JPH08179010A - 電子部品の電気検査装置 - Google Patents
電子部品の電気検査装置Info
- Publication number
- JPH08179010A JPH08179010A JP6334984A JP33498494A JPH08179010A JP H08179010 A JPH08179010 A JP H08179010A JP 6334984 A JP6334984 A JP 6334984A JP 33498494 A JP33498494 A JP 33498494A JP H08179010 A JPH08179010 A JP H08179010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lsi chip
- tester
- liquid crystal
- crystal display
- display panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高精度加工を要しコスト高のプローブに代え
て簡易かつ低コストのテスター電極端子を採用すると共
に、装置全体をコンパクト化できる電子部品の電気検査
装置を提供する。 【構成】 駆動用ＬＳＩチップを実装する前の電子部品
としての例えば液晶表示パネル２０に対して、この液晶
表示パネル２０に設けられた電極端子としてのパッド
（入力端子２１と出力端子２２からなる）に駆動テスト
信号を印加する装置において、位置決めされた液晶表示
パネル２０に対してこの入力端子２１と出力端子２２に
接離できるよう移動可能なアーム機構部１２を有し、こ
のアーム機構部１２に取り付けられて、入力端子２１と
出力端子２２に圧接して駆動テスト信号を印加する電極
端子としての複数のバンプ（入力信号バンプ１４と出力
信号バンプ１５からなる）が設けられたテスター用ＬＳ
Ｉチップ１３を有し、このテスター用ＬＳＩチップ１３
に電流を供給する電源回路１８等からなる供給電源部を
備えて構成されている。
て簡易かつ低コストのテスター電極端子を採用すると共
に、装置全体をコンパクト化できる電子部品の電気検査
装置を提供する。 【構成】 駆動用ＬＳＩチップを実装する前の電子部品
としての例えば液晶表示パネル２０に対して、この液晶
表示パネル２０に設けられた電極端子としてのパッド
（入力端子２１と出力端子２２からなる）に駆動テスト
信号を印加する装置において、位置決めされた液晶表示
パネル２０に対してこの入力端子２１と出力端子２２に
接離できるよう移動可能なアーム機構部１２を有し、こ
のアーム機構部１２に取り付けられて、入力端子２１と
出力端子２２に圧接して駆動テスト信号を印加する電極
端子としての複数のバンプ（入力信号バンプ１４と出力
信号バンプ１５からなる）が設けられたテスター用ＬＳ
Ｉチップ１３を有し、このテスター用ＬＳＩチップ１３
に電流を供給する電源回路１８等からなる供給電源部を
備えて構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、検査対象であるＴＦ
Ｔ（薄膜トランジスタ）液晶表示パネル等の電子部品に
対し、通電により点灯表示試験などを行なう電気検査装
置に関する。
Ｔ（薄膜トランジスタ）液晶表示パネル等の電子部品に
対し、通電により点灯表示試験などを行なう電気検査装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＴＦＴをスイッチング素子とし
て用いたＣＯＧ（chip on glass）実装の液晶表示装置
の量産プロセスにあっては、通常、駆動用ＬＳＩチップ
を実装する工程前の液晶表示パネルに駆動テスト信号を
印加し、点灯表示により良品可否を判定する電気検査が
行なわれる。検査対象である液晶表示パネルに対して、
駆動用ＬＳＩチップをはんだ接続などした実装後に点灯
表示検査を行なうのでは、結果が仮に不良と判定された
場合は取り外し作業などの手間を浪費する不都合が起き
る。そのため、駆動用ＬＳＩチップ実装前の工程で、液
晶表示パネルに駆動テスト信号を印加し、その良品の可
否を判定するものである。図４は、従来よりこの種の電
気検査に使用されてきた装置の一例を示している。それ
によると、駆動用ＬＳＩチップの実装前に、試料ステー
ジ上に半製品段階の液晶表示パネル１がセットされる。
この液晶表示パネル１は、ＩＣやＬＳＩチップのアウタ
リード先端に電極端子のパッド２が形成してあって、こ
のパッド２は入力端子部２Ａと出力端子部２Ｂからな
り、これら入出力端子部に電圧印加して点灯表示の有無
を検査する。検査装置側には、パッド出力端子部２Ｂの
端子信号数に相当数のプローブ（探針）３がカード状に
形成されて備わり、検査の際はこのプローブ３をパッド
出力端子部２Ｂに押し当てて駆動テスト信号を印加す
る。プローブ３の圧接は自動もしくは手動による移動機
構で行なわれる。プローブ３は中継基板４を介し実装品
と同一仕様のテスター用ＬＳＩチップ５の出力端子に接
続され、このテスター用ＬＳＩチップ５は中継コネクタ
６や駆動制御回路７などからなる信号供給部に接続され
ている。
て用いたＣＯＧ（chip on glass）実装の液晶表示装置
の量産プロセスにあっては、通常、駆動用ＬＳＩチップ
を実装する工程前の液晶表示パネルに駆動テスト信号を
印加し、点灯表示により良品可否を判定する電気検査が
行なわれる。検査対象である液晶表示パネルに対して、
駆動用ＬＳＩチップをはんだ接続などした実装後に点灯
表示検査を行なうのでは、結果が仮に不良と判定された
場合は取り外し作業などの手間を浪費する不都合が起き
る。そのため、駆動用ＬＳＩチップ実装前の工程で、液
晶表示パネルに駆動テスト信号を印加し、その良品の可
否を判定するものである。図４は、従来よりこの種の電
気検査に使用されてきた装置の一例を示している。それ
によると、駆動用ＬＳＩチップの実装前に、試料ステー
ジ上に半製品段階の液晶表示パネル１がセットされる。
この液晶表示パネル１は、ＩＣやＬＳＩチップのアウタ
リード先端に電極端子のパッド２が形成してあって、こ
のパッド２は入力端子部２Ａと出力端子部２Ｂからな
り、これら入出力端子部に電圧印加して点灯表示の有無
を検査する。検査装置側には、パッド出力端子部２Ｂの
端子信号数に相当数のプローブ（探針）３がカード状に
形成されて備わり、検査の際はこのプローブ３をパッド
出力端子部２Ｂに押し当てて駆動テスト信号を印加す
る。プローブ３の圧接は自動もしくは手動による移動機
構で行なわれる。プローブ３は中継基板４を介し実装品
と同一仕様のテスター用ＬＳＩチップ５の出力端子に接
続され、このテスター用ＬＳＩチップ５は中継コネクタ
６や駆動制御回路７などからなる信号供給部に接続され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のごと
き従来からの電気検査装置にあっては、高精度加工が要
求されるプローブ３を用いて行なうため、このプローブ
３はパッド２側の出力信号数に対応して多数の微細なピ
ッチで製作する為にコストが嵩み、さらには中継基板４
や中継コネクタ６を含む回路の構成も複雑で、検査装置
自体がコスト高のものとなっている。この発明の目的
は、高精度加工を要しコスト高のプローブに代えて簡易
かつ低コストのテスター電極端子を採用すると共に、装
置全体をコンパクト化できる電子部品の電気検査装置を
提供することにある。
き従来からの電気検査装置にあっては、高精度加工が要
求されるプローブ３を用いて行なうため、このプローブ
３はパッド２側の出力信号数に対応して多数の微細なピ
ッチで製作する為にコストが嵩み、さらには中継基板４
や中継コネクタ６を含む回路の構成も複雑で、検査装置
自体がコスト高のものとなっている。この発明の目的
は、高精度加工を要しコスト高のプローブに代えて簡易
かつ低コストのテスター電極端子を採用すると共に、装
置全体をコンパクト化できる電子部品の電気検査装置を
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明による電子部品の電気検査装置は、駆動用
ＬＳＩチップを実装する前の電子部品に対して、この電
子部品に設けられた電極端子としてのパッドに駆動テス
ト信号を印加する装置であり、位置決めされた電子部品
のパッドに対して自在に進退移動可能に設けられたアー
ム機構部と、アーム機構部に取り付けられ、パッドに圧
接して駆動テスト信号を印加する電極端子としての複数
のバンプが設けられたテスター用ＬＳＩチップと、テス
ター用ＬＳＩチップにテスト信号を供給する信号供給回
路と、を備えて構成されている。この発明では、前記電
子部品が液晶表示パネルの場合、駆動用ＬＳＩチップを
実装する前の液晶表示パネルに駆動テスト信号を印加し
て点灯表示試験を行なうことができる。また、この発明
では、前記テスター用ＬＳＩチップの入力信号側バンプ
を、リード線を介して信号供給回路に直結することがで
きる。さらに、この発明では、テスター用ＬＳＩチップ
は、実装される駆動用ＬＳＩチップと同一仕様のものが
用いられる。
め、この発明による電子部品の電気検査装置は、駆動用
ＬＳＩチップを実装する前の電子部品に対して、この電
子部品に設けられた電極端子としてのパッドに駆動テス
ト信号を印加する装置であり、位置決めされた電子部品
のパッドに対して自在に進退移動可能に設けられたアー
ム機構部と、アーム機構部に取り付けられ、パッドに圧
接して駆動テスト信号を印加する電極端子としての複数
のバンプが設けられたテスター用ＬＳＩチップと、テス
ター用ＬＳＩチップにテスト信号を供給する信号供給回
路と、を備えて構成されている。この発明では、前記電
子部品が液晶表示パネルの場合、駆動用ＬＳＩチップを
実装する前の液晶表示パネルに駆動テスト信号を印加し
て点灯表示試験を行なうことができる。また、この発明
では、前記テスター用ＬＳＩチップの入力信号側バンプ
を、リード線を介して信号供給回路に直結することがで
きる。さらに、この発明では、テスター用ＬＳＩチップ
は、実装される駆動用ＬＳＩチップと同一仕様のものが
用いられる。
【０００５】
【作用】電子部品の電気検査に際し、アーム機構部が移
動して、テスター用ＬＳＩチップに設けられたバンプが
電子部品側のパッドに圧接される。信号供給回路による
テスト信号の供給により、バンプを通してパッドに駆動
テスト信号が印加される。このとき、バンプはさほど緻
細に加工された電極端子ではないので、パッドに対して
ラフに位置合わせできて圧接できる。また、この発明に
よる電気検査装置では、電子部品の具体例として液晶表
示パネルの点灯表示試験に好適である。さらに、この発
明では、実装される駆動用ＬＳＩチップと同一仕様のも
のが用いられるテスター用ＬＳＩチップでは、従来のよ
うに信号供給回路との接続が中継基板やコネクタを介在
させたがために装置を複雑化させていたが、入力信号側
バンプをリード線で信号供給回路に直結することで、か
なりの簡素化が実現できる。
動して、テスター用ＬＳＩチップに設けられたバンプが
電子部品側のパッドに圧接される。信号供給回路による
テスト信号の供給により、バンプを通してパッドに駆動
テスト信号が印加される。このとき、バンプはさほど緻
細に加工された電極端子ではないので、パッドに対して
ラフに位置合わせできて圧接できる。また、この発明に
よる電気検査装置では、電子部品の具体例として液晶表
示パネルの点灯表示試験に好適である。さらに、この発
明では、実装される駆動用ＬＳＩチップと同一仕様のも
のが用いられるテスター用ＬＳＩチップでは、従来のよ
うに信号供給回路との接続が中継基板やコネクタを介在
させたがために装置を複雑化させていたが、入力信号側
バンプをリード線で信号供給回路に直結することで、か
なりの簡素化が実現できる。
【０００６】
【実施例】以下、この発明による電子部品の電気検査装
置の実施例について図面を用いて説明する。図１および
図２は、検査対象である電子部品例として液晶表示パネ
ルの点灯表示試験を行なう実施例装置１０の平面図およ
び要部側面図をそれぞれ示している。装置１０の要部
は、駆動用ＬＳＩチップを実装する前の液晶表示パネル
に対して、これに設けられた電極端子としてのパッドに
駆動テスト信号を印加するにあたり、位置決めされた液
晶表示パネルに対し、このパッドに自在に進退移動可能
に設けられたアーム機構部と、このアーム機構部に取り
付けられ、パッドに圧接して駆動テスト信号を印加する
電極端子としての複数のバンプが設けられたテスター用
ＬＳＩチップと、テスター用ＬＳＩチップに電流を供給
する電源回路と、を備えて構成されている。
置の実施例について図面を用いて説明する。図１および
図２は、検査対象である電子部品例として液晶表示パネ
ルの点灯表示試験を行なう実施例装置１０の平面図およ
び要部側面図をそれぞれ示している。装置１０の要部
は、駆動用ＬＳＩチップを実装する前の液晶表示パネル
に対して、これに設けられた電極端子としてのパッドに
駆動テスト信号を印加するにあたり、位置決めされた液
晶表示パネルに対し、このパッドに自在に進退移動可能
に設けられたアーム機構部と、このアーム機構部に取り
付けられ、パッドに圧接して駆動テスト信号を印加する
電極端子としての複数のバンプが設けられたテスター用
ＬＳＩチップと、テスター用ＬＳＩチップに電流を供給
する電源回路と、を備えて構成されている。
【０００７】装置１０の試料台ステージ１１には、量産
組立ラインの工程間を流れてきた半製品の液晶表示パネ
ル２０が順次位置決めされるようになっている。図２に
示すように、液晶表示パネル２０の電極基板から延出し
たアウタリードには、従来例の図４で示された入力端子
部２Ａと出力端子部２Ｂからなるパッド２と同様な機能
をもつものとして、入力端子２１と出力端子２２がそれ
ぞれ入出力信号数に対応した数の電極端子として形成さ
れている。また、液晶表示パネル２０には信号入力用端
子２３が設けてあり、次に説明する装置１０側の信号供
給部に接続されるようになっている。
組立ラインの工程間を流れてきた半製品の液晶表示パネ
ル２０が順次位置決めされるようになっている。図２に
示すように、液晶表示パネル２０の電極基板から延出し
たアウタリードには、従来例の図４で示された入力端子
部２Ａと出力端子部２Ｂからなるパッド２と同様な機能
をもつものとして、入力端子２１と出力端子２２がそれ
ぞれ入出力信号数に対応した数の電極端子として形成さ
れている。また、液晶表示パネル２０には信号入力用端
子２３が設けてあり、次に説明する装置１０側の信号供
給部に接続されるようになっている。
【０００８】また、装置１０には例えばロボット等によ
るアーム機構部１２が装備され、このアーム機構部１２
は手動によるメカニズムでも可能ではあるが、実施例で
は自動制御によって液晶表示パネル２０側の上記入力端
子２１と出力端子２２に向かって自在に進退移動が可能
となっている。こうしたアーム機構部１２の先端部に
は、実装品の駆動用ＬＳＩチップと同一仕様のテスター
用ＬＳＩチップ１３が着脱可能に取り付けられている。
るアーム機構部１２が装備され、このアーム機構部１２
は手動によるメカニズムでも可能ではあるが、実施例で
は自動制御によって液晶表示パネル２０側の上記入力端
子２１と出力端子２２に向かって自在に進退移動が可能
となっている。こうしたアーム機構部１２の先端部に
は、実装品の駆動用ＬＳＩチップと同一仕様のテスター
用ＬＳＩチップ１３が着脱可能に取り付けられている。
【０００９】テスター用ＬＳＩチップ１３には、液晶表
示パネル２０側の入力端子２１および出力端子２２に圧
接して駆動テスト信号を印加できるよう、それらの信号
数に対応した数の入力信号バンプ１４および出力信号バ
ンプ１５が突起状に形成されている。これら入出力信号
用の各バンプ１４、１５の形成は、例えばチップ基板上
に金属膜を被着した後にバンプ形成のためのフォトリソ
工程を行ない、エッチングによりパターン形成するとい
った周知の技術でもって得ることができる。このような
簡便な形成方法によって、検査装置側に従来からのプロ
ーブのごとき高精度加工を要する電極端子が不要とな
り、これに代えて格段に低コストの入出力信号用バンプ
１４、１５を形成することができる。
示パネル２０側の入力端子２１および出力端子２２に圧
接して駆動テスト信号を印加できるよう、それらの信号
数に対応した数の入力信号バンプ１４および出力信号バ
ンプ１５が突起状に形成されている。これら入出力信号
用の各バンプ１４、１５の形成は、例えばチップ基板上
に金属膜を被着した後にバンプ形成のためのフォトリソ
工程を行ない、エッチングによりパターン形成するとい
った周知の技術でもって得ることができる。このような
簡便な形成方法によって、検査装置側に従来からのプロ
ーブのごとき高精度加工を要する電極端子が不要とな
り、これに代えて格段に低コストの入出力信号用バンプ
１４、１５を形成することができる。
【００１０】したがって、上記アーム機構部１２として
は、試料台ステージ１１上に位置決めされた液晶表示パ
ネル１１に対し、的確に進退して入出力信号用バンプ１
４、１５をこの入力端子２１および出力端子２２に好適
な押圧力で圧接できるよう、水平方向への振り回し動作
や垂直方向への昇降動作などでその動作をパターン化し
てある。
は、試料台ステージ１１上に位置決めされた液晶表示パ
ネル１１に対し、的確に進退して入出力信号用バンプ１
４、１５をこの入力端子２１および出力端子２２に好適
な押圧力で圧接できるよう、水平方向への振り回し動作
や垂直方向への昇降動作などでその動作をパターン化し
てある。
【００１１】また、装置１０は、プローブ形状の信号供
給端子１６、中継コネクタ１７および駆動制御回路１８
などからなる信号供給部が装備され、この信号供給部に
液晶表示パネル２０が信号入力用端子２３を介して簡便
に接続できるようになっている。信号供給部に信号入力
用端子２３を接続することで、アーム機構部１２に取り
付けられたテスター用ＬＳＩチップ１３に入力信号用バ
ンプ１４から試験信号を供給できるようになっている。
給端子１６、中継コネクタ１７および駆動制御回路１８
などからなる信号供給部が装備され、この信号供給部に
液晶表示パネル２０が信号入力用端子２３を介して簡便
に接続できるようになっている。信号供給部に信号入力
用端子２３を接続することで、アーム機構部１２に取り
付けられたテスター用ＬＳＩチップ１３に入力信号用バ
ンプ１４から試験信号を供給できるようになっている。
【００１２】以上の構成によって、電気検査装置１０で
は液晶表示パネル２０の点灯表示検査を行なう際に次の
作用が得られる。液晶表示パネル２０は、装置１０の試
料台ステージ１１上にセットされる。これとほぼ同期し
て、アーム機構部１２に向けて作動用の制御信号が送出
され、アーム機構部１２は待機中の液晶表示パネル２０
の所定位置へ移動する。アームの降下動作による適度な
押圧力でもって、テスター用ＬＳＩチップ１３の入力信
号用バンプ１４と出力信号用バンプ１５が液晶表示パネ
ル２０の入力端子２１と出力端子２２に圧接する。この
圧接の動作はバンプ形状が比較的ラフで大きいというこ
ともあって容易に行なわれ、従来の緻細なプルーブほど
高度な位置決め精度を必要としない。こうした圧接動作
は、試料台ステージ１１もしくは液晶表示パネル２０の
背面に設備されたＣＲＴモニタによって監視実行するこ
とができる。
は液晶表示パネル２０の点灯表示検査を行なう際に次の
作用が得られる。液晶表示パネル２０は、装置１０の試
料台ステージ１１上にセットされる。これとほぼ同期し
て、アーム機構部１２に向けて作動用の制御信号が送出
され、アーム機構部１２は待機中の液晶表示パネル２０
の所定位置へ移動する。アームの降下動作による適度な
押圧力でもって、テスター用ＬＳＩチップ１３の入力信
号用バンプ１４と出力信号用バンプ１５が液晶表示パネ
ル２０の入力端子２１と出力端子２２に圧接する。この
圧接の動作はバンプ形状が比較的ラフで大きいというこ
ともあって容易に行なわれ、従来の緻細なプルーブほど
高度な位置決め精度を必要としない。こうした圧接動作
は、試料台ステージ１１もしくは液晶表示パネル２０の
背面に設備されたＣＲＴモニタによって監視実行するこ
とができる。
【００１３】この間、ほぼ同期的に装置１０側の駆動制
御回路１８などからなる信号供給部も液晶表示パネル２
０の信号入力用端子２３に接続され、回路のオンによっ
て信号入力用端子２３から液晶表示パネル２０に所要の
信号が供給される。テスター用ＬＳＩチップ１５の入力
信号用バンプ１４と出力信号用バンプ１５が液晶表示パ
ネル２０の入力端子２１と出力端子２２に圧接している
ことで、テスター用ＬＳＩチップ１３から液晶表示パネ
ル２０に駆動テスト信号が印加され、液晶表示パネル２
０の電極基板が駆動して点灯表示すれば良品判定がなさ
れ、その液晶表示パネル２０は次工程に送られて実装用
の駆動用ＬＳＩチップをはんだ接続などして搭載され
る。
御回路１８などからなる信号供給部も液晶表示パネル２
０の信号入力用端子２３に接続され、回路のオンによっ
て信号入力用端子２３から液晶表示パネル２０に所要の
信号が供給される。テスター用ＬＳＩチップ１５の入力
信号用バンプ１４と出力信号用バンプ１５が液晶表示パ
ネル２０の入力端子２１と出力端子２２に圧接している
ことで、テスター用ＬＳＩチップ１３から液晶表示パネ
ル２０に駆動テスト信号が印加され、液晶表示パネル２
０の電極基板が駆動して点灯表示すれば良品判定がなさ
れ、その液晶表示パネル２０は次工程に送られて実装用
の駆動用ＬＳＩチップをはんだ接続などして搭載され
る。
【００１４】この発明では、実施例の信号供給部は、図
４の従来例で示された中継基板４、テスター用ＬＳＩチ
ップ５、中継コネクタ６、そして駆動制御回路７などで
構成された信号供給部よりは簡素化されている。これよ
りもさらに、実施例では、図３に示すように信号供給部
の構成を簡素化できる。即ち、液晶表示パネル２０の信
号入力用端子２３、装置１０側の信号供給端子１６や中
継コネクタ１７を設けず、駆動制御回路１８から直接延
出したリード線１９を、アーム機構部１２に取り付けら
れたテスター用ＬＳＩチップ１３の入力信号バンプ１４
に直結した構造である。これによって、電気検査装置１
０の構成を大幅に簡略化することができる。
４の従来例で示された中継基板４、テスター用ＬＳＩチ
ップ５、中継コネクタ６、そして駆動制御回路７などで
構成された信号供給部よりは簡素化されている。これよ
りもさらに、実施例では、図３に示すように信号供給部
の構成を簡素化できる。即ち、液晶表示パネル２０の信
号入力用端子２３、装置１０側の信号供給端子１６や中
継コネクタ１７を設けず、駆動制御回路１８から直接延
出したリード線１９を、アーム機構部１２に取り付けら
れたテスター用ＬＳＩチップ１３の入力信号バンプ１４
に直結した構造である。これによって、電気検査装置１
０の構成を大幅に簡略化することができる。
【００１５】なお、この発明では、検査対象の電子部品
として液晶表示パネル２０の点灯表示検査について説明
されたが、多数の探針からなるカード状のプローブをテ
スター用電極端子として用いて電気検査を行なっている
他の量産電子部品や半製品への通電検査にも適用可能で
あり、検査コスト高や検査難度などの問題を解決するこ
とが可能である。
として液晶表示パネル２０の点灯表示検査について説明
されたが、多数の探針からなるカード状のプローブをテ
スター用電極端子として用いて電気検査を行なっている
他の量産電子部品や半製品への通電検査にも適用可能で
あり、検査コスト高や検査難度などの問題を解決するこ
とが可能である。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による電
子部品の電気検査装置は、駆動用ＬＳＩチップを実装す
る前の段階での液晶表示パネルの点灯表示検査に好適で
あり、駆動テスト信号を印加する電極端子として従来よ
り高精度が要求されるプローブに代えて、実装される駆
動用ＬＳＩチップと同一仕様のＬＳＩチップをテスター
に用いこれに安価な入出力信号用のバンプを電極端子と
して設けることで、コスト低減が実現され、しかも検査
作業が簡易化される。
子部品の電気検査装置は、駆動用ＬＳＩチップを実装す
る前の段階での液晶表示パネルの点灯表示検査に好適で
あり、駆動テスト信号を印加する電極端子として従来よ
り高精度が要求されるプローブに代えて、実装される駆
動用ＬＳＩチップと同一仕様のＬＳＩチップをテスター
に用いこれに安価な入出力信号用のバンプを電極端子と
して設けることで、コスト低減が実現され、しかも検査
作業が簡易化される。
【図１】検査対象の電子部品として液晶表示パネルの点
灯表示検査を行なうこの発明による実施例の電気検査装
置の平面図。
灯表示検査を行なうこの発明による実施例の電気検査装
置の平面図。
【図２】実施例の電気検査装置による液晶表示パネルの
点灯表示検査態様を示す要部側面図。
点灯表示検査態様を示す要部側面図。
【図３】実施例の電気検査装置において駆動テスト信号
を印加する別の電流供給形態を示す側面図。
を印加する別の電流供給形態を示す側面図。
【図４】従来例の電気検査装置による液晶表示パネルの
点灯表示検査の形態を示す平面図。
点灯表示検査の形態を示す平面図。
１０ 液晶表示パネル １２ アーム機構部 １３ テスター用ＬＳＩチップ １４ 入力信号バンプ １５ 出力信号バンプ １７ 中継コネクタ １８ 駆動制御回路 ２０ 液晶表示パネル ２１ 入力端子 ２２ 出力端子 ２３ 信号入力用端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２ 7426−5Ｈ
Claims (4)
- 【請求項１】 駆動用ＬＳＩチップを実装する前の電子
部品に対して、この電子部品に設けられた電極端子とし
てのパッドに駆動テスト信号を印加する電気検査装置に
おいて、 位置決めされた電子部品のパッドに対して自在に進退移
動可能に設けられたアーム機構部と、 アーム機構部に取り付けられ、パッドに圧接して駆動テ
スト信号を印加する電極端子としての複数のバンプが設
けられたテスター用ＬＳＩチップと、 テスター用ＬＳＩチップにコスト信号を供給する信号供
給回路と、を備えたことを特徴とする電子部品の電気検
査装置。 - 【請求項２】 前記電子部品として、駆動用ＬＳＩチッ
プを実装する前の液晶表示パネルに駆動テスト信号を印
加して点灯表示試験を行なう請求項１記載の電子部品の
電気検査装置。 - 【請求項３】 前記テスター用ＬＳＩチップの入力信号
側バンプを、リード線を介して信号供給回路に直結した
請求項１または２記載の電子部品の電気検査装置。 - 【請求項４】 実装される駆動用ＬＳＩチップと前記テ
スター用ＬＳＩチップが同一仕様である請求項１乃至３
記載の電子部品の電気検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6334984A JPH08179010A (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 電子部品の電気検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6334984A JPH08179010A (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 電子部品の電気検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08179010A true JPH08179010A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18283425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6334984A Pending JPH08179010A (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 電子部品の電気検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08179010A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007286244A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像表示装置およびその接続部構造 |
| KR100870662B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2008-11-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널의 검사방법 |
| KR101242372B1 (ko) * | 2012-08-28 | 2013-03-25 | (주)메리테크 | 패널 테스트용 글라스 범프 타입 프로브 블록 |
-
1994
- 1994-12-19 JP JP6334984A patent/JPH08179010A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100870662B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2008-11-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널의 검사방법 |
| JP2007286244A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像表示装置およびその接続部構造 |
| KR101242372B1 (ko) * | 2012-08-28 | 2013-03-25 | (주)메리테크 | 패널 테스트용 글라스 범프 타입 프로브 블록 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5631573A (en) | Probe-type test handler | |
| US6486686B1 (en) | Apparatus for testing a bare-chip LSI mounting on a printed board | |
| KR100518161B1 (ko) | 액정표시패널의검사장치,액정표시패널의검사방법및액정패널의제조방법 | |
| JPH08179010A (ja) | 電子部品の電気検査装置 | |
| JP3828299B2 (ja) | ウェーハテストシステムでのｚ軸の高さ設定装置及び方法 | |
| JPH08304846A (ja) | 液晶表示素子の検査装置 | |
| JP3314703B2 (ja) | プローブ装置のコンタクトピンクリーニング方法およびクリーニング装置 | |
| KR100891498B1 (ko) | 액정패널 검사장치 | |
| JP4585344B2 (ja) | 回路基板検査装置、及び回路基板検査方法 | |
| JPH1048255A (ja) | プローブカード | |
| JP2000065860A (ja) | プローブ装置及びその組立方法 | |
| JP3467374B2 (ja) | 半導体集積回路の検査方法及び半導体集積回路の検査装置 | |
| JPH10246735A (ja) | プローバ基板、プロービング方法及びその装置 | |
| JP3076424B2 (ja) | 回路基板検査方法と検査基板並びに回路基板検査装置 | |
| JP3477084B2 (ja) | リードフレーム基板押さえ装置 | |
| JPH09113857A (ja) | 液晶パネル点灯機構 | |
| JP3441939B2 (ja) | アライメント方法 | |
| JPH0365927A (ja) | 液晶表示パネルの検査装置およびその検査方法 | |
| JPH08227920A (ja) | 半導体チップの検査装置及び半導体チップのバーンイン方法 | |
| JP3057999B2 (ja) | 半導体チップ試験装置 | |
| JPH10173014A (ja) | 固体撮像装置の検査装置及び検査方法 | |
| JPH06124985A (ja) | プローブ装置及びプロービング方法 | |
| JPH0719811B2 (ja) | プロ−ブ装置によるウエハの検査方法 | |
| JPH11148962A (ja) | Ｉｃソケット用検査装置 | |
| JP3285496B2 (ja) | 導通検査装置及びその検査方法及びその検査プローブ |