JPH0822886A - 均熱ヒーター - Google Patents
均熱ヒーターInfo
- Publication number
- JPH0822886A JPH0822886A JP17964294A JP17964294A JPH0822886A JP H0822886 A JPH0822886 A JP H0822886A JP 17964294 A JP17964294 A JP 17964294A JP 17964294 A JP17964294 A JP 17964294A JP H0822886 A JPH0822886 A JP H0822886A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metallic plates
- heater
- heating
- metal
- heat
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、加熱面の温度分布が均一なヒータ
ーを提供することを目的とするものである。 【構成】 熱伝導のよい金属板Ａとこれよりは熱伝導の
よくない金属板Ｂを複数交互に積層して形成した金属積
層板の片面に、シーズヒーター２を取り付けたものであ
る。
ーを提供することを目的とするものである。 【構成】 熱伝導のよい金属板Ａとこれよりは熱伝導の
よくない金属板Ｂを複数交互に積層して形成した金属積
層板の片面に、シーズヒーター２を取り付けたものであ
る。
Description
【産業上の利用分野】本発明は被加工材料を均一に加熱
することが出来るなど、加熱面の温度分布が均一な均熱
ヒーターに関するものである。
することが出来るなど、加熱面の温度分布が均一な均熱
ヒーターに関するものである。
【従来の技術】従来、種々のヒーターが開発されている
が、被加工材料を均一に加熱することが出来るなど、加
熱面の温度分布が均一なヒーターはなかつた。
が、被加工材料を均一に加熱することが出来るなど、加
熱面の温度分布が均一なヒーターはなかつた。
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来の課題を
解決し、被加工材料を均一に加熱することが出来るなど
加熱面の温度分布が均一なヒーターを開発するものであ
る。
解決し、被加工材料を均一に加熱することが出来るなど
加熱面の温度分布が均一なヒーターを開発するものであ
る。
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
の本発明における技術的手段は次の通りである。材料を
加熱する加熱面の温度分布が均一になるように、熱伝導
のよい金属板とこれよりも熱伝導のよくない金属板を複
数交互に積層して形成した金属積層板の片面にシーズヒ
ーターを取り付けたことを特徴とする均熱ヒーターとす
るものである。更に、より一層の温度分布の均一化を計
るために、複数のシーズヒーターを金属積層板の片面に
並列等間隔に取り付け、金属積層板の要所に複数の温度
センサーを設け、複数の温度センサーの温度測定値に合
わせて、複数のシーズヒーターを個別に制御することを
特徴とする均熱ヒーターとするものである。
の本発明における技術的手段は次の通りである。材料を
加熱する加熱面の温度分布が均一になるように、熱伝導
のよい金属板とこれよりも熱伝導のよくない金属板を複
数交互に積層して形成した金属積層板の片面にシーズヒ
ーターを取り付けたことを特徴とする均熱ヒーターとす
るものである。更に、より一層の温度分布の均一化を計
るために、複数のシーズヒーターを金属積層板の片面に
並列等間隔に取り付け、金属積層板の要所に複数の温度
センサーを設け、複数の温度センサーの温度測定値に合
わせて、複数のシーズヒーターを個別に制御することを
特徴とする均熱ヒーターとするものである。
【作用】本発明は前記のように、熱伝導のよい金属板と
熱伝導の比較的よくない金属板を複数交互に積層して形
成した金属積層板の片面にシーズヒーターを取り付けた
ことを特徴とした構成により、シーズヒーターの熱は金
属積層板を伝わる間に分散するので、材料を加熱する加
熱面の温度分布が均一になる。又、複数のシーズヒータ
ーを金属積層板の片面に並列等間隔に取り付け、金属積
層板の要所に複数の温度センサーを設け、この温度セン
サーの温度測定値に合わせて、複数のシーズヒーターを
個別に制御することを特徴とした構成により、更に一層
精度のよく温度分布の均一化を計ることができる。
熱伝導の比較的よくない金属板を複数交互に積層して形
成した金属積層板の片面にシーズヒーターを取り付けた
ことを特徴とした構成により、シーズヒーターの熱は金
属積層板を伝わる間に分散するので、材料を加熱する加
熱面の温度分布が均一になる。又、複数のシーズヒータ
ーを金属積層板の片面に並列等間隔に取り付け、金属積
層板の要所に複数の温度センサーを設け、この温度セン
サーの温度測定値に合わせて、複数のシーズヒーターを
個別に制御することを特徴とした構成により、更に一層
精度のよく温度分布の均一化を計ることができる。
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１をもと
に説明する。図において、被加工材料を均一に加熱する
円盤状の加熱プレート１は、熱伝導のよい金属板Ａ（例
えば銅合金）と、これよりは熱伝導のよくない金属板Ｂ
（例えばステンレス鋼）を複数交互に積層して形成した
金属積層板の片面に渦巻状のシーズヒーター２を図のよ
うに金属蝋付け、又は圧着などして取り付けたものであ
る。従って、シーズヒーター２の熱はこの金属積層板を
伝わる間に分散して、シーズヒーター２の反対面の材料
を加熱する加熱面３の表面温度は均一化される。この加
熱面３に被加工材料を乗せて、加熱すると被加工材料は
全て均一に加熱加工されて、加工製品のバラツキがなく
なり、品質が向上するものである。この実施例における
金属積層板の具体例としては、金属板Ａとして３ｍｍの
厚さの銅合金板を２枚、金属板Ｂとして両側を１ｍｍ、
中央を０．５ｍｍの厚さのステンレス鋼板を３枚用いて
５層構成とした。また金属積層板の径は１００ｍｍ程度
である。さらにシーズヒーター２は１ＫＷ（１００Ｖ）
である。なお、これらは具体例の一つであり、金属層の
構成、厚み、径およびシーズヒーターのワットなどは必
要に応じて適宜設定することができる。次に、図２は他
の実施例を示したものであり、複数の棒状のシーズヒー
ター２ａ〜２ｃを長方形の金属積層板の片面に並列等間
隔に金属蝋付けなどし、金属積層板の要所に複数の温度
センサー４ａ〜４ｃを埋め込み等により設け、複数の温
度センサー４ａ〜４ｃの温度変化に合わせて、複数のシ
ーズヒーター２ａ〜２ｃを個別に図３に示す回路構成の
コントローラー５により制御するようになっている。金
属積層板は図１と同様、熱伝導のよい金属板Ａとこれよ
りは熱伝導のよくない金属板Ｂを複数交互に積層して形
成している。この実施例においては、要所（金属積層板
の全面に均等に配置）に設けた複数の温度センサー４ａ
〜４ｃの温度測定値に合わせて、各々の温度センサーの
近くの各々のシーズヒーターをコントローラー５により
制御することにより、より一層精度のよい均一加熱が可
能になる。例えば、温度センサー４ａの温度が他の温度
センサー４ｂ、４ｃより低い温度であれば、温度センサ
ー４ａの近傍のシーズヒーター２ａの電流値をコントロ
ーラー５の自動制御により増加させて温度を上げるよう
に、きめ細かい温度制御をして、加熱面３の表面温度分
布をより一層均一化するものである。
に説明する。図において、被加工材料を均一に加熱する
円盤状の加熱プレート１は、熱伝導のよい金属板Ａ（例
えば銅合金）と、これよりは熱伝導のよくない金属板Ｂ
（例えばステンレス鋼）を複数交互に積層して形成した
金属積層板の片面に渦巻状のシーズヒーター２を図のよ
うに金属蝋付け、又は圧着などして取り付けたものであ
る。従って、シーズヒーター２の熱はこの金属積層板を
伝わる間に分散して、シーズヒーター２の反対面の材料
を加熱する加熱面３の表面温度は均一化される。この加
熱面３に被加工材料を乗せて、加熱すると被加工材料は
全て均一に加熱加工されて、加工製品のバラツキがなく
なり、品質が向上するものである。この実施例における
金属積層板の具体例としては、金属板Ａとして３ｍｍの
厚さの銅合金板を２枚、金属板Ｂとして両側を１ｍｍ、
中央を０．５ｍｍの厚さのステンレス鋼板を３枚用いて
５層構成とした。また金属積層板の径は１００ｍｍ程度
である。さらにシーズヒーター２は１ＫＷ（１００Ｖ）
である。なお、これらは具体例の一つであり、金属層の
構成、厚み、径およびシーズヒーターのワットなどは必
要に応じて適宜設定することができる。次に、図２は他
の実施例を示したものであり、複数の棒状のシーズヒー
ター２ａ〜２ｃを長方形の金属積層板の片面に並列等間
隔に金属蝋付けなどし、金属積層板の要所に複数の温度
センサー４ａ〜４ｃを埋め込み等により設け、複数の温
度センサー４ａ〜４ｃの温度変化に合わせて、複数のシ
ーズヒーター２ａ〜２ｃを個別に図３に示す回路構成の
コントローラー５により制御するようになっている。金
属積層板は図１と同様、熱伝導のよい金属板Ａとこれよ
りは熱伝導のよくない金属板Ｂを複数交互に積層して形
成している。この実施例においては、要所（金属積層板
の全面に均等に配置）に設けた複数の温度センサー４ａ
〜４ｃの温度測定値に合わせて、各々の温度センサーの
近くの各々のシーズヒーターをコントローラー５により
制御することにより、より一層精度のよい均一加熱が可
能になる。例えば、温度センサー４ａの温度が他の温度
センサー４ｂ、４ｃより低い温度であれば、温度センサ
ー４ａの近傍のシーズヒーター２ａの電流値をコントロ
ーラー５の自動制御により増加させて温度を上げるよう
に、きめ細かい温度制御をして、加熱面３の表面温度分
布をより一層均一化するものである。
【発明の効果】本発明は以上のように、シーズヒーター
の熱は熱伝導のよい金属板とこれよりは熱伝導のよくな
い金属板を複数交互に積層して形成した金属積層板を伝
わる間に分散するので、材料を加熱する加熱面の温度分
布が均一になる。従って、被加工材料を同時に均一に加
熱出来るので、加工製品のバラツキがなくなり、品質が
向上する。又、複数のシーズヒーターを金属積層板の片
面に並列等間隔に取り付け、金属積層板の要所に複数の
温度センサーを設け、複数の温度センサーの温度測定値
に合わせて、複数のシーズヒーターを個別に制御するこ
とを特徴とした構成により、更に一層精度のよく加熱面
の温度分布の均一化を計ることができる。従って、精度
のよい均一加熱を必要とする半導体材料の加熱加工や、
測定用温度センサーの検査工程など産業用に広く活用で
きる均熱ヒーターが提供できる。
の熱は熱伝導のよい金属板とこれよりは熱伝導のよくな
い金属板を複数交互に積層して形成した金属積層板を伝
わる間に分散するので、材料を加熱する加熱面の温度分
布が均一になる。従って、被加工材料を同時に均一に加
熱出来るので、加工製品のバラツキがなくなり、品質が
向上する。又、複数のシーズヒーターを金属積層板の片
面に並列等間隔に取り付け、金属積層板の要所に複数の
温度センサーを設け、複数の温度センサーの温度測定値
に合わせて、複数のシーズヒーターを個別に制御するこ
とを特徴とした構成により、更に一層精度のよく加熱面
の温度分布の均一化を計ることができる。従って、精度
のよい均一加熱を必要とする半導体材料の加熱加工や、
測定用温度センサーの検査工程など産業用に広く活用で
きる均熱ヒーターが提供できる。
【図１】本発明における一実施例の均熱ヒーターの一部
断面斜視図である。
断面斜視図である。
【図２】本発明における他の実施例の均熱ヒーターの一
部断面斜視図である。
部断面斜視図である。
【図３】図２の実施例における電気回路図である。
１ 加熱プレート ２、２ａ〜２ｃ シーズヒーター ３ 加熱面 ４、４ａ〜４ｃ 温度センサー ５ コントローラー
Claims (2)
- 【請求項１】 熱伝導のよい金属板とこれよりも熱伝導
のよくない金属板を複数交互に積層して形成した金属積
層板の片面にシーズヒーターを取り付けたことを特徴と
する均熱ヒーター。 - 【請求項２】 シーズヒーターは金属積層板の片面に並
列等間隔に複数個取り付け、金属積層板の要所には複数
の温度センサーを設け、複数の温度センサーの温度測定
値に合わせて、複数のシーズヒーターを個別に制御する
ことを特徴とする請求項１記載の均熱ヒーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17964294A JPH0822886A (ja) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | 均熱ヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17964294A JPH0822886A (ja) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | 均熱ヒーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0822886A true JPH0822886A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=16069344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17964294A Pending JPH0822886A (ja) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | 均熱ヒーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0822886A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030063599A (ko) * | 2002-01-23 | 2003-07-31 | 윤영일 | 가열장치 |
| KR100700953B1 (ko) * | 2000-02-01 | 2007-03-28 | 가부시키가이샤 알박 | 패널 가열기 |
| JP2015046536A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | 株式会社ブリヂストン | サセプタ |
| CN108360112A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-08-03 | 吴江市兴业纺织有限公司 | 一种弹性丝线的烫直装置 |
| US10287685B2 (en) | 2013-08-29 | 2019-05-14 | Maruwa Co., Ltd. | Susceptor |
-
1994
- 1994-07-06 JP JP17964294A patent/JPH0822886A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100700953B1 (ko) * | 2000-02-01 | 2007-03-28 | 가부시키가이샤 알박 | 패널 가열기 |
| KR20030063599A (ko) * | 2002-01-23 | 2003-07-31 | 윤영일 | 가열장치 |
| JP2015046536A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | 株式会社ブリヂストン | サセプタ |
| US10287685B2 (en) | 2013-08-29 | 2019-05-14 | Maruwa Co., Ltd. | Susceptor |
| CN108360112A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-08-03 | 吴江市兴业纺织有限公司 | 一种弹性丝线的烫直装置 |
| CN108442008A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-08-24 | 吴江市兴业纺织有限公司 | 一种弹性丝线烫直机构的烫板组件 |
| CN108360112B (zh) * | 2017-09-30 | 2023-09-29 | 吴江市兴业纺织有限公司 | 一种弹性丝线的烫直装置 |
| CN108442008B (zh) * | 2017-09-30 | 2023-09-29 | 吴江市兴业纺织有限公司 | 一种弹性丝线烫直机构的烫板组件 |
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