JPH0779581A - 振動波モータ - Google Patents
振動波モータInfo
- Publication number
- JPH0779581A JPH0779581A JP5225530A JP22553093A JPH0779581A JP H0779581 A JPH0779581 A JP H0779581A JP 5225530 A JP5225530 A JP 5225530A JP 22553093 A JP22553093 A JP 22553093A JP H0779581 A JPH0779581 A JP H0779581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- vibration
- wave motor
- mechanical energy
- vibration wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動体の不均一支持による不要振動の軽減、
振動体の剛性支持による高トルク領域での脱調減少の軽
減を図る振動波モータを提供する。 【構成】 移動体との接触面にスリットにより形成され
る複数個の突起を有すると共に、接触面の内径側の中立
面上に複数個の取付孔２２ｄを有する振動体２２に、励
起されるべき振動数の波長（λ）に対しλ／４の奇数倍
のずれを有して二つの圧電素子群を配列固着すると共に
該二つの駆動用圧電素子群の中間に該二つの各圧電素子
群に対応してする振動検出用の圧電素子を配列固着した
ステータを有する振動波モータにおいて、該ステータを
面対称に構成し、例えば該取付孔２２ｄを該スリットに
合致させて２の整数倍（２、４、６・・）設ける。
振動体の剛性支持による高トルク領域での脱調減少の軽
減を図る振動波モータを提供する。 【構成】 移動体との接触面にスリットにより形成され
る複数個の突起を有すると共に、接触面の内径側の中立
面上に複数個の取付孔２２ｄを有する振動体２２に、励
起されるべき振動数の波長（λ）に対しλ／４の奇数倍
のずれを有して二つの圧電素子群を配列固着すると共に
該二つの駆動用圧電素子群の中間に該二つの各圧電素子
群に対応してする振動検出用の圧電素子を配列固着した
ステータを有する振動波モータにおいて、該ステータを
面対称に構成し、例えば該取付孔２２ｄを該スリットに
合致させて２の整数倍（２、４、６・・）設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電気−機械エネルギー変
換素子に電圧を印加することにより、振動体に進行性振
動波を生じさせ、この振動体に接触する移動体との間の
摩擦駆動で相対移動を起こさせる振動波モータ、特に高
精度型の振動波モータに関するものである。
換素子に電圧を印加することにより、振動体に進行性振
動波を生じさせ、この振動体に接触する移動体との間の
摩擦駆動で相対移動を起こさせる振動波モータ、特に高
精度型の振動波モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の振動波モータの縦断面図、
図４の（ａ）の電極構成図、図４の（ｂ）はステータの
展開側面図、図５は振動体の正面図、図６は圧縮ばね部
材の正面図である。
図４の（ａ）の電極構成図、図４の（ｂ）はステータの
展開側面図、図５は振動体の正面図、図６は圧縮ばね部
材の正面図である。
【０００３】図３、図４の（ａ），（ｂ）及び図５にお
いて、１は厚さｂの薄い円環形状の圧電素子で、弾性材
料からなり、λ／２（但しλは波長）あたり４個（２の
整数倍）の突起を全周にわたり等間隔でスリットを入れ
ることで形成した振動体２にベタ電極面を固着してステ
ータとしている。
いて、１は厚さｂの薄い円環形状の圧電素子で、弾性材
料からなり、λ／２（但しλは波長）あたり４個（２の
整数倍）の突起を全周にわたり等間隔でスリットを入れ
ることで形成した振動体２にベタ電極面を固着してステ
ータとしている。
【０００４】圧電素子１の他面の電極構成は、図４
（ａ）に示す通り、励起されるべき振動数の波長λに対
し、交互に逆の伸縮極性となるようλ／２ピッチで分極
された駆動用のＡ電極群（Ａ1 〜Ａ8 ）及びＢ電極群
（Ｂ1 〜Ｂ8 ）と、これらＡ及びＢ電極間にあり、それ
ぞれの電極群の振動状態を検出するλ／４ピッチの振動
検出用電極ＳA 及びＳB と、他に接地用の三つの共通電
極Ｇからなっている。そして上記の駆動用の各電極と振
動検出用電極及び共通電極はｙ−ｙ′軸に対して配置及
び分極の極性が鏡面対称になっている。
（ａ）に示す通り、励起されるべき振動数の波長λに対
し、交互に逆の伸縮極性となるようλ／２ピッチで分極
された駆動用のＡ電極群（Ａ1 〜Ａ8 ）及びＢ電極群
（Ｂ1 〜Ｂ8 ）と、これらＡ及びＢ電極間にあり、それ
ぞれの電極群の振動状態を検出するλ／４ピッチの振動
検出用電極ＳA 及びＳB と、他に接地用の三つの共通電
極Ｇからなっている。そして上記の駆動用の各電極と振
動検出用電極及び共通電極はｙ−ｙ′軸に対して配置及
び分極の極性が鏡面対称になっている。
【０００５】前記の駆動用Ａ電極群（Ａ1 〜Ａ8 ）に対
し駆動用Ｂ電極群（Ｂ1 〜Ｂ8 ）は３／４λずれたピッ
チで配置され、一方振動検出用の電極ＳA 及びＳB は駆
動用のＡ電極群（Ａ1 〜Ａ8 ）及びＢ電極群（Ｂ1 〜Ｂ
8 ）によるそれぞれ定在波の実質的に腹の位置を中心と
して配置されている。
し駆動用Ｂ電極群（Ｂ1 〜Ｂ8 ）は３／４λずれたピッ
チで配置され、一方振動検出用の電極ＳA 及びＳB は駆
動用のＡ電極群（Ａ1 〜Ａ8 ）及びＢ電極群（Ｂ1 〜Ｂ
8 ）によるそれぞれ定在波の実質的に腹の位置を中心と
して配置されている。
【０００６】図４の（ｂ）の振動体２の接触面の複数個
の突起は軸心に対して一定幅（ｔ）のスリットを入れる
ことで形成されるが、ｈがスリット深さでＨは振動体２
の全高さである。
の突起は軸心に対して一定幅（ｔ）のスリットを入れる
ことで形成されるが、ｈがスリット深さでＨは振動体２
の全高さである。
【０００７】更に図４の（ｂ）が示したように圧電素子
１の振動検出用の電極ＳA 及びＳBの中央点を振動体２
のスリット部の中央点に合致させ固着してステータとし
ているので、駆動用のＡ電極群（Ａ1 〜Ａ8 ）或はＢ電
極群（Ｂ1 〜Ｂ8 ）の中央点は全てスリットの中央点に
合致している。
１の振動検出用の電極ＳA 及びＳBの中央点を振動体２
のスリット部の中央点に合致させ固着してステータとし
ているので、駆動用のＡ電極群（Ａ1 〜Ａ8 ）或はＢ電
極群（Ｂ1 〜Ｂ8 ）の中央点は全てスリットの中央点に
合致している。
【０００８】前記の振動体２は中立面の薄板円板部２ｂ
を介してさらに内径側の厚板円環部２ｃで３本のネジ４
で筐体３に固定されている。
を介してさらに内径側の厚板円環部２ｃで３本のネジ４
で筐体３に固定されている。
【０００９】又熱伝導性の優れた材料からなる筐体３の
中心部には第１のボール軸受１１が外輪を固着して設け
られている。
中心部には第１のボール軸受１１が外輪を固着して設け
られている。
【００１０】１０は回転軸でその１端は第１のボール軸
受１１の内輪に軸方向摺動可能に支持され、他端はネジ
９で筐体３に固定された筐体カバー８の中心部に外輪を
固着して設けられた第２のボール軸受の内輪に軸方向摺
動可能に支持されている。
受１１の内輪に軸方向摺動可能に支持され、他端はネジ
９で筐体３に固定された筐体カバー８の中心部に外輪を
固着して設けられた第２のボール軸受の内輪に軸方向摺
動可能に支持されている。
【００１１】なお、回転軸の他端にはエンコーダの図示
されていない入力軸を固定するための内径嵌合部１０ｃ
と固定ネジ１０ｄが設けられている。
されていない入力軸を固定するための内径嵌合部１０ｃ
と固定ネジ１０ｄが設けられている。
【００１２】７は複合樹脂からなる環状の摺動体６と摺
動体６を外径部端面５ａに耐熱性のエポキシ系接着剤で
同心的に固着した、例えば黄銅からなる支持体５とで構
成された移動体で、この移動体７は回転軸１０の外径部
に直接例えば焼ばめ或は圧着などで固定されている。
動体６を外径部端面５ａに耐熱性のエポキシ系接着剤で
同心的に固着した、例えば黄銅からなる支持体５とで構
成された移動体で、この移動体７は回転軸１０の外径部
に直接例えば焼ばめ或は圧着などで固定されている。
【００１３】支持体５は摺動体６を固着した内径側に薄
板円板部５ｂを有しており、この支持体５の薄板円板部
５ｂと第２のボール軸受１２の内輪との間にゴム製の弾
性シート部材１７及び、図６に示す形状の圧縮ばね部材
１４を配置し、圧縮ばね部材１４の軸方向荷重を支持体
５の薄板円板部５ｂの軸方向に与えて振動体２の摺動面
２ａに移動体７の摺動体６を加圧接触させて振動波モー
タを構成している。
板円板部５ｂを有しており、この支持体５の薄板円板部
５ｂと第２のボール軸受１２の内輪との間にゴム製の弾
性シート部材１７及び、図６に示す形状の圧縮ばね部材
１４を配置し、圧縮ばね部材１４の軸方向荷重を支持体
５の薄板円板部５ｂの軸方向に与えて振動体２の摺動面
２ａに移動体７の摺動体６を加圧接触させて振動波モー
タを構成している。
【００１４】なお、筐体カバー８の中心部の第２のボー
ル軸受１２の内輪と圧縮ばね部材１４の間に図示されて
いないスペーサーが設置され、圧縮ばね部材１４の発生
する軸方向荷重を調整している。
ル軸受１２の内輪と圧縮ばね部材１４の間に図示されて
いないスペーサーが設置され、圧縮ばね部材１４の発生
する軸方向荷重を調整している。
【００１５】振動体２の支持固定は、スリットの形成さ
れた振動発生部に振動を阻害することのないように支持
固定することが望ましく、薄板円板部２ｂの径を大きく
し、その内径側に設けた厚板円環部２ｃでネジ止めする
ことは、薄板円板部２ｂの適度なバネ剛性によって該振
動発生部を支持することができると云える。
れた振動発生部に振動を阻害することのないように支持
固定することが望ましく、薄板円板部２ｂの径を大きく
し、その内径側に設けた厚板円環部２ｃでネジ止めする
ことは、薄板円板部２ｂの適度なバネ剛性によって該振
動発生部を支持することができると云える。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来型の
振動波モータを評価したところ下記の通りの問題点があ
った。
振動波モータを評価したところ下記の通りの問題点があ
った。
【００１７】図５の振動体２を筐体３に３本のネジ４
で固定した状態で、振動検出用電極ＳA 及びＳB の検出
電圧の振幅を等しく、かつ両検出電圧間の時間的位相差
をπ／２とする交流電圧を印加して、振動体２の接触面
に曲げ振動の進行波を図３のモータの回転軸がＣＣＷ方
向に回転するように発生したときわずかな振動音が聞か
れた。
で固定した状態で、振動検出用電極ＳA 及びＳB の検出
電圧の振幅を等しく、かつ両検出電圧間の時間的位相差
をπ／２とする交流電圧を印加して、振動体２の接触面
に曲げ振動の進行波を図３のモータの回転軸がＣＣＷ方
向に回転するように発生したときわずかな振動音が聞か
れた。
【００１８】図５の振動体２を組込んだ図３の従来型
のモータを振動検出用電極ＳA 及びＳB の検出電圧を大
にして駆動していくと、まずＣＣＷ方向の回転で、次い
でＣＷ方向の回転で振動音の発生があった。
のモータを振動検出用電極ＳA 及びＳB の検出電圧を大
にして駆動していくと、まずＣＣＷ方向の回転で、次い
でＣＷ方向の回転で振動音の発生があった。
【００１９】次にトルク計を用いて検出電圧を変えた
ときのトルク対回転数特性を測定したが、いずれの特性
カーブでも高トルク領域で回転数が一気に低下するいわ
ゆる「脱調現象」がみられた。
ときのトルク対回転数特性を測定したが、いずれの特性
カーブでも高トルク領域で回転数が一気に低下するいわ
ゆる「脱調現象」がみられた。
【００２０】
【課題を解決するための手段（及び作用）】本発明は移
動体との接触面にスリットにより形成される複数個の突
起を有すると共に、又接触面の内径側の中立面上に複数
個の取付孔或は取付ネジを有する振動体に励起されるべ
き振動数の波長（λ）に対しλ／４の奇数倍のずれがあ
る二つの駆動用電気−機械エネルギ変換素子群を配列固
着すると共に該二つの駆動用電気−機械エネルギー変換
素子群の中間に二つのそれぞれの駆動用電気−機械エネ
ルギー変換素子に対応する振動検出用電気−機械エネル
ギー変換素子を配列固着したステータを備えた振動波モ
ータにおいて、 各駆動用及び振動検出用等の電気−機械エネルギー変
換素子の配置及び極性が鏡面対称であり、 振動体の接触面の複数個の突起の数がλ／２あたり２
の整数倍（２，４，６…）であり、 振動体の接触面の内径側の中立面上の複数個の取付孔
或は取付ネジの数が２の整数倍（２，４，６…）であ
り、 振動体の突起を形成するスリット位置に、二つの振動
検出用電気−機械エネルギー変換素子の中央位置及び振
動体の接触面の内径側の中立面上の２の整数倍の取付孔
或は取付ネジを合致させ、振動波モータのステータを鏡
面対称に構成して、振動体の支持による振動体の内部応
力をより均一化し、同時に振動体をより剛性的に支持す
るものである。
動体との接触面にスリットにより形成される複数個の突
起を有すると共に、又接触面の内径側の中立面上に複数
個の取付孔或は取付ネジを有する振動体に励起されるべ
き振動数の波長（λ）に対しλ／４の奇数倍のずれがあ
る二つの駆動用電気−機械エネルギ変換素子群を配列固
着すると共に該二つの駆動用電気−機械エネルギー変換
素子群の中間に二つのそれぞれの駆動用電気−機械エネ
ルギー変換素子に対応する振動検出用電気−機械エネル
ギー変換素子を配列固着したステータを備えた振動波モ
ータにおいて、 各駆動用及び振動検出用等の電気−機械エネルギー変
換素子の配置及び極性が鏡面対称であり、 振動体の接触面の複数個の突起の数がλ／２あたり２
の整数倍（２，４，６…）であり、 振動体の接触面の内径側の中立面上の複数個の取付孔
或は取付ネジの数が２の整数倍（２，４，６…）であ
り、 振動体の突起を形成するスリット位置に、二つの振動
検出用電気−機械エネルギー変換素子の中央位置及び振
動体の接触面の内径側の中立面上の２の整数倍の取付孔
或は取付ネジを合致させ、振動波モータのステータを鏡
面対称に構成して、振動体の支持による振動体の内部応
力をより均一化し、同時に振動体をより剛性的に支持す
るものである。
【００２１】
【実施例】以下本発明を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
【００２２】図１は本発明による振動波モータの第１の
実施例を示す縦断面図、図２は図１に示す振動体の正面
図である。
実施例を示す縦断面図、図２は図１に示す振動体の正面
図である。
【００２３】図において、１は圧電素子、５は支持体、
６は摺動体、７は移動体、８は筐体カバー、９はネジ、
１０は回転軸、１１は第１のボール軸受、１２は第２の
ボール軸受、１４は圧縮ばね部材、１７は弾性シート部
材で以上の構成部品は図３の従来例の振動波モータと同
等であり、詳しい説明は省略する。
６は摺動体、７は移動体、８は筐体カバー、９はネジ、
１０は回転軸、１１は第１のボール軸受、１２は第２の
ボール軸受、１４は圧縮ばね部材、１７は弾性シート部
材で以上の構成部品は図３の従来例の振動波モータと同
等であり、詳しい説明は省略する。
【００２４】２２は本実施例による振動体で、従来例の
振動体２と同様にスリットにより形成されたλ／２あた
り２の整数倍（図２では４）の突起部を有しており、圧
電素子１が裏面に同心的にかつ振動体２２のスリット位
置に対し、その電極構成を特定して固着している。
振動体２と同様にスリットにより形成されたλ／２あた
り２の整数倍（図２では４）の突起部を有しており、圧
電素子１が裏面に同心的にかつ振動体２２のスリット位
置に対し、その電極構成を特定して固着している。
【００２５】又従来例の振動体２と同様に接触面の中立
面上の薄板円板部２２ｂを介して内径側の厚板円環部２
２ｃで筐体２３に固定されているが、従来例の振動体２
が３本のネジで筐体３に固定されていたのに対し、本実
施例の振動体２２はｙ−ｙ′軸に対称でかつスリット位
置に合致する２の整数倍（図２では４）の取付ネジ２２
ｄを用いて筐体２３に固定されている。
面上の薄板円板部２２ｂを介して内径側の厚板円環部２
２ｃで筐体２３に固定されているが、従来例の振動体２
が３本のネジで筐体３に固定されていたのに対し、本実
施例の振動体２２はｙ−ｙ′軸に対称でかつスリット位
置に合致する２の整数倍（図２では４）の取付ネジ２２
ｄを用いて筐体２３に固定されている。
【００２６】図７は第１の実施例の変形例を示す。
【００２７】図７において、３２は支持剛性を大にする
振動体の例で、接触面の内径側の中立面上に薄板円環部
３２ｂと内径側に厚板円環部３２ｃを有し、厚板円環部
３２ｃにｙ−ｙ′軸に対称でかつスリット位置に合致す
る２の整数倍（図では８）の取付ネジ３２ｄがある。
振動体の例で、接触面の内径側の中立面上に薄板円環部
３２ｂと内径側に厚板円環部３２ｃを有し、厚板円環部
３２ｃにｙ−ｙ′軸に対称でかつスリット位置に合致す
る２の整数倍（図では８）の取付ネジ３２ｄがある。
【００２８】また、薄板円環部３２ｂにはこの整数倍
（図では８）の長孔３２ｅが同心円上等間隔にかつ厚板
円環部３２ｃの隣り合う取付ネジ３２ｄの中心の角度位
置に形成されて、薄板円環部３２ｂによる支持の損失を
軽減している。
（図では８）の長孔３２ｅが同心円上等間隔にかつ厚板
円環部３２ｃの隣り合う取付ネジ３２ｄの中心の角度位
置に形成されて、薄板円環部３２ｂによる支持の損失を
軽減している。
【００２９】図８は本発明の第２の実施例における振動
波モータの縦断面図、図９は図８に示す振動体の正面図
である。
波モータの縦断面図、図９は図８に示す振動体の正面図
である。
【００３０】図３の従来例の振動波モータと異なる構成
部品のみ説明すると、４２は従来例の図３の振動体２と
同様にλ／２あたり４の突起部を有し、裏面に圧電素子
１を固着しているが、接触面の内径側の中立面上に薄板
円環部４２ｂを形成し、薄板円環部４２ｂのｙ−ｙ′軸
に対称でかつ振動体４２のスリット位置に合致する２の
整数倍（図９では６）の取付孔４２ｄを用いて筐体３３
に固定されている。
部品のみ説明すると、４２は従来例の図３の振動体２と
同様にλ／２あたり４の突起部を有し、裏面に圧電素子
１を固着しているが、接触面の内径側の中立面上に薄板
円環部４２ｂを形成し、薄板円環部４２ｂのｙ−ｙ′軸
に対称でかつ振動体４２のスリット位置に合致する２の
整数倍（図９では６）の取付孔４２ｄを用いて筐体３３
に固定されている。
【００３１】図９の振動体４２も振動体の支持剛性を大
にするためのもので、振動音の発生を防ぐためｙ−ｙ′
軸上に取付け孔４２ｄがこないようにしている。
にするためのもので、振動音の発生を防ぐためｙ−ｙ′
軸上に取付け孔４２ｄがこないようにしている。
【００３２】図１０は第２の実施例の変形例を示す。
【００３３】図１０の振動体５２は図９の振動体４２と
同様、接触面の内径側の中立面上に薄板円環部５２ｂを
形成し、薄板円環部５２ｂのｙ−ｙ′軸に対称で、かつ
振動体５２のスリット位置に合致する２の整数倍（図１
０で６）の取付ネジ５２ｃで図示されてない筐体に固定
されるが、薄板円環部５２ｂには、やはり支持による損
失の軽減をはかるための長孔５２ｅが形成されている。
同様、接触面の内径側の中立面上に薄板円環部５２ｂを
形成し、薄板円環部５２ｂのｙ−ｙ′軸に対称で、かつ
振動体５２のスリット位置に合致する２の整数倍（図１
０で６）の取付ネジ５２ｃで図示されてない筐体に固定
されるが、薄板円環部５２ｂには、やはり支持による損
失の軽減をはかるための長孔５２ｅが形成されている。
【００３４】図１１は第２の実施例の第２変形例を示
す。
す。
【００３５】図１１において、振動体６２は、接触面の
内径側の中立面上の薄板円環部６２ｂのｙ−ｙ′軸に対
称でかつ振動体６２のスリット位置に合致する２の整数
倍（図１１では８）の取付孔６２ｃを用いて筐体に固定
する。
内径側の中立面上の薄板円環部６２ｂのｙ−ｙ′軸に対
称でかつ振動体６２のスリット位置に合致する２の整数
倍（図１１では８）の取付孔６２ｃを用いて筐体に固定
する。
【００３６】振動体６２では取付孔６２ｃを形成する支
持部６２ｄを除いて薄板円環部６２ｂを肉抜きしてい
る。
持部６２ｄを除いて薄板円環部６２ｂを肉抜きしてい
る。
【００３７】図１２は本発明の第３の実施例の振動波モ
ータの縦断面図、図１３は図１２に示す振動体の正面
図、図１４は固定部材の正面図である。
ータの縦断面図、図１３は図１２に示す振動体の正面
図、図１４は固定部材の正面図である。
【００３８】この実施例では振動体７２の薄板円環部７
２ｂのｙ−ｙ′軸に対称でかつ振動体７２のスリット位
置に合致する２の整数倍（図１３で４）の取付孔７２ｃ
を形成し、図１４の円環形状の固定部材１８で振動体７
２を筐体４３に挟持しネジで固定するものである。
２ｂのｙ−ｙ′軸に対称でかつ振動体７２のスリット位
置に合致する２の整数倍（図１３で４）の取付孔７２ｃ
を形成し、図１４の円環形状の固定部材１８で振動体７
２を筐体４３に挟持しネジで固定するものである。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように本発明の振動波モー
タでは以下のような効果が得られる。 振動体の不均一支持による不要振動を軽減し、 ・より高精度回転を可能とする。
タでは以下のような効果が得られる。 振動体の不均一支持による不要振動を軽減し、 ・より高精度回転を可能とする。
【００４０】・より高振幅での駆動を可能としてモータ
特性の使用範囲を拡大できる。
特性の使用範囲を拡大できる。
【００４１】振動体の剛性支持により、高トルク領域
での「脱調現象」を軽減する特性が得られる。
での「脱調現象」を軽減する特性が得られる。
【００４２】振動体の形状を簡略化して低価格化が可
能となる。
能となる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す断面図。
【図２】図１の振動体の正面図。
【図３】従来の振動波モータの断面図。
【図４】振動波モータのステータを示し、（ａ）は電極
構成を示す図、（ｂ）はステータの展開側面図。
構成を示す図、（ｂ）はステータの展開側面図。
【図５】図３の振動波モータの振動体を示す正面図。
【図６】図３の振動波モータの圧縮バネ部材の正面図。
【図７】第１の実施例の変形例を示す振動体の正面図。
【図８】第２の実施例を示す断面図。
【図９】図８の振動波モータの振動体の正面図。
【図１０】第２の実施例の第１変形例を示す振動体の正
面図。
面図。
【図１１】第２の実施例の第２変形例を示す振動体の正
面図。
面図。
【図１２】第３の実施例を示す断面図。
【図１３】図１２の振動波モータの振動体の正面図。
【図１４】図１２の振動波モータの固定部材の正面図。
１…圧電素子 ２，２２，３２，４２，５２，６２，７２…振動体 ３，２３，３３，４３…筐体 ５…支持体 ６…摺動体 ７…移動体 ８…筐体カバー
Claims (5)
- 【請求項１】 移動体との接触面にスリットにより形成
される複数個の突起を有すると共に接触面の内径側の中
立面上に複数個の取付孔或は取付ネジを有する振動体
に、励起されるべき振動数の波長（λ）に対しλ／４の
奇数倍のずれがある二つの駆動用電気−機械エネルギー
変換素子群を配列固着すると共に、該二つの駆動用電気
−機械エネルギー変換素子群の中間に二つのそれぞれ駆
動用電気−機械エネルギー変換素子に対応する振動検出
用電気−機械エネルギー変換素子を配列固着したステー
タを備える振動波モータにおいて、 前記ステータを鏡面対称に構成したことを特徴とする振
動波モータ。 - 【請求項２】 前記各駆動用及び振動検出用等の電気−
機械エネルギー変換素子の配置及び極性が鏡面対称であ
ることを特徴とする請求項１の振動波モータ。 - 【請求項３】 前記振動体の接触面の複数個の突起の数
がλ／２あたり２の整数倍（２，４，６…）であること
を特徴とする請求項１の振動波モータ。 - 【請求項４】 前記振動体の接触面の内径側の中立面上
の複数個の取付孔或は取付ネジの数が２の整数倍（２，
４，６…）であることを特徴とする請求項１の振動波モ
ータ。 - 【請求項５】 前記振動体の突起を形成するスリット位
置に前記二つの振動検出用電気−機械エネルギー変換素
子の中央位置及び前記振動体の接触面の内径側の中立面
上の複数個の取付孔或は取付ネジを合致させたことを特
徴とする請求項１の振動波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5225530A JPH0779581A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 振動波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5225530A JPH0779581A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 振動波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0779581A true JPH0779581A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16830750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5225530A Pending JPH0779581A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 振動波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779581A (ja) |
-
1993
- 1993-09-10 JP JP5225530A patent/JPH0779581A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6175181B1 (en) | Vibration driven motor | |
| EP0383309B1 (en) | Vibration wave motor | |
| US7876022B2 (en) | Piezoelectric generator of mechanical vibrations, and piezoelectric motors based on the generator | |
| JP3059031B2 (ja) | 振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた装置 | |
| JPH08317671A (ja) | 超音波モータ | |
| US5296776A (en) | Piezo-electric motor intended for a timepiece | |
| JPH0779581A (ja) | 振動波モータ | |
| JP2994023B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPS6248276A (ja) | 圧電モ−タ | |
| JP2532425B2 (ja) | 超音波モ−タ | |
| SU853711A1 (ru) | Вибродвигатель | |
| JPH0775351A (ja) | 振動波モータ | |
| JPH0681523B2 (ja) | 振動波モ−タ | |
| JP4731737B2 (ja) | 振動波モータ | |
| JP2003033054A (ja) | 超音波モータ装置 | |
| JP2543144B2 (ja) | 超音波モ―タ | |
| JPH0697864B2 (ja) | 超音波モータ | |
| EP0539969B1 (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH0779580A (ja) | 振動波モータ | |
| JP2996494B2 (ja) | 振動型モータ装置 | |
| JP2523634B2 (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH04133678A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH06133570A (ja) | 超音波モータおよびその駆動装置 | |
| JP2000078866A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2002359984A (ja) | 超音波モータ装置 |