JP3956435B2 - 酸素センサ素子 - Google Patents
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Description
【技術分野】
本発明は,自動車エンジン等の内燃機関の排気系に設置され,該内燃機関の空燃比制御等に利用される酸素センサ素子に関する。
【0002】
【従来技術】
従来,自動車エンジンの排気系には,空燃比を検知する空燃比センサが設置され,該空燃比センサにて検知された空燃比に基づいて自動車エンジンの燃焼制御を行っている。
そして,上記空燃比センサとしては,酸素イオン導電性を有する固体電解質体よりなる酸素センサ素子を内蔵した酸素センサが使用されている。
【0003】
上記酸素センサ素子としては,例えばコップ型の固体電解質体とその内部に設けた大気室とよりなり,かつ上記固体電解質体の外側面には外側電極を,上記大気室に面する内側面には内側電極を設けてなる構造のものが知られている。
また,上記大気室には酸素センサ素子を活性化温度まで速やかに加熱するためのセラミックヒータが設けてある。
【0004】
ところで,上記酸素センサ素子にかかる外側電極の形成方法としては,貴金属粉末を有機バインダー等に分散させて作製した導電ペーストを上記固体電解質体の外側面に塗布し,その後,上記導電ペーストを焼成する方法が挙げられる。以上により貴金属粉末が焼結して,外側電極となる。
【0005】
また,上述した製造方法とは異なる方法として,いわゆる無電解メッキ,化学蒸着,物理蒸着を利用した形成方法を挙げることができる。
上記形成方法による電極を有する酸素センサ素子は大きな出力を取出すことができるため,有望視されている。特に,比較的低温域(400℃以下)で,高い出力を要求される酸素センサに好適である。
【0006】
なお,導電ペーストは通常1400〜1500℃で焼成され,一方無電解メッキは通常800〜1000℃で焼成される。従って,無電解メッキによれば触媒活性が高く,高いセンサ出力を得ることができる。(導電ペーストの焼成温度が高い理由は粒径が0.5〜1.0μm程度の白金粒子を焼結させる必要があるためである。)
【0007】
【解決しようとする課題】
しかしながら,上記無電解メッキ等を利用して作製した活性の高い外側電極には以下に示す問題点がある。
ここに,後述する図4には,酸素センサ素子にかかる固体電解質体の表面温度と酸素センサ素子の先端部からの距離との関係が示されている。
【0008】
同図より,固体電解質体の表面温度は先端部側においては略一定であるが,ある部分を境目として,ここより基端部側の温度は急激に減少することが分かる。
これは,後述の図1に示すごとく,酸素センサ素子に内蔵されたセラミックヒータにおいて,該セラミックヒータの発熱部と対面する部分の温度は高くかつ均一であるが,上記発熱部より離れた部分は温度が低くなるためである。
【0009】
そこで,上述した無電解メッキ等を使用して形成された活性の高い外側電極の出力は,同図に示すごとく(電極厚さ0.5μm及び1.5μmの双方),基端部側においても出力がペースト電極(導電ペーストにて作製された電極)より高い。しかし,活性の高い上記外側電極より得られる出力は先端部側の出力と基端部側の出力との合成出力となるが,基端部側の電極の厚みが厚いと基端部側の出力が小さいため,酸素センサ素子として機能するに充分な出力が得られないおそれがあった。
【0010】
そして,近年は酸素センサ素子の使用環境がより高温の領域へとシフトしていることから,上記問題はますます顕著となっている。
即ち,使用環境温度が低い場合に比べて,温度が高くなると先端部と基端部との温度差がより大きくなり,即ち,出力差が大きくなる。従って,基端部側の出力の影響度合いがより大きくなる。
【0011】
なお,外側電極全体の温度が高く均一となるような発熱温度の大きいセラミックヒータを使用することも考えられるが,酸素センサ全体の温度が高くなり,特に酸素センサ上部に設けたフィルタ,リード線及びヒータロー付部の耐熱温度を越えてしまうおそれがある。
【0012】
本発明は,かかる問題点に鑑み,酸素濃度をより正確に測定することができる酸素センサ素子を提供しようとするものである。
【0013】
【課題の解決手段】
請求項1の発明は,コップ型の固体電解質体と該固体電解質体の外側面に設けた先端電極と上記固体電解質体の基端部に設けた基端電極とよりなる酸素センサ素子であって,
上記先端電極は,被測定ガスに曝されるガス接触部において,その先端から該ガス接触部の長さLの80%以内の範囲の一部分に形成してなり,
かつ,上記先端電極の厚みは1.2〜3.0μmであり,
(基端電極の厚み)/(先端電極の厚み)の比は0.25〜0.8であることを特徴とする酸素センサ素子にある。
【0014】
本発明にかかる酸素センサ素子において,上記ガス接触部の長さLの80%を越えて先端電極が形成された場合には,固体電解質体の表面温度の低い部分からの出力が混じり,酸素センサ素子の測定精度が悪くなるおそれがある。
【0015】
また,上記先端電極の厚みが1.2μm未満である場合には,耐熱性が低くなるおそれがある。一方,3.0μmを越えた場合には,電極の活性が小さくなり,酸素センサ素子の出力が低下するおそれがある。なお,先端電極の厚みが厚くなると出力が低下する理由は,該先端電極の拡散係数が大きくなり,応答性が悪くなり,その結果として出力が低下する。
なお,上記先端電極のより好ましい厚みの範囲の下限は1.4μmである。また,より好ましい厚みの範囲の上限は3.0μmである。
【0016】
また,本発明にかかる酸素センサ素子は酸素濃度を測定する他,被測定ガス中の空燃比を測定する空燃比センサ素子として使用することもできる。
また,上記先端電極は,後述する図8等に示すごとく,固体電解質体に対して部分的に形成することもできる。
【0017】
また,上記酸素センサ素子は,雰囲気温度400℃においてλ(空気過剰率)=0.9(リッチ)からλ=1.1(リーン)における出力電圧を測定し,それらの差として検知されるセンサ出力が0.65V以上であることが好ましい。
これにより,実使用時の若干の劣化が伴った場合でも,良好な酸素濃度の検出精度を得ることができる。
なお,上記センサ出力の上限は固体電解質体,先端電極等の構成,使用温度雰囲気等のファクターで決まる値である。本発明にかかる酸素センサ素子の場合,0.9V程度である。
【0018】
本発明の作用につき,以下に説明する。
本発明の酸素センサ素子においては,ガス接触部の先端部側の特定範囲内に対して先端電極を設けてある。
【0019】
後述にかかる図4に示すごとく,本発明の酸素センサ素子において先端電極を設けた部分は,固体電解質体の表面温度が高くかつ略均一である部分である。このため,酸素センサ素子より得られる出力も上記固体電解質体の表面温度に応じた略一定の値となる。
このため,本発明にかかる酸素センサ素子は酸素濃度に応じた,より正確な出力を出すことができる。
【0020】
以上のように,本発明によれば,酸素濃度をより正確に測定することができる酸素センサ素子を提供することができる。
【0021】
なお,上記先端電極を構成する導電性物質としては,Pt,Ru,Pd,Rh,Re等の触媒活性の高い金属を使用することができる。
また,上記先端電極からの出力を取出すための端子,リード部等を固体電解質体の基端部側等に設けることができる(図7,図8参照)。
また,本発明にかかる酸素センサ素子は酸素濃淡起電力式,限界電流式等の方式によって酸素濃度を検知することができる。更に,本発明にかかる酸素センサ素子は酸素濃度測定の他,空燃比測定の素子として使用することもできる。
【0022】
次に,請求項2の発明のように,上記固体電解質体の基端部には基端電極が形成してなり,該基端電極の厚みは上記先端電極の厚みよりも小さいことが好ましい。
ところで,後述の図4に示すごとく,酸素センサ素子において電極の厚みが薄いほど先端部と基端部との間における出力差が小さくなることが知られている。しかしながら,厚みの薄い電極は耐熱性に劣るという問題がある。
【0023】
従って,本発明においては,より耐熱性を要求される先端電極の厚みを厚く設け,該先端電極の発する出力と同程度の出力を基端部において得られるような厚みの基端電極を設けてある。
これにより,耐熱性に優れた酸素センサ素子を得ることができる。
【0024】
なお,上記基端電極の一部に,該基端電極よりも厚みの大きいリード部を形成することができる。これにより,先端電極からの出力取出しをより確実とすることができる。
【0025】
次に,請求項3の発明のように,上記先端電極及び基端電極は,無電解メッキ,化学蒸着,物理蒸着,スパッタ及び有機金属錯体の塗布のいずれかにかかる方法より形成されていることが好ましい。
これにより,先端電極及び基端電極の活性が高く,高出力の酸素センサ素子を得ることができる。
【0026】
なお,上記無電解メッキによる各電極の形成に当たっては,例えば固体電解質体の表面に金属核を設けた核形成部を作製し,この部分に無電解メッキを施してその後焼成することが好ましい。
また,上記化学蒸着によればCVD等の方法で各電極を形成することができる。また,上記物理蒸着によれば真空蒸着法等の方法で各電極を形成することができる。
【0027】
更に,有機金属錯体の塗布によれば,該錯体を含む溶液又はペースト状にした物を準備し,これを固体電解質体の表面に付着,その後焼成することにより各電極を形成することができる。
なお,上記錯体を含む溶液又はペースト状にした物としては有機白金錯体ペースト等があり,該有機白金錯体としてはバルサム白金,ベンジリデン系白金化合物等を挙げることができる。
【0028】
次に,請求項4の発明のように,上記基端電極の厚みは0.3〜2.4μmであることが好ましい。
これにより,耐熱性に優れ,高出力な酸素センサ素子を得ることができる。
【0029】
また,上記基端電極の厚みが0.3μm未満である場合には,基端電極の耐熱性が低下するおそれがある。一方,2.4μmを越えた場合には,この基端電極の厚みに応じて先端電極の厚みも厚くなるため,酸素センサ素子の出力が小さくなるおそれがある。
【0030】
また,(基端電極の厚み)/(先端電極の厚み)の比は0.25〜0.8である。
これにより,耐熱性に優れ,高出力な酸素センサ素子を得ることができる。
【0031】
上記比の値が0.25未満である場合には,先端電極の厚みが厚いことから出力が小さくなり,酸素センサ素子の出力が小さくなるおそれがある。一方,0.8より大きい場合には,基端電極の耐熱性が低下するおそれがある。
【0032】
また,本発明は外側電極の厚みについて言及したものであるが,後述する図1に示すごとき内側電極13についても本発明と同様の構成を適用することができる。
即ち,内側電極についても外側に設けた先端及び基物電極と同様に耐熱性が要求される場合,先端部のみを厚くし,耐熱性の向上を図ることができる。
一方,内側面(図1にかかる大気室15)には加熱用のヒータが内蔵されており,ヒータの発熱部に対面する部分の温度は他に比べて高くなる。このため,発熱部周辺,即ち先端部において内側電極についても基端部より厚くすればよい。
これにより,本発明と同様の作用効果を得ることができる。
【0033】
【発明の実施の形態】
実施形態例1
本発明の実施形態例にかかる酸素センサ素子につき,図1〜図6を用いて説明する。
図1,図2に示すごとく,上記酸素センサ素子1はコップ型の固体電解質体10と該固体電解質体10の外側面に設けた先端電極11よりなる。
上記先端電極11は,被測定ガスに曝されるガス接触部115において(図3参照),該接触部115の先端部110から該接触部115の長さLの80%の範囲の一部分に形成してある。なお,上記先端電極11の厚みは1.5μmである。
【0034】
更に,上記固体電解質体10の基端部119は基端電極12を有し,該基端電極12の厚みは上記先端電極11の厚みよりも小さく,0.5μmである。
また,上記先端電極11の長さMは,ガス接触部115の長さをLとすると,0.69Lである。
また,上記酸素センサ素子1は,雰囲気温度400℃においてλ(空気過剰率)=0.9(リッチ)からλ=1.1(リーン)における出力電圧を測定し,それらの差として検知されるセンサ出力が0.65V以上である。
【0035】
上記酸素センサ素子1の詳細について説明する。
図1,図2に示すごとく,上記酸素センサ素子1はコップ型の固体電解質体10とその内部に設けた大気室15とよりなり,かつ上記固体電解質体10の外側面の先端には先端電極11を,上記大気室10に面する内側面には内側電極13を設けてなる。
また,上記大気室10には上記酸素センサ素子1を活性化温度まで速やかに加熱するためのセラミックヒータ19が設けてある。
【0036】
上記先端電極11は二層構造である。つまり,図1,図2に示すごとく,内層部111と表面部112とよりなる。また,上記基端電極12は一層構造で,表面部112のみよりなる。
【0037】
また,図2に示すごとく,上記固体電解質体10には突出部16が設けてあり,該突出部16にはテーパー部161が設けてある。後述する酸素センサ3にかかるハウジング30に対し,上記酸素センサ素子1を配設する場合,上記テーパー部161は上記ハウジング30と当接する。
従って,上記酸素センサ素子1において,上記テーパー部161より下方の部分が被測定ガスに曝されるガス接触部115となる。
【0038】
また,上記先端電極11及び基端電極12の表面には保護層18が設けてある。上記保護層18は通常一層以上の層から構成されている。例えば,第一層はスピネル等の溶射により形成され,第二層はアルミナより形成されている。
なお,図示を略したが,上記酸素センサ素子1には出力取出用の端子,該端子と上記各電極とを導通させるリード部等が設けてある。
【0039】
次に,上記酸素センサ素子1を組付けた酸素センサ3につき説明する。
図3に示すごとく,上記酸素センサ3は,ハウジング30と該ハウジング30に挿入配置された酸素センサ素子1とよりなる。上記ハウジング30の下方には被測定ガス室33を形成し,酸素センサ素子1の先端部110を保護するための二重の被測定ガス側カバー330が設けてある。上記ハウジング30の上方には,三段の大気側カバー31,32,33が設けてある。
【0040】
また,上記酸素センサ素子1の大気室15には棒状のヒータ19が挿入配置されている。上記ヒータ19は大気室15の内側面との間に所望のクリアランスを確保して,挿入配置されている。
【0041】
上記大気側カバー32及び33の上端には,リード線391〜393を挿通させた弾性絶縁部材39が設けてある。上記リード線391,392は,固体電解質体10において発生した電流を信号として取出し,外部に送るものである。また,上記リード線393は,上記ヒータ19に対し通電し,これを発熱させるためのものである。
【0042】
上記リード線391,392の下端には接続端子383,384が設けてあり,該接続端子383,384により,上記酸素センサ素子1に固定したターミナル381,382との導通が取られている。
なお,上記ターミナル381,382は,上記酸素センサ素子1における図示を略した端子に対し接触固定されている。
【0043】
次に,上記酸素センサ素子の製造方法について説明する。
まず,原料のジルコニアを,図1,2に示す形状に成形,仮焼成し固体電解質体10を得た。次いで,上記固体電解質体10の内側面における内側電極13の形成部及び外側面における内層部111の形成部の双方に対し,塩化白金酸溶液と還元剤とを用いて還元作用により白金核を析出させ,これを乾燥することにより各形成部に白金核を形成した。
【0044】
次に,上記固体電解質体10を乾燥した。
次に,上記各形成部に対し,白金の無電解メッキを施し,厚さ0.5μmのメッキ膜を形成した。その後,上記メッキ膜を固体電解質体10ごと温度1000℃,1時間で焼成した。以上により内層部111及び内側電極13を得た。
なお,上記内側電極13は上記のように内層部111と同時に形成する方法の他に,表面部112を形成する際に同時に形成する方法と,更には内層部111の形成時及び表面部112の形成時の双方において共に形成する方法とを挙げることができる。
【0045】
更に,上記と同様の手順により内層部111と固体電解質体10の外側面に対し,厚さ1.0μmの表面部を形成した。以上により,二層構造の先端電極11と一層構造の基端電極12を得た。
【0046】
その後,先端電極11及び基端電極12に対し,アルミナスピネルよりなるポーラスな溶射層を設け,保護層18を作製した。
以上により本例の酸素センサ素子1を得た。
【0047】
また,無電解メッキ後の焼成は内層部111及び表面部112の形成部に無電解メッキを施した後,一括して行うこともできる。
即ち,上記固体電解質体10の外側面の内層部111及び表面部112の形成部に上述したごとき手段で白金核を形成する。その後,上記固体電解質体10をメッキ液中に基端部119まで浸漬し,全体にまず1.0μmのメッキ膜を施す。
【0048】
次に,上記基端部119が露出するまで上記固体電解質体10をメッキ液から抜き出し,先端部110のみを該メッキ液に浸漬する。その後,残りの0.5μmのメッキ膜を設ける。
そして,これらのメッキ膜を焼成して白金よりなる先端電極11及び基端電極12を形成する。
【0049】
次に,本例にかかる酸素センサ素子の性能について表1を用いて説明する。
まず,先端電極,基端電極の厚みをそれぞれ違えた試料となる酸素センサ素子をいくつか作製する。これらの試料は上述した図1,図2と同様の構造を有している。
【0050】
そして,雰囲気温度400℃においてλ(空気過剰率)=0.9(リッチ)からλ=1.1(リーン)において,上記各試料にかかる酸素センサ素子の出力電圧を測定した。そして,それらの差として検知されるセンサ出力が0.65V以上である試料については表1に○と記載した。
【0051】
また,各試料に対して,温度900℃,500時間という条件の耐熱試験を行った。試験後の各試料の先端電極の凝集度合を,SEM及び画像解析により観察,測定し,この測定結果より先端電極の開口率を得た。
この開口率が50%以下であるものについては表1に○と記載した。ここに,上記開口率の低いものは先端電極の凝集が進行していないことを示しているため,同表において○と記載された試料の耐熱性は優れている。
【0052】
同表によれば,本発明にかかる試料1〜10はセンサ出力が高く,耐熱性に優れた酸素センサ素子であることが分かった。しかしながら,試料11,12は耐熱性が悪く,試料13,試料14はセンサ出力が低かった。
【0053】
これにより,先端電極の厚みが1.2〜3.0μmの範囲内にあり,基端電極の厚みが0.3〜2.4μmの範囲内にあり,かつ(基端電極の厚み)/(先端電極の厚み)の値が0.25〜0.8の範囲内にある場合には,出力が高く,耐熱性に優れた酸素センサ素子が得られることが分かった。
【0054】
次に,本例における作用効果につき説明する。
本例にかかる酸素センサ素子1においては,ガス接触部115の先端部110側の特定範囲内に対して先端電極11を設けてある。
【0055】
図4に示すごとく,本例の酸素センサ素子1において先端電極11を設けた部分は,固体電解質体10の表面温度が高くかつ略均一である部分である。このため,酸素センサ素子1より得られる出力も上記固体電解質体10の表面温度に応じた略一定の値となる。
このため,本例にかかる酸素センサ素子1は酸素濃度に対応した正確な出力を出すことができる。
【0056】
以上のように,本例によれば,酸素濃度をより正確に測定することができる酸素センサ素子を提供することができる。
【0057】
また,本例は先端電極11をより厚く,基端電極12をより薄く設けてある。ところで,図4に示すごとく,酸素センサ素子において電極の厚みが薄いほど先端部110の側と基端部119の側との間における出力差が小さくなる。
しかしながら,厚みの薄い電極は耐熱性に劣るという問題がある。
本例においては,より耐熱性を要求される先端部(先端部より0.69Lまでの範囲)に厚い先端電極を設け,基端部(0.69Lよりも上方)には該先端電極の発する出力と同程度の出力を基端部119において得られるような厚みの基端電極を設けてある。
【0058】
よって,本例にかかる酸素センサ素子の出力は,0.69Lを境目として,この部分よりも下方(図4におけるα部)においては一点鎖線にかかる線図,上方(図4におけるβ部)においては点線にかかる線図と同等となる。
従って,本例によれば,酸素濃度に応じたセンサ出力を正確に得ることができる精度の高い酸素センサ素子を提供することができる。
【0059】
なお,図5,図6を用いて本例にかかる他の酸素センサ素子を説明する。
図5(a)にかかる酸素センサ素子1は,先端電極11の長さMが0.34Lである。また,図5(b)にかかる酸素センサ素子1は,先端部110から基端部119までの長さがより短く,先端電極11の長さMが0.59Lである。
【0060】
また,図6(a)は基端電極12に対し,該基端電極12よりも厚みのある導電リード部125が形成された酸素センサ素子1である。
上記導電リード部125は,図6(b)に示すごとく,内層部111に対し設けた延長部113により形成されている。
上記導電リード部125はより電気抵抗が小さくなる。従って,図6にかかる酸素センサ素子1は先端電極11の出力をより確実に取出すことができる。
【0061】
【表1】
【0062】
実施形態例2
本例は,酸素センサ素子の有機金属錯体の塗布を利用した製造方法について説明するものである。
まず,実施形態例1と同様に原料のジルコニアを,前述した図1,2に示す形状に成形,仮焼成し固体電解質体を得た。
次いで,有機金属錯体であるベンジリデン白金化合物を含んだ有機金属ペースト又は溶液(溶媒;テレピネオール)を準備した。
このペースト又は溶液をスクリーン印刷,パッド印刷,ロール転写等を利用して,固体電解質体の内層部の形成部及び内側電極の形成部に対し塗布した。
【0063】
その後,上記固体電解質体を温度1000℃で熱処理した。これにより,固体電解質体の表面に上記溶液中より白金が析出し,厚さ0.5μmの白金膜が形成された。以上により内層部,内側電極を得た。
更に,上記と同様の手順により内層部と固体電解質体の外側面に厚さ1.0μmの白金膜よりなる表面部を形成した。以上により,二層構造の先端電極と一層構造の基端電極を得た。
その他は実施形態例1と同様にして酸素センサ素子を作製した。
【0064】
なお,本例にかかる酸素センサ素子においても内側電極は実施形態例1と同様に内層部の形成,表面部の形成のいずれかの工程と共に形成することができる。また,そのほうが好ましい。
【0065】
また,本例においても実施形態例1と同様に,基端電極と先端電極とを形成するに当たり,所望の厚みに有機金属ペースト又は溶液をパッド印刷等の方法で塗布して,これらを乾燥後,内側電極と共に一括して焼成して各電極を形成することもできる。
【0066】
本例にかかる製造方法によれば,印刷・焼成という簡略な工程で電極の形成が可能であり,かつ図6(a)に示すような複雑形状の電極形成が容易にできる。
その他は実施形態例1と同様の効果を有する。
【0067】
実施形態例3
本例にかかる酸素センサ素子1は,図7,図8に示すごとく,先端電極11のみを有する酸素センサ素子である。
【0068】
図7(a)は先端電極11の長さMが0.34Lである酸素センサ素子1である。そして,上記先端電極11から得られた出力を取出すための端子172が基端部119に設けてあり,該端子172と先端電極11との間はリード部171により導通されている。
また,図7(b)も上記と同様に端子172とリード部171とを有する酸素センサ素子1である。但し,先端電極11の長さMが0.59Lである。
【0069】
また,図8は,端子172とリード部171とを有し,かつ先端電極11が先端部に対し環状に形成された酸素センサ素子1である。そして,上記先端電極11の上端は酸素センサ素子1の先端より0.59L上方に,また,上記先端電極11の長さMは0.23Lである。
その他は実施形態例1と同様である。
なお,上記リード部171,端子172は白金ペースト電極により形成してもよい。
【0070】
本例にかかる酸素センサ素子は温度の高い部分(先端部)のみに先端電極が設けてあるため,良好なセンサ出力を得ることができる。また,白金の使用量を低減できるためコストダウン効果も大きい。高価な白金使用量をセンサ特性を低下させることなく低減することができる。
その他は実施形態例1と同様の作用効果を有する。
【0071】
実施形態例4
本例は,図9に示すごとく,先端電極11が先端部に対し環状に形成された酸素センサ素子である。
図9(a)は,先端電極11と基端電極12とを有し,上記先端電極11が環状に形成された酸素センサ素子1である。上記先端電極11の上端は酸素センサ素子1の先端部110よりも0.69L上方に形成され,該先端電極11の長さMは0.56Lである。
【0072】
また,図9(b)も環状に形成された先端電極11を有する酸素センサ素子1である。先端電極11の上端は先端部110よりも0.47L上方に形成され,長さMは0.37Lである。
その他は実施形態例1と同様である。
【0073】
本例にかかる酸素センサ素子は電極の凝集し易い先端部に電極を形成しないことにより耐久による特性変化を最小限に抑えることができる。
その他は実施形態例1と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例1にかかる,酸素センサ素子の要部断面説明図。
【図2】実施形態例1にかかる,酸素センサ素子の先端電極及び基端電極の構造を示す説明図。
【図3】実施形態例1にかかる,酸素センサ素子を設けた酸素センサの断面説明図。
【図4】実施形態例1にかかる,固体電解質体の表面温度,先端部からの距離及び各種電極より得られる出力との間の関係を示す線図。
【図5】実施形態例1にかかる,他の酸素センサ素子の説明図。
【図6】実施形態例1にかかる,導電リード部を設けた酸素センサ素子の先端電極及び基端電極の構造を示す説明図。
【図7】実施形態例3にかかる,先端電極のみを有する酸素センサ素子の説明図。
【図8】実施形態例3にかかる,環状の先端電極のみを有する酸素センサ素子の説明図。
【図9】実施形態例4にかかる,環状の先端電極と基端電極とを有する酸素センサ素子の説明図。
【符号の説明】
1...酸素センサ素子,
10...固体電解質体,
11...先端電極,
12...基端電極,
110...先端部,
115...ガス接触部,
119...基端部,
Claims (4)
- コップ型の固体電解質体と該固体電解質体の外側面に設けた先端電極と上記固体電解質体の基端部に設けた基端電極とよりなる酸素センサ素子であって,
上記先端電極は,被測定ガスに曝されるガス接触部において,その先端から該ガス接触部の長さLの80%以内の範囲の一部分に形成してなり,
かつ,上記先端電極の厚みは1.2〜3.0μmであり,
(基端電極の厚み)/(先端電極の厚み)の比は0.25〜0.8であることを特徴とする酸素センサ素子。 - 請求項1において,上記固体電解質体の基端部には基端電極が形成してなり,該基端電極の厚みは上記先端電極の厚みよりも小さいことを特徴とする酸素センサ素子。
- 請求項1又は2において,上記先端電極及び基端電極は,無電解メッキ,化学蒸着,物理蒸着,有機金属錯体の塗布のいずれかにかかる方法より形成されていることを特徴とする酸素センサ素子。
- 請求項1〜3のいずれか一項において,上記基端電極の厚みは0.3〜2.4μmであることを特徴とする酸素センサ素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22748097A JP3956435B2 (ja) | 1997-08-07 | 1997-08-07 | 酸素センサ素子 |
EP98114837A EP0896219B1 (en) | 1997-08-07 | 1998-08-06 | Improved structure of oxygen sensing element |
DE69833592T DE69833592T2 (de) | 1997-08-07 | 1998-08-06 | Verbesserte Struktur eines Sauerstoffsensorelements |
US09/130,902 US6344118B1 (en) | 1997-08-07 | 1998-08-07 | Structure of oxygen sensing element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22748097A JP3956435B2 (ja) | 1997-08-07 | 1997-08-07 | 酸素センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1151899A JPH1151899A (ja) | 1999-02-26 |
JP3956435B2 true JP3956435B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=16861548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22748097A Expired - Lifetime JP3956435B2 (ja) | 1997-08-07 | 1997-08-07 | 酸素センサ素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6344118B1 (ja) |
EP (1) | EP0896219B1 (ja) |
JP (1) | JP3956435B2 (ja) |
DE (1) | DE69833592T2 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69814318T2 (de) * | 1997-11-20 | 2004-04-08 | Denso Corp., Kariya | Festelektrolyt mit innerer Referenzkammer und Elektroden auf Innen- und Aussenflächen |
DE10221382A1 (de) * | 2002-05-14 | 2003-12-04 | Bosch Gmbh Robert | Sensor für einen elektrochemischen Meßfühler |
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JP4987847B2 (ja) | 2006-02-27 | 2012-07-25 | 京セラ株式会社 | セラミック部材の製造方法 |
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JP6090092B2 (ja) | 2013-10-01 | 2017-03-08 | トヨタ自動車株式会社 | 空燃比センサの異常診断装置 |
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JP6003928B2 (ja) | 2014-03-04 | 2016-10-05 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子とその製造方法並びにガスセンサ |
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JP6398741B2 (ja) * | 2015-01-20 | 2018-10-03 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子の製造方法と活性溶液滴下装置 |
Family Cites Families (22)
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-
1997
- 1997-08-07 JP JP22748097A patent/JP3956435B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-08-06 DE DE69833592T patent/DE69833592T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-06 EP EP98114837A patent/EP0896219B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-07 US US09/130,902 patent/US6344118B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0896219A1 (en) | 1999-02-10 |
US6344118B1 (en) | 2002-02-05 |
DE69833592T2 (de) | 2006-12-21 |
JPH1151899A (ja) | 1999-02-26 |
DE69833592D1 (de) | 2006-04-27 |
EP0896219B1 (en) | 2006-03-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060725 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110518 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120518 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120518 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140518 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |