottom of the hand part, and (2) the same plane as the roller at the rotary shaft fixing part of the rotary arm. It is desirable that it consists of parts that regulate the rotation of the hand fixed to the.

【００１３】また、前記ハンドの回転を規制する手段
は、(1) ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラ
と、(2) ワーク受け渡し位置に該ローラと同平面内にハ
ンドの回転を規制する部品を固設したハンドの回転を規
制する部品からなるものでもよい。The means for restricting the rotation of the hand are (1) a roller fixed rotatably at the bottom of the hand section, and (2) a hand rotation in the same plane as the roller at the work transfer position. It may be composed of a component that regulates the rotation of the hand in which a component that regulates is fixed.

【００１４】また、ワークを保管するワーク保管庫にお
いて、(1) 上下に移動するアーム取付台を有し前後に移
動可能なスタッカクレーンと、(2) ワークを上下、前後
方向の垂直面内に複数個保管する保管棚を前記スタッカ
クレーンに対し前後の移動方向に対し平行に一つ以上配
設し、(3) 前記保管棚におけるワークに対し、直角方向
に二つ平行に並べられたワークを移載するワークの出入
口を有し、(4) 前記スタッカクレーンのアーム取付台に
前記ワーク搬送用ロボットを搭載した構成とするとよ
い。Further, in a work storage for storing works, (1) a stacker crane having an arm mount that moves up and down and movable back and forth, and (2) a work in a vertical plane in the up and down and front and back directions. One or more storage shelves for storing a plurality of storage shelves are arranged in parallel to the stacker crane in the front-back movement direction, and (3) two workpieces arranged in parallel at right angles to the workpieces in the storage shelves. It is preferable to have a doorway for a work to be transferred, and (4) the work transfer robot is mounted on an arm mount of the stacker crane.

【００１５】また、ワークを保管するワーク保管庫にお
いて、省スペース化のためには、(1) ワークを載置する
ハンドと、(2) 略同軸上に配置された２つの回転軸と、
(3) 前記各回転軸に固定され、それぞれの回転軸の半径
方向に突設し、左右対称状に配置される１対の回転アー
ムと、(4) 前記各回転アームに基端部が固着され、他の
端部が前記ハンドに固着され、およそ対称状に配置され
る弾性変形可能な部材を有する１対以上の弾性アームと
(5) 前記各回転軸をそれぞれ回転駆動する２つの駆動源
を有するワーク搬送用のロボットと、(6) 前記ロボット
を搭載したアーム取付台を上下に移動する機構を有し、
前後に移動可能なスタッカクレーンと、(7) 前記スタッ
カクレーンの前後の移動方向に対しワークを上下、前後
方向の垂直面内に複数個保管する一つ以上の保管棚を有
するワーク保管庫において、１対の回転アームが回動す
る範囲の内側にアーム取付台の上下移動機構を配置した
構成としたワーク保管庫とすることが好ましい。In the work storage for storing the work, in order to save space, (1) a hand on which the work is placed, and (2) two rotary shafts arranged substantially coaxially,
(3) A pair of rotating arms fixed to each of the rotating shafts, protruding in the radial direction of the rotating shafts, and arranged symmetrically with each other, (4) A base end portion is fixed to each of the rotating arms. And one or more pairs of elastic arms having elastically deformable members, the other ends of which are fixed to the hand and which are arranged approximately symmetrically.
(5) A work transfer robot having two drive sources for rotating and rotating the respective rotary shafts, and (6) a mechanism for vertically moving an arm mount on which the robot is mounted,
A stacker crane that can be moved back and forth, (7) work stacks having one or more storage shelves for storing a plurality of works in the vertical direction in the front-back direction with respect to the front-back movement direction of the stacker crane, It is preferable that the work storage has a structure in which the vertical movement mechanism of the arm mount is arranged inside the range in which the pair of rotary arms rotate.

【００１６】また、ワークを保管するワーク保管庫にお
いて、(1) ワークを載置するハンドと、(2) 略同軸上に
配置された２つの回転軸と、(3) 前記各回転軸に固定さ
れ、それぞれの回転軸の半径方向に突設し、左右対称状
に配置される１対の回転アームと、(4) 前記各回転アー
ムに基端部が固着され、他の端部が前記ハンドに固着さ
れ、およそ対称状に配置される弾性変形可能な部材を有
する１対以上の弾性アームと、(5) 前記各回転軸をそれ
ぞれ回転駆動する２つの駆動源と、(6) ハンドの所定の
位置において、ハンドの回転を規制しハンドの向きを変
える手段を設けたワーク搬送用のロボットと、(7) 前記
ロボットを搭載したアーム取付台を上下に移動する機構
を有し、前後に移動可能なスタッカクレーンと、(8) 前
記スタッカクレーンの前後の移動方向に対しワークを上
下、前後方向の垂直面内に複数個保管する一つ以上の保
管棚と、(9) 前記保管棚におけるワークに対し、直角方
向に二つ平行に並べられたワークを移載するワークの出
入口を有するワーク保管庫において、１対の回転アーム
が回動する範囲の内側にアーム取付台の上下移動機構を
配置したワーク保管庫とするとよい。Further, in a work storage for storing work, (1) a hand on which the work is placed, (2) two rotary shafts arranged substantially coaxially, and (3) fixed to each of the rotary shafts. And (4) a pair of rotary arms that are provided in a radial direction of the respective rotary shafts and are arranged symmetrically, and (4) the base end is fixed to each rotary arm, and the other end is the hand. One or more pairs of elastic arms having elastically deformable members fixed to each other and arranged approximately symmetrically, (5) two drive sources for rotationally driving the respective rotary shafts, and (6) a predetermined hand At the position of, the robot for transferring the work, which is provided with a means for restricting the rotation of the hand and changing the direction of the hand, and (7) has a mechanism for moving the arm mount equipped with the robot up and down, and moving it back and forth. Possible stacker cranes, (8) Front and rear of the stacker crane One or more storage shelves for storing a plurality of works vertically in the vertical direction in the moving direction, and (9) two works arranged in parallel at right angles to the works in the storage shelves. In the work storage having the entrance of the work to be transferred, it is preferable to arrange the vertical movement mechanism of the arm mount inside the range in which the pair of rotary arms rotate.

【００１７】また、前記ハンドの回転を規制する手段
は、(1) ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラ
と、(2) 回転アームの回転軸固定部に該ローラと同平面
内に固設したハンドの回転を規制する部品からなる構成
のワーク保管庫とするとよい。The means for restricting the rotation of the hand are: (1) a roller fixed to the lower part of the hand part so as to be freely rotatable, and (2) in the same plane as the roller on the rotary shaft fixing part of the rotary arm. It is preferable that the work storage is configured by a component that restricts rotation of the hand fixed to the.

【００１８】また、前記ハンドの回転を規制する手段
は、(1) ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラ
と、(2) ワーク受け渡し位置に該ローラと同平面内にハ
ンドの回転を規制する部品を固設したハンドの回転を規
制する部品からなる構成のワーク保管庫としてもよい。The means for restricting the rotation of the hand are (1) a roller fixed to the lower part of the hand part so as to be freely rotatable, and (2) a hand rotation in the same plane as the roller at the work transfer position. The work storage may be configured with a component that regulates the rotation of the hand that has a fixed component that regulates.

【００１９】[0019]

【作用】上記構成としたことにより、本発明のロボット
は、前後、上下に移動可能な所定の台に設置され、該台
より構成部材の運動によりハンドを移動させてワークを
搬送するワーク搬送用ロボット及び、該台に設置され、
該台より構成部材の直進運動と旋回運動の２自由度でワ
ークを搬送するワーク搬送用ロボットにおいて、構成を
変えずに、弾性的に姿勢を支持されたハンド部に回転自
由に固設されたローラをハンドの回転を規制する部品に
押し付けることにより強制的にハンドの姿勢を変化させ
ることが可能となる。With the above structure, the robot of the present invention is installed on a predetermined table which can be moved back and forth and up and down, and for moving the work by moving the hand by the movement of the constituent members from the table. Robot and installed on the platform,
In a work transfer robot that transfers a work from the table in two degrees of freedom, namely, a rectilinear motion and a swivel motion of a constituent member, the work unit is rotatably fixed to a hand portion whose posture is elastically supported without changing the configuration. It is possible to forcibly change the posture of the hand by pressing the roller against the component that restricts the rotation of the hand.

【００２０】このハンドの姿勢変形量は、回転アームの
回転角度と弾性体の変形量、またローラおよびハンド部
の回転を規制する部品の取り付け位置位置により、弾性
体の弾性変形内において任意に設定することができる。The posture deformation amount of the hand is arbitrarily set within the elastic deformation of the elastic body depending on the rotation angle of the rotary arm, the deformation amount of the elastic body, and the mounting positions of the parts that regulate the rotation of the roller and the hand portion. can do.

【００２１】また、ワーク保管庫に設置されたスタッカ
クレーンに搭載されるワーク搬送ロボットの１対の回転
アームが回動する範囲の内側にアーム取付台の上下移動
機構を配置した構成としたことにより、ワーク保管庫の
省スペース化が図られる。In addition, the vertical movement mechanism of the arm mount is arranged inside the range in which the pair of rotary arms of the work transfer robot mounted on the stacker crane installed in the work storage box rotates. The work storage space can be saved.

【００２２】[0022]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１、図２、図３
を参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
Will be described with reference to.

【００２３】図１は本発明の一実施例のワーク搬送用ロ
ボットの全体概略構成を示す斜視図、図２は図１のＡ−
Ａ断面詳細図、図３は図１のＢ−Ｂ断面詳細図を示す。FIG. 1 is a perspective view showing an overall schematic structure of a work transfer robot according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a line A- in FIG.
FIG. 3 is a detailed view of the A cross section, and FIG. 3 is a detailed view of the BB cross section of FIG.

【００２４】図１、図２、図３において、１はウェーハ
カセット、２はウェーハカセットを載置するフォーク形
ハンドと該ハンドを固着したハンドホルダを含むハンド
部、３は基端部を回転アーム６の外端部に固着されると
ともに、先端部をハンド部２に固着されているバネ材か
らなる帯状の左の弾性アーム、４は左の弾性アーム３と
同様に、基端部を回転アーム７の外端部に固着されると
ともに、先端部をハンド部２に固着されているバネ材か
らなる帯状の右の弾性アームで、左右の弾性アーム３、
４は、図１に示す座標のＺ軸方向の同レベルに左右ほぼ
対称に相対させられて配置されている。ここで、弾性ア
ーム３、４は、ステンレスやリン青銅等が使用される。In FIGS. 1, 2, and 3, 1 is a wafer cassette, 2 is a hand part including a fork-shaped hand for mounting the wafer cassette and a hand holder to which the hand is fixed, and 3 is a rotary arm having a base end. 6, a strip-shaped left elastic arm made of a spring material, which is fixed to the outer end portion of the reference numeral 6 and whose front end portion is fixed to the hand portion 2, has a base end portion, like the left elastic arm 3, whose base end portion is a rotating arm. The right and left elastic arms 3, which are belt-like elastic members made of a spring material and fixed to the outer end portion of the handpiece 7 and whose front end portions are fixed to the hand portion 2,
Reference numerals 4 are arranged substantially symmetrically at the same level in the Z-axis direction of the coordinates shown in FIG. Here, the elastic arms 3 and 4 are made of stainless steel, phosphor bronze, or the like.

【００２５】１４はアーム側上ギア８とモータ側上ギア
１０からなる上側回転伝動部８、１０を介して右側弾性
アーム３を回動させるモータ、１５はモータ１４と同様
に、アーム側下ギア９とモータ側下ギア１１からなる下
側回転伝動部９、１１を介して左側弾性アーム４を回動
させるモータで、両モータ１４、１５は構造部材２２上
に固設されたレール２１上をベルト２３とプーリ２４か
らなる昇降動作伝動部２３、２４により上下動する支持
板２０に固着されたブラケット１２、１３に固設されて
いる。前記アーム側ギア８はブラケット１２を介して支
持板２０に固設された円弧状の支持部材１６に回転自由
に固設されており、前記アーム側下ギア９はアーム側上
ギア８と同様に、ブラケット１３を介して支持板２０に
固設された円弧状の支持部材１７に回転自由に固設され
ている。Reference numeral 14 is a motor for rotating the right elastic arm 3 via upper rotation transmission parts 8, 10 consisting of an arm side upper gear 8 and a motor side upper gear 10, and 15 is a lower arm side gear, like the motor 14. 9 and a lower gear 11 on the motor side for rotating the left elastic arm 4 via lower rotation transmission parts 9 and 11, both motors 14 and 15 being mounted on a rail 21 fixed on a structural member 22. It is fixed to brackets 12 and 13 fixed to a support plate 20 that moves up and down by elevating motion transmission units 23 and 24 composed of a belt 23 and a pulley 24. The arm-side gear 8 is rotatably fixed to an arc-shaped support member 16 fixed to the support plate 20 via a bracket 12, and the arm-side lower gear 9 is the same as the arm-side upper gear 8. It is rotatably fixed to an arc-shaped support member 17 fixed to the support plate 20 via the bracket 13.

【００２６】２５はレール２１、構造部材２２、前記昇
降動作伝動部２３、２４を覆う円筒状のカバーであり、
昇降動作時の塵埃をワークに与えないように搬送するワ
ークと反対方向にのみ長手方向の隙間が設けられてお
り、該隙間を通して支持板２０はレール２１に固設され
ている。２６は床に設置された軌道２７ａ、２７ｂを走
行する台車である。Reference numeral 25 is a cylindrical cover that covers the rail 21, the structural member 22, and the lifting operation transmission portions 23 and 24.
A longitudinal gap is provided only in the direction opposite to the work to be conveyed so as not to give dust to the work during the lifting operation, and the support plate 20 is fixed to the rail 21 through the gap. Reference numeral 26 is a truck that travels on tracks 27a and 27b installed on the floor.

【００２７】３１ａは回転アーム６が回動しハンド部２
が図２において反時計回りに旋回するときハンド部２の
下部に回転自由に固設した右側ローラ３２ａと接触する
右側規制板、３１ｂは右側規制板３１ａと同様に、回転
アーム７が回動しハンド部２が図２において時計回りに
旋回するときハンド部２の下部に回転自由に固設した左
側ローラ３２ｂと接触する左側規制板で、右側規制板３
１ａと左側規制板３１ｂとも前記円弧状支持部材１７に
固設されたベース板３０上に固着されている。つまり、
規制板３１ａ、３１ｂとローラ３２ａ、３２ｂは図１の
Ｚ方向に同レベルで設置されている。The rotating arm 6 rotates at 31a so that the hand portion 2
2, when rotating counterclockwise in FIG. 2, the right-hand side regulation plate 31b comes into contact with the right-hand side roller 32a rotatably fixed to the lower part of the hand portion 2, and 31b is the same as the right-hand side regulation plate 31a. When the hand unit 2 turns clockwise in FIG. 2, a left side regulation plate that comes into contact with the left side roller 32b fixed to the lower portion of the hand unit 2 so as to rotate freely, and the right side regulation plate 3
Both 1a and the left side regulation plate 31b are fixed on a base plate 30 fixed to the arcuate support member 17. That is,
The regulation plates 31a and 31b and the rollers 32a and 32b are installed at the same level in the Z direction of FIG.

【００２８】次に、本発明のロボットの基本動作を図４
を参照して説明する。図中、図１、図２、図３と同符号
のものは同じものを示す。図４中の（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）は連続した動作を示す。Next, the basic operation of the robot of the present invention is shown in FIG.
Will be described with reference to. In the figure, the same symbols as those in FIGS. 1, 2 and 3 indicate the same components. (A), (b) in FIG.
(C) and (d) show continuous operation.

【００２９】前記のモータ１４、１５を駆動し、回転ア
ーム６、７を同期させて反対方向すなわち図４（ａ）中
のＲ１方向にそれぞれ回動すると、回転アーム６、７に
固着されている左右の弾性アーム３、４は、それぞれ基
端部を回転アーム６、７を半径として回動しながら全体
を円弧状に弾性変形させられ、同時にハンド部２はその
弾性変形量に応じて図４（ａ）中のＳ１方向に直線移動
させられて、図４（ａ）の点線で示した姿勢から実線で
示した姿勢になる。このハンド部２の直線移動量がワー
クハンドリングのストロークとなり、弾性アーム３、４
の長さ、回転アーム６、７の回転半径および回転アーム
の回動量によって決まる。そして、このストロークは、
回転アーム６、７が任意の角度に回動可能に構成されて
いるため、任意の位置に設定することが可能であり、移
動速度も任意に設定可能である。When the above-mentioned motors 14 and 15 are driven and the rotating arms 6 and 7 are synchronously rotated in opposite directions, that is, in the R1 direction in FIG. 4A, they are fixed to the rotating arms 6 and 7. The left and right elastic arms 3 and 4 are elastically deformed in a circular arc shape while rotating with the base ends of the rotating arms 6 and 7 as radii, and at the same time, the hand part 2 is deformed according to the elastic deformation amount. By being linearly moved in the S1 direction in (a), the posture shown by the dotted line in FIG. 4 (a) changes to the posture shown by the solid line. The linear movement amount of the hand portion 2 becomes the stroke of the workpiece handling, and the elastic arms 3, 4
Of the rotation arm 6, the radius of rotation of the rotating arms 6 and 7, and the amount of rotation of the rotating arm. And this stroke is
Since the rotary arms 6 and 7 are configured to be rotatable at arbitrary angles, they can be set at arbitrary positions, and the moving speed can also be arbitrarily set.

【００３０】図４（ａ）の状態において、回転アーム
６、７を回転軸の回りに同期させ同方向すなわち図４
（ａ）中のＲ２方向に回動するとハンド部２もＳ２方向
に回転する。すなわち、ハンド部２、弾性アーム３、４
および回転アーム６、７は、一体的に回動することによ
りワーク搬送用ロボットの旋回動作し、図４（ｂ）の姿
勢となる。In the state of FIG. 4 (a), the rotating arms 6 and 7 are synchronized around the rotating shaft in the same direction, that is, as shown in FIG.
When rotating in the R2 direction in (a), the hand unit 2 also rotates in the S2 direction. That is, the hand portion 2, the elastic arms 3, 4
By rotating the rotating arms 6 and 7 as a unit, the workpiece transfer robot is swung to the posture shown in FIG. 4B.

【００３１】図４（ｂ）の状態から回転アーム６、７を
同期させて反対方向すなわち図４（ｂ）中のＲ３方向に
回動し、左側ローラ３２ｂが右側規制板３１ａと接する
方向すなわち図４（ｂ）中のＳ３方向にハンド部が移動
するように、左右の弾性アーム３、４を最も伸長させ、
左右の弾性アーム３、４が弾性変形のない直線状態にす
ると図４（ｃ）の姿勢になる。From the state of FIG. 4B, the rotating arms 6 and 7 are synchronized and rotated in the opposite direction, that is, in the direction of R3 in FIG. 4B, and the left roller 32b is in contact with the right regulating plate 31a. The left and right elastic arms 3 and 4 are extended most so that the hand part moves in the S3 direction in 4 (b),
When the left and right elastic arms 3 and 4 are in a linear state without elastic deformation, the posture becomes as shown in FIG.

【００３２】図４（ｃ）の状態から左側ローラ３２ｂを
右側規制板３１ａに押し付ける方向すなわち図４（ｃ）
中のＲ４方向に回転アーム６、７を回転させ、弾性アー
ム３、４を強制的に弾性変形させると、弾性アーム３、
４がねじられ、ハンド部２は図４（ｃ）中のＳ４方向に
回転する。回転アーム６、７の回転を続け、ワーク置き
台５に置かれたワーク１とハンド部２の姿勢が同じ方向
になった図４（ｄ）の姿勢で回転アーム６、７の回転を
停止する。このハンド部２の姿勢は、回転アーム６、７
の各回転量、弾性アーム３、４の弾性変形量およびロー
ラ３４ｂと左側規制板３１ａの位置関係により決まる。
そして、このハンド部２の姿勢は、回転アーム６、７が
任意の角度に回動可能に構成されているため、弾性アー
ム３、４の弾性変形の範囲内で任意の姿勢に設定するこ
とが可能である。The direction in which the left roller 32b is pressed against the right regulating plate 31a from the state of FIG. 4 (c), that is, FIG. 4 (c)
When the rotating arms 6 and 7 are rotated in the R4 direction to force the elastic arms 3 and 4 to elastically deform, the elastic arms 3 and
4 is twisted, and the hand unit 2 rotates in the S4 direction in FIG. The rotation of the rotary arms 6 and 7 is continued, and the rotation of the rotary arms 6 and 7 is stopped in the posture of FIG. 4D in which the postures of the workpiece 1 and the hand unit 2 placed on the workpiece holder 5 are in the same direction. . The posture of the hand unit 2 is such that the rotating arms 6 and 7
And the amount of elastic deformation of the elastic arms 3 and 4, and the positional relationship between the roller 34b and the left side regulation plate 31a.
The posture of the hand portion 2 can be set to any posture within the range of elastic deformation of the elastic arms 3 and 4, because the rotating arms 6 and 7 are rotatable at arbitrary angles. It is possible.

【００３３】図４（ｄ）の状態から前記走行台車２６を
駆動しワーク方向すなわち図４（ｄ）中のＬ方向に走行
台車２６上を一体的に移動させることにより、ねじられ
た左右の弾性アーム３、４がその形を維持しながら移動
し、ハンド部はワーク方向すなわち図４（ｄ）中のＳ５
方向に移動しワークの受け渡しを行う。By driving the traveling carriage 26 from the state shown in FIG. 4 (d) to integrally move the traveling carriage 26 in the work direction, that is, in the L direction in FIG. 4 (d), the left and right elastic twists are twisted. The arms 3 and 4 move while maintaining their shapes, and the hand portion moves in the work direction, that is, S5 in FIG. 4 (d).
Move in the direction and transfer the work.

【００３４】また、以上の動作を逆に行うことにより、
図４（ａ）の姿勢に戻ることができる。By reversing the above operation,
It is possible to return to the posture of FIG.

【００３５】上記説明したように、弾性アーム３、４が
弾性変形のない最も伸長した状態にし、左側ローラ３２
ｂを右側規制板３１ａに押し付けるように回転アーム
６、７を同方向に回動することにより、旋回回転軸の半
径方向からずれた方向にもワークを搬送することが可能
になる。As described above, the elastic arms 3 and 4 are in the most extended state without elastic deformation, and the left roller 32 is
By rotating the rotating arms 6 and 7 in the same direction so as to press b on the right side regulation plate 31a, it becomes possible to convey the work even in a direction deviated from the radial direction of the turning rotary shaft.

【００３６】上記での図４における説明は、図中Ｓ５方
向に向かって右側のワークの搬送であり、左側ローラ３
２ｂが右側規制板３１ａに押し付けられることによる弾
性アーム３、４の強制的な変形動作による搬送を示し
た。これと同様に、右側ローラ３２ａが左側規制板３１
ｂに押し付けられるように、回転アーム６、７を回動す
ることにより、弾性アーム３、４を弾性変形すると図中
Ｓ５方向に向かって左側のワークの搬送も可能である。The above description in FIG. 4 is the conveyance of the work on the right side in the direction of S5 in the figure, and the left roller 3
The conveyance by the forced deformation operation of the elastic arms 3 and 4 due to the fact that 2b is pressed against the right side regulation plate 31a is shown. Similarly, the right side roller 32a is connected to the left side regulation plate 31.
When the elastic arms 3 and 4 are elastically deformed by rotating the rotary arms 6 and 7 so as to be pressed against b, the work on the left side in the direction of S5 in the drawing can be conveyed.

【００３７】図５に、左右の弾性アーム３、４が最も伸
長した図４（ｃ）の姿勢から図４（ｄ）の姿勢に強制的
に屈曲するまでの弾性アームの変形軌跡を計算機シミュ
レーションした結果を示す。弾性アームのモデルは、例
えば厚さ１mmのステンレス材のような薄いバネ材からな
る矩形板である。このシミュレーションにおいて図４
（ｃ）のように左側ローラ３２ｂが右側規制板３１ａに
より旋回動作の規制をされていることと同様の拘束をす
るため、ハンド部２の１点が、図中のＹ方向にのみ移動
しないように拘束して回転アーム６、７を同方向に回転
させた。この結果、ハンド部２の旋回を規制することに
より弾性アームが屈曲しハンド部２の姿勢が回転中心に
対する半径方向とずれた方向になることがわかる。この
計算の場合、弾性アームが弾性変形のない状態を初期状
態として回転アーム６、７を約２５度、同方向に回転さ
せることにより弾性アームを変形させ、ハンド部を初期
状態に対し約３０度傾けることができた。この左右の回
転アームの動作を各々設定することにより、ハンドの姿
勢変化に対する弾性アームの変形軌跡が任意に変更可能
である。FIG. 5 shows a computer simulation of the deformation loci of the elastic arms 3 and 4 from the posture of FIG. 4 (c) where the left and right elastic arms 3 and 4 are most extended to the posture of FIG. 4 (d) forcibly bent. The results are shown. The model of the elastic arm is a rectangular plate made of a thin spring material such as a stainless material having a thickness of 1 mm. In this simulation,
As shown in (c), the left roller 32b is constrained in the same manner as the right side restricting plate 31a restricts the turning motion, so that one point of the hand portion 2 does not move only in the Y direction in the figure. And the rotating arms 6 and 7 were rotated in the same direction. As a result, it can be seen that by restricting the turning of the hand portion 2, the elastic arm is bent and the posture of the hand portion 2 is displaced from the radial direction with respect to the center of rotation. In this calculation, the elastic arm is deformed by rotating the rotary arms 6 and 7 in the same direction by about 25 degrees with the elastic arm not elastically deformed as an initial state, and the hand part is rotated about 30 degrees from the initial state. I was able to tilt. By setting the operations of the left and right rotary arms, the deformation locus of the elastic arm with respect to the change in the posture of the hand can be arbitrarily changed.

【００３８】次に、図６にワーク置き台側に規制部品を
固設した第２の実施例を示す。図中、図１、図２、図
３、図４と同符号のものは同じものを示す。Next, FIG. 6 shows a second embodiment in which a restricting component is fixedly installed on the work stand side. In the figure, the same reference numerals as those in FIGS. 1, 2, 3, and 4 indicate the same components.

【００３９】第１の実施例と同様にハンド部２の下部に
回転自由にローラ３２ａ、３２ｂを固設している。４１
はワーク置き台５の下部に固設されたハンド回転規制部
品である。該ハンド回転規制部品４１は両側面がワーク
置き台５に置かれたワーク１の搬送方向と平行な側面で
あり、ロボット側の一部が傾斜した側面をもつ。第１の
実施例で説明した図４（ｃ）と同様の姿勢が図６（ａ）
の姿勢であり、その状態から左側ローラ３２ｂを回転規
制部品４１の側面に押し付ける方向すなわち図６（ａ）
中のＲ４方向に回転アーム６、７を回転させ、弾性アー
ム３、４を強制的に弾性変形させると、弾性アーム３、
４がねじられ、ハンド部２は図６（ａ）中のＳ４方向に
回転する。回転アーム６、７の回転を続け、ワーク置き
台５に置かれたワーク１とハンド部２の姿勢が同じ方向
になった図６（ｂ）の姿勢で回転アーム６、７の回転を
停止する。このハンド部２の姿勢は、回転アーム６、７
の各回転量、弾性アーム３、４の弾性変形量およびロー
ラ３２ｂと回転規制部品４１の位置関係により決まる。
そして、このハンド部２の姿勢は、回転アーム６、７が
任意の角度に回動可能に構成されているため、弾性アー
ム３、４の弾性変形の範囲内で任意の姿勢に設定するこ
とが可能である。図６（ｂ）の姿勢のとき、左側ローラ
３２ｂはハンド回転規制部品４１のワーク姿勢と平行な
側面と接しているようにする。図６（ｂ）の状態から前
記走行台車２６を駆動しワーク方向すなわち図６（ｂ）
中のＬ方向に走行台車２６上を一体的に移動させること
により、ねじられた左右の弾性アーム３、４がその形を
維持しながら移動し、ハンド部はワーク方向すなわち図
６（ｂ）中のＳ５方向に移動しワークの受け渡しを行
う。Rollers 32a and 32b are rotatably fixed to the lower portion of the hand portion 2 as in the first embodiment. 41
Is a hand rotation restricting component fixedly provided on the lower portion of the work table 5. Both sides of the hand rotation regulation component 41 are side faces parallel to the conveyance direction of the work 1 placed on the work rest 5, and a part of the robot side has an inclined side face. A posture similar to that of FIG. 4C described in the first embodiment is shown in FIG.
6A, the direction in which the left roller 32b is pressed against the side surface of the rotation restricting component 41 from that state, that is, FIG.
When the rotating arms 6 and 7 are rotated in the R4 direction to force the elastic arms 3 and 4 to elastically deform, the elastic arms 3 and
4 is twisted, and the hand unit 2 rotates in the S4 direction in FIG. The rotation of the rotating arms 6 and 7 is continued, and the rotation of the rotating arms 6 and 7 is stopped in the posture of FIG. 6B in which the postures of the work 1 and the hand unit 2 placed on the work stand 5 are in the same direction. . The posture of the hand unit 2 is such that the rotating arms 6 and 7
And the amount of elastic deformation of the elastic arms 3 and 4, and the positional relationship between the roller 32b and the rotation restricting component 41.
The posture of the hand portion 2 can be set to any posture within the range of elastic deformation of the elastic arms 3 and 4, because the rotating arms 6 and 7 are rotatable at arbitrary angles. It is possible. In the posture of FIG. 6B, the left roller 32b is in contact with the side surface of the hand rotation regulation component 41 parallel to the workpiece posture. The traveling carriage 26 is driven from the state shown in FIG. 6B, that is, the work direction, that is, FIG. 6B.
By integrally moving on the traveling carriage 26 in the inside L direction, the twisted left and right elastic arms 3 and 4 move while maintaining their shapes, and the hand portion moves in the work direction, that is, in FIG. 6B. It moves in the S5 direction to transfer the work.

【００４０】上記の説明は図中Ｓ５方向に向かって右側
のワークの搬送であり、左側ローラ３２ｂが回転規制部
品４１に押し付けられることによる弾性アーム３、４の
強制的な変形動作による搬送を示した。これと同様に、
右側ローラ３２ａが回転規制部品４１に押し付けられる
ように、回転アーム６、７を回動することにより、弾性
アーム３、４を弾性変形すると図中Ｓ５方向に向かって
左側のワークの搬送も可能である。The above description is the conveyance of the work on the right side in the direction of S5 in the figure, and shows the conveyance by the forced deformation operation of the elastic arms 3 and 4 when the left roller 32b is pressed against the rotation regulating component 41. It was Similarly to this,
When the elastic arms 3 and 4 are elastically deformed by rotating the rotary arms 6 and 7 so that the right side roller 32a is pressed against the rotation restricting component 41, the work on the left side in the direction of S5 in the figure can be conveyed. is there.

【００４１】該受け渡し位置と同じ列の上側または下側
の受け渡し位置のワーク姿勢が前記の姿勢と異なってい
ても搬送が可能である。The work can be conveyed even if the work position at the upper or lower transfer position in the same row as the transfer position is different from the above position.

【００４２】このように、ワーク受け渡し側にハンド回
転規制部品を固設し、ハンドの姿勢がワークの姿勢と合
うように弾性アームをねじることにより、それぞれの受
け渡し姿勢に応じた搬送が可能となる。As described above, the hand rotation restricting component is fixedly provided on the work transfer side, and the elastic arm is twisted so that the hand posture matches the work posture, whereby the transport according to each handing posture becomes possible. .

【００４３】次に、図７に円筒座標形ロボットのハンド
部を弾性的に支持した第３の実施例を示す。Next, FIG. 7 shows a third embodiment in which the hand portion of the cylindrical coordinate type robot is elastically supported.

【００４４】２８は前後、上下にベース板３０を移動す
ることができる昇降マストであり、該ベース板３０は、
昇降マストと反対側の先端部に規制板５１が固設されて
いる。また、ベース板３０に固設された回転軸を中心に
アーム４５を回転させるモータと伝動機構からなる旋回
駆動部４２と、該アームに沿ってハンド支持部４６をベ
ルト、プーリ、案内機構からなる直進伝動部４４を介し
て直進運動させる直進駆動部４３が前記ベース板３０に
固設されている。また、前記ハンド支持部には旋回中心
と反対側にハンド回転軸４７が旋回平面とほぼ直角に固
着されており、該ハンド回転軸４７を中心に回転可能に
ハンド部２が設置され、ハンド回転軸４７の両側には、
基端部をハンド支持部４６に固着され、また先端部をハ
ンド部２に固着された弾性支持部材４０ａ、４０ｂによ
りハンド部２の姿勢が弾性支持されている。そしてハン
ド部２の下部の旋回中心側で、弾性支持部材４０ａ、４
０ｂの外側の両側に右側ローラ３２ａと左側ローラ３２
ｂが固着されている。また、前記ローラ３２ａ、３２ｂ
は規制板５１と同平面内に固定されている。Reference numeral 28 denotes an elevating mast capable of moving the base plate 30 back and forth and up and down. The base plate 30 is
A regulation plate 51 is fixedly provided at the tip end opposite to the lifting mast. Further, a turning drive unit 42 including a motor and a transmission mechanism for rotating the arm 45 around a rotation shaft fixed to the base plate 30, and a hand support unit 46 along the arm including a belt, a pulley, and a guide mechanism. A straight-movement drive unit 43 that moves straight through a straight-movement transmission unit 44 is fixed to the base plate 30. Further, a hand rotation shaft 47 is fixed to the hand support portion on the side opposite to the turning center substantially at a right angle to the turning plane, and the hand portion 2 is installed rotatably around the hand rotation shaft 47 to rotate the hand. On both sides of the shaft 47,
The posture of the hand portion 2 is elastically supported by elastic support members 40a and 40b whose base end portion is fixed to the hand support portion 46 and whose tip end portion is fixed to the hand portion 2. The elastic support members 40a, 4a
0b on both sides of the right side roller 32a and the left side roller 32
b is fixed. Also, the rollers 32a, 32b
Is fixed in the same plane as the regulation plate 51.

【００４５】次に、本構成によるワーク搬送ロボットの
基本動作を図７（ａ）を参照して説明する。旋回駆動部
４２の駆動によりベース板３０に設置された旋回回転軸
を中心に図中θ方向にアーム４５は回動可能である。ま
た、直進駆動部４３を駆動することにより直進伝動部を
介してハンド部２はアーム４５に沿って前後方向すなわ
ち図中Ｒ方向に直進可能である。したがって、ベース板
３０に対するアーム４５の旋回運動とアーム４５に沿う
ハンド部２を含むハンド支持部４６を直進運動させるこ
とが可能である。Next, the basic operation of the work transfer robot according to this configuration will be described with reference to FIG. The arm 45 can be rotated in the θ direction in the figure about the rotation rotation axis installed on the base plate 30 by the drive of the rotation drive unit 42. Further, by driving the straight-movement driving unit 43, the hand unit 2 can move straight along the arm 45 in the front-rear direction, that is, the R direction in the figure, via the straight-movement transmission unit. Therefore, it is possible to perform the turning movement of the arm 45 with respect to the base plate 30 and the straight movement of the hand support portion 46 including the hand portion 2 along the arm 45.

【００４６】次に、ハンド姿勢を変化させる動作につい
て、図７（ｂ）、図７（ｃ）を参照して説明する。Next, the operation of changing the hand posture will be described with reference to FIGS. 7 (b) and 7 (c).

【００４７】旋回駆動部４２の駆動によりアーム４５を
ベース板３０に固定した回転軸に対し旋回運動させ、左
側ローラ３２ｂがベース板３０に固定された規制板５１
の右端に接触可能な位置までアーム４５を動かし、アー
ム４５とベース板３０の長手方向が角度をもった位置で
旋回を停止する。そして、ハンド支持部４６をアーム４
５に沿ってアーム先端方向に移動させ、左側ローラ３２
ｂと規制板５１が接触した状態が図７（ｂ）である。By driving the turning drive unit 42, the arm 45 is turned about a rotary shaft fixed to the base plate 30, and the left roller 32b is fixed to the base plate 30 by a restricting plate 51.
The arm 45 is moved to a position where it can come into contact with the right end of the base plate 30, and the turning is stopped at a position where the longitudinal direction of the arm 45 and the base plate 30 have an angle. Then, the hand support portion 46 is attached to the arm 4
5 toward the tip of the arm along the position of the left roller 32
FIG. 7B shows a state where b and the regulation plate 51 are in contact with each other.

【００４８】図７（ｂ）の状態からハンド支持部４６を
アーム４５の先端方向すなわち図中Ｒ１方向に移動させ
ることにより左側ローラ３２ｂが規制板５１に押し付け
られ左側弾性支持部材４０ｂが縮まり、また反対側の右
側弾性支持部材４０ａが伸長し、ハンド部２がハンド回
転軸４７を中心に図中の反時計回りすなわち図７（ｂ）
Ｓ１方向にハンド部２が回転し、図７（ｃ）の状態とな
る。By moving the hand support portion 46 from the state shown in FIG. 7B to the tip direction of the arm 45, that is, the R1 direction in the figure, the left roller 32b is pressed against the regulation plate 51, and the left elastic support member 40b contracts. The right elastic support member 40a on the opposite side extends, and the hand portion 2 rotates counterclockwise in the figure around the hand rotation shaft 47, that is, FIG. 7 (b).
The hand unit 2 rotates in the S1 direction, and the state shown in FIG.

【００４９】図７（ｃ）の状態において、ハンド部２が
左側ローラ３２ｂと規制板５１により姿勢変化した状態
を維持したまま、昇降マストに設置されたロボットを一
体的に、図中Ｌ２方向に移動させることにより、ハンド
部２が図中Ｓ２方向に移動し、Ｓ２方向のワークの搬送
が可能となる。In the state of FIG. 7C, the robot installed on the lifting mast is integrated in the direction of L2 in the figure while the hand portion 2 maintains the posture changed by the left roller 32b and the regulating plate 51. By moving, the hand unit 2 moves in the S2 direction in the figure, and the work can be conveyed in the S2 direction.

【００５０】また、上記での図７（ｂ）、（ｃ）による
説明では、図中Ｓ２方向に向かって右側のワークの搬送
であり、左側ローラ３２ｂが規制板５１の右端に押し付
けるようにハンド支持部４６を移動し、弾性支持部材４
０ａ、４０ｂを強制的に変形させてハンド部２の姿勢を
変化させての搬送である。これと同様に、右側ローラ３
２ａが規制板５１の左端に押し付けるようにハンド支持
部４６を移動し、弾性支持部材４０ａ、４０ｂを強制的
に変形させてハンド部２の姿勢を変化させての搬送も可
能である。Further, in the above description with reference to FIGS. 7B and 7C, the work on the right side in the direction of S2 in the drawing is conveyed, and the left roller 32b is pressed against the right end of the regulation plate 51 by the hand. The support portion 46 is moved to move the elastic support member 4
0a and 40b are forcibly deformed to change the posture of the hand unit 2 for conveyance. Similarly, the right roller 3
It is also possible to move the hand support portion 46 so that the 2a is pressed against the left end of the regulation plate 51, forcibly deform the elastic support members 40a and 40b, and change the posture of the hand portion 2 for conveyance.

【００５１】このように、前後、上下に移動可能な所定
の台に設置され、該台より構成部材の直進運動と旋回運
動の２自由度でワークを搬送するワーク搬送用ロボット
において、先端のアーム部にハンド部を水平面内に回動
可能に支持し、ハンド部を所定の向きに弾性的に姿勢を
保持する弾性部材を先端のアーム部に配設し、ハンドの
所定の位置において、ハンドの回転をハンド部の下部に
回転自由に固設されたローラと回転アームの回転軸固定
部に該ローラと同平面内に固設したハンドの回転を規制
する部品によりローコストでハンドの向きを変えること
ができる。As described above, in the work transfer robot which is installed on a predetermined table which can be moved back and forth and up and down, and which transfers a work from the table in two degrees of freedom, namely, a rectilinear motion and a swivel motion of the component, the tip arm is A rotatably supporting the hand portion in a horizontal plane, and an elastic member for elastically holding the hand portion in a predetermined direction is provided on the arm portion at the tip, and at a predetermined position of the hand, Rotating the rotation direction of the hand at low cost by means of a roller fixed to the lower part of the hand part, which is fixed to rotate freely, and a part fixed to the rotary shaft fixing part of the rotating arm in the same plane as the roller to restrict rotation of the hand. You can

【００５２】また、上記第３の実施例において受け渡し
側にハンド回転規制部品を固設したが、第１の実施例と
同様にロボット側の台板６０にハンド回転規制部品を設
けても同様に弾性アームを変形しハンドの姿勢を変化す
ることができる。Further, although the hand rotation restricting component is fixedly installed on the delivery side in the third embodiment, the hand rotation restricting component may be provided on the base plate 60 on the robot side similarly to the first embodiment. The posture of the hand can be changed by deforming the elastic arm.

【００５３】前記した各実施例における弾性アームのす
べてに、その表面に、例えばＳｉＯ等の表面処理を施
し、弾性アームの腐食を防止することにより寿命を高め
ることができる。The life of the elastic arms in each of the above-mentioned embodiments can be extended by subjecting the surfaces of the elastic arms to surface treatment such as SiO 2 to prevent corrosion of the elastic arms.

【００５４】次に、前記した本発明のワーク搬送用ロボ
ットをワークの保管庫に適用した例について、図８を参
照して説明する。Next, an example in which the above-described work transfer robot of the present invention is applied to a work storage will be described with reference to FIG.

【００５５】図８は２列の保管棚の間に本発明の前記図
１のロボットを設置しており、保管棚に対し直角方向に
ワークを２個並べて搬送する搬送装置の入出庫口が設置
されている保管庫の平面図である。図中、図１、図２、
図３、図４と同符号のものは同じものを示す。In FIG. 8, the robot of FIG. 1 of the present invention is installed between two rows of storage shelves, and a loading / unloading port of a transfer device for transferring two works arranged side by side at right angles to the storage shelves is installed. FIG. 3 is a plan view of the stored storage. In the figure,
The same symbols as those in FIGS. 3 and 4 indicate the same components.

【００５６】図８において、７０ａ、７０ｂ、はワーク
保管棚、７１は軌道７２を走行してワークの搬送を行う
搬送装置、２８は弾性アームのロボットを昇降動作させ
る昇降マストを示す。In FIG. 8, 70a and 70b are work storage shelves, 71 is a transfer device that travels on a track 72 to transfer the work, and 28 is an elevating mast for moving up and down an elastic arm robot.

【００５７】図８（ａ）は、保管棚７０ａ上からワーク
を受け取るロボットの姿勢を示している。すなわち、ロ
ボットの左右の弾性アームが弾性変形し図４（ａ）の状
態において回転アーム６、７の回転中心と搬送しようと
するワークの中心を合わせるように走行台車２６が移動
し、回転アームを回転させロボットが一体的に旋回動作
し、ワークの姿勢とハンドの方向を合わせて弾性アーム
３、４を最も伸長させた状態である。この動作により、
ワーク保管棚７０ａ、７０ｂ上のワークの搬送を行う。FIG. 8A shows the posture of the robot that receives the work from the storage rack 70a. That is, the left and right elastic arms of the robot are elastically deformed, and in the state of FIG. 4A, the traveling carriage 26 moves so that the rotation centers of the rotating arms 6 and 7 are aligned with the center of the work to be conveyed, and the rotating arms are moved. This is a state in which the robot is rotated to rotate integrally and the elastic arms 3 and 4 are most extended by matching the posture of the work and the direction of the hand. By this operation,
The work is carried on the work storage shelves 70a and 70b.

【００５８】図８（ｂ）は搬送装置７１の入出庫口への
ワークの受け渡しをするロボットの姿勢を示している。
すなわち、図４で説明したように、強制的に弾性アーム
３、４を屈曲させてワークの姿勢とハンドの方向を合わ
せたロボットの姿勢である。この図８（ａ）、（ｂ）の
動作により保管棚のワークを搬送装置上に受け渡すこと
ができる。また、逆の動作により、搬送装置上のワーク
を保管棚に受け渡し保管することもできる。FIG. 8B shows the posture of the robot for delivering the work to the loading / unloading port of the transfer device 71.
That is, as described with reference to FIG. 4, this is the posture of the robot in which the elastic arms 3 and 4 are forcibly bent and the posture of the work and the direction of the hand are aligned. By the operations of FIGS. 8A and 8B, the work on the storage rack can be delivered to the transport device. In addition, by performing the reverse operation, the work on the transfer device can be delivered and stored in the storage rack.

【００５９】このように、本発明のロボットをワーク保
管庫に使用したワーク搬送により、少ない自由度の機構
で、２列の保管棚と該保管棚と直角方向の２個置き搬送
装置に受け渡しが可能となる。As described above, by using the robot of the present invention as a work storage, the work can be transferred to the two rows of storage shelves and the two-row transfer device in the direction perpendicular to the storage shelves with a mechanism having a small degree of freedom. It will be possible.

【００６０】また、該ワーク保管庫において、回転アー
ム６、７の回転中心に昇降マスト２８を設けたことによ
り、保管棚間のロボットの通路幅が狭まり、省スペース
を図ることができる。Further, in the work storage, since the lifting mast 28 is provided at the center of rotation of the rotating arms 6 and 7, the passage width of the robot between the storage shelves can be narrowed and space can be saved.

【００６１】さらに、上記実施例において、ワークを水
平面（Ｘ−Ｙ平面）内で搬送する例について説明した
が、上記搬送ロボットを垂直面内で動作するように設置
し、旋回半径方向からずれた姿勢のワークを搬送するこ
とも可能である。Further, in the above embodiment, an example in which the work is conveyed in the horizontal plane (XY plane) has been described. However, the conveyance robot is installed so as to operate in the vertical plane and is displaced from the turning radius direction. It is also possible to convey a work piece in a posture.

【００６２】[0062]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、ワーク搬
送用ロボットを、２自由度でワークを搬送する構成を変
えずに、弾性的に姿勢を支持されたハンド部に回転自由
に固設されたローラをハンドの回転を規制する部品に押
し付けることにより、ローコストでハンドの姿勢を変化
させることが可能となった。As described above, according to the present invention, the work transfer robot is rotatably fixed to the hand portion whose position is elastically supported without changing the structure for transferring the work with two degrees of freedom. It is possible to change the posture of the hand at low cost by pressing the roller against the parts that regulate the rotation of the hand.

【００６３】このハンドの姿勢変形量は、回転アームの
回転角度と弾性体の変形量、またローラおよびハンド部
の回転を規制する部品の取り付け位置により、弾性体の
弾性変形内において任意に設定することができた。The posture deformation amount of the hand is arbitrarily set within the elastic deformation of the elastic body depending on the rotation angle of the rotary arm, the deformation amount of the elastic body, and the mounting positions of the parts that regulate the rotation of the roller and the hand portion. I was able to.

【００６４】さらに、ワーク保管庫に設置されたスタッ
カクレーンに搭載されるワーク搬送ロボットの１対の回
転アームが回動する範囲の内側にアーム取付台の上下移
動機構を配置した構成としたことにより、ワーク保管庫
の省スペース化が可能となった。Furthermore, the vertical movement mechanism of the arm mount is arranged inside the range in which the pair of rotating arms of the work transfer robot mounted on the stacker crane installed in the work storage box rotates. It has become possible to save space in the work storage.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第１の実施例のワーク搬送用のロボッ
トの全体概略構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the overall schematic configuration of a work transfer robot according to a first embodiment of the present invention.

【図２】図１のＡ−Ａ断面詳細図である。2 is a detailed cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図３】図１のＢ−Ｂ断面詳細図である。3 is a detailed cross-sectional view taken along the line BB of FIG.

【図４】本発明の第１の実施例の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory diagram of the first embodiment of the present invention.

【図５】弾性アームの変形軌跡を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a deformation trajectory of an elastic arm.

【図６】回転規制部品を受け渡し側に設けた第２の実施
例の動作説明図である。FIG. 6 is an operation explanatory view of the second embodiment in which the rotation restricting component is provided on the delivery side.

【図７】円筒座標形ロボットに弾性体を設けた第３の実
施例の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a third embodiment in which a cylindrical coordinate type robot is provided with an elastic body.

【図８】本発明のワーク保管庫への使用例でのワーク搬
送の説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of work transfer in an example of use of the work storage according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…ワーク（ウェーハカセット）、 ２…ハンド部、 ３、４…弾性アーム、 ５…ワーク置き台、 ６、７…回転アーム、 ２６…走行台車、 ２８…昇降マスト、 ３１ａ…右側規制板、 ３１ｂ…左側規制板、 ３２ａ、３２ｂ、４２…ローラ、 ４１…回転規制部品、 ５１…規制板、 ７０ａ、７０ｂ…ワーク保管棚、 ７１…搬送装置。 1 ... Work (wafer cassette), 2 ... Hand part, 3, 4 ... Elastic arm, 5 ... Work stand, 6, 7 ... Rotating arm, 26 ... Traveling carriage, 28 ... Lifting mast, 31a ... Right side regulation plate, 31b ... Left side regulation plate, 32a, 32b, 42 ... Roller, 41 ... Rotation regulation part, 51 ... Regulation plate, 70a, 70b ... Work storage shelf, 71 ... Conveyor device.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 高道 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 伊東 徹雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立画像情報システム内 (72)発明者 藤井 浩 兵庫県尼崎市下坂部三丁目11番１号日立機 電工業株式社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takamichi Suzuki, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa, Ltd., Institute of Industrial Science, Hitachi, Ltd. (72) Tetsuo Ito, 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Stock company Hitachi Image Information Systems (72) Inventor Hiroshi Fujii 3-11-11 Shimosakabe, Amagasaki City, Hyogo Prefecture Hitachi Kiden Kogyo Co., Ltd.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】前後、上下に移動可能な所定の台に設置さ
れ、該台より構成部材の運動によりハンドを移動させて
ワークを搬送するワーク搬送用ロボットにおいて、(1)
ワークを載置するハンドと、(2) 略同軸上に配置された
２つの回転軸と、(3) 前記各回転軸に固定され、それぞ
れの回転軸の半径方向に突設し、左右対称状に配置され
る１対の回転アームと、(4) 前記各回転アームに基端部
が固着され、他の端部が前記ハンドに固着され、およそ
対称状に配置される弾性変形可能な部材を有する１対以
上の弾性アームと、(5) 前記各回転軸をそれぞれ回転駆
動する２つの駆動源と、(6) ハンドの所定の位置におい
て、ハンドの回転を規制しハンドの向きを変える手段を
設けたことを特徴とするワーク搬送用ロボット。1. A work transfer robot which is installed on a predetermined table which can be moved back and forth and up and down, and which moves a hand by the movement of constituent members from the table to transfer a work.
A hand on which a work is placed, (2) two rotary shafts arranged substantially coaxially, and (3) fixed to each of the rotary shafts, protruding in the radial direction of each rotary shaft, and having a symmetrical shape. And a pair of rotating arms arranged in (4) a base end portion is fixed to each rotating arm, and the other end portion is fixed to the hand, and elastically deformable members arranged approximately symmetrically are provided. One or more pairs of elastic arms that have, (5) two drive sources that respectively rotate and drive the respective rotary shafts, and (6) a means for restricting rotation of the hand and changing the direction of the hand at a predetermined position of the hand. A work transfer robot characterized by being provided. 【請求項２】前後、上下に移動可能な所定の台に設置さ
れ、該台より構成部材の直進運動と旋回運動の２自由度
でワークを搬送するワーク搬送用ロボットにおいて、
(1) 先端のアーム部にハンド部を水平面内に回動可能に
支持し、(2) ハンド部を所定の向きに弾性的に姿勢を保
持する弾性部材を先端のアーム部に配設し、(3) ハンド
の所定の位置において、ハンドの回転を規制しハンドの
向きを変える手段を設けたことを特徴とするワーク搬送
用ロボット。2. A work transfer robot which is installed on a predetermined table which can be moved back and forth and up and down, and which transfers a work from the table with two degrees of freedom, namely, a rectilinear motion and a swivel motion of constituent members,
(1) The arm part at the tip is rotatably supported in the horizontal plane, and (2) the elastic member for elastically holding the hand part in a predetermined direction is disposed on the arm part at the tip, (3) A work transfer robot, which is provided with means for restricting rotation of the hand and changing the direction of the hand at a predetermined position of the hand. 【請求項３】前記ハンドの回転を規制する手段が、(1)
ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラと、(2)
回転アームの回転軸固定部に該ローラと同平面内に固設
したハンドの回転を規制する部品からなることを特徴と
する請求項１または２記載のワーク搬送用ロボット。3. A means for restricting rotation of the hand is (1)
A roller fixed to the lower part of the hand part so that it can rotate freely (2)
The work transfer robot according to claim 1 or 2, wherein the rotation arm fixing portion of the rotation arm comprises a component fixed to the same plane as the roller for restricting rotation of the hand. 【請求項４】前記ハンドの回転を規制する手段が、(1)
ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラと、(2)
ワーク受け渡し位置に該ローラと同平面内にハンドの回
転を規制する部品を固設したハンドの回転を規制する部
品からなることを特徴とする請求項１または２記載のワ
ーク搬送用ロボット。4. A means for restricting rotation of the hand is (1)
A roller fixed to the lower part of the hand part so that it can rotate freely (2)
The work transfer robot according to claim 1 or 2, wherein the work transfer robot comprises a part for restricting rotation of the hand, which is fixedly provided in the same plane as the roller at the work transfer position, for restricting rotation of the hand. 【請求項５】(1) 上下に移動するアーム取付台を有し前
後に移動可能なスタッカクレーンと、(2) ワークを上
下、前後方向の垂直面内に複数個保管する保管棚を前記
スタッカクレーンに対し前後の移動方向に対し平行に一
つ以上配設し、(3) 前記保管棚におけるワークに対し、
直角方向に二つ平行に並べられたワークを移載するワー
クの出入口を有し、(4) 前記スタッカクレーンのアーム
取付台に請求項１、２、３、または４記載のワーク搬送
用ロボットを搭載したことを特徴とするワーク保管庫。5. A stacker crane that has (1) an arm mount that moves up and down and can move back and forth, and (2) a storage rack that stores a plurality of workpieces in vertical planes in the vertical and longitudinal directions. One or more are arranged parallel to the front-back movement direction with respect to the crane, (3) with respect to the work in the storage rack,
A workpiece transfer robot according to any one of claims 1, 2, 3 or 4 has a workpiece inlet / outlet for transferring two workpieces arranged in parallel in a right angle direction, and (4) the arm mount of the stacker crane. Work storage that is equipped with. 【請求項６】(1) ワークを載置するハンドと、(2) 略同
軸上に配置された２つの回転軸と、(3) 前記各回転軸に
固定され、それぞれの回転軸の半径方向に突設し、左右
対称状に配置される１対の回転アームと、(4) 前記各回
転アームに基端部が固着され、他の端部が前記ハンドに
固着され、およそ対称状に配置される弾性変形可能な部
材を有する１対以上の弾性アームと、(5) 前記各回転軸
をそれぞれ回転駆動する２つの駆動源を有するワーク搬
送用のロボットと、(6) 前記ロボツトを搭載したアーム
取付台を上下に移動する機構を有し、前後に移動可能な
スタッカクレーンと、(7) 前記スタッカクレーンの前後
の移動方向に対しワークを上下、前後方向の垂直面内に
複数個保管する一つ以上の保管棚を有するワーク保管庫
において、１対の回転アームが回動する範囲の内側にア
ーム取付台の上下移動機構を配置したことを特徴とする
ワーク保管庫。6. (1) A hand on which a work is placed, (2) two rotary shafts arranged substantially coaxially, (3) fixed to each rotary shaft, and a radial direction of each rotary shaft. A pair of rotating arms protruding from each other and arranged symmetrically, and (4) a base end portion is fixed to each rotating arm, and the other end portion is fixed to the hand, and arranged substantially symmetrically. One or more pairs of elastic arms having elastically deformable members, (5) a work transfer robot having two drive sources that rotationally drive each of the rotary shafts, and (6) the robot is mounted. A stacker crane that has a mechanism for moving the arm mount up and down and is movable back and forth, and (7) stores a plurality of workpieces vertically and vertically in the front-back direction of the stacker crane. In work storage with one or more storage shelves, a pair of rotating arms A work storage characterized in that an up-and-down moving mechanism of an arm mount is arranged inside a range in which the arm rotates. 【請求項７】(1) ワークを載置するハンドと、(2) 略同
軸上に配置された２つの回転軸と、(3) 前記各回転軸に
固定され、それぞれの回転軸の半径方向に突設し、左右
対称状に配置される１対の回転アームと、(4) 前記各回
転アームに基端部が固着され、他の端部が前記ハンドに
固着され、およそ対称状に配置される弾性変形可能な部
材を有する１対以上の弾性アームと、(5) 前記各回転軸
をそれぞれ回転駆動する２つの駆動源と、(6) ハンドの
所定の位置において、ハンドの回転を規制しハンドの向
きを変える手段を設けたワーク搬送用のロボットと、
(7) 前記ロボットを搭載したアーム取付台を上下に移動
する機構を有し、前後に移動可能なスタッカクレーン
と、(8) 前記スタッカクレーンの前後の移動方向に対し
ワークを上下、前後方向の垂直面内に複数個保管する一
つ以上の保管棚と、(9) 前記保管棚におけるワークに対
し、直角方向に二つ平行に並べられたワークを移載する
ワークの出入口を有するワーク保管庫において、１対の
回転アームが回動する範囲の内側にアーム取付台の上下
移動機構を配置したことを特徴とするワーク保管庫。7. (1) A hand on which a work is placed, (2) two rotary shafts arranged substantially coaxially, (3) fixed to each rotary shaft, and a radial direction of each rotary shaft. A pair of rotating arms protruding from each other and arranged symmetrically, and (4) a base end portion is fixed to each rotating arm, and the other end portion is fixed to the hand, and arranged substantially symmetrically. One or more pairs of elastic arms having elastically deformable members, (5) two drive sources for rotating and driving the respective rotary shafts, and (6) restricting rotation of the hand at a predetermined position of the hand. A robot for transporting workpieces that has means for changing the direction of the hand,
(7) A stacker crane that has a mechanism for moving the arm mount equipped with the robot up and down and is movable back and forth, and (8) a workpiece can be moved up and down in the forward and backward directions of the stacker crane. One or more storage shelves for storing a plurality of pieces in a vertical plane, and (9) a work storage having a work entrance / exit for transferring two works arranged in parallel at right angles to the works on the storage shelves. 2. A work storage, wherein an up-and-down moving mechanism of an arm mount is arranged inside a range in which a pair of rotating arms rotate. 【請求項８】前記ハンドの回転を規制する手段は、(1)
ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラと、(2)
回転アームの回転軸固定部に該ローラと同平面内に固設
したハンドの回転を規制する部品。からなることを特徴
とする請求項７記載のワーク保管庫。8. The means for restricting the rotation of the hand is (1)
A roller fixed to the lower part of the hand part so that it can rotate freely (2)
A part that is fixed to the rotary shaft fixing portion of the rotary arm in the same plane as the roller and restricts the rotation of the hand. The work storage according to claim 7, characterized in that 【請求項９】前記ハンドの回転を規制する手段は、(1)
ハンド部の下部に回転自由に固設されたローラと、(2)
ワーク受け渡し位置に該ローラと同平面内にハンドの回
転を規制する部品を固設したハンドの回転を規制する部
品。からなることを特徴とする請求項７記載のワーク保
管庫。9. A means for restricting rotation of the hand is (1)
A roller fixed to the lower part of the hand part so that it can rotate freely (2)
A part for restricting the rotation of the hand, in which a part for restricting the rotation of the hand is fixed in the same plane as the roller at the work transfer position. The work storage according to claim 7, characterized in that