JPH08220172A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】検査装置において、不良と判定したときに再検
査を無条件に行うのではなく、必要に応じて再検査を行
うようにし、生産効率の向上を図ること。 【構成】検査位置に電気製品などの被検査物３をセット
するとともに被検査物３の電極に対して信号供給用のコ
ンタクトピン１１をコンタクトさせるテストハンドラ１
と、被検査物３の電気特性を検査するとともにこの検査
結果に基づいて良否を判定するテスタ２とを具備する検
査装置Ａにおいて、テスタ２は、前記良否判定結果の否
の場合に前記検査結果に応じて再検査の要否を判定し、
この要否判定結果が要の場合に不良となった被検査物３
について前記コンタクト処理をし直させて再検査を行わ
せる一方、要否判定結果が否の場合に不良とされた被検
査物３を再検査せずに取り外して次の被検査物３の検査
に移らせるよう管理するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気製品の電気特性を
検査する検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の検査装置の一例を図５ないし図８
に示す。図５は、検査装置の概略構成を示すブロック
図、図６は、検査の流れを示すフローチャート、図７
は、テストハンドラの動作説明に用いるフローチャー
ト、図８は、テスタの動作説明に用いるフローチャート
である。

【０００３】図例の検査装置Ａは、例えばリモートコン
トローラ用受光ユニットなどの電気特性に関して項目別
に検査するもので、テストハンドラ１とテスタ２とを具
備している。

【０００４】テストハンドラ１は、その近傍に用意され
る被検査物３を所定の検査位置にセットするとともに、
セットされた被検査物３の電極（図示、符号省略）とテ
スタ２に接続されるコンタクトピン１１とをコンタクト
させる駆動ユニット１２と、良品・不良品の数を積算す
るカウンタ１３と、検査開始・検査停止の指定や検査の
自動処理の指定などを行うための操作ユニット１４と、
図７のフローチャートに示す制御シーケンスを実行する
コントローラ１５とを備えている。

【０００５】テスタ２は、コンタクトピン１１に対する
信号供給および被検査物３から出力される電気信号を受
ける測定ユニット２１と、良品の数や検査項目別の不良
の数を積算するカウンタ２２と、検査する項目の指定な
どを行うための操作ユニット２３と、図８のフローチャ
ートに示す制御シーケンスを実行するコントローラ２４
とを備えている。

【０００６】このような検査装置Ａの検査の流れを図６
に示して簡単に説明する。検査が開始されると、テス
トハンドラ１は被検査物３のセット、コンタクトの準備
を行う。この準備が完了すると、テストハンドラ１か
らテスタ２へテストスタート信号を出力する。テスタ２
がテストスタート信号を受け取ると、テスタ２は、初
期化（前回の良否判定結果や再検査中などの出力のキャ
ンセル）を行ってから、検査を実行する。この検査の
終了に伴い、テスタ２は、検査結果から複数の検査項
目ごとに良否判定を行うとともに、この良否判定結果
（良品信号または不良品信号）およびテストエンド信号
をテストハンドラ１へ出力する。テストハンドラ１が良
否結果およびテストエンド信号を受け取ると、テスト
ハンドラ１は次の被検査物３の検査の準備または不良と
された被検査物３の再検査の準備を行う。

【０００７】このような検査に伴うテストハンドラ１お
よびテスタ２の各コントローラ１５，２４の動作を図７
および図８に示して説明する。

【０００８】〔テストハンドラ〕まず、用意された被検
査物３を駆動ユニット１２で所定の検査位置にセットす
る（ステップ４１）とともに、セットされた被検査物３
の電極とコンタクトピン１１とをコンタクトさせる処理
を実行する（ステップ４２）。このコンタクト処理が終
わってから（ステップ４３）、テストスタート信号を出
力する（ステップ４４）。

【０００９】この後、テスタ２から出力される検査結果
の良否判定結果の入力を待ち（ステップ４５）、入力さ
れると、判定結果が「良品信号」か「不良品信号」かを
判定（ステップ４６）する。良品信号の場合には、カウ
ンタ１３において良品の数をカウントアップし（ステッ
プ４７）、次の被検査物３の検査の準備に移らせるため
にステップ４１に戻るが、不良品信号の場合には、現在
の検査が再検査中かどうかを判定する（ステップ４
８）。ここで、再検査中でない場合には、不良とされた
被検査物３の再検査の準備を行うために、ステップ４２
に戻るが、再検査中の場合には、カウンタ１３において
不良品の数をカウントアップし（ステップ４９）、次の
被検査物３の検査の準備に移らせるためにステップ４１
に戻る。

【００１０】〔テスタ〕テストハンドラ１から出力され
るテストスタート信号の入力を待ち（ステップ５１）、
入力されると、初期化（前回の良否判定結果や再検査中
などの出力のキャンセル）を行ってから（ステップ５
２）、測定ユニット２１を介して検査を実行させる（ス
テップ５３）。この検査が終了すると、項目別の検査結
果から良品または不良品を判定する（ステップ５４）。
ここでの判定は、複数の項目のうち一つの項目でも不良
があると、不良品と判定するようになっている。この判
定結果に応じて、カウンタ２２において対応する項目を
カウントアップする（ステップ５５，５６）とともに、
良品信号または不良品信号をテストハンドラ１へ出力し
てから（ステップ５７，５８）、テストエンド信号をテ
ストハンドラ１へ出力して（ステップ５９）、終了す
る。

【００１１】このように、従来では、テストハンドラ１
がテスタ２から受け取った検査結果が不良品である場
合、無条件にテスタ２に対して再検査を行うための指令
を与えている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来例
では、下記するような２つの問題が生ずる。

【００１３】まず、第１の問題としては、テストハンド
ラ１が不良品信号を受け取った場合に無条件に再検査を
行うようにしているため、生産効率が悪くなることが指
摘される。というのは、検査結果が不良品となる状況と
して、被検査物３の電極とテストハンドラ１のコンタク
トピン１１とのコンタクト不良が原因となる検査項目の
不良が発生する場合と、前記コンタクト不良とは関係の
ない検査項目の不良が発生する場合とがあり、後者の場
合については、再検査を行うこと自体、無駄であると言
える。したがって、再検査を無条件で行うようにしてい
る従来例では、生産効率が悪くなると言えるのである。

【００１４】第２の問題としては、再検査を行うと、テ
スタ２が、同一の被検査物３に関する二回の検査結果に
基づいてカウンタ２２における所要の項目をカウントア
ップするため、場合によってはダブルカウントされるこ
とがあり、カウンタの積算値の信頼性がなくなることが
指摘される。なぜなら、テスタ２は、初回の検査や再検
査といった状況に関係なく、とにかく検査を実行する
と、その検査結果に応じてカウンタ２２の所要の項目を
カウントアップするようになっている。具体的に、例え
ば、ある被検査物３が初回の検査で不良品となって、こ
の不良とされた被検査物３を再検査する場合、既に初回
の検査でカウンタ２２における不良対象の項目をカウン
トアップし、続く再検査でもその検査結果が良否いずれ
であっても、カウンタ２２における所要の項目をカウン
トアップすることになる。このように、再検査を行う
と、同一の被検査物３についてダブルカウントすること
が起こりうるのである。つまり、再検査を行う被検査物
３の数が多くなれば多くなる程、テスタ２のカウンタ２
２による積算値の精度が低下すると言える。

【００１５】したがって、本発明の目的は、検査装置に
おいて、不良と判定したときに再検査を無条件に行うの
ではなく、必要に応じて再検査を行うようにし、生産効
率の向上を図ることである。

【００１６】また、本発明の目的は、カウンタの積算動
作を適正に管理し、カウンタの積算値の精度を向上でき
るようにすることである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の検査装置
は、検査位置に電気製品などの被検査物をセットすると
ともに被検査物の電極に対して信号供給用の電極をコン
タクトさせるテストハンドラと、被検査物の電気特性を
検査するとともにこの検査結果に基づいて良否を判定す
るテスタとを具備するもので、前記テスタは、前記良否
判定結果の否の場合に前記検査結果に応じて再検査の要
否を判定し、この要否判定結果が要の場合に不良となっ
た被検査物について前記コンタクト処理をし直させて再
検査を行わせる一方、要否判定結果が否の場合に不良と
された被検査物を再検査せずに取り外して次の被検査物
の検査に移らせるよう管理するものである。

【００１８】なお、前述のテスタは、検査結果に基づい
て良品および不良品の数を積算するカウンタを備え、か
つ、初回の検査により不良とされた被検査物を再検査す
る場合、初回の検査の結果で前記カウンタの積算動作を
行わせずに、再検査の結果で前記カウンタの積算動作を
行わせるよう管理するものである。

【００１９】本発明の第２の検査装置は、検査位置に電
気製品などの被検査物をセットするとともに被検査物の
電極に対して信号供給用の電極をコンタクトさせるテス
トハンドラと、被検査物の電気特性を複数の検査項目別
に検査するとともに検査項目別の検査結果に基づいてそ
れぞれ良否を判定するテスタとを具備するもので、前記
テスタが、前記良否判定結果に基づいて所要の検査項目
での否の有無を判定し、有の場合に不良とされた被検査
物についてのコンタクト処理をし直させて再検査を行わ
せる一方、無の場合に不良とされた被検査物を再検査せ
ずに取り外して次の被検査物の検査に移らせるよう管理
するものである。

【００２０】なお、前述のテスタは、検査結果に基づい
て良品の数および検査項目別に不良の数を積算するカウ
ンタを備え、かつ、初回の検査により不良とされた被検
査物を再検査する場合、初回の検査の結果で前記カウン
タの積算動作を行わせずに、再検査の結果で前記カウン
タの積算動作を行わせるよう管理するものである。

【００２１】また、前述の第１、第２の検査装置におい
て、前記テストハンドラは、複数の被検査物を有するロ
ットの中から検査対象の被検査物を個別に取り出すもの
であり、前記テスタは、ロット全体の検査が終了したと
きに、前記カウンタの積算値に基づいてロット全体を不
良とするか否かを判定するものである。

【００２２】

【作用】第１の検査装置では、要するに、従来のように
不良となった被検査物の再検査を無条件に行わせずに、
再検査を必要に応じて行わせるようにしているから、無
駄を省ける。この第１の検査装置において、カウンタを
設けて、初回の検査により不良とされた被検査物を再検
査する場合、初回の検査の結果で前記カウンタの積算動
作を行わせずに、再検査の結果で前記カウンタの積算動
作を行わせるよう管理する構成とすれば、同一の被検査
物でダブルカウントする間違いをなくせるようになる。

【００２３】第２の検査装置では、第１の検査装置にお
いて再検査の要否の判定を行うために、検査としても複
数の検査項目を用意し、再検査が必要となる項目を特定
し、その項目での不良の有無を判定するようにしてい
る。これにより、再検査を行う意味を明確にしている。

【００２４】そして、第１、第２の検査装置において、
検査対象となる被検査物をロット単位で行うようにし、
ロット単位での不良を判定するようにしている。そのた
め、不良発生の原因がロット単位の製造工程に存在する
かどうかを推測できるようになり、不良発生を低下させ
るための対策がしやすくなる。

【００２５】このように、本発明によれば、従来のよう
に無条件に再検査を行うといった検査の無駄を省くこと
ができるので、生産効率の向上に貢献できるようにな
る。

【００２６】また、本発明では、カウンタの積算動作を
適正に管理することができるので、カウンタの積算値の
精度向上に貢献できるようになる。

【００２７】

【実施例】以下、本発明の詳細を図１ないし図４に示す
実施例に基づいて説明する。図１ないし図３は本発明の
一実施例にかかり、図１は、検査装置の概略構成を示す
ブロック図、図２は、検査の流れを示すフローチャー
ト、図３は、テストハンドラの動作説明に用いるフロー
チャート、図４は、テスタの動作説明に用いるフローチ
ャートである。

【００２８】図例の検査装置Ａは、例えばリモートコン
トローラ用受光ユニットなどの電気特性に関して項目別
に検査するもので、テストハンドラ１とテスタ２とを具
備している。なお、検査対象は、前述したものに限定さ
れない。

【００２９】ここでの実施例において、テストハンドラ
１およびテスタ２の基本構成は従来例と同じであり、従
来例と異なる点は、主としてテストハンドラ１およびテ
スタ２の各コントローラ１５，２４の制御シーケンスの
内容である。本実施例での制御シーケンスは、不良とな
った被検査物の再検査を必要に応じて行わせるようにな
っているとともに、良品、不良品を積算するカウンタの
積算動作を適正に管理するようになっている。

【００３０】テストハンドラ１は、その近傍に用意され
る被検査物３を所定の検査位置にセットするとともに、
セットされた被検査物３の電極（図示、符号省略）とテ
スタ２に接続されるコンタクトピン１１とをコンタクト
させる駆動ユニット１２と、良品・不良品の数を積算す
るカウンタ１３と、検査開始・検査停止の指定や検査の
自動処理の指定などを行うための操作ユニット１４と、
図３のフローチャートに示す制御シーケンスを実行する
コントローラ１５とを備えている。

【００３１】テスタ２は、コンタクトピン１１に対する
信号供給および被検査物３から出力される電気信号を受
ける測定ユニット２１と、良品の数や検査項目別の不良
の数を積算するカウンタ２２と、検査する項目の指定な
どを行うための操作ユニット２３と、図４のフローチャ
ートに示す制御シーケンスを実行するコントローラ２４
とを備えている。

【００３２】このような検査装置Ａの検査の流れを図２
に示して簡単に説明する。検査が開始されると、テス
トハンドラ１は被検査物３のセット、コンタクトの準備
を行う。この準備が完了すると、テストハンドラ１か
らテスタ２へテストスタート信号を出力する。テスタ２
がテストスタート信号を受け取ると、テスタ２は、初
期化（前回の良否判定結果や再検査中などの出力のキャ
ンセル）を行ってから、検査を実行する。この検査の
終了に伴い、テスタ２は、検査結果から複数の検査項
目ごとに良否判定を行うとともに、この検査項目ごと
の良否の有無に基づいて再検査の要否を判定し、前記
良否判定結果（良品信号または不良品信号）と再検査要
否判定結果（再検査要求信号）とテストエンド信号をテ
ストハンドラ１へ出力する。テストハンドラ１が良否結
果、再検査要求結果およびテストエンド信号を受け取る
と、テストハンドラ１は、次の被検査物３の検査の準
備または不良とされた被検査物３の再検査の準備を行
う。

【００３３】このような検査に伴うテストハンドラ１お
よびテスタ２の各コントローラ１５，２４の動作を図３
および図４に示して説明する。

【００３４】〔テストハンドラ〕まず、用意された被検
査物３を駆動ユニット１２で所定の検査位置にセットす
る（ステップ１）とともに、セットされた被検査物３の
電極とコンタクトピン１１とをコンタクトさせる処理を
実行する（ステップ２）。このコンタクト処理が終わっ
てから（ステップ３）、テストスタート信号を出力する
（ステップ４）。

【００３５】この後、テスタ２から出力される検査結果
の良否判定結果の入力を待ち（ステップ５）、入力され
ると、再検査中信号をキャンセルしてから（ステップ
６）、入力された判定結果が「良品信号」か「不良品信
号」かを判定（ステップ７）する。良品信号の場合に
は、カウンタ１３において良品の数をカウントアップし
（ステップ８）、次の被検査物３の検査の準備に移らせ
るためにステップ１に戻るが、不良品信号の場合には、
テスタ２から再検査が要求されているか否かを判定する
（ステップ９）。ここで、再検査が要求されている場合
には、再検査中信号をテスタ２へ出力してから（ステッ
プ１０）、不良とされた被検査物３の再検査の準備を行
うために、ステップ２に戻るが、再検査が要求されてい
ない場合には、カウンタ１３において不良品の数をカウ
ントアップし（ステップ１１）、次の被検査物３の検査
の準備に移らせるためにステップ１に戻る。

【００３６】〔テスタ〕テストハンドラ１から出力され
るテストスタート信号の入力を待ち（ステップ２１）、
入力されると、初期化（前回の良否判定結果や再検査要
求などの出力のキャンセル）を行ってから（ステップ２
２）、測定ユニット２１を介して検査を実行させる（ス
テップ２３）。この検査が終了すると、項目別の検査結
果から良品または不良品を判定する（ステップ２４）。
ここでの判定は、複数の項目のうち一つの項目でも不良
があると、不良品と判定するようになっている。ここ
で、良品信号の場合には、カウンタ２２において良品の
数をカウントアップするとともに（ステップ２５）、良
品信号をテストハンドラ１へ出力してから（ステップ２
６）、テストエンド信号をテストハンドラ１へ出力して
（ステップ２７）、終了する。一方、不良品信号の場合
には、下記するステップ２８〜３２の処理を行う。

【００３７】つまり、ステップ２８では、前述のステッ
プ２４の判定に用いた項目別の検査結果に基づいて、被
検査物３の電極とテストハンドラ１のコンタクトピン１
１とのコンタクト不良が原因となる検査項目の不良の有
無を判定する。ここで、無の場合には、再検査は不要で
あるので、カウンタ２２において不良に関する項目をカ
ウントアップする（ステップ２９）とともに、不良品信
号をテストハンドラ１へ出力してから（ステップ３
０）、ステップ２７へ移る。一方、有の場合には、再検
査が必要であるので、現在の検査が初回であるか再検査
であるかを判定する（ステップ３１）。ここで、初回の
検査である場合には、不良とされた被検査物３のコンタ
クト処理をし直して再検査を行うために、不良品信号お
よび再検査要求信号をテストハンドラ１へ出力してから
（ステップ３２）、ステップ２７へ移るが、再検査であ
る場合には、ステップ２９へ移る。

【００３８】このように、この実施例では、テスタ２が
検査結果に応じて、テストハンドラ１で再検査を行わせ
るか否かの指令を与えており、従来のように不良品の場
合に無条件に再検査を行わせるようにはしていない。つ
まり、この実施例では、特に被検査物３の電極とテスト
ハンドラ１のコンタクトピン１１とのコンタクト不良が
原因となる検査項目の不良が有るときのみ、不良とされ
た被検査物３についてのコンタクト処理をし直して再検
査を行うようにするが、コンタクト不良が原因とならな
い検査項目で不良が有っても、再検査せずに不良品とし
て次の被検査物３の検査に移るようにしている。したが
って、従来のような検査の無駄を省くことができるの
で、生産効率の向上に貢献できるようになる。

【００３９】また、この実施例では、初回の検査で不良
となりかつ再検査が必要とされたときには、初回の検査
で不良となった項目についてカウンタ２２でカウントア
ップさせないようにし、再検査で不良となった項目につ
いてカウンタ２２でカウントアップさせるようにしてい
るから、従来のように同一の被検査物３について良品、
不良品の数をダブルカウントすることがなくなり、カウ
ンタ２２の積算値の精度が向上することになる。

【００４０】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、種々な応用や変形が考えられる。例え
ば、被検査物３をロット単位で検査する場合において、
このロット全体の検査終了時に、テスタ２のコントロー
ラ２４で、テスタ２のカウンタ２２による不良項目の積
算値に基づいて、ロット全体での不良統計をとることに
より、ロット全体の良否を判定するようにしてもよい。
このようにロット全体の良否を判定すれば、不良発生の
原因がロット単位の製造工程に存在するかどうかを推測
できるようになり、不良発生を低下させるための対策が
しやすくなる。

【００４１】

【発明の効果】本発明では、初回の検査で不良となった
ときに従来のように無条件に再検査を行うといった検査
の無駄を省くことができるので、生産効率の向上に貢献
できるようになる。

【００４２】また、本発明では、良品、不良品の数など
を積算するカウンタの積算動作を適正に管理することが
できるので、カウンタの積算値の精度向上に貢献できる
ようになる。

【００４３】さらに、本発明では、検査対象となる被検
査物をロット単位で行う場合に、ロット全体の検査が終
了したときに、ロット単位での不良を判定することがで
きるから、不良発生の原因がロット単位の製造工程に存
在するかどうかを推測できるようになり、不良発生を低
下させるための対策がしやすくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の検査装置の概略構成を示す
ブロック図。

【図２】検査の流れを示すフローチャート。

【図３】同装置のテストハンドラの動作説明に用いるフ
ローチャート。

【図４】同装置のテスタの動作説明に用いるフローチャ
ート。

【図５】従来の検査装置の概略構成を示すブロック図。

【図６】検査の流れを示すフローチャート。

【図７】同装置のテストハンドラの動作説明に用いるフ
ローチャート。

【図８】同装置のテスタの動作説明に用いるフローチャ
ート。

【符号の説明】

Ａ 検査装置 １ テストハンドラ １１ コンタクトピン １２ 駆動ユニット １３ カウンタ １５ コントローラ ２ テスタ ２１ 測定ユニット ２２ カウンタ ２４ コントローラ ３ 被検査物

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査位置に電気製品などの被検査物をセ
   ットするとともに被検査物の電極に対して信号供給用の
   電極をコンタクトさせるテストハンドラと、被検査物の
   電気特性を検査するとともにこの検査結果に基づいて良
   否を判定するテスタとを具備する検査装置であって、 前記テスタは、前記良否判定結果の否の場合に前記検査
   結果に応じて再検査の要否を判定し、この要否判定結果
   が要の場合に不良となった被検査物について前記コンタ
   クト処理をし直させて再検査を行わせる一方、要否判定
   結果が否の場合に不良とされた被検査物を再検査せずに
   取り外して次の被検査物の検査に移らせるよう管理する
   ものである、ことを特徴とする検査装置。
2. 【請求項２】 前記テスタは、検査結果に基づいて良品
   および不良品の数を積算するカウンタを備え、かつ、初
   回の検査により不良とされた被検査物を再検査する場
   合、初回の検査の結果で前記カウンタの積算動作を行わ
   せずに、再検査の結果で前記カウンタの積算動作を行わ
   せるよう管理するものである、ことを特徴とする請求項
   １の検査装置。
3. 【請求項３】 検査位置に電気製品などの被検査物をセ
   ットするとともに被検査物の電極に対して信号供給用の
   電極をコンタクトさせるテストハンドラと、被検査物の
   電気特性を複数の検査項目別に検査するとともに検査項
   目別の検査結果に基づいてそれぞれ良否を判定するテス
   タとを具備する検査装置であって、 前記テスタが、前記良否判定結果に基づいて所要の検査
   項目での否の有無を判定し、有の場合に不良とされた被
   検査物についてのコンタクト処理をし直させて再検査を
   行わせる一方、無の場合に不良とされた被検査物を再検
   査せずに取り外して次の被検査物の検査に移らせるよう
   管理するものである、ことを特徴とする検査装置。
4. 【請求項４】 前記テスタは、検査結果に基づいて良品
   の数および検査項目別に不良の数を積算するカウンタを
   備え、かつ、初回の検査により不良とされた被検査物を
   再検査する場合、初回の検査の結果で前記カウンタの積
   算動作を行わせずに、再検査の結果で前記カウンタの積
   算動作を行わせるよう管理するものである、ことを特徴
   とする請求項３の検査装置。
5. 【請求項５】 前記テストハンドラは、複数の被検査物
   を有するロットの中から検査対象の被検査物を個別に取
   り出すものであり、前記テスタは、ロット全体の検査が
   終了したときに、前記カウンタの積算値に基づいてロッ
   ト全体を不良とするか否かを判定するものである、こと
   を特徴とする請求項１ないし４のうちのいずれかの検査
   装置。