JPH0815437A - レーザ速度測定装置 - Google Patents
レーザ速度測定装置Info
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- JPH0815437A JPH0815437A JP17603594A JP17603594A JPH0815437A JP H0815437 A JPH0815437 A JP H0815437A JP 17603594 A JP17603594 A JP 17603594A JP 17603594 A JP17603594 A JP 17603594A JP H0815437 A JPH0815437 A JP H0815437A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２本のレーザビームを交差させて、交差領域
を通過する微粒子の散乱光から粒子速度を検出するレー
ザ速度測定装置において、比較的簡単な構成で粒子の移
動方向を判別できるようにすること。 【構成】 半導体レーザ１のレーザ光をビームスプリッ
タ２で分割して集束レンズ３により１点で集束させる。
そして交差領域に形成される干渉縞を通過する散乱光を
集光レンズ５によって集光してフォトダイオード６で受
光する。フォトダイオード６は２分割型のフォトダイオ
ードを用いる。フォトダイオード６の２つの領域の双方
から出力が得られたときに、その受光順序に基づいて方
向を判別している。
を通過する微粒子の散乱光から粒子速度を検出するレー
ザ速度測定装置において、比較的簡単な構成で粒子の移
動方向を判別できるようにすること。 【構成】 半導体レーザ１のレーザ光をビームスプリッ
タ２で分割して集束レンズ３により１点で集束させる。
そして交差領域に形成される干渉縞を通過する散乱光を
集光レンズ５によって集光してフォトダイオード６で受
光する。フォトダイオード６は２分割型のフォトダイオ
ードを用いる。フォトダイオード６の２つの領域の双方
から出力が得られたときに、その受光順序に基づいて方
向を判別している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微粒子の速度を測定する
ようにしたレーザ速度測定装置に関するものである。
ようにしたレーザ速度測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より可干渉性及び単色性に優れたレ
ーザ光の特徴に着目してレーザ光を用いて粒子速度を測
定する装置が提案され、近年デュアルビームによるレー
ザ速度計が広く用いられている。デュアルビームレーザ
速度計は同一の偏光面を有するレーザビームを一点で交
差させて干渉縞を形成し、交差領域を粒子が通過すると
きに生じる散乱光が干渉縞に対応した周期的な強度変化
を有することから、粒子速度を測定するものである。こ
のような従来の干渉縞を形成したレーザ速度測定装置で
は、粒子の移動方向を検出することができなかった。そ
こで例えば特開昭62-43569号に示されるように、ブラッ
グセルを用いてデュアルビームのレーザ光のいずれか一
方の周波数をシフトさせ、干渉縞を形成するようにした
装置が知られている。このようなブラッグセルを用いて
干渉縞を形成した場合には、干渉縞が所定の方向に周波
数シフトさせた速度に対応した速度で移動するため、得
られた周波数解析結果に基づいてその移動方向を判別す
ることができる。
ーザ光の特徴に着目してレーザ光を用いて粒子速度を測
定する装置が提案され、近年デュアルビームによるレー
ザ速度計が広く用いられている。デュアルビームレーザ
速度計は同一の偏光面を有するレーザビームを一点で交
差させて干渉縞を形成し、交差領域を粒子が通過すると
きに生じる散乱光が干渉縞に対応した周期的な強度変化
を有することから、粒子速度を測定するものである。こ
のような従来の干渉縞を形成したレーザ速度測定装置で
は、粒子の移動方向を検出することができなかった。そ
こで例えば特開昭62-43569号に示されるように、ブラッ
グセルを用いてデュアルビームのレーザ光のいずれか一
方の周波数をシフトさせ、干渉縞を形成するようにした
装置が知られている。このようなブラッグセルを用いて
干渉縞を形成した場合には、干渉縞が所定の方向に周波
数シフトさせた速度に対応した速度で移動するため、得
られた周波数解析結果に基づいてその移動方向を判別す
ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来のレーザ速度測定装置では、高価なブラッグセル
を必要とし、又信号を受光して周波数を解析した後に方
向を判別する必要があり、信号処理部の構成が複雑にな
るという欠点があった。
な従来のレーザ速度測定装置では、高価なブラッグセル
を必要とし、又信号を受光して周波数を解析した後に方
向を判別する必要があり、信号処理部の構成が複雑にな
るという欠点があった。
【０００４】本願の請求項１〜３の発明はこのような従
来の問題点に鑑みてなされたものであって、比較的簡単
な構成で粒子の移動方向を判別することができるレーザ
速度測定装置を提供することを目的とする。
来の問題点に鑑みてなされたものであって、比較的簡単
な構成で粒子の移動方向を判別することができるレーザ
速度測定装置を提供することを目的とする。
【０００５】又本願の請求項４の発明はこの課題に加え
て、二次元での粒子の移動方向を判別できるようにする
ことを目的とする。
て、二次元での粒子の移動方向を判別できるようにする
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、単一波長のレーザ光を発生するレーザ光源と、レー
ザ光源より得られるレーザ光を２分割し、一対の光ビー
ムとするビーム分離手段と、ビーム分離手段より与えら
れる一対の光ビームを１点で交差させる第１の光学手段
と、交差領域を粒子が通過したときに得られる散乱光を
集光する第２の光学手段と、その受光領域が１本の分割
線によって第１，第２の受光領域に２分割され、第２の
光学手段により集光された散乱光を受光し、電気信号に
変換する第１の光電変換器と、第１の光電変換器の第１
の受光領域及び第２の受光領域より得られる受光信号を
加算する加算手段と、加算手段より出力が得られている
間に第１の光電変換器の第１，第２の受光領域より続け
て受光信号が得られる際に、その受光順序によって粒子
の移動方向を判別する方向判別手段と、第１の光電変換
器の出力の交流成分から交差領域を通過する粒子の速度
を検出する速度検出手段と、を具備することを特徴とす
るものである。
は、単一波長のレーザ光を発生するレーザ光源と、レー
ザ光源より得られるレーザ光を２分割し、一対の光ビー
ムとするビーム分離手段と、ビーム分離手段より与えら
れる一対の光ビームを１点で交差させる第１の光学手段
と、交差領域を粒子が通過したときに得られる散乱光を
集光する第２の光学手段と、その受光領域が１本の分割
線によって第１，第２の受光領域に２分割され、第２の
光学手段により集光された散乱光を受光し、電気信号に
変換する第１の光電変換器と、第１の光電変換器の第１
の受光領域及び第２の受光領域より得られる受光信号を
加算する加算手段と、加算手段より出力が得られている
間に第１の光電変換器の第１，第２の受光領域より続け
て受光信号が得られる際に、その受光順序によって粒子
の移動方向を判別する方向判別手段と、第１の光電変換
器の出力の交流成分から交差領域を通過する粒子の速度
を検出する速度検出手段と、を具備することを特徴とす
るものである。
【０００７】本願の請求項２の発明は、単一波長のレー
ザ光を発生するレーザ光源と、レーザ光源より得られる
レーザ光を２分割し、一対の光ビームとするビーム分離
手段と、ビーム分離手段より与えられる一対の光ビーム
を１点で交差させる第１の光学手段と、交差領域を粒子
が通過したときに得られる散乱光を集光する第２の光学
手段と、その受光領域が１本の分割線によって第１，第
２の受光領域に２分割され、第２の光学手段により集光
された散乱光を受光し、電気信号に変換する第１の光電
変換器と、第２の光学手段より集光された散乱光を受光
し電気信号に変換する第２の光電変換器と、第２の光電
変換器より出力が得られている間に第１の光電変換器の
第１，第２の受光領域より続けて受光信号が得られる際
に、その受光順序によって粒子の移動方向を判別する方
向判別手段と、第２の光電変換器の出力の交流成分から
交差領域を通過する粒子の速度を検出する速度検出手段
と、を具備することを特徴とするものである。
ザ光を発生するレーザ光源と、レーザ光源より得られる
レーザ光を２分割し、一対の光ビームとするビーム分離
手段と、ビーム分離手段より与えられる一対の光ビーム
を１点で交差させる第１の光学手段と、交差領域を粒子
が通過したときに得られる散乱光を集光する第２の光学
手段と、その受光領域が１本の分割線によって第１，第
２の受光領域に２分割され、第２の光学手段により集光
された散乱光を受光し、電気信号に変換する第１の光電
変換器と、第２の光学手段より集光された散乱光を受光
し電気信号に変換する第２の光電変換器と、第２の光電
変換器より出力が得られている間に第１の光電変換器の
第１，第２の受光領域より続けて受光信号が得られる際
に、その受光順序によって粒子の移動方向を判別する方
向判別手段と、第２の光電変換器の出力の交流成分から
交差領域を通過する粒子の速度を検出する速度検出手段
と、を具備することを特徴とするものである。
【０００８】本願の請求項４の発明は、相異なる第１，
第２の波長のレーザ光を発生するレーザ光源と、第１，
第２の波長のレーザ光源より得られるレーザ光を夫々２
分割し、各対のレーザビームを含む二面が垂直となる二
対の光ビームとするビーム分離手段と、ビーム分離手段
より与えられる二対の光ビームを１点で交差させる第１
の光学手段と、交差領域を粒子が通過したときに得られ
る散乱光を集光する第２の光学手段と、互いに垂直な２
本の線によって第１〜第４の受光領域に４分割され、第
１，第２の受光領域と第１，第３の受光領域が隣接して
いるように分割された受光領域を有し、第２の光学手段
により集光された第１，第２の波長の散乱光を受光して
電気信号に変換する第１の光電変換器と、第２の光学手
段より集光された第１の波長の散乱光を受光し電気信号
に変換する第２の光電変換器と、第２の光学手段より集
光された第２の波長の散乱光を受光し電気信号に変換す
る第３の光電変換器と、第１の光電変換器の互いに隣接
する第１，第２の受光領域の出力を加算する第１の加算
手段と、第１の光電変換器の互いに隣接する第３，第４
の受光領域の出力を加算する第２の加算手段と、第１の
光電変換器の互いに隣接する第１，第３の受光領域の出
力を加算する第３の加算手段と、第１の光電変換器の互
いに隣接する第２，第４の受光領域の出力を加算する第
４の加算手段と、第３の光電変換器より出力が得られて
いる間に、第１，第２の加算手段より続けて信号が得ら
れたときにその出力の順序に基づいて方向を判別するＹ
方向判別手段と、第２の光電変換器より出力が得られて
いる間に、第３，第４の加算手段より続けて信号が得ら
れたときにその出力の順序に基づいて方向を判別するＸ
方向判別手段と、第３の光電変換器の出力に基づいてそ
の周波数よりＹ方向の速度を検出するＹ方向速度検出手
段と、第２の光電変換器の出力に基づいてその周波数よ
りＸ方向の速度を検出するＸ方向速度検出手段と、を具
備することを特徴とするものである。
第２の波長のレーザ光を発生するレーザ光源と、第１，
第２の波長のレーザ光源より得られるレーザ光を夫々２
分割し、各対のレーザビームを含む二面が垂直となる二
対の光ビームとするビーム分離手段と、ビーム分離手段
より与えられる二対の光ビームを１点で交差させる第１
の光学手段と、交差領域を粒子が通過したときに得られ
る散乱光を集光する第２の光学手段と、互いに垂直な２
本の線によって第１〜第４の受光領域に４分割され、第
１，第２の受光領域と第１，第３の受光領域が隣接して
いるように分割された受光領域を有し、第２の光学手段
により集光された第１，第２の波長の散乱光を受光して
電気信号に変換する第１の光電変換器と、第２の光学手
段より集光された第１の波長の散乱光を受光し電気信号
に変換する第２の光電変換器と、第２の光学手段より集
光された第２の波長の散乱光を受光し電気信号に変換す
る第３の光電変換器と、第１の光電変換器の互いに隣接
する第１，第２の受光領域の出力を加算する第１の加算
手段と、第１の光電変換器の互いに隣接する第３，第４
の受光領域の出力を加算する第２の加算手段と、第１の
光電変換器の互いに隣接する第１，第３の受光領域の出
力を加算する第３の加算手段と、第１の光電変換器の互
いに隣接する第２，第４の受光領域の出力を加算する第
４の加算手段と、第３の光電変換器より出力が得られて
いる間に、第１，第２の加算手段より続けて信号が得ら
れたときにその出力の順序に基づいて方向を判別するＹ
方向判別手段と、第２の光電変換器より出力が得られて
いる間に、第３，第４の加算手段より続けて信号が得ら
れたときにその出力の順序に基づいて方向を判別するＸ
方向判別手段と、第３の光電変換器の出力に基づいてそ
の周波数よりＹ方向の速度を検出するＹ方向速度検出手
段と、第２の光電変換器の出力に基づいてその周波数よ
りＸ方向の速度を検出するＸ方向速度検出手段と、を具
備することを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】このような特徴を有する本願の請求項１の発明
によれば、レーザ光源のレーザ光をビーム分離手段で分
離し、第１の光学手段で１点で交差させる。こうすれば
交差領域で干渉縞が形成される。この交差領域を微粒子
が通過すれば散乱光が得られ、散乱光を第２の光学手段
で集光して第１の光電変換器により受光する。第１の光
電変換器は第１，第２の受光領域に２分割されているた
め、これらの加算出力が得られている間にその受光順序
によって方向判別手段によりその粒子の移動方向を判別
するようにしている。又加算手段の交流成分からその周
波数に基づいて粒子の速度を検出することができる。
によれば、レーザ光源のレーザ光をビーム分離手段で分
離し、第１の光学手段で１点で交差させる。こうすれば
交差領域で干渉縞が形成される。この交差領域を微粒子
が通過すれば散乱光が得られ、散乱光を第２の光学手段
で集光して第１の光電変換器により受光する。第１の光
電変換器は第１，第２の受光領域に２分割されているた
め、これらの加算出力が得られている間にその受光順序
によって方向判別手段によりその粒子の移動方向を判別
するようにしている。又加算手段の交流成分からその周
波数に基づいて粒子の速度を検出することができる。
【００１０】請求項２の発明では、加算手段に代えて交
差領域の全ての領域からの散乱光を受光する第２の光電
変換器を用いている。このため加算手段を用いることな
く粒子の速度が検出できることとなる。
差領域の全ての領域からの散乱光を受光する第２の光電
変換器を用いている。このため加算手段を用いることな
く粒子の速度が検出できることとなる。
【００１１】更に請求項４の発明では、異なった波長の
レーザ光源を設け、夫々を２対の光ビームに分離して１
点で集光させる。こうして交差領域を粒子を通過したと
きに第２の光学手段によってその散乱光を集光し、第１
〜第４の受光領域を有する４分割型の第１の光電変換器
と、夫々第１，第２の波長の光に感度を有する第２，第
３の光電変換器によって受光する。そして４分割型の光
電変換器の出力は互いに隣接する受光領域毎に第１〜第
４の加算手段で加算する。こうして第２又は第３の光電
変換器の出力が得られたときに、第１，第２の加算手段
の出力の順序及び第３，第４の加算手段の出力の順序に
基づいて、Ｙ方向及びＸ方向の粒子の方向の正負を判別
する。同時に第２，第３の光電変換の出力の交流成分か
らＹ方向及びＸ方向の速度成分を算出するようにしたも
のである。
レーザ光源を設け、夫々を２対の光ビームに分離して１
点で集光させる。こうして交差領域を粒子を通過したと
きに第２の光学手段によってその散乱光を集光し、第１
〜第４の受光領域を有する４分割型の第１の光電変換器
と、夫々第１，第２の波長の光に感度を有する第２，第
３の光電変換器によって受光する。そして４分割型の光
電変換器の出力は互いに隣接する受光領域毎に第１〜第
４の加算手段で加算する。こうして第２又は第３の光電
変換器の出力が得られたときに、第１，第２の加算手段
の出力の順序及び第３，第４の加算手段の出力の順序に
基づいて、Ｙ方向及びＸ方向の粒子の方向の正負を判別
する。同時に第２，第３の光電変換の出力の交流成分か
らＹ方向及びＸ方向の速度成分を算出するようにしたも
のである。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の第１実施例によるレーザ速度
測定装置の光学系の構成を示す概略図、図２はその信号
処理部の構成を示すブロック図である。これらの図にお
いて単一波長のレーザ光源、例えば半導体レーザ１のレ
ーザビームはビームスプリッタ２に与えられる。ビーム
スプリッタ２は与えられたレーザ光を２本の光強度が等
しい平行なレーザビームに分離する分離手段であって、
そのレーザビームは集束レンズ３に入射される。集束レ
ンズ３は平行なレーザビームを１点の交差領域４に集束
する第１の光学手段である。交差領域４を通過する粒子
による散乱光はレンズ３により集光され、更に散乱光は
レンズ５によって１点で集光される。レンズ３，５は散
乱光を集光する第２の光学手段を構成している。このレ
ンズ５の焦点位置には第１，第２の受光領域を有する第
１の光電変換器、例えば２分割フォトダイオード６が配
置される。２分割フォトダイオード６は図１（ａ）に集
光レンズ５側からの拡大図を示すように、その半分が受
光領域ＰＤ１、上半分が受光領域ＰＤ２となっている。
この受光領域は、第１図（ｂ）に示すように交差領域に
形成される干渉縞の方向に平行な方向、即ち図示のもの
では水平方向に分割しておくことが好ましい。これらの
受光領域からの一対の出力は信号処理部７に与えられ
る。
測定装置の光学系の構成を示す概略図、図２はその信号
処理部の構成を示すブロック図である。これらの図にお
いて単一波長のレーザ光源、例えば半導体レーザ１のレ
ーザビームはビームスプリッタ２に与えられる。ビーム
スプリッタ２は与えられたレーザ光を２本の光強度が等
しい平行なレーザビームに分離する分離手段であって、
そのレーザビームは集束レンズ３に入射される。集束レ
ンズ３は平行なレーザビームを１点の交差領域４に集束
する第１の光学手段である。交差領域４を通過する粒子
による散乱光はレンズ３により集光され、更に散乱光は
レンズ５によって１点で集光される。レンズ３，５は散
乱光を集光する第２の光学手段を構成している。このレ
ンズ５の焦点位置には第１，第２の受光領域を有する第
１の光電変換器、例えば２分割フォトダイオード６が配
置される。２分割フォトダイオード６は図１（ａ）に集
光レンズ５側からの拡大図を示すように、その半分が受
光領域ＰＤ１、上半分が受光領域ＰＤ２となっている。
この受光領域は、第１図（ｂ）に示すように交差領域に
形成される干渉縞の方向に平行な方向、即ち図示のもの
では水平方向に分割しておくことが好ましい。これらの
受光領域からの一対の出力は信号処理部７に与えられ
る。
【００１３】図２において信号処理部７はフォトダイオ
ード６の受光領域ＰＤ１，ＰＤ２の出力を夫々電圧に変
換して増幅する増幅器１０，１１を有しており、これら
の出力は方向判別手段１２のＡＭ検波器１３，１４及び
加算器１５に与えられる。加算器１５はこの増幅器１
０，１１の出力を加算する加算手段であって、その出力
はＡＭ検波器１６及びＡＣ増幅器１７に入力される。Ａ
Ｍ検波器１３，１４及び１６は入力された信号の包絡線
検波を行う検波器であって、夫々の出力はコンパレータ
１８〜２０に入力される。コンパレータ１８〜２０は所
定の閾値で入力信号を弁別して二値化するものであっ
て、その出力は方向判別回路２１に入力される。方向判
別回路２１は、コンパレータ２０から出力が得られてい
る間にコンパレータ１８及び１９の双方から信号が得ら
れたときにのみ、方向を判別するものである。この方向
判別はコンパレータ１８及び１９のいずれかに先に信号
が入力されたかによって＋方向及び−方向のいずれかと
判別する。そして判別出力は外部に出力され、同時に周
波数解析回路２２にも出力される。一方ＡＣ増幅器１７
は加算器１５の出力のうち交流成分を増幅して周波数解
析回路２２に出力するものとする。周波数解析回路２２
は方向判別出力が得られたときに、ＡＣ増幅器１７の出
力の周波数に基づいて速度を算出する速度検出手段であ
る。周波数解析回路２２は例えば高速フーリエ変換（Ｆ
ＦＴ）を行い、周波数軸上で所定レベルを越える周波数
の信号を粒子の速度として出力するものである。
ード６の受光領域ＰＤ１，ＰＤ２の出力を夫々電圧に変
換して増幅する増幅器１０，１１を有しており、これら
の出力は方向判別手段１２のＡＭ検波器１３，１４及び
加算器１５に与えられる。加算器１５はこの増幅器１
０，１１の出力を加算する加算手段であって、その出力
はＡＭ検波器１６及びＡＣ増幅器１７に入力される。Ａ
Ｍ検波器１３，１４及び１６は入力された信号の包絡線
検波を行う検波器であって、夫々の出力はコンパレータ
１８〜２０に入力される。コンパレータ１８〜２０は所
定の閾値で入力信号を弁別して二値化するものであっ
て、その出力は方向判別回路２１に入力される。方向判
別回路２１は、コンパレータ２０から出力が得られてい
る間にコンパレータ１８及び１９の双方から信号が得ら
れたときにのみ、方向を判別するものである。この方向
判別はコンパレータ１８及び１９のいずれかに先に信号
が入力されたかによって＋方向及び−方向のいずれかと
判別する。そして判別出力は外部に出力され、同時に周
波数解析回路２２にも出力される。一方ＡＣ増幅器１７
は加算器１５の出力のうち交流成分を増幅して周波数解
析回路２２に出力するものとする。周波数解析回路２２
は方向判別出力が得られたときに、ＡＣ増幅器１７の出
力の周波数に基づいて速度を算出する速度検出手段であ
る。周波数解析回路２２は例えば高速フーリエ変換（Ｆ
ＦＴ）を行い、周波数軸上で所定レベルを越える周波数
の信号を粒子の速度として出力するものである。
【００１４】次に本実施例の動作について図３のタイム
チャートを参照しつつ説明する。まず図１において半導
体レーザ１を発振させると、レーザビームはビームスプ
リッタ２によって分離されて平行なレーザビームとなっ
てレンズ３により１点で集束される。このとき交差領域
４には図１（ｂ）に拡大図を示すように、干渉縞が形成
される。
チャートを参照しつつ説明する。まず図１において半導
体レーザ１を発振させると、レーザビームはビームスプ
リッタ２によって分離されて平行なレーザビームとなっ
てレンズ３により１点で集束される。このとき交差領域
４には図１（ｂ）に拡大図を示すように、干渉縞が形成
される。
【００１５】さてこの交差領域内をＸ軸の正方向の向き
に微粒子が通過したものとする。Ｘ軸の正方向に微粒子
が通過すれば、交差領域４を貫通してその干渉縞に応じ
た振幅の信号が光電変換器であるフォトダイオード６に
得られる。このときＸ軸の＋方向に通過する場合には、
まず受光領域ＰＤ１側に信号が得られ、次いで受光領域
ＰＤ２側に入射される。従って図３（ａ），（ｂ）に示
すように、受光領域ＰＤ１とＰＤ２に得られる信号はわ
ずかにタイムラグを生じることとなる。一方加算器１５
の出力はこれらを加算したものであるため、図３（ｃ）
に示すようにこれらを含めた信号となる。従ってＡＭ検
波器１３，１４，１６の出力は図３（ａ），（ｂ），
（ｃ）に示す信号の包絡線信号となり、これをコンパレ
ータ１８〜２０で二値化することによって、図３（ｄ）
〜（ｆ）の信号が得られることとなる。このように時刻
t1〜t3の間に微粒子Ｐが交差領域４をＸ軸の＋方向に移
動すれば、まずコンパレータ２０の出力がＨレベルの間
にコンパレータ１８側から出力が得られ、次いでコンパ
レータ１９より出力が得られる。方向判別回路２１はこ
のように入力の順序によってＸ軸の＋方向に微粒子が通
過したものと判別するものである。このような判別結果
は外部に出力され、同時に周波数解析回路２２にも入力
される。周波数解析回路２２は方向判別信号が得られた
ときにのみ、加算器１５の高周波成分のみからその周波
数によって物体の粒子を算出し出力する。こうすれば物
体の方向と速度を同時に誤りなく判別することができ
る。
に微粒子が通過したものとする。Ｘ軸の正方向に微粒子
が通過すれば、交差領域４を貫通してその干渉縞に応じ
た振幅の信号が光電変換器であるフォトダイオード６に
得られる。このときＸ軸の＋方向に通過する場合には、
まず受光領域ＰＤ１側に信号が得られ、次いで受光領域
ＰＤ２側に入射される。従って図３（ａ），（ｂ）に示
すように、受光領域ＰＤ１とＰＤ２に得られる信号はわ
ずかにタイムラグを生じることとなる。一方加算器１５
の出力はこれらを加算したものであるため、図３（ｃ）
に示すようにこれらを含めた信号となる。従ってＡＭ検
波器１３，１４，１６の出力は図３（ａ），（ｂ），
（ｃ）に示す信号の包絡線信号となり、これをコンパレ
ータ１８〜２０で二値化することによって、図３（ｄ）
〜（ｆ）の信号が得られることとなる。このように時刻
t1〜t3の間に微粒子Ｐが交差領域４をＸ軸の＋方向に移
動すれば、まずコンパレータ２０の出力がＨレベルの間
にコンパレータ１８側から出力が得られ、次いでコンパ
レータ１９より出力が得られる。方向判別回路２１はこ
のように入力の順序によってＸ軸の＋方向に微粒子が通
過したものと判別するものである。このような判別結果
は外部に出力され、同時に周波数解析回路２２にも入力
される。周波数解析回路２２は方向判別信号が得られた
ときにのみ、加算器１５の高周波成分のみからその周波
数によって物体の粒子を算出し出力する。こうすれば物
体の方向と速度を同時に誤りなく判別することができ
る。
【００１６】さて微粒子Ｐ′がＸ軸の−方向に交差領域
４を通過した場合には、時刻t4〜t6に示すようにまず受
光領域ＰＤ２側に信号が得られ、次いで受光領域ＰＤ１
に信号が得られる。従って同様の処理を行うことによっ
て、コンパレータ２０から出力が得られている間にまず
コンパレータ１９、次いでコンパレータ１８から出力が
得られることとなって、負方向に微粒子が通過したもの
と判断することができる。この場合にも同様に周波数に
基づいて粒子のＸ軸方向の速度成分が判別できる。
４を通過した場合には、時刻t4〜t6に示すようにまず受
光領域ＰＤ２側に信号が得られ、次いで受光領域ＰＤ１
に信号が得られる。従って同様の処理を行うことによっ
て、コンパレータ２０から出力が得られている間にまず
コンパレータ１９、次いでコンパレータ１８から出力が
得られることとなって、負方向に微粒子が通過したもの
と判断することができる。この場合にも同様に周波数に
基づいて粒子のＸ軸方向の速度成分が判別できる。
【００１７】さて微粒子が交差領域４の一方、例えばＰ
Ｄ１に散乱光が得られる領域のみをかすめた場合には、
受光領域ＰＤ１側のみから信号が得られ受光領域ＰＤ２
には出力が得られない。この場合には方向を判別するこ
とができないため、方向判別回路２１は方向判別出力を
出さず、周波数解析回路２２に禁止信号を与える。この
場合には速度算出が禁止され、誤った出力を出すのを防
止している。又複数の粒子が連続して通過した場合にも
コンパレータ１８，１９の出力の前後判別が誤る可能性
がある。従ってコンパレータ２０がＨレベルの間にのみ
これらの前後関係を判別することによってこのような誤
りを未然に防止することができる。
Ｄ１に散乱光が得られる領域のみをかすめた場合には、
受光領域ＰＤ１側のみから信号が得られ受光領域ＰＤ２
には出力が得られない。この場合には方向を判別するこ
とができないため、方向判別回路２１は方向判別出力を
出さず、周波数解析回路２２に禁止信号を与える。この
場合には速度算出が禁止され、誤った出力を出すのを防
止している。又複数の粒子が連続して通過した場合にも
コンパレータ１８，１９の出力の前後判別が誤る可能性
がある。従ってコンパレータ２０がＨレベルの間にのみ
これらの前後関係を判別することによってこのような誤
りを未然に防止することができる。
【００１８】尚前述した第１実施例は集光レンズ５の焦
点位置にフォトダイオード６を配置しているが、図４に
示すように集光レンズ５とフォトダイオード６との間に
ハーフミラー８を設け、このハーフミラー８を透過する
位置にフォトダイオード６，反射する位置にフォトダイ
オード９を設けてもよい。フォトダイオード９はレーザ
ビームの交差領域の全ての部分から得られる散乱光を電
気信号に変換する第２の光電変換器であって、その出力
は信号処理部７Ａに与えられる。信号処理部７Ａは図２
のものとほぼ同一であるが、加算器１５に代えてフォト
ダイオード９の増幅出力を直接方向判別手段１２のＡＭ
検波器１６及びＡＣ増幅器１７に与えて処理する。この
場合には加算処理を必要としないため、より高感度で速
度を検出することができる。
点位置にフォトダイオード６を配置しているが、図４に
示すように集光レンズ５とフォトダイオード６との間に
ハーフミラー８を設け、このハーフミラー８を透過する
位置にフォトダイオード６，反射する位置にフォトダイ
オード９を設けてもよい。フォトダイオード９はレーザ
ビームの交差領域の全ての部分から得られる散乱光を電
気信号に変換する第２の光電変換器であって、その出力
は信号処理部７Ａに与えられる。信号処理部７Ａは図２
のものとほぼ同一であるが、加算器１５に代えてフォト
ダイオード９の増幅出力を直接方向判別手段１２のＡＭ
検波器１６及びＡＣ増幅器１７に与えて処理する。この
場合には加算処理を必要としないため、より高感度で速
度を検出することができる。
【００１９】次に本発明の第３実施例について図５，図
６を参照しつつ説明する。図５は第２実施例の光学系部
分を示す斜視図である。本図において半導体レーザ３１
は波長λ１，半導体レーザ３２はこれと異なった第２の
波長λ２のレーザ光を発振するレーザ光源であって、そ
の出力はビームスプリッタ３３，３４に与えられる。ビ
ームスプリッタ３３，３４は入射したレーザビームを平
行でＸ軸及びＹ軸に沿った面に分離するビーム分離手段
であり、分離したレーザビームの中心線を共通にするも
のとする。そしてこれらの４本のレーザビームは集束レ
ンズ３５によって１点で集束される。そうすれば交差領
域３６にはビームスプリッタ３３で分離したＸ軸を含む
平面でのレーザビームによって第１実施例と同様に図５
（ｂ）に示す干渉縞が形成される。又ビームスプリッタ
３４から出力されるレーザビームによって図５（ｃ）に
示す縦方向の干渉縞が同一の交差領域３６に形成され
る。この交差領域３６を通過する場合には散乱光が得ら
れる。この散乱光は集束レンズ３５によって集光され、
ミラー３７によって反射される。そしてハーフミラー３
８によってその散乱光を分離し、一方を集光レンズ３９
を介して第１の光電変換器であるフォトダイオード４０
に導く。又ハーフミラー３８を透過した光を更にハーフ
ミラー４１に入射させる。ハーフミラー４１で反射され
た光及び透過した光は夫々集光レンズを介して第２，第
３の光電変換器であるフォトダイオード４２，４３に導
かれる。ここでフォトダイオード４０は図５（ｄ）に示
すように、Ｚ軸方向から見てＸ軸とＹ軸、即ち図５
（ｂ），（ｃ）に示す交差領域の干渉縞に平行な２本の
線で受光領域が第１〜第４に４分割され、夫々の受光領
域をＰＤ１〜ＰＤ４とする。ここで第１，第２の受光領
域ＰＤ１，ＰＤ２と第１，第３の受光領域ＰＤ１，ＰＤ
３は互いに隣接しており、受光領域ＰＤ１とＰＤ３とは
互いに対称な位置にあるものとする。一方フォトダイオ
ード４２，４３はその前面にカラーフィルタ４４，４５
が夫々配置され、ほぼ同一位置に位置しており、交差領
域の全ての部分の散乱光を検出するものである。カラー
フィルタ４４，４５は夫々の波長λ１，λ２毎に散乱光
を分離するものである。フォトダイオード４２は第１の
波長λ１、フォトダイオード４３は第２の波長λ２のレ
ーザ光を受光するものである。
６を参照しつつ説明する。図５は第２実施例の光学系部
分を示す斜視図である。本図において半導体レーザ３１
は波長λ１，半導体レーザ３２はこれと異なった第２の
波長λ２のレーザ光を発振するレーザ光源であって、そ
の出力はビームスプリッタ３３，３４に与えられる。ビ
ームスプリッタ３３，３４は入射したレーザビームを平
行でＸ軸及びＹ軸に沿った面に分離するビーム分離手段
であり、分離したレーザビームの中心線を共通にするも
のとする。そしてこれらの４本のレーザビームは集束レ
ンズ３５によって１点で集束される。そうすれば交差領
域３６にはビームスプリッタ３３で分離したＸ軸を含む
平面でのレーザビームによって第１実施例と同様に図５
（ｂ）に示す干渉縞が形成される。又ビームスプリッタ
３４から出力されるレーザビームによって図５（ｃ）に
示す縦方向の干渉縞が同一の交差領域３６に形成され
る。この交差領域３６を通過する場合には散乱光が得ら
れる。この散乱光は集束レンズ３５によって集光され、
ミラー３７によって反射される。そしてハーフミラー３
８によってその散乱光を分離し、一方を集光レンズ３９
を介して第１の光電変換器であるフォトダイオード４０
に導く。又ハーフミラー３８を透過した光を更にハーフ
ミラー４１に入射させる。ハーフミラー４１で反射され
た光及び透過した光は夫々集光レンズを介して第２，第
３の光電変換器であるフォトダイオード４２，４３に導
かれる。ここでフォトダイオード４０は図５（ｄ）に示
すように、Ｚ軸方向から見てＸ軸とＹ軸、即ち図５
（ｂ），（ｃ）に示す交差領域の干渉縞に平行な２本の
線で受光領域が第１〜第４に４分割され、夫々の受光領
域をＰＤ１〜ＰＤ４とする。ここで第１，第２の受光領
域ＰＤ１，ＰＤ２と第１，第３の受光領域ＰＤ１，ＰＤ
３は互いに隣接しており、受光領域ＰＤ１とＰＤ３とは
互いに対称な位置にあるものとする。一方フォトダイオ
ード４２，４３はその前面にカラーフィルタ４４，４５
が夫々配置され、ほぼ同一位置に位置しており、交差領
域の全ての部分の散乱光を検出するものである。カラー
フィルタ４４，４５は夫々の波長λ１，λ２毎に散乱光
を分離するものである。フォトダイオード４２は第１の
波長λ１、フォトダイオード４３は第２の波長λ２のレ
ーザ光を受光するものである。
【００２０】次に第３実施例の３つのフォトダイオード
４０，４２，４３を用いた信号処理部５０の構成につい
て図６を用いて説明する。フォトダイオード４０の受光
領域ＰＤ１〜ＰＤ４の出力は、夫々第１〜第４の加算器
５１〜５４に入力され加算される。第１の加算器５１は
受光領域ＰＤ１とＰＤ２の出力の加算、第２の加算器５
２は受光領域ＰＤ３とＰＤ４の出力を加算する加算手段
であり、第３の加算器５３は受光領域ＰＤ１とＰＤ３の
出力の加算、第４の加算器５４は受光領域ＰＤ２とＰＤ
４との出力を夫々加算する加算手段である。加算器５
１，５２の出力は夫々Ｙ方向の方向判別手段１２Ｙに入
力される。第３の光電変換器であるフォトダイオード４
３の出力は増幅器５５を介して方向判別手段１２Ｙ及び
ＡＣ増幅器１７Ｙに与えられる。方向判別手段１２Ｙの
内部ブロックは前述した第１実施例の方向判別手段１２
と同様であり、ＡＭ検波及び二値化することによってそ
の順序から方向を判別する。又ＡＣ増幅器１７Ｙは第１
実施例のＡＣ増幅器１７に対応するものであり、その高
周波成分は周波数解析回路２２Ｙに入力される。周波数
解析回路２２Ｙは方向判別手段１２Ｙから判別信号が得
られたときにのみ、入力信号の周波数に基づいてＹ方向
の速度成分を解析して出力するものである。
４０，４２，４３を用いた信号処理部５０の構成につい
て図６を用いて説明する。フォトダイオード４０の受光
領域ＰＤ１〜ＰＤ４の出力は、夫々第１〜第４の加算器
５１〜５４に入力され加算される。第１の加算器５１は
受光領域ＰＤ１とＰＤ２の出力の加算、第２の加算器５
２は受光領域ＰＤ３とＰＤ４の出力を加算する加算手段
であり、第３の加算器５３は受光領域ＰＤ１とＰＤ３の
出力の加算、第４の加算器５４は受光領域ＰＤ２とＰＤ
４との出力を夫々加算する加算手段である。加算器５
１，５２の出力は夫々Ｙ方向の方向判別手段１２Ｙに入
力される。第３の光電変換器であるフォトダイオード４
３の出力は増幅器５５を介して方向判別手段１２Ｙ及び
ＡＣ増幅器１７Ｙに与えられる。方向判別手段１２Ｙの
内部ブロックは前述した第１実施例の方向判別手段１２
と同様であり、ＡＭ検波及び二値化することによってそ
の順序から方向を判別する。又ＡＣ増幅器１７Ｙは第１
実施例のＡＣ増幅器１７に対応するものであり、その高
周波成分は周波数解析回路２２Ｙに入力される。周波数
解析回路２２Ｙは方向判別手段１２Ｙから判別信号が得
られたときにのみ、入力信号の周波数に基づいてＹ方向
の速度成分を解析して出力するものである。
【００２１】一方加算手段５３，５４の出力はＸ方向の
方向判別手段１２Ｘに入力される。又フォトダイオード
４２の出力は増幅器５６を介して方向判別手段１２Ｘ及
びＡＣ増幅器１７Ｘに入力される。方向判別手段１２Ｘ
も第１実施例の方向判別手段１２と同一の構成を有して
おり、これらの入力に基づいてＸ方向の正負を判別する
ものである。この方向判別出力は外部に出力され、同時
に周波数解析回路２２Ｘにも入力される。周波数解析回
路２２Ｘは方向判別手段１２Ｘから方向判別信号が得ら
れたときにのみ、ＡＣ増幅器１７Ｘの出力の周波数に基
づいてＸ軸方向の速度成分を検出するものである。
方向判別手段１２Ｘに入力される。又フォトダイオード
４２の出力は増幅器５６を介して方向判別手段１２Ｘ及
びＡＣ増幅器１７Ｘに入力される。方向判別手段１２Ｘ
も第１実施例の方向判別手段１２と同一の構成を有して
おり、これらの入力に基づいてＸ方向の正負を判別する
ものである。この方向判別出力は外部に出力され、同時
に周波数解析回路２２Ｘにも入力される。周波数解析回
路２２Ｘは方向判別手段１２Ｘから方向判別信号が得ら
れたときにのみ、ＡＣ増幅器１７Ｘの出力の周波数に基
づいてＸ軸方向の速度成分を検出するものである。
【００２２】次に本実施例の動作について説明する。図
７（ａ）に示すように交差領域３６を通過する微粒子Ｐ
ａがＹ方向に通過しフォトダイオード側から見て受光領
域ＰＤ３，ＰＤ１を通過した場合には、加算器５２，５
１より順次出力が得られることとなる。従ってＹ方向の
判別ブロックより、第１実施例と同様に方向判別出力及
び速度信号を出力することができる。この場合にはフォ
トダイオードの受光領域ＰＤ２，ＰＤ４を通過しないた
め、加算器５４には出力が得られない。このためＸ方向
では方向信号が得られず、速度を算出することはない。
同様にして図７（ａ）に示すように微粒子Ｐｂが受光領
域ＰＤ４からＰＤ１の方向に通過した場合には、加算器
５２及び５１に信号が得られることとなってＹ方向の負
の方向及び周波数解析回路２２Ｙより出力が得られる。
この場合には加算器５４からは出力が得られるが、加算
器５３からは出力が得られないためＸ方向の方向信号や
速度信号は出力されない。
７（ａ）に示すように交差領域３６を通過する微粒子Ｐ
ａがＹ方向に通過しフォトダイオード側から見て受光領
域ＰＤ３，ＰＤ１を通過した場合には、加算器５２，５
１より順次出力が得られることとなる。従ってＹ方向の
判別ブロックより、第１実施例と同様に方向判別出力及
び速度信号を出力することができる。この場合にはフォ
トダイオードの受光領域ＰＤ２，ＰＤ４を通過しないた
め、加算器５４には出力が得られない。このためＸ方向
では方向信号が得られず、速度を算出することはない。
同様にして図７（ａ）に示すように微粒子Ｐｂが受光領
域ＰＤ４からＰＤ１の方向に通過した場合には、加算器
５２及び５１に信号が得られることとなってＹ方向の負
の方向及び周波数解析回路２２Ｙより出力が得られる。
この場合には加算器５４からは出力が得られるが、加算
器５３からは出力が得られないためＸ方向の方向信号や
速度信号は出力されない。
【００２３】同様にして図７（ｂ）に示すように微粒子
Ｐｃが受光領域ＰＤ１，ＰＤ２側を通過する場合、又は
微粒子Ｐｄが受光領域ＰＤ４からＰＤ３に通過する場合
には、Ｘ方向のみから方向信号及び速度信号が得られる
こととなる。又図７（ｃ）に示すように受光領域ＰＤ４
からＰＤ２を通過してＰＤ１の位置に移動する場合に
は、Ｘ方向及びＹ方向の双方から方向信号と速度信号が
得られることとなる。
Ｐｃが受光領域ＰＤ１，ＰＤ２側を通過する場合、又は
微粒子Ｐｄが受光領域ＰＤ４からＰＤ３に通過する場合
には、Ｘ方向のみから方向信号及び速度信号が得られる
こととなる。又図７（ｃ）に示すように受光領域ＰＤ４
からＰＤ２を通過してＰＤ１の位置に移動する場合に
は、Ｘ方向及びＹ方向の双方から方向信号と速度信号が
得られることとなる。
【００２４】尚前述した各実施例では、交差領域を通過
する微粒子の散乱光を後方で受光し方向及び速度信号を
出力するようにしているが、前方に散乱する散乱光に基
づいて方向や速度を検出することができることはいうま
でもない。
する微粒子の散乱光を後方で受光し方向及び速度信号を
出力するようにしているが、前方に散乱する散乱光に基
づいて方向や速度を検出することができることはいうま
でもない。
【００２５】又第３実施例では波長の異なるレーザ光を
発生する２つの半導体レーザ３１，３２を用いてレーザ
光源としているが、Ａｒレーザ等の２色を発光するレー
ザ光源を用いてもよいことはいうまでもない。
発生する２つの半導体レーザ３１，３２を用いてレーザ
光源としているが、Ａｒレーザ等の２色を発光するレー
ザ光源を用いてもよいことはいうまでもない。
【００２６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本願の請求項
１〜４の発明によれば、比較的簡単な構成でブラッグセ
ルを用いることなく交差領域部を通過する微粒子の通過
方向と速度成分を検出することができるという効果が得
られる。又請求項４の発明ではこれに加えて、Ｘ軸及び
Ｙ軸の２方向の方向の正負と夫々の速度成分を検出する
ことができるという効果が得られる。
１〜４の発明によれば、比較的簡単な構成でブラッグセ
ルを用いることなく交差領域部を通過する微粒子の通過
方向と速度成分を検出することができるという効果が得
られる。又請求項４の発明ではこれに加えて、Ｘ軸及び
Ｙ軸の２方向の方向の正負と夫々の速度成分を検出する
ことができるという効果が得られる。
【図１】本発明の第１実施例によるレーザ速度測定装置
の光学系の構成を示す概略図である。
の光学系の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の第１実施例によるレーザ速度測定装置
の信号処理部の構成を示すブロック図である。
の信号処理部の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第１実施例によるレーザ速度測定装置
の動作状態を示すタイムチャートである。
の動作状態を示すタイムチャートである。
【図４】本発明の第２実施例によるレーザ速度測定装置
の光学系の構成を示す概略図である。
の光学系の構成を示す概略図である。
【図５】本発明の第３実施例によるレーザ速度測定装置
の光学系の構成を示す概略図である。
の光学系の構成を示す概略図である。
【図６】本発明の第３実施例によるレーザ速度測定装置
の信号処理部の構成を示すブロック図である。
の信号処理部の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第２実施例によるレーザ速度測定装置
の受光センサを通過する通過方向の種々の例を示す図で
ある。
の受光センサを通過する通過方向の種々の例を示す図で
ある。
１，３１，３２ 半導体レーザ ２，３３，３４ ビームスプリッタ ３，３５ 集束レンズ ４，３６ 交差領域 ５，３９，４１ 集光レンズ ６，４０，４２，４３ フォトダイオード １２，１２Ｘ，１２Ｙ 方向判別手段 １３，１４，１６ ＡＭ検波器 １５，５１，５２，５３，５４ 加算器 １７，１７Ｘ，１７Ｙ ＡＣ増幅器 １８，１９，２０ コンパレータ ２２，２２Ｘ，２２Ｙ 周波数解析回路 ２１ 方向判別回路 ３７ ミラー ３８ ハーフミラー
Claims (4)
- 【請求項１】 単一波長のレーザ光を発生するレーザ光
源と、 前記レーザ光源より得られるレーザ光を２分割し、一対
の光ビームとするビーム分離手段と、 前記ビーム分離手段より与えられる一対の光ビームを１
点で交差させる第１の光学手段と、 前記交差領域を粒子が通過したときに得られる散乱光を
集光する第２の光学手段と、 その受光領域が１本の分割線によって第１，第２の受光
領域に２分割され、前記第２の光学手段により集光され
た散乱光を受光し、電気信号に変換する第１の光電変換
器と、 前記第１の光電変換器の第１の受光領域及び第２の受光
領域より得られる受光信号を加算する加算手段と、 前記加算手段より出力が得られている間に前記第１の光
電変換器の第１，第２の受光領域より続けて受光信号が
得られる際に、その受光順序によって粒子の移動方向を
判別する方向判別手段と、 前記第１の光電変換器の出力の交流成分から交差領域を
通過する粒子の速度を検出する速度検出手段と、を具備
することを特徴とするレーザ速度測定装置。 - 【請求項２】 単一波長のレーザ光を発生するレーザ光
源と、 前記レーザ光源より得られるレーザ光を２分割し、一対
の光ビームとするビーム分離手段と、 前記ビーム分離手段より与えられる一対の光ビームを１
点で交差させる第１の光学手段と、 前記交差領域を粒子が通過したときに得られる散乱光を
集光する第２の光学手段と、 その受光領域が１本の分割線によって第１，第２の受光
領域に２分割され、前記第２の光学手段により集光され
た散乱光を受光し、電気信号に変換する第１の光電変換
器と、 前記第２の光学手段より集光された散乱光を受光し電気
信号に変換する第２の光電変換器と、 前記第２の光電変換器より出力が得られている間に前記
第１の光電変換器の第１，第２の受光領域より続けて受
光信号が得られる際に、その受光順序によって粒子の移
動方向を判別する方向判別手段と、 前記第２の光電変換器の出力の交流成分から交差領域を
通過する粒子の速度を検出する速度検出手段と、を具備
することを特徴とするレーザ速度測定装置。 - 【請求項３】 前記第１の光電変換器は、その受光領域
が交差領域の干渉縞に平行に分離されるように配置され
たものであることを特徴とする請求項１又は２記載のレ
ーザ速度測定装置。 - 【請求項４】 相異なる第１，第２の波長のレーザ光を
発生するレーザ光源と、 前記第１，第２の波長のレーザ光源より得られるレーザ
光を夫々２分割し、各対のレーザビームを含む二面が垂
直となる二対の光ビームとするビーム分離手段と、 前記ビーム分離手段より与えられる二対の光ビームを１
点で交差させる第１の光学手段と、 前記交差領域を粒子が通過したときに得られる散乱光を
集光する第２の光学手段と、 互いに垂直な２本の線によって第１〜第４の受光領域に
４分割され、第１，第２の受光領域と第１，第３の受光
領域が隣接しているように分割された受光領域を有し、
前記第２の光学手段により集光された第１，第２の波長
の散乱光を受光して電気信号に変換する第１の光電変換
器と、 前記第２の光学手段より集光された第１の波長の散乱光
を受光し電気信号に変換する第２の光電変換器と、 前記第２の光学手段より集光された第２の波長の散乱光
を受光し電気信号に変換する第３の光電変換器と、 前記第１の光電変換器の互いに隣接する第１，第２の受
光領域の出力を加算する第１の加算手段と、 前記第１の光電変換器の互いに隣接する第３，第４の受
光領域の出力を加算する第２の加算手段と、 前記第１の光電変換器の互いに隣接する第１，第３の受
光領域の出力を加算する第３の加算手段と、 前記第１の光電変換器の互いに隣接する第２，第４の受
光領域の出力を加算する第４の加算手段と、 前記第３の光電変換器より出力が得られている間に、前
記第１，第２の加算手段より続けて信号が得られたとき
にその出力の順序に基づいて方向を判別するＹ方向判別
手段と、 前記第２の光電変換器より出力が得られている間に、前
記第３，第４の加算手段より続けて信号が得られたとき
にその出力の順序に基づいて方向を判別するＸ方向判別
手段と、 前記第３の光電変換器の出力に基づいてその周波数より
Ｙ方向の速度を検出するＹ方向速度検出手段と、 前記第２の光電変換器の出力に基づいてその周波数より
Ｘ方向の速度を検出するＸ方向速度検出手段と、を具備
することを特徴とするレーザ速度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17603594A JPH0815437A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | レーザ速度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17603594A JPH0815437A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | レーザ速度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815437A true JPH0815437A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=16006591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17603594A Pending JPH0815437A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | レーザ速度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815437A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6251659B1 (en) * | 1998-10-19 | 2001-06-26 | Hitachi, Ltd. | Biological sample treating apparatus |
| KR100797354B1 (ko) * | 2006-07-24 | 2008-01-22 | 주식회사 포스코 | 산업용 레이저 속도 측정장치 |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP17603594A patent/JPH0815437A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6251659B1 (en) * | 1998-10-19 | 2001-06-26 | Hitachi, Ltd. | Biological sample treating apparatus |
| KR100797354B1 (ko) * | 2006-07-24 | 2008-01-22 | 주식회사 포스코 | 산업용 레이저 속도 측정장치 |
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