JP2001264385A - Ic自動搬送装置及びic自動検査方法 - Google Patents

Ic自動搬送装置及びic自動検査方法

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JP2001264385A
JP2001264385A JP2000081473A JP2000081473A JP2001264385A JP 2001264385 A JP2001264385 A JP 2001264385A JP 2000081473 A JP2000081473 A JP 2000081473A JP 2000081473 A JP2000081473 A JP 2000081473A JP 2001264385 A JP2001264385 A JP 2001264385A
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JP
Japan
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automatic
defective
inspection
inspected
standard sample
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JP2000081473A
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English (en)
Inventor
Takahito Inoue
貴人 井上
Masatoshi Umaha
正俊 馬把
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Engineering Corp
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Renesas Semiconductor Engineering Corp
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Engineering Corp, Mitsubishi Electric Corp filed Critical Renesas Semiconductor Engineering Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 不良品発生時に、被検査対象ICそのものが
不良であるのか、あるいは測定部の異常による不良であ
るのかを自動的に検証できるようにする。 【解決手段】 不良品発生時に、良品であることが確認
済である標準サンプルIC9を自動的に検査し、不良と
判定されれば、コンタクト部2の異常であると判断し、
検査を停止し、アラームを出す。良品と判定されれば、
検査を続行するようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、IC自動搬送装
置に関するものであり、特に被検査対象ICを良品と不
良品とに選別する検査工程において、不良発生時に測定
部の異常によるものであるかどうかを識別し、検査の続
行、停止の判断を行うことを可能としたIC自動搬送装
置、及びその自動検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】被検査対象ICを良品と不良品とに選別
する検査工程で使用されるIC自動搬送装置は、従来大
きく分けると3つの部分から構成されている。即ち、被
検査対象ICを供給するローダー部、検査装置と被検査
対象ICとの間で電気的導通を取り検査を実施するコン
タクト部、及び検査済の被検査対象ICを良品と不良品
とに分別するアンロード部から構成されるものである。
【0003】図3は従来のIC自動搬送装置を示す平面
図であり、図において、1はローダー部、2はコンタク
ト部、3はアンロード部であり、4は検査前の被検査対
象IC、5は検査中の被検査対象IC、6は検査にて良
品と判定された被検査対象IC、7は検査にて不良と判
定された被検査対象IC、A,Bは被検査対象ICを搬
送する経路である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のIC自動搬送装
置は以上のように構成されていたので、IC自動搬送装
置による連続した検査においては、異物の付着等によ
り、コンタクト部の電気的導通が劣化するなど、被検査
対象ICは不良でないものの、測定部の経時変化による
異常発生により、検査の結果不良と判定されることがあ
った。従って、不良が大量に発生した場合等、被検査対
象ICの母集団そのものが、大量に不良を含んでいるも
のなのか、測定部の異常によるものなのか区別が出来な
い為、検査を中断し、測定部の異常であるかどうかを検
証、判断する作業が必要となるという問題が発生してい
た。
【0005】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたものであり、不良発生時に被検査対象IC
そのものが不良であるのか、測定部の異常による不良で
あるのかを自動的に検証、判断することができるIC自
動搬送装置、及びその自動検査方法を提供することを目
的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
るIC自動搬送装置は、ICを供給するローダー部と、
ICの検査を実施する測定部と、検査済のICを良品と
不良品とに分別するアンロード部とから構成されるもの
であって、良品であることが確認済である標準サンプル
ICを保持する機構を設け、不良発生時に自動的に標準
サンプルICを取り出し、検査することにより、ICそ
のものが不良であるか、測定部の異常による不良である
かを自動的に判断する手段を備えたものである。
【0007】この発明の請求項2に係るIC自動検査方
法は、予め指定した回数連続してICの不良が発生した
場合、又は予め指定した検査回数測定した場合に標準サ
ンプルICを検査するものである。
【0008】
【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、この発明の
一実施形態を図に基づいて説明する。図1は、この発明
の一実施形態による標準サンプルICを保持する機能を
有するIC自動搬送装置を示す平面図であり、図におい
て、1はローダー部、2は測定部であるコンタクト部、
3はアンロード部であり、4は標準サンプルIC格納
部、5は検査前の被検査対象IC、6は検査中である被
検査対象IC、7は検査にて良品と判定された被検査対
象IC、8は検査にて不良と判定された被検査対象I
C、9は良品であることが確認済である標準サンプルI
C、Cは標準サンプルIC格納部4より標準サンプルI
C9を取り出すときの標準サンプルIC9の搬送経路、
Dは検査にて良品と判定された被検査対象IC7を標準
サンプルICとして使用する時の、被検査対象IC7の
搬送経路である。
【0009】不良発生時において、あらかじめ良品であ
ることが確認済である標準サンプルIC9を標準サンプ
ルIC格納部4より取り出し、自動的に検査することに
より、被検査対象ICそのものが不良であるか、測定部
の異常による不良であるかを自動的に判断することが可
能となる。標準サンプルIC9は、IC自動搬送装置の
外部より標準サンプルIC格納部4に格納しても良い
し、検査にて良品と判定された被検査対象IC7より任
意のものを取り出し、格納しても良い。
【0010】実施の形態2.図2は本発明によるIC自
動搬送装置を用いて、指定した回数連続して不良が発生
した場合、又は指定した検査回数測定した場合に標準サ
ンプルICを検査するフローチャートを示している。図
において、Nは連続不良発生回数、N1は指定した連続
不良発生回数、Mは連続検査回数、M1は指定した連続
検査回数である。
【0011】まず初期設定として、連続不良発生回数N
1及び連続検査回数M1を設定する(STEP10
0)。未検査ICが存在すれば、被検査対象IC5をコ
ンタクト部2へ搬送し、検査を行なう(STEP10
1,102,103)。検査の結果、被検査対象IC5
が不良であると判断されると、当該ICをアンロード部
3へ搬送し、連続不良発生回数N及び連続検査回数Mを
それぞれ1ずつカウントする(STEP104,10
5)。又、検査の結果、被検査対象IC5が良品である
と判断されると、当該ICをアンロード部3へ搬送し、
連続検査回数Mを1つカウントすると共に、連続不良発
生回数Nをクリアする。
【0012】上記STEP105,108でそれぞれ標
準サンプルIC9を検査する条件(N=N1,M=M
1)を満たした時(STEP109,110)、標準サ
ンプルIC9を取り出し、検査を実施する(STEP1
11,112)。検査の結果、標準サンプルIC9が不
良と判定されれば、測定部の異常であると判断し、検査
を停止し、アラームを出す(STEP113,11
4)。また、検査の結果、標準サンプルIC9が良品と
判定されれば、検査を続行する機能を有することが判明
し、標準サンプルIC9を標準サンプルIC格納部4に
格納する(STEP115)。ここで、初期設定にて指
定される連続不良発生回数N1及び連続検査回数M1
は、0を設定することにより、それぞれ未設定とするこ
とができる(STEP116)。
【0013】上記のようにして、被検査対象ICそのも
のが不良であるのか、あるいは測定部の異常により不良
であると判定されたのかを自動的に判定できるため、測
定部の異常による不良以外は検査を中断することなく、
検査を続行できる。
【0014】
【発明の効果】この発明の請求項1に係るIC自動搬送
装置によれば、ICを供給するローダー部と、ICの検
査を実施する測定部と、検査済のICを良品と不良品と
に分別するアンロード部とから構成されるものであっ
て、良品であることが確認済である標準サンプルICを
保持する機構を設け、不良発生時に自動的に標準サンプ
ルICを取り出し、検査することにより、ICそのもの
が不良であるか、測定部の異常による不良であるかを自
動的に判断する手段を備えたので、測定部の異常による
不良以外は検査を中断することなく、続行することがで
きる。
【0015】この発明の請求項2に係るIC自動検査方
法によれば、予め指定した回数連続してICの不良が発
生した場合、又は予め指定した検査回数測定した場合に
標準サンプルICを検査するようにしたので、効率的に
検査を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるIC自動搬送
装置を示す平面図である。
【図2】 動作を示すフローチャートである。
【図3】 従来のIC自動搬送装置を示す平面図であ
る。
【符号の説明】
1 ローダー部、3 アンロード部、9 標準サンプル
IC。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬把 正俊 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 2G003 AA07 AF05 AF06 AG11 AH03 AH04 AH06

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ICを供給するローダー部と、上記IC
    の検査を実施する測定部と、検査済のICを良品と不良
    品とに分別するアンロード部とから構成されるIC自動
    搬送装置であって、良品であることが確認済である標準
    サンプルICを保持する機構を設け、不良発生時に自動
    的に上記標準サンプルICを取り出し、検査することに
    より、ICそのものが不良であるか、上記測定部の異常
    による不良であるかを自動的に判断する手段を備えたこ
    とを特徴とするIC自動搬送装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のIC自動搬送装置による
    IC自動検査方法であって、予め指定した回数連続して
    ICの不良が発生した場合、又は予め指定した検査回数
    測定した場合に標準サンプルICを検査することを特徴
    とするIC自動検査方法。
JP2000081473A 2000-03-23 2000-03-23 Ic自動搬送装置及びic自動検査方法 Pending JP2001264385A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013044549A (ja) * 2011-08-22 2013-03-04 Shibuya Kogyo Co Ltd 物品分類装置およびその運転方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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