JPH08186459A - チップ型圧電フィルタの製造方法 - Google Patents
チップ型圧電フィルタの製造方法Info
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- JPH08186459A JPH08186459A JP33991394A JP33991394A JPH08186459A JP H08186459 A JPH08186459 A JP H08186459A JP 33991394 A JP33991394 A JP 33991394A JP 33991394 A JP33991394 A JP 33991394A JP H08186459 A JPH08186459 A JP H08186459A
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- Japan
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- electrode
- polarization
- piezoelectric substrate
- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 結合容量部の電歪作用による圧電フィルタの
濾波特性の低下を防止する。 【構成】 除去領域３を形成した分極用電極２ａ，２ｂ
を大形圧電基板１の表裏面に形成して、分極処理し、こ
れにより、除去領域３により非分極領域１１を形成し、
該非分極領域１１に結合容量部２３を配設するようにし
た。
濾波特性の低下を防止する。 【構成】 除去領域３を形成した分極用電極２ａ，２ｂ
を大形圧電基板１の表裏面に形成して、分極処理し、こ
れにより、除去領域３により非分極領域１１を形成し、
該非分極領域１１に結合容量部２３を配設するようにし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数個の振動部を有す
る圧電基板からなるチップ型圧電フィルタの製造方法に
関する。
る圧電基板からなるチップ型圧電フィルタの製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のチップ型圧電フィルタ（エネル
ギー閉じ込め形圧電フィルタ）は、特開平3-97313 号等
に開示されている。このチップ型圧電フィルタは、表裏
一面に対向状に入出力振動電極を配設し、他面に前記両
振動電極を覆うように共通振動電極を配設してなる複数
の振動部と、これらの振動部を結合する結合容量部とを
圧電基板に設けてなる。
ギー閉じ込め形圧電フィルタ）は、特開平3-97313 号等
に開示されている。このチップ型圧電フィルタは、表裏
一面に対向状に入出力振動電極を配設し、他面に前記両
振動電極を覆うように共通振動電極を配設してなる複数
の振動部と、これらの振動部を結合する結合容量部とを
圧電基板に設けてなる。
【０００３】このチップ型圧電フィルタは、大形圧電基
板の表裏面全体を覆うようにして、分極用電極を形成
し、分極用電極により基板を厚み方向に分極し、分極用
電極を除去してから、所定寸法に切り出し、この切り出
した圧電基板の表裏面に導電パターンを形成するように
して製造される。
板の表裏面全体を覆うようにして、分極用電極を形成
し、分極用電極により基板を厚み方向に分極し、分極用
電極を除去してから、所定寸法に切り出し、この切り出
した圧電基板の表裏面に導電パターンを形成するように
して製造される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の方法
により製造されるチップ型圧電フィルタは、その結合容
量部も厚み方向に分極されており、このため該結合容量
部に信号電圧が印加されると、電歪作用により、機械的
振動が発生し、結合容量部が振動部として作用すし、濾
波特性を低下させる原因となっている。
により製造されるチップ型圧電フィルタは、その結合容
量部も厚み方向に分極されており、このため該結合容量
部に信号電圧が印加されると、電歪作用により、機械的
振動が発生し、結合容量部が振動部として作用すし、濾
波特性を低下させる原因となっている。
【０００５】そこで、この対策として、結合容量部の電
極の表面に、半田を盛り上げたり、樹脂を塗布してダン
ピング処理を施す方法等が採用されているが、このよう
な方法では損入損失が大きくなると共に、半田盛等の後
工程を要して、製造が面倒となる等の問題点がある。本
発明はかかる従来方法の問題点を解決することを目的と
するものである。
極の表面に、半田を盛り上げたり、樹脂を塗布してダン
ピング処理を施す方法等が採用されているが、このよう
な方法では損入損失が大きくなると共に、半田盛等の後
工程を要して、製造が面倒となる等の問題点がある。本
発明はかかる従来方法の問題点を解決することを目的と
するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、大形圧電基板
の表裏面に形成する分極用電極の少なくとも表裏一方
に、前記結合容量部に対応する部分の電極を除去した電
極パターンを用いるようにし、両分極用電極間に直流電
圧を印加して基板を厚み方向に分極した後、両分極用電
極を除去してから大形圧電基板を所定寸法に切り出し、
さらにこの切り出した圧電基板に分極用電極の除去領域
に結合容量部が位置するように、その表裏面に導電パタ
ーンを形成するようにしたことを特徴とするチップ型圧
電フィルタの製造方法である。
の表裏面に形成する分極用電極の少なくとも表裏一方
に、前記結合容量部に対応する部分の電極を除去した電
極パターンを用いるようにし、両分極用電極間に直流電
圧を印加して基板を厚み方向に分極した後、両分極用電
極を除去してから大形圧電基板を所定寸法に切り出し、
さらにこの切り出した圧電基板に分極用電極の除去領域
に結合容量部が位置するように、その表裏面に導電パタ
ーンを形成するようにしたことを特徴とするチップ型圧
電フィルタの製造方法である。
【０００７】この場合に、上述のように形成された分極
用電極を、分極後に除去して、大形圧電基板に分極用電
極の除去領域に結合容量部が位置するようにし、その表
裏面に単位導電パターンの繰り返しになる連続導電パタ
ーンを形成し、これを各単位導電パターンごとに切り出
して形成するようにしても良い。
用電極を、分極後に除去して、大形圧電基板に分極用電
極の除去領域に結合容量部が位置するようにし、その表
裏面に単位導電パターンの繰り返しになる連続導電パタ
ーンを形成し、これを各単位導電パターンごとに切り出
して形成するようにしても良い。
【０００８】
【作用】かかる構成にあって、分極用電極は、前記結合
容量部に対応する部分が除去されており、このため、こ
の分極用電極に直流電圧を印加して圧電基板を分極して
も、結合容量部は、非分極領域に形成されるから、該結
合容量部に信号電圧を印加しても、励振することはな
い。しかも、分極用電極として、所要位置に除去領域の
ある電極パターンを用いるだけで、圧電基板に簡易に非
分極領域が形成される。
容量部に対応する部分が除去されており、このため、こ
の分極用電極に直流電圧を印加して圧電基板を分極して
も、結合容量部は、非分極領域に形成されるから、該結
合容量部に信号電圧を印加しても、励振することはな
い。しかも、分極用電極として、所要位置に除去領域の
ある電極パターンを用いるだけで、圧電基板に簡易に非
分極領域が形成される。
【０００９】
【実施例】添付図面について本発明の一実施例の製造方
法を説明する。図１，２は、大形圧電基板１を示す。こ
こで、この大形圧電基板１は、PbTiO3系，PbTiO3-PbZrO
3 系等の圧電セラミック材料からなり、その表裏面に、
分極用電極２ａ，２ｂをスクリーン印刷等の手段により
形成している。この裏面側の分極用電極２ｂは、そのほ
ぼ全面に渡って形成される。一方、表面側の分極用電極
２ａには、図中四本の細長状除去領域３が一方向に沿っ
て平行に形成された電極パターンにより形成される。こ
の大形圧電基板１は、一辺が、31.5ｍｍのほぼ正方形状
をしており、後述する切断加工の際に位置決めを容易と
するために、任意の一辺の二角縁に面取り４，４が施さ
れたほぼ正方形状をしている。
法を説明する。図１，２は、大形圧電基板１を示す。こ
こで、この大形圧電基板１は、PbTiO3系，PbTiO3-PbZrO
3 系等の圧電セラミック材料からなり、その表裏面に、
分極用電極２ａ，２ｂをスクリーン印刷等の手段により
形成している。この裏面側の分極用電極２ｂは、そのほ
ぼ全面に渡って形成される。一方、表面側の分極用電極
２ａには、図中四本の細長状除去領域３が一方向に沿っ
て平行に形成された電極パターンにより形成される。こ
の大形圧電基板１は、一辺が、31.5ｍｍのほぼ正方形状
をしており、後述する切断加工の際に位置決めを容易と
するために、任意の一辺の二角縁に面取り４，４が施さ
れたほぼ正方形状をしている。
【００１０】そしてこの分極用電極２ａ，２ｂの表裏面
に直流電圧を印加し、厚み方向に分極する。このとき、
除去領域３の在る部分では分極されず、非分極領域１１
が形成される。尚、分極用電極２ａのみに除去領域３を
有する電極パターンを用いたが、両方の分極用電極２
ａ，２ｂに同一の電極パターンを用いても良い。
に直流電圧を印加し、厚み方向に分極する。このとき、
除去領域３の在る部分では分極されず、非分極領域１１
が形成される。尚、分極用電極２ａのみに除去領域３を
有する電極パターンを用いたが、両方の分極用電極２
ａ，２ｂに同一の電極パターンを用いても良い。
【００１１】次に、この分極用電極２ａ，２ｂを研磨，
エッチング等の手段により夫々除去する。
エッチング等の手段により夫々除去する。
【００１２】そしてこの大形圧電基板１を、図３で示す
ようにダイシングソー等により、縦横に切断する。この
とき、面取り４，４によりその上下関係が定まり、面取
り４，４間の上辺が切断の基準線となる。ここで、この
大形圧電基板１は、非分極領域１１を等間隔で図中左右
に区画分断する多数の切断線７ａと、非分極領域１１間
を上下に分断する五本の切断線７ｂにより縦横に切断す
る。これによる四周縁が切り捨て部５となると共に、非
分極領域１１がその中央部で部分的かつ横断状に含むこ
ととなるように圧電基板１０が、碁盤目状に切り出され
る。この圧電基板１０は、図４のように、縦6.9 ｍｍ，
横2.9 ｍｍのチップ状をしている。これにより一枚の大
形圧電基板１から、非分極領域１１を有する圧電基板１
０が無駄なく多数形成されることとなる。
ようにダイシングソー等により、縦横に切断する。この
とき、面取り４，４によりその上下関係が定まり、面取
り４，４間の上辺が切断の基準線となる。ここで、この
大形圧電基板１は、非分極領域１１を等間隔で図中左右
に区画分断する多数の切断線７ａと、非分極領域１１間
を上下に分断する五本の切断線７ｂにより縦横に切断す
る。これによる四周縁が切り捨て部５となると共に、非
分極領域１１がその中央部で部分的かつ横断状に含むこ
ととなるように圧電基板１０が、碁盤目状に切り出され
る。この圧電基板１０は、図４のように、縦6.9 ｍｍ，
横2.9 ｍｍのチップ状をしている。これにより一枚の大
形圧電基板１から、非分極領域１１を有する圧電基板１
０が無駄なく多数形成されることとなる。
【００１３】そして、このように形成された圧電基板１
０の表裏面に、銀蒸着、またはスクリーン印刷を用い
て、図５，６で示す導電パターン２０を形成する。
０の表裏面に、銀蒸着、またはスクリーン印刷を用い
て、図５，６で示す導電パターン２０を形成する。
【００１４】この導電パターン２０の構成を説明する。
ここで圧電基板１０の表面側には、左右位置で対向状に
入出力振動電極２１ａ，２１ｂと、入出力振動電極２２
ａ，２２ｂが間隔を置いて配設される。そして、内側の
入出力振動電極２１ｂ，２２ｂを内部導電パターン２３
で接続している。この内部導電パターン２３には、幅方
向にコンデンサー電極２３ａが延出している。また入出
力振動電極２１ａ，２２ａは夫々角部の側面に延出し、
これを入出力接続部２４ａ，２４ｂとしている。この入
出力接続部２４ａ，２４ｂの位置には、端子板と接続す
るための接続端縁２４ｅ，２４ｅがその側面側に延成さ
れる。
ここで圧電基板１０の表面側には、左右位置で対向状に
入出力振動電極２１ａ，２１ｂと、入出力振動電極２２
ａ，２２ｂが間隔を置いて配設される。そして、内側の
入出力振動電極２１ｂ，２２ｂを内部導電パターン２３
で接続している。この内部導電パターン２３には、幅方
向にコンデンサー電極２３ａが延出している。また入出
力振動電極２１ａ，２２ａは夫々角部の側面に延出し、
これを入出力接続部２４ａ，２４ｂとしている。この入
出力接続部２４ａ，２４ｂの位置には、端子板と接続す
るための接続端縁２４ｅ，２４ｅがその側面側に延成さ
れる。
【００１５】一方、前記圧電基板１０の裏面には前記入
出力振動電極２１ａ，２１ｂと、入出力振動電極２２
ａ，２２ｂに対向して、これを覆うように共通電極２１
ｃ，２２ｃが形成され、さらに、コンデンサー電極２３
ａに対向してコンデンサー電極２３ｂが形成される。こ
れらの各電極は導電路により相互に接続される。また、
前記コンデンサー電極２３ｂの一端を前記圧電基板１０
の側縁まで延出して、これを共通接続部２５としてい
る。この共通接続部２５の位置にも、端子板と接続する
ための接続端縁２５ｅがその側面側に延成される。
出力振動電極２１ａ，２１ｂと、入出力振動電極２２
ａ，２２ｂに対向して、これを覆うように共通電極２１
ｃ，２２ｃが形成され、さらに、コンデンサー電極２３
ａに対向してコンデンサー電極２３ｂが形成される。こ
れらの各電極は導電路により相互に接続される。また、
前記コンデンサー電極２３ｂの一端を前記圧電基板１０
の側縁まで延出して、これを共通接続部２５としてい
る。この共通接続部２５の位置にも、端子板と接続する
ための接続端縁２５ｅがその側面側に延成される。
【００１６】これにより、前記共通電極２１ｃに入出力
振動電極２１ａ，２１ｂを対向してなる振動部２１と、
同じく前記共通電極２２ｃに入出力振動電極２２ａ，２
２ｂを対向してなる振動部２２と、さらに、前記コンデ
ンサー電極２３ａ，２３ｂの対峙により静電容量を生ず
る結合容量部２３とが夫々形成され、而して、チップ型
圧電フィルタＦが形成される。そして、前記入出力接続
部２４ａ，２４ｂ及び共通接続部２５の接続端縁２４
ｅ，２５ｅに接続し、外部電路との電気的接続を可能と
するようにしている。かかる構成からなる回路は、図７
の等価回路図で示される。
振動電極２１ａ，２１ｂを対向してなる振動部２１と、
同じく前記共通電極２２ｃに入出力振動電極２２ａ，２
２ｂを対向してなる振動部２２と、さらに、前記コンデ
ンサー電極２３ａ，２３ｂの対峙により静電容量を生ず
る結合容量部２３とが夫々形成され、而して、チップ型
圧電フィルタＦが形成される。そして、前記入出力接続
部２４ａ，２４ｂ及び共通接続部２５の接続端縁２４
ｅ，２５ｅに接続し、外部電路との電気的接続を可能と
するようにしている。かかる構成からなる回路は、図７
の等価回路図で示される。
【００１７】かかる構成のチップ型圧電フィルタＦは、
結合容量部２３は、非分極領域１１の位置に形成され
る。このため、コンデンサー電極２３ａ，２３ｂ間に信
号電圧が印加されても、励振することはなく、チップ型
圧電フィルタＦの特性を低下させることはない。
結合容量部２３は、非分極領域１１の位置に形成され
る。このため、コンデンサー電極２３ａ，２３ｂ間に信
号電圧が印加されても、励振することはなく、チップ型
圧電フィルタＦの特性を低下させることはない。
【００１８】上述の圧電フィルタＦの製造方法にあって
は、前記圧電基板１０を大形圧電基板１から切り出して
から、各圧電基板１０の表裏面に導電パターン２０を形
成するようにしたものである。これは、大形圧電基板１
の表裏面に導電パターンを形成してから、切り出した場
合には、側面に延出される接続端縁２４ｅ，２５ｅを形
成するには、後工程が必要となるから、これを導電パタ
ーン２０と同時に形成するには、圧電基板１０を大形圧
電基板１から切り出してから蒸着する必要があるためで
ある。
は、前記圧電基板１０を大形圧電基板１から切り出して
から、各圧電基板１０の表裏面に導電パターン２０を形
成するようにしたものである。これは、大形圧電基板１
の表裏面に導電パターンを形成してから、切り出した場
合には、側面に延出される接続端縁２４ｅ，２５ｅを形
成するには、後工程が必要となるから、これを導電パタ
ーン２０と同時に形成するには、圧電基板１０を大形圧
電基板１から切り出してから蒸着する必要があるためで
ある。
【００１９】一方、圧電フィルタＦの表裏面で、外部電
路と電気的接続を行なう場合には、図１，２のように大
形圧電基板１に除去領域３の在る分極用電極２ａを表面
側に、全面電極からなる分極用電極２ｂを裏面側にスク
リーン印刷等により形成し、分極用電極２ａ，２ｂ間に
直流電圧を印加して分極した後、分極用電極２ａ，２ｂ
を除去してから、大形圧電基板１の表裏面に、単位導電
パターン（２０）が左右上下に連続してなる導電パター
ンをスクリーン印刷等で形成し、然る後に、単位導電パ
ターンごとに切り出して圧電フィルタＦを製造するよう
にしても良い。
路と電気的接続を行なう場合には、図１，２のように大
形圧電基板１に除去領域３の在る分極用電極２ａを表面
側に、全面電極からなる分極用電極２ｂを裏面側にスク
リーン印刷等により形成し、分極用電極２ａ，２ｂ間に
直流電圧を印加して分極した後、分極用電極２ａ，２ｂ
を除去してから、大形圧電基板１の表裏面に、単位導電
パターン（２０）が左右上下に連続してなる導電パター
ンをスクリーン印刷等で形成し、然る後に、単位導電パ
ターンごとに切り出して圧電フィルタＦを製造するよう
にしても良い。
【００２０】
【発明の効果】本発明に係るチップ型圧電フィルタＦの
製造方法は、除去領域３を形成した分極用電極２ａ，２
ｂを大形圧電基板１の表裏面に形成して、分極処理し、
これにより、除去領域３により非分極領域１１を形成
し、該非分極領域１１に結合容量部２３を配設するよう
にしたものであるから、該結合容量部２３は非分極領域
１１に位置することとなり、その信号電圧の印加によ
り、励振を生じないため、誘電損失を低下させることが
でき、濾波特性を向上させ得る。また結合容量部の電極
の表面に、半田を盛り上げたり、樹脂を塗布してダンピ
ング処理を施すものではないから、挿入損失が大きくな
ることもなく、かつ後工程が不要となる。さらには分極
用電極２ａとして、所要位置に除去領域３のある電極パ
ターンを用いるだけで、圧電基板１０に簡易に非分極領
域１１を形成することができ、製造が容易である、等の
優れた効果がある。
製造方法は、除去領域３を形成した分極用電極２ａ，２
ｂを大形圧電基板１の表裏面に形成して、分極処理し、
これにより、除去領域３により非分極領域１１を形成
し、該非分極領域１１に結合容量部２３を配設するよう
にしたものであるから、該結合容量部２３は非分極領域
１１に位置することとなり、その信号電圧の印加によ
り、励振を生じないため、誘電損失を低下させることが
でき、濾波特性を向上させ得る。また結合容量部の電極
の表面に、半田を盛り上げたり、樹脂を塗布してダンピ
ング処理を施すものではないから、挿入損失が大きくな
ることもなく、かつ後工程が不要となる。さらには分極
用電極２ａとして、所要位置に除去領域３のある電極パ
ターンを用いるだけで、圧電基板１０に簡易に非分極領
域１１を形成することができ、製造が容易である、等の
優れた効果がある。
【図１】大形圧電基板１の表面図である。
【図２】大形圧電基板１の裏面図である。
【図３】大形圧電基板１の切断態様を示す表面図であ
る。
る。
【図４】圧電基板１０の表面図である。
【図５】圧電フィルタＦの表面図である。
【図６】圧電フィルタＦの裏面図である。
【図７】等価回路図である。
Ｆ 圧電フィルタ １ 大形圧電基板 ２ａ，２ｂ 分極用電極 ３ 除去領域 １０ 圧電基板 １１ 非分極領域 ２０ 導電パターン ２１，２２ 振動部 ２１ａ，２１ｂ 入出力振動電極 ２２ａ，２２ｂ 入出力振動電極 ２３ 結合容量部 ２３ａ，２３ｂ コンデンサー電極
Claims (2)
- 【請求項１】表裏一面に対向状に入出力振動電極を配設
し、他面に入出力振動電極対を覆うように共通振動電極
を配設してなる複数の振動部と、これらの振動部を結合
する結合容量部とを圧電基板に設けてなるチップ型圧電
フィルタの製造方法において、 大形圧電基板の表裏面に形成する分極用電極の少なくと
も表裏一方に、前記結合容量部に対応する部分の電極を
除去した電極パターンを用いるようにし、両分極用電極
間に直流電圧を印加して基板を厚み方向に分極した後、
両分極用電極を除去してから大形圧電基板を所定寸法に
切り出し、さらにこの切り出した圧電基板に分極用電極
の除去領域に結合容量部が位置するように、その表裏面
に導電パターンを形成するようにしたことを特徴とする
チップ型圧電フィルタの製造方法。 - 【請求項２】表裏一面に対向状に入出力振動電極を配設
し、他面に入出力振動電極対をを覆うように共通振動電
極を配設してなる複数の振動部と、これらの振動部を結
合する結合容量部とを圧電基板に設けてなるチップ型圧
電フィルタの製造方法において、 大形圧電基板の表裏面に形成する分極用電極の少なくと
も表裏一方に、前記結合容量部に対応する部分の電極を
除去した電極パターンを用いるようにし、両分極用電極
間に直流電圧を印加して基板を厚み方向に分極した後、
両分極用電極を除去してから、この大形圧電基板に分極
用電極の除去領域に結合容量部が位置するように、その
表裏面に単位導電パターンの繰り返しになる連続導電パ
ターンを形成し、これを各単位導電パターンごとに切り
出して形成するようにしたことを特徴とするチップ型圧
電フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33991394A JPH08186459A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | チップ型圧電フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33991394A JPH08186459A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | チップ型圧電フィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08186459A true JPH08186459A (ja) | 1996-07-16 |
Family
ID=18331958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33991394A Pending JPH08186459A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | チップ型圧電フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08186459A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002308A (en) * | 1997-04-01 | 1999-12-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric filter with a capacitor on a substrate having an unpolarized portion |
| JP2009194631A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | ウエハ、ウエハ研磨装置、ウエハ研磨方法、圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| WO2012073623A1 (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-07 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子の製造方法及び電極付きマザー圧電基板 |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP33991394A patent/JPH08186459A/ja active Pending
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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