JPH08193974A - 酸素濃度検出素子 - Google Patents
酸素濃度検出素子Info
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- JPH08193974A JPH08193974A JP7026069A JP2606995A JPH08193974A JP H08193974 A JPH08193974 A JP H08193974A JP 7026069 A JP7026069 A JP 7026069A JP 2606995 A JP2606995 A JP 2606995A JP H08193974 A JPH08193974 A JP H08193974A
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Abstract
ると共に,該拡散抵抗部の外側に形成されるトラップ層
の脱落を回避することができる酸素濃度検出素子を提供
すること。 【構成】 固体電解質10と該固体電解質10に設けた
基準電極16及び被測定ガス側電極13を備え,かつ上
記被測定ガス側電極13の外側に被測定ガスの通過に対
して拡散抵抗を付与する拡散抵抗部14を有する。上記
拡散抵抗部14には少なくとも上記被測定ガス側電極の
部位に対応する位置に凹部11を設け,該凹部11には
被測定ガス中の被毒物を除去するための通気性トラップ
層12を設ける。
Description
比制御等に使用される限界電流式酸素濃度検出器に関す
る。
は,特開昭60−15552号公報に記載されたものが
ある。これは,固体電解質の被測定ガス側電極の外側に
拡散抵抗部を形成し,該拡散抵抗部の拡散抵抗を調整す
るために該拡散抵抗部を切り落として該拡散抵抗部の厚
みを抑制するものである。一方,上記公報には開示され
ていないが,上記拡散抵抗部の外側に,被測定ガス中の
被毒物を除去するための通気性のトラップ層を形成する
必要がある。
面は,上記の如く切り落としであるために平坦であり,
拡散抵抗部の外側に上記トラップ層を形成しても該トラ
ップ層と拡散抵抗部との接合性が悪く,従って劣悪な条
件下では該トラップ層が拡散抵抗部から剥がれて脱落す
る可能性がある。
のであって,拡散抵抗部の拡散抵抗を調整することがで
きるとともに,且つ該拡散抵抗部の外側に形成されるト
ラップ層の脱落を回避することができる酸素濃度検出素
子を提供しようとするものである。
質に設けた基準電極及び被測定ガス側電極とを備え,か
つ上記被測定ガス側電極の外側には,被測定ガスの通過
に対して拡散抵抗を付与する拡散抵抗部を有する限界電
流式酸素濃度検出素子において,上記拡散抵抗部には少
なくとも上記被測定ガス側電極の部位に対応する位置に
凹部を設け,該凹部には被測定ガス中の被毒物を除去す
るための通気性トラップ層を設けてなることを特徴とす
る酸素濃度検出素子にある。
る傾斜壁面を有することが好ましい。これにより,トラ
ップ層と凹部との接触面の面積が増大し,また上記凹部
におけるくさび効果により,トラップ層と凹部との結合
が強固となる。よって,トラップ層の剥離,脱落等をよ
り防止することができる。
以外の拡散抵抗部の表面にも設けても構わない。これに
より,凹部のみにトラップ層を形成する場合に比べ,よ
りトラップ層の厚みを厚く形成出来,トラップ機能のア
ップがはかられるという効果を得る。
とが好ましい。この場合には,より厚いトラップ層を容
易に形成することができる。また,上記複数のトラップ
層はそれぞれ気孔率が同一であっても,異なってもよ
い。気孔率が異なる場合には,最も外層となるトラップ
層の気孔率を一番大きく,最も内層となるところを小さ
くすることが好ましい。これにより,トラップ層が目詰
まりすることなく,より効率良く被毒物をトラップする
事ができる。
3 ,MgO・Al2 O3 等のセラミックよりなる多孔質
層である。又は,上記拡散抵抗部は,直径0.1〜0.
3mm程度の細孔とすることもある(後述の図10,図
13参照)。
同一平面部に距離を隔てて基準電極及び被測定ガス側電
極を設け,該基準電極の表面上を樋状の基準ガス導入ダ
クトにて覆い,これにより被測定ガスから基準電極を隔
離するようにしてもよい。
しては,例えば次のものがある。固体電解質と該固体電
解質の一方側に設けた基準電極と固体電解質の他方側に
設けた被測定ガス側電極とよりなり,かつ上記被測定ガ
ス側電極の外側に設けた拡散抵抗部を有する限界電流式
酸素濃度検出素子を製造するに当たり,上記拡散抵抗部
の表面に,切削加工等により適当な深さまで凹部を設
け,次いで該凹部に被測定ガス中の被毒物を除去するた
めのトラップ層を設ける方法がある。
切削深さ(ΔL)は,後述の図2に示すごとく,予め,
元の拡散抵抗部の厚さ(L0 )を測定し,必要とされる
拡散抵抗部の厚み(L1 )を上記厚み(L0 )より減ず
ることにより決定する。
の厚さ(L0 )と,酸素濃度検出素子における限界電流
(I0 )を測定し,目標とする限界電流(I1 )と合わ
せて,以下の計算式により決定する。 ΔL=L0 −L1 =L0 {1−(L1 /L0 )} =L0 {1−(I1 /I0 )} 上記製造方法によれば,前述した優れた酸素濃度検出素
子を得ることができる。
は,拡散抵抗部に凹部を設けてなり,上記凹部に通気性
トラップ層を設けてある。このため,凹部における側壁
がトラップ層との接触面となり,両者の接触面の面積が
凹部のないものに比べ増えるため,トラップ層の剥離,
脱落をより効果的に防止することができる。このため,
トラップ層を厚くする事も容易である。
とにより,拡散抵抗部の拡散抵抗を容易に調整すること
ができる。
部の拡散抵抗を調整することができると共に,該拡散抵
抗部の外側に形成されるトラップ層の脱落を回避するこ
とができる酸素濃度検出素子を提供することができる。
器における酸素濃度検出素子1につき,図1,図2を用
いて説明する。図1に示すごとく,本例の酸素濃度検出
素子1は,固体電解質10と該固体電解質10の内側面
106に設けた基準電極16と固体電解質10の外側面
103に設けた被測定ガス側電極13とよりなり,かつ
上記被測定ガス側電極13の外側には被測定ガスが通過
可能で,かつそのガスの拡散に対し所定の抵抗,即ち,
拡散抵抗を有する拡散抵抗部14が形成してある。
被測定ガス側電極13に対面する位置に凹部11を設
け,該凹部11には被測定ガス中の被毒物を除去するた
めの通気性トラップ層12を設ける。上記トラップ層1
2と凹部11との接触面は,凹部11の底部112と側
壁111とがある。なお,上記拡散抵抗部14は被測定
ガスを被測定ガス側電極13に導くために多孔質層より
なる。又,トラップ層12は拡散抵抗部14に比べて通
気性が高くなるよう設定してある。
が閉塞した形状,例えばコップ型であり,その内部に基
準ガス室160(大気室)を有している。そして,上記
固体電解質10の下端部側の一部の外周囲全体を取り巻
く帯状部109以外の外側面103は,電気絶縁層15
により覆われている。そして,上記帯状部109と電気
絶縁層15とを共に被覆するように白金膜が設けてあ
り,帯状部109に設けた白金膜が被測定ガス側電極1
3となる。なお,白金膜の他の部分(帯状部109を除
く部分)は外部と導通をとるためのリード部139であ
る。上記凹部11は上記被測定ガス側電極13と対面す
るよう設けてある。
たっては,まず,ZrO2 ,Y2 O3 等を含有する原料
粉末を成形,次いで焼成し,固体電解質10を得る。次
に,上記固体電解質10において帯状部109を除いた
外側面103にプラズマ溶射等により電気絶縁層15を
設ける。次に,化学メッキにより,上記固体電解質10
の内側面106,絶縁層15の表面,帯状部109に白
金膜を設ける。なお,内側面106に設けた白金膜は基
準電極16,帯状部109に設けた白金膜は被測定ガス
側電極13,電気絶縁層15に設けた白金膜はリード部
139となる。
部139の表面にMgO・Al2 O3 をプラズマ溶射す
ることにより拡散抵抗部14を設ける。次に,上記拡散
抵抗部14の表面を,旋盤などの工作機械により切削加
工し,環状の凹部11を設ける。
工するに当たっては,凹部11の深さは,予め,もとの
拡散抵抗部の厚さ(L0 )を測定し,必要とされる拡散
抵抗部14の厚み(L1 )を上記厚み(L0 )より減ず
ることにより決定する。最後に,上記凹部11に,α−
アルミナ,ムライト,γ−アルミナ,MgO・Al2 O
3 スピネル等の熱に安定なセラミック粒子をディッピン
グ法やはけ塗り等によりトラップ層12を設け,上記酸
素濃度検出素子1を得る。
る。本例の酸素濃度検出素子1においては,拡散抵抗部
14に凹部11を設けてなり,上記凹部11にトラップ
層12を設けてある。このため,本例の酸素濃度検出素
子1は設計の自由度に優れている。つまり,凹部11を
被測定ガス側電極13と対面する位置に設ける事によ
り,トラップ層12を最も必要とする部分に限定して設
ける事ができる。よって,上記トラップ層12の材料の
使用量を最小量とすることができる。
より,トラップ層12の素子表面の拡散抵抗部14への
接触面の面積が増大する。このため,トラップ層12の
剥離,脱落を効果的に防止することができる。また,ト
ラップ層12を厚くする事も容易である。また,上記凹
部11の深さを適宜選択することにより,拡散抵抗部1
4の拡散抵抗を容易に調整することができる。
抵抗を調整することができると共に,該拡散抵抗部の外
側に形成されるトラップ層の脱落を回避することができ
る酸素濃度検出素子を提供することができる。
流式であり,固体電解質10は酸素イオン伝導性を有す
る。素子の内外面に設けた電極間に電圧を印加すると,
被測定ガス(排気ガス)中の酸素分子は,トラップ層1
2,拡散抵抗部14を経て,被測定ガス側電極13に至
り,該被測定ガス側電極13にて電子の供給を受け酸素
イオンとなる。上記酸素イオンは固体電解質1の内部を
拡散しつつ伝導し,基準電極16にて電子を放出し,酸
素分子に戻る。
極13と基準電極16との間にかかる電圧を徐々に高く
すると,最終的には,電流が変化しなくなる。この電流
が限界電流であり,理論的には以下に示す式によって算
出される。 I1 ≒K・(SB/L1 )・P
被測定ガス側電極13の面積,Bは拡散抵抗部14の気
孔率,L1 は拡散抵抗部14の厚さ,Pは被測定ガスに
おける酸素の分圧である。上記の式から,限界電流は被
測定ガス側電極13の面積,拡散抵抗部14の厚み,気
孔率等の製造誤差の影響を受けやすい因子に依存してい
ることがわかる。そして,上記気孔率の制御は困難であ
る。
子1の出力である限界電流のバラツキ低減,また被測定
ガス側電極13及び拡散抵抗部14の少なくとも前記電
極13を覆う拡散抵抗部141の耐久性の向上をも図ろ
うとするものである。即ち,限界電流のバラツキ低減を
達成するために,該拡散抵抗部14の表面に凹部11を
設けて,拡散抵抗部14の厚みを調整するのである。
抗部14の少なくとも電極13を覆う拡散抵抗部141
の耐久性を向上させるために,上記凹部11を利用し,
ここにトラップ層12を設ける。これにより,被毒物よ
り最も保護を必要とする被測定ガス側電極13及び少な
くとも左記電極13を覆う拡散抵抗部141の外方に,
容易かつ確実にトラップ層12を設けることができる。
る凹部11が,その内方に向かって拡開する傾斜壁面1
13を有する例である。上記凹部11は拡散抵抗部14
の表面を切削して設けてあり,かつ凹部11には被測定
ガス中の被毒物を除去するためのトラップ層12を設け
てある。上記トラップ層12は,凹部11の底面112
及び傾斜壁面113において接触している。その他は,
実施例1と同様である。
1は,内方に向かって拡開する傾斜壁面113を有して
いる。そのため,上記凹部11におけるくさび効果によ
り,トラップ層12の剥離,脱落等をより効果的に防止
することができる。その他,実施例1と同様の作用効果
を有する。
るトラップ層12,120を凹部11及び凹部以外の拡
散抵抗部14の表面に設けた例である。トラップ層12
は,拡散抵抗部14に設けられた凹部11に設けてあ
る。また,トラップ層120は拡散抵抗部14の表面で
あって,酸素濃度検出素子1の下端部全体を被覆するよ
うに,設けてある。なお,上記トラップ層12と120
は一体的に形成されている。その他は,実施例1と同様
である。
にトラップ層120の厚みを厚く形成出来,トラップ性
能のアップが図られる。その他,実施例1と同様の作用
効果を有する。
例示したが,本例は,図5〜図9に示すごとく,積層型
の酸素濃度検出素子を示すものである。
度検出素子2は,ヒータ28を内蔵したアルミナ基板2
7が,板状の固体電解質20の内側面106に積層成形
してあり,該固体電解質20とアルミナ基板27とが基
準ガス室160を形成している。上記固体電解質20の
内側面106であって,基準ガス室160に面した部分
には基準電極16が設けてある。
には,被測定ガス側電極13が設けてあり,該被測定ガ
ス側電極13の表面には,拡散抵抗部14が設けてあ
る。なお,上記拡散抵抗部14は多孔質層よりなる。そ
して,上記拡散抵抗部14には,少なくとも上記被測定
ガス側電極13に対面する位置141に,凹部11が設
けてあり,該凹部11にはトラップ層12が設けてあ
る。
の形状をいくつか示す。図5,図7に示す形状は,凹部
11は拡散抵抗部14の表面に設けた四角形の窪みであ
る。また,図6に示す形状は,前述した実施例3と同
様,凹部11にトラップ層12,凹部以外の拡散抵抗部
14の表面にトラップ層120を設ける。また,図8に
示す形状は,凹部11は拡散抵抗部14の表面に設けた
長方形状の溝である。また,図9に示す形状は,前述し
た実施例2と同様,凹部11がその内方に向かって拡開
する傾斜壁面113を有する。その他は実施例1と同様
である。
2は,凹部11とトラップ層12との接触面がより大き
くなり両者の間は剥がれにくい。その他,実施例1と同
様の作用効果を有する。
度検出素子であって,拡散抵抗部として拡散穴を有して
いる例である。即ち,図10に示すごとく,本例の酸素
濃度検出素子3は,4枚のセラミック板301,30
2,303,304と該セラミック板301,302,
303,304と同形の板状の固体電解質30とを一体
に積層することにより構成されている。
0及びこれに連通する貫通細長溝161が設けてある。
そして,上記固体電解質30は,上記溝160に対面す
る内側面106に基準電極16,後述する貫通矩形溝1
30に対面する外側面103に被測定ガス側電極13が
設けてある。
を取り囲むようにヒータ38を設けてある。また,セラ
ミック板302には,上記溝130より,セラミック板
302の一方の端部へと伸びる貫通細長溝340が設け
てある。上記溝340はセラミック板302の両面に,
上述の固体電解質30とセラミック板303を積層する
ことにより,拡散抵抗部として機能する細孔となる。
2,303,304及び固体電解質30を一体的に積層
する。これにより,板303,302,及び固体電解質
30によって溝130の部分が被測定ガス室となる。
又,固体電解質30,板301,304によって溝16
0の部分が基準ガス室となる。尚,溝161は大気導入
路となる。そして,図11に示すごとく,上記酸素濃度
検出素子3の端部において凹部11を設け,該凹部11
にはトラップ層12を設けてある。その他は実施例1と
同様である。
トラップ層12との接触面がより大きくなり,両者の間
は,剥がれにくい。しかも,被測定ガスとの接触も,3
方向の面の広い範囲とすることができる。その他,実施
例1と同様の作用効果を有する。
解質10とをセラミックハウジング40内に分離設置し
た酸素濃度検出素子4を示すものである。図12に示す
ごとく,上記酸素濃度検出素子4におけるセラミックハ
ウジング40は被測定ガス室130を有している。上記
被測定ガス室130には,基準電極16と,被測定ガス
側電極13とを有するコップ型の固体電解質10を挿入
してある。
ようにセラミックハウジング40の内部に,拡散抵抗部
14を設ける。上記拡散抵抗部14には凹部11が形成
され,該凹部11にはトラップ層12が設けてある。上
記拡散抵抗部14は多孔質層よりなる。なお,上記セラ
ミックハウジング40の外方にはヒータ48が設けられ
ている。
抵抗部14とが別体で形成されるため凹部11の形成時
に素子を破損する心配がない。その他,実施例1と同様
の作用効果を有する。
度検出素子であって,拡散抵抗部を細孔49とした例で
ある。上記酸素濃度検出素子4におけるセラミックハウ
ジング401は,被測定ガス室130と,該被測定ガス
室130より外部へ導通する細孔49を有している。そ
して,上記セラミックハウジング401において,上記
細孔49が外部に導通する端面には凹部11が設けてあ
り,該凹部11にはトラップ層12が設けてある。その
他は実施例1と同様である。
同様に素子を破損させる心配もなく,また細孔49の寸
法確認が容易に行える。その他,実施例1と同様の作用
効果を有する。
電解質10よりなる酸素濃度検出素子1であって,複数
の多孔質層からなるトラップ層129を設けた例であ
る。図14に示すごとく,トラップ層129は二層構造
であり,気孔率20〜30%の多孔質層125の表面
に,気孔率40〜50%の多孔質層126を設けた。
29は二層構造であり,気孔率20〜30%の多孔質層
125を凹部11に設け,該多孔質層125と拡散抵抗
部14との表面に気孔率40〜50%の多孔質層126
を設けた。その他は実施例1と同様である。
ラップ層129が二層構造となっている。このため,ト
ラップ層が単層である場合よりも,より厚いトラップ層
を形成することができる。また,外層となる多孔質層1
26の気孔率が大きく,内層となる多孔質層125の気
孔率が小さい。よって,被毒物のうち粒径の大きなもの
は多孔質層125においてトラップし,より粒径の小さ
いものは多孔質層126においてトラップすることがで
きる。
りすることなく,より効率良く被毒物をトラップする事
ができる。その他,実施例1と同様の作用効果を有す
る。
11がスリット状であるのに対し,四方を囲まれた凹所
119とした酸素濃度検出素子であり,その他の構成は
実施例5と同一である。
明図。
説明図。
明図。
明図。
明図。
面説明図。
視説明図。
視説明図。
視説明図。
展開図。
図。
説明図。
説明図。
説明図。
断面説明図。
斜視図。
Claims (7)
- 【請求項1】 固体電解質と該固体電解質に設けた基準
電極及び被測定ガス側電極とを備え,かつ上記被測定ガ
ス側電極の外側には,被測定ガスの通過に対して拡散抵
抗を付与する拡散抵抗部を有する限界電流式酸素濃度検
出素子において,上記拡散抵抗部には少なくとも上記被
測定ガス側電極の部位に対応する位置に凹部を設け,該
凹部には被測定ガス中の被毒物を除去するための通気性
トラップ層を設けてなることを特徴とする酸素濃度検出
素子。 - 【請求項2】 請求項1において,上記凹部は,内方に
向かって拡開する傾斜壁面を有することを特徴とする酸
素濃度検出素子。 - 【請求項3】 請求項1又は2において,上記トラップ
層は上記凹部及び凹部以外の拡散抵抗部の表面にも設け
てあることを特徴とする酸素濃度検出素子。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか一項において,
上記トラップ層は複数層形成されていることを特徴とす
る酸素濃度検出素子。 - 【請求項5】 請求項4において,上記複数のトラップ
層はそれぞれ気孔率が異なることを特徴とする酸素濃度
検出素子。 - 【請求項6】 請求項1〜5のいずれか一項において,
上記拡散抵抗部は多孔質層であることを特徴とする酸素
濃度検出素子。 - 【請求項7】 請求項1〜5のいずれか一項において,
上記拡散抵抗部は細孔であることを特徴とする酸素濃度
検出素子。
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