JPH08155794A - 内径非接触測定装置 - Google Patents
内径非接触測定装置Info
- Publication number
- JPH08155794A JPH08155794A JP30477694A JP30477694A JPH08155794A JP H08155794 A JPH08155794 A JP H08155794A JP 30477694 A JP30477694 A JP 30477694A JP 30477694 A JP30477694 A JP 30477694A JP H08155794 A JPH08155794 A JP H08155794A
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- measuring
- inner diameter
- hole
- work
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小径でかつ長い細穴をもつワークを正確に測
定する測定装置を提供する。 【構成】 内径非接触測定装置１は、フレーム１０上に
とりつけられるベース１５とベース１５に立設されるコ
ラム２０を有する。ベース上にはテーブル５０がとりつ
けられ、サーボモータによりＸ軸，Ｙ軸方向に移動し、
位置決めされる。テーブル５０はワークの取付装置５２
０が装備される。コラム２０にはＺ軸方向に移動する測
定ヘッドを有する３基の測定ステーション３１，３２，
３３が設けられる。第１の測定ステーション３１は穴の
内壁面を検査する内視鏡を有し、内壁面をモニター６０
に表示して表面粗度を測定する。第２，第３の測定ステ
ーション３２，３３はエアマイクロメータ又は静電圧計
を備え、穴の内径寸法と穴の真直度を測定する。テーブ
ル５０や各測定ステーションは、制御盤７１上に設けた
操作レバー７１０により操作される。
定する測定装置を提供する。 【構成】 内径非接触測定装置１は、フレーム１０上に
とりつけられるベース１５とベース１５に立設されるコ
ラム２０を有する。ベース上にはテーブル５０がとりつ
けられ、サーボモータによりＸ軸，Ｙ軸方向に移動し、
位置決めされる。テーブル５０はワークの取付装置５２
０が装備される。コラム２０にはＺ軸方向に移動する測
定ヘッドを有する３基の測定ステーション３１，３２，
３３が設けられる。第１の測定ステーション３１は穴の
内壁面を検査する内視鏡を有し、内壁面をモニター６０
に表示して表面粗度を測定する。第２，第３の測定ステ
ーション３２，３３はエアマイクロメータ又は静電圧計
を備え、穴の内径寸法と穴の真直度を測定する。テーブ
ル５０や各測定ステーションは、制御盤７１上に設けた
操作レバー７１０により操作される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、機械部品、特に高い寸
法精度が要求される細穴を有する機械部品の内径非接触
測定装置に関する。
法精度が要求される細穴を有する機械部品の内径非接触
測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】機械部品の内径を測定する装置として
は、各種のマイクロゲージや三次元測定装置が利用さ
れ、内径寸法を直接に測定することができる。しかしな
がら細穴の場合には、スライラス等を挿入するスペース
が無く、エアマイクロメータとマスターリングを用いた
比較測定を行っている。
は、各種のマイクロゲージや三次元測定装置が利用さ
れ、内径寸法を直接に測定することができる。しかしな
がら細穴の場合には、スライラス等を挿入するスペース
が無く、エアマイクロメータとマスターリングを用いた
比較測定を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】例えば、流体の流量を
制御する機器にあっては、細穴を精密に加工する必要が
ある。この種の精密機器にあっては、加工された細穴の
加工精度を正確に測定する必要がある。本発明はこの種
の精密機器の内径を効率よく測定する装置を提供するも
のである。
制御する機器にあっては、細穴を精密に加工する必要が
ある。この種の精密機器にあっては、加工された細穴の
加工精度を正確に測定する必要がある。本発明はこの種
の精密機器の内径を効率よく測定する装置を提供するも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の内径非接触測定
装置は、基本的手段として、フレームと、フレーム上に
防振材を介して載置されるベースと、ベース上に配設さ
れて内径を測定するワークの穴を垂直方向に向けて取付
けるワーク取付装置を備えるテーブルと、テーブルを水
平方向の直交する２軸に沿って移動させるテーブル駆動
装置と、テーブルの移動軸線に対して垂直方向に配設さ
れるコラムと、コラムに装備される測定ステーションを
有し、測定ステーションは、穴の内径壁面の表面粗度を
測定する第１の測定ステーションと、穴の内径寸法を測
定する第２の測定ステーションと、穴の真直度を測定す
る第３のステーションを備える。
装置は、基本的手段として、フレームと、フレーム上に
防振材を介して載置されるベースと、ベース上に配設さ
れて内径を測定するワークの穴を垂直方向に向けて取付
けるワーク取付装置を備えるテーブルと、テーブルを水
平方向の直交する２軸に沿って移動させるテーブル駆動
装置と、テーブルの移動軸線に対して垂直方向に配設さ
れるコラムと、コラムに装備される測定ステーションを
有し、測定ステーションは、穴の内径壁面の表面粗度を
測定する第１の測定ステーションと、穴の内径寸法を測
定する第２の測定ステーションと、穴の真直度を測定す
る第３のステーションを備える。
【０００５】
【作用】測定すべき細穴を有するワークは、３つの測定
ステーションへ送られて、内壁部の表面粗度、内径寸
法、穴の真直度が順次測定される。
ステーションへ送られて、内壁部の表面粗度、内径寸
法、穴の真直度が順次測定される。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の装置の全体の概要を示す斜視
図、図２は測定部の正面図、図３は右側面図ある。全体
を符号１で示す内径非接触測定装置は、フレーム１０
と、フレーム１０上に防振ゴム１２を介して載置される
ベース１５とベース１５上に立設される測定コラム２０
と、ワークを載置するテーブル５０とを有する測定部
と、測定部に隣接して配設されるモニター装置６０と、
制御装置７０を備える。測定コラム２０の前面には、測
定ステーション３０が設けられ、測定ステーション３０
には３基の測定ステーション３１，３２，３３が装備さ
れている。
図、図２は測定部の正面図、図３は右側面図ある。全体
を符号１で示す内径非接触測定装置は、フレーム１０
と、フレーム１０上に防振ゴム１２を介して載置される
ベース１５とベース１５上に立設される測定コラム２０
と、ワークを載置するテーブル５０とを有する測定部
と、測定部に隣接して配設されるモニター装置６０と、
制御装置７０を備える。測定コラム２０の前面には、測
定ステーション３０が設けられ、測定ステーション３０
には３基の測定ステーション３１，３２，３３が装備さ
れている。
【０００７】フレーム１０上に防振ゴム１２を介して載
置されるベース１５上には、第１のリニアガイド５１が
設けられ、摺動部材５２がとりつけられる。摺動部材５
２はパルスモータ５１０によってＸ軸方向に移動、位置
決めされる。摺動部材５２上には第２のリニアガイド５
３が設けられ、テーブル５０が摺動自在にとりつけられ
る。テーブル５０は、摺動部材５２に設けられるパルス
モータ５１２によってＹ軸方向に移動、位置決めされ
る。測定ステーション３０は、測定コラム２０の前面に
とりつけられるリニアガイドレール３１０と、このガイ
ドレールに摺動自在に支持されるスライドヘッド３２０
を有する。スライドヘッド３２０はサーボモータ３３０
により駆動されるボールネジ３３２によってＺ軸方向に
移動する。
置されるベース１５上には、第１のリニアガイド５１が
設けられ、摺動部材５２がとりつけられる。摺動部材５
２はパルスモータ５１０によってＸ軸方向に移動、位置
決めされる。摺動部材５２上には第２のリニアガイド５
３が設けられ、テーブル５０が摺動自在にとりつけられ
る。テーブル５０は、摺動部材５２に設けられるパルス
モータ５１２によってＹ軸方向に移動、位置決めされ
る。測定ステーション３０は、測定コラム２０の前面に
とりつけられるリニアガイドレール３１０と、このガイ
ドレールに摺動自在に支持されるスライドヘッド３２０
を有する。スライドヘッド３２０はサーボモータ３３０
により駆動されるボールネジ３３２によってＺ軸方向に
移動する。
【０００８】モニター６０と制御装置７０は、測定部か
ら離れて配設することができる。制御装置７０は、例え
ばアンプ７２、ビデオプリンタ７３、印字用のプリンタ
７４、内径測定結果を示すディジタル表示部７３０、真
円度測定結果を示すディジタル表示部７４０等を備え
る。制御盤７１上には、各種の操作ボタン、ダイヤルと
共に、いわゆるジョイスティック状の操作レバー７１０
が装備される。この操作レバー７１０により、テーブル
５０はＸ軸、Ｙ軸に移動制御される。また、Ｚ軸方向の
操作も可能とする機能を備えることもできる。
ら離れて配設することができる。制御装置７０は、例え
ばアンプ７２、ビデオプリンタ７３、印字用のプリンタ
７４、内径測定結果を示すディジタル表示部７３０、真
円度測定結果を示すディジタル表示部７４０等を備え
る。制御盤７１上には、各種の操作ボタン、ダイヤルと
共に、いわゆるジョイスティック状の操作レバー７１０
が装備される。この操作レバー７１０により、テーブル
５０はＸ軸、Ｙ軸に移動制御される。また、Ｚ軸方向の
操作も可能とする機能を備えることもできる。
【０００９】図４は、測定ステーションにおけるテーブ
ル上のワークと測定ヘッドの関係を示す詳細図である。
テーブル５０上にはエアシリンダ５２０が載置されてお
り、そのピストン５２２の先端部にワークの取付ヘッド
５３０が装備される。全体を符号８０で示すワークは、
第１の穴８１、第２の穴８４を有し、ワーク８０は、第
１の穴８１をワークの取付ヘッド５３０のボス５３２に
嵌装することによって取付けられる。測定対象となる第
２の穴８４は、細穴であって、内径部８５の内側に設け
られる。第２の穴８４は内径寸法が小さく、しかも軸寸
法が長いので、加工は難しい。このような細穴は加工も
難しいが、加工後の細穴が設計仕様を満足するか否かを
測定することも極めて難しい作業となる。
ル上のワークと測定ヘッドの関係を示す詳細図である。
テーブル５０上にはエアシリンダ５２０が載置されてお
り、そのピストン５２２の先端部にワークの取付ヘッド
５３０が装備される。全体を符号８０で示すワークは、
第１の穴８１、第２の穴８４を有し、ワーク８０は、第
１の穴８１をワークの取付ヘッド５３０のボス５３２に
嵌装することによって取付けられる。測定対象となる第
２の穴８４は、細穴であって、内径部８５の内側に設け
られる。第２の穴８４は内径寸法が小さく、しかも軸寸
法が長いので、加工は難しい。このような細穴は加工も
難しいが、加工後の細穴が設計仕様を満足するか否かを
測定することも極めて難しい作業となる。
【００１０】本発明の測定装置は、この種の細穴８４を
高精度に、かつ効率よく測定するものである。ワーク８
０は、取付けヘッド５３０にとりつけられた状態で、エ
アシリンダ５２０を作動してワークの上部をワーク押え
２２につき当てて位置決めすることもできる。本発明の
場合には、ワーク８０の上部に設けられるネジ部８６を
利用してナット状の測定治具９０をとりつけ、この治具
９０をワーク押え２２に当接することによって、より精
度の高いワークの位置決めを達成する。測定ヘッド３５
０は、シリンダ３４０と一体にＺ軸方向に摺動され、そ
の先端には測定目的に応じた各種のプローブ３６０がと
りつけられる。
高精度に、かつ効率よく測定するものである。ワーク８
０は、取付けヘッド５３０にとりつけられた状態で、エ
アシリンダ５２０を作動してワークの上部をワーク押え
２２につき当てて位置決めすることもできる。本発明の
場合には、ワーク８０の上部に設けられるネジ部８６を
利用してナット状の測定治具９０をとりつけ、この治具
９０をワーク押え２２に当接することによって、より精
度の高いワークの位置決めを達成する。測定ヘッド３５
０は、シリンダ３４０と一体にＺ軸方向に摺動され、そ
の先端には測定目的に応じた各種のプローブ３６０がと
りつけられる。
【００１１】図５は、第１の測定ステーション３１の構
成を示す。第１の測定ステーション３１は、測定ヘッド
３５０にファイバースコープを利用した内視鏡３６１を
装備したものである。内視鏡３６１は、チューブの内部
にファイバースコープとレンズを装備したもので、光源
からの光を先端から照射して内径部の壁面を視認するこ
とができる。ワーク取付けヘッド５３０にとりつけたワ
ーク８０を、図４に示す状態にセットして、内視鏡３６
１を第４の穴８４内に差し込むことにより穴８４の内壁
面はアンプ６２を介してモニター６０上に表示される。
この表示画像を予め用意した基準画像と比較することに
よって、穴の内壁面の加工粗度を検査することができ
る。なお、表示画像の検査は、オペレータが視認する
か、または画像処理によって自動化し、ビデオプリンタ
７３に出力することも可能である。
成を示す。第１の測定ステーション３１は、測定ヘッド
３５０にファイバースコープを利用した内視鏡３６１を
装備したものである。内視鏡３６１は、チューブの内部
にファイバースコープとレンズを装備したもので、光源
からの光を先端から照射して内径部の壁面を視認するこ
とができる。ワーク取付けヘッド５３０にとりつけたワ
ーク８０を、図４に示す状態にセットして、内視鏡３６
１を第４の穴８４内に差し込むことにより穴８４の内壁
面はアンプ６２を介してモニター６０上に表示される。
この表示画像を予め用意した基準画像と比較することに
よって、穴の内壁面の加工粗度を検査することができ
る。なお、表示画像の検査は、オペレータが視認する
か、または画像処理によって自動化し、ビデオプリンタ
７３に出力することも可能である。
【００１２】図６，図７は第２の測定ステーション３２
の構成を示す。第２のステーション３２は測定ヘッドに
エアマイクロメータ３６２又は静電圧計を装備してい
る。スライドヘッド３２０は、サーボモータ３３０が駆
動するボールネジ３３２の回転量に応じてＺ軸方向に移
動する。ワークの穴８４内に挿入されたエアマイクロメ
ータ３６２は、ノズルから穴８４内に矢印Ｐの方向にエ
アを吹き出す。このエアの流量と、マイクロメータ３６
２をマスターゲージに挿入してエアを吹き出したときの
流量とを比較することによって、穴８４の内径寸法が所
定の寸法範囲内であるか否かを検査することができる。
エアマイクロメータ３６２からの信号は、アンプを介し
て制御装置７０内の判定装置９０へ送られ、合否が判定
される。測定結果は、必要に応じてプリンタ７４へも出
力される。
の構成を示す。第２のステーション３２は測定ヘッドに
エアマイクロメータ３６２又は静電圧計を装備してい
る。スライドヘッド３２０は、サーボモータ３３０が駆
動するボールネジ３３２の回転量に応じてＺ軸方向に移
動する。ワークの穴８４内に挿入されたエアマイクロメ
ータ３６２は、ノズルから穴８４内に矢印Ｐの方向にエ
アを吹き出す。このエアの流量と、マイクロメータ３６
２をマスターゲージに挿入してエアを吹き出したときの
流量とを比較することによって、穴８４の内径寸法が所
定の寸法範囲内であるか否かを検査することができる。
エアマイクロメータ３６２からの信号は、アンプを介し
て制御装置７０内の判定装置９０へ送られ、合否が判定
される。測定結果は、必要に応じてプリンタ７４へも出
力される。
【００１３】図８，図９，図１０は、第３の測定ステー
ション３３の構成を示す。スライダヘッド３２０に装備
される測定ヘッド３５０は、サーボモータ３７０と減速
装置３７２を介して連結され、サーボモータ３７０の駆
動により測定ヘッド３５０は軸まわりに回転する。測定
ヘッド３５０にとりつけられたエアマイクロメータ３６
３又は静電圧計は、ワークの穴８４に挿入された状態で
回転する。この間にエアマイクロメータ３６３は、ノズ
ルから４つのポイントＰ1，Ｐ2，Ｐ3，Ｐ4の位置にエア
を吹き出し、又は静電圧計を挿入し、穴８４の内径の真
円度を測定する。この信号はアンプ９２を介して判定装
置に送られ、マスターゲージで得られた真円度のデータ
と比較される。判定結果は、制御装置７０内の判定装置
９０のランプに示される。測定結果をプリンタ７４に出
力することもできる。
ション３３の構成を示す。スライダヘッド３２０に装備
される測定ヘッド３５０は、サーボモータ３７０と減速
装置３７２を介して連結され、サーボモータ３７０の駆
動により測定ヘッド３５０は軸まわりに回転する。測定
ヘッド３５０にとりつけられたエアマイクロメータ３６
３又は静電圧計は、ワークの穴８４に挿入された状態で
回転する。この間にエアマイクロメータ３６３は、ノズ
ルから４つのポイントＰ1，Ｐ2，Ｐ3，Ｐ4の位置にエア
を吹き出し、又は静電圧計を挿入し、穴８４の内径の真
円度を測定する。この信号はアンプ９２を介して判定装
置に送られ、マスターゲージで得られた真円度のデータ
と比較される。判定結果は、制御装置７０内の判定装置
９０のランプに示される。測定結果をプリンタ７４に出
力することもできる。
【００１４】図１１は本発明の内径非接触測定装置によ
る自動測定の手順を示すフロー図である。ワークをテー
ブル上に固定し、全自動スタートボタンを押すと、ワー
クの位置をカメラが確認し、内径の測定と真直度の測定
を自動的に行なう。結果は、プリンタに出力される。そ
の後に、穴の内面の粗さをミニボアスコープを用いて検
査する。ミニボアスコープは、ジョイスティックを操作
してＺ軸方向に操作する。表面粗さの検査を最終に行な
うのは、前工程でエアマイクロメータ等によって穴の内
壁面に傷が付くこともあって、この傷の有無を含めて検
査するためである。
る自動測定の手順を示すフロー図である。ワークをテー
ブル上に固定し、全自動スタートボタンを押すと、ワー
クの位置をカメラが確認し、内径の測定と真直度の測定
を自動的に行なう。結果は、プリンタに出力される。そ
の後に、穴の内面の粗さをミニボアスコープを用いて検
査する。ミニボアスコープは、ジョイスティックを操作
してＺ軸方向に操作する。表面粗さの検査を最終に行な
うのは、前工程でエアマイクロメータ等によって穴の内
壁面に傷が付くこともあって、この傷の有無を含めて検
査するためである。
【００１５】図１２は、各測定項目を個別に実行するフ
ローを示す。図１３は、テーブルと測定ヘッドの動作の
フローを示す。本発明は以上のように、ワークの取付テ
ーブル５０上にセットしたワークを３つの測定ステーシ
ョンに順次移動させて、効率よく細穴の加工精度を測定
することができる。
ローを示す。図１３は、テーブルと測定ヘッドの動作の
フローを示す。本発明は以上のように、ワークの取付テ
ーブル５０上にセットしたワークを３つの測定ステーシ
ョンに順次移動させて、効率よく細穴の加工精度を測定
することができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は以上のように、精密加工を施さ
れた細穴を有するワークの測定装置にあって、ワークを
取りつけたテーブルと、各測定を担当する複数の測定ス
テーションを備え、ワークを順次測定ステーションに送
って、測定を行なう。測定ステーションは、内壁面の表
面粗度、穴の内径寸法、穴の真直度をそれぞれ担当す
る。表面粗度は内視鏡によって拡大されてモニター上に
表示されるので、これを標準の画像と比較して良否を容
易に判定することができる。穴の内径寸法と、真直度
は、それぞれエアマイクロメータ又は静電圧計を用い、
その結果は自動的に測定され、良否を自動的に判定され
る。したがって、測定効率良く、測定精度も高い。
れた細穴を有するワークの測定装置にあって、ワークを
取りつけたテーブルと、各測定を担当する複数の測定ス
テーションを備え、ワークを順次測定ステーションに送
って、測定を行なう。測定ステーションは、内壁面の表
面粗度、穴の内径寸法、穴の真直度をそれぞれ担当す
る。表面粗度は内視鏡によって拡大されてモニター上に
表示されるので、これを標準の画像と比較して良否を容
易に判定することができる。穴の内径寸法と、真直度
は、それぞれエアマイクロメータ又は静電圧計を用い、
その結果は自動的に測定され、良否を自動的に判定され
る。したがって、測定効率良く、測定精度も高い。
【図１】本発明の内径非接触測定装置の全体構成を示す
斜視図。
斜視図。
【図２】本発明の内径非接触測定装置の正面図。
【図３】本発明の内径非接触測定装置の右側面図。
【図４】ワークの取付装置の詳細を示す説明図。
【図５】第１の測定ステーションを示す説明図。
【図６】第２の測定ステーションを示す説明図。
【図７】穴の内径寸法の測定個所を示す説明図。
【図８】第３の測定ステーションを示す説明図。
【図９】穴の真直度の測定個所を示す説明図。
【図１０】穴の真直度の測定個所を示す説明図。
【図１１】測定の手順を示すフロー図。
【図１２】測定の手順を示すフロー図。
【図１３】操作のフロー図。
１ 内径非接触測定装置 １０ フレーム １５ ベース ２０ 測定コラム ３０ 測定ステーション ５０ ワークテーブル ６０ モニター ７０ 制御装置 ８０ ワーク
Claims (5)
- 【請求項１】 フレームと、フレーム上に防振材を介し
て載置されるベースと、ベース上に配設されて内径を測
定するワークの穴を垂直方向に向けて取付けるワーク取
付装置を備えるテーブルと、テーブルを水平方向の直交
する２軸に沿って移動させるテーブル駆動装置と、テー
ブルの移動軸線に対して垂直方向に配設されるコラム
と、コラムに装備される測定ステーションを有し、測定
ステーションは、穴の内径壁面の表面粗度を測定する第
１の測定ステーションと、穴の内径寸法を測定する第２
の測定ステーションと、穴の真直度を測定する第３のス
テーションを備えてなる内径非接触測定装置。 - 【請求項２】 コラムに配設されるワーク押えと、ワー
ク取付装置に装備されてワークをワーク押えに押し上げ
るアクチュエータを備えてなる請求項１記載の内径非接
触測定装置。 - 【請求項３】 穴の内径壁面の表面粗度を測定する手段
は内視鏡又はレーザ光線にて測定する手段である請求項
１記載の内径非接触測定装置。 - 【請求項４】 穴の内径寸法と真直度を測定する手段は
エアマイクロメータ又は静電圧方式を用いる測定手段で
ある請求項１記載の内径非接触測定装置。 - 【請求項５】 各測定ステーションは、測定手段を垂直
方向に移動する手段を備えてなる請求項１記載の内径非
接触測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30477694A JPH08155794A (ja) | 1994-12-08 | 1994-12-08 | 内径非接触測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30477694A JPH08155794A (ja) | 1994-12-08 | 1994-12-08 | 内径非接触測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08155794A true JPH08155794A (ja) | 1996-06-18 |
Family
ID=17937094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30477694A Pending JPH08155794A (ja) | 1994-12-08 | 1994-12-08 | 内径非接触測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08155794A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002065054A1 (fr) * | 2001-02-16 | 2002-08-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Procede et dispositif permettant de mesurer la dimension de diametre interieur d'un ouvrage |
| KR100686602B1 (ko) * | 2004-01-09 | 2007-02-23 | 가부시키가이샤 후지킨 | 소공 구멍지름 자동계측장치, 소공 구멍지름 계측방법 및샤워 플레이트의 제조방법 |
| WO2012063833A1 (ja) | 2010-11-09 | 2012-05-18 | 三菱重工業株式会社 | 穴検査装置 |
| KR102099399B1 (ko) * | 2019-10-22 | 2020-04-10 | (주)성문테크 | 내경 측정장치 |
| CN113182931A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-07-30 | 中国航发航空科技股份有限公司 | 一种叶片榫头bot值测量辅助工装及其使用方法 |
-
1994
- 1994-12-08 JP JP30477694A patent/JPH08155794A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002065054A1 (fr) * | 2001-02-16 | 2002-08-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Procede et dispositif permettant de mesurer la dimension de diametre interieur d'un ouvrage |
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