JPH08228494A - 超音波振動子および超音波モータ - Google Patents
超音波振動子および超音波モータInfo
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- JPH08228494A JPH08228494A JP7033732A JP3373295A JPH08228494A JP H08228494 A JPH08228494 A JP H08228494A JP 7033732 A JP7033732 A JP 7033732A JP 3373295 A JP3373295 A JP 3373295A JP H08228494 A JPH08228494 A JP H08228494A
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】振動子全体として効率のよい振動を励起させ、
超音波モータの推力や速さが十分得られるような超音波
振動子を提供する。 【構成】少なくとも2つの積層型圧電素子12A,12
Bと、積層型圧電素子12A,12Bを固着した弾性体
11とを有し、積層型圧電素子12A,12Bに互いに
位相の異なる交番電圧を印加することにより超音波楕円
振動を励起する超音波振動子10において、積層型圧電
素子12A,12Bは保護膜なしに弾性体11と密着し
て固着した。
超音波モータの推力や速さが十分得られるような超音波
振動子を提供する。 【構成】少なくとも2つの積層型圧電素子12A,12
Bと、積層型圧電素子12A,12Bを固着した弾性体
11とを有し、積層型圧電素子12A,12Bに互いに
位相の異なる交番電圧を印加することにより超音波楕円
振動を励起する超音波振動子10において、積層型圧電
素子12A,12Bは保護膜なしに弾性体11と密着し
て固着した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動子とそれを
用いた超音波モータに関する。
用いた超音波モータに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電磁型モータに代わる新しいモー
タとして超音波モータが注目されている。この超音波モ
ータは、従来の電磁型モータに比べ以下のような利点を
有している。 (1)ギヤなしで低速高推力が得られる。 (2)保持力が大きい。 (3)ストロークが長く高分解能である。 (4)静粛性にとんでいる。 (5)磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も
うけない。
タとして超音波モータが注目されている。この超音波モ
ータは、従来の電磁型モータに比べ以下のような利点を
有している。 (1)ギヤなしで低速高推力が得られる。 (2)保持力が大きい。 (3)ストロークが長く高分解能である。 (4)静粛性にとんでいる。 (5)磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も
うけない。
【0003】従来、超音波振動子とそれを用いた超音波
モータについては、本出願人により出願された特開平6
−105571号公報所載の技術が開示されている。図
15はこの従来技術の超音波モータの要部をなす電気−
機械エネルギー変換素子たる超音波振動子の斜視図であ
る。この超音波振動子110は、基本弾性体111の上
面に3つの保持用弾性体112を固定し、それぞれの保
持用弾性体112の間に積層型圧電素子113A,11
3Bを挟持固定したものである。
モータについては、本出願人により出願された特開平6
−105571号公報所載の技術が開示されている。図
15はこの従来技術の超音波モータの要部をなす電気−
機械エネルギー変換素子たる超音波振動子の斜視図であ
る。この超音波振動子110は、基本弾性体111の上
面に3つの保持用弾性体112を固定し、それぞれの保
持用弾性体112の間に積層型圧電素子113A,11
3Bを挟持固定したものである。
【0004】基本弾性体111は、黄銅材料を直方体形
状に加工したもので、上面の両端と中央部の3個所に保
持用弾性体112をエポキシ系接着剤で固定した上、さ
らにネジ114止めしている。そして、各々の保持用弾
性体112の間に積層型圧電素子113A,113Bを
つき当てて保持している。即ち、積層型圧電素子113
A,113Bは基本弾性体111と接触しないように保
持用弾性体112に接着固定されている。また、積層型
圧電素子113A,113Bの側面部は樹脂被覆がなさ
れている。ここで、図15の左側の積層型圧電素子11
3Aへの電極をA、GとしA相と呼ぶことにする。同様
に右側の積層型圧電素子113Bへの電極をB、Gとし
B相と呼ぶことにする。
状に加工したもので、上面の両端と中央部の3個所に保
持用弾性体112をエポキシ系接着剤で固定した上、さ
らにネジ114止めしている。そして、各々の保持用弾
性体112の間に積層型圧電素子113A,113Bを
つき当てて保持している。即ち、積層型圧電素子113
A,113Bは基本弾性体111と接触しないように保
持用弾性体112に接着固定されている。また、積層型
圧電素子113A,113Bの側面部は樹脂被覆がなさ
れている。ここで、図15の左側の積層型圧電素子11
3Aへの電極をA、GとしA相と呼ぶことにする。同様
に右側の積層型圧電素子113Bへの電極をB、Gとし
B相と呼ぶことにする。
【0005】基本弾性体111の底面両端部には、摺動
部材115が接着されている。この摺動部材115はポ
リイミドに充填剤としてカーボンファイバー(20重量
%)とマイカ(30重量%)とを混入したもので、厚さ
約0.1mmのものである。
部材115が接着されている。この摺動部材115はポ
リイミドに充填剤としてカーボンファイバー(20重量
%)とマイカ(30重量%)とを混入したもので、厚さ
約0.1mmのものである。
【0006】次に、超音波振動子の動作について説明す
る。まず、A相及びB相に30Vの直流電圧を印加して
積層型圧電素子113A,113Bに圧縮予圧を加えた
上、A相及びB相に周波数53.5kHz振幅10Vp
−pの交番電圧を印加する。ここで、A相とB相の位相
を同位相にすると、1次の共振縦振動が励起される。つ
ぎに、A相とB相の位相を逆位相にすると、2次の共振
屈曲振動が励起される。つぎに、A相とB相の位相を9
0度ずらすと、摺動部材115付近に超音波楕円振動を
励起することができる。
る。まず、A相及びB相に30Vの直流電圧を印加して
積層型圧電素子113A,113Bに圧縮予圧を加えた
上、A相及びB相に周波数53.5kHz振幅10Vp
−pの交番電圧を印加する。ここで、A相とB相の位相
を同位相にすると、1次の共振縦振動が励起される。つ
ぎに、A相とB相の位相を逆位相にすると、2次の共振
屈曲振動が励起される。つぎに、A相とB相の位相を9
0度ずらすと、摺動部材115付近に超音波楕円振動を
励起することができる。
【0007】つぎに、上述の超音波振動子を使用した超
音波リニアモータについて説明する。図16は超音波リ
ニアモータの正面図である。図示の通り、この超音波リ
ニアモータでは、超音波振動子110がレール121上
を左右に自走するようになっており、これをガイドする
ためにレール121の裏面にリニアガイド移動部123
を設けたものである。
音波リニアモータについて説明する。図16は超音波リ
ニアモータの正面図である。図示の通り、この超音波リ
ニアモータでは、超音波振動子110がレール121上
を左右に自走するようになっており、これをガイドする
ためにレール121の裏面にリニアガイド移動部123
を設けたものである。
【0008】超音波振動子110は厚さ1mmのシリコン
ゴム(図示せず)を介してアルミニウム材からなる振動
子保持部材124により保持されている。振動子保持部
材124はコの字形状のもので、連結棒125が連結さ
れている。この連結棒125の上端にはバネ受け126
が形成されている。一方、レール121は表面を焼入硬
化されたステンレス材からなり、表面は滑らかに研磨さ
れており、裏面にはリニアガイド固定部122が一体に
固定されている。リニアガイド移動部123には枠13
0が固定されており、上枠131と一体をなしている。
上枠131の中央部はタップが切られ、ボルト129が
螺入している。ボルト129にはバネ押さえ128が取
り付けられ、バネ127の長さを調節し、超音波振動子
110とレール121との間の接触圧を調節できるよう
になっている。
ゴム(図示せず)を介してアルミニウム材からなる振動
子保持部材124により保持されている。振動子保持部
材124はコの字形状のもので、連結棒125が連結さ
れている。この連結棒125の上端にはバネ受け126
が形成されている。一方、レール121は表面を焼入硬
化されたステンレス材からなり、表面は滑らかに研磨さ
れており、裏面にはリニアガイド固定部122が一体に
固定されている。リニアガイド移動部123には枠13
0が固定されており、上枠131と一体をなしている。
上枠131の中央部はタップが切られ、ボルト129が
螺入している。ボルト129にはバネ押さえ128が取
り付けられ、バネ127の長さを調節し、超音波振動子
110とレール121との間の接触圧を調節できるよう
になっている。
【0009】つぎに、この超音波モータの動作を説明す
る。前述のように超音波振動子110のA相とB相に交
番電圧を印加し、位相差を90度(または−90度)と
する。すると超音波振動子110の摺動面に超音波楕円
振動が励起されて、レール121に対して右方向に(ま
たは左方向に)移動する。この超音波モータのモータ特
性は、無負荷速度150mm/sec、起動推力2Nで
あった。この性能は10万回の往復動作後も維持され
た。
る。前述のように超音波振動子110のA相とB相に交
番電圧を印加し、位相差を90度(または−90度)と
する。すると超音波振動子110の摺動面に超音波楕円
振動が励起されて、レール121に対して右方向に(ま
たは左方向に)移動する。この超音波モータのモータ特
性は、無負荷速度150mm/sec、起動推力2Nで
あった。この性能は10万回の往復動作後も維持され
た。
【0010】この従来技術によれば、積層型圧電素子を
用いて圧電縦効果を利用したので、電気−機械変換効率
が向上し、低電圧駆動が可能となった。また極めて簡易
な構成でコンパクトでありながら、出力の大きい超音波
リニアモータを得ることができるとともに、積層型圧電
素子に予圧をかけながら使用するので、モータの耐久性
を向上させることができるというものである。
用いて圧電縦効果を利用したので、電気−機械変換効率
が向上し、低電圧駆動が可能となった。また極めて簡易
な構成でコンパクトでありながら、出力の大きい超音波
リニアモータを得ることができるとともに、積層型圧電
素子に予圧をかけながら使用するので、モータの耐久性
を向上させることができるというものである。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記従来技
術に示された超音波振動子は、これを構成する積層型圧
電素子と基本弾性体とが接触しないように構成されてい
るので、積層型圧電素子と基本弾性体との結合性が悪い
という問題点があった。超音波振動子110の振動状態
を図17に示す。図17(a)は縦1次振動を示し、図
17(b)は屈曲2次振動を示す。これは、有限要素法
を用いたシミュレーションにより解析したものである
が、実験によっても確認されている。変形状態と静止状
態とを比較すると、縦1次振動、屈曲2次振動ともに基
本弾性体と積層型圧電素子とは互いに独立して振動して
いる。これは、積層型圧電素子の持つ大きな発生力が、
保持用弾性体を介して基本弾性体には伝達されていない
ことを示している。
術に示された超音波振動子は、これを構成する積層型圧
電素子と基本弾性体とが接触しないように構成されてい
るので、積層型圧電素子と基本弾性体との結合性が悪い
という問題点があった。超音波振動子110の振動状態
を図17に示す。図17(a)は縦1次振動を示し、図
17(b)は屈曲2次振動を示す。これは、有限要素法
を用いたシミュレーションにより解析したものである
が、実験によっても確認されている。変形状態と静止状
態とを比較すると、縦1次振動、屈曲2次振動ともに基
本弾性体と積層型圧電素子とは互いに独立して振動して
いる。これは、積層型圧電素子の持つ大きな発生力が、
保持用弾性体を介して基本弾性体には伝達されていない
ことを示している。
【0012】そこで、積層型圧電素子と弾性体との結合
性を高めるために、積層型圧電素子と弾性体とを接着し
た超音波振動子を試作してみた。しかし、積層型圧電素
子には、保護膜として数十μm〜数百μmの樹脂がコー
ティングされているため、基本弾性体と積層型圧電素子
とが接する部分には、上記樹脂による保護膜が介在する
こととなった。そのため、積層型圧電素子と基本弾性体
との結合性はあまり改善されず、超音波振動子の振動状
態を精密に解析した結果、やはり、基本弾性体と積層型
圧電素子とが独立して振動してしまい、積層型圧電素子
の発生力が十分に基本弾性体に伝わらず、超音波振動子
全体として、効率のよい振動が励起できないという問題
点が明らかになった。そのため、これらの積層型圧電素
子を用いた超音波リニアモータは十分な推力や速さが得
られなかった。
性を高めるために、積層型圧電素子と弾性体とを接着し
た超音波振動子を試作してみた。しかし、積層型圧電素
子には、保護膜として数十μm〜数百μmの樹脂がコー
ティングされているため、基本弾性体と積層型圧電素子
とが接する部分には、上記樹脂による保護膜が介在する
こととなった。そのため、積層型圧電素子と基本弾性体
との結合性はあまり改善されず、超音波振動子の振動状
態を精密に解析した結果、やはり、基本弾性体と積層型
圧電素子とが独立して振動してしまい、積層型圧電素子
の発生力が十分に基本弾性体に伝わらず、超音波振動子
全体として、効率のよい振動が励起できないという問題
点が明らかになった。そのため、これらの積層型圧電素
子を用いた超音波リニアモータは十分な推力や速さが得
られなかった。
【0013】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、請求項1、2または3に係る発明の目的は、
振動子全体として効率のよい振動を励起させ、超音波モ
ータの推力や速さが十分得られるような超音波振動子を
提供することである。請求項4または5に係る発明の目
的は、前記超音波振動子を用いて、十分な推力や速さを
有する超音波モータを提供することである。
たもので、請求項1、2または3に係る発明の目的は、
振動子全体として効率のよい振動を励起させ、超音波モ
ータの推力や速さが十分得られるような超音波振動子を
提供することである。請求項4または5に係る発明の目
的は、前記超音波振動子を用いて、十分な推力や速さを
有する超音波モータを提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1、2または3に係る発明は、少なくとも2
つの積層型圧電素子と、該積層型圧電素子を固着した弾
性体とを有し、前記積層型圧電素子に互いに位相の異な
る交番電圧を印加することにより超音波楕円振動を励起
する超音波振動子において、前記積層型圧電素子は保護
膜なしに前記弾性体と密着して固着したことを特徴とす
る。請求項4に係る発明は、超音波モータにおいて、請
求項1、2または3記載の超音波振動子と、該超音波振
動子の駆動子と直進ガイドとの間に摺動自在に押圧保持
された移動体とを有することを特徴とする。請求項5に
係る発明は、超音波モータにおいて、請求項1、2また
は3記載の超音波振動子と、該超音波振動子の中心軸に
回転自在に押圧保持されたロータとを有することを特徴
とする。
に、請求項1、2または3に係る発明は、少なくとも2
つの積層型圧電素子と、該積層型圧電素子を固着した弾
性体とを有し、前記積層型圧電素子に互いに位相の異な
る交番電圧を印加することにより超音波楕円振動を励起
する超音波振動子において、前記積層型圧電素子は保護
膜なしに前記弾性体と密着して固着したことを特徴とす
る。請求項4に係る発明は、超音波モータにおいて、請
求項1、2または3記載の超音波振動子と、該超音波振
動子の駆動子と直進ガイドとの間に摺動自在に押圧保持
された移動体とを有することを特徴とする。請求項5に
係る発明は、超音波モータにおいて、請求項1、2また
は3記載の超音波振動子と、該超音波振動子の中心軸に
回転自在に押圧保持されたロータとを有することを特徴
とする。
【0015】
【作用】請求項1、2または3に係る発明の作用では、
超音波振動子に交番電圧を印加し超音波楕円振動を励起
すると、積層型圧電素子と弾性体との結合性がよく、一
体となって振動する。よって、積層型圧電素子に発生す
る力が効率よく弾性体に伝達される。。請求項2に係る
発明の作用では、上記作用に加え、積層型圧電素子の構
造が単純なもので済む。請求項3に係る発明の作用で
は、上記作用に加え、積層型圧電素子の弾性体に密着す
る部分は絶縁体で形成されているので、弾性体に絶縁処
理をする必要がなくなる。請求項4に係る発明の作用で
は、直進型の超音波モータに前記超音波振動子を組み込
むことにより、十分な推力と速度とが得られる。請求項
5に係る発明の作用では、回転型の超音波モータに前記
超音波振動子を組み込むことにより、十分な起動トルク
と速度とが得られる。
超音波振動子に交番電圧を印加し超音波楕円振動を励起
すると、積層型圧電素子と弾性体との結合性がよく、一
体となって振動する。よって、積層型圧電素子に発生す
る力が効率よく弾性体に伝達される。。請求項2に係る
発明の作用では、上記作用に加え、積層型圧電素子の構
造が単純なもので済む。請求項3に係る発明の作用で
は、上記作用に加え、積層型圧電素子の弾性体に密着す
る部分は絶縁体で形成されているので、弾性体に絶縁処
理をする必要がなくなる。請求項4に係る発明の作用で
は、直進型の超音波モータに前記超音波振動子を組み込
むことにより、十分な推力と速度とが得られる。請求項
5に係る発明の作用では、回転型の超音波モータに前記
超音波振動子を組み込むことにより、十分な起動トルク
と速度とが得られる。
【0016】
【実施例1】図1〜図4は実施例1を示し、図1は超音
波振動子の斜視図、図2および図3は超音波振動子の作
用を示す斜視図、図4は超音波モータの正面図である。
波振動子の斜視図、図2および図3は超音波振動子の作
用を示す斜視図、図4は超音波モータの正面図である。
【0017】図1において、10は超音波振動子であ
り、主に基本弾性体11と積層型圧電素子12A,12
Bと駆動子15とから構成されている。基本弾性体11
は、凸の字状に形成されたアルミニウム材からなり、表
面はアルマイト処理されて絶縁性を確保している。その
寸法は、凸部11aを除いて、幅30mm、奥行4m
m、高さ7.5mmである。凸部11aの寸法は、幅4
mm、奥行4mm、高さ2.5mmである。基本弾性体
11の幅方向の中心部で、かつ底面から6mmの位置
に、径2mmのステンレス材からなるピン16が圧入さ
れている。
り、主に基本弾性体11と積層型圧電素子12A,12
Bと駆動子15とから構成されている。基本弾性体11
は、凸の字状に形成されたアルミニウム材からなり、表
面はアルマイト処理されて絶縁性を確保している。その
寸法は、凸部11aを除いて、幅30mm、奥行4m
m、高さ7.5mmである。凸部11aの寸法は、幅4
mm、奥行4mm、高さ2.5mmである。基本弾性体
11の幅方向の中心部で、かつ底面から6mmの位置
に、径2mmのステンレス材からなるピン16が圧入さ
れている。
【0018】積層型圧電素子12は電極を付設した圧電
素子を数十枚から数百枚積層したものであって、その寸
法は、2mm×3.1mm×9mmである。積層型圧電
素子12は保護膜たるエポキシ系樹脂などによる被覆は
されておらず、4側面にわたり内部電極が露出してい
る。図1の左側の積層型圧電素子12Aから取り出され
ている電気端子をA,GND(A相とよぶ)とし、右側
の積層型圧電素子12Bから取り出されている電気端子
をB,GND(B相とよぶ)とする。基本弾性体11の
積層型圧電素子12A,12Bが配置されている面の反
対側の面(被駆動体と接触する面)の両端部から9mm
の位置(共振屈曲振動の振動振幅が極大値を示す位置)
2ヶ所に、矩形状(寸法:幅3mm、奥行4mm、厚さ
1mm)の駆動子15(砥石材料:樹脂にアルミナの砥
粒を分散させたもの)がエポキシ系の接着剤を用いて接
合されている。
素子を数十枚から数百枚積層したものであって、その寸
法は、2mm×3.1mm×9mmである。積層型圧電
素子12は保護膜たるエポキシ系樹脂などによる被覆は
されておらず、4側面にわたり内部電極が露出してい
る。図1の左側の積層型圧電素子12Aから取り出され
ている電気端子をA,GND(A相とよぶ)とし、右側
の積層型圧電素子12Bから取り出されている電気端子
をB,GND(B相とよぶ)とする。基本弾性体11の
積層型圧電素子12A,12Bが配置されている面の反
対側の面(被駆動体と接触する面)の両端部から9mm
の位置(共振屈曲振動の振動振幅が極大値を示す位置)
2ヶ所に、矩形状(寸法:幅3mm、奥行4mm、厚さ
1mm)の駆動子15(砥石材料:樹脂にアルミナの砥
粒を分散させたもの)がエポキシ系の接着剤を用いて接
合されている。
【0019】つぎに、超音波振動子10の組立構造につ
いて説明する。図1に示すように、基本弾性体11の凸
部11aの両側に積層型圧電素子12A,12Bを配設
する。基本弾性体11と積層型圧電素子12A,12B
とは、互いに接触する部分にてエポキシ系接着剤により
接着され、さらに積層型圧電素子12A,12Bは、基
本弾性体11の凸部11aに向かって圧縮力(5kgf 〜
50kgf )をかけた状態で、保持用弾性体13(幅4m
m、奥行4mm、高さ2.5mm)により保持固定され
ている。保持用弾性体はアルミニウム材からなり、表面
はアルマイト処理され絶縁性を確保している。保持用弾
性体13と基本弾性体11、保持用弾性体13と積層型
圧電素子12A,12Bとは、互いに接触する部分にて
エポキシ系接着剤により接着されている。さらに、保持
用弾性体13は、2本のビス14によりそれぞれ基本弾
性体11へ固着されている。
いて説明する。図1に示すように、基本弾性体11の凸
部11aの両側に積層型圧電素子12A,12Bを配設
する。基本弾性体11と積層型圧電素子12A,12B
とは、互いに接触する部分にてエポキシ系接着剤により
接着され、さらに積層型圧電素子12A,12Bは、基
本弾性体11の凸部11aに向かって圧縮力(5kgf 〜
50kgf )をかけた状態で、保持用弾性体13(幅4m
m、奥行4mm、高さ2.5mm)により保持固定され
ている。保持用弾性体はアルミニウム材からなり、表面
はアルマイト処理され絶縁性を確保している。保持用弾
性体13と基本弾性体11、保持用弾性体13と積層型
圧電素子12A,12Bとは、互いに接触する部分にて
エポキシ系接着剤により接着されている。さらに、保持
用弾性体13は、2本のビス14によりそれぞれ基本弾
性体11へ固着されている。
【0020】つぎに、超音波振動子10の動作について
説明する。上記に示した超音波振動子10の形状寸法に
よれば、最大長さ方向の1次の共振縦振動、および最大
面積を有する2次の共振屈曲振動が同一共振周波数Fr
で励起することができる。超音波振動子10の振動状態
を図2および図3に示す。図2は1次の共振縦振動、図
3は2次の共振屈曲振動を示す。これは、有限要素法を
用いたシミュレーションにより解析したものであるが、
実験によってもこのように振動していることが確認され
た。A相とB相とに、周波数Fr、振幅10Vp−p、
位相差±90°の交番電圧を印加すると、駆動子15の
位置で右回り、または左回りの超音波楕円振動が励起さ
れた。
説明する。上記に示した超音波振動子10の形状寸法に
よれば、最大長さ方向の1次の共振縦振動、および最大
面積を有する2次の共振屈曲振動が同一共振周波数Fr
で励起することができる。超音波振動子10の振動状態
を図2および図3に示す。図2は1次の共振縦振動、図
3は2次の共振屈曲振動を示す。これは、有限要素法を
用いたシミュレーションにより解析したものであるが、
実験によってもこのように振動していることが確認され
た。A相とB相とに、周波数Fr、振幅10Vp−p、
位相差±90°の交番電圧を印加すると、駆動子15の
位置で右回り、または左回りの超音波楕円振動が励起さ
れた。
【0021】つぎに、超音波振動子10を用いた超音波
リニアモータ19について説明する。図4において、超
音波リニアモータ19は、主に、超音波振動子10と、
超音波振動子10を押圧保持する振動子押圧機構20
と、超音波振動子10に対向して配設されたクロスロー
ラガイド30と、超音波振動子10とクロスローラガイ
ド30との間を移動する移動体35とから構成される。
リニアモータ19について説明する。図4において、超
音波リニアモータ19は、主に、超音波振動子10と、
超音波振動子10を押圧保持する振動子押圧機構20
と、超音波振動子10に対向して配設されたクロスロー
ラガイド30と、超音波振動子10とクロスローラガイ
ド30との間を移動する移動体35とから構成される。
【0022】まず、振動子押圧機構20では、超音波振
動子10がそのピン16の部分で、2つの保持板21に
より両面から保持されている。保持板21には、ピン1
6の外径とほぼ同径の穴が穿設されており、その穴と超
音波振動子10のピン16とが嵌合している。このよう
に保持することで、超音波振動子10はピン16の周り
の回転に対してのみ自由度を有する。保持板21は、ビ
ス23により保持板固定部材22に固着されている。保
持板固定部材22には、リニアブッシュ24が取着され
ており、このリニアブッシュ24は軸25に沿って摺動
自在に嵌合している。軸25は軸固定部材26に固着さ
れ、軸固定部材26はベース27にビス26aにより固
着されている。軸固定部材26のほぼ中央部には、タッ
プ穴が設けられ、押圧ビス28が螺合している。押圧ビ
ス28と保持板固定部材22との間には、バネ29が装
着されて、保持板固定部材22を下方に押圧している。
動子10がそのピン16の部分で、2つの保持板21に
より両面から保持されている。保持板21には、ピン1
6の外径とほぼ同径の穴が穿設されており、その穴と超
音波振動子10のピン16とが嵌合している。このよう
に保持することで、超音波振動子10はピン16の周り
の回転に対してのみ自由度を有する。保持板21は、ビ
ス23により保持板固定部材22に固着されている。保
持板固定部材22には、リニアブッシュ24が取着され
ており、このリニアブッシュ24は軸25に沿って摺動
自在に嵌合している。軸25は軸固定部材26に固着さ
れ、軸固定部材26はベース27にビス26aにより固
着されている。軸固定部材26のほぼ中央部には、タッ
プ穴が設けられ、押圧ビス28が螺合している。押圧ビ
ス28と保持板固定部材22との間には、バネ29が装
着されて、保持板固定部材22を下方に押圧している。
【0023】ベース27の下部には、超音波振動子10
に対向してクロスローラガイド30が配設されており、
直進ガイドたるその固定部31がビス31aによりベー
ス27に固着されている。クロスローラガイド30の移
動部32には、摺動部材保持板33が図示を省略したビ
スにより固着され、この摺動部材保持板33には、ジル
コニアセラミックスからなる摺動部材34が接着されて
いる。超音波振動子10の駆動子15の下面と摺動部材
34の上面とで、超音波リニアモータの駆動面を形成し
ている。また、クロスローラガイド30の移動部32と
摺動部材保持板33と摺動部材34とから移動体35を
構成している。押圧ビス28を回動してバネ29を圧縮
することにより、移動体35と駆動子15とが接する駆
動面における超音波振動子10の押圧力を調整すること
ができる。
に対向してクロスローラガイド30が配設されており、
直進ガイドたるその固定部31がビス31aによりベー
ス27に固着されている。クロスローラガイド30の移
動部32には、摺動部材保持板33が図示を省略したビ
スにより固着され、この摺動部材保持板33には、ジル
コニアセラミックスからなる摺動部材34が接着されて
いる。超音波振動子10の駆動子15の下面と摺動部材
34の上面とで、超音波リニアモータの駆動面を形成し
ている。また、クロスローラガイド30の移動部32と
摺動部材保持板33と摺動部材34とから移動体35を
構成している。押圧ビス28を回動してバネ29を圧縮
することにより、移動体35と駆動子15とが接する駆
動面における超音波振動子10の押圧力を調整すること
ができる。
【0024】つぎに、超音波リニアモータ19の動作に
ついて説明する。上述のように、超音波振動子10のA
相とB相とに、共振周波数Fr、振幅10Vp−p、位
相差+90度または−90度の交番電圧を印加する。す
ると移動体35は右方向または左方向に駆動される。こ
れにより、超音波リニアモータの起動推力として8N、
無負荷速度として300mm/secが得られた。
ついて説明する。上述のように、超音波振動子10のA
相とB相とに、共振周波数Fr、振幅10Vp−p、位
相差+90度または−90度の交番電圧を印加する。す
ると移動体35は右方向または左方向に駆動される。こ
れにより、超音波リニアモータの起動推力として8N、
無負荷速度として300mm/secが得られた。
【0025】本実施例によれば、積層型圧電素子と基本
弾性体との間には、接着剤の樹脂層のみしか介在しない
ため、その樹脂層は非常に薄く、そのため振動子全体と
して効率のよい振動を励起させることができる。すなわ
ち、超音波振動子としての電気機械変換効率を大きくす
ることができる。また、この超音波振動子を用いた超音
波リニアモータは、起動推力、無負荷速度などのモータ
特性を向上させることができる。
弾性体との間には、接着剤の樹脂層のみしか介在しない
ため、その樹脂層は非常に薄く、そのため振動子全体と
して効率のよい振動を励起させることができる。すなわ
ち、超音波振動子としての電気機械変換効率を大きくす
ることができる。また、この超音波振動子を用いた超音
波リニアモータは、起動推力、無負荷速度などのモータ
特性を向上させることができる。
【0026】
【実施例2】図5〜図7は実施例2を示し、図5は積層
型圧電素子の単板を上面側から見た斜視図、図6は積層
型圧電素子の単板を下面側から見た斜視図、図7は積層
型圧電素子の斜視図である。本実施例では積層型圧電素
子が実施例1と異なるのみで、積層型圧電素子を組み込
んだ超音波振動子とそれを用いた超音波モータは実施例
1と同様なので、超音波振動子および超音波リニアモー
タの図と説明を省略する。
型圧電素子の単板を上面側から見た斜視図、図6は積層
型圧電素子の単板を下面側から見た斜視図、図7は積層
型圧電素子の斜視図である。本実施例では積層型圧電素
子が実施例1と異なるのみで、積層型圧電素子を組み込
んだ超音波振動子とそれを用いた超音波モータは実施例
1と同様なので、超音波振動子および超音波リニアモー
タの図と説明を省略する。
【0027】図5において、単板50a,50bは、積
層型圧電素子を分解して、連続する単板の一部を取り出
し、上面側から見て示す。単板50aと単板50bと
は、下面側から見た図6と比較してみれば明らかなよう
に、180°回してみれば全く同一のものである。単板
50aは、基板として厚み0.1mm、電気機械結合係
数(k33)0.6〜0.7(1Vp−p測定時)、機
械的品質係数(Qm)500〜1500(1Vp−p測
定時)の圧電セラミクスを用いた。単板50の端部3ヵ
所は、幅0.5〜1mm程度の絶縁部51が設けられ、
他の1ヶ所は、中央から端面まで内部電極52が付設さ
れている。図6に示すように、下面側にも同様に、絶縁
部51と内部電極52とが設けられ、電極52は上面側
とは反対の端面まで延びるように形成されている。さら
に、図5に示す矢印pの方向に分極処理がなされてい
る。
層型圧電素子を分解して、連続する単板の一部を取り出
し、上面側から見て示す。単板50aと単板50bと
は、下面側から見た図6と比較してみれば明らかなよう
に、180°回してみれば全く同一のものである。単板
50aは、基板として厚み0.1mm、電気機械結合係
数(k33)0.6〜0.7(1Vp−p測定時)、機
械的品質係数(Qm)500〜1500(1Vp−p測
定時)の圧電セラミクスを用いた。単板50の端部3ヵ
所は、幅0.5〜1mm程度の絶縁部51が設けられ、
他の1ヶ所は、中央から端面まで内部電極52が付設さ
れている。図6に示すように、下面側にも同様に、絶縁
部51と内部電極52とが設けられ、電極52は上面側
とは反対の端面まで延びるように形成されている。さら
に、図5に示す矢印pの方向に分極処理がなされてい
る。
【0028】単板50a,50b等を分極の方向pが互
いに交互になるように積層すると、図7に示す積層型圧
電素子60となる。なお、積層型圧電素子60の上面と
下面とに積層される単板50w,50xは片面に内部電
極が形成されないものを用い、その面を外側にして積層
する。積層方法は、接着によってもよいし、一体焼成法
で作製してもよい。図7において、積層型圧電素子60
の右側面と左側面とには、外部電極61がそれぞれ付設
され、それぞれの内部電極52と連通し、さらに、電気
端子62がそれぞれ接続される。積層型圧電素子60の
正面60aは、内部電極52が露出していないため、こ
の面と基本弾性体の装着面とで接着され、超音波振動子
が構成される。基本弾性体には、ステンレス鋼材を用い
た。
いに交互になるように積層すると、図7に示す積層型圧
電素子60となる。なお、積層型圧電素子60の上面と
下面とに積層される単板50w,50xは片面に内部電
極が形成されないものを用い、その面を外側にして積層
する。積層方法は、接着によってもよいし、一体焼成法
で作製してもよい。図7において、積層型圧電素子60
の右側面と左側面とには、外部電極61がそれぞれ付設
され、それぞれの内部電極52と連通し、さらに、電気
端子62がそれぞれ接続される。積層型圧電素子60の
正面60aは、内部電極52が露出していないため、こ
の面と基本弾性体の装着面とで接着され、超音波振動子
が構成される。基本弾性体には、ステンレス鋼材を用い
た。
【0029】本実施例によれば、実施例1と同様の効果
に加え、積層型圧電素子の1面に内部電極が露出してい
ないため、基本弾性体には、アルマイト処理などの表面
の絶縁処理の必要がなくなり、無垢の金属材料を用いる
ことができる。従って、基本弾性体に用いることのでき
る材料の幅を広げることができる。
に加え、積層型圧電素子の1面に内部電極が露出してい
ないため、基本弾性体には、アルマイト処理などの表面
の絶縁処理の必要がなくなり、無垢の金属材料を用いる
ことができる。従って、基本弾性体に用いることのでき
る材料の幅を広げることができる。
【0030】本実施例では、基本弾性体にステンレス鋼
材を用いたが、黄銅材、鉄系材料、無垢のアルミニウム
材でもよい。
材を用いたが、黄銅材、鉄系材料、無垢のアルミニウム
材でもよい。
【0031】
【実施例3】図8〜図14は実施例3を示し、図8は超
音波振動子の上面図、図9は超音波振動子の正面図、図
10は超音波振動子の裏面図、図11は超音波振動子の
構成を示す説明図、図12超音波モータの正面図、図1
3は超音波モータの上面図、図14は超音波モータの縦
断面図である。
音波振動子の上面図、図9は超音波振動子の正面図、図
10は超音波振動子の裏面図、図11は超音波振動子の
構成を示す説明図、図12超音波モータの正面図、図1
3は超音波モータの上面図、図14は超音波モータの縦
断面図である。
【0032】図8〜図11において、超音波振動子70
は、主に弾性体71と2つの積層型圧電素子74と駆動
子75とから構成されている。弾性体71は角柱形状の
アルミニウム材からなり、表面をアルマイト処理して絶
縁性を確保している。弾性体71には、図8のα方向か
ら見た図9とβ方向から見た図10とに示すように、そ
れぞれの面に、傾斜面を有する突出部72が弾性体71
と一体に形成されている。さらに弾性体71の中心部に
は、貫通穴77が穿設され、図11にて破線で示すよう
に、その中間付近はタップ穴77aが形成されている。
は、主に弾性体71と2つの積層型圧電素子74と駆動
子75とから構成されている。弾性体71は角柱形状の
アルミニウム材からなり、表面をアルマイト処理して絶
縁性を確保している。弾性体71には、図8のα方向か
ら見た図9とβ方向から見た図10とに示すように、そ
れぞれの面に、傾斜面を有する突出部72が弾性体71
と一体に形成されている。さらに弾性体71の中心部に
は、貫通穴77が穿設され、図11にて破線で示すよう
に、その中間付近はタップ穴77aが形成されている。
【0033】積層型圧電素子74は、電極を付設した圧
電素子を数十枚から数百枚積層したものであって、その
寸法は2mm×3.1mm×9mmである。積層型圧電
素子74は、エポキシ系樹脂などによる被覆はされてお
らず、4側面にわたり、内部電極が露出している。積層
型圧電素子74のそれぞれの電極から電気端子が接続さ
れており、一方をA端子またはB端子とし、他方をGN
D端子とする。駆動子75は、アルミナセラミックの砥
粒を樹脂に分散して結合した円環状の砥石からなり、弾
性体71の上面に接着されている。
電素子を数十枚から数百枚積層したものであって、その
寸法は2mm×3.1mm×9mmである。積層型圧電
素子74は、エポキシ系樹脂などによる被覆はされてお
らず、4側面にわたり、内部電極が露出している。積層
型圧電素子74のそれぞれの電極から電気端子が接続さ
れており、一方をA端子またはB端子とし、他方をGN
D端子とする。駆動子75は、アルミナセラミックの砥
粒を樹脂に分散して結合した円環状の砥石からなり、弾
性体71の上面に接着されている。
【0034】つぎに、超音波振動子70の組立構造につ
いて説明する。図9〜図10に示すように、弾性体71
の正面と裏面とに、積層型圧電素子74をそれぞれ配設
する。図11に示すように、積層型圧電素子74は、そ
の上面74aが弾性体71の突出部72の傾斜面72a
に当接するように、弾性体71にエポキシ系接着剤によ
り接着される。さらに、積層型圧電素子74は、傾斜面
72aに向かって圧縮力(5kgf 〜50kgf )を加えら
れた状態で、突出部72とほぼ同形状の挟持用弾性体7
3とビス76とによって挟持固定されている。保持用弾
性体73はアルミニウム材からなり、表面はアルマイト
処理して絶縁性を確保している。挟持用弾性体73と弾
性体71、挟持用弾性体73と積層型圧電素子74と
は、互いに接触する部分にてエポキシ系接着剤により接
着されている。
いて説明する。図9〜図10に示すように、弾性体71
の正面と裏面とに、積層型圧電素子74をそれぞれ配設
する。図11に示すように、積層型圧電素子74は、そ
の上面74aが弾性体71の突出部72の傾斜面72a
に当接するように、弾性体71にエポキシ系接着剤によ
り接着される。さらに、積層型圧電素子74は、傾斜面
72aに向かって圧縮力(5kgf 〜50kgf )を加えら
れた状態で、突出部72とほぼ同形状の挟持用弾性体7
3とビス76とによって挟持固定されている。保持用弾
性体73はアルミニウム材からなり、表面はアルマイト
処理して絶縁性を確保している。挟持用弾性体73と弾
性体71、挟持用弾性体73と積層型圧電素子74と
は、互いに接触する部分にてエポキシ系接着剤により接
着されている。
【0035】つぎに、超音波振動子70の動作について
説明する。超音波振動子70の形状寸法は、1次の共振
縦振動(図9の矢印Zで示す上下方向の振動)、および
1次の共振捻れ振動(図8の矢印Yで示す縦振動の振動
方向を捻れの軸とする振動)がほぼ同一共振周波数Fr
(50kHz〜56kHz)で励起できるものとなって
いる。そして、この周波数の近傍には、屈曲共振振動の
固有振動はないような形状に設計されている。まず、A
端子に共振周波数Frで振幅10Vp−pの交番電圧を
印加し、B端子に同一周波数、同振幅で同位相の交番電
圧を印加すると、1次の共振縦振動が励起された。つぎ
に、A端子に共振周波数Frで振幅10Vp−pの交番
電圧を印加し、B端子に同一周波数、同振幅で逆位相の
交番電圧を印加すると、1次の共振捻れ振動が励起され
た。さらに、A端子に共振周波数Frで振幅10Vp−
pの交番電圧を印加し、B端子に同一周波数、同振幅で
位相が90度異なった交番電圧を印加すると、共振縦振
動と、共振捻れ振動が合成されて、駆動子75の位置に
おいて、楕円振動が励起された。
説明する。超音波振動子70の形状寸法は、1次の共振
縦振動(図9の矢印Zで示す上下方向の振動)、および
1次の共振捻れ振動(図8の矢印Yで示す縦振動の振動
方向を捻れの軸とする振動)がほぼ同一共振周波数Fr
(50kHz〜56kHz)で励起できるものとなって
いる。そして、この周波数の近傍には、屈曲共振振動の
固有振動はないような形状に設計されている。まず、A
端子に共振周波数Frで振幅10Vp−pの交番電圧を
印加し、B端子に同一周波数、同振幅で同位相の交番電
圧を印加すると、1次の共振縦振動が励起された。つぎ
に、A端子に共振周波数Frで振幅10Vp−pの交番
電圧を印加し、B端子に同一周波数、同振幅で逆位相の
交番電圧を印加すると、1次の共振捻れ振動が励起され
た。さらに、A端子に共振周波数Frで振幅10Vp−
pの交番電圧を印加し、B端子に同一周波数、同振幅で
位相が90度異なった交番電圧を印加すると、共振縦振
動と、共振捻れ振動が合成されて、駆動子75の位置に
おいて、楕円振動が励起された。
【0036】つぎに、超音波振動子70を用いた超音波
モータ80について説明する。図12〜図14におい
て、超音波モータ80は、主に超音波振動子70と、そ
の中心部に取着された軸81と、軸81の周りを回転す
るロータ82とから構成されている。図14に示すよう
に軸81は、中間付近にネジ81aが形成され、振動子
70のタップ穴77aと螺合し、その部分は接着剤にて
接着固定されている。さらに軸81には、両端部にネジ
81b,81cが形成されている。本実施例ではネジ8
1aとネジ81b,81cとはネジ径を異にしている
が、軸全体を同一径のネジにしてもよい。円環状のロー
タ82は、その内側にベアリング86を圧入しており、
ベアリング86の内輪は軸81に摺動自在に挿入され
る。また、ロータ82の下面には、円環状のジルコニア
セラミックスからなる摺動材85が接着されている。
モータ80について説明する。図12〜図14におい
て、超音波モータ80は、主に超音波振動子70と、そ
の中心部に取着された軸81と、軸81の周りを回転す
るロータ82とから構成されている。図14に示すよう
に軸81は、中間付近にネジ81aが形成され、振動子
70のタップ穴77aと螺合し、その部分は接着剤にて
接着固定されている。さらに軸81には、両端部にネジ
81b,81cが形成されている。本実施例ではネジ8
1aとネジ81b,81cとはネジ径を異にしている
が、軸全体を同一径のネジにしてもよい。円環状のロー
タ82は、その内側にベアリング86を圧入しており、
ベアリング86の内輪は軸81に摺動自在に挿入され
る。また、ロータ82の下面には、円環状のジルコニア
セラミックスからなる摺動材85が接着されている。
【0037】図12〜図13において、ロータ82は軸
81に挿入され、下面に付設された摺動材85が、振動
子70の上面に付設された駆動子75と接するように配
設される。ロータ82の上方にはバネ83が載置され、
ナット84が軸81のネジ81bに螺合してバネ83を
圧縮することにより、駆動子75と摺動材85とが接す
る駆動面を押圧する。超音波モータ80を固定する場合
には、軸81の下端のネジ81cを、基台87に螺合
し、ロックナット88により固定する。
81に挿入され、下面に付設された摺動材85が、振動
子70の上面に付設された駆動子75と接するように配
設される。ロータ82の上方にはバネ83が載置され、
ナット84が軸81のネジ81bに螺合してバネ83を
圧縮することにより、駆動子75と摺動材85とが接す
る駆動面を押圧する。超音波モータ80を固定する場合
には、軸81の下端のネジ81cを、基台87に螺合
し、ロックナット88により固定する。
【0038】上述のように、超音波振動子70のA端子
とB端子とに共振周波数Fr(50kHz〜56kHz
の間の周波数)、振幅10Vp−p、位相差+90度ま
たは−90度の交番電圧を印加する。すると、ロータ8
2が時計回りまたは反時計回りに回転した。
とB端子とに共振周波数Fr(50kHz〜56kHz
の間の周波数)、振幅10Vp−p、位相差+90度ま
たは−90度の交番電圧を印加する。すると、ロータ8
2が時計回りまたは反時計回りに回転した。
【0039】本実施例によれば、積層型圧電素子とし
て、エポキシ系樹脂などによる保護膜のないものを用い
たので、実施例1と同様に、積層型圧電素子と弾性体と
の間に接着剤の樹脂層しか介在しないため、その樹脂層
は非常に薄く、そのため、振動子全体として効率のよい
振動を励起させることができる。すなわち、超音波振動
子としての電気機械変換効率を大きくすることができ
る。また、この超音波振動子を用いた回転型の超音波モ
ータは、起動トルク、無負荷速度などのモータ特性を向
上させることができる。
て、エポキシ系樹脂などによる保護膜のないものを用い
たので、実施例1と同様に、積層型圧電素子と弾性体と
の間に接着剤の樹脂層しか介在しないため、その樹脂層
は非常に薄く、そのため、振動子全体として効率のよい
振動を励起させることができる。すなわち、超音波振動
子としての電気機械変換効率を大きくすることができ
る。また、この超音波振動子を用いた回転型の超音波モ
ータは、起動トルク、無負荷速度などのモータ特性を向
上させることができる。
【0040】本実施例では、保護膜のない超音波振動子
を用いたが、これに替えて、実施例2で示した、弾性体
との接触面に内部電極が露出していない積層型圧電素子
を用いてもよい。この場合、弾性体にアルマイト処理な
どの表面絶縁処理などが必要なくなり、無垢の黄銅材や
ステンレス鋼材などを用いることができる。
を用いたが、これに替えて、実施例2で示した、弾性体
との接触面に内部電極が露出していない積層型圧電素子
を用いてもよい。この場合、弾性体にアルマイト処理な
どの表面絶縁処理などが必要なくなり、無垢の黄銅材や
ステンレス鋼材などを用いることができる。
【0041】
【発明の効果】請求項1、2または3に係る発明によれ
ば、保護膜なしの積層型圧電素子を用いることにより、
積層型圧電素子と弾性体との結合性がよく、一体となっ
て振動し、電気機械変換効率のよい超音波振動子を得る
ことができる。請求項2に係る発明によれば、上記効果
に加え、積層型圧電素子の構造が単純なので、積層型圧
電素子の製作が容易である。請求項3に係る発明によれ
ば、上記効果に加え、弾性体の絶縁処理が不要なので、
弾性体の材料の選択幅を広げることができる。請求項4
に係る発明によれば、起動推力、無負荷速度などのモー
タ特性のよい直進型の超音波モータを得ることができ
る。請求項5に係る発明によれば、起動トルク、無負荷
速度などのモータ特性のよい配転型の超音波モータを得
ることができる。
ば、保護膜なしの積層型圧電素子を用いることにより、
積層型圧電素子と弾性体との結合性がよく、一体となっ
て振動し、電気機械変換効率のよい超音波振動子を得る
ことができる。請求項2に係る発明によれば、上記効果
に加え、積層型圧電素子の構造が単純なので、積層型圧
電素子の製作が容易である。請求項3に係る発明によれ
ば、上記効果に加え、弾性体の絶縁処理が不要なので、
弾性体の材料の選択幅を広げることができる。請求項4
に係る発明によれば、起動推力、無負荷速度などのモー
タ特性のよい直進型の超音波モータを得ることができ
る。請求項5に係る発明によれば、起動トルク、無負荷
速度などのモータ特性のよい配転型の超音波モータを得
ることができる。
【図1】実施例1の超音波振動子の斜視図である。
【図2】実施例1の超音波振動子の作用を示す斜視図で
ある。
ある。
【図3】実施例1の超音波振動子の作用を示す斜視図で
ある。
ある。
【図4】実施例1の超音波モータの正面図である。
【図5】実施例2の積層型圧電素子の単板を上面側から
見た斜視図である。
見た斜視図である。
【図6】実施例2の積層型圧電素子の単板を下面側から
見た斜視図である。
見た斜視図である。
【図7】実施例2の積層型圧電素子の斜視図である。
【図8】実施例3の超音波振動子の上面図である。
【図9】実施例3の超音波振動子の正面図である。
【図10】実施例3の超音波振動子の裏面図である。
【図11】実施例3の超音波振動子の構成を示す説明図
である。
である。
【図12】実施例3の超音波モータの正面図である。
【図13】実施例3の超音波モータの上面図である。
【図14】実施例3の超音波モータの縦断面図である。
【図15】従来技術の超音波振動子の斜視図である。
【図16】従来技術の超音波リニアモータの正面図であ
る。
る。
【図17】従来技術の超音波振動子の問題点を示す説明
図である。
図である。
10 超音波振動子 11 基本弾性体 12 積層型圧電素子 13 保持用弾性体 14 ビス 15 駆動子 16 ピン
Claims (5)
- 【請求項1】少なくとも2つの積層型圧電素子と、該積
層型圧電素子を固着した弾性体とを有し、前記積層型圧
電素子に互いに位相の異なる交番電圧を印加することに
より超音波楕円振動を励起する超音波振動子において、 前記積層型圧電素子は保護膜なしに前記弾性体と密着し
て固着したことを特徴とする超音波振動子。 - 【請求項2】前記保護膜なしの積層型圧電素子と前記弾
性体とは、接着剤を介して固着したことを特徴とする請
求項1記載の超音波振動子。 - 【請求項3】前記保護膜なしの積層型圧電素子の少なく
とも前記弾性体と密着する部分は絶縁体にて形成されて
いることを特徴とする請求項1記載の超音波振動子。 - 【請求項4】請求項1、2または3記載の超音波振動子
と、該超音波振動子の駆動子と直進ガイドとの間に摺動
自在に押圧保持された移動体とを有することを特徴とす
る超音波モータ。 - 【請求項5】請求項1、2または3記載の超音波振動子
と、該超音波振動子の中心軸に回転自在に押圧保持され
たロータとを有することを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7033732A JPH08228494A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 超音波振動子および超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7033732A JPH08228494A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 超音波振動子および超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08228494A true JPH08228494A (ja) | 1996-09-03 |
Family
ID=12394586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7033732A Pending JPH08228494A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 超音波振動子および超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08228494A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004242493A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
-
1995
- 1995-02-22 JP JP7033732A patent/JPH08228494A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004242493A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
JP4578799B2 (ja) * | 2003-01-14 | 2010-11-10 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031014 |