JPH0794996B2 - 流体流量感知装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の適用分野） 本発明は一般に流体の流量を感知するための装置に関
し、更に詳細には、個別的滴となって検出されるように
十分にゆっくりと流れる流体の流量を光学的手段によっ
て検出及び測定するための装置に関する。

（従来の技術） 流体の個別的滴の流量を検出及び測定することのできる
流体流量感知装置には多くの用途がある。かかる感知装
置に対する一つの主な用途は、静脈内（「IV」）流体注
入装置内の点滴室組立体を通る流体の流量を測定するこ
とである。かかるIV流体注入装置は、一般に、投与すべ
き流体を内蔵する瓶、点滴室組立体、上記瓶を上記点滴
室の頂部にある取入れ口に連結する管、上記管に付属し
ておって上記流体の流量を制御するための弁、上記点滴
室の底部にある取出し口に連結された第２の管、及び上
記第２の管に連結された注射針またはカテーテルのよう
な注入手段を有しており、上記流体はこの注入手段を通
って患者の体内に入る。

点滴室組立体は、通例、円筒形であり、点滴室を取り巻
く透明室を有す。流体は、上記室の頂部にある滴形成部
を通って上記組立体に入り、そして、一度に一滴ずつ、
上記室を通って落下する。上記室を通る流体の流量は、
上記落下する滴を目で観察することによってモニタする
ことができるが、これら滴の落下を自動的に検出するた
めの種々の流量感知装置が開発されており、観察者を他
の仕事のために開放するようになっている。

点滴室組立体を通る流体の流量をモニタすることのでき
る流体流量感知装置の例としては、米国特許第3,596,51
5号及び第4,397,648号に開示されているものがある。こ
れら米国特許に開示されている種類の流量感知装置は、
一般に、点滴室組立体の一方の側にある光エネルギー放
出器、及び他方の側にある光エネルギー検出器を用いて
いる。上記エネルギー放出器は、通例、赤外または可視
光スペクトル（約300ナノメートルと２ミクロンとの間
の波長）内の光エネルギーを放出する。この光エネルギ
ーは上記点滴室組立体の透明壁を通過し、次いで上記検
出器に当たる。各個別滴が上記室を通って落下するとき
に、該滴は上記光エネルギーの流れを遮断し、上記検出
器をして対応の出力信号を発生せしめる。この出力信号
は、次いで、モニタ装置に加えられて処理が行なわれ
る。上記モニタ装置は、一般に、流体の流れが止まった
場合に警報音を発するか、または流体の流量をモニタす
る。

上掲の米国特許に開示されているもののような現存の流
量感知装置には若干の欠点がある。そのうちの一つは、
製造中にエネルギー放出器と検出器とを正確に整合させ
ることが必要であるということであり、この工程のため
に流量感知装置の全体的製造費が少なからず増大する。
この工程を簡単化するかまたは除去することができるな
らば、流量感知装置をもっと経済的に作ることが可能と
なる。

また、検出器を、周囲の光エネルギーによって影響され
ることのないように遮蔽することが必要であり、また、
光学路内にある全ての部品を、光エネルギーの通過のじ
ゃまをする塵埃または湿気から生ずる感度低下を防止す
るために、清浄に保持することが必要である。現存の感
知装置よりも周囲エネルギー対して鈍感であり、また清
浄化がより容易である感知装置が得られるならば、この
装置は、現存の感知装置よりも信頼性が高く且つ現場で
の使用がより容易である。

また、点滴室組立体の透明壁は、光エネルギーが通過す
るときにこれを屈折させる。この屈折のために、検出器
は、落下するときに上記室の中央付近を通らない流体の
滴を検出することができなくなる。上記室がほぼ垂直方
向に保持されている場合には、全ての滴が該室の中央部
を通って落下するので、検出器は該滴を困難なしに検出
することができる。しかし、上記室が垂直方向から約15
度以上離れて傾斜していると、滴は該室の中央部を通っ
て落下するということをしなくなり、検出器は該滴を検
出できなくなる。垂直方向に保持された点滴室とともに
用いた場合にも、傾斜した点滴室とともに用いた場合に
も正しく働く流量感知装置があるならば、これは、現存
の流量感知装置と比べて、より多能的であり、使用によ
り容易であり、誤った「流れなし」という警報を発する
ことが減るようになる。

現代の医療の重要な機器としてのIV装置の使用は拡大し
続けており、この拡大する使用に伴って、最少限の人間
のモニタ作業で機能することのできるIV装置に対する要
望が益々高まってきている。この要望に伴い、現存の感
知装置よりも安価に製造することのできる、及び周囲の
光エネルギーによる、または環境内の塵埃及び湿気によ
る影響を受けることが比較的少ない、及び点滴室がその
垂直軸線から遠く傾斜している場合にも該室を通る流体
の流量を検出することのできる流体流量感知装置に対す
る要求が生じてきている。

この問題に対する一つの方法として、光線を点滴室を通
して、該室に隣接配置された感光性の材料のチップ上に
収束することのできる特殊レンズの形状に形成された壁
を有する非標準的の点滴室組立体を用いることが提案さ
れている。しかし、かかる点滴室組立体は製造費が比較
的高く、また、これと共に用いるように構成した流体流
量感知装置は普通の円筒状の点滴室組立体と共に用いる
ことができない。普通の円筒状の組立体と異なり、かか
る非標準的点滴室のレンズ形の壁は厳密であり、感知装
置の整備がより困難になる。また、この方法は、環境内
のノイズ、汚れ及び湿気によって生ずる問題を扱うもの
ではない。

（発明が解決しようとする問題点） 上述から明らかなように、普通の円筒形の点滴室組立体
とともに使用することができ、及び現存の感知装置より
も製造費が安く、及び周囲エネルギーに対して比較的鈍
感であって現場で清浄に保持することが容易であり、及
び点滴室組立体が垂直方向から遠く傾斜している場合に
も流体の流量を検出することのできる光学式の流体流量
感知装置が要求されている。本発明はこの要求を満足さ
せようとするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、相互間に空間を形成して分離している、第１
アームとこれとほぼ平行な第２アームを有する支持基板
を備え、エネルギー放射手段が第１アームに取り付けら
れエネルギー検出器が第２アームに取り付けられた流体
流量感知装置において、上記エネルギー放射手段に対し
固定的に上記第１アームに取り付けられ、水平断面及び
垂直断面の両方において凸である外面を有し、水平断面
だけが凸の内面を有する第１レンズであって、上記エネ
ルギー放射手段からのエネルギーを受け取り、かつ上記
アームの空間を通過したエネルギーを屈折させて伝送す
る上記第１レンズと、上記エネルギー検出器がに対し固
定的に上記第２アームに取り付けられ、水平断面及び垂
直断面の両方が凸である外面及び内面を有する第２レン
ズであって、上記第１レンズから伝送されたエネルギー
を受け取り、かつ該エネルギーを上記エネルギー検出器
へ向けて屈折させて搬送する上記第２レンズとを有する
ことを特徴とする流体流量感知装置である。

（作 用） 以上から解るように、本発明は、光学式流体流量測定用
装置において格段の進歩を示すものである。詳述する
と、本発明は、レンズブロックが自己整合するので製造
が安く、周囲の光エネルギーに対して遮蔽するのが容易
であり、塵埃及び湿気のないように保持するのが容易で
あり、及び、点滴室の垂直軸線に沿って落下する滴に対
しても中心外れに落下する滴に対しても応答する流体流
量感知装置を提供するものである。

本発明の他の態様及び利点は、本発明の実施例について
図面を参照して行なう以下の詳細な説明から明らかにな
る。

（効 果） 現存の光学式流量感知装置の特徴として、製造費が比較
的高く、周囲の光エネルギー、塵埃及び湿気に影響され
易く、また、点滴室組立体の垂直軸線から遠く離れて落
下する滴に応答することができない。本発明はこれらの
制限を克服するために独特のレンズブロックを用いるも
のであり、特に、点滴室の垂直軸線近くで落下する滴に
対しても点滴室の壁近くで落下する滴に対しても応答す
るようにした流量感知装置を提供するものである。

（実施例） 点滴室組立体が所定位置に配置されている本発明にかか
る改良された流体流量感知装置を第１図に示す。この感
知装置は、相互間に空所17をおいている第１のアーム13
及び第２のアーム15を有する支持基板11を備えている。
レンズ21を有する放出器ブロック19がアーム13上に取付
けられてレンズ21を空所17の方へ向けており、レンズ25
を有するエネルギー検出器ブロック23がアーム15上に取
付けられ、レンズ25を空所17を横切ってレンズ21に対向
させている。点滴室組立体27が、放出器レンズ21と検出
器レンズ25との間の空所17内に配置されている。

第２図及び第３図に示すように、エネルギー放出器チッ
プ19がブロック19内の空洞31内に取付けられている（明
瞭化のために第２図及び第３図からは支持基板11を省い
てある）。チップ29は、ブロック19内のプリント回路板
33上に取付けられ、レンズ21のほぼ焦点に配置されてい
る。射線35、37、39、41、43及び45を有する光エネルギ
ーのビームがチップ29から放出されてレンズ21によって
屈折され、次いでこのビームは点滴室組立体27を通過し
てレンズ25へ行く。レンズ25は上記ビームを検出器チッ
プ47上に収束させる。検出器チップ47は、ブロック23の
空洞51内の回路板49上に取付けられている。検出器チッ
プ47はレンズ25のほぼ焦点に配置されている。

第１図及び第３図に示すように、点滴室組立体27はほぼ
円筒形である。組立体27は、点滴室55を形成する透明な
円筒状壁53を有す。取入れ管57が室55の頂部内に通じて
いる。滴形成部59が管57の端部を構成しており、流体が
管57を通って流れると、流体の個別的滴61が滴形成部59
に形成され、矢印63で示すように室55を通って落下し、
室55の下部内の流体ため65に入る。流体は、ため65か
ら、送出し管67を通って室55外へ流れ出る。流体の個別
的滴61が室55を通って落下するときに、該滴は光エネル
ギー射線35、37、39、41、43及び45のうちの若干を横切
り、検出器チップに当たる上記エネルギービームの強度
を変動させる。

検出器チップ47は、該チップに当たる上記光エネルギー
の強度の変動に応答して変化する電気出力信号を発生す
る。流体の各滴61が点滴室55を通って落下して上記光エ
ネルギーの強度を変動させると、これに従ってチップ47
からの出力信号が変化する。上記出力信号の各変化は、
従って、室55を通る流体の１つの滴の通過を示すことに
なる。放出器即ちチップ29からの光エネルギーは、事実
上、室55の巾全体を通過する。従って、室55の縁近くを
通過する滴も、室55の中央を通過する滴も検出される。

上記出力信号は電子式モニタ装置（図示せず）に加えら
れる。上記モニタ装置は、次々に続く滴の落下間の時間
間隔を測定することによってこの流体の流量を測定する
ように構成されているか、または、所定の時間間隔中に
落下する滴が無い場合に警報を発生するように構成され
ている。

点滴室組立体27を空所17内の固定位置に保持するため
に、適当な保持手段（図示せず）が設けられている。

流体の滴61の巾と、検出器チップ47に当たる上記エネル
ギービームの巾との間の比率を増すことにより、この流
量感知装置の感度を改善することができる。その理由
は、上記光エネルギービームを横切る流体の滴によって
生ずるチップ47からの出力信号の変化の大きさが、チッ
プ47に当たる上記エネルギービームの強度の変動の大き
さに比例するからであり、そして、液体の滴によって横
切られる上記エネルギービーム全体の割合が増すと、落
下する滴によって生ずるビーム強度の変動の大きさも増
す。上記滴の大きさは他の要件によって決定され、この
流量感知装置の感度を改善するという目的のために変更
するということはできないから、上記滴の巾と上記ビー
ムの巾との間の比率を増すための唯一の方法は上記ビー
ム巾を減らすことである。上記ビームの巾は、第４図に
示すように、検出器ブロック23内にアパーチャ組立体を
設置することによって減らすことができる。

第４図に示す本発明の実施例は第２図に示すものと類似
のものである。便宜上、第２図における構成部材と類似
している第４図における構成部材には同じ参照番号を付
す。似てはいるが変化している構成部材には、文字
「ａ」を添えた同じ参照番号を付す。異なる構成部材に
は異なる参照番号を付す。

不透明な側壁71、不透明な前壁73、並びに不透明な頂面
及び底面（図示せず）を有するアパーチャ組立体69が検
出器ブロック23内の空洞領域51内に配置され、前壁73を
レンズ25の内面に隣接させている。組立体69の上記頂
面、底面、及び側壁71は、検出器チップ47を、レンズ25
が形成されている面以外のブロック23の面を通って該ブ
ロックに入ってくる可能性のある光エネルギーから遮蔽
する。前壁73は側壁71からレンズ25を横切って途中まで
延び、アパーチャ74を形成している。アパーチャ74は、
射線39及び41で表されておって点滴室55の左端及び右端
の側部領域78を通過しない光エネルギーを受容するが、
射線35a、37a、43a及び45aで表されておって室55の側部
領域78を通過する光エネルギーを排除する。アパーチャ
74を通過させられたエネルギーだけが検出器チップ47に
当たり、前壁73は他のエネルギーを阻止して遠くへ散乱
させる。

検出器チップ47に当たるエネルギービームの巾は、アパ
ーチャ74を狭くすれば狭くなり、アパーチャ74を広くす
れば広くなる。アパーチャ74に受容されるエネルギーの
ビームが狭くなると、滴の巾対全ビーム巾の比率が大き
くなり、従ってチップ47は、室55を通って落下する滴に
対してより敏感になる。しかし、室55の側部領域78を通
って落下する滴は検出されない。即ち、射線35A、37A、
43A及び45Aで表わされておって上記滴が横切るエネルギ
ーのビームの部分はチップ47に到達することがなく、壁
73によって遠くへ散乱させられるからである。従って、
アパーチャ74が狭くなると、落下する滴が検出されるこ
とのない側部領域78は広くなる。そこで、そのかね合い
は、アパーチャ74が狭くなると、チップ47は落下滴に対
してより敏感になるが、落下滴が検出されることのない
点滴室55の部分は狭くなる、ということになる。

点滴室組立体27を完全に垂直な位置にあらしめると、滴
61は点滴室55の中央だけを通って落下し、極めて狭いア
パーチャ74を用いたとしても検出される。しかし、組立
体27が垂直方向から遠く傾斜するにつれて、滴61は室55
の縁に次第に近づいて落下するようになり、組立体27が
十分に遠く傾斜すると、滴は側部領域74の一方を通って
落下し、検出器チップ47は該滴に応答できなくなる。

換言すれば、アパーチャ74が狭くなるにつれてチップ47
はより敏感となり、滴が信頼性をもって感知される点滴
室55の最大傾斜角は小さくなる。有用な解決法は、側部
領域78の各々が１個の滴と同じ広さとなるようにアパー
チャ74を十分に狭くすることである。この解決法により
良好な感度が得られ、そして、この感知装置が、垂直方
向から26度を越えない角度で傾斜している点滴室組立体
を通る滴の通過を信頼性をもって検出することのできる
ようになる。

随意選択的なこととして、バッフル75をアパーチャ組立
体69内に前壁73と検出器チップ47との間に設けてもよ
い。バッフル75は前壁73と平行な面を形成し、この面
は、アパーチャ74よりも狭い第２のアパーチャ76を形成
する。バッフル75は、周囲の光エネルギーのチップ47に
対する影響を、該エネルギーの多量を遠くへ散乱させる
ことによって減少させる。当業者には明らかなように、
第２の組のバッフル77を追加することにより、上記の如
き周囲エネルギーに対する不感応性を更に増すことがで
き、またかかるバッフルを更に追加してもよい。

次にエネルギー放出器ブロック19について更に詳細に説
明すると、上記ブロックは、第５図に示すように、透明
材料の中空ブロックで形成されている。ブロック19の後
部側79には、ブロック19の内部にある空洞31内へ通ずる
開口部81がある。レンズ21はブロック19の前部側83に形
成されており、上記レンズは凸状外面85及び凸状内面87
を有す。レンズ21の外面85及び内面87の形状は、点滴室
組立体27の壁の屈折効果に従って形成される。本実施例
においては、外部レンズ面85は、第６図及び第７図にそ
れぞれ示す水平断面及び垂直断面の両方において凸状で
あり、内部レンズ面87は水平断面においてのみ凸状であ
る。

エネルギー放出チップ29は回路板33上に取付けられ、そ
してプリント配線導電体89に接続されている。ワイヤ91
が導電体89に接続され、チップ29と外部回路（図示せ
ず）との間の接続を行なう。

肩部93が開口部81の周辺に沿って形成されており、上記
肩部は空洞31内で或る短い距離だけ凹んでおり、上記距
離は回路板33の厚さよりも若干大きい。回路板33は開口
部81と同じ巾及び長さを有し、そして上記開口部内に肩
部93に対向して配置されている。回路板33内の切欠き95
が、肩部93から後方へ延びている整合キー97と係合し、
回路板33をブロック19に対して固定位置に保持する。レ
ンズ21は、回路板33が、切欠き95を整合キー97と係合さ
せて肩部93に対向して配置されるときに、チップ27がレ
ンズ21のほぼ焦点にあるように形成されている。

回路板33が開口部81内に肩部93に対向して所定位置にあ
るときには、上記回路板は空洞31と外界との間の通り道
だけを閉じ、そして上記回路板は開口部81の内部縁99と
組み合って凹み領域101を形成する。凹み領域101に注封
材料（図示せず）を充填し、これにより、ブロック19を
密閉し、且つ空洞31を、大気中に存在する可能性のある
塵埃、湿気、または他の汚染物から保護する。理想的に
は、ブロック19内への回路板33の組立て及び注封を、乾
燥した。例えば窒素のような不活性雰囲気内で行なう。
そこで、この組立て済みブロックを、洗っても、また
は、ほこりっぽいかもしくは他の苛酷な雰囲気にさらし
ても、チップ29が害されることも、または内部レンズ面
87に凝縮が生ずることもなくなる。

検出器ブロック23の構造は放出器ブロック19の構造とほ
ぼ同様であり、異なる点は、前者に取付けられたチップ
47が光エネルギー検出装置であり、後者に取付けられた
チップ29が光エネルギー放出器であるということであ
る。また、上記の２つのレンズは焦点距離を若干異にし
ている。また、本実施例においては、検出器レンズ25の
内面88は、水平断面においても、第３図に示す垂直断面
においても凸状であり、一方、放出器レンズ21の内面87
は水平断面においてのみ凸状である。従って、放出器ブ
ロック19の構造についての上述の説明もまた、上記の相
異点を除けば、検出器ブロック23の構造に当てはまる。

上述の如き流体流量感知装置は、透明壁を有し、且つ機
械的大きさが放出器ブロック19と検出器ブロック23との
間の空所17内に当てはまるものである任意の点滴室組立
体とともに用いることができる。

周囲の光エネルギーに対する不感応性は、レンズ25がか
かる光を検出器チップ47上に収束させない傾向があるの
で、良好である。この不感応性は、アパーチャ組立体69
を用いることによって改善することができ、また要すれ
ば、赤外エネルギーを放出するエネルギー放出器、及
び、検出器チップ47を上記の赤外スペクトル内にない光
エネルギーに対して無感応ならしめるためのフィルタま
たは他の手段（図示せず）を用いることによって更に改
善することができる。

（発明の効果） 本発明の流体流量感知装置の組立ては従来の感知装置の
組立てよりも簡単である。小さなエネルギー放出器及び
エネルギー検出器を感知装置基板に対して及び互いに機
械的に整合させなければならないということの代りに、
組立て装置は、２つのレンズブロックを、それらのレン
ズが互いに向き合うように、取付けるだけでよい。ま
た、本発明の流体流量感知装置は、そのエネルギー検出
器及び放出器チップが密閉されているので、周囲エネル
ギーからの追加の遮蔽を必要とせず、塵埃及び湿気のな
いように保持しなければならない光学部品は、上記２つ
のブロックの外部レンズ面だけである。本発明はまた、
点滴室の垂直軸線から遠く離れて落下する滴に応答し、
従って、26度というような大きな角度で傾斜している点
滴室組立体に対しても、垂直向きの組立体に対すると同
じに良好に働く。

いうまでもなく、本発明について多くの変更及び変形が
上述の教示に照らして可能である。例えば、種々の異な
る点滴室組立体の異なる屈折効果に対して調整するため
に種々の上記レンズ面の曲率半径を変更することができ
る。また、以上においては本発明を特にIV流体流量モニ
タについて説明したが、このモニタは、光学手段によっ
て流体流量を測定すること、またはかかる流量の欠除を
感知することが望ましい全ての製品に適用される。従っ
て、特許請求の範囲に記載の如き本発明の範囲内で上記
のほかに種々の変更及び変形が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は静脈内流体注入装置の点滴室組立体と作動関係
にある状態を示す本発明の新規な特徴を有する改良され
た光学式流量感知装置の斜視図、第２図は第１図の２−
２線にほぼ沿って截断して放出器ブロック及び検出器ブ
ロックとそれらの間にある点滴室組立体とを示す水平断
面図、第３図は第１図の３−３線にほぼ沿う垂直断面
図、第４図はアパーチャ組立体が検出器ブロック内に付
加されていること以外では第２図と同様である断面図、
第５図はレンズブロックの拡大分解斜視図、第６図は第
５図の６−６線にほぼ沿う水平断面図、第７図は第５図
の７−７線にほぼ沿う水平断面図である。 11……支持基板 13、15……アーム 19……エネルギー放出器ブロック 21、25……レンズ 23……エネルギー検出器ブロック 27……点滴室組立体 29……エネルギー放出器チップ 33、49……プリント回路板 47……エネルギー検出器チップ 53……点滴室の透明壁 55……点滴室 59……滴形成部 69……アパーチャ組立体 75、77……バッフル

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】相互間に空間17を形成して分離している、
   第１アーム13とこれとほぼ平行な第２アーム15を有する
   支持基板11を備え、エネルギー放射手段29が第１アーム
   13に取り付けられエネルギー検出器47が第２アーム15に
   取り付けられた流体流量感知装置において、 上記エネルギー放射手段29に対し固定的に上記第１アー
   ム13に取り付けられ、水平断面及び垂直断面の両方にお
   いて凸である外面を有し、水平断面だけが凸の内面を有
   する第１レンズ21であって、上記エネルギー放射手段29
   からのエネルギーを受け取り、かつ上記アームの空間17
   を通過したエネルギーを屈折させて伝送する上記第１レ
   ンズ21と、 上記エネルギー検出器47がに対し固定的に上記第２アー
   ム15に取り付けられ、水平断面及び垂直断面の両方が凸
   である外面及び内面を有する第２レンズ25であって、上
   記第１レンズ21から伝送されたエネルギーを受け取り、
   かつ該エネルギーを上記エネルギー検出器47へ向けて屈
   折させて搬送する上記第２レンズ25と を有することを特徴とする流体流量感知装置。
2. 【請求項２】上記流体流量感知装置が、さらに、 複数の不透明な側壁71と不透明な前壁73とを有するアパ
   ーチャ組立体69を有し、該アパーチャ組立体69は、上記
   第２アーム15内に取り付けられ、アパーチャ74の寸法及
   び側壁71の長さが該アパーチャを上記エネルギー検出器
   47の前方に位置決めして上記エネルギー検出器47に到達
   するエネルギーのビーム幅の寸法を制御するするために
   選択されることを特徴とする請求項１記載の流体流量感
   知装置。
3. 【請求項３】上記流体流量感知装置が、さらに、 不透明なバッフル75が上記エネルギー検出器47の前方に
   取り付けられ、各バッフルは複数の不透明壁を有し、ま
   た上記エネルギー検出器47に到達するエネルギーを制限
   するためのバッフル開口を有していることを特徴とする
   請求項１または２に記載の流体流量感知装置。
4. 【請求項４】上記流体流量感知装置が、さらに、 上記エネルギー放射手段29によって放射されるエネルギ
   ーが、赤外線波長域内にあり、また 赤外線波長域内にない光学的エネルギーを減衰させるた
   めに上記エネルギー放射手段29と上記エネルギー検出器
   47の間にフィルタリング手段を配置したことを特徴とす
   る請求項１ないし３の内の一つに記載の流体流量感知装
   置。
5. 【請求項５】上記流体流量感知装置が、さらに、 上記エネルギー放射手段29が取り付けられ、上記エネル
   ギー放射手段29を汚染に対し密封するために上記第１ア
   ーム13内に続いて付けられた第１プリント回路板33と、 上記エネルギー検出器47が取り付けられ、上記エネルギ
   ー検出器47を汚染に対し密封するために第２アーム15内
   に続いて取り付けられた第２プリント回路板49と を設けたことを特徴とする請求項１ないし４の内の一つ
   に記載の流体流量感知装置。